KR101064268B1 - 와이어소에 설치되는 웨이퍼지지장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 잉곳을 회전시킴과 동시에 절단와이어에 절입하여 잉곳을 슬라이싱하는 와이어소에서, 상기 잉곳이 절단되어 생성된 웨이퍼를 최종적으로 지지하기 위하여 절단와이어의 상측에 설치가 가능하고 그 구성이 보다 간략화된 웨이퍼지지장치를 제공하는 것이다. 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 와이어소(wire saw)에 의해 잉곳이 절단되어 생성된 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼지지장치에 있어서, 상기 잉곳의 외주면에 접촉하는 접촉면이 형성된 웨이퍼홀더와, 상기 웨이퍼홀더에 설치된 히터와, 상기 접촉면에 부착되어 상기 히터의 작동에 의해 용융되는 왁스(wax)와, 상기 웨이퍼홀더를 상하방향으로 이송시키는 상하이송수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

와이어소에 설치되는 웨이퍼지지장치{Wafer support apparatus installed on wire saw}

본 발명은 와이어소(wire saw)에 의해 절단되는 잉곳을 지지하는 웨이퍼지지장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 잉곳을 회전시킴과 동시에 주행하는 절단와이어에 절입하여 잉곳이 절단되는 와이어소에 있어서 잉곳이 절단되어 생성된 웨이퍼를 최종적으로 지지할 수 있는 웨이퍼지지장치에 관한 것이다.

단결정으로 제조된 실리콘 잉곳, 사파이어 잉곳 등을 웨이퍼로 가공하는 작업을 위해 주로 와이어소(wire saw)가 이용되고 있다.

와이어소에 의해 잉곳을 절단하는 작업은 오랜 시간과 긴 길이의 절단와이어가 필요한 것으로, 가공 중 절단와이어가 끊어지면 고가의 잉곳과 절단와이어가 폐기됨으로서 비용과 시간에 막대한 손실이 발생한다.

그러나, 잉곳(1)을 절단와이어(2)에 의해 절단하여 웨이퍼를 제조함에 있어서, 도 1과 같이, 절단깊이가 깊어지면 절단되는 잉곳의 폭(b)이 늘어나고 절단와이어(2)와 잉곳(1)의 접촉길이가 길어진다. 이에 따라, 절단와이어(2)를 이송하는 부하가 증가함으로써 단선위험이 높아지고, 절단와이어(2)가 잉곳(1)과 접촉하는 부위가 넓어져 접촉압력도 분산되며 가공속도가 떨어진다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 잉곳을 회전시킨 상태에서 절단와이어에 절입하는 방식의 와이어소가 개발되어 있다. 그러한 장치에서 잉곳을 회전시키는 방식은 잉곳의 양측을 스핀들 축에 장착한 후 회전시키는 방식과 잉곳의 하부 및 상부에서 회전롤러가 잉곳을 지지한 상태에서 회전롤러에 의해 잉곳이 회전하는 방식이 있다.

그와 같이 잉곳을 회전시킴과 함께 주행하는 절단와이어에 잉곳을 절입하는 경우, 절단와이어와 잉곳의 접촉은 절단과정 중에 계속적으로 점접촉에 가까운 접촉영역을 형성하므로, 절단깊이가 깊어짐에 따라 절단와이어와 잉곳의 접촉영역이 넓어져 접촉압력이 분산되는 전술한 문제를 해결하고 있다.

그러나, 잉곳을 회전시키는 방식으로 와이어소를 구성할 경우, 잉곳의 절단이 완료된 후 웨이퍼들을 지지하기 위해 별도의 웨이퍼지지장치가 구비되어야 한다. 이는 잉곳이 하나의 덩어리 형태인 절단작업 중일 때와는 달리, 다수의 웨이퍼로 절단이 완료되면 서로 간에 지지되지 않고, 웨이퍼가 하부로 낙하해버리거나 잉곳의 설치위치로부터 이탈되기 때문이다.

도 2 내지 도 4는 그와 같이 잉곳의 절단이 완료된 후에 계속 지지될 수 있도록 웨이퍼지지장치가 설치된 와이어소를 도시하고 있다.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 웨이퍼지지장치는 오목한 형상의 받침부(5)와, 받침부(5) 하측의 냉동기(6)와, 상기 받침부(5)에 물을 공급하는 물공급호스(9)를 포함한다.

먼저, 도 2과 같이 잉곳(1)이 스핀들(7)에 의해 회전하는 상태에서, 잉곳을 지지하는 프레임(3)을 하강시켜 절단와이어(2)에 절입한다. 이 후, 잉곳(1)의 절단이 진행되고, 잉곳(1)이 완전히 절단되기 전에 소정의 절단깊이가 남은 상태에서 잉곳(1)은 받침부(5)에 접촉한다.

도 3 및 도 4는 잉곳(1)이 받침부(5)에 접촉한 상태를 도시하는 것이다. 그 상태에서 스핀들(7)의 회전이 정지됨으로써 잉곳(1)의 회전이 정지되고, 물공급호스(9)에 의해 받침부(5)의 오목한 부분에 물이 공급된다. 물공급이 완료되면 하부의 냉동기(6)가 작동하여 물을 얼림으로써 잉곳(1)의 하부에 고인 물이 결빙되어 얼음(8)이 형성된다.

이후 절단이 완료되더라도 얼음(8)의 지지력에 의해 웨이퍼(1A)들은 쓰러져 낙하하거나 이탈되지 않는다. 따라서, 얼음(8)을 녹여 웨이퍼(1A)를 회수하기 전까지 지지상태를 유지할 수 있다.

그러나, 상기와 같은 웨이퍼지지장치는 공급되는 물을 얼려 웨이퍼(1A)를 지지하는 방식이므로 물공급호스와 물공급로 및 냉각기 등 와이어소에 부속되어야 할 구성이 많고 설계가 복잡해지는 문제가 있었다.

또한, 상기 웨이퍼지지장치는 물이 잉곳의 하부에 고인 상태로 결빙시켜야 하므로 물이 쏟아지지 않도록 반드시 잉곳(1) 및 잉곳과 접촉되는 절단와이어(2)의 하측에만 설치되어야 하나, 절단와이어(2)의 지지롤러(4A,4B,4C)가 3개가 아니라, 2개의 지지롤러에 의해 절단와이어(2)가 설치된 경우에는 상기 웨이퍼지지장치가 설치될 공간이 충분하지 않은 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 잉곳을 회전시킴과 동시에 절단와이어에 절입하여 잉곳을 슬라이싱하는 와이어소에서, 상기 잉곳이 절단되어 생성된 웨이퍼를 최종적으로 지지하기 위하여 절단와이어의 상측에 설치가 가능하고 그 구성이 보다 간략화된 웨이퍼지지장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 와이어소(wire saw)에 의해 잉곳이 절단되어 생성된 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼지지장치에 있어서, 상기 잉곳의 외주면에 접촉하는 접촉면이 형성된 웨이퍼홀더와, 상기 웨이퍼홀더에 설치된 히터와, 상기 접촉면에 부착되어 상기 히터의 작동에 의해 용융되는 왁스(wax)와, 상기 웨이퍼홀더의 상부에 결합되는 압축스프링과, 상기 압축스프링을 매개로 상기 웨이퍼홀더와 결합되어 상기 웨이퍼홀더를 상하방향으로 이송시키는 상하이송수단과, 상기 상하이송수단에 설치되는 리미트스위치지지대와, 상기 압축스프링의 주위에서 상기 웨이퍼홀더의 상부면과 소정간격을 두고 상기 리미트스위치지지대에 설치되어 상기 압축스프링이 상기 소정간격 만큼 압축시 감지신호가 발생되는 복수의 리미트스위치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에서 상하이송수단은 공압실린더이고, 상기 리미트스위치지지대는 상기 공압실린더의 실린더로더의 단부에 설치되며, 상기 복수의 리미트스위치는 상기 압축스프링의 주위의 전후좌우에 설치되고, 상기 공압실린더를 상기 복수의 리미트스위치의 감지신호에 따라 제어하는 제어장치가 더 설치되되, 상기 제어장치는 상기 복수의 리미트스위치가 모두 감지신호를 발생시키면 상기 공압실린더의 작동을 정지시키는 것을 다른 특징으로 한다.

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도 1은 절단깊이에 따라 절단와이어와 잉곳의 접촉길이를 설명하는 설명도
도 2는 종래기술에 따라 웨이퍼지지장치가 설치된 와이어소의 구성도
도 3은 도 2의 웨이퍼지지장치의 측면구성도
도 4는 도 2의 웨이퍼지지장치의 정면구성도
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼지지장치를 구비한 와이어소의 정면도
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼지지장치를 구비한 와이어소의 측면도
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼지지장치의 확대구성도
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼지지장치의 확대구성도
도 9은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 상하이송수단이 전동이송스크류장치인 경우의 웨이퍼지지장치의 구성도
도 10는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼지지장치를 구비하여 웨이퍼가 제조되는 과정을 순서대로 도시하고 있는 설명도

본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 보다 상세하게 설명한다.

도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼지지장치를 구비한 와이어소(wire saw)의 정면도와 측면도의 구성을 도시하고 있다.

도 5 및 도 6을 참고하면, 본 발명의 실시예에 따라 웨이퍼지지장치가 설치된 와이어소는 잉곳(10)을 절단하는 절단와이어장치(20)와, 잉곳(10)을 회전시키는 잉곳회전장치(30)와, 잉곳(10)을 절단와이어(22)로 절입시키는 잉곳절입장치(40)와, 잉곳(10)이 절단되어 생성되는 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼지지장치(50)를 포함한다.

상기 절단와이어장치(20)는 절단와이어(22)를 지지하는 롤러(23)가 설치되고 절단와이어(22)가 다수회 권회되어 있다. 절단와이어(22)는 하나의 와이어가 양측의 롤러(23)에 소정간격으로 반복하여 감김으로써 평행한 다수의 와이어 배열이 형성된다. 다수의 절단와이어(22) 사이의 너비는 잉곳(10)이 절단되어 생성되는 웨이퍼의 두께를 결정한다.

상기 잉곳회전장치(30)는 잉곳(10)을 장착하여 회전시키는 부분으로, 전동기(33)에 연결되어 회전하는 스핀들(34)이 설치되고 스핀들(34)의 선단에는 가압부(31)가 설치된다. 가압부는 잉곳(10)이 설치되는 양측에 설치되어 잉곳(10)을 양측면에서 압착하여 지지한다. 양측 가압부(31,32) 중 전동기와 연결되지 않은 측의 가압부(32)가 전후진 가능하도록 구성하여 잉곳(10)의 장착 및 탈착이 가능하도록 하고, 스핀들(34)은 전동기(33)의 회전력에 의해 회전하여 잉곳(10)이 회전되도록 한다. 상기 양측 가압부(31,32)의 중심축은 모두 스핀들(34)의 중심축과 일치하도록 설치된다.

미설명된 도면부호 24 및 39는 각각 롤러(23)의 축과 스핀들(34)을 지지하는 베어링이다.

상기 잉곳절입장치(40)는 잉곳(10)을 와이어에 접촉시켜 절단이 진행되도록 하부로 이송시키는 부분이다. 잉곳절입장치(40)는 절단와이어장치(20)의 상부에 설치되고, 상기 잉곳회전장치(30) 및 웨이퍼지지장치(50)가 설치되어 있는 상부프레임(41)과, 상부프레임(41)을 하부로 이송시키는 전동기(42)와 이송스크류바(43)로 구성된다. 전동기(42)의 회전에 의해 이송스크류바(43)가 회전하면 볼베어링을 매개로 이송스크류바(43)에 결합된 이송블록이 하방으로 이송된다. 이에 따라, 이송블록에 결합된 상부프레임(41)의 하방이동이 잉곳(10)을 설정된 속도에 따라 미소량씩 절입시킬 수 있다.

상기 웨이퍼지지장치(50)는 상기 상부프레임(41)에 설치되는 것으로, 웨이퍼의 형태로 절단되는 잉곳(10)의 절단이 완료된 후 웨이퍼가 부착되어 최종적으로 지지되고 있는 부분이다.

상기 웨이퍼지지장치(50)는 웨이퍼홀더(52)와 상하이송수단(53)을 포함한다. 웨이퍼홀더(52)의 하부에 형성된 오목한 접촉면(521)에는 왁스(wax)(55)가 위치함으로써 웨이퍼가 완성되기 전의 잉곳(10)이 접착되게 된다. 따라서, 웨이퍼홀더(52)에는 왁스(55)를 녹이기 위한 히터(56)가 구비되고, 히터(56)에 의해 녹은 왁스(55)가 잉곳(10)의 상부표면을 붙잡는 접착제 역할을 하게 된다.

상기 접촉면(521)은 원기둥형상인 잉곳의 원주면에 대응하는 오목한 형상으로 구성하고, 상기 접촉면에 왁스(55)가 소정의 두께로 코팅되어 있다. 상기 오목한 형상은 접촉하는 잉곳의 표면형상에 따라 달라지게 되는 것으로, 잉곳의 길이방향을 따라 외면이 일부 절단된 평행면(도 1 참고)에 접촉하는 경우라면 평면으로 구성할 수도 있다. 그 경우, 웨이퍼홀더(52)가 잉곳(10)에 접촉시 잉곳(10)의 평행면이 웨이퍼홀더(52)를 향해 정지하도록 스핀들(34)을 회전시키는 전동기를 서브모터로 구성하여 정지위치를 제어하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 웨이퍼홀더(52)는 잉곳(10)의 폭(잉곳의 길이방향의 폭)보다 넓거나, 비슷한 폭으로 형성됨으로써 절단와이어(22)에 의해 잉곳(10)의 절단이 완료된 후에 생성된 모든 웨이퍼가 웨이퍼홀더(52)에 접착되어 하부로 낙하되는 웨이퍼가 없도록 한다.

상기 상하이송수단은 공압실린더(53)인 것이 바람직하고, 공압실린더(53)의 실린더로더(532)와 웨이퍼홀더(52)가 결합되어 있다.

잉곳(10)의 절단작업이 전체 지름의 70~95% 진행된 상태에서 스핀들(34) 및 잉곳(10)의 회전이 중지되고 상기 웨이퍼홀더(52)가 상부프레임(41)으로부터 하강하여 잉곳(10)의 상부를 파지한다. 이를 위하여 와이어소의 제어장치(미도시)에서는 잉곳절입장치(40)의 전동기(42)의 회전수가 체크됨과 함께 미리 입력되는 잉곳(10)의 직경에 관한 정보에 의해 현재 절단된 깊이를 감시하게 된다.

웨이퍼지지장치(50)가 설치됨으로써 가압부(31,32)에 의해 압착되어 지지된 잉곳(10)이 다수의 웨이퍼로 절단되더라도 생성된 웨이퍼가 하부로 떨어지지 않고 지지될 수 있다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼지지장치(50)에 의해 잉곳(10)이 파지된 상태를 도시한 것이다.

잉곳(10)은 히터(56)에 의해 용융된 왁스(55)가 접착제 역할을 함으로써 웨이퍼홀더(52)의 접촉면(521)에 부착된 상태가 된다.

다만, 잉곳(10)을 가압부(31,32)에 약간 기울어지게 설치하거나, 설치오차의 문제에 기인하여 웨이퍼홀더(52)의 접촉면(521)과 잉곳(10)의 상부표면의 접촉에 오차가 발생할 수 있으나, 통상 그러한 오차는 미소한 차이들이므로 왁스(55)의 두께를 더욱 증가시키고 히터(56)가 용융시키면 상기 오차에 의해 발생하는 간격을 녹은 왁스가 메움으로써 해결될 수 있다.

상기의 와이어소에 설치되는 제어장치(미도시)는 상기 절단와이어장치(20), 잉곳회전장치(30), 잉곳절입장치(40) 및 웨이퍼지지장치(50)의 전반적인 작동을 제어하여 절단작업을 설정된 순서에 따라 진행되도록 제어한다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼지지장치(50′)를 확대하여 도시하고 있다.

상기 웨이퍼지지장치(50′)는 실린더로더(532)의 단부와 웨이퍼홀더(52)가 압축스프링(54)에 의해 결합되며, 실린더로더(532)가 하강하면 웨이퍼홀더(52)의 오목한 접촉면(521)이 잉곳(10)과 접촉하고 압축스프링(54)이 약간 압축되도록 구성된다.

또한, 상기 실린더로더(532)의 단부에는 리미트스위치지지대(533)가 설치되고, 리미트스위치지지대(533)의 단부에 리미트스위치(58a,58b)가 웨이퍼홀더(52)의 상부면과 소정간격(h)을 두고 설치된다. 이에 따라, 압축스프링(54)이 상기 소정간격(h)만큼 압축될 경우, 리미트스위치(58a,58b)의 감지신호가 발생되도록 한다.

잉곳(10)의 상부와 웨이퍼홀더(52)의 접촉면(521)이 밀착된 상태를 보다 확실히 감지할 수 있도록 압축스프링(54)의 주위에 복수의 리미트스위치(58a,58b)를 설치(좌우2개 또는 전후좌우 4개)하고, 복수의 리미트스위치(58a,58b)가 모두 감지되면 공압실린더(53)의 작동이 정지되도록 하는 것이 바람직하다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 상하이송수단이 전동이송스크류장치인 경우의 웨이퍼지지장치(50″)의 구성을 도시하고 있다.

도 9를 참고하면, 와이어소의 상부프레임(41)에는 전동기(53′)가 설치되고 전동기는 이송스크류(535)를 회전시킨다. 상기 이송스크류(535)에는 이송블록(536)이 볼베어링에 의해 결합되는 공지된 구성에 의해 이송스크류(535)의 회전 시 상방 또는 하방으로 이송되고 있다.

또한, 이송블록(536)에 결합된 연결지지대(537)의 단부에 압축스프링(54a,54b)이 설치되고, 상기 지지대(537)의 단부에 리미트스위치지지대(538c,538d)도 함께 설치되어 리미트스위치(58c,58d)가 설치된다.

상기 리미트스위치(58c,58d)는 웨이퍼홀더(52)의 상부면과 소정간격(h)을 두고 설치됨으로써, 압축스프링(54a,54b)이 상기 소정간격(h)만큼 압축될 경우, 리미트스위치(58c,58d)의 감지신호가 발생되도록 한다.

전술한 공압실린더(53) 및 전동이송스크류장치의 전동기(53′)는 리미트스위치(58a,58b;58c,58d)의 감지신호에 따라 그 작동이 정지되도록 와이어소의 제어장치에 의해 제어된다.

다음은, 본 발명의 실시예에 따라 와이어소에 의해 웨이퍼를 제조하는 과정에서 웨이퍼지지장치(50)의 작용을 설명한다.

도 10은 잉곳(10)을 절단하여 웨이퍼가 제조되는 과정을 순서대로 도시하고 있다.

먼저 도 10의 (a)와 같이, 잉곳(10)을 스핀들(34)의 선단에 형성된 가압부(31)와 그것에 대향하는 가압부(32)가 측면을 압착하도록 하여 고정시킨다. 이 때, 잉곳(10)의 양측면에는 글라스부재(11,12)가 부착되어 있는 것이 바람직하다.

잉곳(10)이 양측 가압부(31,32) 사이에서 고정된 후에는, 도 10의 (b)와 같이, 스핀들(34)을 회전시킴과 함께 상부프레임(41)이 하강하여 잉곳(10)이 절단와이어(22)에 절입된다.

절단작업이 진행되어 잉곳(10)의 절단이 70~95% 진행된 상태에서 도 10의 (c)와 같이, 스핀들(34)의 회전 및 상부프레임(41)의 하강을 중지시키고 웨이퍼지지장치(50)의 웨이퍼홀더(52)가 잉곳(10)의 상부로 하강하여 접촉한다.

이 때, 전술한 다른 실시예에 따른 웨이퍼지지장치(50′)의 경우라면, 공압실린더(53)의 실린더로드(532)의 끝단과 웨이퍼홀더(52) 사이에 압축스프링(54)이 게재되어 약간 압축되게 되고, 잉곳(10)의 상부면에 웨이퍼홀더(52)가 접촉할 때의 충격이 완화됨으로써 잉곳(10)의 상부면에 긴밀하게 접촉될 수 있다.(압축스프링이 유연한 연결수단으로서 역할을 하고 있으므로, 웨이퍼홀더의 접촉면과 잉곳의 상부면 사이에 약간의 위치오차나 경사오차가 있더라도 웨이퍼홀더가 상하좌우나 기울임의 오차에 쉽게 대응하는 자세로 변경가능하게 하여 긴밀하게 접촉할 수 있도록 한다) 상기 접촉의 완료여부는 압축스프링(54)이 소정간격(h)만큼 압축되어 리미트스위치(58a,58b)가 웨이퍼홀더(52)의 상부면과 접촉한 신호를 발생시킴으로써 감지될 수 있다.

잉곳(10)의 상부면에 웨이퍼홀더(52)가 접촉된 후, 웨이퍼홀더(52) 내부의 히터(56)가 작동하여 웨이퍼홀더(52) 표면에 소정의 두께로 코팅된 왁스(55)를 녹여 잉곳(10)과 접착되게 된다. 왁스(55)의 히팅이 완료된 후 소정시간이 경과하면 왁스(55)가 냉각되어 잉곳(10)이 웨이퍼홀더(52)에 고정된다.

설정된 시간이 경과하여 잉곳(10)의 상부면과 웨이퍼홀더(52)가 왁스(55)에 의해 서로 고정된 후에는, 도 10의 (d)와 같이, 스핀들(34)을 회전시키지 않는 상태로 상부프레임(41)을 하강시켜 잉곳(10)을 절단와이어(22)에 절입시킨다. 이후의 절단작업은 스핀들(34)의 회전없이 주행하는 절단와이어(22)에 의해서만 절단작용이 발생한다. 그 경우, 이미 절단이 70~95% 진행된 상태이므로 잉곳(10) 내부에 절단되지 않고 남은 부분의 직경이 크지 않아 잉곳(10)의 회전없이 절단와이어(22)에 절입되더라도 절단와이어(22)가 부담하는 부하가 크지 않다.

절단이 계속 진행되면, 잉곳(10) 내부의 남은 부분이 모두 절단되고 잉곳(10)은 모두 웨이퍼(10a)로 분할되게 된다. 잉곳(10)이 모두 웨이퍼(10a)로 분할된 상태에서도 각 웨이퍼(10a)의 상부가 웨이퍼홀더(52)에 왁스(55)로 고정된 상태이므로 전체적으로 잉곳(10)의 형상을 유지하고 있다.

이후, 가압부(32)를 후퇴시키고 웨이퍼홀더(52)의 히터(56)를 재가동시키면 왁스(55)가 녹아 웨이퍼를 웨이퍼홀더(52)에서 분리할 수 있다.

전술한 실시예에서는 웨이퍼지지장치(50)가 잉곳(10)의 상측에 설치된 구성을 설명하고 있으나, 본 실시예의 웨이퍼지지장치(50)가 전술한 종래기술과 같이 잉곳(10)의 하부에도 설치될 수 있음은 본 명세서의 기재로부터 용이하게 이해될 수 있을 것이다.

1; 잉곳 2; 절단와이어
3; 프레임 5; 받침부
6; 냉동기 7; 스핀들
9; 물공급호스 4A,4B,4C; 지지롤러
1A,1a; 웨이퍼 10; 잉곳
11,12; 글라스부재 20; 절단와이어장치
30; 잉곳회전장치 40; 잉곳절입장치
50,50′,50″; 웨이퍼지지장치 22; 절단와이어
23; 롤러 31,32; 가압부
33; 전동기 34; 스핀들
41; 상부프레임 42; 전동기
43; 이송스크류바 52; 웨이퍼홀더
53; 상하이송수단(공압실린더) 54,54a,54b; 압축스프링
55; 왁스 56; 히터
24,39; 베어링 53′; 전동기
58a,58b,58c,58d; 리미트스위치 521; 접촉면
532; 실린더로더 533; 리미트스위치지지대
535; 이송스크류 538c,538d; 리미트스위치지지대
536; 이송블록 537; 연결지지대

Claims (10)

1. 와이어소(wire saw)에 의해 잉곳이 절단되어 생성된 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼지지장치에 있어서,
   상기 잉곳의 외주면에 접촉하는 접촉면이 형성된 웨이퍼홀더(52)와,
   상기 웨이퍼홀더(52)에 설치된 히터(56)와,
   상기 접촉면에 부착되어 상기 히터(56)의 작동에 의해 용융되는 왁스(wax)(55)와,
   상기 웨이퍼홀더(52)의 상부에 결합되는 압축스프링(54)과,
   상기 압축스프링(54)을 매개로 상기 웨이퍼홀더(52)와 결합되어 상기 웨이퍼홀더(52)를 상하방향으로 이송시키는 상하이송수단과,
   상기 상하이송수단에 설치되는 리미트스위치지지대(533)와,
   상기 압축스프링(54)의 주위에서 상기 웨이퍼홀더(52)의 상부면과 소정간격을 두고 상기 리미트스위치지지대(533)에 설치되어 상기 압축스프링(54)이 상기 소정간격 만큼 압축시 감지신호가 발생되는 복수의 리미트스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼지지장치
2. 제1항에 있어서,
   상기 상하이송수단은 공압실린더(53)이고,
   상기 리미트스위치지지대(533)는 상기 공압실린더(53)의 실린더로더(532)의 단부에 설치되며,
   상기 복수의 리미트스위치는 상기 압축스프링(54)의 주위의 전후좌우에 설치되고,
   상기 공압실린더(53)를 상기 복수의 리미트스위치의 감지신호에 따라 제어하는 제어장치가 더 설치되되,
   상기 제어장치는 상기 복수의 리미트스위치가 모두 감지신호를 발생시키면 상기 공압실린더(53)의 작동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼지지장치
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