CN112428100A - 一种圆形半导体材料快速抛磨设备 - Google Patents

一种圆形半导体材料快速抛磨设备 Download PDF

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Abstract

本发明涉及半导体材料技术领域，且公开了一种圆形半导体材料快速抛磨设备，包括固定架，所述固定架的上方活动连接有工作台，所述工作台的上方活动连接有转动轮，通过顶杆、推板、推杆、铰接杆、齿板、定位齿轮和传动齿轮的配合，使得四个夹爪能够将圆形的材料固定夹持和放开，推杆继续下降时，还可以通过弧形压紧块将材料压紧在工作台上，方便打磨抛光，通过上下两组推板、推杆的作用，使得抛磨过程和上料过程能同时进行，通过电磁推块、移动杆和卡块的配合，使得棘轮能分别带动顶杆或整个转动轮一起转动，方便了上下两组夹爪的切换，节省了抛磨过程中重复上料的时间，提高了工作效率，进一步提升了该装置的实用性。

Description

一种圆形半导体材料快速抛磨设备
技术领域
本发明涉及半导体材料技术领域，具体为一种圆形半导体材料快速抛磨设备。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体材料在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。
半导体材料生产过程中需要进行抛磨处理，而现有的抛磨设备，下料、抛磨过程是分步进行，需要两套设备配合完成，设备结构复杂，且缺少灰尘处理装置，不易清洁维护，上料时间长，浪费时间且打磨效率不高。
为了解决上述问题，发明者提供了一种圆形半导体材料快速抛磨设备，具备抛磨和上料能同时进行，抛磨效率高，且能对灰尘收集处理的优点。
发明内容
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种圆形半导体材料快速抛磨设备，包括固定架，所述固定架的上方活动连接有工作台，所述工作台的上方活动连接有转动轮，所述转动轮的中间活动连接有棘轮，所述棘轮的正后方活动连接有定位盘，所述定位盘的上面活动连接有卡块，所述棘轮的正前方活动连接有顶杆，所述定位盘的左侧活动连接有电磁推块，所述电磁推块的右侧活动连接有移动杆，所述顶杆的上方活动连接有推板，所述推板的两侧活动连接有斜杆，所述斜杆的上方活动连接有活动块，所述推板的上方活动连接有推杆，所述推杆的上方两侧活动连接有铰接杆，所述铰接杆的内侧活动连接有连接块，所述连接块的内侧活动连接有齿板，所述齿板的内侧活动连接有定位齿轮，所述定位齿轮的外侧活动连接有传动齿轮，所述传动齿轮的外侧活动连接有夹爪。
优选的，所述卡块的中间活动连接在定位盘的外侧边缘，棘轮、定位盘和顶杆三者同轴，卡块的正后方和定位盘之间活动连接有回复弹簧。
优选的，所述转动轮设置有内外两层框架，且内层框架上等间距开设有四组滑槽，滑槽内设置有缓冲弹簧，转动轮与定位盘活动连接。
优选的，所述斜杆的一端铰接在推板的侧边，一端铰接在活动块上，且活动块设置在转动轮内层框架的滑槽内。
优选的，所述推杆远离推板的一端设置有弧形的压紧块。
优选的，所述齿板的两侧均设置有与定位齿轮啮合的轮齿，齿板的前后方各活动连接有一个定位齿轮，齿板的外侧活动连接有伸缩轴套，轴套内设置有定位滑槽，齿板上的定位块活动连接在滑槽内。
优选的，所述工作台的下方设置有转动电机，转动电机的两侧设置有吸尘风机和碎屑回收装置，同时工作台上配套设置有固定夹持装置。
有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种圆形半导体材料快速抛磨设备，具备以下有益效果：
1、该圆形半导体材料快速抛磨设备，通过顶杆、推板、推杆、铰接杆、齿板、定位齿轮和传动齿轮的配合，使得四个夹爪能够将圆形的材料固定夹持和放开，推杆继续下降时，还可以通过弧形压紧块将材料压紧在工作台上，方便打磨抛光，通过上下两组推板、推杆的作用，使得抛磨过程和上料过程能同时进行，大大提高了工作效率。
2、该圆形半导体材料快速抛磨设备，通过电磁推块、移动杆和卡块的配合，使得棘轮能分别带动顶杆或整个转动轮一起转动，方便了上下两组夹爪的切换，节省了抛磨过程中重复上料的时间，进一步提升了该装置的实用性。
附图说明
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明转动轮部分结构示意图；
图3为本发明顶杆部分结构示意图；
图4为本发明图2的铰接杆部分结构放大图；
图5为本发明图4的A部分结构俯视图。
图中：1、固定架；2、工作台；3、转动轮；4、棘轮；5、定位盘；6、卡块；7、顶杆；8、电磁推块；9、移动杆；10、推板；11、斜杆；12、活动块；13、推杆；14、铰接杆；15、连接块；16、齿板；17、定位齿轮；18、传动齿轮；19、夹爪。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-5，一种圆形半导体材料快速抛磨设备，包括固定架1，固定架1的上方活动连接有工作台2，工作台2的下方设置有转动电机，转动电机的两侧设置有吸尘风机和碎屑回收装置，同时工作台2上配套设置有固定夹持装置，工作台2的上方活动连接有转动轮3，转动轮3的中间活动连接有棘轮4，棘轮4的正后方活动连接有定位盘5，转动轮3设置有内外两层框架，且内层框架上等间距开设有四组滑槽，滑槽内设置有缓冲弹簧，且转动轮3与定位盘5活动连接，定位盘5的上面活动连接有卡块6，棘轮4的正前方活动连接有顶杆7，卡块6的中间活动连接在定位盘5的外侧边缘，棘轮4、定位盘5和顶杆7三者同轴，卡块6的正后方和定位盘5之间活动连接有回复弹簧，定位盘5的左侧活动连接有电磁推块8，电磁推块8的右侧设置有一组磁铁，在磁铁的右侧活动连接有移动杆9，顶杆7的上方活动连接有推板10，推板10的两侧活动连接有斜杆11，斜杆11的一端铰接在推板10的侧边，一端铰接在活动块12上，且活动块12设置在转动轮3内层框架的滑槽内，推板10的上方活动连接有推杆13，推杆13远离推板10的一端设置有弧形的压紧块，推杆13的上方两侧活动连接有铰接杆14，铰接杆14的内侧活动连接有连接块15，连接块15的内侧活动连接有齿板16，齿板16的内侧活动连接有定位齿轮17，齿板16的两侧均设置有与定位齿轮17啮合的轮齿，齿板16的前后方各活动连接有一个定位齿轮17，齿板16的外侧活动连接有伸缩轴套，轴套内设置有定位滑槽，齿板16上的定位块活动连接在滑槽内，定位齿轮17的外侧活动连接有传动齿轮18，传动齿轮18的外侧活动连接有夹爪19，夹爪19的内侧设置有保护层，防止半导体材料夹持过程中造成崩边，损坏材料，该装置在使用过程中可以配合有上料结构，上料机构设置在转动轮3的顶部。
工作过程及原理：如图5所示，待抛磨的圆形半导体材料被四个夹爪19夹持，此时给电磁推块8通电，当电磁推块8通电时，根据奥斯特电流的磁效应可知，电磁推块8会产生一个磁场，磁场产生的磁性与右侧磁铁相互排斥，推动磁铁和移动杆9向右侧移动，移动杆9将卡块6顶起，此时驱动装置带动棘轮4转动，棘轮4带动顶杆7转动，当顶杆7的凸起部分接触到下方的推板10，推板10和推杆13被推动向下，同时推板10两侧的斜杆11张开，同时带动活动块12压缩滑槽内的弹簧向远离推杆13的方向移动，推杆13被推动向下时，两侧铰接的铰接杆14带动连接块15向两侧移动，连接块15带动齿板16外侧移动，此时定位齿轮17逆时针转动，通过相互啮合的传动齿轮18带动夹爪19向两侧张开，此时夹爪19内侧的圆形半导体材料落到工作台2上，有工作台2上的夹持装置固定，顶杆7继续转动，推杆13继续下降，直至推杆13末端的弧形压紧块将半导体材料压紧，然后启动电机带动工作台2转动，开始抛磨，转动轮3两侧的外框架为弧形，使得打孔打磨产生的废屑不易堆积，同时，工作台2下方的吸尘风机开启，收集废屑，保持一个良好的工作环境。
当顶杆7下方的凸起接触到下方的推板10的同时，顶杆7上方的凸起会接触到上方的推板10，同样的，推板10和推杆13上升，斜杆11和铰接杆14打开，两侧的夹爪19同样打开，此时配合上方的放料机构，将待抛磨的半导体材料放置在两个夹爪19之间，当顶杆7继续转动，凸起部分离开推板10时，在滑槽内弹簧的回复力作用下，推杆13和推杆13恢复初始位置，夹爪19重新闭合，通过上下两组推板10、推杆13的作用，使得抛磨过程和上料过程能同时进行，节省了重复上料的时间，大大提高了工作效率。
然后给电磁推块8断电，在磁铁的吸附力和弹簧的回复力作用下，移动杆9向左侧移动，卡块6复位，将棘轮4卡住，此时棘轮4会通过定位盘5带动整个转动轮3转动，当上方夹持有待抛磨半导体材料的夹爪19转动到最下方时，再次给电磁推块8通电，重复进行抛磨过程。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种圆形半导体材料快速抛磨设备，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)的上方活动连接有工作台(2)，所述工作台(2)的上方活动连接有转动轮(3)，所述转动轮(3)的中间活动连接有棘轮(4)，所述棘轮(4)的正后方活动连接有定位盘(5)，所述定位盘(5)的上面活动连接有卡块(6)，所述棘轮(4)的正前方活动连接有顶杆(7)，所述定位盘(5)的左侧活动连接有电磁推块(8)，所述电磁推块(8)的右侧活动连接有移动杆(9)，所述顶杆(7)的上方活动连接有推板(10)，所述推板(10)的两侧活动连接有斜杆(11)，所述斜杆(11)的上方活动连接有活动块(12)，所述推板(10)的上方活动连接有推杆(13)，所述推杆(13)的上方两侧活动连接有铰接杆(14)，所述铰接杆(14)的内侧活动连接有连接块(15)，所述连接块(15)的内侧活动连接有齿板(16)，所述齿板(16)的内侧活动连接有定位齿轮(17)，所述定位齿轮(17)的外侧活动连接有传动齿轮(18)，所述传动齿轮(18)的外侧活动连接有夹爪(19)。
2.根据权利要求1所述的一种圆形半导体材料快速抛磨设备，其特征在于：所述卡块(6)的中间活动连接在定位盘(5)的外侧边缘，棘轮(4)、定位盘(5)和顶杆(7)三者同轴，卡块(6)的正后方和定位盘(5)之间活动连接有回复弹簧。
3.根据权利要求1所述的一种圆形半导体材料快速抛磨设备，其特征在于：所述转动轮(3)设置有内外两层框架，且内层框架上等间距开设有四组滑槽，滑槽内设置有缓冲弹簧，转动轮(3)与定位盘(5)活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种圆形半导体材料快速抛磨设备，其特征在于：所述斜杆(11)的一端铰接在推板(10)的侧边，一端铰接在活动块(12)上，且活动块(12)设置在转动轮(3)内层框架的滑槽内。
5.根据权利要求1所述的一种圆形半导体材料快速抛磨设备，其特征在于：所述推杆(13)远离推板(10)的一端设置有弧形的压紧块。
6.根据权利要求1所述的一种圆形半导体材料快速抛磨设备，其特征在于：所述齿板(16)的两侧均设置有与定位齿轮(17)啮合的轮齿，齿板(16)的前后方各活动连接有一个定位齿轮(17)，齿板(16)的外侧活动连接有伸缩轴套，轴套内设置有定位滑槽，齿板(16)上的定位块活动连接在滑槽内。
7.根据权利要求1所述的一种圆形半导体材料快速抛磨设备，其特征在于：所述工作台(2)的下方设置有转动电机，转动电机的两侧设置有吸尘风机和碎屑回收装置，同时工作台(2)上配套设置有固定夹持装置。
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