CN112277176A - 一种石英产品的固定方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种石英产品的固定方法，包括以下步骤：（1）清洁石英定盘和待加工的石英产品的表面；（2）在石英定盘上标记与待加工的石英产品相适配的粘蜡区域；（3）将石英定盘和待加工的石英产品分别加热至65℃以上；（4）在石英定盘上标记有粘蜡区域内均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；（5）将待加工的石英产品放置到石英定盘的粘蜡区域内；（6）下压待加工的石英产品挤出小薄层内的气泡；（7）使用擦拭纸将待加工的石英产品四周多余的石蜡擦除；（8）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品固定在石英定盘的表面；优点是有利于提高加工精度，且不会留下接刀痕。
Description
技术领域
本发明属于半导体加工技术领域，尤其是涉及一种石英产品的固定方法。
背景技术
石英产品在加工时，需要先将待加工的石英产品固定到加工中心上，然后通过加工中心将待加工的石英产品加工至指定的形状。传统的固定待加工的石英产品的方法如图1所示，在加工中心1上设置多个抵块3，多个抵块3分布在待加工的石英产品2的四周并与待加工的石英产品2的侧面抵接，由于该待加工的石英产品2的部分侧面被抵块3遮挡，刀具仅能从上往下加工至接近抵块3的高度处，然后将该待加工的石英产品2翻面进行加工，无法一次完成。
传统的固定方法存在以下多个问题：1、该固定方法对应的加工精度仅为0.05mm；2、抵块在反复使用的过程中，抵块的抵接面会形变，累积误差增大，影响加工精度；3、刀具会在待加工的石英产品的侧面留下接刀痕，影响产品外观。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种有利于提高加工精度的石英产品的粘合方法，且不会留下接刀痕。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种石英产品的固定方法，包括以下步骤：
（1）清洁石英定盘和待加工的石英产品的表面；
（2）在石英定盘上标记与待加工的石英产品相适配的粘蜡区域；
（3）将石英定盘和待加工的石英产品分别加热至65℃以上；
（4）在石英定盘上标记有粘蜡区域内均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；
（5）将待加工的石英产品放置到石英定盘的粘蜡区域内；
（6）下压待加工的石英产品挤出小薄层内的气泡；
（7）使用擦拭纸将待加工的石英产品四周多余的石蜡擦除；
（8）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品固定在石英定盘的表面。
所述的步骤（1）具体的处理方式为将石英定盘需要粘着的一面以及待加工的石英产品需要粘着的一面用热水冲淋，然后用含有洗净粉泡沫的海绵擦拭干净，最后用气枪吹干。该结构中，石英定盘需要粘着的一面以及待加工的石英产品需要粘着的一面要求无灰尘、异物，确保后续石英定盘与待加工的石英产品粘着时稳定、可靠。
所述的步骤（3）具体的处理方式为将石英定盘和待加工的石英产品分别放置到90℃的加热平台上进行加热。该结构中，将加热平台的温度设置在90℃，石英定盘和待加工的石英产品能够快速升温至65℃以上，且石英定盘和待加工的石英产品最高仅能被加热到90℃，不会发生加热温度过高可能存在的问题。
所述的步骤（4）中的小薄层的厚度范围为0.3mm～0.6mm。该结构中，小薄层冷却凝固后将待加工的石英产品与石英定盘粘着，抗拉力大于100N/cm2，抗剪切力大于60N/cm2，能够有效粘着待加工的石英产品，可靠性较好，若小薄层的厚度小于0.3mm，无法起到有效粘着待加工的石英产品的目的，若小薄层的厚度大于0.6mm，多余的石蜡也会在步骤（6）时被挤出，浪费石蜡，且增加步骤（7）中擦拭石蜡的难度。
所述的步骤（6）具体的处理方式为将双手按在待加工的石英产品的上端面上并位于相对的两侧边缘，然后通过双手下压待加工的石英产品将小薄层内直径不小于0.3mm的所有气泡挤出。该结构中，由于小薄层内的气泡会造成空穴，减少石英定盘与待加工的石英产品之间有效的粘着面积，通过该方式能够挤出大部分的气泡，确保石英定盘与待加工的石英产品有效粘着，有利于提高可靠性，且直径不小于0.3mm的气泡是肉眼可见的，操作较为方便。
一种石英产品的固定方法，包括以下步骤：
（1）清洁石英定盘和多片相同的待加工的石英产品的表面；
（2）在石英定盘上标记与待加工的石英产品相适配的粘蜡区域；
（3）将石英定盘和多片待加工的石英产品分别加热至65℃以上；
（4）在多片待加工的石英产品的下端面上均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；
（5）将多片待加工的石英产品沿竖直方向叠放到石英定盘的粘蜡区域内；
（6）下压待加工的石英产品挤出小薄层内的气泡；
（7）使用直角块校准多片待加工的石英产品是否叠放整齐；
（8）使用擦拭纸将待加工的石英产品四周多余的石蜡擦除；
（9）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品固定在石英定盘的表面；
（10）使用直角块再次校准多片待加工的石英产品是否叠放整齐。
所述的步骤（7）具体的处理方式为将直角块的一边抵接在石英定盘上，直角块的另一边抵接在所有待加工的石英产品的侧面上。若某一片待加工的石英产品未与直角块的另一边相抵接，说明待加工的石英产品未叠放整齐，工作人员需要再微调未叠放整齐的待加工的石英产品，当所有待加工的石英产品均与直角块的另一边相抵接时，说明待加工的石英产品已叠放整齐。
与现有技术相比，本发明的优点在于待加工的石英产品通过石蜡粘着在石英定盘上进行固定，石蜡不会遮挡待加工的石英产品的侧面，刀具可一次性完成对待加工的石英产品的加工，无接刀动作，不会留下接刀痕，同时该固定方法对应的加工精度能够达到0.03mm，有效提高加工精度，且石蜡相对于抵块累积误差更小，有利于确保加工精度。
附图说明
图1为传统的石英产品固定后的结构示意图；
图2为本发明的石英产品固定后的结构示意图一；
图3为本发明的石英产品固定后的结构示意图二。
图中：1、加工中心；2、待加工的石英产品；3、抵块；4、石英定盘。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
实施例一：如图所示，一种石英产品的固定方法，包括以下步骤：
（1）清洁石英定盘4和待加工的石英产品2的表面；
（2）在石英定盘4上标记与待加工的石英产品2相适配的粘蜡区域；
（3）将石英定盘4和待加工的石英产品2分别加热至65℃以上；
（4）在石英定盘4上标记有粘蜡区域内均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；
（5）将待加工的石英产品2放置到石英定盘4的粘蜡区域内；
（6）下压待加工的石英产品2挤出小薄层内的气泡；
（7）使用擦拭纸将待加工的石英产品2四周多余的石蜡擦除；
（8）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品2固定在石英定盘4的表面。
本实施例中，步骤（1）具体的处理方式为将石英定盘4需要粘着的一面以及待加工的石英产品2需要粘着的一面用热水冲淋，然后用含有洗净粉泡沫的海绵擦拭干净，最后用气枪吹干。
本实施例中，当待加工的石英产品2呈圆形时，步骤（2）具体的处理方式为将该待加工的石英产品2放置到石英定盘4上，使用记号笔沿该待加工的石英产品2的边缘在石英定盘4上画圈，然后拿起该待加工的石英产品2；当待加工的石英产品2呈圆环状时，步骤（2）具体的处理方式为将该待加工的石英产品2放置到石英定盘4上，使用记号笔沿该待加工的石英产品2的外圈在石英定盘4上画圈，以及沿该待加工的石英产品2的内圈在石英定盘4上画圈，然后拿起该待加工的石英产品2。
本实施例中，步骤（3）具体的处理方式为将石英定盘4和待加工的石英产品2分别放置到90℃的加热平台上进行加热。
本实施例中，步骤（4）中的小薄层的厚度范围为0.3mm～0.6mm，该厚度的小薄层冷却凝固后将待加工的石英产品与石英定盘粘着，抗拉力大于100N/cm2，抗剪切力大于60N/cm2，可靠性较好。
本实施例中，步骤（6）具体的处理方式为将双手按在待加工的石英产品2的上端面上并位于相对的两侧边缘，然后通过双手下压待加工的石英产品2将小薄层内直径不小于0.3mm的所有气泡挤出。在实际按压时，工作人员将双手放在多组相对的两侧边缘进行按压，如0°和180°两侧边缘、45°和225°两侧边缘、90°和270°两侧边缘、135°和315°两侧边缘。
实施例二：一种石英产品的固定方法，包括以下步骤：
（1）清洁石英定盘4和多片相同的待加工的石英产品2的表面；
（2）在石英定盘4上标记与待加工的石英产品2相适配的粘蜡区域；
（3）将石英定盘4和多片待加工的石英产品2分别加热至65℃以上；
（4）在多片待加工的石英产品2的下端面上均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；
（5）将多片待加工的石英产品2沿竖直方向叠放到石英定盘4的粘蜡区域内；
（6）下压待加工的石英产品2挤出小薄层内的气泡；
（7）使用直角块校准多片待加工的石英产品2是否叠放整齐；
（8）使用擦拭纸将待加工的石英产品2四周多余的石蜡擦除；
（9）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品2固定在石英定盘4的表面；
（10）使用直角块再次校准多片待加工的石英产品2是否叠放整齐。
本实施例中，步骤（7）具体的处理方式为将直角块的一边抵接在石英定盘4上，直角块的另一边抵接在所有待加工的石英产品2的侧面上。
本实施例中，步骤（10）具体的处理方式为将直角块的一边抵接在石英定盘4上，直角块的另一边抵接在所有待加工的石英产品2的侧面上，其目的为复校准多片待加工的石英产品2是否叠放整齐。
上述的待加工的石英产品2与石英定盘4固定后，搬到加工中心上，通过抵块或压块将石英定盘4进行固定，然后即可通过加工中心的刀具对待加工的石英产品2进行加工，加工完成后通过热水冲淋使小薄层融化，加工完成的石英产品与石英定盘之间、相邻的加工完成的石英产品可分离。
当采用传统的石英产品固定方法加工石英产品时，其加工精度仅为0.05mm，合格率仅能达到80%，实施例一为单片石英产品固定方法，实施例二为多片石英产品固定方法，两者的加工精度均能达到0.03mm，合格率均能够达到95%。
当采用传统的石英产品固定方法时，加工单片石英产品所需的时间有：①固定待加工的石英产品5min；②加工上半部分5h；③将待加工的石英产品翻面固定5min；④加工剩余的部分5h。故加工单片石英产品所需的时间为10h10min，加工十片石英产品所需的时间为101h40min，且每过5h工作人员就需要进行操作，操作频率较高。
当采用实施例一的石英产品固定方法时，加工单片石英产品所需的时间有：①加热以及冷却石英定盘、待加工的石英产品总共用时20min；②将待加工的石英产品粘着在石英定盘上所需时间为3min；③加工所需时间10h。故加工单片石英产品所需的时间为10h23min，加工时间上相较于传统的石英产品固定方法较为接近，每过10h工作人员就需要进行操作，可降低工作人员的操作频率。
当采用实施例二的石英产品固定方法时，加工十片石英产品所需的时间有：①加热以及冷却石英定盘、十片待加工的石英产品总共用时20min；②将十片待加工的石英产品进行粘着所需时间为30min；③加工所需时间100h。故加工十片石英产品所需的时间为100h50min，加工时间上相较于传统的石英产品固定方法有所提升，每过100h工作人员才需要进行操作，大大降低工作人员的操作频率。
Claims (7)
1.一种石英产品的固定方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）清洁石英定盘和待加工的石英产品的表面；
（2）在石英定盘上标记与待加工的石英产品相适配的粘蜡区域；
（3）将石英定盘和待加工的石英产品分别加热至65℃以上；
（4）在石英定盘上标记有粘蜡区域内均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；
（5）将待加工的石英产品放置到石英定盘的粘蜡区域内；
（6）下压待加工的石英产品挤出小薄层内的气泡；
（7）使用擦拭纸将待加工的石英产品四周多余的石蜡擦除；
（8）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品固定在石英定盘的表面。
2.根据权利要求1所述的一种石英产品的固定方法，其特征在于所述的步骤（1）具体的处理方式为将石英定盘需要粘着的一面以及待加工的石英产品需要粘着的一面用热水冲淋，然后用含有洗净粉泡沫的海绵擦拭干净，最后用气枪吹干。
3.根据权利要求1所述的一种石英产品的固定方法，其特征在于所述的步骤（3）具体的处理方式为将石英定盘和待加工的石英产品分别放置到90℃的加热平台上进行加热。
4.根据权利要求1所述的一种石英产品的固定方法，其特征在于所述的步骤（4）中的小薄层的厚度范围为0.3mm～0.6mm。
5.根据权利要求1所述的一种石英产品的固定方法，其特征在于所述的步骤（6）具体的处理方式为将双手按在待加工的石英产品的上端面上并位于相对的两侧边缘，然后通过双手下压待加工的石英产品将小薄层内直径不小于0.3mm的所有气泡挤出。
6.一种石英产品的固定方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）清洁石英定盘和多片相同的待加工的石英产品的表面；
（2）在石英定盘上标记与待加工的石英产品相适配的粘蜡区域；
（3）将石英定盘和多片待加工的石英产品分别加热至65℃以上；
（4）在多片待加工的石英产品的下端面上均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；
（5）将多片待加工的石英产品沿竖直方向叠放到石英定盘的粘蜡区域内；
（6）下压待加工的石英产品挤出小薄层内的气泡；
（7）使用直角块校准多片待加工的石英产品是否叠放整齐；
（8）使用擦拭纸将待加工的石英产品四周多余的石蜡擦除；
（9）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品固定在石英定盘的表面；
（10）使用直角块再次校准多片待加工的石英产品是否叠放整齐。
7.根据权利要求6所述的一种石英产品的固定方法，其特征在于所述的步骤（7）具体的处理方式为将直角块的一边抵接在石英定盘上，直角块的另一边抵接在所有待加工的石英产品的侧面上。
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