CN112178461A - 贮液装置 - Google Patents

Abstract

抑制误检测的产生。贮液装置(20)是，包括：贮留容器(21)，贮留液体(L)；连通管(24)，连接到贮留容器(21)的容器上部(21U)与容器下部(21D)而使两方间连通；多个液体检测部(27)，安装在连通管(24)并且可检测存在于连通管(24)内的液体(L)，包含配置在连通管(24)之中最接近容器下部(21D)的最低位液体检测部(27γ)；以及检测控制部(35)，控制最低位液体检测部(27γ)的驱动的与否。

Description

贮液装置

技术领域

本发明是关于贮液装置。

背景技术

以往，作为供液装置的例子已知在专利文献1记载。在专利文献1记载的供液装置是由充满供给液的容器、将一端连接到此容器的送液管、将一端连接到此送液管的另一端，包含具有柔软性物质的壁面的泵室、由连接到所述泵室的另一端的喷出管构成的收液部、可装卸地保持所述泵室，并且对所述柔软性物质的壁面赋予位移，使所述泵室的容积变化的泵驱动部、包含插入所述喷出管的槽，除了所述供给液的喷出时以外是由压缩所述喷出管的夹管阀构件构成的固定部、侦测容器内的残留液体的侦测装置而成。又，上述侦测装置，其特征在于，是光电传感器或静电电容式液面开关，包含与所述光电传感器的输出关联而控制泵动作的控制电路。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开特许公报“特开平6-191598号公报”

发明内容

本发明所要解决的技术问题

在上述的专利文献1记载的供液装置中，藉由侦测装置侦测送液管内的残留液体。顺带一提，根据供液装置的构成，有在送液管一直产生存在液体的部分的情况，有在所述部分配置侦测装置的情况。在如此的情况，若对于液体持续照射侦测装置的侦测光，则溶存在液体中的气体容易变成气泡，担心如此的气泡成为原因而产生误侦测。

本发明是基于如上述般的事情而完成，将抑制误检测的产生设为目的。

解决问题的方案

(1)本发明的一实施方式是，包括：贮留容器，贮留液体；连通管，连接到所述贮留容器的容器上部与容器下部而使两者间连通；多个液体检测部，安装在所述连通管并且可检测存在于所述连通管内的所述液体，包含配置在所述连通管之中最接近所述容器下部的最低位液体检测部；以及检测控制部，控制所述最低位液体检测部的驱动的与否的贮液装置。

(2)又，本发明的某实施方式是，除了上述(1)的构成之外，包括：检测部驱动部，驱动所述最低位液体检测部；其中所述检测控制部包含开关，所述开关连接到所述检测部驱动部以及所述最低位液体检测部的两方，切换所述检测部驱动部与所述最低位液体检测部的导通的可否的贮液装置。

(3)又，本发明的某实施方式是，除了上述(2)的构成之外，所述检测控制部包含驱动所述开关的开关驱动部、控制所述开关驱动部的开关控制部的贮液装置。

(4)又，本发明的某实施方式是，除了上述(3)的构成之外，包括：开关驱动要求部，对所述开关控制部要求驱动所述开关的贮液装置。

(5)又，本发明的某实施方式是，除了上述(4)的构成之外，包括：液体供给部，连接到所述贮留容器而将所述液体从外部供给到所述贮留容器内；以及供液控制部，控制藉由所述液体供给部的所述液体的供给；其中所述供液控制部构成所述开关驱动要求部，使所述液体供给部供给所述液体并且对所述开关控制部要求驱动所述开关的贮液装置。

(6)又，本发明的某实施方式是，除了上述(4)或上述(5)的构成之外，包括：送液部，连接到所述贮留容器，将存在于所述贮留容器内的所述液体进行送液到外部；以及送液控制部，控制藉由所述送液部的送液；其中所述送液控制部构成所述开关驱动要求部，使所述送液部进行送液，并且对所述开关控制部要求驱动所述开关的贮液装置。

(7)又，本发明的某实施方式是，除了上述(4)至上述(6)中任一个的构成之外，包括：检测信号处理部，连接到多个所述液体检测部，处理从所述液体检测部输出的检测信号；以及主控制部，包含所述检测信号处理部，并且总括所述贮液装置的控制系统；其中所述主控制部构成所述开关驱动要求部，基于被所述检测信号处理部处理的所述检测信号，对所述开关控制部要求驱动所述开关的贮液装置。

(8)又，本发明的某实施方式是，除了上述(4)至上述(7)中任一个的构成之外，包括：主控制部，总括所述贮液装置的控制系统；其中所述主控制部构成所述开关驱动要求部，基于进行所述贮液装置的启动准备，对所述开关控制部要求驱动所述开关的贮液装置。

(9)又，本发明的某实施方式是，除了上述(4)至上述(8)中任一个的构成之外，在所述开关驱动要求部，包含定期地进行驱动所述开关的要求的定期计时器的贮液装置。

(10)又，本发明的某实施方式是，除了上述(1)至上述(9)中任一个的构成之外，所述最低位液体检测部包含发出红外线的投射部、以及接收所述红外线的光接收部的贮液装置。

发明效果

根据本发明，能够抑制误检测的产生。

附图说明

图1是本发明的实施方式1的清洗装置的概略剖面图。

图2是包括在清洗装置的供液装置之中的连通管以及液体检测传感器的剖面图。

图3是表示供液装置的电构成的方块图。

图4是关于最低位液体检测传感器的控制的流程图。

图5是表示包括在本发明的实施方式2的清洗装置的供液装置的电构成的方块图。

具体实施方式

<实施方式1>

藉由图1至图4说明本发明的实施方式1。针对包括在清洗装置10的贮液装置20进行例示。另外，在以下，如果没有特别说明，针对上下的记载是以垂直方向(图1)为基准。

本实施方式的清洗装置10是，如图1所示，用以清洗被卷装在滚筒R的状态的柔性版(flexographic plate)F。此柔性版F是例如在液晶面板的制造的时候，将对于构成液晶面板的基板的内面用以使液晶材料定向的取向膜用于涂布，但不一定限定为此。清洗装置10至少包括可每滚筒R收容清洗对象物即柔性版F的清洗槽11、贮留对于清洗槽11供给的清洗液(液体)L的贮液装置20。

清洗槽11是，如图1所示，设为包含对收容被卷装在滚筒R的状态的柔性版F是充分的内部空间的大致箱型，能够在此内部空间贮留清洗液L。在清洗的时候，在清洗槽11内贮留一定量的清洗液L的状态使滚筒R与柔性版F一起旋转，藉此能够藉由清洗液L除去附着在柔性版F的表面的取向膜材料的残渣、污垢。在清洗槽11，连接用以排出使用过的清洗液L的排液管12。在此排液管12，安装有排液用阀13，调整排液用阀13的开度藉此能够控制排液的与否、每单位时间的排液量等。又，在清洗槽11的上方，配置有可朝向柔性版F喷射气体的气刀(air knife)14，能够藉由从气刀14喷射的气体除去附着在清洗后的柔性版F的清洗液L。

针对贮液装置20详细地进行说明。在贮液装置20，如图1所示，至少包括：贮留清洗液L的贮留容器21、连接到贮留容器21与外部的清洗液L的供给源的清洗液供给管22、连接到贮留容器21与清洗槽11的送液管23、连接到贮留容器21的容器上部21U与容器下部21D并且使这些连通的连通管24。在本实施方式中，作为被贮留在贮留容器21内的清洗液L，例示使用例如纯水的情况，但不一定限定为此。

贮留容器21，如图1所示，具有能够贮留以清洗槽11清洗柔性版F所需的充分的量的清洗液L的容积。清洗液供给管22连接到贮留容器21之中与容器上部21U相比为上侧位置，可从外部的清洗液L的供给源将清洗液L供给到贮留容器21内。在此清洗液供给管22，安装有供液用阀25，调整供液用阀25的开度藉此能够控制供液的与否、每单位时间的供液量等。送液管23连接到贮留容器21之中与容器下部21D相比为下侧位置，可将被贮留在贮留容器21内的清洗液L朝向清洗槽11进行送液。在此送液管23，安装有送液用阀26，调整送液用阀26的开度藉此能够控制送液的与否、每单位时间的供液量等。

连通管24是，如图1所示，包含大致透明的至少透射红外线的材料。连通管24分别是上端部连接到贮留容器21的容器上部21U，下端部连接到容器下部21D，成为上端部与下端部之间的部分以沿着垂直方向延伸的形式配置。因此，清洗液L可自由地往来贮留容器21与连通管24，并且在贮留容器21内与连通管24内液位一致。贮留容器21以及连通管24的清洗液L的液位(量)可与藉由清洗液供给管22的清洗液L的供给、藉由送液管23的清洗液L的送液相应而变化。在连通管24之中与容器下部21D的连接处附近，即便在清洗液L的液位产生变化的情况在除了异常时以外也一直存在清洗液L。在如此的构成的连通管24，安装有用以检测连通管24内的清洗液L的液体检测传感器27。液体检测传感器27，如图2所示，设为以从三方包围连通管24的方式，俯视下为门形。液体检测传感器27之中，在夹住连通管24对向的两个边部，包括有发出红外线作为检查光的投射部27A、接收红外线的光接收部27B。投射部27A以及光接收部27B是以各个的光轴与连通管24的中心一致的方式配置，从投射部27A发出的红外线透射连通管24之后被光接收部27B接收。也就是说，液体检测传感器27是透射型的红外线传感器(光电传感器)。如此液体检测传感器27可基于藉由光接收部27B接收的红外线的强度等检测连通管24内的清洗液L的有无。

液体检测传感器27，如图1所示，在连通管24之中沿着垂直方向延伸的部分中，在上下不同的位置安装有合计三个。这三个液体检测传感器27从上侧依序地，设为高位液体检测传感器27α、低位液体检测传感器27β、以及最低位液体检测传感器27γ，另外，在以下区别液体检测传感器27的情况，分别对“高位液体检测传感器”的符号赋予添标“α”、对“低位液体检测传感器”的符号赋予添标“β”、对“最低位液体检测传感器”的符号赋予添标“γ”，在不区别而总称的情况，设为不对符号赋予添标。高位液体检测传感器27α配置在连通管24之中的最接近容器上部21U。若藉由如此配置的高位液体检测传感器27α检测清洗液L，则能够判定在贮留容器21内贮留充分的量的清洗液L。低位液体检测传感器27β位于在连通管24中，在垂直方向高位液体检测传感器27α与接着叙述的最低位液体检测传感器27γ之间。换言之，低位液体检测传感器27β被配置在连通管24之中的接着最低位液体检测传感器27γ的容器下部21D的附近，又被配置在接着高位液体检测传感器27α的容器上部21U的附近。若藉由如此的配置的低位液体检测传感器27β未检测到清洗液L，则能够判定在贮留容器21内没有贮留充分的量的清洗液L。最低位液体检测传感器27γ配置在连通管24之中的最接近容器下部21D。若藉由如此的配置的最低位液体检测传感器27γ未检测到清洗液L，则能够判定有在贮液装置20产生故障等的异常的可能性。

接着，针对贮液装置20的电构成一边参照图3的方块图一边进行说明。贮液装置20，如图3所示，包含统括控制系统的主控制部30。在主控制部30，包含供液控制部31、送液控制部32、检测信号处理部33。供液控制部31调整供液用阀25的开度，藉此能够控制供液的与否、每单位时间的供液量等。送液控制部32调整送液用阀26的开度，藉此能够控制送液的与否、每单位时间的送液量等。检测信号处理部33能够处理从各液体检测传感器27输出的检测信号。

并且，主控制部30是，如图3所示，能够基于藉由检测信号处理部33的检测信号的处理，判定在连通管24的各液体检测传感器27的安装位置的清洗液L的有无，并且基于此判定结果执行藉由供液控制部31以及送液控制部32的供液控制以及送液控制。例如，藉由检测信号处理部33处理来自低位液体检测传感器27β的检测信号的结果，在未检测到清洗液L的情况，主控制部30判定清洗液L不足，以对供液控制部31使供液开始的方式控制。又，例如，藉由检测信号处理部33处理来自高位液体检测传感器27α的检测信号的结果，在检测到清洗液L的情况，主控制部30判定充分地贮留清洗液L，以使供液控制部31的供液停止的方式控制。又，例如，藉由检测信号处理部33处理来自最低位液体检测传感器27γ的检测信号的结果，在未检测到清洗液L的情况，主控制部30判定在贮液装置20产生异常，使清洗装置10以及贮液装置20紧急停止。另外，在主控制部30，也包括调整排液用阀13的开度藉此控制排液管12的排液的与否、每单位时间的排液量等的排液控制部等。贮液装置20包括用以驱动各液体检测传感器27的传感器驱动部34。传感器驱动部34是可对于各液体检测传感器27供给用以驱动的直流电流的直流电源。藉由此传感器驱动部34，针对三个液体检测传感器27之中的高位液体检测传感器27α以及低位液体检测传感器27β，一直通电、驱动。

另外，本实施方式的贮液装置20，如图3所示，包括控制最低位液体检测传感器27γ的驱动的与否的检测控制部35。若藉由此检测控制部35，则可仅在必要时将最低位液体检测传感器27γ设为驱动状态，在必要时以外将最低位液体检测传感器27γ设为非驱动状态。因此，假设若与最低位液体检测传感器被设为一直驱动状态的情况相比，则由于避免红外线持续照射到连通管24之中在与容器下部21D的连接处附近除了异常时以外一直存在的清洗液L，溶存在清洗液L中的气体难以成为气泡。由此，难以产生起因于气泡的存在成为藉由最低位液体检测传感器27γ错误地未检测到清洗液L的事态(误检测)。

检测控制部35，如图3所示，包含连接到传感器驱动部34与最低位液体检测传感器27γ的两方的继电器开关(Relay switch)35A、驱动继电器开关35A的开关驱动部35B、控制开关驱动部35B的开关控制部35C。继电器开关35A能够基于被开关驱动部35B供给的驱动电力动作，将传感器驱动部34与最低位液体检测传感器27γ切换成导通状态或非导通状态的任一个。开关驱动部35B是向继电器开关35A供给驱动电力。若从开关驱动部35B向继电器开关35A供给驱动电力，则传感器驱动部34与最低位液体检测传感器27γ成为导通状态而最低位液体检测传感器27γ成为驱动状态，若不向继电器开关35A供给驱动电力，则传感器驱动部34与最低位液体检测传感器27γ成为非导通状态而最低位液体检测传感器27γ成为非驱动状态。开关控制部35C被包含在主控制部30，控制开关驱动部35B，藉此能够控制继电器开关35A的驱动的可否。

如上述的开关控制部35C是，如图3所示，与来自开关驱动要求部36的要求相应进行开关驱动部35B的控制。开关驱动要求部36是对于开关控制部35C要求驱动继电器开关35A。藉由此开关驱动要求部36，能够使最低位液体检测传感器27γ与必要相应适当地驱动。在开关驱动要求部36，包含已经叙述的主控制部30、供液控制部31以及送液控制部32。

开关驱动要求部36即主控制部30是，如图3所示，统括如上述的贮液装置20的控制系统，在开始清洗装置10的清洗动作的时候，在进行贮液装置20的启动准备(在启动前的阶段的确认动作)的时机以开关控制部35C要求驱动继电器开关35A。由此，在贮液装置20的启动准备时能够进行藉由最低位液体检测传感器27γ的清洗液L的检测，在产生藉由最低位液体检测传感器27γ未检测到清洗液L的异常事态的情况，能够采取所谓停止贮液装置20的启动以及清洗装置10的清洗动作的措施。除了在上述以外，开关驱动要求部36即主控制部30也基于藉由检测信号处理部33处理从各液体检测传感器27输出的检测信号的结果，对开关控制部35C要求驱动继电器开关35A。具体而言，虽然以检测信号处理部33处理高位液体检测传感器27α以及低位液体检测传感器27β的各输出信号的结果，藉由高位液体检测传感器27α检测到清洗液L，但在藉由低位液体检测传感器27β未检测到清洗液L的情况，主控制部30对开关控制部35C要求驱动继电器开关35A。伴随此，最低位液体检测传感器27γ成为驱动状态而输出检测信号。以检测信号处理部33处理最低位液体检测传感器27γ的输出信号的结果，在藉由最低位液体检测传感器27γ检测到清洗液L的情况，主控制部30判定在低位液体检测传感器27β产生故障等的异常。另一方面，藉由最低位液体检测传感器27γ未检测到清洗液L的情况，主控制部30判定在高位液体检测传感器27α产生故障等的异常。如此，可判别在高位液体检测传感器27α与低位液体检测传感器27β的任一个是否产生异常。

开关驱动要求部36即供液控制部31是，如图3所示，在藉由主控制部30判定贮留容器21内的清洗液L不足的情况，以开始进行供液的方式调整供液用阀25的开度并且在此时机，对开关控制部35C要求驱动继电器开关35A。由此，在对于贮留容器21进行清洗液L的供给的期间，能够进行藉由最低位液体检测传感器27γ的清洗液L的检测，在产生藉由最低位液体检测传感器27γ未检测到清洗液L的异常事态的情况，能够使清洗装置10以及贮液装置20紧急停止。

为开关驱动要求部36的送液控制部是，如图3所示，在藉由主控制部30判定在贮留容器21内充分地贮留清洗液L并且在进行在清洗槽11的柔性版F的清洗的情况，以开始进行送液的方式调整送液用阀26的开度并且在此时机，以开关控制部35C要求驱动继电器开关35A。由此，在从贮留容器21进行清洗液L的送液的期间，能够进行藉由最低位液体检测传感器27γ的清洗液L的检测，在产生藉由最低位液体检测传感器27γ未检测到清洗液L的异常事态的情况，能够使清洗装置10以及贮液装置20紧急停止。

接着，针对最低位液体检测传感器27γ的具体的控制一边参照图4的流程图一边进行说明。首先，若开始最低位液体检测传感器27γ的控制(步骤S10)，则主控制部30判定是否有从开关驱动要求部36对开关控制部35C驱动继电器开关35A的要求(步骤S11)。没有驱动要求的情况，主控制部30对开关控制部35C以将继电器开关35A设为非驱动状态的方式控制(步骤S12)。另一方面，有驱动要求的情况，主控制部30判定开关控制部35C是否将继电器开关35A设为驱动状态(步骤S13)。此时，若继电器开关35A为驱动状态，则由于最低位液体检测传感器27γ也为驱动状态，主控制部30是以检测信号处理部33处理从最低位液体检测传感器27γ输出的检测信号，判定清洗液L的有无(步骤S14)。另一方面，若继电器开关35A为非驱动状态，主控制部30对开关控制部35C以将继电器开关35A设为驱动状态的方式控制(步骤S15)。之后，主控制部30判定是否经过了0.1秒(步骤S16)。若未经过，则再次重复进行步骤S16的判定。若经过，则由于最低位液体检测传感器27γ的检测准备就绪，主控制部30是以检测信号处理部33处理从最低位液体检测传感器27γ输出的检测信号，判定清洗液L的有无(步骤S14)。若基于来自最低位液体检测传感器27γ的检测信号判定了清洗液L的有无，则再次回到步骤S11，主控制部30判定是否有从开关驱动要求部36对开关控制部35C驱动继电器开关35A的要求。

如以上说明般本实施方式的贮液装置20是，包括：贮留容器21，贮留清洗液(液体)L；连通管24，连接到贮留容器21的容器上部21U与容器下部21D而使两者间连通；多个液体检测传感器(液体检测部)27，安装在连通管24并且可检测存在于连通管24内的清洗液L，包含配置在连通管24之中最接近容器下部21D的最低位液体传感器(最低位液体检测部)27γ；以及检测控制部35，控制最低位液体检测传感器27γ的驱动的与否。

若如此，则清洗液L也存在于使贮留容器21的容器上部21U与容器下部21D连通的连通管24内，在贮留容器21内与连通管24内液位一致。因此，藉由安装在连通管24的多个液体检测传感器27检测存在于连通管24内的清洗液L，藉此可掌握贮留容器21内的液位。在此，在连通管24之中与容器下部21D的连接位置附近，若与其他位置相比，则即便在贮留容器21内在清洗液L的量产生增减的情况，清洗液L存在的可能性也变成最高。因此，假设，若为配置在连通管24之中最接近容器下部21D的最低位液体检测传感器27γ一直检测清洗液L的构成，则从最低位液体检测传感器27γ发出的检测光(红外线)持续照射到清洗液L，藉此溶存在清洗液L中的气体成为气泡，而有此气泡成为原因而产生误检测的疑虑。此点，检测控制部35由于能够控制最低位液体检测传感器27γ的驱动的与否，除了必要时以外可将最低位液体检测传感器27γ设为非驱动状态。由此，在连通管24之中与容器下部21D的连接位置附近在清洗液L中气泡难以产生，在藉由最低位液体检测传感器27γ的清洗液L的检测难以产生误检测。

又，包括驱动最低位液体检测传感器27γ的传感器驱动部(检测部驱动部)34，检测控制部35包含连接到传感器驱动部34以及最低位液体检测传感器27γ的两方并且切换传感器驱动部34与最低位液体检测传感器27γ的导通的可否的继电器开关(开关)35A。若如此，则若传感器驱动部34与最低位液体检测传感器27γ经由继电器开关35A导通，则最低位液体检测传感器27γ被驱动而连通管24内的清洗液L被检测。另一方面，若传感器驱动部34与最低位液体检测传感器27γ被继电器开关35A设为非导通，则能够将最低位液体检测传感器27γ设为非驱动状态。由于以连接到传感器驱动部34以及最低位液体检测传感器27γ的两方的形式追加继电器开关35A即可，用以控制最低位液体检测传感器27γ的驱动的与否的设备变更只要简单即可。

又，检测控制部35包含驱动继电器开关35A的开关驱动部35B、以及控制开关驱动部35B的开关控制部35C。若如此，则开关驱动部35B被开关控制部35C控制，藉此一下将继电器开关35A设为驱动状态，一下将继电器开关35A设为非驱动状态。由此，假设若与使用手动式的继电器开关35A的情况相比，则能够容易地进行继电器开关35A的驱动控制。

又，包括对开关控制部35C要求驱动继电器开关35A的开关驱动要求部36。若如此，则开关控制部35C若根据需要被由开关驱动要求部36要求驱动继电器开关35A，则控制开关驱动部35B而使继电器开关35A驱动。由此，能够使最低位液体检测传感器27γ根据需要适当地驱动。

又，包括连接到贮留容器21将清洗液L从外部供给到贮留容器21内的清洗液供给管(液体供给部)22、以及控制藉由清洗液供给管22的清洗液L的供给的供液控制部31，供液控制部31构成开关驱动要求部36，使清洗液L供给到清洗液供给管22并且对开关控制部35C要求驱动继电器开关35A。若如此，则清洗液供给管22基于藉由供液控制部31的控制而将清洗液L从外部供给到贮留容器21内。由于在进行藉由清洗液供给管22的供液的时候，藉由构成开关驱动要求部36的供液控制部31而对开关控制部35C驱动继电器开关35A的要求被进行，藉由开关驱动部35B继电器开关35A被驱动，最低位液体检测传感器27γ被驱动。由此，与清洗液L被供给到贮留容器21内连动而进行藉由最低位液体检测传感器27γ的清洗液L的检测。

又，包括连接到贮留容器21将存在于贮留容器21内的清洗液L向外部进行送液的送液管(送液部)23、以及控制藉由送液管23的送液的送液控制部32，送液控制部32构成开关驱动要求部36而送液管23送液并且对开关控制部35C要求驱动继电器开关35A。若如此，则送液管23基于藉由送液控制部32的控制而将清洗液L从贮留容器21内进行送液到外部。在进行藉由送液管23的送液的时候，由于藉由构成开关驱动要求部36的送液控制部32对开关控制部35C驱动继电器开关35A的要求被进行，藉由开关驱动部35B而继电器开关35A被驱动，最低位液体检测传感器27γ被驱动。由此，与从贮留容器21内清洗液L被进行送液到外部连动，进行藉由最低位液体检测传感器27γ的清洗液L的检测。

又，包括连接到多个液体检测传感器27处理从液体检测传感器27输出的检测信号的检测信号处理部33、以及包含检测信号处理部33并且统括所述贮液装置20的控制系统的主控制部30，主控制部30构成开关驱动要求部36，基于被检测信号处理部33处理的检测信号对开关控制部35C要求驱动继电器开关35A。若如此，则包含在主控制部30的检测信号处理部33处理从多个液体检测传感器27输出的检测信号。在此，藉由从多个液体检测传感器27输出的检测信号，有怀疑在任一个的液体检测传感器27有故障等的异常的情况。如此的情况，若藉由构成开关驱动要求部36的主控制部30，对开关控制部35C驱动继电器开关35A的要求被进行，则藉由开关驱动部35B继电器开关35A被驱动，最低位液体检测传感器27γ被驱动。藉由最低位液体检测传感器27γ的驱动可判断在多个液体检测传感器27是否包含异常产生。

又，包括统括所述贮留装置20的控制系统的主控制部30，主控制部30构成开关驱动要求部36，基于进行所述贮液装置20的启动准备，对开关控制部35要求驱动继电器开关35A。若如此，则若进行所述贮液装置20的启动准备，则由于藉由构成开关驱动要求部36的主控制部30对开关控制部35C驱动继电器开关35A的要求被进行，藉由开关驱动部35B继电器开关35A被驱动，最低位液体检测传感器27γ被驱动。由此，与所述贮液装置20进行启动准备连动而进行藉由最低位液体检测传感器27γ的清洗液L的检测。

又，最低位液体检测传感器27γ包含发出红外线的投射部27A、以及接收红外线的光接收部27B。若如此，则从最低位液体检测传感器27γ的投射部27A发出的红外线通过连通管24内之后被光接收部27B接收。基于被光接收部27B接收的红外线的强度等能够检测连通管24内的清洗液L。在连通管24内存在清洗液L的情况，以对清洗液L照射红外线则在清洗液L容易产生气泡。此点，由于最低位液体检测传感器27γ被检测控制部35控制驱动的与否，能够将照射到连通管24内的清洗液L的红外线量抑制成充分地低。由此，在连通管24之中与容器下部21D的连接处附近，在清洗液L中气泡难以产生，在藉由最低位液体检测传感器27γ的清洗液L的检测难以产生误检测。

<实施方式2>

藉由图5说明本发明的实施方式2。在此实施方式2中，表示追加定期计时器37。另外，针对与上述的实施方式1同样的构造、作用以及效果省略重复的说明。

本实施方式的贮液装置120，如图5所示，包括定期地进行驱动继电器开关135A的要求的定期计时器37。定期计时器37是包含在开关驱动要求部136，例如以十分钟为一次的周期，定期地对开关控制部135C要求驱动继电器开关135A。此周期(检测频率)是以成为充分地避免伴随最低位液体检测传感器127γ的驱动而在清洗液L产生气泡的事态的条件的方式设定。若如此，则能够一边抑制起因于气泡的误检测的产生，一边定期地进行藉由最低位液体检测传感器127γ的清洗液L的检测。

如以上说明般根据根据本实施方式，在开关驱动要求部136，包含定期地进行驱动继电器开关135A的要求的定期计时器37。若如此，则由包含在开关驱动要求部136的定期计时器37定期地进行驱动继电器开关135A的要求，藉此能够藉由开关驱动部135B使继电器开关135A定期地驱动。由此，能够使最低位液体检测传感器127γ定期地驱动。

<其他实施方式>

本发明不限定为根据上述记载描述以及图式说明的实施方式，例如如接下来的实施方式也包含在本发明的技术范围。

(1)检测控制部35也可以包括继电器开关35A、135A以外的种类的开关。

(2)检测控制部35也可以不包括继电器开关35A、135A、开关驱动部35B、135B以及开关控制部35C、135C。这个情况，检测控制部35较佳为以控制例如传感器驱动部34的方式构成，由此可仅在必要时使传感器驱动部34驱动最低位液体检测传感器27γ、127γ。

(3)连通管24的液体检测传感器27的设置数量也可以是比三个多或少。

(4)连通管24的各液体检测传感器27的具体的安装位置可适当地变更。

(5)对于贮留容器21的连通管24的具体的连接位置、连通管24的具体的延伸路径(剖面形状)等可适当地变更。又，对于清洗液供给管22、送液管23以及排液管12的连接对象物的具体的连接位置、清洗液供给管22、送液管23以及排液管12的具体的延伸路径等可适当地变更。

(6)液体检测传感器27也可以是利用红外线以外的光的光电传感器。

(7)液体检测传感器27也可以是投射部27A与光接收部27B相对于连通管24配置在相同侧的反射型的光电传感器、投射部27A与光接收部27B被一体化的反射型的光电传感器等。

(8)被贮留在贮留容器21的清洗液L也可以是纯水以外的清洗液(例如NMP(N-甲基吡咯烷酮N-Methyl-2-pyrrolidone)等)。

(9)清洗装置10的具体的清洗对象物也可以是柔性版F以外的东西。又，清洗装置10的具体的清洗对象物也可以用于液晶面板以外的显示面板的制造。又，清洗装置10的具体的清洗对象物也可以是用于显示面板以外的东西的制造。

(10)贮液装置20也可以用于清洗装置10以外的装置。这个情况，被贮留在贮留容器21的液体也可以是清洗液L以外的液体。

附图标记说明

20、120...贮液装置；21...贮留容器；21D...容器下部；21U...容器上部；22...清洗液供给管(液体供给部)；23...送液管(送液部)；24...连通管；27...液体检测传感器(液体检测部)；27A...投射部；27B...光接收部；27γ、127γ...最低位液体检测传感器(最低位液体检测部)；30...主控制部；31...供液控制部；32...送液控制部；33...检测信号处理部；34...传感器驱动部(检测部驱动部)；35...检测控制部；35A、135A...继电器开关(开关)；35B、135B...开关驱动部；36、136...开关驱动要求部；37...定期计时器；L...清洗液(液体)

Claims (10)

1.一种贮液装置，其特征在于，包括：

贮留容器，贮留液体；

连通管，连接到所述贮留容器的容器上部与容器下部而使两者间连通；

多个液体检测部，安装在所述连通管并且可检测存在于所述连通管内的所述液体，包含配置在所述连通管之中最接近所述容器下部的最低位液体检测部；以及

检测控制部，控制所述最低位液体检测部的驱动的与否。

2.根据权利要求1所述的贮液装置，其特征在于，包括：

检测部驱动部，驱动所述最低位液体检测部；其中

所述检测控制部包含开关，所述开关连接到所述检测部驱动部以及所述最低位液体检测部的两方，切换所述检测部驱动部与所述最低位液体检测部的导通的可否。

3.根据权利要求2所述的贮液装置，其特征在于，

所述检测控制部包含驱动所述开关的开关驱动部、控制所述开关驱动部的开关控制部。

4.根据权利要3所述的贮液装置，其特征在于，包括：

开关驱动要求部，对所述开关控制部要求驱动所述开关。

5.根据权利要4所述的贮液装置，其特征在于，包括：

液体供给部，连接到所述贮留容器而将所述液体从外部供给到所述贮留容器内；以及

供液控制部，控制藉由所述液体供给部的所述液体的供给；其中

所述供液控制部构成所述开关驱动要求部，使所述液体供给部供给所述液体，并且对所述开关控制部要求驱动所述开关。

6.根据权利要4或5所述的贮液装置，其特征在于，包括：

送液部，连接到所述贮留容器，将存在于所述贮留容器内的所述液体进行送液到外部；以及

送液控制部，控制藉由所述送液部的送液；其中

所述送液控制部构成所述开关驱动要求部，使所述送液部进行送液，并且对所述开关控制部要求驱动所述开关。

7.根据权利要4或5所述的贮液装置，其特征在于，包括：

检测信号处理部，连接到多个所述液体检测部，处理从所述液体检测部输出的检测信号；以及

主控制部，包含所述检测信号处理部，并且总括所述贮液装置的控制系统；其中

所述主控制部构成所述开关驱动要求部，基于被所述检测信号处理部处理的所述检测信号，对所述开关控制部要求驱动所述开关。

8.根据权利要4或5所述的贮液装置，其特征在于，包括：

主控制部，总括所述贮液装置的控制系统；其中

所述主控制部构成所述开关驱动要求部，基于进行所述贮液装置的启动准备，对所述开关控制部要求驱动所述开关。

9.根据权利要4或5所述的贮液装置，其特征在于，

在所述开关驱动要求部，包含定期地进行驱动所述开关的要求的定期计时器。

10.根据权利要1至5中任一项所述的贮液装置，其特征在于，

所述最低位液体检测部包含发出红外线的投射部、以及接收所述红外线的光接收部。

Images