KR100194503B1

KR100194503B1 - 액체 분배 시스템, 액체 분배 방법 및 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어방법

Info

Publication number: KR100194503B1
Application number: KR1019910001436A
Authority: KR
Inventors: 이.버치 다니엘
Original assignee: 톰 필립스; 인테그레이티드 디자인즈 인코포레이티드
Priority date: 1990-01-29
Filing date: 1991-01-29
Publication date: 1999-06-15
Also published as: JP3039689B2; JPH055644A; KR910014303A

Abstract

본 발명은 액체로 채어진 저장조, 제어 마이크로프로세서 그리고 저장조에 연결된 다수의 출구를 포함하는 액체 분배 시스템에 관한 것이다. 액체를 여과하기 위해 저장조와 출구 사이에 필터가 제공된다. 각각의 출구에 설치된 밸브가 출구를 지나는 유동을 제어한다. 각 출구가 개별적으로 선택 가능하도록 각 밸브는 프로세서에 의하여 개별적으로 제어된다. 프로세서는 각 출구로부터 액체에 대한 요구를 나타내는 신호를 수신하도록 채택된다. 요구 신호를 수신하면, 선택된 밸브는 다른 블브가 폐쇄된 상태를 유지하는 동안 프로세서의 신호에 응답하여 개방되며, 액체가 선택된 출구만 지나는 것을 허용한다. 선택된 출구 부근에서 감지된 액체에 가해진 예정된 압력과 각 출구를 갖는 오리피스는 선택된 출구를 지나는 유동량을 제어한다. 제어기는 밸브를 폐쇄하기 위하여 예정된 시간 주기의 종점에서 선택된 밸브에 신호를 보낸다. 유동량과 함께 시간 주기는 특정량의 액체를 분배시킨다. 다수의 입구가 저장조에 연결된다. 각 입구가 각각의 액체 공급원에 연결된다. 저 액체 높이가 저장조에서 감지되고 분배가 처리되지 않으면, 입구가 선택되어 개방되고 저장조는 채워진다. 프로세서가 예정 시간동안 저장조가 채워지지 않는 것을 검출하면, 다른 입구가 선택되어 개방되고 저장조는 예정된 높이가 될 때 까지 계속 채워진다.

Description

액체 분배 시스템, 액체 분배 방법 및, 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어방법

제1도는 본 발명의 액체 분배 시스템의 바람직한 실시예의 개략도.

제2도는 액체 유동을 여과하기 위한 또다른 바람직한 필터 장치를 도시하는 제1도의 액체 분배 시스템의 제2개략도.

제3도는 제1도의 액체 분배 시스템의 제3개략도.

제4도는 메인 모드내에 포함된 저장조 임계 공배 서브 모드와 본 발명에 따른 시스템 작동의 연속 작동 메인 또는 주 모드의 플로우차트.

제5도는 본 발명의 배출 모드의 플로우차트.

제6도는 본 발명의 정화 모드의 플로우차트.

제7도는 본 발명의 중지 모드의 플로우차트.

제8도는 본 발명의 측정 모드의 플로우차트.

제9도는 측정 모드동안에 실시 가능한 본 발명의 측정 인터럽트 모듈의 플로우챠트.

제10도는 요구에 따라 액체를 분배하기 위한 본 발명의 트리거 모듈과 분배 시간 간격의 말단에서 작동되는 분배 인터럽트 말단의 서브 모듈의 플로우 차트.

제11도는 본 발명의 저 감지 모듈의 플로우차트.

제12도는 본 발명의 고 감지 모듈의 플로우챠트.

제13도는 저 감지 절차동안에 이용할 수 있는 본 발명의 재충전 인터럽트 모듈의 플로우 차트.

제14도 내지 제 34도는 연속 작동 키보드 인터럽트 루틴과 그 서브 루티의 플로우차트.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

12 : 저장조 14 : 제어기

36 : 센서 42 : 조절기

44 : 도관 46 : 압력 센서

50 : 도관 59 : 압력 게이지

60 : 챔버 64 : 밸브

82, 84 : 필터 86 : 하우징

90 : 도관 94 : 밸브

본 발명은 액체 분배용 시스템에 관한 것으로, 특히 시스템으로부터 일정량 액체를 수용하도록 적용된 처리 장치의 한 부재로 일정량의 액체를 분배시키기 위한 자동 마이크로프로세서 제어 시스템에 관한 것으로서, 시스템은 하나의 액체원이 비워진 것이 검출되면 액체를 분배용 시스템으로 공급하는 복수개의 액체 공급원 사이에서 스위치를 자동적으로 작동시킨다.

임의적인 제조 공정에서 다양한 공정의 작동 상태를 주의깊게 조정해야 하는 것은 필수적인 사항이다. 분배 액체 포토레지스트 화합물과 같은 제조 공정에서 부딪치는 한 문제는, 액체 포토레지스트가 분배되어 공정내로 도입되는 에어버블로 인하여 포토레지스트층에 형성되는 불연속성이다. 액체 포토레지스트 화합물들은 비교적 작은 용기에 공급되며, 그들이 비워지면 화합물이 보충되어져야 한다.

예비 설정 수준 이상으로 채워진 저장조를 유지하기 위하여 용기로부터 저장조내로 액체를 동시에 끌어올린 액체 화합물이 저수지로부터 액체를 펌핑시켜 저수지내의 저항 압력을 생성시켜서 분배되도록 하는 미합중국 특허 제 4,601,409호에 서술된 방식의 펌핑 사용은 공지되어 있다. 또한 이러한 방식에서는 한 용기가 비워졌을 때 한 용기로의 스위치를 작동시켜 저장조의 연속적인 충전을 허용하는 것이 공지되어 있다. 그러나, 이러한 충전과 분배의 두 동작이 동시 작동하기 때문에 전체적으로는 좋지 않다. 결국, 공백 입구, 다른 액체 방해물, 또는 다른 이유로 인하여, 분배되어진 액체가 저장조에 적어도 동일 비율로 충전될 수 없으며, 액체 화합물 대신에 또는 그와 함께 분배되어 있는 기화성 유동이 있을 수 있다.

둘째, 대체로 종래의 펌핑 설치는 풀무형 펌프로 제공된다. 그러나, 이러한 것은 흐름률이 일정하지 않기 때문에 전체적으로는 좋지 않다. 결과적으로, 일정량의 액체 화합물을 분배시킨다는 것은 어렵게 된다. 또한, 이러한 형태의 펌핑 설비 상태는, 만일 필터가 시스템에 구비되어 있으면, 필터가 시간 흐름 초과로 오염 물질이 로드되어 필터 전체의 증가 압력 강하용으로 보충되기가 어렵다.

따라서, 본 발명에 따르는 액체 분배 시스템은, 액체 화합물과 함께 분배되어 있는 것으로부터 기화 유동을 막기 위하여, 분배 동작으로부터 충전 또는 보충 동작을 분리하는 동안에 정확하고 반복 가능한 액체 화합물을 분배한다. 본 발명에 따르는 시스템은 액체 충전 저장소, 제어 마이크로프로세서, 저장조에 연결된 다수개의 배출구를 포함하며, 각각의 배출구는 그로부터 특정량의 액체 유동치를 수용하도록 적용된 처리 장치의 한 부재에 연결되어 있다. 제어 마이크로프로세서는 본 발명 연산에 따르는 적절한 소프트웨어로 구동된다. 시스템의 여러 모드용 매개 변수들은 사용자에 의해 제어기내에 프로그램된다. 각각의 배출구에 설치된 배출 밸브는 배출구를 통하는 흐름을 제어한다. 각각의 배출구가 개별적으로 선택될 수 있도록, 각각의 배출 밸브는 프로세서에 의해 개별적으로 제어된다. 사용하기 용이한 시스템은 분배 소요를 사용자가 완전히 제어하게 한다.

프로세서는 특정 배출구로부터 특정량의 액체 요구를 나타내는 특정 배출구에 연결된 처리 장치의 한 부재로부터의 신호를 수신하기에 적합하다. 요구를 접수하면, 상기 시스템은 분배 모드로 스위치를 동작시키고, 프로세서로부터의 신호에 대한 압력 조절 반응은 저장조내의 액체로 압력을 가한다. 가해진 압력이 특정 배출구에 인접 감지된 압력에 의해 나타나는 예정치에 도달하면, 액체가 선택된 배출구로만 통하여 기구로 분배되는 것을 허용하기 위해, 배출구를 제어하는 특정 배출 밸브가 선택되어 프로세서로부터의 신호에 따라 개방되고 반면에, 다른 배출 밸브는 폐쇄 상태를 유지한다.

선택 배출구에 인접 감지된 액체에 적용되는 예정 압력치와 각각의 배출구를 구비한 오리피스는 선택 배출구를 통하는 액체 유량을 제어한다. 제어기는 예정주기 시간의 끝에서 선택 배출 밸브로 신호를 보내어 밸브를 폐쇄시킨다. 유량과 함께 하는 시간 주기를 특정량의 액체를 허용하여 기구로의 분배가 되게 한다. 마이크로프로세서를 통하는 압력 센서와 압력 조절기 사이에 서보 루프는 개방하는 배출 밸브의 수에 상관없이 안정된 분배를 허용한다. 압력은 배출구에 인접한 압력 센서에 의해 감지되기 때문에, 액체 화합물이 한 피스(one piece)의 프로세스 기구 이상에 분배되는 것을 허용하여 한 배출구 이상이 임의의 시간에 개방될 수 있다.

특정량의 액체가 기구에 분배되어진 다음에, 선택된 배출 밸브는 폐쇄되고 시스템은 적절한 배기 가스 모드에 스위치를 작동시킨다. 진공 벤츄리는 제어기로부터의 신호를 통해 활성화되어 저장조내의 액체에 작용하는 압력을 이동시키고, 따라서 액체가 그 자신의 분위기에 있게 한다. 저장조와 진공 벤츄리 사이의 체크 밸브는, 저장조로 흐르는 배면으로부터 압축공기 또는 질소 가스에 의해 제공되는 벤츄리 활성 압력을 방지한다. 만일, 적절한 배기 가스 모드가 선택되지 않으면, 노말 모드가 활성화된다. 이러한 모드에서는 진공 벤츄리가 활성화되지 않지만, 저장조는 대기압으로 벤츄리를 통한 새어나감이 허용된다.

액체 화합물로 채워진 저장조를 유지하기 위하여 다수개의 입구가 저장조에 연결된다. 각각의 입구는 분할 액체 공급기에 연결된다. 저 액체 레벨 저장조에서 감지되고 분배가 진행되지 않으면, 시스템은 충전 모드에 스위치를 동작시키고 제어기로부터의 신호에 대한 반응 입구가 선택되어 개방되며, 저장조는 예정 수준으로 채워진다. 저장조는 그 배출구 또는 필터 위에 있지만 저 액체 레벨 아래인 저장조에 공지된 저장량 또는 체적을 분배하는 동안에 저 액체 레벨 아래로 떨어지고, 공백 카운트라고 불리우는 공지된 수의 분배치를 분배시키기 위한 추가 액체를 제공하고, 소정량의 액체가 분배될 때까지 분배되어 있는 것으로부터의 기화 유동성을 막는다.

저장조가 예정 시간이 경과한 후에도 채워지지 않았음을 프로세서가 검출하면, 제어기로부터의 다른 신호에 대한 반응 입구가 선택되어 개방되며, 저장조는 예정 수준에 도달될때까지 충전이 계속된다. 공백 액체 공급을 가짐으로써 제어기에 의해 검출되어지는 입구는 제어기에 의해 공백 상태가 전달된다. 공백 입구가 충전 모드의 재활성화 시에 다시 선택되지 않도록, 공백 상태는 제어기가 사용되어 공백 입구임을 규명한다.

저장조가 보충되어지고 저장조용 공백 카운트가 그 최대치를 초과하지 않는 반면에, 시스템은 분배 모드에 다시 스위치를 작동시킬 수 있고, 충전모드가 일시적으로 폐쇄시키는 배출구를 재선택하고, 특정량의 액체가 프로세스 기구로 공급되어질 때까지 선택 배출구를 통한 액체 공급으로 이어진다. 분배후에, 시스템은 필요시에 재충전 모드로 다시 스위치를 작동시키게 되고 충전은 계속된다. 시각적 또는 청각적일 수 있는 액체 공급 알람은, 작업자가 공백 액체 공급부를 재충전 또는 대체를 허용하여 액체 공급부가 비워 있음을 작업자에게 알려준다.

액체로 저장조를 채우는 바람직한 방법은 단절된 저장조에 진공을 적용하고 반면에, 선택 입구는 제어기로부터의 신호를 통해 진공 벤츄리가 활성화되어 개방된다. 저하된 압력은 입구를 통한 저장조내로의 공급 액체로부터 액체를 끌어올린다. 액체로 저장조를 채우기 위한 다른 바람직한 방법은 액체가 선택 입구를 통하여 저장조내로 흐르게 하여, 기체 압력이 선택 액체 공급부에 가해져 액체에 대하여 작용한다.

그 액체 레벨 감지를 실패한 경우에는, 진공 벤츄리와 저장조 사이에 배기 인터록부에 인접 위치된 액체 과흐름 센서가 인터록부에 액체 과흐름 상태를 검출하여 프로세서로 신호를 보낸다. 프로세서가 액체 과흐름을 나타내는 신호를 접수하면 선택 입구는 저장조내로의 추가 액체 흐름을 막도록 마이크로프로세서로부터의 신호를 통해 폐쇄된다.

액체에 대한 명령이 충전 모드 동안에 수신되고 저장조의 액체 수준이 낮은 액체 수준 위에 있으면, 충전 모드가 종결된다. 컴퓨터로부터의 신호에 대한 선택 입구는 폐쇄되고 시스템은 분배 모드에 스위치를 작동시킨다.

필터는 분배 모드동안 액체를 여과하기 위하여 저장조와 출구 사이에 제공될 수 있다. 결국, 분배 모드동안 선택된 출구에 인접한 감지 압력은 필터와 출구 사이로 내려간다. 분배 모드동안, 시스템은 필터를 가로지는 압력 강하를 감지하고 마이크로프로세서에 압력 강하를 표시하는 신호를 제공한다. 저장조내의 액체에 가해진 압력은 선택된 출구에 인접한 감지 압력이 감소한 만큼 필터가 오염물로 채워지면 증가하기 때문에, 선택된 출구에 인접한 감지 압력은 미리 결정된 압력으로 유지될 수 있다. 마이크로프로세서는 신호를 받고 신호를 압력 강하에 대해서 미리 결정된 값과 비교되는 이용 가능한 값으로 변환시킨다. 받은 신호에서 변환된 값이 미리 결정된 값보다 더 클 때, 프로세서는 경고 신호를 오퍼레이터에게 알려준다. 그러므로 받은 신호로부터 변환된 값이 미리 결정된 값보다 클 때, 프로세서는 필터 상태가 불만족하다는 것을 청각적으로 또는 시각적으로 알릴 수 있는 필터 알람(alarm)을 작동시킨다.

본 발명의 상술한 다른 특징들은 도면과 본 발명의 상세한 설명 및 첨부된 특허청구 범위로부터 명확하게 될 것이다.

본 발명은 도면과 연관하여 바람직한 실시예의 아래 설명을 참조로 보다 용이하게 이해될 수 있을 것이다.

제1도를 참조하면, 본 발명의 액체 분배 시스템(10)의 개략 사시도가 도시되어 있다. 시스템(10)은 액체를 정확하고 반복 가능한 량으로 분배시키고, 산, 용매와 염기의 모든 다른 형태와 겸용으로 만들 수 있다.

시스템(10)의 중앙에는 가압 가능한 화학 저장조(12)가 있다. 저장조(12)는 후술되는 것과 같은 목적으로 압력 유지를 위해 적합한 거의 모든 액체를 포함할 수 있는 밀폐된 용기이다.

제4도 내지 34 도의 아라비아 기수법에 따라서 프로그램화된 소프트웨어 구동 분배 시스템 제어기(14)는 시스템(10)의 작동을 제어한다. 제어기(14)에 연결된 키보드(16)는 사용자가 시스템(10)의 작동을 다루는 제어기(14)의 마이크로 프로세서를 선택적으로 프로그램할 수 있도록 한다. 제어기(14)는 지로그 Z80 과 같은 적합한 마이크로프로세서, 마더 보드상의 슬롯내에 부착된 적합한 I/O 보드와 2초에 1/100 분지의 시간 증분을 제공하는 인텔 8254 프로그램 가능한 타이머와 같은 다수의 적합한 타이밍 수단을 포함한다. I/O 보드에 부착된 참고 문자 a-n 에 의해 표시된 권선 장치의 형태인 적합한 연결 수단은 시스템(10)의 다른 성분을 개별적으로 제어기(14)에 연결하기 위해서 제공한다. 제3도를 참조하면, 피봇 밸브 매니폴드를 따라 장착된 다수의 개별적으로 선택 가능한 밸브 소자는 제어기(14)에 의해 조정될 수 있으며, 개방 위치에 있는 각 밸브 소자는 시스템(10)의 다른 부분을 선택적으로 작동하도록 피봇 압력을 전달한다. 제어기(14)는 다른 적합한 프로그램 가능한 장치가 사용될 수 있지만, IBM AT와 같은 프로그램 가능한 개인용 컴퓨터이면 좋다. 제어기(14)는 전원 차단의 경우 배터리가 백업되므로 프로그램화된 데이터를 메모리에 상주시키는 램(RAM)을 포함한다.

시스템(10)은 저장조(12)를 충전하기 위해 도관(20)의 분관을 경유해서 저장조(12)에 연결하는 다수의 선택 가능한 액체 입구(18a, 18b, 18c, 18d)를 포함한다. 각 액체 입구(18a, 18b, 18c, 18d)는 제각기 입구 밸브(22a, 22b, 22c, 22d)를 포함한다. 제어기(14)는 각 밸브 (22a, 22b, 22c, 22d)를 선택적으로 제어하도록 각 밸브 (22a, 22b, 22c, 22d)로 권선 장치의 부분을 통해 선택적으로 전달한다. 결국, 저장로(12)로 유입되는 액체는 선택적으로 제어된다.

각 입구 (18a, 18b, 18c, 18d)는 도면에서 도시하지 않는 각각 동일한 화합물을 가지는 분리 액체 화학 공급부에 연결된다. 통상적으로, 종래의 각 액체 공급부는 병 또는 자루 형상이었다. 시스템(10)은 유지 입구 밸브가 폐쇄되어 있으면 한 밸브 (22a, 22b, 22c, 또는 22d)를 선택적으로 개방함으로써 저장조(12)에 자동적으로 채워지게 한다. 그러므로, 제1도내의 굵은선(24)에 의해 표시된 단 하나 입구가 선택되고, 시스템(10)이 다른 입구를 통하여 액체 흐름을 차단하도록 작동하면 개개 작동이 액체 화합물로 어떤 공백 화학 공급부를 채울 수 있도록 선택된 화학 공급부로부터 액체 화합물을 철회하도록 시스템(10)이 작용한다. 선택된 화학 공급부가 비어지면, 시스템(10)은 다른 입구를 자동적으로 스위치할 것이므로, 다른 화학 공급부를 선택하고 공백 화학 공급부가 액체로 채워지도록 한다.

시스템(10)에 포함되어 있는 것은 다수의 선택 가능한 출구(26a, 26b, 26c)이다. 출구 (26a, 26b, 26c)는 저장조(12)로부터 액체 화합물을 분배하기 위해 도관(28)의 가지를 경유해서 저장조(12)에 연결된다. 각 액체 출구 (26a, 26b, 26c)는 제각기 출구 밸브 (30a, 30b, 30c)를 포함한다. 제어기(14)는 각 밸브(30a, 30b, 30c)에 선택적으로 전달하므로 각 밸브(30a, 30b, 30c)는 분리 제어될 수 있다. 따라서, 저장조(12)로부터의 액체 출력은 선택적으로 제어되고 액체를 저장조(12)에서부터 선택적으로 분배되도록 한다. 그러므로, 도면에 도시하지 않은 단한 출구 또는 굵은선(32)에 의해 도시된 바와 같은 다수의 출구가 선택되어질 수 있다. 바람직하게는, 각 출구 밸브(30a, 30b, 30c)는 분배물을 수용하는 프로세스 장치내의 프로세스 물질에 화합물의 드리핑을 방지하도록 제각기 공제 또는 체크 밸브부(34a, 34b, 34c)를 포함한다.

각 출구(26a, 26b, 26c)는 도면에 도시하지 않은 프로세서 장비의 다른 편에 연결될 수 있으므로, 장비에 화합물을 요구에 따라서 선택적으로 분배할 수 있다. 이것을 가장 잘 성취하기 위해서, 프로세서 장비의 각 부분은 일련의 포트와 같은 권선 장치 또는 적합한 수단을 통하여 적당한 상태하에서 개별적으로 제어기(14)에 연결되며, 프로세스 장비의 각 부분은 적절한 출구 밸브 (30a, 30b 또는 30c)를 개방하기 위해 제어기(14)에 요구 신호를 전달하고 그것에 선택된 화합물의 량을 분배한다.

저장조(12)내의 액체 레벨 센서(36)는 저장조(12)내의 고 및 저 액체 레벨을 탐지한다. 센서(36)는 제1도에 38 로 도시된 높은 위치와 제1도에 40 으로 도시된 낮은 위치 사이로 이동 가능하다. 센서(36)는 센서(36)가 고 액체 레벨을 감지한 것을 표시해주는 고 액체 레벨의 제1신호 표시를 제어기(14)에 전달하고 센서(36)가 저 액체 레벨을 감지한 것을 표시해주는 저 액체 레벨의 제2신호 표시를 제어기(14)에 전달한다. 통상적으로, 센서(36)는 고 및 저 액체 레벨 모두를 탐지할 수 있는 단일 액체 액체 레벨 탐지기일 수 있으며 고 또는 저 액체 액체 레벨 상태를 표시하는 다른 신호들을 제어기 (14)에 보내기 위한 수단도 포함한다. 또한, 센서(36)는 고 액체 레벨 센서와 분리 저 액체 레벨 센서를 포함할 수 있으며, 각각은 적절한 신호를 고 또는 저 액체 레벨을 나타내는 제어기(14)에 전달한다.

서보 제어된 전자 압력 조절기(42)는 저장조(12)내의 현 액체에 작용하도록 요구에 따라 압력을 제공한다. 제2도를 참조하면, 조절기(42)는 도관(44)을 경유해서 압축 질소 또는 공기를 수용한다. 보통, 압축 질소는 약 60psi 의 압력일 것이다. 제어기(14)는 조절기(42)의 작동을 조정하므로 조절기(42)가 제어기(14)에서부터의 신호에 대응하는 요구에 따라 압력을 제공할 수 있게 해준다.

압력 센서(46)는 압력을 감지하도록 저장조(12)에 연결된다. 제어기(14)를 통하는 압력 센서(46)와 조절기(42) 사이의 서보 루프는 선택된 출구 밸브(30a, 30b 또는 30c)가 개방되기전 사용자에 의해 프로그램화된 출구 압력에서 저장조(12)에 작용하는 압력을 안정화하기 위해 사용된다.

제어 가능한 3-웨이 밸브(38)는 도관(50, 52, 54)을 경유해서 조절기(42), 저장조(12)와 후술될 진공 벤츄리(56)에 제각기 연결된다. 제어기(14)는 밸브(48)의 스위치 작동을 조절한다. 제어기(14)부터의 적합한 신호를 받아들이면, 밸브(48)는 도관(50,52)을 경유해서 압력 조절기(42)에서 저장조(12)에 압력을 공급하기 위한 압력 위치와 아래에 설명될 것이지만 도관(54)내에서 낮은 압력을 발생시키기 위한 진공 벤츄리(56) 또는 다른 종래 장치에 의해서 저장조(12)를 비우게 하기 위한 제2진공 위치 사이에서 선택 가능하다. 밸브(48)의 압력 위치는 요구에 따른 압력 분배 모드내에서 사용될 수 있으며, 도관(50, 52)과 후술될 배기 인터록(58)를 경유해서 압력 조절기(42)를 저장조(12)에 연결시킨다. 제2도에 도시된 아날로그 압력 게이지(59)는 저장조(12)에 가해진 압력을 오퍼레이터에게 시각적으로 알려주기 위해 도관(50)내에 함유될 수 있다. 밸브(48)의 진공 위치는 충전 또는 배기 모드에서 사용될 수 있고, 도관(52, 54)과 배기 인터록(58)을 경유해서 저장조(12)를 진공 밴츄리(56)에 연결시킨다. 배기 인터록(58)은 밸브(48)과 저장조(12) 사이의 도관(52)내에 연결된다. 배기 인터록(58)은 밸브(48)가 진공 위치에 있으면 저장조(12)를 벤츄리(56)를 경유해서 배기시키므로써, 각 분배후 저장조(12)는 대기압과 동일하게 된다. 배기 인터록(58)는 도관(52)의 분절 사이에 연결된 밀폐된 챔버부(60)와 고 레벨 센서가 고장난 경우에 챔버부(60)내의 과류 액체를 탐지하기 위해서 챔버부 가까이에 액체과류 알림수단을 포함한다. 따라서 액체 과류 알림 수단은 인터록(58)에 인접한 과류 액체의 존재를 탐지하기 위한 수단을 제공하고 있다. 액체 과류 알림 수단은 근처의 액체를 탐지하기 위해 작동하는 챔버부(60)의 외벽에 부착된 정전력 용량 센서(62)의 형태로 제공되어 있다. 인터록 용량 센서(62)는 제어기(14)에 연결되고 액체가 인터록(58)에 인접하다는 것이 탐지되면 적합한 신호를 제어기(14)에 보낸다. 다르게는, 액체 과류 알림 수단에는 인터록(58)에 인접한 액체를 탐지하기 위한 종래의 플로우트 스위치와 같은 다른 형태도 제공될 수 있다. 제3도에 도시한 바와 같이, 제거 가능한 플러그 (63)는 액체 과류가 탐지되고 시스템(10)이 보전을 위해 폐쇄될 때 어떤 액체를 소제하기 위해 챔버부(60)에 인접하게 허락하도록 제거 가능하다.

선택 가능한 밸브(64)는 진공 벤츄리(34)의 작동을 제어한다. 제3도를 참조하면, 선택 가능한 밸브(64)는 피봇 밸브 매니폴드(66)와 매니폴드(66)에 연결되는 다수의 개별 선택 가능한 밸브 소자(68a 내지 68j)를 포함하며, 각 밸브 소자는 가압 가스의 공급을 적절한 부분에 배달하기 위한 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 제어기(14)로부터의 적합한 신호를 경유해서 개별적으로 선택 가능하다. 통상적으로, 진공 벤츄리(56)는 분산되는 액체 화합물과 공존하는 압축 질소 또는 다른 가스 유동을 수용하기 위해 입구 도관(74)과 배기 도관(72)을 가진 벤츄리 부재(70)를 구비한다. 배기 도관(72)은 도면에 도시되지 않은 양립 가능한 배기 시스템에 연결되는 것이 양호하다. 도관(74)은 밸브(64)의 밸브 부재(68d) 출구면에 연결되고, 도관(76)은 밸브 부재(68a 내지 68j)로 분산되기 위해 파일럿 밸브 매니폴드(66)의 입구면에 가압된 질소 가스 또는 공기의 공급처(78)를 연결시킨다. 벤츄리 부재에서, 벤츄리 부재(70)의 제어된 영역을 통해 압축된 가스의 유동은 베르누이의 원리에 따라 도관내에 감소된 압축 영역을 발생시킨다. 통상적으로, 상기 감소된 압력은 약 250mm Hg에 해당한다.

제어기(14)는 밸브(64)와 연결되고 밸브(64)의 개폐를 조절한다. 제어기(14)는 밸브(48)를 그것의 진공 위치에 연결시킴과 동시에 신호와 연결되어 밸브 부재(68d)를 개방시킨다. 밸브 부재(68d)가 개방될 때, 가압된 질소 가스 또는 공기는 공급원(78)으로부터 진공 벤츄리(56)를 통해 유동되고, 그것의 진공 위치에서 밸브 및 배기 인터록(58), 도관(52, 54)을 거쳐 저장조(12)를 진공시키기 위해 도관내 압력을 저하시키거나 진공을 일으킨다. 밸브(48)와 벤츄리(56)에 연결된 도관내의 1-웨이 체크 밸브(80)는 밸브(48) 및 연동기(58)를 통해 저장조(12)로 가압된 질소 가스 또는 공기의 유동을 방지하면서 저장조(16)로부터의 공기 유동을 허용한다. 배기 과정의 말단에서, 제어기(14)는 신호와 연결되어 밸브 부재(68d)를 밀폐시킨다.

제어기(14)는 진공 벤츄리(56)를 통해 유동하기 위해 그것의 진공 위치 및 가압된 가스에 밸브(48)를 연결시킬 때, 저장조(12)의 액체 레벨이 저 액체 레벨(40)이하로 떨어지는 경우 저장조(12)에 작동하는 도관(54)내의 감소된 압력은 액체와 함께 저장조를 재급유시키는데 이용된다. 상기 시스템이 분산 모드에 있지 않을 때 감소된 압력이 저장조(12)를 재충전시키도록 이용되기 위해서, 입구 밸브(22a, 22b, 22c, 22d)중의 하나는 저장조(12)내 감소된 압력이 입구를 통해 개방된 입구에 존재하는 액체 화합물 공급원으로부터 저장조(12)로 액체를 유동시키도록 개방된다.

선택적으로, 제어기(14)는 저장조(12)로 액체를 유동시키기 위해 저장조(12)내 감소된 압력의 발생 및 진공 벤츄리의 작동 대신에, 저장조(12)로 액체를 가하는 액체 화합물 공급원에 적용된 압력을 발생한다. 이것은 신호를 밸브(81)에 전달하여 압력 조절기(42)와 연결된 제어기(14)를 따라 밸브를 개방시키는 제어기(14)에 의해서 이루어진다. 상기 압력 조절기(42)는 개방된 입구를 거쳐 저장조속으로 액체를 여기하는 액체 공급원에 대해 작동하고 일점쇄선(83)에 의해 도시된 도관을 통해 유동하기 위해 예정된 압력에서 질소 가스 또는 다른 적당한 가스 액체의 공기를 발생시킨다.

선택적으로, 각 액체 공급원은 예정된 압력을 가질 수도 있다. 결국, 입구가 가압된 액체 공급원들중의 하나에 개방될 때, 액체 공급원 측면의 압력은 액체를 개방 입구를 통해 저장조(12)로 여기시킨다.

필터(82)는 사용된 화합물에 좌우될 수도 있고, 상기 과정은 화합물이 시스템(10)위에 있을 때 요구된다. 필터(82)는 저장조(12) 및 출구 밸브(30a, 30b, 30c)사이에 위치된다. 선택적으로, 제2도에 도시된 바와같이, 필터(82)는 하기에 기술되듯이 저장조(12)의 외측에 위치될 수도 있다. 저장조(12) 앞에 위치된 다른 필터(84)는 가스가 저장조(12)로 들어가기 전에 쇄도하는 가압 가스를 여과시킨다.

제2도와 관련하여, 필터(82)는 저장조(12) 외측의 밀봉 필터 하우징(86)내에 포함될 수 있다. 밀봉 하우징(86)은 저장조(12) 및 출구(26a, 26b, 26c) 사이 유동 라인의 도관 세그먼트(28, 90)사이를 연결시키는 적당한 입구 및 출구를 가진 플랜지부(88)와, 필터(82)에 도달하는 제거 가능한 원통부(92)를 구비한다. 선택적으로, 원통부(92)와 필터(82)는 캐니스터 필터상의 종래 나사와 결합된다. 저장조(12)는 저장조(12)의 바닥으로부터 인도되어 도관(90)를 거쳐 하우징(86)의 입구면에 연결된다. 도관(90)내 수동 밸브(94)는 배출 저장조(12)없이 필터(82)를 변화시킨다.

제1도 및 제3도와 관련하여, 필터(82)가 저장조(12) 내측에 위치될 때 필터(82)의 정상은 예정된 지점에서 저 액체 레벨 밑에 위치되므로 화합물의 공지된 저장량은 필터(82)위 저장조(12)에 남아있다. 저 액체 레벨 위치는 필터(82) 위가 되기 때문에 가스형태의 기체가 필터(82)로 들어가는 것을 억제해준다. 선택적으로, 제2도에 도시된 바와 같이, 필터(82)의 입구는 도관(90)의 입구 측면을 저장조(12)의 바닥에 연결시키므로써 저장조(12)내 액체의 최저 레벨과 통하도록 연결된다. 이와 같이, 저 액체 레벨부는 도관(90)의 입구 측면위에 있으므로 화합물의 공지된 저장량은 저장조(12)내에 남아있다.

필터(82)에는 시간의 경과에 따라 오염 물질이 포화되기 때문에, 저장조(12)내에 있는 화합물 액체에 작용하는 압력에 대해 필터(82)를 통한 유동이 감소된다. 압력 센서(46)는 제2도 및 제3도에 상세히 도시되듯이 출구 밸브(30a, 30b, 30c) 및 필터 사이 액체 유동 통로의 하방에 위치된다. 결국, 필터(82)가 포함될때 압력 센서(46)는 저장조(12)의 정압과 필터(82) 하방으로 유동하는 동압을 감지한다. 따라서, 저장조(12)내 액체에 작용하는 압력은 동일 압력으로 압력 센서(46)를 유지하기 위해 상방으로 조절될 수 있다.

필터(82)가 포함되지 않을 때, 압력 센서(46)는 저장조(12) 및 출구 밸브 (30a, 30b, 30c)사이 유동하는 동압을 판독한다. 따라서, 필터(82)가 포함되지 않을 때, 압력 센서(46)는 저장조(12)내 액체에 작용하는 압력을 동일 압력으로 센서(46)를 유지하기 위해 조절된다. 필터(82)가 포함되거나 되지 않더라도, 동압력은 출구(26a, 26b, 26c)에 인접한 압력 센서(46)에 의해서 감지된다. 그러므로, 다수의 출구(26a, 26b, 26c)가 다수의 출구를 통해 각각의 분산에 필요한 처리 장치에 액체 화합물을 분산시키거나 분산되도록 동시에 개방된다. 부가의 출구는 동일 압력으로 압력 센서(46)로 감지된 압력을 유지하는 압력 조절기(42)로 나타난 압력을 상승시키므로써 개방되고, 서보 루프는 상기 부가의 출구에 대응한다.

저장조(12)에 바닥에 인접하게 연결된 수동 배출 밸브(96)는 저장조(12)를 수동으로 배출하게 한다. 배출 밸브(96)를 저장조(12)에 연결시키는 배출 라인(100)내 종래의 1-웨이 체크 밸브(98)는 배출 라인(100)을 통해 저장조(12)로 들어가는 후방 유동을 방지한다. 배출 라인(100)상의 배출용 캡(102)은 배출 라인(100)의 내부를 보호한다.

바람직하게도, 제어기(14)는 4개의 액체 화학 분리 시스템(10)까지 조정할 수 있다. 그러나, 전체 시스템은 다소간의 화학 분리 시스템(10)을 포함할 수 있다.

제어기(14)는 앙쪽의 입구(18a, 18b, 18c, 18d)에 제공되는 어떤 공백 액체 화학 분리시키는 공급을 위해 시각 수단 및 청각 수단 양쪽다 포함한다. 제어기(14)는 또한 와이어링 하니스에 의하여 연결된 처리 장치와 결합되는데 결과적으로 시스템(10)의 폐쇄는 필연적이다.

작동의 모든 형태는 제어기(14)에 의해서 처리된다. 양호하게도 작동의 형태는 측정 형태, 분리 형태, 정규 형태, 탈 가스 형태, 정화 형태, 배출 형태 및 중지 형태를 포함한다. 제어기(14)는 적합한 수단을 포함하는데, 이를테면 주 컴퓨터 또는 다른 장치와 결합되기 위한 연속적인 포트이다.

제어기(14)는 작동 형태를 위해 피라미드를 고정시키는 키보드(16)를 경유하여 이용자에 의해서 프로그램된다. 그 결과, 이용자는 a) 화학 작용의 입구(18a, 18b, 18c, 18d)의 결합 또는 그 양쪽에 선택적으로 선별한다; b) 압력 센서(26)에 의해서 감지된 압력을 정한다; c) 필터(82)의 하류인 센서(46)에 의해서 감지된 압력 및 저장조(12)에 제공되는 액체상에 작용하는 압력 사이에서 압력 차동 한도 또는 델타 압력을 정한다; d) 각각의 입구에 분배되는 시간 간격을 정한다; e) 다수의 출구 밸브(30a, 30b, 30c, 30d)가 개방됨에도 불구하고 일정한 액체 유동을 위한 서보 루프의 압력을 한정한다; 그리고 f) 가압된 저장조(12)를 위한 최대 압력 한도를 정한다.

시스템(10)은 다수의 입구로부터 스위칭되는 화학적인 소스를 통합시키는데, 다소 가능하지만 도면에서 4개의 번호는 한 유니트내의 액체 수준 검출 및 화학적인 분리를 가진다. 시스템(10)은 저장조(12)의 크기를 변화시키도록 하여 그결과 시스템(10)은 다방면의 화학적 분리 적용에 적합하다. 화학 작용은 사용되며 공정은 요구함에 따라서, 시스템(10)은 화학 작용의 저장조(12)에서 여과 작용없이 작용할 수 있다.

상기 전체 시스템의 작동은, 다수의 액체 분배 시스템(10)으로 구성되며, 다음과 같다. 제4도를 참조하면, 상기 전체 시스템은 동력을 공급하며, 모든 입구 및 출구 밸브는 블록(103)으로 지시된 바와 같이 폐쇄되며, 연속적으로 활발한 주 또는 제1형태는, 연속적인 블록(104)에 의해서 지시되며 1 작동은 반응을 촉진하며, 그리고 각각의 분리 시스템(10)은 출력이 연결된 호스트 공정 장치에서 선별된다. 상기 주 형태 동안에, 제어기(14)는 만약 다수의 형태중 어느 하나로 조사된다면, 블록(106 내지 112)에 의해서 지시되며, 그것은 각각의 시스템(10)을 선별하는데, 이후에 한정한 바와 같이, 만약 저장조가 임계적으로 공백 알람이라면, 그것은 블록(114)에 의해서 지시된 바와 같으며, 화학적인 과잉 유동은 블록(106)에 의해서 지시된 바와 같이 인접한 센서(62)를 제공한다.

만약 화학적인 과잉 유동이 인접한 센서(62)를 검출하고, 과잉 유동된 시스템(10)의 모든 입구 및 출구 밸브는 폐쇄되며, 과잉 유동 알람, 이것은 주어진 시각 또는 청각일 것이며, 신호는, 블록(117a 내지 117b)에 의해서 지시된 바와 같이, 과잉 유동된 시스템(10)에 결합된 연결 호스트 공정 장치를 무력하게 하도록 제어기(14)에 의해서 보내어진다. 하나 이상의 시스템(10)이 제어기(14)에 의해서 조정될 때, 상기 포인터, 각각의 포인터는 분리 시스템(10)중의 하나로 나타내는 자료를 포함하는 레지스터일 것이며, 그것은 블록(117c)에 의해서 지시된 바와 같이, 다른 분리 시스템(10)으로 선별되도록 증가시키며, 상기 제어기(14)는 블록(104)에 의해서 지시된 연속적으로 활발한 주 형태로 재점유하며, 다른 시스템(10)이 활발하게 잔존하는 동안 과잉 유동된 분리 시스템(10)상에 유지된 작동을 수행시킨다. 또한, 또다른 분리 및 재충전 사이클은 오버 파일이 제거될 때까지 오버 파일된 저장조로부터 정지된다.

각각의 시스템(10)의 센서(62)에 인접한 화학 작용의 과잉 유동, 각각의 시스템(10)의 작동에 대한 형태로 조사된 후에 제어기(14)는 그 시스템의 출구에 연결된 처리 장치의 각 부분에 신호를 보내며, 블록(118)에 의해 지시된 바와 같이 처리 장치의 각 부분의 작동을 가능하게 한다. 그 후에 , 제어기(14)는 블록(120 내지 124)에 의해서 지시된 바와 같이 각 시스템(10)의 연결된 처리 장치의 각 부분으로부터 실제적으로 트리거 입력 변화를 조사한다.

만약 한 시스템(10)으로부터의 트리거 변화가 검출된다면, 블록(126 내지 130)에 의해서 도시된 바와 같이, 제어기(14)는 제 10 도에 도시되며, 블록(132)으로 들어가는데, 트리거 루틴 모듈이라고 한다. 트리거 변화를 조사한 후에, 제어기(14)는 블록(134)에 의해서 도시된 바와 같이 변화를 위해 각 시스템(10)의 센서(36)로부터 저 액체 레벨 신호를 시험한다. 또한, 상기 저 액체 레벨 신호는 각 저장조의 파일링을 제어한다. 만약 상기 신호가 변화한다면, 그후 제어기(14)는 저 센스 루틴 또는 저장조 정제 사이클 모듈이라고 하며, 제 11 도에 도시되며, 특수한 시스템 레지스터를 지난다. 상기 저 액체 레벨 신호를 시험한 후에, 제어기(14)는 블록(136)에 의해서 지시된 바와 같이 변화를 위해 각 시스템(10)의 센서(36)으로부터 고 액체 레벨 신호를 시험한다. 만약 상기 신호가 변화한다면, 그후 제어기(14)는 고 센스 루틴 모듈이라고 하며, 제 12 도에 도시되고, 특수한 시스템 레지스터를 지난다.

변화시키기 위해 각 시스템(10)의 저 및 고 액체 레벨 센서에 대한 변화를 조사한 후에, 제어기(14)는 블록(138)에 의해서 지시된 바와 같이, 어떤 시스템(10)의 분리 지점이 유효하다면 나타내어 감사한다. 어떤 시스템(10)의 분리 지점의 어느 한쪽도 유효하지 않다면, 제어기(14)는 시스템(10)이 블록(140)에 의해서 지시된 바와 같이 트리거 신호에 의해서 저지된 재충전 사이클이라면 나타내어 검사한다. 만약 상기 재충전 사이클이 방해받는다면, 블록(142)에 의해 지시된 바와 같이 시스템(10)에 관련된 재충전 타이머는 회복되며, 그 재충전 사이클은 재점유된다.

만약 어떤 시스템(10)의 분리 지점이 유효하다면, 제어기(14)는 그 시스템의 압력조절기(42)에 의해서 저장조(12)에 적용된 압력으로 판독하며, 압력은 시스템의 압력 센서(46)에 제공되며, 블록(144)에 의해서 지시된 바와 같이, 그들의 차이를 산정한다. 조절기(42)에 의해서 적용된 압력을 측정하는 바람직한 방법은 조절기(42)의 코일을 가로지른 서보 루프의 전압 또는 전류를 판독시키는 제어기(14)에 의한다. 센서(46)에 제공된 압력을 측정하는 바람직한 방법은 센서(46)를 통과하는 전류 또는 센서(46)를 가로지른 전압을 판독시켜 제어기(14)에 의한다. 제어기(14)는 조정기(14)에 적용된 압력을 표시하는 값을 취하며, 압력값은 센서(46)에 제공되며 그들의 차이를 산정하는데, 그것은 블록(146)에 의해서 지시된 바와 같이, 시스템(10)은 오퍼레이터에 의해서 한정되는 동안 예비-세트 한도와 비교된다. 만약 상기 차이는 오퍼레이터에 의해서 한정된 한도보다 크며, 그후 시각 및 청각 수단에 의해서, 제어기(14)는 시스템이 초과되는 동안 예비-세트 한도를 지시하며, 상기 시스템의 필터(82)를 변화시킬 때이다. 각 시스템의 예비-세트 한도는, 즉 0.2 미크론 또는 0.5 미크론인 시스템 및 필터 크기에 의해서 분리되는 특수한 화학 작용의 점도상에 달려 있도록 변화 가능하게 한다. 차이에 대한 값은 블록(150)에 의해서 지시된 바와 같이 최고 차이를 줄여 최종으로 차후에 비교된다. 만약 차이가 최고 차이를 줄여 최종의 것보다 크게 한다면, 상기 새로운 최고 차이는 줄여지며, 블록(152)에 의해서 지시된 바와 같이, 오래된 값을 변경한다.

제어기(14)가 어떤 시스템(10)을 위해 분리 지점이 유효하든 안하든간에 검사되며 만약 각각의 유효한 분리 시스템을 위한 재충전 사이클이 방해받는다면, 제어기(14)는 블록(154)에 의해 지시된 바와 같이 각 시스템(10)을 산정하기 위한 공백이 한도를 능가한다면, 나타내어 검사할 수 있다. 상기 필터 사이에 존재하는 액체 레벨이 존재한다면, 또는 저장조(12)의 출구, 각 시스템(10)의 저 액체 레벨(40), 치수를 따라서, 각 저장조(12)는 각 시스템(10)을 결정하기 위한 저 액체 레벨(40) 및 필터 또는 저장조 출구 사이에 제공된 액체의 보존 체적을 허용한다. 각 시스템(10)을 위한 이러한 보존 체적은 그러므로, 상기 시스템의 저장조(12)가 임계적으로 텅비기 전에 예비 결정된 수의 분리를 허용한다. 각 시스템(10)을 위한 분리의 이러한 예비 결정된 수는 그 시스템을 산정하는 공백의 최대수로 나타낸다.

만약 각 시스템(10)을 산정하기 위한 다수의 공백은 그 시스템을 위한 한도를 능가하며, 제어기(14)는 제4도의 블록(156 내지 164)에 의해서 도해된 임계적으로 공백의 서브 형태(247)로 들어간다. 임계적으로 공백의 형태가 들어갈 때, 또 다른 분리는 저장조가 정제될 때까지 허용되지 않는다. 상기 공백의 형태가 들어간 후에, 제어기(14)는 시스템이 청각 또는 시각 알람 수단에 의해서 임계적으로 공백이며, 블록(156)에 의해서 지시된 바와 같이, 그 시스템의 호스트 처리 장치를 무력하게 한다. 상기 키보드 형태는 제 28 도에 다른 제 14 도의 블록(166)과 상응한 블록(158)에 의해서 지시된 바와 같이 방해되며 고정된다. 다음에, 제어기(14)는 블록(160)에 의해서 도시된 바와 같이, 만약 상기 공백 시스템용 알람이 인정된다면, 나타내어 검사한다. 만약 알람 수단이 인정된다면, 블록(162)에 의해서 도시된 바와 같이, 제8도에 도시된 제어기(14)는 저 센스 또는 재충전 사이클 루틴을 호출함으로써 공백 시스템의 재충전 저장소(12)에서 시작되며, 상기 공백 시스템 레지스터를 통과한다. 다음에, 제어기(14)는 고 센스 루틴을 호출함으로써 블록(164)에 의해서 지시된 바와 같이 충만하게 된다. 만약 블록(166)에 의해서 도시된 바와 같이 그 시스템(10)의 저장소(12)가 충만하다면, 그 시스템의 연결된 호스트 처리 장치의 각 부분은 재가능하게 한다.

다수의 시스템(10) 공백 계수가 한계를 초과하는지의 여부를 체크한 후에, 제어기(14)는 블록(168)에 의해 지적된 바와 같이 시스템(10) 입구 (18a, 18b, 18c 또는 18d)에서 액체 공급원이 비었는지의 여부를 체크한다. 만약 상기 시스템중 하나의 입구 (18a, 18b, 18c 또는 18d)에서의 모든 액체 공급원이 비었을 경우 보거나 들을 수 있는 액체 공급 신호가 제공되고, 블록(170)에 의해 지적된 바와 같이 공백 액체 화학원을 확인하고, 상기 작동기가 상기 공백 액체 공급원의 하나 및 전부를 보충하도록 한다.

제어기는 다음 시스템(10)을 확인하는 정부를 갖는 지침 기록기를 증가시키고, 블록(104)에 의해 지적된 바와 같이 그 처음 활성점으로부터 상기 주 연속 작동 방법을 다시 속계한다. 결과적으로 각 시스템(10)은 작동, 그의 센서(62)와 인접한 화학적 출구, 트리거 입력, 액체 레벨, 활성 분배점, 단속 재보충 사이클, 공백 계수, 그리고 입력원의 방법을 위해 연속 체크된다.

상기 분배 방법이 트리거 온 신호에 의해 화학적 분배를 요구하는 일부 진행 장비로부터 선정될 때, 상기 트리거 온 신호는 제어기(14)에 전달되고 제4도의 결정 블록(120, 122 및 124)에 의해 지적된 바와 같이 상기 배분을 요구하는 특정 장비와 관계된다. 상기 온 신호는 적합한 접촉면에 의해 온 상태를 지시하는 유용한 신호를 변하는 전기 또는 기체 형태로 일어나고 제어기(14)로 전달된다. 다음에 제어기(14)는 블록(126, 128, 130)에 의해 지적된 바와 같이, 제 10 도에 도시된, 블록(132)에서 들어가는 트리거 루틴을 요구하고, 파라미터를 상기 시스템을 확인하는 서브 루틴에 보내고, 다시 분배를 요구하는 장비에 연결된 시스템의 고유 출구 (26a, 26b 또는 26c)로 보낸다.

온 신호가 상기 트리거 루틴에 관통되므로, 상기 트리거 결정 블록(174)은 상기 루틴의 온 브랜치를 선택한다. 온브랜치에 들어간 후에, 상기 제어기(14)는 상기 특정 출구로 이끌리는 시스템의 저장조를 위한 재충전 사이클 블록(176)에 의해 지적된 바와 같이 진행중에 있는지의 여부를 테스트한다. 만약 재충전 사이클이 진행중이면, 상기 재충전 타이머 정보는 상기 시스템의 저장조와 관계된 기록기에 기억된다. 그리고 재충전 사이클이 중지될 경우 블록(178, 180)에 의해 지적된 바와 같이 된다. 일단 재충전 사이클이 분배 방법의 끝에서 회복되면, 재충전 시간은 그의 종점으로부터 회복된다. 상기 분배 방법은 상기 저장조가 극단적으로 비어있을 때 외에는 모든 재충전 사이클을 압도할 것이다.

재충전 사이클의 존재를 체크한 후에, 상기 확인된 시스템과 연관된 3-웨이 밸브(48)는 제어기(14)로부터 신호에 반응하는 압력 위치로 이동된다. 압력 위치로의 이동 밸브(48)와 더불어, 제어기(14)로부터의 신호에 반응하는 확인된 시스템과 연관된 상기 압력 조절기(42)는 블록(182)에 의해 지적된 바와 같이 확인된 시스템의 도관(50, 52) 및 배기 인터록(58)을 통하여 선택된 저장조(12)를 압력을 공급하기 시작한다.

제어기(14)는 센서(46)를 가로지르는 전압 및 센서(46)를 통한 전류를 읽음으로써 센서(46)에서의 압력을 결정한다. 압력 센서(46) 및 압력 조절기(42) 사이의 서보 루프가 결정 블록(184)에 의해 지적된 바와 같이 미리 정하여진 공차 이내의 사용자 선택 입력으로 고정될 때 제어기(14)는 블록(186)에 의해 지적된 바와같이 트리거 온 신호 상태를 인지한다. 트리거 온신호를 인지한 후에, 제어기(14)는 특수 장비를 위한 오퍼레이터에 의해 선정된 미리 고정된 시간 간격으로 요구 신호를 관련시키는 장비를 유도하는 특수 출구 밸브를 제어하는 타이머를 프로그램시키고, 나중의 활성화를 위해 블록(188)에 의해 지적된 바와 같은 미리 고정된 시간 간격의 끝에서 상기 타이머에 의해 분배 방해의 끝을 부여한다. 다음에 제어기(14)는 개방 신호의 전달에 의해, 블록(190)에 의해 지적된 바와 같이, 선택된 출구와 연관된 특수 출구 밸브에 상기 선택된 분배 출구를 부여한다.

그러나 만약 오프 신호가 트리거 루틴에 전달되면, 결정 블록(174)은 상기 루틴의 오프 브랜치를 선택한다. 오프브랜치에 들어간 후에, 상기 제어기(14)는 블록(191)에 의해 지적된 바와 같이 선택된 출구를 위한 분배 신호의 단부를 막고, 블록(193)에 의해 지적된 바와 같이 선택된 분배를 흡수하고, 이후에 묘사될 블록(196 내지 206)에 의해 지적된 동작을 수행하고 요구되는 프로그램에 돌아간다.

도시되지 않은 선택된 출구에 있어서의 오리피스, 센서(46)에서 지속되는 압력과 함께 유동비를 결정한다. 제어기(14)에 의해 타이머 안으로 프로그램된 오퍼레이터 선택 시간 간격과 함께 상기 유동비는 미리 정하여진 양의 화학 액체가 연결된 진행 장비에 분배되도록 허용한다.

상기 타이머 안으로 프로그램된 미리 정하여진 시간의 마지막에, 상기 타이머는 자동적으로 신호를 개방 출구 밸브로 보내고, 그 결과 그것은 폐쇄되며, 분배 방해 모듈의 단부를 활성화시키고, 그 결과 블록(192)에 의해 지적된 바와 같이 분배 방해의 단부로 도약된다. 또한, 분배를 위한 프로그램된 시간은 상기 선택된 출구 밸브(30a, 30b, 또는 30c)가 서보 루프가 고정된 후 개방될때까지 시작되지 않는다.

분배 방해의 단부가 블록(192)에 의해 지적된 바와 같이 활성화될 때, 분배 신호의 단부는 블록(194)에 의해 지적된 바와 같이 폐쇄되어지는 개방 출구를 위해 주어진다. 분배 신호의 단부가 주어진 후에, 제어기(14)는 블록(193)에 의해 지적된 바와 같이 선택된 분배를 중지시키고, 선택된 저장기의 어떤 다른 분배점이 결정 블록(196)에 의해 지적된 바와 같이 여전히 진행중인지의 여부를 체크한다. 만약 다른 어떠한 분배점도 진행중이지 않을 경우, 블록(198)에 의해 지적된 바와 같이 상기 선택된 압력 조절기(42)를 통해 저장조에 공급되는 압력이 단절될 것이다.

상기 압력이 단절된후에 , 선택된 저장조와 연관된 상기 3-웨이 밸브(48)는 그의 제2진공 위치로 이동되고, 결정 블록(200)에 의해 지적된 바와 같이 탈 가스 모드가 선택될 것인지의 여부가 체크된다. 만약 가스 분출 방법이 선택되어진다면 상기 선택된 저장조와 연관된 벤츄리관은 블록(202)에 의해 지적된 바와 같이, 압축 가스의 유동이 3초동안 상기 벤츄리관을 통해 일어나도록, 신호를 전달하는 제어기(14)에 의해 활성화되고, 따라서 상기 선택된 저장조로부터 가스를 배기시키기 위해 진공 또는 저압이 발생한다. 상기 가스 분출 방법은 저장조(12)에 존재하는 어떠한 공기나 또는 질소도 배기시키고, 상기 시스템이 자신의 환경하에 있도록 허용한다. 그러나 다른 분배 사이클을 위한 신호는 이 방법을 무시한다.

만약 가스 분출 방법이 선택되지 않을 경우, 상기 정상 방법(도시되지 않음)이 선택된다. 상기 정상 방법에 있어서, 선택된 저장조는 상기 선택된, 그러나 활성화되지 않은, 진공 벤츄리관 및 그의 제2위치에 있는 3-웨이 밸브를 통해 자동적으로 대기압으로 토출된다. 다른 분배 사이클에 대한 요구도 또한 이 방법을 무시한다.

선택된 저장조에 대한 어떠한 분배점이 진행중에 있는지의 여부를 체크한 후에, 저 액체 레벨 신호는 블록(204)에 의해 지적된 바와 같이 변화를 위해 테스트된다. 만약 저 액체 레벨 신호가 액체 레벨이 저 액체 레벨 이하인 것을 나타내면, 상기 공백 카운트는 블록(206)에 의해 지적된 바와 같이 증가된다. 상기 저 액체 레벨 신호를 테스트한 후에 , 분배 방해의 단부는 손상되고 상기 서브 루틴은 방해가 일어나는 프로그램에 있는 어드레스로 돌아간다.

전기 압력 조절기(42)는 프로그램된 압력 센서(46)가 일정하게 유지하도록 출력 로드에 의존하여 조절될 것이다. 화학 필터(82)는 규정 시간외에 장착된다. 결론적으로 압력 조절기(42)는 저장조(12)에 공급된 압력을 프로그램된 값에서 압력 센서(30)에 의해 감지된 압력을 지속시키기 위해 상향으로 조절시킨다.

시스템상에서 지속이 요구될 때, 제4도에 도시된 정화 방법이 선택되며, 상기 정화 방법은 블록(208)에 의해 지적된 바와 같이 요구되며, 파라미터는 시스템이 정화되도록 관통된다. 제6도에 있어서, 상기 정화 방법은 상세히 도시된다. 먼저, 정화되는 상기 시스템에 연결된 주 진행 장비는, 블록(210)에 의해 지적된 바와 같이, 신호를 통해 제어기(14)로부터 손상된다. 상기 주 장비를 손상시킨 후에, 제어기(14)는 , 블록(212)에 의해 지적된 바와 같이, 액체 인접 인터록(58)의 존재를 위하여 오우버 플로우 센서(62)로부터의 신호를 테스트한다. 만약 상기 신호가 액체가 인토록(58)에 인접해 있음을 지적할 경우, 정화되어지는 시스템의 모든 입구 및 출구 밸브는 폐쇄되고, 보거나 들을 수 있게 될 과다 출구 신호는 블록 (214)에 의해 지적되는 바와 같이 과다 출구가 검출된 시스템을 지적할 수 있게 주어진다.

만약 어떠한 액체의 과다 출구가 인터록(58)에 인접하여 검출되지 않을 경우, 제어기(14)는 시스템의 센서(36)로부터의 저 액체 레벨 신호를 블록(216)에 의해 지적된 바와 같이, 변화를 위해 정화되도록 테스트한다. 만약 신호가 블록(218)에 도시된 바와 같이 변화된다면, 제어기는 제 11 도에 도시된 바와 같이 적당한 시스템 기록기를 관통하는 저 감지 루틴을 요구한다. 저 액체 레벨 신호를 테스트한 후에, 제어기(14)는, 블록(220)에서 지적되는 바와 같이, 변화를 위해 정화되도록 상기 시스템 센서(36)로부터의 고 액체 레벨 신호를 테스트한다. 만약 블록(222)에 의해 지적되는 바와 같이 상기 신호가 변화되면, 제어기(14)는 제 12 도에 도시된 바와 같이 적당한 시스템 기록기를 관통하는 고 감지 루틴을 요구한다.

정화될 시스템에 대한 고, 저 액체 레벨 센서를 체크한 후에, 제어기(14)는 정화될 시스템의 저장기가 블록(224)에 의해 도시된 바와 같이 재충전시키기 위해 동작하는지의 여부를 알 수 있도록 체크한다. 배출된 시스템의 저장조가 재충전이 시도될 것이 아니라면, 제어기(14)는 블록(226)으로 지시된 바와 같이 그 입구 밸브(22a, 22b, 22c) 모두를 폐쇄한다. 입구 밸브를 폐쇄한 후, 제어기는 3-웨이 밸브(48)에 신호를 보내어 그 밸브가 저장조(12)에 압력 조절기(42)를 연통하도록 그 압력점을 이동시켜 조절기(42)로부터의 압력이 배출된 저장조에 작용되고 배출된 시스템의 설정 출구 밸브가 개방되게 하며, 저장조가 블록(228)으로 지시된 바와 같이 배출되게 한다.

압력 조절기(42)를 작동시키고 소정의 출구 밸브를 개방시킨후, 각각 시스템중 하나의 데이터를 포함하고 있는 지시 레지스터가 증분되어 블록(230)에 도시된 바와 같이 차기 분배 시스템을 선택하고 배출 작용은 블록(232)으로 지시된 바와 같이 메인 모드로 복귀하지만 배출 모드는 오퍼레이터가 키보드를 통하여 사이클을 종결할때까지 작동 상태를 유지한다.

시스템의 배출이 요구될때에는 제4도에 지시된 바와 같이 배출 모드가 선택되고 블록(234)으로 지시된 바와 같이 배출 모드가 호출되며 파라미터가 통과되어 시스템이 배출되려함을 지시한다. 제5도를 참조하면 배출 모드가 상세히 도시되어 있다. 우선, 배출되려는 시스템에 연결된 호스트 프로세스 장치는 블록(236)으로 지시된 바와 같이 제어기(14)로부터의 신호를 통하여 기능이 억지된다. 호스트 장치를 억지한 후, 제어기(14)는 신호를 보내어 배출되려는 시스템의 모든 입구 밸브 (22a, 22b, 22c)를 블록(238)으로 지시된 바와 같이 폐쇄시킨다. 모든 입구 밸브를 페쇄한 후, 제어기(14)는 배출 모드에 기술된 바와 유사하게 배출되려는 저장조에 압력을 가하고 소정의 출구 밸브를 개방하여 블록(240)으로 지시된 바와같이 저장조가 배출되게 한다. 배출되려는 저장조에 압력을 가하고 소정의 밸브를 개방한 후, 각각 시스템중 하나를 나타내는 데이터를 포함하는 지시 레지스터가 증분되어 블록(242)으로 지시된 바와 같이 차기 배출 시스템을 선택하고 배출 모드는 블록(244)으로 지시된 바와 같이 메인 모드로 복귀하지만, 배출 모드는 오퍼레이터가 키보드르 통하여 배출 사이클을 종결할때까지 작동 상태를 유지한다. 이는 출구로 인도하는 라인이 건조되게 하는 장점을 갖는다.

배출 및 배출 모드시에 조절기(14)는 오퍼레이터가 0 출구밸브를 선택할 수 있게 한다. 이러한 선택은 배출 또는 배출되려는 시스템이 순환하게 하고 배출 또는 배출되려는 시스템의 수동 배출 밸브(96)와 함께 사용될 때에는 화합물이 그 지점에서 배출이나 보급 또는 견본 채취되게 한다.

제4도의 블록(114)으로 지시된 바와 같이 저장조와 임계 공백 경고가 있거나 제4도의 블록(154)으로 지시된 바와 같이 공백 카운트가 한계를 초과할 경우에는 제어기(14)는 블록(245)으로 지시된 바의 점프 두(jump to) 또는 공백 카운트 결정 블록(154)를 통하여 상술한 바와 같이 블록(154 내지 164)으로 다이어그램된 임계 공백 서브 모드로 들어가고, 입력원이 상술된 블록(168)으로 지시된 바와 같이 공백 상태인지 아닌지 검사하고, 상술의 블록(172)으로 지시된 바와 같이 지시 레지스터를 증분하며, 또 다른 시스템을 선택하고, 메인 모드를 계속한다. 공백 상태의 화학 저장조(12)는 압력 공급이나 동력 공급 도는 모든 정압식 입력에 의해 충전될 수 있다. 바람직하게는 공백 벤츄리(56)로 제공된 장치에 의한 충전이다.

제 11 도를 참조하면, 저수위 감지 또는 저장조 재충전 모듈이 블록(162, 218, 246)으로 호출될 때, 제어기(14)는 우선 블록(247)으로 지시된 바와 같이 분배가 진행되고 있는지를 검사한다. 분배가 진행되고 있으면 루틴은 호출 프로그램으로 복귀한다. 분배가 진행되고 있지 않으면 제어기(14)는 블록(248)으로 지시된 바의 저 액체 레벨 신호가 있는지를 검사한다. 저 액체 레벨 신호가 없다면 시스템용 공백 카운트는 블록(250)으로 지시된 바와 같이 예정된 값으로 리세트하고 서브 루틴은 호출 루틴으로 복귀한다. 저 액체 레벨 센서가 저 레벨을 지시하면, 제어기(14)는 블록(252)으로 지시된 바와 같이 소정의 재충전 시간으로 공백 저장조에 인도하는 입구 밸브중 하나를 제어하는 타이머중 하나에 프로그램을 공급한다. 타이머 프로그래밍 후에 재충전 인터럽트가 억지되고, 신호가 제어기(14)에 의해 공백 저장조에 인도하는 3-웨이 밸브(48)에 보내져 공백 벤츄리(56)를 공백 저장조와 연통시키는 공백 위치로 그 밸브를 배치시키고 밸브(64)에 보내져 압축 가스가 상술한 바와 같이 공백 벤츄리를 통하여 유동하게 하여 도관(54) 및 연이어 저장조(12)를 공백 또는 저압화시키며, 타이머로 제어되는 소정의 입구 밸브(22a, 22b, 22c)가 블록(254)으로 지시된 바와같이 타이머로부터의 신호를 통하여 개방되어 액체가 저장조(12)속의 감소된 압력에 의해 공백 저장조 속으로 빨려들게 한다.

재충전해야 할 시스템의 3-웨이 밸브를 그 공백 위치에 배치하는 대신에, 신호가 연산에 나타나지 않고 순차적으로 제어기(14)에 의해 서보 밸브(81)로 보내져 그것이 압력 조절기(42)에 연통하도록 제어기에 의해 개방되게 하여 , 오퍼레이터에 의해 프로그램된 소정 압력의 가스 상태의 액체가 도관(83)을 통하여 유동하고 소정 액체 보급을 저지하게 하며, 액체가 개방된 밸브를 통하여 저장조 속으로 충전되도록 한다.

시스템중의 하나의 액체 레벨 센서(36)가 그 저장조(12)의 고 액체 레벨을 지시하는 신호를 보낼때는 고 레벨 감지 모듈이 제4도의 블록(164, 258)으로 지시된 바와 같이 호출된다. 제12 도를 참조하면 고 레벨 감지 서브 루틴 모듈이 도시되어 있다. 모듈이 도입될 때 제어기(14)는 우선 고 액체 레벨 신호가 블록(26)으로 지시된 바와 같이 존재하는지 검사한다. 고 액체 레벨 신호가 존재하지 않으면 서브 루틴은 컬링 루틴(calling routine)으로 되돌아간다. 고 액체 레벨 신호가 존재하면, 제어기(14)는 밸브(64)에 신호를 보내어 충전될 저장조의 공백 벤츄리(56)를 정지시키고, 소정의 입구 밸브에 신호를 보내어 그것을 폐쇄시키며, 블록(262)으로 지시된 바와 같이 재충전 인터럽트를 억지시킨다. 벤츄리를 폐쇄시키고 입구 밸브에 폐쇄시키며 재충전 인터럽트를 억지시킨 후에 재충전 타이머는 블록(264)으로 지시된 바와 같이 소정 시간으로 리세트된다. 제충전 타이머 리세트후, 제어기(14)는 충전된 저장조의 저장조 공백 경고가 결정 블록(266)으로 지시된 바와 같이 켜져 있는지 검사한다. 저장조 공백 경고가 켜져 있으면, 경고가 블록(268)으로 지시된 바와 같이 비공백 상태로 리세트된다. 저장조 공백 경고 상태 검사후에 제어기(14)는 소정 저장조가 블록(270)으로 지시된 바와 같이 메모리에 공백으로 표시되었는지 검사한다. 저장조가 공백 상태로 표시되어 있으면, 그 표시는 소정 저장조가 이제 충전 상태임을 지시하도록 블록(272)에 지시된 바와 같이 리세트한다. 저장조가 공백 상태로 표시되어 있는지 검사한 후에, 재충전된 저장조와의 공백 카운트는 블록(274)으로 지시된 바와 같이 프로그램된 값으로 리세트되고 서브 루틴은 호출 프로그램으로 복귀한다.

충전되는 저장조가 소정 시간내에 충전되지 않았을때의 소정 입구에 주어진 액체 화학 보급은 제어기(14)에 의해 공백 상태로 간주되고 제 13 도에 도시된 재충전 인터럽트 모듈이 호출된다. 제 13 도를 참조하면 재충전 인터럽트 모듈이 호출되었을때는 저장조에 인도하는 입구에 연결된 이용 가능한 액체 화학 보급의 수가 줄어들어 블록(276)으로 지시된 바와 같이 액체 보급중 하나가 이제 공백 상태임을 지시한다.

이용 가능한 액체 화학 보급의 수를 줄인 후에 액체 화학 보급원의 잔존수가 0인지를 블록(278)으로 지시된 바와 같이 검사한다. 이때 0 은 시스템의 모든 액체 공급원이 공백 상태임을 의미한다. 액체 화학 보급원 잔존수가 0이고 저장조 충전을 위해 활성화된 공백 벤츄리(56)가 정지되었다면 소정 입구 밸브가 제어기(14)로부터의 신호를 통하여 블록(280)으로 지시된 바와 같이 폐쇄된다. 벤츄리가 정지되고 소정 입구 밸브가 폐쇄된 후, 재충전 타이머가 블록(282)으로 지시된 바와 같이 꺼진다. 재충전 타이머를 끈 후에 파라미터가 메인 프로그램으로 전달되어 그 저장조로 인도하는 모든 액체 화학 보급원이 블록(284)으로 지시된 바와 같이 공백 상태임을 나타낸다. 메인 프로그램으로의 파라미터 전달후에 재충전 인터럽트가 블록(286)으로 지시된 바와 같이 억지되고 서브 루틴은 인터럽트가 발생했던 호출 프로그램 어드레스로 복귀한다.

액체 화학 보급원의 수가 0 이 아니면 소정 입구 밸브는 폐쇄되고 충전되려는 저장조로 인도되는 또 다른 입구 밸브가 블록(288) 지시된 바와 같이 제어기(14)로부터의 신호를 통하여 개방되고 저장조는 상기 또 다른 액체 보급원으로부터의 충전을 계속한다. 바람직하게는 4개의 개별적 입구 사이에 이러한 전환이 일어날 수 있다. 텅빈 입구를 폐쇄하고 또 다른 입구 밸브를 개방한 후 개방된 입구 밸브를 제어하는 재충전 타이머는 블록(290)으로 지시된 바와 같이 소정의 저장조 충전 시간으로 리세트되고 서브 루틴은 인터럽트가 발생했던 호출 프로그램 어드레스로 복귀한다.

측정 시스템이 필요하면, 제4도에 도시된 바와 같이 측정 모드가 선택되고 블록(292)으로 나타낸 바와 같이 측정 루틴이 호출되며 상기 스텝 카운터는 제로 단계로 되고 시스템을 측정하는 인자가 통과된다. 제8도를 참조하면, 상기 측정 모드가 상세히 도시되어 있다. 블록(294)으로 나타낸 바와 같이, 제1제어기(14)는 측정할 상기 시스템의 스텝 카운터를 제로 단계로 할 것인가의 여부를 체크한다. 상기 스텝 카운터가 제로 단계를 나타내면 블록(296)으로 나타낸 바와 같이 제어기(14)는 측정할 시스템에 연결된 호스트 장비를 무력하게 하는 신호를 측정할 시스템의 모든 입구 및 출구 밸브를 돌아 그들의 폐쇄 위치로 보낸다. 호스트 장비를 무력하게 하여 모든 밸브를 폐쇄한 후 단계(298)로 나타낸 바와 같이 제어기(14)는 저장기를 지닌 측정할 시스템의 압력 조절기(42)와 교신함으로써 상기 밸브가 압력부로 이동하도록 상기 시스템의 3-웨이 밸브에 신호를 보내 상기 조절기의 압력을 3psi 로 조정한다. 압력을 조정하고 순환시킨 후 블록(300)으로 나타낸 바와 같이 제어기(14)는 작동기에 대한 정보를 제공한다. 작동기에 정보를 제공한 후 제어기(14)는 포인터 레지스터를 진행시키며 한 시스템 및 그 다음 분배 시스템을 위한 정보를 포함한 각 레지스터는 스텝 카운터를 한 단계까지 진행시키고 호출 프로그램으로 복귀한다.

판단 블록(304)으로 나타낸 바와 같이 상기 스텝 카운터가 스텝 1을 나타내면 블록(306)으로 나타낸 바와 같이 측정할 상기 시스템에 연결된 압력 조절기(42)는 15psi 의 압력으로 조정되고 블록(308)으로 나타낸 바와 같이 이러한 정보는 오퍼레이터에게 제공된다. 블록(302)으로 나타낸 상기 포인터 레지스터는 다음 분배 시스템을 위해 진행되며 스텝 카운터는 한 단계 진행하고 상기 서브 루틴은 메인 호출 루틴으로 복귀한다.

판단 블록(310)으로 나타낸 바와 같이 상기 스텝 카운터가 스텝 2을 나타내면 제어기(14)는 측정할 시스템의 압력 조절기(42)와 교신하여 블록(312)으로 나타낸 바와 같이 압력 조절기의 압력을 10psi 로 조정한다. 압력을 10psi 로 조정한 후 블록(314)으로 나타낸 바와 같이, 제어기(14)는 압력이 10psi 로 조정되었음을 나타내는 정보를 제공한다. 정보를 오퍼레이터에게 제공한 후 블록(316)으로 나타낸 바와 같이 상기 스텝 카운터는 스텝 3 으로 진행되고 블록(302)으로 나타낸 바와 같은 상기 포인터 레지스터는 다음 분배 시스템으로 진행되고 상기 서브 루틴은 메인 프로그램으로 복귀한다.

판단 블록(318)으로 나타낸 바와 같이 스텝 카운터가 단계 3을 나타내면 판단 블록(320)으로 나타낸 바와 같이 키보드를 통해 1 또는 0을 입력할 것인가의 여부를 체크한다. 어느 것도 입력되지 않으면, 포인터 레지스터는 블록(302)으로 나타낸 바와 같이 다음 분배 시스템으로 진행되고 상기 서브 루틴은 호출 프로그램으로 복귀한다. 만일, 0으로 입력되면 블록(322)으로 나타낸 바와 같이 제어기(14)는 작동중인 압력 조절기(42)와 신호를 교신하여 상기 압력이 0.15psi 까지 낮아지게 한다. 압력을 낮춘 후 블록(302)으로 나타낸 바와 같이 상기 포인터 레지스터는 다음 분배 시스템으로 진행되고 상기 서브 루틴은 호출 프로그램으로 복귀한다. 만일, 키보드를 통해 1로 입력되면 제어기(14)는 가동 압력 조절기(42)에 신호를 보내 블록(324)으로 나타낸 바와 같이 상기 압력이 0.15psi 까지 증가하도록 한다. 압력을 증가시킨후 블록(302)으로 나타낸 바와 같이 상기 포인터 레지스터는 다음 분배 시스템으로 진행되고 상기 서브 루틴은 호출 프로그램으로 복귀한다. 상기 시스템이 오퍼레이터에게 10psi 의 압력을 나타낼 때마다 제어기(14)와 통신하여 상기 스텝 카운터가 스텝 4 로 진행하게 하는 적합한 입력을 상기 오퍼레이터는 키보드를 통해 선택한다.

판단 블록(326)으로 나타낸 바와 같이 스텝 카운터가 스텝 4로 진행하면 제어기(14)는 저장조에 가해진 압력 수치를 결정하는 가동 압력 조절기의 코일을 횡단한 전류를 판독하며 블록(328)으로 나타낸 바와 같이 판독 압력 수치와 오퍼레이터에 의해 입력된 예정 테이블 수치 사이의 차를 계산한다. 차이점을 발견한 후 블록(330)으로 나타낸 바와 같이 상기 판독 수치는 예정 테이블 수치에 대한 상쇄치로써 메모리에 저장되며 블록(332)로 나타낸 바와 같이 상기 스텝 카운터는 스텝 5 로 진행한다.

상기 스텝 카운터가 스텝 5 를 나타내면 블록(334)으로 나타낸 바와 같이 제어기(14)는 가동 압력 조절기와 교신하고 블록(336)으로 타나낸 바와 같이 저장조에 가할 압력을 3psi 로 조정한다. 압력을 조정한 후 블록(338)으로 나타낸 바와 같이 저장조를 위한 보충 타이머가 3초로 조정된다. 타이머를 조정한 후 상기 측정 중단은 블록(340)으로 나타낸 바와 같이 실행될 수 있다. 상기 중단을 실행한 후 블록(342)로 나타낸 바와 같이 압력 정보 및 타이머 정보는 오퍼레이터가 검사할 수 있도록 터미널 또는 다른 적합한 수단을 통해 제공된다. 오퍼레이터에게 상기 정보를 제공한 후 블록(344)으로 나타낸 바와 같이 상기 스텝 카운터는 스텝 6으로 진행된다. 상기 스텝 카운터을 진행시킨 후 블록(346)으로 나타낸 바와 같이 상기 포인터 레지스터는 다음 분배 시스템을 선택하도록 진행되고 서브 루틴 호출 프로그램으로 복귀한다.

블록(348)으로 나타낸 바와 같이 스텝 카운터가 스텝 6을 나타내면 블록(346)으로 나타낸 바와 같이 상기 포인터 레지스터는 다음 분배 시스템으로 진행되고 서브 루틴은 메인 프로그램으로 복귀한다. 블록(348)으로 나타낸 바와 같이 상기 스텝 카운터가 스텝 6 보다 큰 스텝 치수를 나타내면 치명적인 에러가 발생해 블록(350)으로 나타낸 바와 같이 소프트 부우트 파워 온(soft boot power on)이 실행되어 제4도의 블록(352)으로 나타낸 바와 같이 상기 프로그램이 파워 온 사이클을 초과하도록 하고 총 시스템이 최초 시스템으로 재복귀한다.

블록(338, 368)내의 타임 세트가 종료하면 상기 측정 중단 루틴 모듈이 입력된다. 제9도를 참조하면 상기 측정 중단서브 루틴이 도시되어 있다. 상기 루틴을 호출하면 블록(354)으로 도시된 바와 같이 제어기(14)는 압력 센서(46)의 현재 압력 수치를 판독하고 판독한 압력 수치를 센서 테이블내의 메모리에 저장한다. 압력을 판독한 후 블록(356)으로 나타낸 바와 같이 제어기(14)는 가동 압력 조절기와 교신하여 압력 조절기에 가해질 압력을 1psi 까지 증가시키도록 한다. 압력을 증가시킨 후 블록(358)으로 나타낸 바와 같이 제어기(14)는 압력 센서(46)의 압력을 판독하고 압력 수치를 15psi 보다 크게 할 것인가의 여부를 체크한다. 압력 수치가 15psi 보다 크다면 블록(360)으로 나타낸 바와 같이 보충 타이머가 커지면 상기 측정 중단은 블록(362)으로 나타낸 바와 같이 억제되며 블록(364)으로 나타낸 바와 같이 상기 측정 시스템은 작동 모드내에 놓이고 작동 모드의 상태는 제어기의 표시판상에 나타난다. 상기 측정 시스템을 작동 모드내에 위치시킨 후 블록(366)으로 나타낸 바와 같이 제어기(14)는 압력 조절기(42)와 교신하여 저장조에 가해질 압력을 차단하게 하고 상기 중단 모듈은 중단을 발생케 하는 호출 프로그램내의 장소로 복귀한다.

만일, 압력 센서(46)에 의해 감지된 압력 수치가 15psi 보다 크다면 블록(368)으로 나타낸 바와 같이 상기 타이머는 부가의 1초동안 재프로그램되어 측정 중단이 발생하면 상기 측정 중단 루틴은 호출 프로그램내의 장소로 복귀한다.

무력한 시스템이 필요없다면 제4도에 도시된 바와 같이 정지 모드가 선택되고 블록(368)으로 나타낸 바와 같이 정지 루틴 모드를 호출하며 시스템을 비가동 상태가 되도록 지시하는 인자가 통과한다. 제7도를 참조하면, 정지 모드가 상세히 도시되어 있다. 첫 번째로, 제어기(14)는 비가동 상태가 되도록 시스템의 호스트 장비로 신호를 보내 블록(370)으로 나타낸 바와 같이 연결된 호스트 장비가 무력화되도록 한다. 호스트 장비를 무력화한 후 제어기(14)는 비가동 상태가 되도록 시스템의 모든 입구 및 출구 밸브로 폐쇄 신호를 보내 블록(372)으로 나타낸 바와 같이 모든 입구 및 출구 밸브가 폐쇄되도록 한다. 모든 입구 및 출구 밸브를 폐쇄한 후 블록(374)으로 나타낸 바와 같이 한 시스템을 대표하는 자료를 포함한 각 포인터 레지스터는 다음 분배 시스템으로 진행되고 정지 서브 루틴은 메인 프로그램으로 복귀한다.

제 14 도 내지 제 34 도에는 각각의 서브루틴을 따라 연속적으로 가동하는 키보드 중단 루틴인 도시되어 있다. 시스템 또는 그외의 작동을 제어하는 인자가 입력되는 작동 모드를 선택한 오퍼레이터가 키보드 키중 하나를 누르면 눌린 키를 판독하도록 상기 키보드 중단이 호출되고 시스템의 작동을 제어하는데 사용하는 수치를 제어기(14)로 통과시킨다. 연산 방법을 코드화한 언어에 따라 제 14 도 내지 제 34 도의 입력 연산 방법은 불필요할 수도 있다.

종래의 톡허 명세서 및 본원 발명의 명세서를 설명하고 그에 따른 보충 설명을 했지만 설명한 장치의 세부 사항 및 방법의 단계에 있어서 다양한 변경예가 본 발명의 정신으로부터 이탈하지 않고도 첨부된 청구범위의 영역내에서 형성될 수 있다.

Claims

일정량의 액체를 밸브 분배 메카니즘을 통해 분배하기 위한 액체 분배 시스템에 있어서, 액체가 분배되고 밸브 분배 메카니즘이 개방되는 시간에 의해 액체량이 측정되는 밸브 분배 메티니즘과, 분배될 액체를 지지하며, 상기 밸브 분배 메타니즘에 의해 측정된 분배 압력하에서 액체를 흐르게 하기 위해 밸브 분배 메타니즘에 연결되는 출구와 액체공급부로부터의 보충 액체를 수납하는 입구를 포함하는 저장조 수단과, 출구에서의 액체 압력을 감지하기 위해 저장조 수단의 출구의 액체와 연결되는 압력감지 수단과, 분배작업동안 저장조 수단의 출구에 설정압력을 유지하는 방식으로 액체 압력수단으로 하여금 액체에 압력을 가하게 하는 액체 압력수단에 신호를 연결시키며 출구에서 액체의 압력을 표시하는 압력감지신호수단으로부터의 압력신호에 응답하는 제어기와, 액체를 저장조 수단에 공급하기 위해 액체 공급원에 연결되는 복수개의 입구 및 특정한 액체 공급을 선택하기 위해 각 입구가 독립적으로 선택되도록 각가의 입구를 포함하는 입구밸브 수단을 포함하며, 상기 액체 압력 수단은 압력감지 신호로부터 압력을 가하는 제1신호에 의해 작동되고 상기 제어기로부터의 제2신호에 의해 중지되며, 상기 각각의 입구밸브 수단은 상기 제어기로부터의 개방 신호에 반응하여 개방 위치로 이동가능하며 상기 제어기로부터의 폐쇄신호에 반응하여 폐쇄 위치로 이동 가능하고, 상기 제어기는 상기 액체 압력 수단이 일정량의 액체로 상기 저장조를 충전시키기 위해 중지 될 때 상기 개방 신호를 선택된 입구 밸브 수단에 전달하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제1항에 있어서, 상기 선택된 수단을 이송시키며 상기 액체 압력 수단이 정지되었을 때 선태된 액체 상기 저장조 수단에 전달하는 제1 액체 레벨 신호에 응답하여 상기 개방 신호를 선택된 밸브 수단으로 전달하여 저장조 수단에서의 액체 레벨을 검출하는 저장조 수단에 인접한 액체 레벨 센서 수단을 부가로 포함하며, 상기 제어기는 액체 레벨 센서 수단이 저장조 수단에서 저 액체 레벨(LOW LIQUID LEVEL)을 검출할 때 상기 센서 수단으로부터의 제1액체 레벨 신호를 수용하도록 적용되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제2항에 있어서, 상기 액체 압력 수단은 선택된 액체 공급부상에서 작용되도록 요구될 때 압력을 공급하는 각각의 액체 공급부에 인접하여 선택적으로 위치되며, 상기 제어기는 상기 액체 압력 수단이 선택된 액체 공급부로부터 선택된 입구를 통해 상기 저장조수단내로 액체를 흐르게 하고 선택된 액체 공급부상에서 작용하는 압력을 선택적으로 공급하도록 정지될 때 상기 제1액체 레벨 신호에 응답하여 충전 신호를 상기 액체 압력 수단에 전달하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제2항에 있어서, 상기 저장조 수단에 연결되며 상기 제어기에 의해 제어되는 진공 수단을 부가로 포함하며, 상기 제어기는 상기 액체 압력 수단이 선택된 액체 공급부로부터 선택된 출구를 통하여 상기 저장조 수단내로 액체를 출구시키기 위해 진공 수단이 저장조 수단으로의 흡입력을 발휘하도록 정지될 때 상기 제1액체 레벨 신호에 응답하여 충전 신호를 상기 진공 수단에 전달하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제2항에 있어서, 상기 제어기는 상기 센서 수단이 저장 수단에서 고 액체 레벨을 검출할 때 상기 센서 수단으로부터 제2액체 레벨 신호를 수신하도록 부가로 적용되며, 상기 제어기는 선택된 액체 공급부와 상기 저장조 수단간의 부가적 전달을 차단하는 밀폐 위치로 선택 입구 밸브 수단을 이동하게 하는 상기 제2액체 레벨 신호에 응답하여 제2충전 신호를 선택된 입구 밸브 수단에 전달하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제4항에 있어서, 저장조 수단과 진공 수단 사이의 배기 연동 수단을 부가로 포함하며, 상기 연동 수단은 상기 제어기에 연결된 액체 과류 검출 센서 수단을 포함하며, 상기 액체 과류 검출 수단은 액체 과류 검출 수단이 상기 연동 수단에 인접한 액체를 탐지할 때 과류 검출 신호를 상기 제어기에 전달하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
일정량의 액체를 밸브 분배 메카니즘을 통해 분배하기 위한 액체 분배 시스템에 있어서, 액체가 분배되고 밸브 분배 메카니즘이 개방되는 시간에 의해 액체의 량이 측정되는 밸브 분배 메티니즘과, 분배될 액체를 지지하며, 상기 밸브 분배 메타니즘에 의해 측정된 분배를 위한 압력하에서 액체를 흐르게 하기 위해 밸브 분배 메타니즘에 연결되는 출구와 액체공급부로부터의 보충 액체를 수납하는 입구를 포함하는 저장조 수단과, 출구에서의 액체 압력을 감지하기 위해 저장조 수단의 출구의 액체와 연결되는 압력감지 수단과, 분배작업동안 저장조 수단의 출구에 설정압력을 유지하는 방식으로 액체 압력수단으로 하여금 액체에 압력을 가하게 하는 액체 압력수단에 신호를 연결시키며 출구에서 액체의 압력을 표시하는 압력감지신호수단으로부터의 압력신호에 응답하는 제어기와, 상기 저장조 수단과 출구간의 필터 수단과, 상기 제어기 수단에 의해 제어되는 경고 수단 및, 상기 액체 압력 수단이 요구 신호에 응답하여 작동되고 액체가 상기 출구를 통하여 저장조 수단으로부터 분배될 때 상기 필터를 횡단하여 압력 강하를 표시하는 하나 이상의 필터 신호를 형성하고 상기 필터를 횡단하여 압력 강하를 검출하는 검출 수단을 포함하며, 압력 강하를 나타내는 값이 상기 경고 수단을 작동시키는 설정값을 초과할 때 경고 작동 신호를 경고 수단에 전달하고 압력 강하의 표시값을 설정값과 비교하는 상기 제어기 수단은 상기 필터 신호를 수용하여 이 필터 신호를 압력 강하의 사용 가능 값으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제7항에 있어서, 상기 경고 수단은 투시가 가능한 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제3항에 있어서, 상기 경고 수단은 가청(audible)할 수 있는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 액체량을 포함하는 저장조 수단과, 적어도 일부분의 상기 액체에 대한 요구를 나타내는 요구 신호를 수신하기 적합한 제어 프로세서 수단과, 상기 프로세서 수단에 의해 제어되고 상기 저장조 수단에 연결된 액체 압력 수단과, 상기 프로세서 수단에 의해 제어되어 상기 펌프 수단이 작동할 때 일정량의 액체가 통과하는 저장조 수단에 연결된 출구 수단과, 상기 저장조 수단에 있는 저 액체 레벨을 감지하고 저 액체 레벨이 감지될 때 저 액체 레벨 신호와 상기 프로세서 수단이 연결되는 상기 저장조 수단에 인접한 센서 수단 및, 액체 공급원에 연결되어 상기 프로세서 수단에 의해 제어되는 입구 수단을 포함하며, 상기 액체 압력 수단은 상기 요구 신호가 상기 저장조 수단에 있는 액체에 대해 작동하고 일정량의 액체가 분배돼게 하는 저장조 수단에 압력을 가하는 상기 프로세서에 의해 수신될 때 상기 프로세서 수단으로부터의 제1신호에 의해 작동하며, 상기 프로세서 수단은 일정량의 액체가 상기 액체 압력 수단을 정지시키도록 분배시킬 때 상기 액체 압력을 제2신호와 연결시키며, 상기 프로세서 수단은 상기 프로세서 수단이 저 액체 레벨 신호를 수신하여 상기 펌프 수단이 작동하지 않을 때 상기 입구 수단을 개방하는 개방 신호와 연결되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제10항에 있어서, 상기 프로세서 수단에 의해 제어되며 상기 저장조 수단에 연결된 진공 수단을 부가로 포함하며, 상기 프로세서 수단은 프로세서 수단이 저 액체 레벨 신호를 수신하고 상기 펌프 수단이 상기 입구 수단을 통해 액체 공급원으로부터 저장조 수단안으로 액체가 흡입되도록 저장조 수단에 흡입력을 공급하는 진공 수단을 작동시키지 않을 때 상기 제1액체 레벨 신호에 응답하는 진공 수단과 충전 신호를 연결시키는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제10항에 있어서, 상기 액체 압력 수단은 상기 프로세서 수단에 의해 제어되고 액체 공급원에 연결되어 있으며, 사익 프로세서 수단은 프로세서 수단이 저 액체 레벨 신호를 수신하고 상기 액체 압력 수단이 상기 저장조 수단안으로 상기 입구 수단을 통해 액체 공급원으로부터 액체를 가압하여 액체 공급원에 대해 압력을 적용하도록 상기 액체 압력 수단을 작동시키지 않을 때 상기 제1액체 레벨 신호에 응답하는 액체 압력 수단과 충전 신호를 연결시키는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제10항에 있어서, 상기 프로세서 수단은 마이크로프로세서인 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 액체량을 포함하는 저장조 수단과, 적어도 일부분의 상기 액체에 대한 요구를 나타내는 요구 신호를 수신하기 적합한 제어 프로세서 수단과, 상기 프로세서 수단에 의해 제어되고 상기 저장조 수단에 연결된 액체 압력 수단과, 상기 프로세서 수단에 의해 제어되어 상기 저장조 수단에 독립적으로 연결된 하나 이상의 출구 수단과, 상기 저장조 수단에서 저 액체 레벨을 감지하기 위해 상기 저장조 수단에 인접한 센서 수단 및 분리 액체 공급원에 연결되어 상기 프로세서 수단에 의해 독립적으로 제어되는 하나 이상의 입구 수단을 포함하며, 상기 액체 압력 수단은 상기 요구 신호가 상기 저장조 수단에 있는 액체에 대해 작동되고 일정량의 액체가 분배되게 하는 저장조 수단에 압력을 가하는 프로세서에 의해 수신될 때 상기 프로세서 수단으로부터의 제1신호에 의해 작동되며, 상기 프로세서 수단은 일정량의 액체가 상기 액체 압력 수단을 정지시키도록 분배 시킬 때 상기 액체 압력 수단에서 제2신호와 연결되며, 상기 프로세서 수단은 상기 액체 압력 수단이 액체에 대해 작동하여 선택된 출구 밸브 수단을 밀폐시킬 때 일정량의 액체가 통과하여 상기 출구 수단의 선택 수단을 개방시키며, 상기 프로세서 수단은 상기 센서 수단이 상기 저장조 수단에 있는 저 액체 레벨을 감지할 때 상기 센서 수단으로부터 저 액체 레벨 신호를 수신하도록 적용되며, 상기 프로세서 수단은 상기 프로세서 수단이 저 액체 레벨 신호를 수신하여 상기 액체 압력 수단이 작동하지 않을 때 상기 입구 수단중 선택된 수단을 개방 신호와 연결시키는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제14항에 있어서, 상기 프로세서 수단에 의해 제어되고 상기 저장조 수단에 연결된 진공 수단을 부가로 포함하며, 상기 프로세서 수단은 프로세서 수단이 저 액체 레벨 신호를 수신하고 상기 액체 압력수단이 펌프 수단이 저장조 수단 안으로 상기 선택 입구 수단을 통해 상기 입구 수단중 선택 수단에 연결된 액체 공급원으로부터 액체를 흡입하도록 저장조 수단에 흡입력을 공급하는 진공 수단을 작동시키지 않을 때 상기 제1액체 레벨 신호에 응답하는 진공 수단에 의해 충전 신호를 연결시키는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제14항에 있어서, 상기 액체 압력 수단은 상기 프로세서 수단에 의해 제어되고 액체 공급원에 연결되어 있으며, 상기 프로세서 수단은 프로세서 수단이 저 액체 레벨 신호를 수신하고 상기 액체압력수단이 상기 저장조 수단안으로 상기 입구 수단의 선정 수단을 통해 액체 공급원으로부터 액체를 가압하여 상기 입구 수단의 선정 수단에서 액체 공급원에 대해 압력을 적용하도록 상기 액체 압력 수단을 작동시키지 않을 때 상기 제1액체 레벨 신호에 응답하는 액체 압력 수단과 충전 신호를 연결시키는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제14항에 있어서, 상기 프로세서 수단은 마이크로프로세서인 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 액체량을 포함하는 저장조 수단과, 적어도 일부분의 상기 액체에 대한 요구를 나타내는 요구 신호를 수신하기 적합한 제어 프로세서 수단과, 상기 프로세서 수단에 의해 제어되고 상기 저장조 수단에 연결된 액체 압력 수단과, 상기 프로세서 수단에 의해 제어되어 상기 펌프 수단이 작동할 때 일정량의 액체가 통과하는 저장조 수단에 연결된 출구 수단과, 상기 출구 수단을 통과한 액체를 여과하기 위한 필터 수단 및, 상기 저장조 수단에 연결되어 상기 프로세서 수단에 의해 제어된 진공 수단을 포함하며, 상기 액체 압력 수단은 상기 요구 신호가 상기 저장조 수단에 있는 액체에 대해 작동하여 액체가 분배되도록 상기 저장조 수단에 압력을 적용하기 위해 프로세서 수단에 의해 수신될 때 상기 프로세서 수단으로부터제 1신호에 의해 작동하며, 상기 진공 수단은 상기 액체 압력 수단이 작동하지 않을 때 상기 프로세서 수단으로부터 진공 신호에 의해 작동하고 상기 저장조 수단에 있는 액체상에서 작동하는 압력을 제거하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제18항에 있어서, 상기 출구 수단에 인접하여 필터 수단 앞에서 액체의 압력을 감지하기 위한 압력 감지 수단과, 압력 하강을 표시하는 값이 설정값을 초과할 때 상기 제어기 수단으로부터의 경고 신호에 의해 작동하는 경고 수단을 부가로 포함하며, 상기 압력 감지 수단은 액체가 상기 출구 수단을 통과할 때 필터 수단을 지나 압력 강하를 나타내는 상기 프로세서 수단에 연결되어 있고, 상기 프로세서 수단은 압력 신호를 수신하여 압력 강하를 표시하는 값에 의해 압력 신호를 전환하며, 또한 상기 프로세서 수단은 설정값과 상기 압력 강하값을 비교하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제18항에 있어서, 상기 진공 수단은 저장조 수단에 연결되어 프로세서 수단에 의해 제어되는 진공 벤츄리 수단을 구비하며, 상기 진공 벤츄리 수단은 감소된 압력으로 상기 저장조 수단을 진공시키기 위하여 상기 프로세서 수단으로부터 벤츄리 신호에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제18항에 있어서, 상기 진공 수단은 저장조 수단에 연결된 진공 벤츄리 수단과 프로세서 수단에 의해 제어되는 벤츄리 수단과 저장조 수단 사이의 밸브 수단을 구비하고 있으며, 상기 진공 벤츄리 수단은 상기 프로세서 수단이 밸브 수단에서 개방 신호와 연결될 때 대기 압력까지 상기 저장조 수단을 배출하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 일정량의 액체를 함유하는 저장조 수단과, 액체의 적어도 한 부분에 대한 요구를 표시하는 요구 신호를 수신하기 적합한 제어 프로세서 수단과, 요구신호가 분배될 액체를 분배시키는 프로세서 수단에의해 수신될 때 , 제1신호에 의해 프로세서 수단으로부터 작동되고 저장조 수단에 수단에 연결되고 프로세서 수단에 의해 제어된 펌프 수단과, 프로세서 수단에 의해 제어되고, 펌프 수단 작동시 액체가 통과되는 저장조 수단에 연결된 출구 수단과, 출구 수단 앞에 위치되며, 출구 수단을 통해 통과된 액체를 여과시키는 여과 수단 및, 여과 수단 앞과 출구 수단에 인접한 액체 압력을 감지하기 위해 출구 수단에 인접 위치되고, 액체가 출구 수단을 통해 통과될 때 여과 수단을 가로지르는 압력 강하를 표시하고 압력 신호를 압력 강하를 표시하는 사용치로 변환시키고 압력 강하를 표시하는 값을 설정값과 비교하기 위한 프로세서 수단에 하나 이상의 압력 신호를 전달하기 위해 프로세서 수단에 연결된 압력 감지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제22항에 있어서, 상기 펌프 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되며 저장조 수단에 연결된 액체 압력 수단을 포함하고, 상기 액체 압력 수단은 요구 신호가 저장조 수단에서 액체에 대해 작동하고 액체로 분배시키도록 압력을 적용하기 위한 프로세서 수단에 의해 저장조 수단에 수신될 때 프로세서 수단으로부터 제1신호에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 일정량의 액체를 함유하는 저장조 수단과, 액체의 적어도 한 부분을 위한 필요 조건을 나타내는 요구 신호를 수신하기 적합한 제어 프로세서 수단과, 요구신호가 분배될 액체를 분배시키는 프로세서 수단에 의해 수신될 때 , 제1신호에 의해 프로세서 수단으로부터 작동되고 저장조 수단에 수단에 연결되고 프로세서 수단에 의해 제어된 펌프 수단과, 프로세서 수단에 의해 제어되고, 펌프 수단 작동시 액체가 통과되는 저장조 수단에 연결된 출구 수단과, 출구 수단 앞에 위치되며, 출구 수단을 통해 통과된 액체를 여과시키는 여과 수단 및, 여과 수단 앞과 출구 수단에 인접한 액체 압력을 감지하기 위해 출구 수단에 인접 위치되고, 액체가 출구 수단을 통해 통과될 때 여과 수단을 가로지르는 압력 강하를 표시하고 압력 강하를 표시하는 사용치로 변환시키고 압력 강하를 표시하는 값을 설정값과 비교하기 위한 프로세서 수단에 하나 이상의 압력 신호를 전달하기 위해 프로세서 수단에 연결된 압력 감지 수단 및, 프로세서 수단에 의해 제어되며, 압력 강하를 표시하는 값이 설정값을 초과할 때 프로세서 수단으로부터 신호에 의해 작동되는 여과 경고 수단을 포함하는 것을 특징으로하는 액체 분배 시스템.
제24항에 있어서, 상기 펌프 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되며 저장조 수단에 연결된 액체 압력 수단을 포함하며, 상기 액체 압력 수단은 요구 신호가 저장조 수단에서 액체에 대해 작동하고 액체로 분배시키도록 압력을 적용하기 위한 프로세서 수단에 의해 저장조 수단에 수신될 때 프로세서 수단으로부터 제1신호에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제24항에 있어서, 상기 여과 경고 수단은 가청인 경고 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제24항에 있어서, 상기 여과 경고 수단은 시각(Visual)의 경고 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 일정량의 액체를 함유한 저장조 수단과, 액체의 적어도 한 부분에 대한 요구를 표시하는 요구 신호를 수신하기 적합한 제어 프로세서 수단과, 저장조 수단에서 액체에 대해 작동하고 액체를 분배하도록 저장조 수단에 압력을 적용시키며 액체 분배시 액체 압력을 해제시키도록 제2신호를 액체 압력 수단에 전달시키기 위한 프로세서 수단에 의해 요구 신호와 수신될 때 프로세서 수단으로부터 제1신호에 의해 작동되고, 프로세서 수단에 의해 제어되고 저장 수단에 연결된 액체 압력 수단과, 펌프 수단 작동시 액체가 통과하는 저장조 수단에 연결되며 프로세서 수단에 의해 제어된 출구 수단 및, 저장조 수단에 연결되고, 프로세서 수단에 의해 제어되며, 액체 압력 수단이 작동하지 않을 때 프로세서 수단으로부터 퇴출 신호에 의해 작동되고 저장 수단에서 액체상에 작용하는 압력을 제거하기 위한 진공 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제28항에 있어서, 상기 진공 수단은 저장조 수단에 연결되고 프로세서 수단에 의해 제어되는 진공 벤츄리 수단을 포함하며, 상기 진공 벤츄리 수단은 감소된 압력으로 진공시키기 위해 프로세서 수단으로부터 벤츄리 신호에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제28항에 있어서, 상기 진공 수단은 프로세서 수단에 의해 제어된 저장조 수단과 벤츄리 수단사이의 밸브 수단과 저장조 수단에 연결된 진공 벤츄리 수단을 포함하며, 상기 진공 벤츄리 수단은 프로세서 수단이 밸브 수단에 대한 개방 신호를 전달할때 저장조수단을 대기압으로 배기시키는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 프로세서 수단과, 일정량의 액체를 포함한 저장조 수단과, 저장조 수단에서 고 액체 레벨을 감지하고, 고 액체 레벨에 도달될 때 고 액체 레벨 신호를 프로세서 수단에 전달하기 위한 수단과, 고 액체 레벨상에서 저장조 수단에 연결되고, 고 액체 레벨상에서 액체의 과류를 감지하고, 액체 과류가 고 액체 레벨상에 검출될 때 프로세서 수단에 과류 신호를 전달하기 위한 배출 인터록 수단 및, 액체를 저장조 수단으로부터 분배하고 저장조 수단을 재충전하기 위한 저장조 수단에 연결되어 있고, 프로세서 수단에 의해 과류 신호가 수신될 때 분배 및 제충전을 위한 수단을 해제시키도록 재충전 및 분배를 위한 상기 수단에 비작동 신호를 전달하는 프로세서 수단에 의해 제어된 분배 및 재충전을 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
상기 프로세서 수단은 마이크로프로세서인 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제31항에 있어서, 상기 분배 및 재충전 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되고 저장조 수단에 연결된 펌프 수단과, 펌프 수단이 작동될 때 액체가 통과되는 저장조 수단에 연결되고 프로세서 수단에 의해 제어된 출구 수단을 포함하며, 상기 펌프 수단은 요구 신호가 일정량의 액체를 분배시키기 위한 프로세서 수단에 의해 수신될 때 프로세서 수단으로부터 제1작동 신호에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제33항에 있어서, 상기 펌프 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되며 저장조 수단에 연결된 액체 압력 수단을 포함하며, 상기 액체 압력 수단은 요구 신호가 저장조 수단의 액체에 대해 작용하며 액체가 분배되도록 저장조 수단에 압력을 적용시키기 위한 프로세서 수단에 의해 수신될 때 프로세서 수단으로부터 제1신호에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제31항에 있어서, 분배 및 재충전을 위한 수단은 저장조 수단에 대한 입구 수단을 포함하며, 상기 입구 수단은 저장조 수단을 충전시키기 위해 액체 공급부에 연결된 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제31항에 있어서, 상기 배출 인터록 수단은 상기 고 액체 레벨상에서 상기 저장조 수단에 연결된 챔버 수단과 상기 프로세서 수단에 연결된 챔버 수단에 인접한 액체 과류 감지 수단을 포함하며, 상기 액체 과류 감지 수단은 액체 과류가 사기 챔버 수단내에서 검출될 때 과류 신호를 프로세서 수단으로 전달하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제36항에 있어서, 상기 액체 과류 감지 수단은 용량성(capacitive)센서인 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 프로세서 수단과, 일정량의 액체를 수용한 저장조 수단과, 상기 저장조 수단에 연결되고, 저장조 수단내에 일정량의 액체를 보충하기위해 상기 프로세서 수단에 의해 제어되는 보충 수단 및, 저장조 수단에 연결되어 저장조로부터 일정량의 액체를 저장조 수단에 연결되고, 상기 분배하는 프로세서 수단에 의해 제어되는 수단을 포함하며, 상기 프로세서 수단은 상기 분배 수단이 프로세서 수단에 의해 작동될 때 상기 보충 수단에 의해 정지되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제38항에 있어서, 상기 분배 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되고 저장조 수단에 연결된 펌프 수단을 포함하며, 상기 펌프 수단은 상기 프로세서 수단이 액체를 분배하라는 요구 신호를 수신할 때 프로세서 수단으로부터의 신호에 의해 작동되고, 상기 분배수단은 프로세서 수단에 의해 제어되는 저장조 수단에 연결된 출구 수단을 부가로 포함하며, 상기 출구 수단은 프로세서 수단이 요구 신호를 수신할 때 프로세서 수단으로부터의 개방 신호에 의해 개방되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제38항에 있어서, 상기 분배 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되고 저장조 수단에 연결되는 액체 압력 수단을 포함하며, 상기 액체 압력 수단은 프로세서가 저장조 수단내의 액체에 대하여 작용하고 액체가 분배되게 하기 위해서 압력을 적용하려는 요구 신호를 수신할 때 프로세서 수단으로부터의 신호에 의해 작동되고, 분배 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되는 저장조 수단에 연결된 출구 수단을 부가로 포함하며, 출구 수단은 프로세서 수단이 요구 신호를 수신할 때 프로세서 수단으로부터의 개방 신호에 의해 개방되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제38항에 있어서, 상기 보충 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되는 저장조 수단에 연결된 입구 수단을 포함하며, 입구 수단은 저장조 수단을 보충하기 위한 액체 공급원에 추가로 연결되고, 분배 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되는 저장조수단에 연결된 진공 벤츄리 수단을 부가로 포함하며, 입구 수단은 프로세서 수단으로부터의 개방 신호에 의해 개방되고, 진공 벤츄리 수단은 분배 수단이 정지되고 진공 벤츄리 수단이 일정량의 액체를 액체 공급원으로부터 입구 수단을 통해 저장조 수단으로 유입시키기위해 저장조 수단내에 감소 압력을 유발시키도록 작동될 때 프로세서 수단으로부터의 재충전 신호에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제38항에 있어서, 상기 보충 수단은 프로세서 수단에 의해 제어되는 저장조 수단에 연결된 입구 수단을 포함하며, 입구 수단은 저장조 수단을 보충하기 위한 액체 공급원에 추가로 연결되고, 분배 수단은 액체 공급원에 연결된 액체 압력 수단을 부가로 포함하며, 입구 수단은 프로세서 수단으로부터의 개방 신호에 의해 개방되고, 분배수단이 정지되고 액체 압력 수단이 일정량의 액체를 액체 공급원으로부터 입구 수단을 통해 저장조 수단으로 가압시키기위해 액체 공급원내의 액체에 대해 압력을 적용시키도록 작동할 때 프로세서 수단으로부터의 재충전 신호에 의해 작동되는 것을 특징으로는 하는 액체 분배 시스템.
제38항에 있어서, 상기 보충 수단은 프로세서 수단에 연결되고 프로세서 수단에 의해 제어되는 입구 수단을 포함하며, 입구 수단은 저장조 수단을 보충하기 위해 예비로 가압된 액체 공급원에 추가로 연결되고, 입구 수단은 프로세서 수단으로부터의 개방 신호에 의해 개방되며, 예비 가압된 액체 공급원내의 압력은 일정량의 액체를 액체 공급원으로부터 입구 수단을 통해 저장조 수단내로 가압하기 위해 액체 공급원내의 액체에 대해 작용하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제 38항에 있어서, 상기 프로세서 수단은 마이크로프로세서인 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 액체량을 수용하기 위한 저장조 수단과, 액체량의 수요를 나타내는 요구 신호를 수신하기 위해 채택된 제어 프로세서 수단과, 프로세서 수단은 액체 압력 수단이 액체에 대해 작용하는 압력을 적용시키는 요구 신호에 대응하여 액체 압력 수단에 신호를 전달하며, 프로세서 수단에 의해 제어되어 필요시 액체에 대해 작용하기 위해 저장조 수단에 압력을 적용하도록 저장조 수단에 연결된 압력 수단과, 액체 압력 수단이 액체에 대해 작용하는 압력을 적용할 때 액체의 일부가 통과하는 저장조 수단에 연결된 출구 수단 및, 압력 감지 수단은 입구 수단 근처의 압력을 나타내는 압력 신호를 프로세서 수단에 전달하고, 프로세서 수단은 압력 신호를 사용 가능한 값으로 변환시키고 그 값을 예정 압력치와 비교하며 압력 신호로부터 변환된 값에 예정 오차 한계내에서 출구 수단 부근의 압력이 예정 압력치에 근접할때까지 액체 압력 수단에 의해 적용되는 압력을 제어하며, 프로세서 수단에 연결된 출구 수단 부근의 압력 감지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제45항에 있어서, 상기 저장조 수단과 압력 감지 수단 사이에 필터 수단이 부가로 포함된 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제45항에 있어서, 상기 프로세서 수단은 마이크로프로세서인 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 액체를 수용하는 저장조 수단과, 액체의 요구를 나타내는 요구 신호를 수신하기 위해 채택된 제어 프로세서 수단과, 프로세서 수단은 액체 압력 수단이 액체에 대해 작용하는 압력을 적용시키는 요구 신호에 대응하여 액체 압력 수단에 신호를 전달하며, 프로세서 수단에 의해 제어되어 필요시 액체에 대해 작용하도록 저장조 수단에 압력을 적용하기 위해 저장조 수단에 연결된 압력 수단과, 액체 압력 수단이 액체에 대해 작용하는 압력을 적용할 때 액체의 일부분이 통과하는 저장조 수단에 연결되고 프로세서 수단에 의해 제어되는 출구 수단 및, 출구 수단 근방에 위치되고, 프로세서 수단에 의해 제어되는 출구 수단을 통해 일정량의 액체를 분리하기 위한 분배 수단을 포함하며, 상기 압력 감지 수단은 출구 수단 부근의 압력을 나타내는 압력 신호를 프로세서 수단에 전달하고, 프로세서 수단은 압력 신호를 사용 가능한 값으로 변환시키고 그 값을 예정 압력치와 비교하며 압력 신호로부터 변화된 값이 설정 오차 한계내에서 출구 수단 부근의 압력이 설정 압력치에 근접할때까지 액체 압력 수단에 의해 적용되는 압력을 제어하고, 또한, 압력 신호로부터 변환될 값이 설정 오차 한계 내에서 출구 수단부에서의 압력이 설정 압력치에 근접할 때 개방 신호를 출구 수단에 절달하며, 액체를 분배하기 위한 분배 수단은 프로세서 수단에 연결된, 출구 수단 부근의 압력 감지 수단과 액체가 통과하는 출구 수단 부근의 오리피스 수단과 예정 시간 간격의 종료 시점에서 출구 수단을 폐쇄시키기 위해 출구 수단에 연결되며 프로세서 수단을 갖는 타이밍 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제 48항에 있어서, 상기 시스템은 상기 저장조 수단과 상기 압력 감지 수단 사이의 필터 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제48항에 있어서, 상기 프로세서는 마이크로프로세서인 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체 분배 시스템에 있어서, 액체를 함유하는 저장조 수단과, 상기 액체의 적어도 일부를 위한 요구를 나타내는 신호를 수용하도록 적용된 제어 프로세서 수단과, 상기 액체에 반해 상기 저장조 수단을 필요로 할 때 상기 액체 압력 수단이 상기 액체에 반해 압력을 적용시켜 상기 요구 신호에 따라 상기 액체 압력 수단에 신호를 전달하는 상기 프로세서 수단에 의해 제어되며 압력 적용을 위한 상기 저장조 수단에 접속되는 액체 압력 수단과, 상기 요구 신호는 상기 액체 압력 수단이 상기 액체에 반해 압력을 적용할 때 상기 액체부를 통과하는 상기 출구 수단중의 특수한 하나를 나타내며, 상기 저장조에 접속된 다수의 출구 수단과, 상기 저 액체 레벨이 감지될 때 상기 저장조내의 저 액체 레벨을 감지하여 이를 상기 제어 프로세서 수단에 전달하기 위한 상기 저장조 수단에 인접한 액체 레벨 센서 수단 및, 각각의 입구 수단이 각각의 액체 공급원에 접속되며, 상기프로세서 수단이 상기 저 액체 레벨 신호에 수용되고 상기 액체 압력 수단이 비활성활될 때 상기 입구 수단중의 선택된 하나를 개방하기 위해 개방 신호를 전달하는 상기 프로세서 수단에 의해 분리 제어된 상기 저장조 수단에 대한 다수의 입구 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체를 측정된 양으로 분해하는 액체 분배 방법에 있어서, 측정된 액체량을 분배하기 위해 공지된 압력하에서 액체를 설정주기동안 개방시키는 분배수단과 연결되는 출구를 통하여 저장조로부터 분배되는 액체로 저장조를 충진하는 단계와, 분배가 요구될 때 저장조내의 액체에 압력을 가하는 단계와, 저장조의 출구에서 액체의 압력을 모니터하는 단계와, 설정된 오차내에서 저장조의 출구에서 설정된 액체 압력으로 유지하기 위해 분배가 요구되는 동안 액체에 가해진 압력을 조정하는 단계 및 분배가 대기압 이하에서 정지될 때 저장조내의 액체에 가해진 압력을 감압시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제52항에 있어서, 상기 감압 단계는 저장조에 가해진 압력을 대기압까지 감압시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
저장조로부터 액체를 분배하는 액체 분배 방법에 있어서, 저장조내에 수용된 액체의 일부가 필요함을 알리는 요구 신호를 수신하는 단계와, 요구 신호가 마이크로세서내에 수신되면 마이크로프로세서에 의해 발생되는 분배 신호에 응답하여 저장조내에 수용된 액체를 분배하는 단계와, 분배중에 저장조로부터의 액체를 여과 수단으로 여과하는 단계 및 압력 강하 표시 신호를 마이크로프로세서내에서 이용 가능한 압력 강하 표시 수치를 변환시키고 그 수치를 예정된 압력 강하 수치와 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제54항에 있어서, 상기 분배 단계는 요구 신호가 마이크로세서내에 수신될때 마이크로프로세서에 의해 발생되는 분배 신호에 응답하여 저장조내에 수용된 액체에 압력을 적용시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제54항에 있어서, 압력 강하 표시 수치가 예정된 수치를 초과할 때 경고 수단을 작동시키는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배방법.
저장조로부터 액체를 분배하는 액체 분배 방법에 있어서, 마이크로프로세서내에서 저장조에 저장된 액체의 일부에 필요한 조건을 나타내는 요구 신호를 수신하는 단계와, 상기 요구 신호가 마이크로세서내에 수신되면 마이크로프로세서에 의하여 발생된 분배 신호에 응답하여 상기 저장조에 저장된 액체에 압력을 가하는 단계와, 상기 저장조에 저장된 액체에 가해진 압력에 의하여 저장도로부터 액체를 분배시키는 단계와, 상기 분배 단계전에 액체가 통과하는 출구 인접부에서 감지된 압력을 나타내는 압력 신호를 상기 마이크로프로세서에서 수신하는 단계와, 상기 마이크로프로세서에서 감지된 압력값을 설정된 압력값과 비교하는 단계 및, 상기 감지된 압력값이 설정된 압력값의 예정된 오차이내이면 액체를 분배시키기 위하여 출구를 개방하도록 개방 신호를 전달하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제57항에 있어서, 상기 분배 동안 단계동안 마이크로프로세서에서 압력 신호를 계속적으로 수신하는 단계와, 상기 분배 단계동안 마이크로프로세서에서 감지된 압력값을 설정된 값과 계속적으로 비교하는 단계와, 상기 분배 단계동안 감지된 압력값을 예정된 오차내로 유지하기 위해 저장조에 가해진 압력을 계속적으로 변경시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분해 방법.
제58항에 있어서, 상기 분배 단계는 액체가 분배될 때 소정의 유량을 제공하기 위하여 오리피스 수단에 의해 액체를 통과시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제59항에 있어서,

상기 분배 단계는 특정 액체량을 분해하기 위해 소정의 시간간격 끝점에서 분배 단계를 정지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제60항에 있어서, 상기 분배 과정중에 액체를 채우는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
일정량의 액체를 분배하는 액체 분배방법에 있어서, 마이크로프로세서에서 요구 신호를 수신하는 단계와, 상기 요구 신호가 마이크로프로세서에서 수신되면 상기 마이크로프로세서에 의하여 발생된 분배 신호에 응답하여 저장조로부터 일정량의 액체를 분배시키는 단계와, 액체 레벨이 저장조에 대하여 예정된 저 액체 레벨 이하이면 상기 마이크로 프로세서에서 저 액체 레벨 신호를 수신하는 단계와, 상기 저 액체 레벨 신호가 마이크로프로세서에 수신되면 요구 신호에 응답하여 저장조로부터 일정량의 액체를 계속 분배하는 단계와, 상기 저 액체 레벨 신호가 마이크로프로세서에 수신된 후에 발생하는 분배를 위하여 축적 장치를 증가시키는 단계와, 상기 축적 장치를 저장조를 위한 예정된 공백 카운트와 비교하는 단계와, 상기 축적 장치가 저장조를 위한 예정된 공백 카운트를 초과하면 분배 단계를 정지하는 단계 및, 저 액체 레벨 신호가 마이크로프로세서에서 수신되고 액체가 저장조로부터 분배되지 않으면 마이크로프로세서에 의하여 발생된 충전 신호에 응답하여 저장조를 재충전하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
일정량의 액체를 분해하기 위한 액체 분배 시스템에 있어서, 액체가 분배되고 밸브 분배 메카니즘이 개방되는 시간에 의해 액체량이 측정되는 밸브 분배 메카니즘과, 분배될 액체를 지지하며, 상기 밸브 분배 메타니즘에 의해 측정된 분배 압력하에서 액체를 흐르게 하기 위해 밸브 분배 메타니즘에 연결되는 출구와 액체공급부로부터의 보충 액체를 수납하는 입구를 포함하는 저장조 수단과, 저장조에서 액체에 압력을 가하는 액체 압력 수단과, 액체를 여과시키기 위해 밸브 분배 메카니즘과 저장조 수단 사이에 배치된 필터와, 필터 통과후 연결되는 압력감지 수단 및, 분배 작업중 저장조 수단의 출구에서 설정압력을 유지시키므로써 필터를 통해 변화가능한 압력강하를 부분적으로 보상하는 방식으로 액체 압력수단에 의해 액체에 압력을 가하게 하는 액체 압력 수단과 연결되며 압력 감지수단에 응답하는 제어기를 포함하가는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제63항에 있어서, 상기 분배 밸브 메카니즘은 출구밸브 수단을 포함하며, 각각의 출구 밸브 수단은 상기 제어기에 의해 개별적으로 제어되고, 액체를 분배하기 위해서 상기 제어기로부터의 개방신호에 의해 개방위치로 그리고 제2페쇄신호에 의해 선택된 출구를 통하여 액체 출구를 차단하는 폐쇄위치로 이동가능한 것을 특징으로하는 액체 분배 시스템.
제63항에 있어서 상기 압력 감지 수단은 출구에 인접한 액체의 압력을 감지하기 위해 상기 출구에 인접한 저장조 수단에 연결되며, 상기 제어기는 압력 신호를 표시하는 값과 압력에 대해 설정된 값을 비교하며 비교된 값이 설정압력에 대응하는 상기 출구에 인접한 압력을 변화시키는 설정 오차를 초과할 때 상기 액체 압력 수단과 연결되는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제65항에 있어서, 설정된 압력에서 설정된 액체 흐름율을 제공하기 위해 상기 저장조와 출구 사이에 배치된 수단을 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제66항에 있어서, 상기 설정된 액체 흐름율을 제공하는 수단은 오리피스인 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
제63항에 있어서, 상기 제어기는 마이크로프로세서인 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템.
액체를 측정된 양만큼 분해하는 액체 분배 방법에 있어서, 측정된 액체량을 분배하기 위해 공지된 압력하에서 설정된 시간주기동안 액체를 분배하기 위해 개방되는 분배수단과 연결되는 출구를 통하여 저장조로부터 분배되는 액체로 저장조를 충진하는 단계와, 분배가 요구될 때 저장조내의 액체에 압력을 가하는 단계와, 저장조로부터 유출될 때 출구에서 액체를 필터로 여과하는 단계와, 필터의 하류측상에서 저장조의 출구에서의 액체 압력을 모니터하는 단계 및, 본배요구중 설정된 오차내에서 저장조의 출구에 설정된 액체 압력을 유지하기 위해 액체에 가해지는 압력을 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분해방법.
제69항에 있어서, 저장조내의 저 액체 레벨을 나타내는 저 액체 레벨 신호를 마이크로프로세서에 보내는 단계와, 마이크로프로세에 저 액체 레벨 신호를 수용하는 단계 및, 저 액체레벨 신호가 마이크로프로세서에 의해 수용되고 액체 분배 단계가 활성화되지 않을때 마이크로프로세서에 의해 발생된 재충전 신호에 응하여 저장조에 접속된 입구를 개방하여, 입구가 개방될 때 입구에 제공된 액체 공급원으로부터 저장조에 액체를 재충전하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분해 방법.
제70항에 있어서, 입구를 개방하여 저장조를 재충전하는 단계는, 저 액체 레벨 신호가 마이크로프로세서에 의해 수용되고 액체가 저장조로부터 분배되지 않을 때 마이크로프로세서에 의해 발생된 제2재충전 신호에 따라 저장조의 압력을 감압시키는 단계 및, 저장조의 감압된 압력에 의해 개방된 입구를 통해 저장조 안으로 액체 공급원내에 함유된 액체량을 인출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제70항에 있어서, 입구를 개방하여 저장조를 재충전하는 단계는, 저 액체 레벨 신호가 마이크로프로세서에 의해 수용되고 액체가 저장조로부터 분배되지 않을 때 마이크로프로세서에 의해 발생된 제2재충전 신호에 따라 압력을 액체 공급원내에 함유된 액체 적용하는 단계 및, 액체 공급원내에 함유된 액체에 적용된 압력에 의해 개방 입구를 통해 저장조 안으로 액체 공급원내에 함유된 액체의 양을 강제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분해 방법.
제70항에 있어서, 저장조내의 고 액체 레벨을 나타내는 고 액체 레벨 신호를 보내는 단계와, 마이크로프로세서내의 고 액체 레벨 신호를 수용하는 단계 및, 고 액체 레벨 신호가 마이크로프로세서에 의해 수용될 때 마이크로프로세서에 의해 발생된 재충전된 신호에 따른 입구를 폐쇄하고, 입구가 폐쇄될 때 액체 공급원으로부터 액체의 다른 유동을 정지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제 73항에 있어서, 고 액체 레벨이상의 액체의 존재를 위해 저장조를 감시하는 단계와, 액체 존재가 고 액체 레벨 이상으로 판독될 때 분배 및 충전의 다른 단계를 정지하는 단계 및, 액체 존재가 고 액체 레벨 이상으로 판독될 때 저장조의 압력을 감압시키는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제74항에 있어서, 저장조의 상기 감압 단계는 대기압까지 저장조의 압력을 감압시키는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제69항에 있어서, 액체 분배 단계중에 필터를 거쳐 압력 강하를 감지하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제76항에 있어서, 압력 강하가 설정값을 초과할 때 경고 수단이 작동되는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제69항에 있어서, 액체 분배 단계동안에 액체가 분배되는 출구와 저장조 사이에 배치된 필터로 액체를 여과하는 단계와, 액체 분배 단계 동안에 필터를 거쳐 압력 강하를 감지하는 단계 및 , 압력 강하가 설정값 이상일 때 경고 수단을 작동시키는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제69항에 있어서, 추가적인 분배가 요구되지 않을 때 액체의 압력을 감압시키는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제79항에 있어서, 압력이 제거될 때 입구를 통해 액체 공급원으로부터의 액체를 저장조에 보증하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 방법.
제69항에 있어서, 상기 저장조의 출구에 연결된 복수개의 분배 수단을 포함하며, 분배중에 2개의 분배 수단이 작동되는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배방법.
저장조와, 상기 조장조내의 액체에 압력을 가하기 위해 제어기의 제어에 따라 저장조로 분배된 압축가스원과, 희망하는 양만큼 액체를 측정하여 분배하기 위해 설정된 시간주기 동안 개방되는 분배수단과 연결된 저장조의 출구를 구비한 액체 분배 시스템에서, 저장조가 액체로 충진되는 충진 사이클과, 아이들 사이클과, 액체가 분배되는 분배 사이클을 포함하는 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어 방법에 있어서; 상기 분배 사이클은 분배요구에 응답하여 저장조내의 액체에 압축가스를 적용하는 단계와, 출구에서의 액체압력을 모니터하는 단게 및, 출궁서의 액체압력을 설정된 오차내로 유지하기 위해 액체상의 가스 압력을 조정하는 단계를 포함하며, 상기 충진 사이클은 재충전의 표시가 있을 때 보증원으로부터의 액체로 저장조를 재충진하는 단계를 포함하며, 상기 아이들 사이클은 분배요구가 없을 때 액체상의 가스압력을 설정된 압력레벨 이하로 감압시키는 단계 및, 저장조내의 액체에 압력을 다시 가하는 분배의 요구를 표시하는 것을 수용하는 단계를 포함하며, 설정된 압력 레벨은 분배된 액체량의 측정 정밀도를 감소시키는 액체에서 압축가스의 합류 가능성을 감소시키는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어 방법.
제82항에 있어서, 액체상의 가스압력을 조정하는 단계는 압력센서의 출구에서의 액체압력의 표시를 제어기에 제공하는 단계와 출구에서의 액체압력을 상기 표시에 응답하여 설정된 공차내에 유지하기 위해 압축가스원을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한는 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어 방법.
제82항에 있어서, 상기 충진 사이클은 분배요구가 없을 경우에만 실시되며, 액체공급원으로부터의 액체를 저장조를 끌어내기 위해 저장조내를 진공압력으로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어 방법.
제84항에 있어서, 상기 충진 사이클은 보충을 위하여 액체를 저장조로 끌어들이는 복수개의 밸브중 하나의 밸브를 작동시키는 단계를 포함하며, 상기 분배 시스템은 복수개의 밸브중 하나를 통해 액체와 연결되기 위해 저장조에 연결된 복수개의 액체 공급원을 포함하는 것을 특징으로 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어방법.
제82항에 있어서, 상기 분배 사이클은 출구에서의 액체 압력이 설정된 공차내에 있을 때에만 액체를 분배하도록 분배 수단을 개방시키는 단계를 포함하며, 상기 분배 시스템은 저장조의 출구와 액체 연결되는 분배수단을 부가로 포함하는 것을 특징으로 액체 분배 시스템에서의 제어기 사용방법.
제86항에 있어서, 상기 아이들 사이클은 액체상의 압력을 감소시킬 때 분배수단의 작동을 중지시키는 단계와, 저장조내의 액체에 압축가스를 재적용시키도록 분배요구의 수신을 기다리는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어방법.
제82항에 있어서, 아이들 사이클중 액체상의 가스압력의 감압 단계는 분배중단의 요구후 및 저장조의 재충전의 표시가 없을 때 실시되는 것을 특징으로 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어 방법.
제82항에 있어서, 아이들 사이클중 압력을 설정된 압력이하로 감압시키는 단계는 대기압으로 감압시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어방법.
제82항에 있어서, 아이들 사이클중 압력을 설정된 압력이하로 감압시키는 단계는 가스압력을 대기압 이하로 감압시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분배 시스템에서의 제어기 제어방법.