CN112553675B - 一种载具防漏液装置及电化学沉积设备 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种载具防漏液装置及电化学沉积设备，所述载具防漏液装置用于盛放从载具滴落的药液；所述载具防漏液装置包括：沿第一方向设置的导轨；防漏槽组件，所述防漏槽组件设置在所述导轨上，并能够沿所述导轨进行升降运动，以移动至所述载具上方或下方；及驱动所述防漏槽组件升降运动的驱动机构。本公开实施例提供的载具防漏液装置及电化学沉积设备，能够避免载具在工艺槽之间转移时化学药剂滴落，从而避免影响电化学沉积的均一性，避免化学药剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。

Description

一种载具防漏液装置及电化学沉积设备

技术领域

本发明涉及电化学沉积技术领域，尤其涉及一种载具防漏液装置及电化学沉积设备。

背景技术

在相关技术中，电化学沉积设备在基板电镀厚铜时，基板搭载到载具上，载具通过设定的工艺流程，到指定的工艺槽内进行工艺生产，当完成某个工艺槽工作后，搬运机构(例如，行车)会把载具从该工艺槽搬送至下一个工艺槽。在载具从工艺槽内移出时，载具上会沾满槽内化学药剂，在搬送过程中会有大量的化学药剂滴落。化学药剂的滴落产生不可控因素，影响其他工艺槽的工艺良率，腐蚀设备造成安全事故。

发明内容

本公开实施例提供了一种载具防漏液装置及电化学沉积设备，能够避免载具在工艺槽之间转移时化学药剂滴落，从而避免影响电化学沉积的均一性，避免化学药剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。

本公开实施例所提供的技术方案如下：

本公开实施例提供了一种载具防漏液装置，用于盛放从载具滴落的药液；所述载具防漏液装置包括：

沿第一方向设置的导轨；

防漏槽组件，所述防漏槽组件设置在所述导轨上，并能够沿所述导轨进行升降运动，以移动至所述载具上方或下方；

及驱动所述防漏槽组件升降运动的驱动机构。

示例性的，所述载具包括相对两侧，所述相对两侧中至少一侧为承载基板的承载面；

所述防漏槽组件至少包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分之间相互分离，并间隔预定距离，以分别位于所述载具的相对两侧；或者，所述第一部分和所述第二部分组合一起，而形成开口朝上的槽体结构。

示例性的，所述第一部分包括第一挡板结构，所述第二部分包括第二挡板结构，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构均包括顶端和底端；

所述第一挡板结构与所述第二挡板结构平行间隔设置；

或者，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构的底端连接一起，形成V字型槽体结构。

示例性的，所述第一挡板结构以可移动的方式设置在所述导轨上，所述第二挡板结构与所述第一挡板结构之间通过连杆连接，以使所述第一挡板结构在所述导轨上进行升降运动时，所述第二挡板结构同步升降。

示例性的，所述导轨上设置有滑块，所述第一挡板结构的顶端通过第一旋转轴连接在所述滑块上；所述第二挡板结构通过第二旋转轴与所述连杆连接。

示例性的，所述第一挡板结构的底端设有第一磁性部件；

所述第二挡板结构的底端设有第二磁性部件，

所述第一磁性部件和所述第二磁性部件相互配合，以使所述第一挡板结构的底端与所述第二挡板结构的底端相互连接或分离。

示例性的，所述第一磁性部件和所述第二磁性部件中至少一个为电磁部件。

示例性的，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构的底端设有密封条。

示例性的，所述导轨为齿条结构或丝杠结构，所述驱动机构包括伺服电机。

一种电化学沉积设备，包括：如上所述的载具防漏装置。

本公开实施例所带来的有益效果如下：

本公开实施例的载具防漏液装置及电化学沉积设备，设置有能够在导轨上升降的防漏槽组件，当载具在工艺槽内部进行工艺生产时，防漏槽组件可移动至载具的上方，当载具在当前工艺槽内工艺完成后，将载具从当前工艺槽提出过程中，防漏槽组件能够移动到载具底部，从而载具在搬送过程中化学药剂会被收集在防漏槽组件内，到达下一个工艺槽后，再提升至载具上方，这样，能够避免载具在工艺槽之间转移时化学药剂滴落，从而避免影响电化学沉积的均一性，避免化学药剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。

附图说明

图1表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置应用于电化学设备内时防漏盘组件在第一状态时的结构主视图；

图2表示表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置应用于电化学设备内时防漏盘组件在第一状态时的结构侧视图；

图3表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置的防漏盘组件在第一状态时的结构侧视图；

图4表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置的防漏盘组件在第二状态时的结构主视图；

图5表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置应用于电化学设备内时防漏盘组件在第二状态时的结构侧视图；

图6表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置的防漏盘组件在第一状态时的结构侧视图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在对本公开实施例提供的载具防漏液装置及电化学沉积设备进行详细说明之前，有必要对于相关技术进行以下说明：

在相关技术中，Mini LED作为一种市场前景广阔的新技术，具有薄膜化、微小化、阵列化的优势，将逐步导入产业应用。从终端应用场景来分，Mini LED的应用领域可以分为直接显示和背光两大场景。受益于两大场景的双重驱动，Mini LED市场规模有望迎来快速成长。为了降低能耗及避免长时间点灯导致背光源过热问题，需要尽可能大的降低走线通道阻抗。相关技术中，为了降低走线阻抗，通常通过导电层加厚来实现，就目前工艺而言，主要有磁控溅射和电化学沉积两种方案。但由于磁控溅射膜层越厚，玻璃基板形变量越大，制程中容易破片，而电化学沉积工艺是一种低成本的化学性成膜方式，可以沉积2～20um的厚金属，从而获得较低的电阻，电沉积具有效率高、应力低、风险小等优点。

电化学沉积设备在基板电镀厚铜时，基板搭载到载具上，载具通过设定的工艺流程，到指定的工艺槽内进行工艺生产，当完成某个工艺槽工作后，搬运机构(例如，行车)会把载具从该工艺槽搬送至下一个工艺槽。在载具从工艺槽内移出时，载具上会沾满槽内化学药剂，在搬送过程中会有大量的化学药剂滴落。化学药剂的滴落产生不可控因素，例如，化学药剂滴落到其他槽体，影响槽体内化学药剂的溶度值，影响电化学沉积的均一性；化学药剂滴落到其他大电流载具或机构，腐蚀设备内部电气和机构零部件，易发生电气机械安全事故；随着滴落到设备内部的化学药剂增多，加快了挥发，这些酸性腐蚀气体会逐渐腐蚀上下游设备。

因此，本公开实施例为了解决上述问题，提供了一种载具防漏液装置及电化学沉积设备，能够避免由于载具在工艺槽之间转移时化学药剂滴落，从而避免影响电化学沉积的均一性，避免化学药剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。

本公开实施例所提供的载具防漏装置用于盛放从载具滴落的药液，如图1至图6所示，该载具防漏液装置包括：

沿第一方向设置的导轨100；

防漏槽组件200，所述防漏槽组件200设置在所述导轨100上，并能够沿所述导轨100进行升降运动，以移动至所述载具10上方或下方；

及驱动所述防漏槽组件200升降运动的驱动机构300。

本公开实施例的载具10防漏液装置及电化学沉积设备，设置有能够在导轨100上升降的防漏槽组件200，当载具10在工艺槽内部进行工艺生产时，防漏槽组件200可移动至载具10的上方，当载具10在当前工艺槽内工艺完成后，将载具10从当前工艺槽提出过程中，防漏槽组件200能够移动到载具10底部，从而载具10在搬送过程中化学药剂会被收集在防漏槽组件200内，到达下一个工艺槽后，再提升至载具10上方，这样，能够避免载具10在工艺槽之间转移时化学药剂滴落，从而避免影响电化学沉积的均一性，避免化学药剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。

需要说明的是，所述第一方向可以是与水平面垂直的竖直方向，也可以是，与水平面呈一定角度的方向，例如，所述角度在0～30°之内。

在上述方案中，所述防漏槽组件200的结构可以有多种，只要具有能够承接从载具10滴落的药液的槽体结构即可，考虑到在电化学沉积设备内，设备空间有限，需要具有足够空间供该防漏槽组件200在载具10移出工艺槽时从载具10上方移动至载具10底部，若将所述防漏槽组件200设计为一个整体的槽体结构，需要预留的防漏槽组件200活动空间较大，也就是说，整个载具10防漏液装置的结构所占空间大。

为了减少整个载具10防漏液装置的结构空间，本公开提供了一种示例性的实施例中，所述载具10包括相对两侧，所述相对两侧中至少一侧为承载基板的承载面；

所述防漏槽组件200至少包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分之间具有第一状态和第二状态，

在所述第一状态，所述第一部分和所述第二部分处于分离状态，并间隔预定距离，以分别位于所述载具10的相对两侧；

在所述第二状态，所述第一部分和所述第二部分组合，而形成开口朝上的槽体结构。

在上述方案中，所述防漏槽组件200设计为分体结构，至少包括第一部分和第二部分，这样，当载具10在工艺槽体内部进行工艺生产时，防漏槽组件200位于载具10的上方，此时，第一部分和第二部分处于分离状态，而分别位于所述载具10的相对两侧；当前工艺槽内工艺完成后，将载具10提出过程中，防漏槽组件200的第一部分和第二部分可下降移动到载具10的底部，且两侧的第一部分和第二部分组合一个而形成开口朝上的槽体结构，此时，载具10在搬送过程中化学药剂会被收集在槽体结构内，且在到达下一个工艺槽后，防漏槽组件200的第一部分和第二部分再自动打开呈分离状态，并提升至载具10上方。这样的结构，可以有效的减少防漏槽组件200的活动空间，简化结构。

在一些示例性的实施例中，如图所示，所述第一部分包括第一挡板结构210，所述第二部分包括第二挡板结构220，所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220均包括顶端和底端；在所述第一状态时，所述第一挡板结构210与所述第二挡板结构220平行间隔设置；在所述第二状态时，所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220中至少一个旋转，以使所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220的底端连接一起，形成V字型槽体结构。

采用上述方案，所述第一部分和所述第二部分均为挡板结构，两个挡板结构在位于载具10上方时可呈相互平行状态，在载具10从工艺槽移出时，则两个挡板结构可平行下降，到达载具10底部时，两个挡板结构的底端连接一起，而形成V字型槽体结构。

需要说明的是，所述第一部分和所述第二部分的具体结构可以不限此，且所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220可以只有一个发生旋转，也可以是两个均进行旋转，以使得两个挡板结构底端连接一起。

此外，在一些示例性的实施例中，所述第一挡板结构210以可移动的方式设置在所述导轨100上，所述第二挡板结构220与所述第一挡板结构210之间通过连杆240连接，以使所述第一挡板结构210在所述导轨100上进行升降运动时，所述第二挡板结构220同步升降。

采用上述方案，所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220之间通过连杆240联动，可实现同步升降，这样，所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220中可以仅设置一个导轨100和驱动机构300即可。当然可以理解的是，在实际应用中，也可以是，导轨100和驱动机构300设置有两组，分别对应第一挡板结构210和第二挡板结构220。

此外，在一些示例性的实施例中，所述导轨100上设置有滑块，所述第一挡板结构210的顶端通过第一旋转轴连接在所述滑块上；所述第二挡板结构220通过第二旋转轴与所述连杆240连接。

采用上述方案，所述第一挡板结构210通过第一旋转轴与滑块连接，这种活动连接方式，能够实现所述第一挡板结构210在导轨100上进行升降运动以及旋转运动，同样，所述第二挡板结构220通过第二旋转轴与所述连杆240连接，实现所述第二挡板结构220的升降和旋转运动。当然可以理解的是，在实际应用中，所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220与导轨100之间的连接方式并不限于此。

此外，在本公开一些示例性的实施例中，如图1至图6所示，所述第一挡板结构210的底端设有第一磁性部件211；所述第二挡板结构220的底端设有第二磁性部件221，所述第一磁性部件211和所述第二磁性部件221相互配合，以使所述第一挡板结构210的底端与所述第二挡板结构220的底端相互连接或分离。

示例性的，所述第一磁性部件211和所述第二磁性部件221中至少一个为电磁部件。

采用上述方案，通过在所述第一挡板结构210和第二挡板结构220的底端分别设置第一磁性部件211和第二磁性部分，所述第一磁性部件211和所述第二磁性部件221中至少一个为电磁部件，另一个可以为永磁体或电磁部件，这样，通过控制电磁部件上的电流信号，可控制第一挡板结构210和第二挡板结构220在第一状态时分离，在第二状态时底端连接的目的。

需要说明的是，在实际应用中，控制第一挡板结构210和第二挡板结构220在第一状态时分离，在第二状态时底端连接的方式不限于此，例如，还可以是，在所述导轨100的底端设置导向结构，例如导向斜坡等，当第一挡板结构210和所述第二挡板结构220移动至所述导轨100的底端时，由所述导向结构引导而发生旋转倾斜，形成V字型槽体结构。

此外，在一些示例性的实施例中，所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220的底端设有密封条230。

示例性的，所述密封条230可采用具有切角的密封条，如图2和图6所示，由于在第二状态时所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220的底端连接一起形成V字型槽体结构，因此，第一挡板结构210和第二挡板结构220之间会具有一定的夹角，那么，位于第一挡板结构210底端的密封条和位于第二挡板结构220底端的密封条会紧密接触贴合，以确保密封不漏液。而密封条具有切角，也就是说，第一挡板结构210底端的密封条靠近第二挡板结构220的一端具有第一斜切面231，第二挡板结构220底端的密封条靠近第一挡板结构210的一端具有第二斜切面232，所述第一斜切面231和所述第二斜切面232能够实现紧密接触贴合，以保证密封性。

还需要说明的是，所述第一挡板结构210上的密封条的切角与所述第一挡板结构210的倾斜角度一致，所述第二挡板结构220上的密封条的切角与所述第二挡板结构220的倾斜角度一致。例如，所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220相对于水平面的倾斜方向相反，倾斜角度均为45°，那么，所述第一挡板结构210和所述第二挡板结构220上的密封条的切角也均为45°。

此外，在一些示例性的实施例中，所述导轨100为齿条结构或丝杠结构，所述驱动机构300包括伺服电机。

采用上述方案，通过伺服电机控制，由PLC(编程控制器)直接发送脉冲指令，精准且迅速地控制防漏盘组件运行至指定位置。

所述导轨100可采用耐腐蚀材料制作，可安全平稳的带动防漏槽组件200升降运动。

可以理解的是，所述导轨100及所述驱动机构300的具体结构不限于此。

本公开实施例提供的载具10防漏装置适用于Ni、Ag等金属电化学沉积以及大尺寸湿法式设备相关领域。

此外，本公开实施例还提供一种电化学沉积设备，包括：本公开实施例提供的载具10防漏装置。显然，本公开实施例提供的电化学沉积设备也能够带来本公开实施例提供的载具10防漏装置所能带来的有益效果，在此不再赘述。

有以下几点需要说明：

(1)本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。

(2)为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”或者可以存在中间元件。

(3)在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。

以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种载具防漏液装置，其特征在于，用于盛放从载具滴落的药液；其特征在于，所述载具防漏液装置包括：

沿第一方向设置的导轨；

防漏槽组件，所述防漏槽组件设置在所述导轨上，并能够沿所述导轨进行升降运动，以移动至所述载具上方或下方；

及驱动所述防漏槽组件升降运动的驱动机构；

所述载具包括相对两侧，所述相对两侧中至少一侧为承载基板的承载面；

所述防漏槽组件至少包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分之间相互分离，并间隔预定距离，以分别位于所述载具的相对两侧；或者，所述第一部分和所述第二部分组合一起，而形成开口朝上的槽体结构；

所述第一部分包括第一挡板结构，所述第二部分包括第二挡板结构，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构均包括顶端和底端；

所述第一挡板结构与所述第二挡板结构平行间隔设置，或者，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构的底端连接一起，形成V字型槽体结构；

所述第一挡板结构以可移动的方式设置在所述导轨上，所述第二挡板结构与所述第一挡板结构之间通过连杆连接，以使所述第一挡板结构在所述导轨上进行升降运动时，所述第二挡板结构同步升降；

所述第一挡板结构的底端设有第一磁性部件；

所述第二挡板结构的底端设有第二磁性部件，

所述第一磁性部件和所述第二磁性部件相互配合，以使所述第一挡板结构的底端与所述第二挡板结构的底端相互连接或分离。

2.根据权利要求1所述的载具防漏装置，其特征在于，

所述导轨上设置有滑块，所述第一挡板结构的顶端通过第一旋转轴连接在所述滑块上；所述第二挡板结构通过第二旋转轴与所述连杆连接。

3.根据权利要求1所述的载具防漏装置，其特征在于，

所述第一磁性部件和所述第二磁性部件中至少一个为电磁部件。

4.根据权利要求1所述的载具防漏装置，其特征在于，

所述第一挡板结构和所述第二挡板结构的底端设有密封条。

5.根据权利要求1所述的载具防漏装置，其特征在于，

所述导轨为齿条结构或丝杠结构，所述驱动机构包括伺服电机。

6.一种电化学沉积设备，其特征在于，包括：如权利要求1至5任一项所述的载具防漏装置。

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