CN112670229B - 基板输送装置和基板输送方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够保持基板的位置精度且提高基板的输送效率的基板输送装置和基板输送方法。具备：驱动部(20)，使臂(11)上升而使末端执行器(12)接收基板(S)；以及控制装置(30)，对驱动部(20)的输出进行控制来设定臂(11)的上升速度，末端执行器(12)与臂(11)之间的高度差为位置差分，从末端执行器(12)碰到基板(S)时起到末端执行器(12)完成基板(S)的接收为止的期间为过渡期间，控制装置(30)将使位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅在过渡期间比过渡期间之前小的上升速度的上限值，作为过渡期间中的上升速度的上限值。

Description

基板输送装置和基板输送方法

技术领域

本发明涉及基板输送装置和基板输送方法。

背景技术

制造半导体元件或发光元件等各种设备的装置，搭载输送用于形成元件的基板的基板输送装置。基板输送装置具备被臂支撑的末端执行器。末端执行器随着臂的上升而一起上升，从载置台接收载置在载置台等的基板。末端执行器随着臂的下降而一起下降，将载置在末端执行器的基板送出给载置台。基板输送装置具备对基板的载置状态进行光学检测的检测部。对臂的驱动进行控制的控制部，根据检测部的检测结果来执行后续处理(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-119070号公报

发明内容

发明所要解决的课题

提高末端执行器的移动速度，能够缩短输送所需的时间，而另一方面使输送途中的基板位置变得不稳定。相反，降低末端执行器的移动速度，能够使输送途中的基板位置稳定，而另一方面会导致输送所需时间的延长。因此，在上述的基板输送装置中，期望在实现适当的基板位置精度与适当的基板输送效率的基础上，以更适当的输送速度来输送基板。特别是，在末端执行器碰到基板时起到末端执行器接收完基板为止的期间为支撑基板的构造从载置台变为末端执行器的过渡期间。在这种过渡期间中，与末端执行器和基板正好一体地移动时相比，容易产生末端执行器与基板的相对位置偏离，强烈期望得到更合适的输送速度。

本发明的目的在于，提供能够抑制输送效率的降低且提高基板的位置精度的基板输送装置和基板输送方法。

用于解决课题的手段

一实施方式的基板输送装置，具备：臂；末端执行器，与所述臂连结；驱动部，使所述臂上升而使所述末端执行器接收基板；以及控制部，对所述驱动部的输出进行控制来设定所述臂的上升速度，所述末端执行器与所述臂之间的高度差为位置差分，从所述末端执行器碰到所述基板时起到所述末端执行器完成所述基板的接收为止的期间为过渡期间，所述控制部将使所述位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅在所述过渡期间比所述过渡期间之前小的所述上升速度的上限值，设定为所述过渡期间中的所述上升速度的上限值。速度、加速度、加加速度分别是由位置矢量的一阶微分、二阶微分、三阶微分求出的物理量。加速度是表示每单位时间的速度的变化率、即表示与速度的变化相应的状态的物理量。加加速度是表示每单位时间的加速度的变化率、即表示与速度的变化相应的加速度的变化的状态的物理量。也就是说，位置差分的加速度是针对所述位置差分按时间进行二阶微分得到的，所述位置差分的加加速度是针对所述位置差分按时间进行三阶微分得到的。

一实施方式的基板输送方法，包含：设定与末端执行器连结的臂的上升速度；以及通过以所设定的上升速度来使所述臂上升，从而使所述末端执行器朝向基板上升，使所述末端执行器接收所述基板，所述末端执行器与所述臂之间的高度差为位置差分，从所述末端执行器碰到所述基板时起到所述末端执行器完成所述基板的接收为止的期间为过渡期间，在设定所述上升速度中，将使所述位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅在所述过渡期间比所述过渡期间之前小的所述上升速度的上限值，设定为所述过渡期间中的所述上升速度的上限值。

上升的末端执行器，在包含末端执行器和臂的结构体下，持续进行固有的轻微振动。并且，在上升的末端执行器碰到基板时，基板的重量作用到末端执行器，根据末端执行器的刚性和臂的刚性，末端执行器和臂产生翘曲。此时，当末端执行器的上升速度过高时，末端执行器等的翘曲变大，或者基板的跳起变大，从而末端执行器与基板分开得大。作为其结果，末端执行器与基板经多次重复强力抵接。这种多次的末端执行器与基板的抵接，成为使基板的位置精度大幅降低的因素。

另一方面，在末端执行器以不产生如上所述的、末端执行器等的翘曲变大或者基板的跳起变大的上升速度碰到基板时，基板的重量作用到末端执行器，末端执行器处的轻微振动暂且收敛。即，末端执行器处的轻微振动与臂处的轻微振动相比暂且收敛。这种末端执行器处的轻微振动的抑制，表现为作为末端执行器与臂之间的高度差的位置差分的加速度、或者加加速度的抑制。

对于该点，根据上述各结构，将从末端执行器与基板抵接时起到末端执行器接收基板为止的期间作为过渡期间，以过渡期间中的位置差分的加速度以及加加速度中的任意一个的振幅变得比过渡期间之前小的方式，确定上升速度的上限值。因此，末端执行器等的翘曲变大或者基板的跳起变大在过渡期间中被抑制。进而，能够抑制由末端执行器等的翘曲变大或者基板的跳起变大而引起的基板的位置精度降低。

作为其结果，能够通过使过渡期间中的上升速度在上限值以下的范围内提高来抑制基板的输送效率降低，同时能够通过将过渡期间中的上升速度限制为上限值以下来提高基板的位置精度。

在上述基板输送装置中，也可以是，所述控制部使所述过渡期间中的所述上升速度比所述过渡期间之前低，以使所述过渡期间中的所述振幅比所述过渡期间之前小。

根据上述基板输送装置，一边能够将过渡期间中的上升速度限制为上限值以下，一边能够将过渡期间之前的上升速度提高得比过渡期间高。因此，关于抑制输送效率的降低，还能够进一步提高实效性。

在上述基板输送装置中，也可以是，所述控制部将所述过渡期间中的所述上升速度设定为所述上限值以下，以使所述位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅相比所述过渡期间在所述过渡期间之后变大。

基于臂的末端执行器的上升，使末端执行器在上下方向上轻微振动。通过末端执行器与基板的抵接而暂且收敛的轻微振动，在基板相对于末端执行器静止时，作为以末端执行器和基板为振子的轻微振动而再次开始产生。即，末端执行器与基板正好成为一体，末端执行器再次开始轻微振动。

此处，根据上述基板输送装置，过渡期间中的上升速度被设定为，位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅，相比于过渡期间在过渡期间之后变大。因此，抑制以基板相对于末端执行器不静止的上升速度来进行基板的接收。进而，能够抑制由接收到的基板相对于末端执行器难以静止而引起的基板的位置精度降低的情况。作为其结果，能够进一步提高使基板的位置精度提高的实效性。

在上述基板输送装置中，也可以是，所述控制部在所述过渡期间之后使所述上升速度提高，以使所述过渡期间之后的所述振幅比所述过渡期间大。

根据上述基板输送装置，一边能够将过渡期间中的上升速度抑制为上限值以下，一边能够将过渡期间之后的上升速度提高得比过渡期间中的上升速度高。因此，关于抑制输送效率的降低，还能够进一步提高实效性。

在上述基板输送装置中，也可以是，具备第1振幅检测部，该第1振幅检测部对所述振幅进行检测，所述控制部进行如下的教示处理：以彼此不同的所述上升速度重复进行所述末端执行器的上升，并将满足所述第1振幅检测部的检测结果相比所述过渡期间之前在所述过渡期间变小的速度范围的最大的上升速度教示为所述过渡期间中的所述上升速度的上限值。

根据上述基板输送装置，由于根据第1振幅检测部的检测结果来确定上升速度的上限值，因此能够使由基板输送装置的个体差引起的轻微振动等的偏差反映到上限值。因此，能够进一步提高由具备上升速度的上限值引起的位置精度提高的实效性。

附图说明

图1是示出基板输送装置的一实施方式中的装置结构的结构图。

图2是示出升降速度和高度位置的推移的图表。

图3是示出教示处理中的臂和末端执行器的位置推移的图表。

图4是示出教示处理中的位置差分的推移的图表。

图5是示出教示处理中的位置差分的加加速度推移的一例的图表。

图6是示出教示处理中的位置差分的加加速度推移的另一例的图表。

具体实施方式

以下，参照图1至图6对基板输送装置和基板输送方法的一实施方式进行说明。

如图1所示，基板输送装置具备臂11、末端执行器(end effector)12、执行器传感器(effector sensor)13E、臂传感器13A、驱动部20以及控制装置30。

臂11以自由升降且在水平方向上自由转动和自由伸缩的方式被支撑在搭载有臂11的主体。末端执行器12构成为能够载置作为输送对象物的基板S。基板S例如载置在平台或环圈等的载置部。基板输送装置通过使臂11下降而从末端执行器12向载置部送出基板S。另外，基板输送装置通过使臂11上升而使末端执行器12从载置部接收基板S。

执行器传感器13E对末端执行器12的高度位置进行光学检测。执行器传感器13E将检测到的末端执行器12的高度位置输入给控制装置30。臂传感器13A对臂11的高度位置进行光学检测。臂传感器13A将检测到的臂的高度位置输入给控制装置30。

控制装置30通过驱动部20的输出控制，对臂11的升降和转动、伸缩进行控制。控制装置30根据预先存储的教示数据来控制臂11的动作。驱动部20根据控制装置30的指示，使臂11进行升降和转动、伸缩，从而使末端执行器12接收载置在载置部的基板S，或者将载置在末端执行器12的基板S交接给载置部。

控制装置30具备控制部31、存储部32、输送处理部33以及教示处理部34。控制部31由例如CPU、RAM、ROM等使用于计算机的硬件要素以及软件构成。控制部31不限于将各种处理全部由软件来处理。例如，控制部31也可以具备执行各种处理中的至少一部分处理的作为专用硬件的特殊应用集成电路(ASIC)。控制部31也可以构成为ASIC等一个以上专用硬件电路、根据作为计算机程序的软件而动作的一个以上作为处理器的微计算机、或者包含它们的组合的电路。

存储部32存储输送程序以及包含教示数据的各种数据。控制部31通过读出存储部32存储的输送程序和数据并执行输送程序，从而使输送处理部33和教示处理部34执行输送处理和教示处理等各种处理。

输送处理部33根据教示数据，生成用于使臂11执行升降动作和转动、伸缩动作的驱动信号，将所生成的驱动信号输出给驱动部20。关于在升降动作中使用的教示数据，将臂11的高度位置与臂11的上升速度对应起来。

如图2所示，教示数据包含用于从臂11的高度位置为上升前的基准位置H0时开始以预定加速度将上升速度提高至第1速度VD1的控制参数。另外，教示数据包含用于在臂11的高度位置到达第1对象位置H1时将上升速度降低至第2速度VD2的数据。另外，教示数据包含用于在臂11的高度位置到达第2对象位置H2时使上升速度从第2速度VD2向第1速度VD1提高的控制参数。

第1对象位置H1是末端执行器12碰到基板S时的臂11的高度位置。第2对象位置H2是比第1对象位置H1高的位置，是末端执行器12完成基板S的接收时的臂11的高度位置。第2对象位置H2是例如末端执行器12处的振动变化时的臂11的高度位置。即，第2对象位置H2是例如从仅以末端执行器12为振子的振动，变为以末端执行器12和基板S为振子的振动时的臂11的高度位置。

输送处理部33根据教示数据来对驱动部20进行驱动，在臂11的位置到达第1对象位置H1时，使臂11的上升速度从第1速度VD1降低至第2速度VD2。即，输送处理部33通过使臂11以第1速度VD1来上升来使末端执行器12朝向基板S上升，同时在末端执行器12碰到基板S时，将上升速度改变为比第1速度VD1低的第2速度VD2。

输送处理部33根据教示数据来对驱动部20进行驱动，在臂11的位置到达第2对象位置H2时，将上升速度从第2速度VD2切换为第1速度VD1，提高速度。例如，输送处理部33在将上升速度改变为第2速度VD2之后，在末端执行器12处的振动变化时，将上升速度从第2速度VD2切换为第1速度VD1，提高速度。

教示处理部34将末端执行器12碰到基板S时的臂11的高度位置教示为第1对象位置H1。另外，教示处理部34例如将末端执行器12处的振动变化时的臂11的高度位置教示为第2对象位置H2。而且，教示处理部34执行用于确定第2速度VD2的上限值(即，第2速度VD2的容许值)的教示处理。在该教示处理中，教示处理部34将臂11从第1对象位置H1上升至第2对象位置H2为止的期间中的臂11的上升速度的上限值教示为第2速度VD2的上限值。臂11从第1对象位置H1移动至第2对象位置H2的期间为过渡期间的一例。

教示处理部34在教示处理中使用对末端执行器12的高度位置进行检测的执行器传感器13E以及对臂11的高度位置进行检测的臂传感器13A。末端执行器12的高度位置与臂11的高度位置之间的差为位置差分。教示处理部34使用执行器传感器13E的检测值和臂传感器13A的检测值来计算位置差分。例如，执行器传感器13E和臂传感器13A构成第1振幅检测部。另外，执行器传感器13E和臂传感器13A构成第2振幅检测部。在该例子中，虽然第1振幅检测部与第2振幅检测部为相同的结构，但是也可以是不同的结构(例如，使用了不同的传感器组的结构)。

教示处理部34在教示处理中，以多个上升速度来执行使末端执行器12朝向基板S上升的过程。教示处理部34在各上升速度下，对于过渡期间Tt之前、过渡期间Tt以及过渡期间Tt之后的各期间，计算位置差分的加加速度中的振幅。

图3示出教示处理部34执行的教示处理中的臂11的高度位置与末端执行器12的高度位置的推移的例子。

如图3所示，在教示处理中，当教示处理部34在时刻TE0使臂11上升时，末端执行器12开始与臂11一起上升。接着，当教示处理部34继续使臂11上升时，末端执行器12在时刻TE1碰到基板S。即，过渡期间Tt在时刻TE1开始。此时，基板S的重量作用到末端执行器12，根据末端执行器12的刚性等，末端执行器12产生翘曲。该作用出现在从图3所示的时刻TE1到时刻TE2为止的区间中的高度位置。在该区间期间，末端执行器12的高度位置几乎不上升，在臂11的高度位置与末端执行器12的高度位置之间产生背离。并且，当末端执行器12的翘曲复原时，过渡期间Tt在时刻TE2结束，末端执行器12再次开始上升。这可以说是基板S的重量全部作用到末端执行器12的结果。另外，图3中的上升速度非常低，在图3中示出几乎确认不到振幅的静止的动态特性。

图4示出教示处理部34执行的教示处理中的位置差分的推移的例子。在图4中，时刻TE1以前观察到的位置差分的波形也可以记载为初始振动波形，时刻TE2以后观察到的位置差分的波形也可以记载为余震波形。

如图4所示，在教示处理中，当教示处理部34在时刻TE0、或者在其之前使臂11上升时，在包含末端执行器12和臂11的结构体中，臂11和末端执行器12持续进行对应于其上升速度的固有的轻微振动。并且，由于末端执行器12的轻微振动与臂11的轻微振动彼此不同，因此位置差分也被观察为轻微振动(初始振动波形)。即，过渡期间Tt之前的位置差分使轻微振动持续。

接着，当教示处理部34到时刻TE1为止使臂11上升时，末端执行器12碰到基板S，基板S的重量开始作用到末端执行器12。对于该基板S的重量，在图4的位置差分中通过偏移量来识别。换言之，作为过渡期间Tt前后的位置差分中的偏移量，识别由基板S的重量引起的末端执行器12的柔软度。在产生该偏移时，当末端执行器12的上升速度过高时，基板S的惯性成为起因且末端执行器12的翘曲变大，或者积蓄在末端执行器12的弹性能成为起因且基板S的跳起变大，从而末端执行器12与基板S分离得大。并且，末端执行器12与基板S经多次重复强力抵接。该抵接主要作为对末端执行器12的冲击来输入，并且能够作为如后所述的振幅而被观察到。因此，优选的是，通过以各种方式改变末端执行器12的上升速度，从而将没有观察到冲击的速度范围的上限值采用为过渡期间Tt的上升速度的上限值。

相对于此，在末端执行器12的翘曲变大，或者末端执行器12以基板S的跳起不会变大的上升速度碰到基板S时，基板S的重量作为不会成为冲击的输入而作用到末端执行器12，并且能够观察到末端执行器12的轻微振动暂且收敛的状況。该收敛是末端执行器12经由基板S连接到载置部，由此末端执行器12的前端部从自由端向固定端变化的结果。即，该收敛是向不易振动的模型结构变化的结果，即是向容易衰减的结构变化的结果。

即，在从时刻TE1到时刻TE2为止的过渡期间Tt中，位置差分的振动根据臂11的上升速度而不同。在臂11的上升速度高时，位置差分的振动变大，而另一方面在臂11的上升速度低时，观察到位置差分的振动暂且收敛的倾向。因此，优选的是，从多个上升速度中，采用成为收敛倾向的速度范围的上限值采用为过渡期间Tt的上升速度的上限值。

接着，当教示处理部34到时刻TE2为止使臂11上升时，基板S相对于末端执行器12静止，末端执行器12再次开始产生以末端执行器12和基板S为振子的轻微振动。即，末端执行器12与基板S正好成为一体，末端执行器12再次开始与其上升速度对应的轻微振动。因此，位置差分也被观察为轻微振动(余震波形)。即，过渡期间Tt之后的位置差分使轻微振动持续。另外，初始振动波形中的振幅以及余震波形中的振幅，需要收敛到在输送工序中不产生障碍的振幅范围，因此使上升速度为能够实现该振幅范围的速度。作为优选的方式，只要设定能够实现该振幅范围的上限附近的速度。

图5示出教示处理部34执行的教示处理中的位置差分的加加速度的推移，示出上升速度低的例子且适当状态的例子。图6示出教示处理部34执行的教示处理中的位置差分的加加速度的推移，示出上升速度高的例子且不适当状态的例子。

如图5所示，在彼此不同的上升速度中选择适当的上升速度的例子中，位置差分的加加速度中的振幅PW，在过渡期间Tt中比过渡期间Tt前后小。此时，观察到抑制了末端执行器12等的翘曲变大，或者基板S的跳起变大。换言之，在过渡期间Tt前后表现出的加加速度的振幅，比在过渡期间Tt表现出的振幅PW大。通过末端执行器12与基板S的抵接而暂且收敛的轻微振动，在基板S相对于末端执行器12静止时，末端执行器12与基板S作为一体的振子再次开始产生轻微振动的振幅增大。

另一方面，如图6所示，在彼此不同的上升速度中选择了不适当的上升速度的例子中，位置差分的加加速度中的振幅PW，相比过渡期间Tt之前、或者过渡期间Tt前后，在过渡期间Tt内变大。此时，末端执行器12的翘曲变大，或者基板S的跳起变大，从而末端执行器12与基板S分离得大。并且，观察到末端执行器12与基板S经多次重复强力抵接。另外，图6所示的振幅PW示出，从其前后的振幅观察时，能够推测到存在冲击性的输入的状況。另外，相对于在图5所示的过渡期间Tt中，在具有最大振幅值(振幅PW)的一周期波形前后能够观察到振幅的衰减波形，在图6所示的过渡期间Tt中，特别之处在于，在具有最大振幅值(振幅PW)的一周期波形的前后无法观察到振幅的衰减波形。即，在图6的过渡期间Tt中，在最大振幅值(振幅PW)前后无法观察到表示不明确周期的波形(衰减波形)，只能观察到表示与过渡期间Tt之前相同的周期的波形、或者表示与过渡期间Tt之后相同的周期的波形。为了稳定地在末端执行器12之上从载置部接收基板S，优选在过渡期间Tt的最大振幅值周围存在衰减波形。

教示处理部34从彼此不同的多个上升速度中，抽出满足位置差分的加加速度的振幅PW相比过渡期间Tt之前在过渡期间Tt变小的速度范围的上升速度。并且，教示处理部34将满足该速度范围的最大的上升速度教示为第2速度VD2的上限值。其中，教示处理部34只要将上述速度范围的上限值以下的上升速度设定为第2速度VD2即可。过渡期间Tt之后的动态特性根据基板S的种类而变化，因此将过渡期间Tt之后的上升速度采用为调整指标是不适当的。当然，位置差分的加加速度的振幅PW，也可以是相比过渡期间Tt在过渡期间Tt之后变大。另外，如果使上述的上升速度的抽出以及到第2速度VD2的设定为止的一系列的工序成为单独的处理，则还能够成为在控制装置30中不包含教示处理部34的结构。

[作用]

输送处理部33根据教示数据来使臂11和末端执行器12上升。在上升的末端执行器12碰到基板S时，基板S的重量作用到末端执行器12，根据末端执行器12的刚性和臂11的刚性，末端执行器12和臂11产生翘曲。

此时，第2速度VD2的上限值被确定为，过渡期间Tt中的位置差分的加加速度的振幅PW相比过渡期间Tt前后变小、或者相比过渡期间Tt之前变小。即，臂11和末端执行器12继续上升，以使得不出现末端执行器12的上升速度过高而引起的末端执行器12与基板S多次抵接的情况。

以上，根据上述实施方式，能够得到以下的效果。

(1)以使过渡期间Tt中的位置差分的加加速度的振幅PW相比过渡期间Tt前后变小、或者相比过渡期间Tt之前变小方式，确定第2速度VD2。在该结构中，末端执行器12等的翘曲变大、或者基板S的跳起变大的情况在过渡期间Tt中被抑制。由此，能够在过渡期间Tt得到有效的振动衰减。因此，抑制由末端执行器12的翘曲变大、或者基板S的跳起变大而引起的基板S的位置精度降低的情况。另外，同时还能够抑制伴随跳起等现象的污染。

(2)作为过渡期间Tt的上升速度的第2速度VD2被设定为上述的速度范围的上限值以下的上升速度。由此，能够提高基板S的位置精度。另外，通过将第2速度VD2设定为上述速度范围内的极大的值，从而能够抑制基板S的输送效率降低。

(3)到过渡期间Tt仅之前为止，能够将作为过渡期间Tt之前的最大上升速度的第1速度VD1维持为比作为过渡期间Tt的上升速度的第2速度VD2大的值。因此，对于抑制输送效率的降低，还能够进一步提高实效性。

(4)第2速度VD2也可以被设定为，位置差分的加加速度的振幅相比过渡期间Tt在过渡期间Tt之后变大。在到达第2对象位置H2时，由于将上升速度从第2速度VD2切换到第1速度VD1来提高速度，因此抑制以基板S相对于末端执行器12不静止的第1速度VD1来进行基板S的接收。由此，抑制由被接收的基板S相对于末端执行器12难以静止而引起的基板S的位置精度降低的情况。作为其结果，能够进一步提高使基板S的位置精度提高的实效性。

(5)能够将第2速度VD2限制为上限值以下，并且将过渡期间Tt之后的第1速度VD1提高得比第2速度VD2高。因此，关于抑制输送效率的降低，还能够进一步提高实效性。

(6)根据执行器传感器13E和臂传感器13A来确定第2速度VD2的上限值，因此能够使由基板输送装置的个体差引起的轻微振动等偏差反映到上限值。因此，能够进一步提高由设定第2速度VD2的上限值引起的位置精度提高的实效性。

另外，能够如下所述变更上述实施方式来实施。

·代替加加速度的振幅PW，教示处理部34也可以将使位置差分的加速度的振幅PW在过渡期间Tt比过渡期间Tt之前小的上升速度的上限值，抽出为第2速度VD2的上限值的候补。并且，教示处理部34也可以将多个上限值的候补中的最大值设定为第2速度VD2的上限值。

·教示处理部34也可以将位置差分的加速度的振幅PW相比过渡期间Tt在过渡期间Tt之后变大的上升速度、且上述速度范围的上限值以下的上升速度中的最大上升速度教示为第2速度VD2。

附图标记说明

H0…基准位置，H1…第1对象位置，H2…第2对象位置，PW…振幅，S…基板，TE0、TE1、TE2…时刻，Tt…过渡期间，VD1…第1速度，VD2…第2速度，11…臂，12…末端执行器，13A…臂传感器，13E…执行器传感器，20…驱动部，30…控制装置，31…控制部，32…存储部，33…输送处理部，34…教示处理部。

Claims (7)

1.一种基板输送装置，具备：

臂；

末端执行器，与所述臂连结；

驱动部，使所述臂上升而使所述末端执行器接收基板；以及

控制部，对所述驱动部的输出进行控制来设定所述臂的上升速度，

所述末端执行器与所述臂之间的高度差为位置差分，

从所述末端执行器碰到所述基板起到所述末端执行器完成所述基板的接收为止的期间为过渡期间，

所述控制部将使针对所述位置差分按时间进行二阶微分得到的所述位置差分的加速度和针对所述位置差分按时间进行三阶微分得到的所述位置差分的加加速度中的任意一个的振幅在所述过渡期间比所述过渡期间之前小的所述上升速度的上限值，设定为所述过渡期间中的所述上升速度的上限值。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其中，

所述控制部使所述过渡期间中的所述上升速度比所述过渡期间之前低，以使所述过渡期间中的所述振幅比所述过渡期间之前小。

3.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其中，

所述控制部将所述过渡期间中的所述上升速度设定为所述上限值以下，以使所述位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅相比所述过渡期间在所述过渡期间之后变大。

4.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其中，

所述控制部在所述过渡期间之后使所述上升速度提高，以使所述过渡期间之后的所述振幅比所述过渡期间大。

5.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其中，

所述基板输送装置具备第1振幅检测部，该第1振幅检测部对所述振幅进行检测，

所述控制部进行如下的教示处理：以彼此不同的所述上升速度重复进行所述末端执行器的上升，并将与所述过渡期间之前的所述第1振幅检测部的检测结果相比，所述过渡期间的所述第1振幅检测部的检测结果变小的速度范围中的最大的上升速度教示为所述过渡期间中的所述上升速度的上限值。

6.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其中，

所述基板输送装置具备第2振幅检测部，该第2振幅检测部对所述振幅进行检测，

所述控制部进行如下的教示处理：以彼此不同的所述上升速度重复进行所述末端执行器的上升，并将与所述过渡期间之前的所述第2振幅检测部的检测结果相比，所述过渡期间之后的所述第2振幅检测部的检测结果变大的速度范围中的上限值以下的上升速度教示为所述过渡期间中的上升速度。

7.一种基板输送方法，包含：

设定与末端执行器连结的臂的上升速度；以及

通过以所设定的上升速度来使所述臂上升，从而使所述末端执行器朝向基板上升，使所述末端执行器接收所述基板，

所述末端执行器与所述臂之间的高度差为位置差分，

从所述末端执行器碰到所述基板时起到所述末端执行器完成所述基板的接收为止的期间为过渡期间，

在设定所述上升速度中，将使针对所述位置差分按时间进行二阶微分得到的所述位置差分的加速度和针对所述位置差分按时间进行三阶微分得到的所述位置差分的加加速度中的任意一个的振幅在所述过渡期间比所述过渡期间之前小的所述上升速度的上限值，设定为所述过渡期间中的所述上升速度的上限值。

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