CN211682939U - 石英粘接设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了石英粘接设备，属于半导体及石英材料加工技术领域，包括箱体，箱体其内形成腔体，箱体的腔体内安装有加热器和温控器，温控器连接有温度传感器，所述箱体的顶面上设置有加热平台和粘结平台，所述加热平台为圆形，加热平台的内侧设有加热线圈和温度传感器。本实用新型通过石蜡加热和冷却完成了石英材料和石英加工工装治具的粘接零件，操作便捷和稳定，解决了零件在装夹时因受力不均造成的损坏，同时，可一次性完成零件外径的加工，提高加工效率和精度。

Description

石英粘接设备

技术领域

本实用新型涉及半导体及石英材料加工技术领域，尤其是涉及石英粘接设备。

背景技术

工业生产时，对于那些对零件物理形状精密加工的工业化生产时，CNC 数控设备的出现很好的解决了零件大小批量加工的效率问题。对于CNC数控设备来说，精度高，速度快，批量化是其最大优点，但由于在机器运转过程中，由于一些不可控因素的影响，加工出来的产品，总会出现加工纹路不均匀，破损，崩边，划痕，平面度不好等常见问题，尤其是对于脆性材料而言，例如集成电路制造半导体行业石英零件等产品，材料脆而硬，加工精度，纹路，平面度等要求都非常高。

现有技术是将零件装夹在常规机械夹具上，通过手动调整夹具对零件局部接触点的压力夹住零件，采用多点调整夹压零件的方式，调整同心位置，达到精确加工零件的效果。在零件装夹过程中，因人为按压，旋转卡盘丝杠等操作具有不可控性，因此对零件的施加压力并不可控，导致零件受力不均匀，破坏表面完整度；同时零件因外径被卡盘夹住，需要分两次加工，加工时间长，效率低，且外径加工不均匀，因此该区域容易受力不均，导致零件平面度变差、划伤、破口及崩边现象。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了石英粘接设备，其技术方案如下所述：

石英粘接设备，包括：

箱体：其内形成腔体；

加热器，其位于所述箱体的腔体内，所述加热器包括加热线圈；

用于控制加热器进行加热的温控器，其位于所述箱体的腔体内，温控器连接有温度传感器；

用于石英材料和其粘接工装治具加热的加热平台，其为圆形，所述加热平台位于所述箱体顶面中心，所述加热线圈和温度传感器设置在加热平台内侧；

用于石英材料和其粘接工装治具进行粘结的粘结平台，其位于所述箱体顶面并分布在加热平台的外周。

进一步的，所述箱体的长宽高为800mm*800mm*800mm，所述加热平台的直径为600mm。

进一步的，所述温度传感器连接到配电箱控制器，所述温控器为智能温控仪表。

本实用新型提供了石英粘接设备，将零件暂不加工的一个端面接触在该实用新型上，并在石蜡粘接的作用下固定，通过对应的工装治具固定到加工中心上，通过该实用新型的使用，即能保证人工装夹时受力均匀，减少装夹硬性接触，释放外径可加工面积的同时，提高装夹及调整零件同心度的效率。将人为因素影响降到最小。

附图说明

图1是所述石英粘接设备的示意图；

图2是所述石英粘接设备的电路连接示意图；

图3是所述粘接工装治具的示意图。

具体实施方式

本实用新型的描述中，术语“安装”、“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“左”、“右”、“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位是基于附图所示的方位，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1所示的石英粘接设备，包括箱体，其长宽高为 800mm*800mm*800mm，箱体内部为腔体，腔体内设置有加热器和用于控制加热器工作的温控器，箱体的顶面设置有用于石英材料和其粘接工装治具的加热平台1，用于石英材料和其粘接工装治具进行粘结的粘结平台2，其中加热平台1位于所述箱体顶面中心，粘结平台2分布在加热平台1的外周，箱体外侧面的上部依次设置有红色指示灯5、绿色指示灯6、启动开关3和紧急停止开关4，箱体外侧面的下部设置有带把手的门，箱体下部设置有多个支座。其中加热平台1为圆形其直径为600mm，加热平台1为厚度30mm 的铝制材料加工而成，加热平台的内侧设有加热线圈和温度传感器。红色指示灯5表示设备处于加热状态、绿色指示灯6表示设备未加热，所述温控器为智能温控仪表。本实用新型所述石英材料为半导体行业的石英零件等产品，材料脆而硬，加工精度，纹路，平面度等要求都非常高；所述粘接工装治具为铝制的圆柱状，直径为600mm，高度300mm。

本实施例中，总开关的的厂家型号为DZ47-63；启动开关的厂家型号为正泰LA38-11BN；交流接触器(KM)的厂家型号为正泰CJX2-2511、线圈电压220VAC；紧急停止开关的厂家型号为正泰NP4-11ZS/12；红色指示灯和绿色指示灯的厂家型号为正泰ND16-22DS/4；温控器的型号为 CHB702-011-0111013；温度传感器的型号为：PT100。

具体的，当需要加工石英零件时，把石英材料的工装治具放置在加热平台上，把石英粘接设备开关打开，设置温控器的温度，本实施例中设定温度值为130℃，温度在正负5℃范围内波动，打开启动开关，设备通过智能温控仪表控制加热器自动加热(具体电路配合如图2所示)，加热器通过加热线圈给加热平台1进行加热，加热平台1内置的温度传感器经温度信号传送到配电箱控制器上，加热平台1到达设定值后停止加热。把石蜡均匀的涂抹在工装治具和石英加工零件接触的部位后，把零件放在工装治具的上面，关闭石英粘接设备，当温度下降冷却后即可把工装治具连同石英材料，安装到 CNC数控加工中心上进行加工。

以上所述的具体实施方式，是对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.石英粘接设备，其特征在于，包括：

箱体：其内形成腔体；

加热器，其位于所述箱体的腔体内，所述加热器包括加热线圈；

用于控制加热器进行加热的温控器，其位于所述箱体的腔体内，所述温控器连接有温度传感器；

用于石英材料和其粘接工装治具加热的加热平台(1)，其为圆形，所述加热平台(1)位于所述箱体顶面中心，所述加热线圈和温度传感器设置在加热平台(1)内侧；

用于石英材料和其粘接工装治具进行粘结的粘结平台(2)，其位于所述箱体顶面并分布在加热平台(1)的外周。

2.根据权利要求1所述的石英粘接设备，其特征在于，所述箱体的长宽高为800mm*800mm*800mm，所述加热平台(1)的直径为600mm。

3.根据权利要求1所述的石英粘接设备，其特征在于，所述温度传感器连接到配电箱控制器，所述温控器为智能温控仪表。

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