JPH055644A - 液体分配装置及び液体分配方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】この発明は液体を分配する装置であり、特に分
配装置から特定量の液体を受けるようになされた処理装
置に特定量の液体を効率良く分配しようとするものであ
る。 【構成】液体分配装置は液体充填貯蔵器、制御用マイク
ロプロセッサ及び貯蔵器に接続された複数の出口から成
る。フィルタが貯蔵器と液体を濾過する出口の間に設け
られる。弁は出口を通流する各出口制御部を備えてい
る。各弁は各出口が個別に選択できるようにプロセッサ
により個別に制御される。プロセッサは特定の出口から
の液体用指令を示す信号を受けるようになされている。
命令の受信時選択された弁はプロセッサからの信号に応
答して開き、一方、他の弁は閉成されたままで、選択さ
れた出口のみを通して液体分配がなされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液体分配装置及び液
体分配方法に関するもので、特に、液体分配装置からの
所定量の液体を収容するために用いられた処理装置の処
理部へ、所定量の液体を分配するための自動マイクロプ
ロセッサ制御方式の液体分配装置及び液体分配方法に関
するものであり、液体分配装置は複数の液体供給源の間
を自動的に切換え、液体供給源は液体供給源の１つが空
になったことが検出されたときは液体を液体分配装置へ
供給する。

【０００２】

【従来の技術】所定の製造工程に関して、種々の工程の
動作条件を注意深く規制することは避けられない。液状
ホトレジストなどの化学品を分配するような所定の製造
工程において遭遇する１つの問題は、気泡のためホトレ
ジスト層に形成された切れ目、裂け目などの不連続性で
ある。この気泡は液状ホトレジストが分配されるときに
製造工程に持ち込まれる。液状ホトレジストなどの化学
品は比較的小さい複数のびんに供給され、それらが空に
なったときは液状化学品を補給することが必要である。

【０００３】米国特許第4,601,409号に述べられている
ように、液状化学品を分配するように貯蔵器から液体を
充排出することによって貯蔵器内の減圧圧力を作り出す
ポンピング(pumping)を用いることは知られている。こ
のポンピングは、同時に、貯蔵器がプリセットレベル以
上に満たされることを維持するように容器から貯蔵器へ
液体を供給する。上記米国特許の開示から、一方の容器
が空になったときは一方の容器から他方の容器へ切り換
えることも知られている。それ故、貯蔵器の充填が続け
させられる。しかしながら、以上のことは、充填及び分
配動作の両方が同時に行われているために完全に満足す
べきものではない。従って、もし貯蔵器が少なくとも、
空の入口、他の流体の妨害又は他の理由のために液体が
分配されている、同じ割合で充填できないならば、液状
化学品の代わりに又は液状化学品といっしょに気体状流
体の分配の可能性がある。

【０００４】第２に、従来の充排出装置(液体分配装置)
はベローズ型ポンプによって伝統的に提供される。しか
しながら、これは、流量が一定していないために完全に
満足すべきものではない。従って、所定量の液状化学品
を分配することが困難である。更に、この型の充排出装
置と共に、もしフィルタが含まれていたならば、フィル
タが時間の経過以上に汚染物質で詰め込まれたときは、
フィルタを通る圧力低下の増加を補償することが困難で
ある。

【０００５】発明の要約 従って、本願の液体分配装置及び液体分配方法は、液状
化学品といっしょの分配から気体状流体を防ぐために、
分配動作から隔離充填又は補給動作の間、正確な反復量
で液状化学品を分配する。本願の液体分配装置は、液体
フィルタ貯蔵器、制御用マイクロプロセッサ(コントロー
ラ)及び液体フィルタ貯蔵器に接続された複数の出口を
備え、各出口は、出口から液状流体の所定量を収容する
のに適した処理装置の処理部に接続されている。制御用
マイクロプロセッサは本願のアルゴリズムに従った最適
のソフトウエアによって駆動される。液体分配装置の種
々のモードのパラメータは、ユーザによってコントロー
ラにプログラムされる。各出口に設けられた出口弁は出
口を通る流れを制御する。各出口弁はコントローラによ
って個々に制御されるので、各出口は個々に選択するこ
とができる。液体分配装置及び液体分配方法は、ユーザ
に都合のよい、分配要求の完全な制御をユーザに与え
る。

【０００６】コントローラは、特定の出口に接続された
処理装置の処理部からの信号を受信するのに使用され、
特定の出口からの所定量の液体の要求を知らせる。要求
の受信において、液体分配装置は分配モードに切り換
え、コントローラからの信号に応答する圧力調整器は貯
蔵器内の液体へ圧力を加える。加えた圧力が特定出口付
近の検知圧力によって表わされる所定値に達したときに
は、その特定出口を制御する特定出口弁が選択され、他
の出口弁が閉成されている間にコントローラからの信号
に応答して開放され、処理装置へ選択出口のみを通って
液体が分配させられる。

【０００７】各出口に含まれるオリフィス及び選択出口
付近で検知された液体に供給された所定圧力は、選択さ
れた出口を通って流れる流量率を制御する。コントロー
ラは、選択出口弁を閉成するように所定期間の終わりに
選択出口弁へ信号を供給する。流量率といっしょの所定
期間に、所定量の液体が処理装置へ分配させられる。コ
ントローラを介した圧力検知手段と圧力調整器との間の
サーボループは、開放されている出口弁の数に関係なく
安定した分配を行う。なぜならば、圧力が出口に隣接し
た圧力センサによって検知されるからであり、１ケ所以
上の出口がいつでも開放され、分配されている液状化学
品が１ケ所以上の処理装置の処理部へ送られるからであ
る。

【０００８】所定量の液体が処理装置へ分配された後、
選択出口弁が閉成されて液体分配装置は選択排気モード
へ切り換える。真空ベンチュリ管は、貯蔵器内の液体に
作用している圧力を取り除くようにコントローラからの
信号を通じて動作され、従って自己の周囲にある液体を
送っている。貯蔵器と真空ベンチュリ管との間にある逆
止弁は、貯蔵器への逆流から、圧縮空気又は窒素によって
供給されたベンチュリ動作圧力を防ぐ。このモードにお
いては、真空ベンチュリ管は動作されないが、貯蔵器は
周囲圧力へ真空ベンチュリ管を通って放出させられる。

【０００９】貯蔵器が液状化学品で満たされているよう
に、複数の入口は貯蔵器に接続する。各入口は別々の液体
供給源に接続されている。低液体レベルが貯蔵器内で検
知されたとき、且つ分配が進行中でないときは、液体分
配装置は充填モードへ切り換え、コントローラからの信
号に応答する入口が選択されて開放され、貯蔵器が所定
レベルまで満たされる。低液体レベル以下であるが、も
し現在、貯蔵器出口又はフィルタ以上である貯蔵器内に
おける周知の予定量を分配する間に、貯蔵器は低液体レ
ベル以下に当然落ち、空カウント(empty count)と呼ばれ
る周知の分配数を分配するための液体を更に供給し、液
体の必要量が分配されるまで、気体状流体を分配から防
ぐ。

【００１０】貯蔵器が所定時間経過した後満たされない
ことをコントローラが検出するときは、コントローラか
らの他の信号に応答する入口が選択されて開放され、貯
蔵器は所定レベルに達するまで充填を続ける。空の液体
供給源を有しているとしてコントローラによって検出さ
れた入口は、コントローラによって空状態を割り当てら
れる。この空状態は空になっている入口を識別するのに
コントローラによって使用されるので、充填モードが再
び動作されるときは空の入口が再び選択されない。

【００１１】貯蔵器が補給されている間、且つ貯蔵器の
空カウントがその最大値を越えない間に、液体分配装置
は分配モードへ再び切り換えて、充填モードのために一
時的に閉成された出口を再選択し、所定量の液体が処理
装置へ導かれるまで選択出口を通って液体を導くように
継続する。分配の後、液体分配装置はもし必要なら再充
填(補充)モードに再び切り換え、充填を継続する。可視
式又は可聴式の液体供給源警報は、液体供給源が空であ
ることをオペレータに通報し、オペレータに補充させる
か空の液体供給源を取り替えさせる。

【００１２】液体で貯蔵器を充填するのに最適な方法
は、選択入口がコントローラからの信号により真空ベン
チュリ管を動作することによって開放されている間に隔
離された貯蔵器へ真空を供給することである。減圧圧力
は液体供給源から入口を通って貯蔵器へ液体を吸引す
る。液体で貯蔵器を充填するのに最適な他の方法は、液
体のその液中に対して動作するように選択液体供給源へ
気体圧力を供給することであり、貯蔵器へ選択入口を通
って液体に流れさせる。

【００１３】高液体レベルセンサが故障した場合、貯蔵
器と真空ベンチュリ管との間にある排気インタロック手
段に隣接した液体オーバフロー検知手段は、インタロッ
ク時の液体オーバフローを検出してコントローラへ信号
を送る。コントローラにおける液体オーバフローを示す
信号の受信では、選択入口がコントローラからの信号に
より閉成され、貯蔵器への液体の流れを更に停止する。

【００１４】充填モードで且つ貯蔵器の液体レベルが低
液体レベル以上の間に液体の需要が受信されたときは、
充填モードは終わらせられる。コントローラからの信号
に応答する選択入口は閉成され、液体分配装置は分配モ
ードへ切り換える。

【００１５】フィルタは、分配モード中に液体を濾過す
るために貯蔵器と出口との間に設けられる。従って、分
配モード中の選択出口付近の検知圧力はフィルタと出口
との間の下流側にある。分配モード中、液体分配装置は
フィルタ内の圧力降下を検知し、コントローラへ圧力降
下を示す信号を供給する。なぜならば、フィルタが汚染
物質で詰め込まれたときは、選択出口付近の検知圧力が
減少すると、貯蔵器内の液体へ供給された圧力は増大さ
れ、選択出口付近の検知圧力は所定圧力で維持すること
ができる。

【００１６】コントローラは、信号を受信してその信号
を、圧力降下用の所定値と比較される有効値へ変換す
る。受信した信号から変換された有効値が所定値よりも
大きいときは、コントローラは、警報信号をオペレータ
へ送る。従って、受信した信号から変換された有効値が
所定値よりも大きいときは、コントローラは、フィルタ
の状態が不十分であることを知らせる可聴式又は可視式
のフィルタ警報を作動する。

【００１７】本願の前述した特徴及び他の特徴は、図
面、詳細な説明及び付随した特許請求の範囲から明らか
になるだろう。この発明は、図面と共に好ましい実施例
の下記説明を参照することにより十分に理解できる。

【００１８】

【実施例】詳細な説明 図１を参照すると、この発明の液体分配装置10の概略が
示されている。液体分配装置10は、正確な反復量で液状
の流体を分配し、酸、溶媒及び基剤の全ての異なる種類
に適合することができる。液体分配装置10の中心は、加
圧可能な化学貯蔵器12である。貯蔵器12は、後述する目
的のために加圧に適した液状流体の実質量を含むことが
できる密閉容器である。

【００１９】図４から図34までのアルゴリズムに従って
プログラムされた、ソフトウエアで駆動されるコントロ
ーラ14は、液体分配装置10の動作を制御する。コントロ
ーラ10に接続されたキーボード16により、ユーザは液体
分配装置10の動作を管理するようにコントローラ14のマ
イクロプロセッサを選択的にプログラムできる。コント
ローラ14は、ザイログＺ80のような適当なマイクロプロ
セッサ、マザーボード上のスロットに取り付けられた適
当なＩ／Ｏボード、及び１秒の1／100のタイミング増分
を供給するインテル8254プログラマブルタイマーのよう
な適当な複数のタイミング手段を含む。Ｉ／Ｏボードへ
取り付けられ参照文字ａ〜ｎにより示される配線用ハー
ネスの形態内の適当な接続手段は、液体分配装置10の他
の部品とコントローラ14を個々に接続するために提供す
る。図３を参照すると、パイロット弁多岐管（a pilot
valve manifold）に沿って支持された個々に選択可能な
複数の弁はコントローラ14によって管理され、パイロッ
ト圧力を伝える開放位置にある各弁は液体分配装置10の
他の部品を選択的に動作する。あるいはまた、コントロ
ーラ14はアイビーエムＡＴのようなプログラマブルパー
ソナルコンピュータであるかも知れないし、他の適当な
プログラマブル装置も使用されるかも知れない。コント
ローラ14は、電源故障が起きた場合に電源がバックアッ
プされているランダムアクセスメモリ(ＲＡＭ)を含み、
プログラムされたデータはそのメモリに残る。

【００２０】液体分配装置10は、貯蔵器12を充填及び補
給するために、導管20の分岐管を経由して貯蔵器12と接
続する複数の選択可能な液体入口18a、18b、18c及び18d
を含む。各液体入口18a、18b、18c及び18dはそれぞれ入
口弁22a、22b、22c及び22dを有する。コントローラ14
は、各入口弁22a、22b、22c及び22dを分離して制御する
ように、配線用ハーネスの一部を通って各入口弁22a、2
2b、22c又は22dと選択的に通信する。従って、貯蔵器12
への液体入力は選択的に制御される。

【００２１】各入口18a、18b、18c及び18dは、図示されて
いないが、分離した液状化学品供給源に接続され、各液
状化学品供給源は同一の化学品を有する。各液体供給源
は、在来のびんや袋の形状をしている。液体分配装置10
は、残っている入口弁が閉成している間に入口弁22a、2
2b、22c又は22dの１つを選択的に開放することによって
貯蔵器12を自動的に補給する。従って、図１において太
線24によって示された１つの入口のみが選択され、液体
分配装置が他の入口を通って流れる液体を防ぐように動
作する間に、液体分配装置10に、選択された液状化学品
供給源から液状化学品を引き込ませるので、オペレータ
は液状化学品で空の液状化学品供給源をどれでも補給で
きる。選択された液状化学品供給源が空になったとき
は、液体分配装置10は自動的に他の入口に切り換え、他
の液状化学品供給源を選択し、空の液状化学品供給源が
液状化学品で補給させられる。

【００２２】液体分配装置10は複数の選択可能な出口26
a、26b、26cを含む。出口26a、26b及び26cは、貯蔵器12
から液状化学品を分配するように導管28の分岐管を経由
して接続される。各液体出口26a、26b及び26cはそれぞ
れ出口弁30a、30b及び30cを含む。コントローラ14は、
各出口弁30a、30b及び30cを別々に制御するように各出口
弁30a、30b及び30cと選択的に通信する。従って、貯蔵器
12からの液体出力は選択的に制御され、液体が貯蔵器12
から選択的に分配させられる。それ故、図示していない
が、１つの出口だけ、又は図１において太線32により示
される複数の出口が選択される。好ましくは、各出口弁
30a、30b及び30cは、分配物を受給する処理装置内の処理
物質上に化学品の落下を防ぐように、それぞれ戻し弁又
は逆止弁部分34a、34b及び34cを含む。

【００２３】図示されていないが、各出口26a、26b及び2
6cは処理装置の異なる処理部へ接続され、要求に応じて
処理装置へ化学品を選択的に分配する。これが最上に達
成されるように、処理装置の各処理部は、シリアルポー
トのような配線用ハーネス又は適当な手段を通じてコン
トローラ14に個々に接続され、そして、適切な条件の下
で、処理装置の各処理部は、適切な出口弁30a、30b又は3
0cを開放するようにコントローラ14へ要求信号を送り、
それへ化学品の選択量を分配する。

【００２４】貯蔵器12内の液体レベルセンサ36は、貯蔵
器12の液体レベルの高低を検出する。液体レベルセンサ3
6は、図１の符号38で示す高位置と、図１の符号40で示
す低位置との間を移動する。液体レベルセンサ36は、高
液体レベルを感知したことを意味する高液体レベルを表
わす第１の信号をコントローラ14へ送り、低液体レベル
を感知したことを意味する低液体レベルを表わす第２の
信号をコントローラ14へ送る。従って、液体レベルセン
サ36は高低の液体レベルの両方を検出する性能がある単
一の液状流体レベル検出器であり、高低の液状流体レベ
ル状態を意味する異なる信号をコントローラ14へ送るた
めの適切な手段を含む。あるいは、液体レベルセンサ36
は、高液体レベルセンサと別体の低液体レベルセンサと
を含み、各々が高又は低液体レベルを表わす適切な信号
をコントローラ14へ送る。

【００２５】サーボ制御型電子式の圧力調整器42は、貯
蔵器12内に存在する液体に作用するように要求に応じて
圧力を供給する。図２を参照すると、圧力調整器42は、
導管44を通じて圧縮窒素又は空気を収容する。典型的に
は、圧縮窒素は約６０ｐｓｉ(プサイ)の圧力である。コ
ントローラ14は圧力調整器42の動作を管理し、コントロ
ーラ14からの信号に応答して要求に応じ圧力を圧力調整
器42に供給させる。

【００２６】圧力センサ46はその圧力を感知するように
貯蔵器12に接続する。コントローラ14を介した圧力セン
サ46と圧力調整器42との間のサーボループは、選択され
た化学品の出口弁30a、30b又は30cが開放する前に、ユー
ザによってプログラムされた出口圧力対して貯蔵器12に
作用する圧力を安定するように採用される。

【００２７】可制御三方弁48は、導管50、52及び54を経
由してそれぞれ後述する圧力調整器42、貯蔵器12及び真
空ベンチュリ管56に接続する。コントローラ14は三方弁
48の切換えを管理する。コントローラ14からの適切な信
号の受信で、導管50、52を経由して圧力調整器42から貯
蔵器12への圧力を供給するための圧力位置と、後述する
ように、導管54に低圧力を生じさせるための真空ベンチ
ュリ管56又は他の在来装置によって貯蔵器12を真空排気
するための第２の、つまり真空位置との間で、三方弁48
は選択可能である。三方弁48の圧力位置は圧力分配モー
ドに応じた要求において有用であり、後述するように、
導管50、52及び排気インタロック58を経由して圧力調整
器42と貯蔵器12とを連絡する。図２に示すように、アナ
ログ圧力計59は、貯蔵器12へ供給された圧力をオペレー
タに可視的に表示するように導管50に含まれる。三方弁
48の真空位置は充填又は排気モードで有用であり、導管
52、54及び排気インタロック58を経由して貯蔵器12を真
空ベンチュリ管56へ連絡する。

【００２８】排気インタロック58は三方弁48と貯蔵器12
との間の導管52で接続される。排気インタロック58は、
三方弁48が真空位置にあるときは、真空ベンチュリ管56
を経由して貯蔵器12に排気させ、貯蔵器12を各分配後の
大気圧と均圧にする。排気インタロック58は、導管52の
部分間に接続するチェンバ部60と、高液体レベルセンサ
が故障した場合にチェンバ部60の流出液体の存在を検出
するためのチェンバ部60に隣接した液体オーバフロー指
示手段とを含む。従って、液体オーバフロー指示手段
は、排気インタロック58の付近の流出液体の存在を検出
するための手段を提供する。好ましくは、液体オーバフ
ロー指示手段は、チェンバ60の外壁に取り付けられ、液
体の接近を検出するように動作する静電容量センサ62の
形態で提供される。静電容量センサ即ちオーバフローセ
ンサ62は、コントローラ14に接続され、液体が排気イン
タロック58付近で検出されたときは、コントローラ14へ
適当な信号を送る。あるいは又、液体オーバフロー指示
手段は、排気インタロック58付近の液体を検出するフロ
ートスイッチのような他の形態で提供される。図３に示
すように、可動式栓63は、密閉室部60への接近を許すよ
うに移動され、液体オーバフローが検出されたとき、及
び液体分配装置10がメンテナンスのために動作停止にな
ったときは、そこにあるどんな液体も掃き出す。

【００２９】選択可能な弁64は、真空ベンチュリ56の動
作を制御する。図３について説明すると、選択可能な弁
64は、パイロット弁マニホールド66とマニホールド66に
接続された複数の個別に選択可能な弁要素68a〜68jを含
んでもよい。各弁要素は、閉成位置と適切な部品に圧縮
ガスを供給するための開放位置との間で、コントローラ
14からの適切な信号を介して個別に選択可能である。一
般に、真空ベンチュリ56は、排気導管72を有するベンチ
ュリ部材70と、分配されるべき液状化学品と互換性のあ
る圧縮窒素又は他のガス状流体を受けるための入口導管
74とを備えている。排気導管72は、好ましくは互換性の
あるハウス排気分配装置(図示せず)に接続されている。
入口導管74は弁64の弁要素68dの出口側に接続され、導
管76は、圧縮窒素ガス又は空気の供給源78を、パイロッ
ト弁マニホールド66の入口側に接続し、弁要素68a〜68j
によって選択的に分配されるようにする。ベンチュリ部
材70内において、ベンチュリ部材70の制限区域を介した
圧縮ガスの流れは、ベルヌーイの原理に従って導管54内
に減圧された領域を作る。典型的には、減圧された圧力
は254mm(10インチ)Ｈgであり得る。

【００３０】コントローラ14は弁64と連結されて弁64の
開閉を取り扱う。コントローラ14が弁48を真空位置に切
換えるのと同時に、コントローラ14は、弁要素68dを開放
させる信号を通信する。弁要素68dが開放されたとき、供
給源78からの圧縮窒素ガス又は空気は、真空ベンチュリ
56を通して流れ、導管54内に真空又は低減された圧力を
作り、導管52、54、排気インタロック58及び真空位置に
ある弁48を介して貯蔵器12を減圧排気する。弁48及び真
空ベンチュリ56に接続された導管54内にある一般のワン
ウェイ逆止弁80は、貯蔵器12から空気が流れるように作
用する一方、弁48及び排気インタロック58を介して貯蔵
器12に向けて反対方向に圧縮窒素ガス又は空気が流れ込
むのを禁止する。減圧排気処理の終了時において、コン
トローラ14は、弁要素68dに信号を通信してそれらを閉
成させる。

【００３１】コントローラ14が弁48を真空位置に切換え
て圧縮ガスが真空ベンチュリ56を介して流れるようにし
たとき、貯蔵器12にかかる導管54内の減圧は、貯蔵器12
の液体レベルが低液体レベル40以下に下がったときに貯
蔵器12を液体で補充するためにも用いられる。分配装置
が分配モードでないときに減圧が貯蔵器12の補充に用い
られるために、入口弁22a、22b、22c又は22dのうちの１
つは開放され、貯蔵器12内の減圧が、開放された入口に
存在する液状化学品供給源から入口を介して貯蔵器12内
に液体を引くようにする。

【００３２】コントローラ14が真空ベンチュリを動作し
て貯蔵器12内の減圧が貯蔵器12内に液体を引くようにす
る代わりに、コントローラ14は、圧力が液状化学品供給
源にかかるようにし、液体を貯蔵器12内に導入するよう
にしてもよい。これは、コントローラ14が弁81に信号を
通信して弁81を開放すると共に、コントローラ14が圧力
調整器42と通信して、所定圧力の他の適切なガス状流体
の窒素ガス又は空気を破線83で示す導管を介して流すと
共に液体供給源に作用し、開放された入口を介して液体
を調整器12内に導入させることにより達成され得る。

【００３３】代わりに、各液体供給源が再加圧され得
る。その結果、入口が開放されてこれらの再加圧された
液体供給源の１つが導かれているとき、液体供給源の内
圧は開放入口を介して貯蔵器12内に液体を導入させるだ
ろう。

【００３４】フィルタ82は、用いられる液状化学品に依
存して、並びに、液状化学品による分配装置10上に位置
する処理要求に依存して、含まれてもよい。フィルタ82
は、含まれる場合、貯蔵器12と出口弁30a、30b及び30cと
の間に位置する。代わりに、図２に示すように、フィル
タ82は、以下のパラグラフで説明するように、貯蔵器12
の外側に位置してもよい。貯蔵器12の前に位置する他の
フィルタ84は、導入されてくる圧力ガスが貯蔵器12に入
る前に圧力ガスを濾過する。

【００３５】図２について説明すると、フィルタ82は、
貯蔵器12の外側の封止されたフィルタ容器86内に含まれ
てもよい。封止容器86は、貯蔵器12と出口26a、26b及び2
6cとの間の流路の導管セグメント28及び90を接続するの
に適した入口及び出口を有するフランジ部88と、フィル
タ82に近接するための取り外し可能な円筒部92とを含
む。代わりに、円筒部92及びフィルタ82は、カートリッ
ジフィルタ上の一般のネジに結合されてもよい。貯蔵器
12は、貯蔵器12の底から導く導管90を介して封止容器86
の入力側に接続されている。導管90内の手動弁94は、貯
蔵器12を排水することなくフィルタ82が交換され得るよ
うにする。

【００３６】図１及び図３について説明すると、フィル
タ82が貯蔵器12内に位置する場合、フィルタ82の上部は
所定の点における低液体レベルの下に位置し、既知の保
有量の液状化学品がフィルタ82上の貯蔵器12内に残るよ
うにする。低液体レベル位置はフィルタ82の上であり、
従って、ガス状流体はフィルタ82に入ることが抑制され
る。代わりに、図２に示すように、フィルタ82への入口
は、導管90の入口側を貯蔵器12の底に接続することによ
り、貯蔵器12内の液体の低液体レベルに関連して接続さ
れてもよい。同様に低液体レベル部分は導管90の入力側
の上であり、従って、既知の保有量の液状化学品が貯蔵
器12内に残る。

【００３７】時間経過によりフィルタ82が汚染物質で飽
和するであろう理由から、貯蔵器12に存在する化学液体
にかかる圧力に関係してフィルタ82を介した流れを低減
し、圧力センサ46は、図２及び図３に良く示されるよう
に、フィルタ82と出口弁30a、30b及び30cとの間の液体流
通路の下流に位置する。この結果、フィルタ82が含まれ
る場合、圧力センサ46は、貯蔵器12の静的圧力とフィル
タ82の下流の動的液流圧力との両方を検知する。従っ
て、貯蔵器12内の液体にかかる圧力は、圧力センサ46を
同一圧力に維持するために、上方に調整され得る。

【００３８】フィルタ82が含まれない場合、圧力センサ
46は、貯蔵器12と出口弁30a、30b及び30ｃとの間の動的
液流圧力を読み取る。この結果、フィルタ82が含まれな
い場合、圧力センサ46は、同様に、貯蔵器12内の液体に
かかる圧力を調整して圧力センサ46が同一圧力に維持さ
れるようにする。フィルタ82が含まれているか否かによ
らず、出口26a、26b及び26cに近接した圧力センサ46によ
って動的圧力は検知される。従って、１つ以上の出口26
a、26b又は26cは、分配時にはいつでも開放されて、分配
要求している処理装置の各部に１つ以上の出口を介して
液状化学品が分配されるようにしてもよい。これは、サ
ーボループが、圧力調整器42により印加される圧力を上
げて、圧力センサ46により検知される圧力を同一圧力に
維持することによって、付加的な出口が開放されるよう
に補償するからである。

【００３９】貯蔵器12の底に近接して接続された手動排
水弁96は、貯蔵器12を手動で排水できるようにする。排
水弁96を貯蔵器12に接続する排水管100内の一般のワン
ウェイ逆止弁98は、排水管100を介して貯蔵器12に入る逆
流を禁止する。排水のために除去可能な、排水管100上
のキャップ102は、排水管100の内部を保護する。

【００４０】好ましくは、コントローラ14は、４つまで
の液状化学品分配装置10の操作が可能である。しかし、
全ての分配装置がそれより少ないか又は多く構成されて
も、それはこの発明の範囲内にある。

【００４１】コントローラ14は、入口18a、18b、18c又
は18dのいずれかに存在する供給源を分配しているどの
空の液状化学品に対しても、視覚的手段及び聴覚的手段
の両方を含む。コントローラ14は、分配装置10の運転停
止が必要な事態に、ワイヤリングハーネスを介して接続
された処理装置とも通信する。

【００４２】全ての動作モードはコントローラ14によっ
て取り扱われる。動作モードは、好ましくは、キャリブ
レーション(較正)モード、分配モード、ノーマルモー
ド、ガス抜きモード、浄化モード、排水モード及び停止
モードを含む。コントローラ14は、メインコンピュータ
又は他のデバイスと通信するためのシリアルポートなど
の適切な手段を含んでもよい。

【００４３】コントローラ14は、キーボード16を介して
ユーザによりプログラムされ、動作モードに対するパラ
メータが設定される。この結果、ユーザは、ａ）選択的
に液状化学品入口18a、18b、18c又は18dのどれか又は結
合を選択してもよく、ｂ）圧力センサ46により検知され
る圧力を設定してもよく、ｃ）フィルタ82の下流の圧力
センサ46により検知される圧力と貯蔵器12内に存在する
液体にかかる圧力との圧力偏差制限又は圧力損失を設定
してもよく、ｄ）各出口に対する時間間隔の分配量を設
定してもよく、ｅ）開放された出口弁30a、30b、30c及
び30dの数に無関係な不変の液流のためのサーボループ
の圧力を定めてもよく、ｆ）圧縮された貯蔵器12に対す
るピーク圧力制限を設定してもよい。

【００４４】分配装置10は、図中に番号４が付されてい
るがそれより多いか又は少ないことが可能な、複数の入
口からの液状化学品供給源の切換を、液体レベルの検知
機能及び液状化学品の分配機能と共に１つのユニットに
集積する。分配装置10は貯蔵器12の大きさを変化可能に
し、従って、分配装置10は、液状化学品の分配適用の広
い変化に適合可能となっている。用いられる液状化学品
及び処理要求に依存して、分配装置10は、液状化学品貯
蔵器12内の濾過と共に、又は濾過なしで動作するだろ
う。

【００４５】複数の液体分配装置10を備え得る全ての分
配装置の動作は、以下の通りである。図４について説明す
ると、全ての分配装置がパワーアップされ、全ての入口
弁及び出口弁はブロック103に示すように閉成され、続
いて、次のブロック104で示すように、動作のアクティ
ブメインモード即ち初期モードが起動され、各分配装置
10が、それらに接続されたホスト処理装置に出力するた
めに、選択される。メインモードの間、コントローラ14
は、各分配装置10についてブロック106〜112で示す種々
のモードの１つが選択されているかを検査し、貯蔵器12
が臨界的に空を示す警報が、以下に定めるように、ブロッ
ク114で示すようにオンであるかを検査し、又、ブロック
116で示すように、センサ62に近接して液状化学品のオー
バフローが存在するかを検査する。

【００４６】もし、センサ62に近接して液状化学品のオ
ーバフローが検知されれば、オーバフローされた分配装
置10の全ての入口弁及び出口弁は閉成され、視覚的又は
聴覚的なオーバフロー警報が与えられ、又、コントロー
ラ14により信号が送られ、ブロック117A〜117Bで示すよ
うに、接続されたホスト処理装置がオーバフローされた
分配装置10に接続できないようにする。コントローラ14
により１つ以上の分配装置10が取り扱われる場合、各々
が１つの分配装置10の各データを含むレジスタであるポ
インタは、ブロック117Cで示すように他の分配装置10を
選択するためにインクリメントされ、コントローラ14
は、ブロック104で示すように続けてアクティブメインモ
ードを再開し、他の分配装置10が動作状態(アクティブ)
を続けているのに対し、オーバフローされた分配装置10
上で維持動作を実行できるようにする。理解され得るよ
うに、更に、分配サイクル及び補充サイクルは、過充填さ
れた貯蔵器により過充填が除去されるまで停止される。

【００４７】各分配装置10の動作モードの検査並びに各
分配装置10のセンサ62に近接した液状化学品のオーバフ
ローの検査の後、コントローラ14は、分配装置の出口に
接続された処理装置の各部分に信号を送り、ブロック118
で示すように処理装置の各部分を動作可能にする。その
後、コントローラ14は、ブロック120〜124で示すよう
に、各分配装置10の接続された処理装置の各部分からト
リガ入力変化を断続的に検査する。

【００４８】１つの分配装置10からトリガ変化が検知さ
れたとき、コントローラ14は、ブロック126〜130で示す
ようにトリガルーチンモジュール(図10参照)を呼び出
し、ブロック132に入る。トリガ変化の検査後、コント
ローラ14は、ブロック134で示すように各分配装置10の
センサ36からの低液体レベル信号の変化に対する試験を
行う。理解され得るように、低液体レベル信号は各貯蔵
器の充填を制御する。もし、低液体レベル信号が変化し
た場合、コントローラ14は、低検知ルーチン即ち貯蔵器
補充サイクルモジュール(図11参照)を呼び出し、適切な
分配装置レジスタを受け渡す。低液体レベル信号の試験
後、コントローラ14は、ブロック136で示すように各分配
装置10のセンサ36からの高液体レベル信号の変化に対す
る試験を行う。もし、高液体レベル信号が変化した場
合、コントローラ14は、高検知ルーチンモジュール(図1
2参照)を呼び出し、適切な分配装置レジスタを受け渡
す。

【００４９】各分配装置10の低液体レベルセンサ及び高
液体レベルセンサの変化に対する検査が行われた後、コ
ントローラ14は、ブロック138で示すように、いずれかの
分配装置10の分配点が動作状態であるかを知るために検
査を行う。もし、どの分配装置10の分配点も全く動作状
態でない場合、コントローラ14は、ブロック140で示すよ
うに、その分配装置10に対する補充サイクルが、トリガ
信号によって割込み(インタラプト)されているかを知る
ために検査を行う。もし、補充サイクルが割込みされて
いれば、割込みされた分配装置10と関連する補充タイマ
は復元(リストア)され、ブロック142で示すように、その
補充サイクルが再開される。

【００５０】もし、分配装置10の分配点が動作状態であ
れば、コントローラ14は、分配装置の圧力調整器42によ
り、その貯蔵器12に印加される圧力と、分配装置の圧力
センサ46に存在する圧力とを読み取り、ブロック144で
示すように、それらの差を計算する。圧力調整器42によ
り印加される圧力の好ましい測定方法は、圧力調整器42
のコイル両端間のサーボループの電圧又は電流をコント
ローラ14により読むことである。センサ46に存在する圧
力の好ましい測定方法は、圧力センサ46の両端間の電圧
又は圧力センサ46を通る電流をコントローラ14により読
むことである。コントローラ14は、圧力調整器42により
印加される圧力を表わす値と、センサ46に存在する圧力
の値とを取り込み、それらの差を計算する。それらの差
は、ブロック146で示すように、オペレータにより定めら
れたその分配装置10に対するプリセット制限と比較され
る。もし、その差がオペレータにより定められた制限よ
り大きい場合は、視覚的手段又は聴覚的手段により、コ
ントローラ14は、ブロック148で示すように、その分配装
置に対するプリセット制限が超過されたことを示し、い
まが分配装置のフィルタ82を交換するときであることを
示す。各分配装置のプリセット制限は、分配装置により
分配されている特定の液状化学品の粘度に依存して、
又、フィルタの大きさ、即ち、0.2μm又は0.5μmに依存
して可変である。次に、差の値は、ブロック150で示す
ように、その分配装置に対する最後に記憶されたピーク
差と比較される。もし、その差が最後に記憶されたピー
ク差より大きければ、ブロック152で示すように、古い値
に代わって新しいピーク差が記憶される。

【００５１】コントローラ14がいずれかの分配装置10に
対する分配点が動作状態かを検査した後で、もし、各動
作状態の分配装置に対して補充サイクルが割込みされた
ならば、コントローラ14は、ブロック154で示すように、
各分配装置10に対する空のカウントが制限を越えたかを
知るために検査を行う。もし存在するならばフィルタ82
(又は、貯蔵器12に対する出口)と各分配装置10の低液体
レベル40との間に存在する液体の高さは、各貯蔵器12の
大きさと共に、低液体レベル40とフィルタ40又は貯蔵器
出口との間に存在する液体貯蔵容積を、各分配装置10に
対して決定可能にする。従って、各分配装置10に対する
この貯蔵容積は、分配装置の貯蔵器12が臨界的に空であ
る前の所定分配数を考慮可能にする。各分配装置10に対
するこの所定分配数は、その分配装置に対する空カウン
トの最大値を表わす。

【００５２】もし、いずれかの分配装置10に対する空カ
ウント数がその分配装置に対する制限を越えたならば、
コントローラ14は、図４のブロック156〜164により図解
される臨界的空のサブモード247に入る。臨界的空のサ
ブモードに入った場合、貯蔵器12が補充されるまでは、
それ以上の分配は全く許可されない。空のモードに入っ
た後、コントローラ14は、聴覚的警報手段又は視覚的警
報手段により、その分配装置の貯蔵器12が臨界的に空で
あることを示し、ブロック156で示すように、その分配装
置のホスト処理装置を不可能にする。キーボードモード
は、図14内のブロック160及び図28に対応するブロック1
56で示すように、割込みされて設定される。次に、コン
トローラ14は、ブロック160で示すように、空の分配装置
に対する警報手段が認知されているかを知るために検査
を行う。もし、警報手段が認知されていれば、コントロ
ーラ14は、ブロック162で示すように、図11に示される低
検知又は補充サイクルルーチンを呼び出すことにより、
空の分配装置の貯蔵器12の補充を開始し、空の分配装置
レジスタを受け渡す。次に、コントローラ14は、高検知
ルーチンを呼び出すことにより、ブロック164で示すよう
に、その分配装置10の貯蔵器12が満杯かの検査を行う。
もし、その分配装置10の貯蔵器12が満杯であれば、ブロッ
ク166で示すように、その分配装置の接続されたホスト処
理装置の各部分は、再び可能(イネーブル)にされる。

【００５３】いずれかの分配装置10の空カウント数が制
限を越えたかの検査が行われた後、コントローラ14は、
ブロック168で示すように、いずれかの分配装置10の入口
18a、18b、18c又は18dに存在するいずれかの液体供給源が
空であるかの検査を行う。もし、１つの分配装置の入口
18a、18b、18c又は18dに存在する全ての液体供給源が空
であれば、視覚的又は聴覚的であり得る液体供給源警報
は、ブロック170で示すように、空の液状化学品供給源を
確認するように与えられ、オペレータが全て又は１つの
空の液体供給源を補充できるようにする。

【００５４】その後、コントローラ14は、次の分配装置
10を示す情報でポインタレジスタをインクリメントし、
コントローラ14は、ブロック104で示すように、初期起動
点から動作のメインモードの続行を再開する。その結
果、各分配装置10は、動作のモード、そのセンサ62に近
接した液状化学品のオーバフロー、トリガ入力、液体レ
ベル、動作(アクティブ)分配点、割込みされた補充サイ
クル、空カウント、及び、空の入力源、が続けて検査され
る。

【００５５】液状化学品の分配を要求する処理装置の部
分からのトリガ「オン」信号により分配モードが選択さ
れた場合、トリガ「オン」信号は、コントローラ14に通
信され、図４の判定ブロック120、122及び124で示すよう
に、処理装置の特定部分と関連する。「オン」信号は、
適切なインタフェースにより「オン」状態を示す使用可
能な信号に変換され且つコントローラ14と通信される電
子的又は気体の形で生じ得る。その後、コントローラ14
は、図10内にブロック126、128及び130で示すようにトリ
ガルーチンを呼び出し、ブロック132に入り、分配装置と
分配のために呼び出す処理装置に接続された分配装置の
特定の出口26a、26b又は26cとを確認するサブルーチンに
対するパラメータを受け渡す。

【００５６】「オン」信号がトリガルーチンに受け渡さ
れるので、トリガ判定ブロック174はそのルーチンの「オ
ン」ブランチを選択する。「オン」ブランチに入った
後、コントローラ14は、特定の出口に導く分配装置の貯
蔵器に対する補充サイクルがブロック176で示すように
進行状態にあるかの試験を行う。もし、補充サイクルが
進行状態にあれば、補充タイマの情報は、その分配装置
の貯蔵器と関連するレジスタに格納され、ブロック178
及び180で示すように補充サイクルは中断される。分配
モードの終了時に補充サイクルが一旦再開されると、そ
の終了点から補充時間が再開される。分配モードは、貯
蔵器が臨界的に空である場合を除いて、全ての補充サイ
クルを無効するだろう。

【００５７】補充サイクルの存在の検査後、確認された
分配装置と関連する三方弁48は、コントローラ14からの
信号に応答してその圧力位置に移動される。弁48の圧力
位置への移動と共に、確認された分配装置と関連する圧
力調整器42は、コントローラ14からの信号に応答して、
ブロック182で示すように、確認された分配装置の導管5
0、52及び排気インタロック58を介して、選択された調
整器12に圧力を印加し始める。

【００５８】コントローラ14は、圧力センサ46の両端間
の電圧又は圧力センサ46を通る電流を読み取ることによ
り、圧力センサ46に存在する圧力を判定する。圧力セン
サ46と圧力調整器42との間のサーボループが、ブロック
184で示すように、圧力センサ46に対するユーザの選択し
た所定許容量内の圧力に安定化する場合、コントローラ
14は、ブロック184で示すように、トリガ「オン」信号の
事態を認知する。トリガオン信号を認知した後、コント
ローラ14は、処理装置の特定部分のためにオペレータに
より選択された所定時間間隔で要求信号を通信する処理
装置に導く特定出口弁を制御するタイマをプログラム
し、ブロック188で示すように、所定時間間隔の終了時に
おけるタイマによる以後の動作に対して分配終了の割込
みを可能にする。その後、コントローラ14は、ブロック
190で示すように、選択された出口と関連する特定の出口
弁に開放信号を通信することにより、選択された分配出
口を可能にする。

【００５９】しかし、もし、トリガルーチンに「オフ」
信号が受け渡されると、判定ブロック174は、そのルーチ
ンの「オフ」ブランチを選択する。「オフ」ブランチに
入った後、コントローラ14は、ブロック191で示すよう
に、選択された出口に対する分配終了信号をオフに切換
えて、ブロック193で示すように、選択された分配を中断
し、以下に説明するブロック196〜206で示す動作を実行
し、プログラムを呼び出すために戻る。

【００６０】選択された出口内のオリフィス(図示せず)
は、圧力センサ46において維持される圧力と対応して流
れ比率（フローレート）を判定する。流れレートは、オ
ペレータにより選択されてコントローラ14によりタイマ
にプログラムされる時間間隔と共に、所定特定量の液状
化学品を、接続された処理装置の部分に分配されるよう
にする。タイマにプログラムされた所定時間間隔の終了
時に、タイマは、開放された出口弁に信号を自動的に送
ってそれを閉成させると共に、分配終了割込みサブモジ
ュールを起動させ、ブロック192で示される分配終了割込
みにジャンプする。理解され得るように、分配に対して
プログラムされた時間は、サーボループが安定化した後
に選択された出口弁30a、30b又は30cが開放されるまでは
開始しない。

【００６１】ブロック192で示すように分配終了割込み
が起動されたとき、ブロック194で示すように閉成され
ていて開放された出口に対して分配終了信号が与えられ
る。分配終了信号が与えられた後、コントローラ14は、
ブロック193で示すように、選択された分配点を中断し、
ブロック196で示すように、選択された貯蔵器の他のいず
れかの分配点がまだ動作状態であるかの検査を行う。も
し、他の全ての分配点が動作状態でなければ、選択され
た圧力調整器42を介して貯蔵器に印加される圧力は、ブ
ロック198で示されるようにオフされる。

【００６２】圧力がオフされた後、選択された貯蔵器と
関連する三方弁48は、第２の真空位置に動かされ、判定
ブロック200で示されるように、ガス抜き(out-gas)モー
ドが選択されたか否かの検査が行われる。もし、ガス抜
きモードが選択されていれば、選択された貯蔵器と関連
するベンチュリは、ブロック202で示されるように、圧力
ガス流がベンチュリを介して３秒だけ流れるようにする
信号を通信するコントローラ14により動作状態にされ、
これにより、選択された貯蔵器からの真空排気ガスに対
して真空又は低圧力を作り出す。ガス抜きモードは、貯
蔵器12内に存在するいかなる空気又は窒素をも真空排気
し、分配装置がそれ自身の環境にあることを可能にす
る。しかし、他の分配サイクルに対する信号は、このモ
ードを無効にする。

【００６３】もし、ガス抜きモードが選択されなけれ
ば、通常モード(図示せず)が選択される。通常モードに
おいて、選択された貯蔵器は、選択された（しかし、動
作状態にない）真空ベンチュリと第２の位置にある三方
弁とを介して大気圧に自動的にガス抜きされる。他の分
配サイクルに対する要求は、又、このモードをも無効に
する。

【００６４】選択された貯蔵器のいずれかの分配点が動
作状態かの検査が終了した後、ブロック204で示される
ように、低液体レベル信号の変化が試験される。もし、
低液体レベル信号が、液体レベルが低液体レベルより低
いことを示すならば、ブロック206で示されるように、空
カウントがインクリメントされる。低液体レベル信号の
試験が終了した後、分配終了の割込みは、不可能(disabl
e)になり、サブルーチンは、割込みが起きたプログラム
内のアドレスに戻る。

【００６５】電子的な圧力調整器42は、出力負荷に応じ
てプログラムされた圧力センサ46を一定に保持するよう
に調整するだろう。化学的なフィルタ82は、負荷された
超過時間となるだろう。従って、圧力調整器42は、貯蔵
器12へ印加される圧力を上方に調整し、圧力センサ30で
検出される圧力をプログラム値に維持する。

【００６６】分配装置の保存が必要とされるとき、図４
に示す浄化モードが選択され、ブロック208で示すよう
な浄化モードが呼び出され、どの分配装置が浄化される
べきかを示すパラメータが通過する。図６を参照する
と、浄化モードが詳細に示されている。まず、浄化すべ
き分配装置に接続されたホスト処理装置が、ブロック210
で示すように、コントローラ14から信号を通して使用禁
止される。ホスト処理装置の使用禁止後、ブロック212
で示すように、コントローラ14はインタロック58に隣接
する液体の存在についてオーバフローセンサ62からの信
号を試験する。液体がインタロック58の近くにあること
を信号が示すならば、ブロック214で示すように浄化すべ
き分配装置の全ての入口及び出口弁を閉成し、視覚又は
聴覚可能で、オーバフローが検出された分配装置を示す
オーバフロー警報を与える。

【００６７】インタロック58の近くに液体オーバフロー
が検出されなければ、コントローラ14は、ブロック216
で示すように、変更のため、浄化すべき分配装置のセン
サ36からの低液体レベル信号を試験する。ブロック218
で示すように、信号が変更されると、コントローラ14
は、図11に示す低検知ルーチンを呼び、適当な分配装置
レジスタを通す。低液体レベル信号の試験後、ブロック
220に示すように、コントローラ14は変更のため浄化すべ
き分配装置のセンサ36からの高液体レベル信号を試験す
る。ブロック222で示すように、信号が変更されると、コ
ントローラ14は図12に示す高検知ルーチンを呼び、適当
な分配装置レジスタを通す。

【００６８】浄化すべき分配装置の低及び高液体レベル
センサで検査後、ブロック224で示すように、コントロー
ラ14は浄化すべき分配装置の貯蔵器が補充しようとして
いるかどうかを知るために検査する。浄化すべき分配装
置の貯蔵器が補充しようとしてなければ、ブロック226
に示すように、コントローラ14はその入口弁22a、22b、
22cを全てターンオフする。その入口弁をターンオフ
後、コントローラ14は信号を三方弁48に送り、弁を圧力
調整器42が貯蔵器12と連通する圧力位置まで動かせ、圧
力調整器42からの圧力を浄化すべき貯蔵器に作用させ、
そしてブロック228で示すように、浄化すべき分配装置の
予め選択された出口弁が開き、貯蔵器を浄化させる。圧
力調整器42を動作し、選択された出口弁を開いた後、ブ
ロック230で示すように、分配装置の１つのデータを夫々
含むポインタレジスタはインクリメントされて次の分配
装置を選択し、ブロック232で示すように、浄化ルーチン
はメインモードに戻るが、オペレータがキーボードを介
して浄化サイクルを終了するまで、浄化モードは動作し
たままである。

【００６９】分配装置を排水することが所望されると
き、図４に示すように、排水モードが選択され、ブロッ
ク234で示すように、排水モードが呼び出され、どの分配
装置が排水されるべきかを示すパラメータが通される。
図５において、排水モードを詳細に示す。まず、ブロッ
ク236で示すように、排水すべき分配装置に接続されたホ
スト処理装置でコントローラ14からの信号を通して使用
禁止される。ホスト処理装置の使用禁止後、ブロック23
8で示すように、コントローラ14は排水すべき分配装置の
入口弁22a、22b及び22cの全てをターンオフする信号を送
る。全ての入口弁のターンオフ後、ブロック240で示す
ように、コントローラ14は浄化モードで述べたと同じよ
うに、圧力を排水すべき貯蔵器に印加し、選択した出口
弁を開き、貯蔵器を排水させる。圧力を排水すべき貯蔵
器に印加し、選択した弁を開いた後、ブロック242で示
すように、分配装置の１つを表わすデータを夫々含むポ
インタレジスタはインクリメントされて次の分配装置を
選択し、そして、ブロック244で示すように排水モードは
メインモードに戻るが、排水モードはオペレータがキー
ボードを通して排水サイクルを終了するまで動作したま
まである。これは出口へのラインを乾燥させる利点を有
する。

【００７０】浄化及び排水モードに対して、コントロー
ラ14はオペレータに「０」出口弁を選択させる。この選
択により浄化又は排水される分配装置を循環させ、排水
又は浄化すべき分配装置の手動排水弁96と関連して使用
時に、その点で液状化学品を排水、供給又はサンプルさ
せる。

【００７１】図４のブロック114で示すように、貯蔵器
の臨界的空警報が現れるとき、又は、図４のブロック154
で示すように、空カウントが限界値を越えたならば、ブ
ロック245で示すような「ジャンプへ」又は「空カウン
ト」決定ブロック154を経たコントローラ14は、上述した
ようなブロック156〜164で示す臨界的空サブモード247
に入り、上述したブロック168で示すように入力源は空
かどうかを検査し、上述のブロック172で示すようにポイ
ンタレジスタをインクリメントし、他の分配装置を選択
し、メインモードを続ける。空の液状化学品貯蔵器12は
圧力供給、重量供給又は任意の種類の静止圧型入力によ
り満たすことができる。好ましくは、真空ベンチュリ56
による配列で充填される。

【００７２】図11において、ブロック162、218又は246を
経て低検知又は貯蔵器補充モジュールが呼ばれるとき、
コントローラ114はまずブロック247で示すように、分配
が進行中にあるかどうかを見るために検査する。分配が
進行中ならば、ルーチンは呼びプログラムに戻る。分配
が進行中でなければ、コントローラ14は、ブロック248で
示すように低液体レベル信号があるかどうかを検査す
る。低液体レベル信号がなければ、分配装置の空カウン
トは、ブロック250で示すように所定値にリセットし、サ
ブルーチンは呼びルーチンに戻る。低液体レベルセンサ
が低液体レベルを示すならば、ブロック252で示すよう
に、コントローラ14は空貯蔵器に導く入口弁の１つを制
御するタイマの１つを補充用所定時間間隔にプログラム
する。タイマのプログラミング後補充割込みが使用可能
にされ、信号がコントローラ14により空貯蔵器に導いて
いる三方弁48に送られて、それを空貯蔵器及び弁64と真
空ベンチュリ56を連通している真空位置におき、上述の
如く圧縮ガスを真空ベンチュリ56を通して流し、導管54
従って貯蔵器12を真空又は低圧とし、タイマで制御され
る選択された入口弁22a、22b及び22cを、ブロック254で
示すように、タイマからの信号により開放し、貯蔵器12
にある減圧により空貯蔵器に液体を流す。補充割込みを
使用可能にし、真空ベンチュリを動作させ、選択した入
口弁を開いた後、低液体レベル信号がブロック256で示
すように認知され、サブルーチンが呼びプログラムに戻
る。

【００７３】又、アルゴリズムに示していないが、補充
に必要な分配装置の三方弁をその真空位置におく代わり
に、コントローラ14により信号をサーボ弁81に送り、そ
れを圧力調整器42と連絡しているコントローラ14に沿っ
て開き、所定圧力のガス状液体をオペレータによりプロ
グラムさせ、導管83を通して流し、選択した液体供給源
に対して作用し、充填すべき貯蔵器に開弁を通して液体
を流す。

【００７４】分配装置の１つの液体レベルセンサ36が高
液体レベルを示す信号を貯蔵器12に送るとき、図４のブ
ロック164及び258で示すように、高検知モジュールが呼
ばれる。図12において、高検知サブルーチンモジュール
を示す。モジュールが入ると、ブロック260で示すよう
に、コントローラ14はまず高液体レベル信号があるかど
うかを検査する。高液体レベル信号がなければ、その後
サブルーチンは呼びルーチンに戻る。高液体レベル信号
があれば、コントローラ14は、信号を満杯の貯蔵器の真
空ベンチュリ56を不動作としている弁64に送ると共に、
信号を選択した入口弁に送ってそれを閉成し、ブロック2
62に示すように補充割込みを使用禁止する。ベンチュリ
をターンオフし、入口弁を閉成し、補充割込みを使用禁止
した後、ブロック264で示すように補充タイマは所定時
間間隔にリセットされる。補充タイマをリセット後、判
断ブロック266で示すように、満杯の貯蔵器に対する貯蔵
器空警報をオンしたかどうかを見るため検査する。貯蔵
器空警報がオンならば、ブロック268で示すように警報
が非空状態にリセットされる。貯蔵器空警報状態を検査
後、コントローラ14は、ブロック270で示すように、選択
された貯蔵器が空としてメモリにフラグを立てているか
どうかを検査する。貯蔵器が空としてフラグを立ててい
たならば、フラグはリセットされ、ブロック272に示す
ように、選択された貯蔵器が今や満杯であることを示
す。貯蔵器が空としてフラグを立てているかどうかを検
査した後、ブロック274で示すように、補充貯蔵器の空カ
ウントはプログラム値にリセットされ、サブルーチンが
呼びプログラムに戻る。

【００７５】充填されつつある貯蔵器が所定時間間隔内
で満たされないとき、選択した入口にある液状化学品供
給源がコントローラ14により空を考慮され、図13に示す
補充割込みモジュールが呼ばれる。図13において、補充
割込みモジュールが呼ばれるとき、貯蔵器に導いている
入口に接続された利用可能な液状化学品供給源の数が決
定される。ブロック276で示すように、液体供給源の１つ
が今や空であることを示す。利用可能な液状化学品供給
源の数をデクリメントした後、ブロック278で示すように
残りの液状化学品供給源の数が零に等しいかどうかの検
査を行い、分配装置の液体供給源が全て空であることを
示す。残りの液状化学品供給源の数が零に等しければ、
ブロック280で示すように、貯蔵器を満たすために動作し
た真空ベンチュリ56は不動作とされ、選択された入口弁
はコントローラ14からの信号を通して閉成される。ベン
チュリの不動作且つ選択した入口弁のターンオフ後、ブ
ロック282で示すように、補充タイマはターンオフされ
る。補充タイマのターンオフ後、ブロック284で示すよ
うに、その貯蔵器に至る化学的液体供給源の全てが空で
あることを表わすメインプログラムにパラメータを通
す。メインプログラムにパラメータを通過後、ブロック
286で示すように、補充割込みを使用禁止し、サブルーチ
ンは割込みが起きている呼びプログラムのアドレスに戻
る。

【００７６】液状化学品供給源の数が零に等しくなけれ
ば、ブロック288で示すように、選択された入口弁は閉成
され、満杯とすべき貯蔵器に至るその他の入口弁はコン
トローラ14からの信号を通して開かれ、貯蔵器は他の液
体供給源から満たし続けられる。好ましくは、この切換
えは４つの個所の入口間で生じる。空の入口を閉成し、
その他の入口弁を開いた後、ブロック290で示すように、
開いた入口弁を制御している補充タイマは貯蔵器を満た
す所定の時間間隔に設定され、サブルーチンは割込みが
生じている呼びプログラムのアドレスに戻る。

【００７７】分配装置の較正が必要とされるとき、図４
に示すように較正モードが選択され、ブロック292で示す
ように較正ルーチンが呼び出され、ステップカウンタが
零をステップし始め、どの分配装置を較正すべきかを示
すパラメータを通す。図８において、較正モードが詳細
に示される。まずブロック294で示すように、コントロー
ラ14は較正すべき分配装置のステップカウンタがステッ
プ零を示すかどうかを検査する。ステップカウンタがス
テップ零を示すとき、ブロック296で示すように、コント
ローラ14は較正すべき分配装置に接続されたホスト処理
装置を使用禁止する信号と共に較正すべき分配装置の全
ての入口及び出口弁をそれ等の閉成位置に戻す信号を送
る。ホスト処理装置を使用禁止し、全ての弁を閉成した
後、ブロック298で示すように信号を分配装置の三方弁48
に送り、弁をその圧力位置に動かし、貯蔵器の圧力を３
プサイに設定することにより、コントローラ14は較正す
べき分配装置の圧力調整器42をその貯蔵器と連絡する。
圧力を設定し、圧力をターンオン後、ブロック300で示
すように、コントローラ14は、オペレータ用の情報を表
示する。オペレータへの情報の表示後、コントローラ14
は、夫々１分配装置当りの情報を含むポインタレジスタ
を次の分配装置に対してインクリメントし、ステップカ
ウンタを１ステップだけインクリメントして呼びプログ
ラムへ戻る。

【００７８】判断ブロック304で示すようにステップカ
ウンタがステップ１を示すならば、較正すべき分配装置
に接続された圧力調整器42は、ブロック306で示すように
15プサイの圧力に設定され、この情報はブロック308で示
すようにオペレータに表示される。ブロック302で示す
ように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してイン
クリメントされ、ステップカウンタは１ステップだけイ
ンクリメントされ、サブルーチンはメイン呼びルーチン
に戻る。

【００７９】判断ブロック310で示すように、ステップ
カウンタがステップ２を示すならば、コントローラ14
は、較正すべき分配装置の圧力調整器42と連絡し、ブロ
ック312で示すように、その圧力を10プサイに設定す
る。圧力を10プサイに設定した後、コントローラ14は、
ブロック314で示すように、圧力が10プサイに設定されて
いることを示す情報を表示する。オペレータへの情報の
表示後、ブロック316で示すように、ステップカウンタは
ステップ３にインクリメントされ、ブロック302で示す
ように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してイン
クリメントされ、サブルーチンはメインプログラムに戻
る。

【００８０】判断ブロック318で示すように、ステップ
カウンタがステップ３を示すならば、判断ブロック320で
示すように、キーボードを通して「１」又は「０」が入力さ
れたかどうかの検査がなされる。入力がなされなけれ
ば、ブロック302で示すように、ポインタレジスタは次の
分配装置に対してインクリメントされ、サブルーチンは
呼びプログラムに戻る。「０」が入力されると、ブロック
322で示すように、コントローラ14は信号を圧力調整器42
に送り、圧力を0.15プサイだけ低くさせる。圧力を下げ
た後、ブロック302で示すように、ポインタレジスタは次
の分配装置に対してインクリメントされ、サブルーチン
は呼びプログラムに戻る。「１」がキーボードを通して
入力されると、ブロック324で示すように、コントローラ
14は信号を圧力調整器42へ送り、印加される圧力を0.15
プサイだけ増加させる。圧力の増加後、ブロック302に示
すように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してイ
ンクリメントされ、サブルーチンは呼びプログラムに戻
る。分配装置がオペレータに対して10プサイを示すとき
はいつでも、オペレータはキーボードを通して適当な入
力を選択し、このキーボードはコントローラ14と連絡し
てステップカウンタをステップ４にインクリメントさせ
る。

【００８１】判断ブロック326で示すように、ステップ
カウンタがステップ４を示すならば、ブロック328で示す
ように、コントローラ14は、圧力調整器42のコイルにか
かる電流を読み取り、貯蔵器へ印加される圧力の値を決
定し、読み取られた圧力の値をオペレータにより入力さ
れたプリセットテーブル値の間の差を計算する。差を見
い出した後、ブロック330で示すように、読み取った値が
プリセットテーブル値に対するオフセットとしてメモリ
にたくわえられる。読み取った値を格納した後、ブロッ
ク332で示すように、ステップカウンタはステップ５まで
インクリメントされる。

【００８２】判断ブロック334で示すように、ステップカ
ウンタがステップ５を示すならば、ブロック336で示す
ように、コントローラ14は圧力調整器42と連絡し、ブロッ
ク336で示すように、貯蔵器に印加すべき圧力を３プサ
イに設定する。圧力の設定後、ブロック338で示すよう
に、貯蔵器用補充タイマは３秒に設定される。タイマ設
定後、ブロック340で示すように、較正割込みが使用可能
にされる。割込み使用可能後、ブロック342で示すよう
に、圧力情報及びタイマ情報がターミナル又はその他の
適当な手段によりオペレータ検査のため表示される。オ
ペレータに対する情報の表示後、ブロック344で示すよ
うに、ステップカウンタは、ステップ６までインクリメ
ントされる。ステップカウンタのインクリメント後、ブ
ロック346で示すように、ポインタレジスタはインクリ
メントされて次の分配装置を選択し、サブルーチンは呼
びプログラムに戻る。

【００８３】ブロック348で示すように、ステップカウン
タがステップ６を示すならば、ブロック346で示すよう
に、ポインタレジスタは次の分配装置に対してインクリ
メントされ、サブルーチンはメインプログラムに戻る。
ブロック348で示すように、ステップカウンタが６より大
きなステップ値を示すならば、致命的なエラーが現れ、
ブロック350で示すように、ソフトブーツパワーオンが実
行され、図４のブロック352で示すようにプログラムを
パワーオンサイクルにジャンプさせ、総合分配装置が再
開始される。

【００８４】ブロック338又は368のタイマセットが尽き
ると較正割込みルーチンモジュールが入力される。図９
において、較正割込みサブルーチンを示す。ルーチンが
呼ばれると、ブロック354で示すように、コントローラ14
は圧力センサ46にある圧力の値を読み取り、メモリのセ
ンサテーブルに読み取った圧力の値を記憶する。圧力の
読み取り後、ブロック356で示すように、コントローラ14
は圧力調整器42と連絡し、圧力調整器42に貯蔵器に印加
される圧力を１プサイだけ増加させる。圧力の増加後、
ブロック358で示すように、コントローラ14は圧力センサ
４６の圧力を読み取り、圧力の値が15プサイより大きい
かどうかを検査する。圧力の値が15プサイより大きけれ
ば、補充タイマはブロック360で示すようにターンオフ
し、較正割込みがブロック362で示すように使用禁止し、
較正分配装置がそのランモードに置かれ、そのランモー
ド状態がブロック364で示すようにコントローラ14の表
示器に示される。較正分配装置をそのランモードに置い
た後、コントローラ14は、その圧力調整器42と連絡し、
ブロック366で示すように、貯蔵器に印加すべき圧力をタ
ーンオフさせ、割込みモジュールは割込みが起きた呼び
プログラムのアドレスに戻る。

【００８５】圧力センサ46で検出された圧力の値が15プ
サイより大きくなければ、タイマはブロック368で示す
ように、付加的な１秒の間再プログラムし、較正割込み
ルーチンは較正割込みが生じたとき呼びプログラムのア
ドレスに戻る。

【００８６】１つの分配装置を不動作にしたいとき、図
４に示すように放棄モードが選択され、ブロック368で
示すように、放棄ルーチンモードが呼び出され、どの分
配装置を不動作にすべきかを示すパラメータを通す。図
７において、放棄モードを詳細に示す。まずコントロー
ラ14は信号を不動作とすべき分配装置のホスト処理装置
に送り、ブロック370で示すように、接続されたホスト処
理装置を使用禁止する。ホスト処理装置を使用禁止後、
コントローラ14は閉成信号を不動作とすべき分配装置の
全ての入口弁及び出口弁に送り、ブロック372で示すよ
うに、全ての入口弁及び出口弁を閉成させる。全ての入
口弁及び出口弁を閉成した後夫々１つの分配装置を表わ
すデータを含むポインタレジスタはブロック374で示す
ように、次の分配装置に対してインクリメントされ、放
棄サブルーチンはメインプログラムに戻る。

【００８７】図14〜34において、連動的に動作するキー
ボード割込みルーチンをその個別のサブルーチンと共に
示す。キーボードのキーの１つがオペレータにより押さ
れてある動作モードを選択すると、分配装置の動作又は
その他の理由を制御するためのパラメータを入力し、押
されたキーを読み取るのにキーボード割込みが呼び出さ
れ、その値をコントローラ14に通して分配装置の動作の
制御に使用する。アルゴリズムがコード化される用語に
応じて、図14〜34の入力アルゴリズムは必要ない。

【００８８】この発明の上記開示及び説明は例示的なも
のであり、この発明の要旨を逸脱することなく例示した
装置の方法及び詳細において種々の変更を成し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の液体分配装置の好ましい実施例を示
す系統図である。

【図２】液体の流れを濾過するための別の好ましいフィ
ルタ装置を示し、この発明の液体分配装置を示す第２の
系統図である。

【図３】この発明の液体分配装置を示す第３の系統図で
ある。

【図４】この発明の液体分配装置の連続した主動作すな
わち主動作モード及びこの主動作モード内に含まれた貯
蔵器空臨界の従動作モードを示すフローチャート図であ
る。

【図５】この発明の排出モードを示すフローチャート図
である。

【図６】この発明の浄化モードを示すフローチャート図
である。

【図７】この発明の休止モードを示すフローチャート図
である。

【図８】この発明の較正モードを示すフローチャート図
である。

【図９】この発明の較正モード中に割込み可能にされる
較正割込みモジュールを示すフローチャート図である。

【図１０】この発明の要求あり次第液体を分配するトリ
ガモジュール、及び分配時間間隔の最後で動作される分
配の終了割込みサブモジュールを示すフローチャート図
である。

【図１１】この発明の低レベル検知モジュールを示すフ
ローチャート図である。

【図１２】この発明の高レベル検知モジュールを示すフ
ローチャート図である。

【図１３】この発明の低レベル検知モジュール中で割込
み可能にされる補充モジュールを示すフローチャート図
である。

【図１４】この発明の連続動作のキーボード割込みルー
チンを示すフローチャート図である。

【図１５】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図１６】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図１７】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図１８】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図１９】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２０】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２１】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２２】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２３】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２４】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２５】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２６】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２７】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２８】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図２９】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図３０】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図３１】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図３２】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図３３】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【図３４】この発明のキーボード割込みルーチンのサブ
ルーチンを示すフローチャート図である。

【符号の説明】

10 液体分配装置 12 貯蔵器 14 コントローラ 16 キーボード 18a〜18d 入口 22a〜22d 入口弁 26a〜26c 出口 30a〜30c 出口弁 36 液体レベルセンサ 42 圧力調整器 46 圧力センサ 48、64 三方弁 56 真空ベンチュリ 58 排気インタロック 60 チェンバ 62 オーバフローセンサ 66 マニホールド 68 弁部材 70 ベンチュリ部材 78 供給源 80、98 ワンウェイ逆止弁 82 フィルタ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成４年６月２４日

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１０２

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】発明の詳細な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液体分配装置及び液
体分配方法に関するもので、特に、液体分配装置からの
所定量の液体を収容するために用いられた処理装置の処
理部へ、所定量の液体を分配するための自動マイクロプ
ロセッサ制御方式の液体分配装置及び液体分配方法に関
するものであり、液体分配装置は複数の液体供給源の間
を自動的に切換え、液体供給玄は液体供給源の１つが空
になったことが検出されたときは液体を液体分配装置へ
供給する。

【０００２】

【従来の技術】所定の製造工程に関して、種々の工程の
動作条件を注意深く規制することは避けられない。液状
ホトレジストなどの化学品を分配するような所定の製造
工程において遭遇する１つの問題は、気泡のためホトレ
ジスト層に形成された切れ目、裂け目などの不連続性で
ある。この気泡は液状ホトレジストが分配されるときに
製造工程に持ち込まれる。液状ホトレジストなどの化学
品は比較的小さい複数のびんに供給され、それらが空に
なったときは液状化学品を補給することが必要である。

【０００３】米国特許第４，６０１，４０９号に述べら
れているように、液状化学品を分配するように貯蔵器か
ら液体を充排出することによって貯蔵器内の減圧圧力を
作り出すポンピング（ｐｕｍｐｉｎｇ）を用いることは
知られている。このポンピングは、同時に、貯蔵器がプ
リセットレベル以上に満たされることを維持するように
容器から貯蔵器へ液体を供給する。上記米国特許の開示
から、一方の容器が空になったときは一方の容器から他
方の容器へ切り換えることも知られている。それ故、貯
蔵器の充填が続けさせられる。しかしながら、以上のこ
とは、充填及び分配動作の両方が同時に行われているた
めに完全に満足すべきものではない。従って、もし貯蔵
器が少なくとも、空の入口、他の流体の妨害又は他の理
由のために液体が分配されている、同じ割合で充填でき
ないならば、液状化学品の代わりに又は液状化学品とい
っしょに気体状流体の分配の可能性がある。

【０００４】第２に、従来の充排出装置（液体分配装
置）はベローズ型ポンプによって伝統的に提供される。
しかしながら、これは、流量が一定していないために完
全に満足すべきものではない。従って、所定量の液状化
学品を分配することが困難である。更に、この型の充排
出装置と共に、もしフィルタが含まれていたならば、フ
ィルタが時間の経過以上に汚染物質で詰め込まれたとき
は、フィルタを通る圧力低下の増加を補償することが困
難である。

【０００５】発明の要約 従って、本願の液体分配装置及び液体分配方法は、液状
化学品といっしょの分配から気体状流体を防ぐために、
分配動作から隔離充填又は補給動作の間、正確な反復量
で液状化学品を分配する。本願の液体分配装置は、液体
フィルタ貯蔵器制御用マイクロプロセッサ（コントロー
ラ）及び液体フィルタ貯蔵器に接続された複数の出口を
備え、各出口は、出口から液状流体の所定量を収容する
のに適した処理装置の処理部に接続されている。制御用
マイクロプロセッサは本願のアルゴリズムに従った最適
のソフトウエアによって駆動される。液体分配装置の種
々のモードのパラメータは、ユーザによってコントロー
ラにプログラムされる。各出口に設けられた出口弁は出
口を通る流れを制御する。各出口弁はコントローラによ
って個々に制御されるので、各出口は個々に選択するこ
とができる。液体分配装置及び液体分配方法は、ユーザ
に都合のよい、分配要求の完全な制御をユーザに与え
る。

【０００６】コントローラは、特定の出口に接続された
処理装置の処理部からの信号を受信するのに使用され、
特定の出口からの所定量の液体の要求を知らせる。要求
の受信において、液体分配装置は分配モードに切り換
え、コントローラからの信号に応答する圧力調整器は貯
蔵器内の液体へ圧力を加える。加えた圧力が特定出口付
近の検知圧力によって表わされる所定値に達したときに
は、その特定出口を制御する特定出口弁が選択され、他
の出口弁が閉成されている間にコントローラからの信号
に応答して開放され、処理装置へ選択出口のみを通って
液体が分配させられる。

【０００７】各出口に含まれるオリフィス及び選択出口
付近で検知された液体に供給された所定圧力は、選択さ
れた出口を通って流れる流量率を制御する。コントロー
ラは選択出口弁を閉成するように所定期間の終わりに選
択出口弁へ信号を供給する。流量率といっしょの所定期
間に、所定量の液体が処理装置へ分配させられる。コン
トローラを介した圧力検知手段と圧力調整器との間のサ
ーボループは、開放されている出口弁の数に関係なく安
定した分配を行う。なぜならば、圧力が出口に隣接した
圧力センサによって検知されるからであり、１ケ所以上
の出口がいつでも開放され、分配されている液状化学品
が１ケ所以上の処理装置の処理部へ送られるからであ
る。

【０００８】所定量の液体が処理装置へ分配された後、
選択出口弁が閉成されて液体分配装置は選択排気モード
へ切り換える。真空ベンチュリ管は、貯蔵器内の液体に
作用している圧力を取り除くようにコントローラからの
信号を通じて動作され、従って自己の周囲にある液体を
送っている。貯蔵器と真空ベンチュリ管との間にある逆
止弁は、貯蔵器への逆流から、圧縮空気又は窒素によっ
て供給されたベンチュリ動作圧力を防ぐ。このモードに
おいては、真空ベンチュリ管は動作されないが、貯蔵器
は周囲圧力へ真空ベンチュリ管を通って放出させられ
る。

【０００９】貯蔵器が液状化学品で満たされているよう
に、複数の入口は貯蔵器に接続する。各入口は別々の液
体供給源に接続されている。低液体レベルが貯蔵器内で
検知されたとき、且つ分配が進行中でないときは、液体
分配装置は充填モードへ切り換え、コントローラからの
信号に応答する入口が選択されて開放され、貯蔵器が所
定レベルまで満たされる。低液体レベル以下であるが、
もし現在、貯蔵器出口又はフィルタ以上である貯蔵器内
における周知の予定量を分配する間に、貯蔵器は低液体
レベル以下に当然落ち、空カウント（ｅｍｐｔｙ ｃｏ
ｕｎｔ）と呼ばれる周知の分配数を分配するための液体
を更に供給し、液体の必要量が分配されるまで、気体状
流体を分配から防ぐ。

【００１０】貯蔵器が所定時間経過した後満たされない
ことをコントローラが検出するときは、コントローラか
らの他の信号に応答する入口が選択されて開放され、貯
蔵器は所定レベルに達するまで充填を続ける。空の液体
供給源を有しているとしてコントローラによって検出さ
れた入口は、コントローラによって空状態を割り当てら
れる。この空状態は空になっている入口を識別するのに
コントローラによって使用されるので、充填モードが再
び動作されるときは空の入口が再び選択されない。

【００１１】貯蔵器が補給されている間、且つ貯蔵器の
空カウントがその最大値を越えない間に、液体分配装置
は分配モードへ再び切り換えて、充填モードのために一
時的に閉成された出口を再選択し、所定量の液体が処理
装置へ導かれるまで選択出口を通って液体を導くように
継続する。分配の後、液体分配装置はもし必要なら再充
填（補充）モードに再び切り換え、充填を継続する。可
視式又は可聴式の液体供給源警報は、液体供給源が空で
あることをオペレータに通報し、オペレータに補充させ
るか空の液体供給源を取り替えさせる。

【００１２】液体で貯蔵器を充填するのに最適な方法
は、選択入口がコントローラからの信号により真空ベン
チュリ管を動作することによって開放されている間に隔
離された貯蔵器へ真空を供給することである。減圧圧力
は液体供給源から入口を通って貯蔵器へ液体を吸引す
る。液体で貯蔵器を充填するのに最適な他の方法は、液
体のその液中に対して動作するように選択液体供給源へ
気体圧力を供給することであり、貯蔵器へ選択入口を通
って液体に流れさせる。

【００１３】高液体レベルセンサが故障した場合、貯蔵
器と真空ベンチュリ管との間にある排気インタロック手
段に隣接した液体オーバフロー検知手段は、インタロッ
ク時の液体オーバフローを検出してコントローラへ信号
を送る。コントローラにおける液体オーバフローを示す
信号の受信では、選択入口がコントローラからの信号に
より閉成され、貯蔵器への液体の流れを更に停止する。

【００１４】充填モードで且つ貯蔵器の液体レベルが低
液体レベル以上の間に液体の需要が受信されたときは、
充填モードは終わらせられる。コントローラからの信号
に応答する選択入口は閉成され、液体分配装置は分配モ
ードへ切り換える。

【００１５】フィルタは、分配モード中に液体を濾過す
るために貯蔵器と出口との間に設けられる。従って、分
配モード中の選択出口付近の検知圧力はフィルタと出口
との間の下流側にある。分配モード中、液体分配装置は
フィルタ内の圧力降下を検知し、コントローラへ圧力降
下を示す信号を供給する。なぜならば、フィルタが汚染
物質で詰め込まれたときは、選択出口付近の検知圧力が
減少すると、貯蔵器内の液体へ供給された圧力は増大さ
れ、選択出口付近の検知圧力は所定圧力で維持すること
ができる。

【００１６】コントローラは、信号を受信してその信号
を、圧力降下用の所定値と比較される有効値へ変換す
る。受信した信号から変換された有効値が所定値よりも
大きいときは、コントローラは、警報信号をオペレータ
へ送る。従って、受信した信号から変換された有効値が
所定値よりも大きいときは、コントローラは、フィルタ
の状態が不十分であることを知らせる可聴式又は可視式
のフィルタ警報を作動する。

【００１７】本願の前述した特徴及び他の特徴は、図
面、詳細な説明及び付随した特許請求の範囲から明らか
になるだろう。この発明は、図面と共に好ましい実施例
の下記説明を参照することにより十分に理解できる。

【００１８】

【実施例】詳細な説明 図１を参照すると、この発明の液体分配装置１０の概略
が示されている。液体分配装置１０は、正確な反復量で
液状の流体を分配し、酸、溶媒及び基剤の全ての異なる
種類に適合することができる。液体分配装置１０の中心
は、加圧可能な化学貯蔵器１２である。貯蔵器１２は、
後述する目的のために加圧に適した液状流体の実質量を
含むことができる密閉容器である。

【００１９】図４から図３４までのアルゴリズムに従っ
てプログラムされた、ソフトウエアで駆動されるコント
ローラ１４は、液体分配装置１０の動作を制御する。コ
ントローラ１０に接続されたキーボード１６により、ユ
ーザは液体分配装置１０の動作を管理するようにコント
ローラ１４のマイクロプロセッサを選択的にプログラム
できる。コントローラ１４は、ザイログＺ８０のような
適当なマイクロプロセッサ、マザーボード上のスロット
に取り付けられた適当なＩ／Ｏボード、及び１秒の１／
１００のタイミング増分を供給するインテル８２５４プ
ログラマブルタイマーのような適当な複数のタイミング
手段を含む。Ｉ／Ｏボードへ取り付けられ参照文字ａ〜
ｎにより示される配線用ハーネスの形態内の適当な接続
手段は、液体分配装置１０の他の部品とコントローラ１
４を個々に接続するために提供する。図３を参照する
と、パイロット弁多岐管（ａ ｐｉｌｏｔ ｖａｌｖｅ
ｍａｎｉｆｏｌｄ）に沿って支持された個々に選択可
能な複数の弁はコントローラ１４によって管理され、パ
イロット圧力を伝える開放位置にある各弁は液体分配装
置１０の他の部品を選択的に動作する。あるいはまた、
コントローラ１４はアイビーエムＡＴのようなプログラ
マブルパーソナルコンピュータであるかも知れないし、
他の適当なプログラマブル装置も使用されるかも知れな
い。コントローラ１４は、電源故障が起きた場合に電源
がバックアップされているランダムアクセスメモリ（Ｒ
ＡＭ）を含み、プログラムされたデータはそのメモリに
残る。

【００２０】液体分配装置１０は、貯蔵器１２を充填及
び補給するために、導管２０の分岐管を経由して貯蔵器
１２と接続する複数の選択可能な液体入口１８ａ、１８
ｂ、１８ｃ及び１８ｄを含む。各液体入口１８ａ、１８
ｂ、１８ｃ及び１８ｄはそれぞれ入口弁２２ａ、２２
ｂ、２２ｃ及び２２ｄを有する。コントローラ１４は、
各入口弁２２ａ、２２ｂ、２２ｃ及び２２ｄを分離して
制御するように、配線用ハーネスの一部を通って各入口
弁２２ａ、２２ｂ、２２ｃ又は２２ｄと選択的に通信す
る。従って、貯蔵器１２ヘの液体入力は選択的に制御さ
れる。

【００２１】各入口１８ａ、１８ｂ、１８ｃ及び１８ｄ
は、図示されていないが、分離した液状化学品供給源に
接続され、各液状化学品供給源は同一の化学品を有す
る。各液体供給源は、在来のびんや袋の形状をしてい
る。液体分配装置１０は、残っている入口弁が閉成して
いる間に入口弁２２ａ、２２ｂ、２２ｃ又は２２ｄの１
つを選択的に開放することによって貯蔵器１２を自動的
に補給する。従って、図１において太線２４によって示
された１つの入口のみが選択され、液体分配装置が他の
入口を通って流れる液体を防ぐように動作する間に、液
体分配装置１０に、選択された液状化学品供給源から液
状化学品を引き込ませるので、オペレータは液状化学品
で空の液状化学品供給源をどれでも補給できる。選択さ
れた液状化学品供給源が空になったときは、液体分配装
置１０は自動的に他の入口に切り換え、他の液状化学品
供給源を選択し、空の液状化学品供給源が液状化学品で
補給させられる。

【００２２】液体分配装置１０は複数の選択可能な出口
２６ａ、２６ｂ、２６ｃを含む。出口２６ａ、２６ｂ及
び２６ｃは、貯蔵器１２から液状化学品を分配するよう
に導管２８の分岐管を経由して接続される。各液体出口
２６ａ、２６ｂ及び２６ｃはそれぞれ出口弁３０ａ、３
０ｂ及び３０ｃを含む。コントローラ１４は、各出口弁
３０ａ、３０ｂ及び３０ｃを別々に制御するように各出
口弁３０ａ，３０ｂ及び３０ｃと選択的に通信する。従
って、貯蔵器１２からの液体出力は選択的に制御され、
液体が貯蔵器１２から選択的に分配させられる。それ
故、図示していないが、１つの出口だけ、又は図１にお
いて太線３２により示される複数の出口が選択される。
好ましくは、各出口弁３０ａ、３０ｂ及び３０ｃは、分
配物を受給する処理装置内の処理物質上に化学品の落下
を防ぐように、それぞれ戻し弁又は逆止弁部分３４ａ、
３４ｂ及び３４ｃを含む。

【００２３】図示されていないが、各出口２６ａ、２６
ｂ及び２６ｃは処理装置の異なる処理部へ接続され、要
求に応じて処理装置へ化学品を選択的に分配する。これ
が最上に達成されるように、処理装置の各処理部は、シ
リアルポートのような配線用ハーネス又は適当な手段を
通じてコントローラ１４に個々に接続され、そして、適
切な条件の下で、処理装置の各処理部は、適切な出口弁
３０ａ、３０ｂ又は３０ｃを開放するようにコントロー
ラ１４へ要求信号を送り、それへ化学品の選択量を分配
する。

【００２４】貯蔵器１２内の液体レベルセンサーは３６
は、貯蔵器１２の液体レベルの高低を検出する。液体レ
ベルセンサ３６は、図１の符号３８で示す高位置と、図
１の符号４０で示す低位置との間を移動する。液体レベ
ルセンサ３６は、高液体レベルを感知したことを意味す
る高液体レベルを表わす第１の信号をコントローラ１４
へ送り、低液体レベルを感知したことを意味する低液体
レベルを表わす第２の信号をコントローラ１４へ送る。
従って、液体レベルセンサ３６は高低の液体レベルの両
方を検出する性能がある単一の液状流体レベル検出器で
あり、高低の液状流体レベル状態を意味する異なる信号
をコントローラ１４へ送るための適切な手段を含む。あ
るいは、液体レベルセンサ３６は、高液体レベルセンサ
と別体の低液体レベルセンサとを含み、各々が高又は低
液体レベルを表わす適切な信号をコントローラ１４へ送
る。

【００２５】サーボ制御型電子式の圧力調整器４２は、
貯蔵器１２内に存在する液体に作用するように要求に応
じて圧力を供給する。図２を参照すると、圧力調整器４
２は、導管４４を通じて圧縮窒素又は空気を収容する。
典型的には、圧縮窒素は約６０ｐｓｉ（プサイ）の圧力
である。コントローラ１４は圧力調整器４２の動作を管
理し、コントローラ１４からの信号に応答して要求に応
じ圧力を圧力調整器４２に供給させる。

【００２６】圧力センサ４６はその圧力を感知するよう
に貯蔵器１２に接続する。コントローラ１４を介した圧
力センサ４６と圧力調整器４２との間のサーボループ
は、選択された化学品の出口弁３０ａ、３０ｂ又は３０
ｃが開放する前に、ユーザによってプログラムされた出
口圧力対して貯蔵器１２に作用する圧力を安定するよう
に採用される。

【００２７】可制御三方弁４８は、導管５０、５２及び
５４を経由してそれぞれ後述する圧力調整器４２、貯蔵
器１２及び真空ベンチュリ管５６に接続する。コントロ
ーラ１４は三方弁４８の切換えを管理する。コントロー
ラ１４からの適切な信号の受信で、導管５０、５２を経
由して圧力調整器４２から貯蔵器１２への圧力を供給す
るための圧力位置と、後述するように、導管５４に低圧
力を生じさせるための真空ベンチユリ管５６又は他の在
来装置によって貯蔵器１２を真空排気するための第２
の、つまり真空位置との間で、三方弁４８は選択可能で
ある。三方弁４８の圧力位置は圧力分配モードに応じた
要求において有用であり、後述するように、導管５０、
５２及び排気インタロック５８を経由して圧力調整器４
２と貯蔵器１２とを連絡する。図２に示すように、アナ
ログ圧力計５９は、貯蔵器１２へ供給された圧力をオペ
レータに可視的に表示するように導管５０に含まれる。
三方弁４８の真空位置は充填又は排気モードで有用であ
り、導管５２、５４及び排気インタロック５８を経由し
て貯蔵器１２を真空ベンチュリ管５６へ連絡する。

【００２８】排気インタロック５８は三方弁４８と貯蔵
器１２との間の導管５２で接続される。排気インタロッ
ク５８は、三方弁４８が真空位置にあるときは、真空ベ
ンチュリ管５６を経由して貯蔵器１２に排気させ、貯蔵
器１２を各分配後の大気圧と均圧にする。排気インタロ
ック５８は、導管５２の部分間に接続するチェンバ部６
０と、高液体レベルセンサが故障した場合にチェンバ部
６０の流出液体の存在を検出するためのチェンバ部６０
に隣接した液体オーバフロー指示手段とを含む。従っ
て、液体オーバフロー指示手段は、排気インタロック５
８の付近の流出液体の存在を検出するための手段を提供
する。好ましくは、液体オーバフロー指示手段は、チェ
ンバ６０の外壁に取り付けられ、液体の接近を検出する
ように動作する静電容量センサ６２の形態で提供され
る。静電容量センサ即ちオーバフローセンサ６２は、コ
ントローラ１４に接続され、液体が排気インタロック５
８付近で検出されたときは、コントローラ１４へ適当な
信号を送る。あるいは又、液体オーバフロー指示手段
は、排気インタロック５８付近の液体を検出するフロー
トスイッチのような他の形態で提供される。図３に示す
ように、可動式栓６３は、密閉室部６０への接近を許す
ように移動され、液体オーバフローが検出されたとき、
及び液体分配装置１０がメンテナンスのために動作停止
になったときは、そこにあるどんな液体も掃き出す。

【００２９】選択可能な弁６４は、真空ベンチュリ５６
の動作を制御する。図３について説明すると、選択可能
な弁６４は、パイロット弁マニホールド６６とマニホー
ルド６６に接続された複数の個別に選択可能な弁要素６
８ａ〜６８ｊを含んでもよい。各弁要素は、閉成位置と
適切な部品に圧縮ガスを供給するための開放位置との間
で、コントローラ１４からの適切な信号を介して個別に
選択可能である。一般に、真空ベンチュリ５６は、排気
導管７２を有するベンチュリ部材７０と、分配されるべ
き液状化学品と互換性のある圧縮窒素又は他のガス状流
体を受けるための入口導管７４とを備えている。排気導
管７２は、好ましくは互換性のあるハウス排気分配装置
（図示せず）に接続されている。入口導管７４は弁６４
の弁要素６８ｄの出口側に接続され、導管７６は、圧縮
窒素ガス又は空気の供給源７８を、パイロット弁マニホ
ールド６６の入口側に接続し、弁要素６８ａ〜６８ｊに
よって選択的に分配されるようにする。ベンチュリ部材
７０内において、ベンチュリ部材７０の制限区域を介し
た圧縮ガスの流れは、ベルヌーイの原理に従って導管５
４内に減圧された領域を作る。典型的には、減圧された
圧力は２５４ｍｍ（１０インチ）Ｈｇであり得る。

【００３０】コントローラ１４は弁６４と連結されて弁
６４の開閉を取り扱う。コントローラ１４が弁４８を真
空位置に切換えるのと同時に、コントローラ１４は、弁
要素６８ｄを開放させる信号を通信する。弁要素６８ｄ
が開放されたとき、供給源７８からの圧縮窒素ガス又は
空気は、真空ベンチュリ５６を通して流れ、導管５４内
に真空又は低減された圧力を作り、導管５２、５４、排
気インタロック５８及び真空位置にある弁４８を介して
貯蔵器１２を減圧排気する。弁４８及び真空ベンチュリ
５６に接続された導管５４内にある一般のワンウェイ逆
止弁８０は、貯蔵器１２から空気が流れるように作用す
る一方、弁４８及び排気インタロック５８を介して貯蔵
器１２に向けて反対方向に圧縮窒素ガス又は空気が流れ
込むのを禁止する。減圧排気処理の終了時において、コ
ントローラ１４は、弁要素６８ｄに信号を通信してそれ
らを閉成させる。

【００３１】コントローラ１４が弁４８を真空位置に切
換えて圧縮ガスが真空ベンチュリ５６を介して流れるよ
うにしたとき、貯蔵器１２にかかる導管５４内の減圧
は、貯蔵器１２の液体レベルが低液体レベル４０以下に
下がったときに貯蔵器１２を液体で補充するためにも用
いられる。分配装置が分配モードでないときに減圧が貯
蔵器１２の補充に用いられるために、入口弁２２ａ、２
２ｂ、２２ｃ又は２２ｄのうちの１つは開放され、貯蔵
器１２内の減圧が、開放された入口に存在する液状化学
品供給源から入口を介して貯蔵器１２内に液体を引くよ
うにする。

【００３２】コントローラ１４が真空ベンチュリを動作
して貯蔵器１２内の減圧が貯蔵器１２内に液体を引くよ
うにする代わりに、コントローラ１４は、圧力が液状化
学品供給源にかかるようにし、液体を貯蔵器１２内に導
入するようにしてもよい。これは、コントローラ１４が
弁８１に信号を通信して弁８１を開放すると共に、コン
トローラ１４が圧力調整器４２と通信して、所定圧力の
他の適切なガス状流体の窒素ガス又は空気を破線８３で
示す導管を介して流すと共に液体供給源に作用し、開放
された入口を介して液体を調整器１２内に導入させるこ
とにより達成され得る。

【００３３】代わりに、各液体供給源が再加圧され得
る。その結果、入口が開放されてこれらの再加圧された
液体供給源の１つが導かれているとき、液体供給源の内
圧は開放入口を介して貯蔵器１２内に液体を導入させる
だろう。

【００３４】フィルタ８２は、用いられる液状化学品に
依存して、並びに、液状化学品による分配装置１０上に
位置する処理要求に依存して、含まれてもよい。フィル
タ８２は、含まれる場合、貯蔵器１２と出口弁３０ａ、
３０ｂ及び３０ｃとの間に位置する。代わりに、図２に
示すように、フィルタ８２は、以下のパラグラフで説明
するように、貯蔵器１２の外側に位置してもよい。貯蔵
器１２の前に位置する他のフィルタ８４は、導入されて
くる圧力ガスが貯蔵器１２に入る前に圧力ガスを濾過す
る。

【００３５】図２について説明すると、フィルタ８２
は、貯蔵器１２の外側の封止されたフィルタ容器８６内
に含まれてもよい。封止容器８６は、貯蔵器１２と出口
２６ａ、２６ｂ及び２６ｃとの間の流路の導管セグメン
ト２８及び９０を接続するのに適した入口及び出口を有
するフランジ部８８と、フィルタ８２に近接するための
取り外し可能な円筒部９２とを含む。代わりに、円筒部
９２及びフィルタ８２は、カートリッジフィルタ上の一
般のネジに結合されてもよい。貯蔵器１２は、貯蔵器１
２の底から導く導管９０を介して封止容器８６の入力側
に接続されている。導管９０内の手動弁９４は、貯蔵器
１２を排水することなくフィルタ８２が交換され得るよ
うにする。

【００３６】図１及び図３について説明すると、フィル
タ８２が貯蔵器１２内に位置する場合、フィルタ８２の
上部は所定の点における低液体レベルの下に位置し、既
知の保有量の液状化学品がフィルタ８２上の貯蔵器１２
内に残るようにする。低液体レべル位置はフィルタ８２
の上であり、従って、ガス状流体はフィルタ８２に入る
ことが抑制される。代わりに、図２に示すように、フィ
ルタ８２への入口は、導管９０の入口側を貯蔵器１２の
底に接続することにより、貯蔵器１２内の液体の低液体
レベルに関連して接続されてもよい。同様に低液体レベ
ル部分は導管９０の入力側の上であり、従って、既知の
保有量の液状化学品が貯蔵器１２内に残る。

【００３７】時間経過によりフィルタ８２が汚染物質で
飽和するであろう理由から、貯蔵器１２に存在する化学
液体にかかる圧力に関係してフィルタ８２を介した流れ
を低減し、圧力センサ４６は、図２及び図３に良く示さ
れるように、フィルタ８２と出口弁３０ａ、３０ｂ及び
３０ｃとの間の液体流通路の下流に位置する。この結
果、フィルタ８２が含まれる場合、圧力センサ４６は、
貯蔵器１２の静的圧力とフィルタ８２の下流の動的液流
圧力との両方を検知する。従って、貯蔵器１２内の液体
にかかる圧力は、圧力センサ４６を同一圧力に維持する
ために、上方に調整され得る。

【００３８】フィルタ８２が含まれない場合、圧力セン
サ４６は、貯蔵器１２と出口弁３０ａ、３０ｂ及び３０
ｃとの間の動的液流圧力を読み取る。この結果、フィル
タ８２が含まれない場合、圧力センサ４６は、同様に、
貯蔵器１２内の液体にかかる圧力を調整して圧力センサ
４６が同一圧力に維持されるようにする。フィルタ８２
が含まれているか否かによらず、出口２６ａ、２６ｂ及
び２６ｃに近接した圧力センサ４６によって動的圧力は
検知される。従って、１つ以上の出口２６ａ、２６ｂ及
び２６ｃは、分配時にはいつでも開放されて、分配要求
している処理装置の各部に１つ以上の出口を介して液状
化学品が分配されるようにしてもよい。これは、サーボ
ループが、圧力調整器４２により印加される圧力を上げ
て、圧力センサ４６により検知される圧力を同一圧力に
維持することによって、付加的な出口が開放されるよう
に補償するからである。

【００３９】貯蔵器１２の底に近接して接続された手動
排水弁９６は、貯蔵器１２を手動で排水できるようにす
る。排水弁９６を貯蔵器１２に接続する排水管１００内
の一般のワンウェイ逆止弁９８は、排水管１００を介し
て貯蔵器１２に入る逆流を禁止する。排水のために除去
可能な、排水管１００上のキャップ１０２は、排水管１
００の内部を保護する。

【００４０】好ましくは、コントローラ１４は、４つま
での液状化学品分配装置１０の操作が可能である。しか
し、全ての分配装置がそれより少ないか又は多く構成さ
れても、それはこの発明の範囲内にある。

【００４１】コントローラ１４は、入口１８ａ、１８
ｂ、１８ｃ又は１８ｄのいずれかに存在する供給源を分
配しているどの空の液状化学品に対しても、視覚的手段
及び聴覚的手段の両方を含む。コントローラ１４は、分
配装置１０の運転停止が必要な事態に、ワイヤリングハ
ーネスを介して接続された処理装置とも通信する。

【００４２】全ての動作モードはコントローラ１４によ
って取り扱われる。動作モードは、好ましくは、キャリ
ブレーション（較正）モード、分配モード、ノーマルモ
ード、ガス抜きモード、浄化モード、排水モード及び停
止モードを含む。コントローラ１４は、メインコンピュ
ータ又は他のデバイスと通信するためのシリアルポート
などの適切な手段を含んでもよい。

【００４３】コントローラ１４は、キーボード１６を介
してユーザによりプログラムされ、動作モードに対する
パラメータが設定される。この結果、ユーザは、ａ）選
択的に液状化学品入口１８ａ、１８ｂ、１８ｃ又は１８
ｄのどれか又は結合を選択してもよく、ｂ）圧力センサ
４６により検知される圧力を設定してもよく、ｃ）フィ
ルタ８２の下流の圧力センサ４６により検知される圧力
と貯蔵器１２内に存在する液体にかかる圧力との圧力偏
差制限又は圧力損失を設定してもよく、ｄ）各出口に対
する時間間隔の分配量を設定してもよく、ｅ）開放され
た出口弁３０ａ、３０ｂ、３０ｃ及び３０ｄの数に無関
係な不変の液流のためのサーボループの圧力を定めても
よく、ｆ）圧縮された貯蔵器１２に対するピーク圧力制
限を設定してもよい。

【００４４】分配装置１０は、図中に番号４が付されて
いるがそれより多いか又は少ないことが可能な、複数の
入口からの液状化学品供給源の切換を、液体レベルの検
知機能及び液状化学品の分配機能と共に１つのユニット
に集積する。分配装置１０は貯蔵器１２の大きさを変化
可能にし、従って、分配装置１０は、液状化学品の分配
適用の広い変化に適合可能となっている。用いられる液
状化学品及び処理要求に依存して、分配装置１０は、液
状化学品貯蔵器１２内の濾過と共に、又は濾過なしで動
作するだろう。

【００４５】複数の液体分配装置１０を備え得る全ての
分配装置の動作は、以下の通りである。図４について説
明すると、全ての分配装置がパワーアップされ、全ての
入口弁及び出口弁はブロック１０３に示すように閉成さ
れ、続いて、次のブロック１０４で示すように、動作の
アクティブメインモード即ち初期モードが起動され、各
分配装置１０が、それらに接続されたホスト処理装置に
出力するために、選択される。メインモードの間、コン
トローラ１４は、各分配装置１０についてブロック１０
６〜１１２で示す種々のモードの１つが選択されている
かを検査し、貯蔵器１２が臨界的に空を示す警報が、以
下に定めるように、ブロック１１４で示すようにオンで
あるかを検査し又、ブロック１１６で示すように、セン
サ６２に近接して液状化学品のオーバフローが存在する
かを検査する。

【００４６】もし、センサ６２に近接して液状化学品の
オーバフローが検知されれば、オーバフローされた分配
装置１０の全ての入口弁及び出口弁は閉成され、視覚的
又は聴覚的なオーバフロー警報が与えられ、又、コント
ローラ１４により信号が送られ、ブロック１１７Ａ〜１
１７Ｂで示すように、接続されたホスト処理装置がオー
バフローされた分配装置１０に接続できないようにす
る。コントローラ１４により１つ以上の分配装置１０が
取り扱われる場合、各々が１つの分配装置１０の各デー
タを含むレジスタであるポインタは、ブロック１１７Ｃ
で示すように他の分配装置１０を選択するためにインク
リメントされ、コントローラ１４は、ブロック１０４で
示すように続けてアクティブメインモードを再開し、他
の分配装置１０が動作状態（アクティブ）を続けている
のに対し、オーバフローされた分配装置１０上で維持動
作を実行できるようにする。理解され得るように、更
に、分配サイクル及び補充サイクルは、過充填された貯
蔵器により過充填が除去されるまで停止される。

【００４７】各分配装置１０の動作モードの検査並びに
各分配装置１０のセンサ６２に近接した液状化学品のオ
ーバフローの検査の後、コントローラ１４は、分配装置
の出口に接続された処理装置の各部分に信号を送り、ブ
ロック１１８で示すように処理装置の各部分を動作可能
にする。その後、コントローラ１４は、ブロック１２０
〜１２４で示すように、各分配装置１０の接続された処
理装置の各部分からトリガ入力変化を断続的に検査す
る。

【００４８】１つの分配装置１０からトリガ変化が検知
されたとき、コントローラ１４は、ブロック１２６〜１
３０で示すようにトリガルーチンモジュール（図１０参
照）を呼び出し、ブロック１３２に入る。トリガ変化の
検査後、コントローラ１４は、ブロック１３４で示すよ
うに各分配装置１０のセンサ３６からの低液体レベル信
号の変化に対する試験を行う。理解され得るように、低
液体レベル信号は各貯蔵器の充填を制御する。もし低液
体レベル信号が変化した場合、コントローラ１４は、低
検知ルーチン即ち貯蔵器補充サイクルモジュール（図１
１参照）を呼び出し、適切な分配装置レジスタを受け渡
す。低液体レベル信号の試験後、コントローラ１４は、
ブロック１３６で示すように各分配装置１０のセンサ３
６からの高液体レベル信号の変化に対する試験を行う。
もし、高液体レベル信号が変化した場合、コントローラ
１４は、高検知ルーチンモジュール（図１２参照）を呼
び出し、適切な分配装置レジスタを受け渡す。

【００４９】各分配装置１０の低液体レベルセンサ及び
高液体レベルセンサの変化に対する検査が行われた後、
コントローラ１４は、ブロック１３８で示すように、い
ずれかの分配装置１０の分配点が動作状態であるかを知
るために検査を行う。もし、どの分配装置１０の分配点
も全く動作状態でない場合、コントローラ１４は、ブロ
ック１４０で示すように、その分配装置１０に対する補
充サイクルが、トリガ信号によって割込み（インタラプ
ト）されているかを知るために検査を行う。もし、補充
サイクルが割込みされていれば、割込みされた分配装置
１０と関連する補充タイマは復元（リストア）され、ブ
ロック１４２で示すように、その補充サイクルが再開さ
れる。

【００５０】もし、分配装置１０の分配点が動作状態で
あれば、コントローラ１４は、分配装置の圧力調整器４
２により、その貯蔵器１２に印加される圧力と、分配装
置の圧力センサ４６に存在する圧力とを読み取り、ブロ
ック１４４で示すように、それらの差を計算する。圧力
調整器４２により印加される圧力の好ましい測定方法
は、圧力調整器４２のコイル両端間のサーボループの電
圧又は電流をコントローラ１４により読むことである。
センサ４６に存在する圧力の好ましい測定方法は、圧力
センサ４６の両端間の電圧又は圧力センサ４６を通る電
流をコントローラ１４により読むことである。コントロ
ーラ１４は、圧力調整器４２により印加される圧力を表
わす値と、センサ４６に存在する圧力の値とを取り込
み、それらの差を計算する。それらの差は、ブロック１
４６で示すように、オペレータにより定められたその分
配装置１０に対するプリセット制限と比較される。も
し、その差がオペレータにより定められた制限より大き
い場合は、視覚的手段又は聴覚的手段により、コントロ
ーラ１４は、ブロック１４８で示すように、その分配装
置に対するプリセット制限が超過されたことを示し、い
まが分配装置のフィルタ８２を交換するときであること
を示す。各分配装置のプリセット制限は、分配装置によ
り分配されている特定の液状化学品の粘度に依存して、
又、フィルタの大きさ、即ち、０．２μｍ又は０．５μ
ｍに依存して可変である。次に、差の値は、ブロック１
５０で示すように、その分配装置に対する最後に記憶さ
れたピーク差と比較される。もし、その差が最後に記憶
されたピーク差より大きければ、ブロック１５２で示す
ように、古い値に代わって新しいピーク差が記憶され
る。

【００５１】コントローラ１４がいずれかの分配装置１
０に対する分配点が動作状態かを検査した後で、もし、
各動作状態の分配装置に対して補充サイクルが割込みさ
れたならば、コントローラ１４は、ブロック１５４で示
すように、各分配装置１０に対する空のカウントが制限
を越えたかを知るために検査を行う。もし存在するなら
ばフィルタ８２（又は、貯蔵器１２に対する出口）と各
分配装置１０の低液体レベル４０との間に存在する液体
の高さは、各貯蔵器１２の大きさと共に、低液体レベル
４０とフィルタ４０又は貯蔵器出口との間に存在する液
体貯蔵容積を、各分配装置１０に対して決定可能にす
る。従って、各分配装置１０に対するこの貯蔵容積は、
分配装置の貯蔵器１２が臨界的に空である前の所定分配
数を考慮可能にする。各分配装置１０に対するこの所定
分配数は、その分配装置に対する空カウントの最大値を
表わす。

【００５２】もし、いずれかの分配装置１０に対する空
カウント数がその分配装置に対する制限を越えたなら
ば、コントローラ１４は、図４のブロック１５６〜１６
４により図解される臨界的空のサブモード２４７に入
る。臨界的空のサブモードに入った場合、貯蔵器１２が
補充されるまでは、それ以上の分配は全く許可されな
い。空のモードに入った後、コントローラ１４は、聴覚
的警報手段又は視覚的警報手段により、その分配装置の
貯蔵器１２が臨界的に空であることを示し、ブロック１
５６で示すように、その分配装置のホスト処理装置を不
可能にする。キーボードモードは、図１４内のブロック
１６０及び図２８に対応するブロック１５６で示すよう
に、割込みされて設定される。次に、コントローラ１４
は、ブロック１６０で示すように、空の分配装置に対す
る警報手段が認知されているかを知るために検査を行
う。もし、警報手段が認知されていれば、コントローラ
１４は、ブロック１６２で示すように、図１１に示され
る低検知又は補充サイクルルーチンを呼び出すことによ
り、空の分配装置の貯蔵器１２の補充を開始し、空の分
配装置レジスタを受け渡す。次に、コントローラ１４
は、高検知ルーチンを呼び出すことにより、ブロック１
６４で示すように、その分配装置１０の貯蔵器１２が満
杯かの検査を行う。もし、その分配装置１０の貯蔵器１
２が満杯であれば、ブロック１６６で示すように、その
分配装置の接続されたホスト処理装置の各部分は、再び
可能（イネーブル）にされる。

【００５３】いずれかの分配装置１０の空カウント数が
制限を越えたかの検査が行われた後、コントローラ１４
は、ブロック１６８で示すように、いずれかの分配装置
１０の入口１８ａ、１８ｂ、１８ｃ又は１８ｄに存在す
るいずれかの液体供給源が空であるかの検査を行う。も
し、１つの分配装置の入口１８ａ、１８ｂ、１８ｃ又は
１８ｄに存在する全ての液体供給源が空であれば、視覚
的又は聴覚的であり得る液体供給源警報は、ブロック１
７０で示すように、空の液状化学品供給源を確認するよ
うに与えられ、オペレータが全て又は１つの空の液体供
給源を補充できるようにする。

【００５４】その後、コントローラ１４は、次の分配装
置１０を示す情報でポインタレジスタをインクリメント
し、コントローラ１４は、ブロック１０４で示すよう
に、初期起動点から動作のメインモードの続行を再開す
る。その結果、各分配装置１０は、動作のモード、その
センサ６２に近接した液状化学品のオーバフロー、トリ
ガ入力、液体レベル、動作（アクティブ）分配点、割込
みされた補充サイクル、空カウント、及び、空の入力
源、が続けて検査される。

【００５５】液状化学品の分配を要求する処理装置の部
分からのトリガ「オン」信号により分配モードが選択さ
れた場合、トリガ「オン」信号は、コントローラ１４に
通信され、図４の判定ブロック１２０、１２２及び１２
４で示すように、処理装置の特定部分と関連する。「オ
ン」信号は、適切なインタフェースにより「オン」状態
を示す使用可能な信号に変換され且つコントローラ１４
と通信される電子的又は気体の形で生じ得る。その後、
コントローラ１４は、図１０内にブロック１２６、１２
８及び１３０で示すようにトリガルーチンを呼び出し、
ブロック１３２に入り、分配装置と分配のために呼び出
す処理装置に接続された分配装置の特定の出口２６ａ、
２６ｂ又は２６ｃとを確認するサブルーチンに対するパ
ラメータを受け渡す。

【００５６】「オン」信号がトリガルーチンに受け渡さ
れるので、トリガ判定ブロック１７４はそのルーチンの
「オン」ブランチを選択する。「オン」ブランチに入っ
た後、コントローラ１４は、特定の出口に導く分配装置
の貯蔵器に対する補充サイクルがブロック１７６で示す
ように進行状態にあるかの試験を行う。もし、補充サイ
クルが進行状態にあれば、補充タイマの情報は、その分
配装置の貯蔵器と関連するレジスタに格納され、ブロッ
ク１７８及び１８０で示すように補充サイクルは中断さ
れる。分配モードの終了時に補充サイクルが一旦再開さ
れると、その終了点から補充時間が再開される。分配モ
ードは、貯蔵器が臨界的に空である場合を除いて、全て
の補充サイクルを無効するだろう。

【００５７】補充サイクルの存在の検査後、確認された
分配装置と関連する三方弁４８は、コントローラ１４か
らの信号に応答してその圧力位置に移動される。弁４８
の圧力位置への移動と共に、確認された分配装置と関連
する圧力調整器４２は、コントローラ１４からの信号に
応答して、ブロック１８２で示すように、確認された分
配装置の導管５０、５２及び排気インタロック５８を介
して、選択された調整器１２に圧力を印加し始める。

【００５８】コントローラ１４は、圧力センサ４６の両
端間の電圧又は圧力センサ４６を通る電流を読み取るこ
とにより、圧力センサ４６に存在する圧力を判定する。
圧力センサ４６と圧力調整器４２との間のサーボループ
が、ブロック１８４で示すように、圧力センサ４６に対
するユーザの選択した所定許容量内の圧力に安定化する
場合、コントローラ１４は、ブロック１８４で示すよう
に、トリガ「オン」信号の事態を認知する。トリガオン
信号を認知した後、コントローラ１４は、処理装置の特
定部分のためにオペレータにより選択された所定時間間
隔で要求信号を通信する処理装置に導く特定出口弁を制
御するタイマをプログラムし、ブロック１８８で示すよ
うに、所定時間間隔の終了時におけるタイマによる以後
の動作に対して分配終了の割込みを可能にする。その
後、コントローラ１４は、ブロック１９０で示すよう
に、選択された出口と関連する特定の出口弁に開放信号
を通信することにより、選択された分配出口を可能にす
る。

【００５９】しかし、もし、トリガルーチンに「オフ」
信号が受け渡されると、判定ブロック１７４は、そのル
ーチンの「オフ」ブランチを選択する。「オフ」ブラン
チに入った後、コントローラ１４は、ブロック１９１で
示すように、選択された出口に対する分配終了信号をオ
フに切換えて、ブロック１９３で示すように、選択され
た分配を中断し、以下に説明するブロック１９６〜２０
６で示す動作を実行し、プログラムを呼び出すために戻
る。

【００６０】選択された出口内のオリフィス（図示せ
ず）は、圧力センサ４６において維持される圧力と対応
して流れ比率（フローレート）を判定する。流れレート
は、オペレータにより選択されてコントローラ１４によ
りタイマにプログラムされる時間間隔と共に、所定特定
量の液状化学品を、接続された処理装置の部分に分配さ
れるようにする。タイマにプログラムされた所定時間間
隔の終了時に、タイマは、開放された出口弁に信号を自
動的に送ってそれを閉成させると共に、分配終了割込み
サブモジュールを起動させ、ブロック１９２で示される
分配終了割込みにジャンプする。理解され得るように、
分配に対してプログラムされた時間は、サーボループが
安定化した後に選択された出口弁３０ａ、３０ｂ又は３
０ｃが開放されるまでは開始しない。

【００６１】ブロック１９２で示すように分配終了割込
みが起動されたとき、ブロック１９４で示すように閉成
されていて開放された出口に対して分配終了信号が与え
られる。分配終了信号が与えられた後、コントローラ１
４は、ブロック１９３で示すように、選択された分配点
を中断し、ブロック１９６で示すように、選択された貯
蔵器の他のいずれかの分配点がまだ動作状態であるかの
検査を行う。もし、他の全ての分配点が動作状態でなけ
れば、選択された圧力調整器４２を介して貯蔵器に印加
される圧力は、ブロック１９８で示されるようにオフさ
れる。

【００６２】圧力がオフされた後、選択された貯蔵器と
関連する三方弁４８は、第２の真空位置に動かされ、判
定ブロック２００で示されるように、ガス抜き（ｏｕｔ
−ｇａｓ）モードが選択されたか否かの検査が行われ
る。もし、ガス抜きモードが選択されていれば、選択さ
れた貯蔵器と関連するベンチュリは、ブロック２０２で
示されるように、圧力ガス流がベンチュリを介して３秒
だけ流れるようにする信号を通信するコントローラ１４
により動作状態にされ、これにより、選択された貯蔵器
からの真空排気ガスに対して真空又は低圧力を作り出
す。ガス抜きモードは、貯蔵器１２内に存在するいかな
る空気又は窒素をも真空排気し、分配装置がそれ自身の
環境にあることを可能にする。しかし、他の分配サイク
ルに対する信号は、このモードを無効にする。

【００６３】もし、ガス抜きモードが選択されなけれ
ば、通常モード（図示せず）が選択される。通常モード
において、選択された貯蔵器は、選択された（しかし、
動作状態にない）真空ベンチュリと第２の位置にある三
方弁とを介して大気圧に自動的にガス抜きされる。他の
分配サイクルに対する要求は、又、このモードをも無効
にする。

【００６４】選択された貯蔵器のいずれかの分配点が動
作状態かの検査が終了した後、ブロック２０４で示され
るように、低液体レベル信号の変化が試験される。も
し、低液体レベル信号が、液体レベルが低液体レベルよ
り低いことを示すならば、ブロック２０６で示されるよ
うに、空カウントがインクリメントされる。低液体レベ
ル信号の試験が終了した後、分配終了の割込みは、不可
能（ｄｉｓａｂｌｅ）になり、サブルーチンは、割込み
が起きたプログラム内のアドレスに戻る。

【００６５】電子的な圧力調整器４２は、出力負荷に応
じてプログラムされた圧力センサ４６を一定に保持する
ように調整するだろう。化学的なフィルタ８２は、負荷
された超過時間となるだろう。従って、圧力調整器４２
は、貯蔵器１２へ印加される圧力を上方に調整し、圧力
センサ３０で検出される圧力をプログラム値に維持す
る。

【００６６】分配装置の保存が必要とされるとき、図４
に示す浄化モードが選択され、ブロック２０８で示すよ
うな浄化モードが呼び出され、どの分配装置が浄化され
るべきかを示すパラメータが通過する。図６を参照する
と、浄化モードが詳細に示されている。まず、浄化すべ
き分配装置に接続されたホスト処理装置が、ブロック２
１０で示すように、コントローラ１４から信号を通して
使用禁止される。ホスト処理装置の使用禁止後、ブロッ
ク２１２で示すように、コントローラ１４はインタロッ
ク５８に隣接する液体の存在についてオーバフローセン
サ６２からの信号を試験する。液体がインタロック５８
の近くにあることを信号が示すならば、ブロック２１４
で示すように浄化すべき分配装置の全ての入口及び出口
弁を閉成し、視覚又は聴覚可能で、オーバフローが検出
された分配装置を示すオーバフロー警報を与える。

【００６７】インタロック５８の近くに液体オーバフロ
ーが検出されなければ、コントローラ１４は、ブロック
２１６で示すように、変更のため、浄化すべき分配装置
のセンサ３６からの低液体レベル信号を試験する。ブロ
ック２１８で示すように、信号が変更されると、コント
ローラ１４は、図１１に示す低検知ルーチンを呼び、適
当な分配装置レジスタを通す。低液体レベル信号の試験
後、ブロック２２０に示すように、コントローラ１４は
変更のため浄化すべき分配装置のセンサ３６からの高液
体レベル信号を試験する。ブロック２２２で示すよう
に、信号が変更されると、コントローラ１４は図１２に
示す高検知ルーチンを呼び、適当な分配装置レジスタを
通す。

【００６８】浄化すべき分配装置の低及び高液体レベル
センサで検査後、ブロック２２４で示すように、コント
ローラ１４は浄化すべき分配装置の貯蔵器が補充しよう
としているかどうかを知るために検査する。浄化すべき
分配装置の貯蔵器が補充しようとしてなければ、ブロッ
ク２２６に示すように、コントローラ１４はその入口弁
２２ａ、２２ｂ、２２ｃを全てターンオフする。その入
口弁をターンオフ後、コントローラ１４は信号を三方弁
４８に送り、弁を圧力調整器４２が貯蔵器１２と連通す
る圧力位置まで動かせ、圧力調整器４２からの圧力を浄
化すべき貯蔵器に作用させ、そしてブロック２２８で示
すように浄化すべき分配装置の予め選択された出口弁が
開き、貯蔵器を浄化させる。圧力調整器４２を動作し、
選択された出口弁を開いた後、ブロック２３０で示すよ
うに、分配装置の１つのデータを夫々含むポインタレジ
スタはインクリメントされて次の分配装置を選択し、ブ
ロック２３２で示すように、浄化ルーチンはメインモー
ドに戻るが、オペレータがキーボードを介して浄化サイ
クルを終了するまで、浄化モードは動作したままであ
る。

【００６９】分配装置を排水することが所望されると
き、図４に示すように、排水モードが選択され、ブロッ
ク２３４で示すように、排水モードが呼び出され、どの
分配装置が排水されるべきかを示すパラメータが通され
る。図５において、排水モードを詳細に示す。まず、ブ
ロック２３６で示すように、排水すべき分配装置に接続
されたホスト処理装置でコントローラ１４からの信号を
通して使用禁止される。ホスト処理装置の使用禁止後、
ブロック２３８で示すように、コントローラ１４は排水
すべき分配装置の入口弁２２ａ、２２ｂ及び２２ｃの全
てをターンオフする信号を送る。全ての入口弁のターン
オフ後、ブロック２４０で示すように、コントローラ１
４は浄化モードで述べたと同じように、圧力を排水すべ
き貯蔵器に印加し、選択した出口弁を開き、貯蔵器を排
水させる。圧力を排水すべき貯蔵器に印加し、選択した
弁を開いた後、ブロック２４２で示すように、分配装置
の１つを表わすデータを夫々含むポインタレジスタはイ
ンクリメントされて次の分配装置を選択し、そして、ブ
ロック２４４で示すように排水モードはメインモードに
戻るが、排水モードはオペレータがキーボードを通して
排水サイクルを終了するまで動作したままである。これ
は出口へのラインを乾燥させる利点を有する。

【００７０】浄化及び排水モードに対して、コントロー
ラ１４はオペレータに「０」出口弁を選択させる。この
選択により浄化又は排水される分配装置を循環させ、排
水又は浄化すべき分配装置の手動排水弁９６と関連して
使用時に、その点で液状化学品を排水、供給又はサンプ
ルさせる。

【００７１】図４のブロック１１４で示すように、貯蔵
器の臨界的空警報が現れるとき、又は図４のブロック１
５４で示すように、空カウントが限界値を越えたなら
ば、ブロック２４５で示すような「ジャンプへ」又は
「空カウント」決定ブロック１５４を経たコントローラ
１４は、上述したようなブロック１５６〜１６４で示す
臨界的空サブモード２４７に入り、上述したブロック１
６８で示すように入力源は空かどうかを検査し、上述の
ブロック１７２で示すようにポインタレジスタをインク
リメントし、他の分配装置を選択し、メインモードを続
ける。空の液状化学品貯蔵器１２は圧力供給、重量供給
又は任意の種類の静止圧型入力により満たすことができ
る。好ましくは、真空ベンチュリ５６による配列で充填
される。

【００７２】図１１において、ブロック１６２、２１８
又は２４６を経て低検知又は貯蔵器補充モジュールが呼
ばれるとき、コントローラ１１４はまずブロック２４７
で示すように、分配が進行中にあるかどうかを見るため
に検査する。分配が進行中ならば、ルーチンは呼びプロ
グラムに戻る。分配が進行中でなければ、コントローラ
１４は、ブロック２４８で示すように低液体レベル信号
があるかどうかを検査する。低液体レベル信号がなけれ
ば、分配装置の空カウントは、ブロック２５０で示すよ
うに所定値にリセットし、サブルーチンは呼びルーチン
に戻る。低液体レベルセンサが低液体レベルを示すなら
ば、ブロック２５２で示すように、コントローラ１４は
空貯蔵器に導く入口弁の１つを制御するタイマの１つを
補充用所定時間間隔にプログラムする。タイマのプログ
ラミング後補充割込みが使用可能にされ、信号がコント
ローラ１４により空貯蔵器に導いている三方弁４８に送
られて、それを空貯蔵器及び弁６４と真空ベンチュリ５
６を連通している真空位置におき、上述の如く圧縮ガス
を真空ベンチュリ５６を通して流し、導管５４従って貯
蔵器１２を真空又は低圧とし、タイマで制御される選択
された入口弁２２ａ、２２ｂ及び２２ｃを、ブロック２
５４で示すように、タイマからの信号により開放し、貯
蔵器１２にある減圧により空貯蔵器に液体を流す。補充
割込みを使用可能にし、真空ベンチュリを動作させ、選
択した入口弁を開いた後、低液体レベル信号がブロック
２５６で示すように認知され、サブルーチンが呼びプロ
グラムに戻る。

【００７３】又、アルゴリズムに示していないが、補充
に必要な分配装置の三方弁をその真空位置におく代わり
に、コントローラ１４により信号をサーボ弁８１に送
り、それを圧力調整器４２と連絡しているコントローラ
１４に沿って開き、所定圧力のガス状液体をオペレータ
によりプログラムさせ、導管８３を通して流し、選択し
た液体供給源に対して作用し、充填すべき貯蔵器に開弁
を通して液体を流す。

【００７４】分配装置の１つの液体レベルセンサ３６が
高液体レベルを示す信号を貯蔵器１２に送るとき、図４
のブロック１６４及び２５８で示すように、高検知モジ
ュールが呼ばれる。図１２において、、高検知サブルー
チンモジュールを示す。モジュールが入るとブロック２
６０で示すように、コントローラ１４はまず高液体レベ
ル信号があるかどうかを検査する。高液体レベル信号が
なければ、その後サブルーチンは呼びルーチンに戻る。
高液体レベル信号があれば、コントローラ１４は、信号
を満杯の貯蔵器の真空ベンチュリ５６を不動作としてい
る弁６４に送ると共に、信号を選択した入口弁に送って
それを閉成し、ブロック２６２に示すように補充割込み
を使用禁止する。ベンチュリをターンオフし、入口弁を
閉成し、補充割込みを使用禁止した後、ブロック２６４
で示すように補充タイマは所定時間間隔にリセットされ
る。補充タイマをリセット後、判断ブロック２６６で示
すように、満杯の貯蔵器に対する貯蔵器空警報をオンし
たかどうかを見るため検査する。貯蔵器空警報がオンな
らば、ブロック２６８で示すように警報が非空状態にリ
セットされる。貯蔵器空警報状態を検査後、コントロー
ラ１４は、ブロック２７０で示すように、選択された貯
蔵器が空としてメモリにフラグを立てているかどうかを
検査する。貯蔵器が空としてフラグを立てていたなら
ば、フラグはリセットされ、ブロック２７２に示すよう
に、選択された貯蔵器が今や満杯であることを示す。貯
蔵器が空としてフラグを立てているかどうかを検査した
後、ブロック２７４で示すように、補充貯蔵器の空カウ
ントはプログラム値にリセットされ、サブルーチンが呼
びプログラムに戻る。

【００７５】充填されつつある貯蔵器が所定時間間隔内
で満たされないとき、選択した入口にある液状化学品供
給源がコントローラ１４により空を考慮され、図１３に
示す補充割込みモジュールが呼ばれる。図１３におい
て、補充割込みモジュールが呼ばれるとき、貯蔵器に導
いている入口に接続された利用可能な液状化学品供給源
の数が決定される。ブロック２７６で示すように、液体
供給源の１つが今や空であることを示す。利用可能な液
状化学品供給源の数をデクリメントした後、ブロック２
７８で示すように残りの液状化学品供給源の数が零に等
しいかどうかの検査を行い、分配装置の液体供給源が全
て空であることを示す。残りの液状化学品供給源の数が
零に等しければ、ブロック２８０で示すように、貯蔵器
を満たすために動作した真空ベンチュリ５６は不動作と
され、選択された入口弁はコントローラ１４からの信号
を通して閉成される。ベンチュリの不動作且つ選択した
入口弁のターンオフ後、ブロック２８２で示すように、
補充タイマはターンオフされる。補充タイマのターンオ
フ後、ブロック２８４で示すように、その貯蔵器に至る
化学的液体供給源の全てが空であることを表わすメイン
プログラムにパラメータを通す。メインプログラムにパ
ラメータを通過後、ブロック２８６で示すように、補充
割込みを使用禁止し、サブルーチンは割込みが起きてい
る呼びプログラムのアドレスに戻る。

【００７６】液状化学品供給源の数が零に等しくなけれ
ば、ブロック２８８で示すように、選択された入口弁は
閉成され、満杯とすべき貯蔵器に至るその他の入口弁は
コントローラ１４からの信号を通して開かれ、貯蔵器は
他の液体供給源から満たし続けられる。好ましくは、こ
の切換えは４つの個所の入口間で生じる。空の入口を閉
成しその他の入口弁を開いた後、ブロック２９０で示す
ように、開いた入口弁を制御している補充タイマは貯蔵
器を満たす所定の時間間隔に設定され、サブルーチンは
割込みが生じている呼びプログラムのアドレスに戻る。

【００７７】分配装置の較正が必要とされるとき、図４
に示すように較正モードが選択され、ブロック２９２で
示すように較正ルーチンが呼び出され、ステップカウン
タが零をステップし始め、どの分配装置を較正すべきか
を示すパラメータを通す。図８において、較正モードが
詳細に示される。まずブロック２９４で示すように、コ
ントローラ１４は較正すべき分配装置のステップカウン
タがステップ零を示すかどうかを検査する。ステップカ
ウンタがステップ零を示すとき、ブロック２９６で示す
ように、コントローラ１４は較正すべき分配装置に接続
されたホスト処理装置を使用禁止する信号と共に較正す
べき分配装置の全ての入口及び出口弁をそれ等の閉成位
置に戻す信号を送る。ホスト処理装置を使用禁止し、全
ての弁を閉成した後、ブロック２９８で示すように信号
を分配装置の三方弁４８に送り、弁をその圧力位置に動
かし、貯蔵器の圧力を３プサイに設定することにより、
コントローラ１４は較正すべき分配装置の圧力調整器４
２をその貯蔵器と連絡する。圧力を設定し、圧力をター
ンオン後、ブロック３００で示すように、コントローラ
１４は、オペレータ用の情報を表示する。オペレータへ
の情報の表示後、コントローラ１４は、夫々１分配装置
当りの情報を含むポインタレジスタを次の分配装置に対
してインクリメントし、ステップカウンタを１ステップ
だけインクリメントして呼びプログラムへ戻る。

【００７８】判断ブロック３０４で示すようにステップ
カウンタがステップ１を示すならば、較正すべき分配装
置に接続された圧力調整器４２は、ブロック３０６で示
すように１５プサイの圧力に設定され、この情報はブロ
ック３０８で示すようにオペレータに表示される。ブロ
ック３０２で示すように、ポインタレジスタは次の分配
装置に対してインクリメントされ、ステップカウンタは
１ステップだけインクリメントされ、サブルーチンはメ
イン呼びルーチンに戻る

【００７９】判断ブロック３１０で示すように、ステッ
プカウンタがステップ２を示すならば、コントローラ１
４は、較正すべき分配装置の圧力調整器４２と連絡し、
ブロック３１２で示すように、その圧力を１０プサイに
設定する。圧力を１０プサイに設定した後、コントロー
ラ１４は、ブロック３１４で示すように、圧力が１０プ
サイに設定されていることを示す情報を表示する。オペ
レータへの情報の表示後、ブロック３１６で示すよう
に、ステップカウンタはステップ３にインクリメントさ
れ、ブロック３０２で示すうに、ポインタレジスタは次
の分配装置に対してインクリメントされ、サブルーチン
はメインプログラムに戻る。

【００８０】判断ブロック３１８で示すように、ステッ
プカウンタがステップ３を示すならば判断ブロック３２
０で示すように、キーボードを通して「１」又は「０」
が入力されたかどうかの検査がなされる。入力がなされ
なければ、ブロック３０２で示すように、ポインタレジ
スタは次の分配装置に対してインクリメントされ、サブ
ルーチンは呼びプログラムに戻る。「０」が入力される
と、ブロック３２２で示すように、コントローラ１４は
信号を圧力調整器４２に送り、圧力を０．１５プサイだ
け低くさせる。圧力を下げた後、ブロック３０２で示す
ように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してイン
クリメントされ、サブルーチンは呼びプログラムに戻
る。「１」がキーボードを通して入力されると、ブロッ
ク３２４で示すように、コントローラ１４は信号を圧力
調整器４２へ送り、印加される圧力を０．１５プサイだ
け増加させる。圧力の増加後ブロック３０２に示すよう
に、ポインタレジスタは次の分配装置に対してインクリ
メントされ、サブルーチンは呼びプログラムに戻る。分
配装置がオペレータに対して１０プサイを示すときはい
つでも、オペレータはキーボードを通して適当な入力を
選択し、このキーボードはコントローラ１４と連絡して
ステップカウンタをステップ４にインクリメントさせ
る。

【００８１】判断ブロック３２６で示すように、ステッ
プカウンタがステップ４を示すならば、ブロック３２８
で示すように、コントローラ１４は、圧力調整器４２の
コイルにかかる電流を読み取り、貯蔵器へ印加される圧
力の値を決定し、読み取られた圧力の値をオペレータに
より入力されたプリセットテーブル値の間の差を計算す
る。差を見い出した後、ブロック３３０で示すように、
読み取った値がプリセットテーブル値に対するオフセッ
トとしてメモリにたくわえられる。読み取った値を格納
した後、ブロック３３２で示すように、ステップカウン
タはステップ５までインクリメントされる。

【００８２】判断ブロック３３４で示すように、ステッ
プカウンタがステップ５を示すならば、ブロック３３６
で示すように、コントローラ１４は圧力調整器４２と連
絡し、ブロック３３６で示すように、貯蔵器に印加すべ
き圧力を３プサイに設定する。圧力の設定後、ブロック
３３８で示すように、貯蔵器用補充タイマは３秒に設定
される。タイマ設定後、ブロック３４０で示すように、
較正割込みが使用可能にされる。割込み使用可能後、ブ
ロック３４２で示すように、圧力情報及びタイマ情報が
ターミナル又はその他の適当な手段によりオペレータ検
査のため表示される。オペレータに対する情報の表示
後、ブロック３４４で示すように、ステップカウンタ
は、ステップ６までインクリメントされる。ステップカ
ウンタのインクリメント後、ブロック３４６で示すよう
に、ポインタレジスタはインクリメントされて次の分配
装置を選択し、サブルーチンは呼びプログラムに戻る。

【００８３】ブロック３４８で示すように、ステップカ
ウンタがステップ６を示すならば、ブロック３４６で示
すように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してイ
ンクリメントされ、サブルーチンはメインプログラムに
戻る。ブロック３４８で示すように、ステップカウンタ
が６より大きなステップ値を示すならば、致命的なエラ
ーが現れ、ブロック３５０で示すように、ソフトブーツ
パワーオンが実行され、図４のブロック３５２で示すよ
うにプログラムをパワーオンサイクルにジャンプさせ、
総合分配装置が再開始される。

【００８４】ブロック３３８又は３６８のタイマセット
が尽きると較正割込みルーチンモジュールが入力され
る。図９において、較正割込みサブルーチンを示す。ル
ーチンが呼ばれると、ブロック３５４で示すように、コ
ントローラ１４は圧力センサ４６にある圧力の値を読み
取り、メモリのセンサテーブルに読み取った圧力の値を
記憶する。圧力の読み取り後、ブロック３５６で示すよ
うに、コントローラ１４は圧力調整器４２と連絡し、圧
力調整器４２に貯蔵器に印加される圧力を１プサイだけ
増加させる。圧力の増加後、ブロック３５８で示すよう
に、コントローラ１４は圧力センサ４６の圧力を読み取
り、圧力の値が１５プサイより大きいかどうかを検査す
る。圧力の値が１５プサイより大きければ、補充タイマ
はブロック３６０で示すようにターンオフし、較正割込
みがブロック３６２で示すように、使用禁止し、較正分
配装置がそのランモードに置かれ、そのランモード状態
がブロック３６４で示すようにコントローラ１４の表示
器に示される。較正分配装置をそのランモードに置いた
後、コントローラ１４は、その圧力調整器４２と連絡
し、ブロック３６６で示すように、貯蔵器に印加すべき
圧力をターンオフさせ、割込みモジュールは割込みが起
きた呼びプログラムのアドレスに戻る。

【００８５】圧力センサ４６で検出された圧力の値が１
５プサイより大きくなければ、タイマはブロック３６８
で示すように、付加的な１秒の間再プログラムし、較正
割込みルーチンは較正割込みが生じたとき呼びプログラ
ムのアドレスに戻る。

【００８６】１つの分配装置を不動作にしたいとき、図
４に示すように放棄モードが選択され、ブロック３６８
で示すように、放棄ルーチンモードが呼び出され、どの
分配装置を不動作にすべきかを示すパラメータを通す。
図７において、放棄モードを詳細に示す。まずコントロ
ーラ１４は信号を不動作とすべき分配装置のホスト処理
装置に送り、ブロック３７０で示すように、接続された
ホスト処理装置を使用禁止する。ホスト処理装置を使用
禁止後、コントローラ１４は閉成信号を不動作とすべき
分配装置の全ての入口弁及び出口弁に送り、ブロック３
７２で示すように、全ての入口弁及び出口弁を閉成させ
る。全ての入口弁及び出口弁を閉成した後夫々１つの分
配装置を表わすデータを含むポインタレジスタはブロッ
ク３７４で示すように、次の分配装置に対してインクリ
メントされ、放棄サブルーチンはメインプログラムに戻
る。

【００８７】図１４〜３４において、連動的に動作する
キーボード割込みルーチンをその個別のサブルーチンと
共に示す。キーボードのキーの１つがオペレータにより
押されてある動作モードを選択すると、分配装置の動作
又はその他の理由を制御するためのパラメータを入力
し、押されたキーを読み取るのにキーボード割込みが呼
び出され、その値をコントローラ１４に通して分配装置
の動作の制御に使用する。アルゴリズムがコード化され
る用語に応じて、図１４〜３４の入力アルゴリズムは必
要ない。

【００８８】この発明の上記開示及び説明は例示的なも
のであり、この発明の要旨を逸脱することなく例示した
装置の方法及び詳細において種々の変更を成し得る。

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１５】

【図２８】

【図１】

【図２】

【図５】

【図７】

【図３０】

【図３】

【図４】

【図６】

【図９】

【図１１】

【図８】

【図１０】

【図１６】

【図１７】

【図１２】

【図１３】

【図１８】

【図２４】

【図１４】

【図１９】

【図２０】

【図２５】

【図２１】

【図２２】

【図２６】

【図３４】

【図２３】

【図２７】

【図２９】

【図３１】

【図３２】

【図３３】

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 或る量の液体が入っている貯蔵器手段
   と、前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す
   要求信号を受けるようになっている制御用プロセッサ手
   段と、このプロセッサ手段によって制御され且つ前記貯
   蔵器手段に接続され、所要時に前記貯蔵器手段へ圧力を
   加えて前記液体に逆らって作用するための流体圧力手段
   と、前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が前
   記液体に逆らって作用する圧力を加えるときに液体の一
   部を通過させる少なくとも１つの出口と、を備え、前記
   プロセッサ手段は、前記要求信号に応答して前記流体圧
   力手段へ信号を送り、前記流体圧力手段に前記液体に逆
   らって作用する圧力を加えさせる液体分配装置。 【請求項２】 前記流体圧力手段は、前記圧力を加える
   ための信号によって動作されるが、前記プロセッサ手段
   からの第２の信号によって不動作にされ、そして前記貯
   蔵器手段への少なくとも１つの入口であって、その各々
   が液体供給源に接続され、前記貯蔵器手段へ前記量の液
   体を供給するための前記入口と、各入口と共に含まれ、
   特定の液体供給源を選択するため各入口が個々に選択さ
   れ得るように各入口を別々に開閉するための入口弁手段
   と、を更に備え、各入口弁手段は、前記プロセッサ手段
   によって別々に制御され、且つ前記プロセッサ手段から
   の開放信号に応答して開位置に、又、前記プロセッサ手
   段からの閉成信号に応答して閉位置に動くことができ、
   前記プロセッサ手段は、前記流体圧力手段が不作動にさ
   れて前記貯蔵器手段を前記量の液体で満たすときに前記
   開放信号を選択された入口弁手段へ送る請求項１の液体
   分配装置。 【請求項３】 前記貯蔵器手段に隣接し、前記貯蔵器手
   段中の液体レベルを検知するための液体レベルセンサ手
   段を更に備え、前記プロセッサ手段は、前記液体レベル
   センサ手段が前記貯蔵器手段中の低い液体レベルを検知
   するときに前記液体レベルセンサ手段から第１の液体レ
   ベル信号を受けるようになっており、前記第１の液体レ
   ベル信号に応答して前記開放信号を選択された入口弁手
   段に送って前記選択された入口弁手段をその開位置に動
   かせ且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記選
   択された液体供給源を前記貯蔵器手段に連通させる請求
   項２の液体分配装置。 【請求項４】 各出口と共に含まれ、各出口が個々に選
   択され得るように各出口を別々に開閉するための出口弁
   手段を更に備え、各出口弁手段は、前記プロセッサ手段
   によって別々に制御され、且つ前記プロセッサ手段から
   の開放信号によって液体を選択された出口に通すための
   開位置に、又、第２の閉成信号によって前記選択された
   出口を通る流路をふさぐ閉位置に動くことができる請求
   項１の液体分配装置。 【請求項５】 前記流体圧力手段は、更に各液体供給源
   の近くに置かれ、所要時に選択された液体供給源に作用
   するための圧力を供給し、前記プロセッサ手段は、前記
   流体圧力手段が不作動のときに前記第１の液体レベル信
   号に応答して充填信号を前記流体圧力手段へ送り、これ
   により前記選択された液体供給源に作用する圧力を前記
   流体圧力手段に選択的に供給させ且つ前記選択された液
   体供給源から前記選択された入口を通して前記貯蔵器手
   段へ前記液体を流させる請求項３の液体分配装置。 【請求項６】 前記プロセッサ手段によって制御され且
   つ前記貯蔵器手段に接続された真空手段を更に含み、前
   記プロセッサ手段は、前記流体圧力手段が不作動である
   ときに前記第１の液体レベル信号に応答して充填信号を
   前記真空手段へ送り、これにより前記真空手段に前記貯
   蔵器手段への吸引力を加えさせて前記選択された液体供
   給源から液体を引き出し前記選択された入口を通して前
   記貯蔵器手段へ送る請求項３の液体分配装置。 【請求項７】 前記プロセッサ手段は、更に前記液体レ
   ベルセンサ手段が前記貯蔵器手段中の高い液体レベルを
   検知するときに前記液体レベルセンサ手段から第２の液
   体レベル信号を受けるようになっており、前記プロセッ
   サ手段は、前記第２の液体レベル信号に応答して第２の
   充填信号を前記選択された入口弁手段に送って前記選択
   された液体供給源と前記貯蔵器手段の連通を更にふさぐ
   前記閉位置へ前記選択された入口弁手段を動かす請求項
   ３の液体分配装置。 【請求項８】 前記貯蔵器手段と前記真空手段の間で前
   記高い液体レベルよりも上方に配置され、前記プロセッ
   サ手段に接続された液体オーバフロー検知手段を含む排
   気インタロック手段を更に備え、前記液体オーバフロー
   検知手段は、前記排気インタロック手段の近くの液体を
   検出するときに前記プロセッサ手段へオーバフロー信号
   を送る請求項７の液体分配装置。 【請求項９】 前記貯蔵器手段と前記出口の間のフィル
   タ手段と、前記プロセッサ手段によって制御される警報
   手段と、前記フィルタ手段を横切る圧力の低下を検知す
   ると共に、前記流体圧力手段が前記要求信号に応答して
   作動され且つ液体が前記出口を通して前記貯蔵器手段か
   ら分配されるときに、前記フィルタ手段を横切る圧力の
   低下を示す少なくとも１つのフィルタ信号を発生するた
   めの手段と、を更に備え、前記プロセッサ手段は、前記
   フィルタ信号を受けてこれを、圧力低下を表す有用な値
   に変換し、この有用な値を所定の値と比較し、前者が後
   者を超えるときに警報作動信号を前記警報手段に送り、
   この警報手段を作動させる請求項１の液体分配装置。 【請求項１０】 前記警報手段が可視式である請求項９
   の液体分配装置。 【請求項１１】 前記警報手段が可聴式である請求項９
   の液体分配装置。 【請求項１２】 前記出口の付近の前記貯蔵器手段に接
   続されて前記出口の付近の液体の圧力を検知すると共
   に、前記プロセッサ手段に接続されて前記出口の付近の
   液体の圧力を示す圧力信号を前記プロセッサ手段へ送る
   ための圧力検知手段を更に備え、前記プロセッサ手段
   は、前記圧力信号を表わす値を前記圧力の予め選択され
   た値と比較し、これら比較される両方の値が所定の許容
   値を超えるときに前記流体圧力手段に信号を発し、予め
   選択された圧力と一致するように前記出口の付近の圧力
   を変える請求項１の液体分配装置。 【請求項１３】 前記貯蔵器手段と前記出口の間に存在
   し、前記予め選択された圧力で或る選択された流量の液
   体を供給するための手段を更に備えた請求項１２の液体
   分配装置。 【請求項１４】 前記或る選択された流量の液体を供給
   するための手段がオリフィスである請求項１３の液体分
   配装置。 【請求項１５】 前記貯蔵器手段と前記出口の間にフィ
   ルタ手段を更に備え、前記圧力検知手段は、前記フィル
   タ手段と前記出口の間の下流位置に存在する前記貯蔵器
   手段に接続される請求項１２の液体分配装置。 【請求項１６】 前記プロセッサ手段がマイクロプロセ
   ッサである請求項１の液体分配装置。 【請求項１７】 或る量の液体が入っている貯蔵器手段
   と、前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す
   要求信号を受けるようになっている制御用プロセッサ手
   段と、このプロセッサ手段によって制御され且つ前記貯
   蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手
   段によって受けられるときに前記プロセッサ手段からの
   第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ
   加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ特
   定量の液体を分配させるための流体圧力手段と、前記プ
   ロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接
   続され、前記ポンプ手段が作動されるときに前記特定量
   の液体を通過させる出口手段と、前記貯蔵器手段に隣接
   してその中の低い液体レベルを検知し、この低い液体レ
   ベルが検知された低液体レベル信号を前記プロセッサ手
   段へ送るためのセンサ手段と、液体供給源に接続された
   前記貯蔵器手段への且つ前記プロセッサ手段によって制
   御される入口手段と、を備え、前記プロセッサ手段は、
   前記特定量の液体が分配されるときに第２の信号を前記
   流体圧力手段に送って前記流体圧力手段を不作動にし、
   又、前記プロセッサ手段が前記低液体レベル信号を受け
   且つ前記ポンプ手段が不作動であるときに開放信号を送
   って前記入口手段を開く液体分配装置。 【請求項１８】 前記プロセッサ手段によって制御され
   且つ前記貯蔵器手段に接続された真空手段を更に含み、
   前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受け且
   つ前記ポンプ手段が不作動であるときに前記低液体レベ
   ル信号に応答して充填信号を前記真空手段へ送り、これ
   により前記真空手段に前記貯蔵器手段への吸引力を加え
   させて前記液体供給源から液体を引き出し、前記入口手
   段を通して前記貯蔵器手段へ送る請求項１７の液体分配
   装置。 【請求項１９】 前記液体供給源に接続され且つ前記プ
   ロセッサ手段によって制御される流体圧力手段を更に備
   え、前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受
   け且つ前記ポンプ手段が不作動であるときに前記低液体
   レベル信号に応答して充填信号を前記流体圧力信号へ送
   り、これにより前記流体圧力手段に前記液体供給源に逆
   らう圧力を加えさせ、前記液体供給源から前記入口手段
   を通して前記貯蔵器手段へ液体を行かせる請求項１７の
   液体分配装置。 【請求項２０】 前記プロセッサ手段がマイクロプロセ
   ッサである請求項１７の液体分配装置。 【請求項２１】 或る量の液体が入っている貯蔵器手段
   と、前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す
   要求信号を受けるようになっている制御用プロセッサ手
   段と、このプロセッサ手段によって制御され且つ前記貯
   蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手
   段によって受けられるときに前記プロセッサ手段からの
   第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ
   加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ特
   定量の液体を分配させるための液体圧力手段と、前記プ
   ロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に個
   々に接続される少なくとも１つの出口手段と、前記貯蔵
   器手段に隣接してその中の低い液体レベルを検知するセ
   ンサ手段と、前記貯蔵器手段への少なくとも１つの入口
   手段であって、その各々が別々の液体供給源に接続され
   且つ前記プロセッサ手段によって個別に制御される前記
   入口手段と、を備え、前記プロセッサ手段は、前記特定
   量の液体が分配されるときに第２の信号を前記流体圧力
   手段に送って前記流体圧力手段を不作動にし、前記流体
   圧力手段が前記液体に逆らって作用する圧力を加えると
   きに前記特定量の液体が通過する前記出口手段のうちの
   選択された出力手段を開き且つ前記特定量の液体が前記
   選択された出口手段を通過したときに前記選択された出
   口手段を閉じ、前記センサ手段が前記貯蔵器手段中の低
   い液体レベルを検知するときに前記センサ手段から低液
   体レベル信号を受けるようになっており、そして前記プ
   ロセッサ手段が前記低液体レベル信号を受け且つ前記流
   体圧力手段が不作動であるときに前記入口手段の選択さ
   れた入口手段を開くための信号を送る液体分配装置。 【請求項２２】 前記プロセッサ手段によって制御され
   且つ前記貯蔵器手段に接続された真空手段を更に含み、
   前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受け且
   つ前記ポンプ手段が不作動であるときに前記低液体レベ
   ル信号に応答して充填信号を前記真空手段へ送り、これ
   により前記真空手段に前記貯蔵器手段への吸引力を加え
   させて前記選択された入口手段に接続された前記液体供
   給源から液体を引き出し、前記選択された入口手段を通
   して前記貯蔵器手段へ送る請求項２１の液体分配装置。 【請求項２３】 前記流体圧力手段は更に各液体供給源
   の近くに接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御
   され、前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を
   受け且つ前記ポンプ手段が不作動であるときに前記低液
   体レベル信号に応答して充填信号を前記流体圧力信号へ
   送り、これにより前記流体圧力手段に、前記選択された
   入口手段に存在する前記液体供給源に逆らう圧力を加え
   させ、前記液体供給源から前記選択された入口手段を通
   して前記貯蔵器手段へ液体を行かせる請求項２１の液体
   分配装置。 【請求項２４】 前記プロセッサ手段がマイクロプロセ
   ッサである請求項２１の液体分配装置。 【請求項２５】 或る量の液体が入っている貯蔵器手段
   と、前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す
   要求信号を受けるようになっている制御用プロセッサ手
   段と、このプロセッサ手段によって制御され且つ前記貯
   蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手
   段によって受けられるときに前記プロセッサ手段からの
   第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ
   加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ液
   体を分配させるための流体圧力手段と、前記プロセッサ
   手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、
   前記ポンプ手段が作動されるときに前記液体を通過させ
   る出口手段と、この出口手段の前に存在して、前記出口
   手段を通過した前記液体を濾過するためのフィルタ手段
   と、前記貯蔵器手段に接続され且つ前記プロセッサ手段
   によって制御され、前記流体圧力手段が不作動であると
   きに前記プロセッサ手段からの排出信号によって作動さ
   れて前記貯蔵器手段中の前記液体に作用している圧力を
   除くための排出手段と、を備えた液体分配装置。 【請求項２６】 前記出口手段の近くで且つ前記フィル
   タ手段の前で前記液体の圧力を検知すると共に、前記プ
   ロセッサ手段に接続されて液体が前記出口手段を通過さ
   せられるときに前記フィルタ手段の両端間の圧力の低下
   を示す少なくとも１つの圧力信号を前記プロセッサ手段
   へ送るための圧力検知手段を更に含み、前記プロセッサ
   手段は、前記圧力信号を受けてこれを前記圧力低下を表
   わす有用な値に変換すると共に、前記有用な値を所定値
   と比較し、そして更に、前記有用な値が前記所定値を超
   えるときに前記プロセッサ手段からの警報信号によって
   作動される警報手段を含む請求項２５の液体分配装置。 【請求項２７】 前記排出手段は、前記貯蔵器手段に接
   続され且つ前記プロセッサ手段によって制御される真空
   ベンチュリ手段を備え、この真空ベンチュリ手段は、前
   記プロセッサ手段からのベンチュリ信号によって作動さ
   れ、前記貯蔵器手段を低下した圧力まで排出する請求項
   ２５の液体分配装置。 【請求項２８】 前記排出手段は、前記貯蔵器手段に接
   続された真空ベンチュリ手段およびこの真空ベンチュリ
   手段と前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵
   器手段との間に存在する弁手段を備え、前記真空ベンチ
   ュリ手段は、前記プロセッサ手段が前記弁手段へ開放信
   号を送るときに前記貯蔵器手段を大気圧にもたらす請求
   項２５の液体分配装置。 【請求項２９】 或る量の液体が入っている貯蔵器手段
   と、前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す
   要求信号を受けるようになっている制御用プロセッサ手
   段と、このプロセッサ手段によって制御され且つ前記貯
   蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手
   段によって受けられるときに前記プロセッサ手段からの
   第１の信号によって作動され、或る量の液体を分配させ
   るためのポンプ手段と、前記プロセッサ手段によって制
   御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記ポンプ手段
   が作動されるときに前記液体を通過させる出口手段と、
   この出口手段の前に存在して、前記出口を通過した前記
   液体を濾過するためのフィルタ手段と、前記出口手段の
   近くに存在して前記出口手段の近くの且つ前記フィルタ
   手段の前の前記液体の圧力を検知すると共に、前記プロ
   セッサ手段に接続されて液体が前記出口手段を通過させ
   られるときに前記フィルタ手段の両端間の圧力の低下を
   示す少なくとも１つの圧力信号を前記プロセッサ手段へ
   送るための圧力検知手段と、を備え、前記プロセッサ手
   段は、前記圧力信号を受けてこれを前記圧力低下を表わ
   す有用な値に変換すると共に、前記有用な値を所定値と
   比較する液体分配装置。 【請求項３０】 前記ポンプ手段は、前記プロセッサ手
   段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続された流
   体圧力手段を備え、この流体圧力手段は、前記要求信号
   が前記プロセッサ手段によって受けられるときに前記プ
   ロセッサ手段からの前記第１の信号によって作動され、
   圧力を前記貯蔵器手段に加えて前記貯蔵器手段中の前記
   液体に逆らって作用し且つ液体を分配させる請求項２９
   の液体分配装置。 【請求項３１】 或る量の液体が入っている貯蔵器手段
   と、前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す
   要求信号を受けるようになっている制御用プロセッサ手
   段と、このプロセッサ手段によって制御され且つ前記貯
   蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手
   段によって受けられるときに前記プロセッサ手段からの
   第１の信号によって作動され、或る量の液体を分配させ
   るためのポンプ手段と、前記プロセッサ手段によって制
   御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記ポンプ手段
   が作動されるときに前記液体を通過させる出口手段と、
   この出口手段の前に存在して、前記出口を通過した前記
   液体を濾過するためのフィルタ手段と、前記出口手段の
   近くに存在して前記出口手段の近くの且つ前記フィルタ
   手段の前の前記液体の圧力を検知すると共に、前記プロ
   セッサ手段に接続されて液体が前記出口手段を通過させ
   られるときに前記フィルタ手段の両端間の圧力の低下を
   示す少なくとも１つのつの圧力信号を前記プロセッサ手
   段へ送るための圧力検知手段と、を備え、前記プロセッ
   サ手段は、前記圧力信号を受けてこれを前記圧力低下を
   表わす有用な値に変換すると共に、前記有用な値を所定
   値と比較し、更に、前記プロセッサ手段によって制御さ
   れると共に前記有用な値が前記所定値を超えるときに前
   記プロセッサ手段からの信号によって作動されるフィル
   タ警報手段、を設けた液体分配装置。 【請求項３２】 前記ポンプ手段は、前記プロセッサ手
   段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続された流
   体圧力手段を備え、この流体圧力手段は、前記要求信号
   が前記プロセッサ手段によって受けられるときに前記プ
   ロセッサ手段からの前記第１の信号によって作動され、
   圧力を前記貯蔵器手段に加えて前記貯蔵器手段中の前記
   液体に逆らって作用し且つ液体を分配させる請求項３１
   の液体分配装置。 【請求項３３】 前記フィルタ警報手段は可聴警報手段
   を備える請求項３１の液体分配装置。 【請求項３４】 前記フィルタ警報手段は可視警報手段
   を備える請求項３１の液体分配装置。 【請求項３５】 或る量の液体が入っている貯蔵器手段
   と、前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す
   要求信号を受けるようになっている制御用プロセッサ手
   段と、このプロセッサ手段によって制御され且つ前記貯
   蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手
   段によって受けられるときに前記プロセッサ手段からの
   第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ
   加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ液
   体を分配させるための流体圧力手段と、前記プロセッサ
   手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、
   前記ポンプ手段が作動されるときに前記液体を通過させ
   る出口手段と、前記貯蔵器手段に接続され且つ前記プロ
   セッサ手段によって制御され、前記流体圧力手段が不作
   動であるときに前記プロセッサ手段からの排出信号によ
   って作動されて前記貯蔵器手段中の前記液体に作用して
   いる圧力を除くための排出手段と、を備え、前記プロセ
   ッサ手段は、前記液体が分配されたときに第２の信号を
   前記流体圧力手段に送って前記流体圧力手段を不作動に
   する流体分配装置。 【請求項３６】 前記排出手段は、前記貯蔵器手段に接
   続され且つ前記プロセッサ手段によって制御される真空
   ベンチュリ手段を備え、この真空ベンチュリ手段は、前
   記プロセッサ手段からのベンチュリ信号によって作動さ
   れ、前記貯蔵器手段を低下した圧力まで排出する請求項
   ３５の液体分配装置。 【請求項３７】 前記排出手段は、前記貯蔵器手段に接
   続された真空ベンチュリ手段およびこの真空ベンチュリ
   手段と前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵
   器手段との間に存在する弁手段を備え、前記真空ベンチ
   ュリ手段は、前記プロセッサ手段が前記弁手段へ開放信
   号を送るときに前記貯蔵器手段を大気圧にもたらす請求
   項３５の液体分配装置。 【請求項３８】 プロセッサ手段と、或る量の液体が入
   っている貯蔵器手段と、この貯蔵器手段中の高い液体レ
   ベルを検知し、この高い液体レベルに達するときに高液
   体レベル信号を前記プロセッサ手段へ送るための手段
   と、前記高い液体レベルよりも上方の前記貯蔵器手段に
   接続され、前記高い液体レベルの上方の液のオーバフロ
   ーを検出するときにオーバフロー信号を前記プロセッサ
   手段へ送るオーバフロー検知用排出インタロック手段
   と、前記貯蔵器手段に接続され、前記貯蔵器手段から液
   体を分配し且つ前記貯蔵器手段に補給すると共に、前記
   プロセッサ手段によって制御される手段と、を備え、前
   記プロセッサは、前記オーバフロー信号が前記プロセッ
   サ信号によって受けられるときに不作動信号を前記分配
   補給手段へ送って前記分配補給手段を不作動にする液体
   分配装置。 【請求項３９】 前記プロセッサ手段がマイクロプロセ
   ッサである請求項３８の液体分配装置。 【請求項４０】 前記分配補給手段は、前記プロセッサ
   手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、
   要求信号が前記プロセッサ手段によって受けられるとき
   に前記プロセッサ手段からの第１の作動信号によって作
   動されて或る量の液体を分配させるためのポンプ手段
   と、前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵
   器手段に接続され、前記ポンプ手段が作動されるときに
   前記液体を通過させる出口手段とを含む請求項３８の液
   体分配装置。 【請求項４１】 前記ポンプ手段は、前記プロセッサ手
   段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続された流
   体圧力手段を備え、この流体圧力手段は、前記要求信号
   が前記プロセッサ手段によって受けられるときに前記プ
   ロセッサ手段からの前記第１の作動信号によって作動さ
   れて圧力を前記貯蔵器手段に加え、前記貯蔵器手段中の
   前記液体に逆らって作用し且つ液体を分配させる請求項
   ４０の液体分配装置。 【請求項４２】 前記分配補給手段は、前記貯蔵器手段
   への入口手段を含み、この入口手段が前記貯蔵器手段に
   補給するための液体供給源に接続される請求項３８の液
   体分配装置。 【請求項４３】 排出インタロック手段は、前記高い液
   体レベルの上方の前記貯蔵器手段に接続された前記チェ
   ンバ手段と、前記プロセッサ手段に接続された前記チェ
   ンバ手段の近くに存在して液体のオーバフローが前記チ
   ェンバ手段中で検出されるときに前記オーバフロー信号
   を前記プロセッサ手段へ送る液体オーバフロー検知手段
   とを備える請求項３８の液体分配装置。 【請求項４４】 前記液体オーバフロー検知手段は容量
   型センサである請求項４３の液体分配装置。 【請求項４５】 プロセッサ手段と、或る量の液体が入
   っている貯蔵器手段と、前記プロセッサ手段によって制
   御され、前記貯蔵器手段に接続されてその中の前記量の
   液体を再び満たすための手段と、前記プロセッサ手段に
   よって制御され、前記貯蔵器手段に制御されて前記貯蔵
   器手段からの或る量の液体を分配するための手段と、を
   備え、前記プロセッサ手段は、前記分配するための手段
   が前記プロセッサ手段によって作動されるときに前記再
   び満たすための手段を不作動にする液体分配装置。 【請求項４６】 前記分配するための手段は、前記プロ
   セッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続
   され、要求信号が前記プロセッサ手段によって受けられ
   るときに前記プロセッサ手段からの信号によって作動さ
   れて液体を分配させるためのポンプ手段と、前記プロセ
   ッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続さ
   れ、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受けら
   れるときに前記プロセッサ手段からの開放信号によって
   開かれる出口手段とを含む請求項４５の液体分配装置。 【請求項４７】 前記分配するための手段は、前記プロ
   セッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵手段に接続さ
   れた流体圧力手段を含み、この流体圧力手段は、要求信
   号が前記プロセッサ手段によって受けられるときに前記
   プロセッサ手段からの信号によって作動されて圧力を前
   記貯蔵器手段に加え、前記貯蔵器手段中の前記液体に逆
   らって作用し且つ液体を分配させ、前記分配するための
   手段は、更に、前記プロセッサ手段によって制御される
   前記貯蔵器手段に接続された出口手段を含み、この出口
   手段は、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受
   けられるときに前記プロセッサ手段からの開放信号によ
   って開かれる請求項４５の液体分配装置。 【請求項４８】 前記再び満たすための手段は、前記プ
   ロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続
   された入口手段を含み、この入口手段は、前記貯蔵器手
   段を再び満たすための液体供給源に更に接続され、前記
   分配するための手段は、前記プロセッサ手段によって制
   御される前記貯蔵器手段に接続された真空ベンチュリ手
   段を更に含み、前記入口手段は、前記プロセッサ手段か
   らの開放信号によって開かれ、前記真空ベンチュリ手段
   は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記
   プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そし
   て前記真空ベンチュリ手段は、作動されたときに前記貯
   蔵器手段中の低下した圧力により前記液体供給源から前
   記量の液体を引き出し前記入口手段を通して前記貯蔵器
   手段へ供給させる請求項４５の液体分配装置。 【請求項４９】 前記再び満たすための手段は、前記プ
   ロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続
   された入口手段を含み、この入口手段は、前記貯蔵器手
   段を再び満たすための液体供給源に更に接続され、前記
   分配するための手段は、前記液体供給源に接続された流
   体圧力手段を更に含み、前記入口手段は、前記プロセッ
   サ手段からの開放信号によって開かれ、前記流体圧力手
   段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前
   記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そ
   して前記流体圧力手段は、作動されたときに前記液体供
   給源中の前記液体に逆らう圧力を加えて前記液体供給源
   から前記量の液体を、前記入口手段を通して前記貯蔵器
   手段へ行かせる請求項４５の液体分配装置。 【請求項５０】 前記再び満たすための手段は、前記貯
   蔵器手段に接続され且つ前記プロセッサ手段によって制
   御される入口手段を含み、この入口手段は、予め圧力が
   加えられた液体供給源に接続されて前記貯蔵器手段を再
   び満たすと共に、前記プロセッサ手段からの開放信号お
   よび前記予め圧力が加えられた液体供給源内の圧力によ
   って開かれ、前記液体供給源中の前記液体を逆らって作
   用し、前記液体供給源からの前記量の液体を、前記入口
   手段を通して前記貯蔵器手段へ行かせる請求項４５の液
   体分配装置。 【請求項５１】 前記プロセッサ手段はマイクロプロセ
   ッサである請求項４５の液体分配装置。 【請求項５２】 或る量の液体を分配するための分配装
   置であって、或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
   前記液体の特定量が必要であることを示す要求信号を受
   けるようになっている制御用プロセッサ手段と、このプ
   ロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接
   続され、所要時に圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記液
   体に逆らって作用するための流体圧力手段と、前記貯蔵
   器手段に接続され、前記流体圧力手段が前記液体に逆ら
   って作用する圧力を加えるときに液体のその部分を通過
   させる出口手段と、前記プロセッサ手段に接続された前
   記出口手段の近くに存在して、前記出口手段の近くの圧
   力を示す圧力信号を前記プロセッサ手段へ送る圧力検知
   手段と、を備え、前記プロセッサ手段は、前記要求信号
   に応答して信号を前記流体圧力手段へ送り、前記流体圧
   力手段に前記液体に逆らって作用する圧力を加えさせ、
   前記圧力信号を有用な値に変換し且つこの値を所定の圧
   力値と比較し、前記出口手段近くの圧力が前記所定の圧
   力値に近いことを前記値が所定の許容値内で示すまで前
   記流体圧力手段によって加えられた圧力を制御する分配
   装置。 【請求項５３】 前記貯蔵器手段と前記圧力検知手段と
   の間にフィルタ手段を更に含む請求項５２の分配装置。 【請求項５４】 前記プロセッサ手段はマイクロプロセ
   ッサである請求項５２の分配装置。 【請求項５５】 或る量の液体を分配するための分配装
   置であって、或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
   前記液体の特定量が必要であることを示す要求信号を受
   けるようになっている制御用プロセッサ手段と、このプ
   ロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接
   続され、所要時に圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記液
   体に逆らって作用するための流体圧力手段と、前記プロ
   セッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続
   され、前記流体圧力手段が前記液体に逆らって作用する
   圧力を加えるときに液体のその部分を通過させる出口手
   段と、前記出口手段の近くに存在して、前記プロセッサ
   手段に制御される前記出口手段を通して前記特定量の液
   体を分配するための手段と、を備えた分配装置。 【請求項５６】 前記特定量の液体を分配するための手
   段は、前記プロセッサ手段に接続された前記出口手段の
   近くに存在する圧力検知手段と、前記液体が通過する前
   記出力手段の近くに存在するオリフィス手段と、前記プ
   ロセッサ手段に含まれ且つ前記出口手段に接続されて所
   定の時間間隔の終りに前記出口を閉じるためのタイミン
   グ手段とを含み、前記圧力検知手段は、前記出口手段近
   くの圧力を示す圧力信号を前記プロセッサ手段へ送り、
   前記プロセッサ手段は、前記圧力信号を有用な値に変換
   してこの値を所定の圧力値と比較し、前記出口手段近く
   の圧力が前記所定の圧力値に近似することを前記値が示
   すまで前記流体圧力手段によって加えられた圧力を制御
   し、そして前記出口手段近くで検知された圧力が前記所
   定の圧力値に近似することを前記値が示すときに開放信
   号を前記出口手段へ送る請求項５５の分配装置。 【請求項５７】 前記貯蔵器手段と前記圧力検知手段と
   の間にフィルタ手段を更に含む請求項５６の分配装置。 【請求項５８】 前記プロセッサ手段はマイクロプロセ
   ッサである請求項５５の分配装置。 【請求項５９】 或る量の液体を分配するための分配装
   置であって、或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
   前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求
   信号を受けるようになっている制御用プロセッサ手段
   と、このプロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵
   器手段に接続され、所要時に圧力を前記貯蔵器手段へ加
   えて前記液体に逆らって作用するための流体圧力手段
   と、前記貯蔵器手段に接続された複数の出口手段と、前
   記貯蔵器手段の近くに存在して、前記貯蔵器手段中の低
   い液体レベルを検知するときに前記プロセッサ手段へ低
   液体レベル信号を送る低液体レベル検知用液体レベルセ
   ンサ手段と、前記貯蔵器手段への複数の入口手段であっ
   て、その各々が個々の液体供給源に接続され且つ前記プ
   ロセッサ手段によって別々に制御される前記入口手段
   と、を備え、前記プロセッサ手段は、前記要求信号に応
   答して信号を前記流体圧力手段へ送り、前記流体圧力手
   段に前記液体に逆らって作用する圧力を加えさせ、前記
   要求信号は、前記液体圧力手段が前記液体に逆らって作
   用する圧力を加えるときに液体の前記部分を通す前記出
   口手段の特定の１つを示し、前記プロセッサ手段は、前
   記低液体レベル信号を受け且つ前記流体圧力手段が不作
   動のときに前記入口手段の選択された入口手段を開くた
   めの開放信号を送る分配装置。 【請求項６０】 貯蔵器から液体を分配する方法であっ
   て、前記貯蔵器に入れられた前記液体の少なくとも一部
   が必要であることを示す要求信号を送るステップと、前
   記要求信号をマイクロプロセッサで受けるステップと、
   前記要求信号が前記マイクロプロセッサで受けられると
   きに前記マイクロプロセッサによって発生された圧力信
   号に応答して前記貯蔵器に入れられた前記液体に圧力を
   加えるステップと、前記貯蔵器に入れられた前記液体に
   加えられた圧力によって前記貯蔵器から液体を分配する
   ステップと、を含む液体分配方法。 【請求項６１】 前記貯蔵器中の低い液体レベルを示す
   低液体レベル信号を送るステップと、前記低液体レベル
   信号を前記マイクロプロセッサで受けるステップと、前
   記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって
   受けられ且つ液体分配ステップが働いていないときに前
   記マイクロプロセッサによって発生された再満信号に応
   答して前記貯蔵器に接続された入口を開き、且つこの入
   口が開いているときに前記入口に存在する液体供給源か
   ら液体を前記貯蔵器に再び満たすステップと、を更に含
   む液体分配方法。 【請求項６２】 前記貯蔵器に再び満たすステップは、
   前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによっ
   て受けられ且つ液体が前記貯蔵器から分配されていない
   ときに前記マイクロプロセッサによって発生された第２
   の再満信号に応答して前記貯蔵器の圧力を低下させるス
   テップと、前記貯蔵器の低下した圧力の作用により、前
   記液体供給源に入れられた或る量の液体を、開かれた入
   口を通して前記貯蔵器に引き出すステップと、を含む請
   求項６１の液体分配方法。 【請求項６３】 前記貯蔵器に再び満たすステップは、
   前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによっ
   て受けられ且つ液体が前記貯蔵器から分配されていない
   ときに前記マイクロプロセッサによって発生された第２
   の再満信号に応答して前記液体供給源に入れられた液体
   に圧力を加えるステップと、前記液体供給源に入れられ
   た液体に加えられた圧力により、前記液体供給源に入れ
   られた或る量の液体を、開かれた入口を通して前記貯蔵
   器に行かせるステップと、を含む液体分配方法。 【請求項６４】 前記貯蔵器中の高い液体レベルを示す
   高液体レベル信号を送るステップと、前記高液体レベル
   信号を前記マイクロプロセッサで受けるステップと、前
   記高液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって
   受けられるときに前記マイクロプロセッサによって発生
   された被充填信号に応答する前記入口を閉じ、且つ前記
   入口が閉じているときに前記液体供給源から液体の別の
   流れを停止させるステップと、を更に含む請求項６１の
   液体分配方法。 【請求項６５】 前記高い液体レベルの上方に液体が存
   在する間前記貯蔵器を監視するステップと、前記高い液
   体レベルの上方に液体が存在することが検出されるとき
   に別の分配充填ステップを停止させるステップと、前記
   高い液体レベルの上方に液体が存在することが検出され
   るときに前記貯蔵器の圧力を低下させるステップと、を
   更に含む液体分配方法。 【請求項６６】 前記貯蔵器の圧力を低下させるステッ
   プは、前記貯蔵器の圧力を大気圧まで低下させることを
   含む請求項６５の液体分配方法。 【請求項６７】 前記貯蔵器と、前記液体分配ステップ
   中前記液体を通過させる出口との間に配置されたフィル
   タ手段により前記液体を濾過するステップと、前記液体
   分配ステップ中前記フィルタ手段の両端間の圧力の低下
   を検知するステップと、を更に含む請求項６０の液体分
   配方法。 【請求項６８】 前記圧力の低下が所定値を超えるとき
   に警報手段を作動させるステップを更に含む請求項６７
   の液体分配方法。 【請求項６９】 前記液体を分配するステップが停止さ
   れるときに前記貯蔵器へ加えた圧力を低下させるステッ
   プを更に含む請求項６０の液体分配方法。 【請求項７０】 前記圧力を低下させるステップは、前
   記貯蔵器へ加えた圧力を大気圧まで低下させることを含
   む請求項６９の液体分配方法。 【請求項７１】 前記圧力を低下させるステップは、前
   記貯蔵器へ加えた圧力を前記大気圧よりも低い圧力まで
   低下させることを含む請求項６９の液体分配方法。 【請求項７２】 前記貯蔵器と、前記液体分配ステップ
   中前記液体を通過させる出口との間に配置されたフィル
   タ手段により前記液体を濾過するステップと、前記液体
   分配ステップ中前記フィルタ手段の両端間の圧力の低下
   を検知するステップと、前記圧力の低下が所定値を超え
   るときに警報手段を作動させるステップと、を更に含む
   請求項６０の液体分配方法。 【請求項７３】 前記分配するステップの前に前記液体
   が通過させられる出口近くで検知された圧力を所定の圧
   力と比較するステップを更に含み、前記検知された圧力
   が前記所定の圧力の所定の許容値内に存在するときに前
   記貯蔵器から液体を分配するステップが起こる請求項６
   ０の液体分配方法。 【請求項７４】 前記分配するステップは、更に、前記
   検知された圧力を表す値を前記所定値と連続して比較す
   るステップと、前記貯蔵器に加えられた圧力を連続して
   変更し、前記分配するステップ中に検知された圧力を表
   す値を前記所定の許容値内に維持するステップと、を含
   む請求項７３の液体分配方法。 【請求項７５】 前記分配するステップは、更に、前記
   液体にオリフィス手段を通過させ、予め選択された流量
   を供給するステップを含む請求項７４の液体分配方法。 【請求項７６】 前記分配するステップは、更に、特定
   量の液体を分配させるために、予め選択された時間間隔
   の終りに前記分配するステップを停止させるステップを
   含む請求項７５の液体分配方法。 【請求項７７】 或る量の液体を分配する方法であっ
   て、要求信号に応答して貯蔵器から或る量の液体を分配
   するステップと、前記液体が前記貯蔵器から分配されて
   いないときに前記貯蔵器を再び満たすステップと、を含
   む液体分配方法。 【請求項７８】 或る量の液体を分配する方法であっ
   て、要求信号をマイクロプロセッサで受けるステップ
   と、前記要求信号が前記マイクロプロセッサで受けられ
   るときに前記マイクロプロセッサによって発生された分
   配信号に応答して貯蔵器から液体を分配するステップ
   と、前記液体のレベルが前記貯蔵器にとって所定の低い
   液体レベルよりも低いときに低液体レベル信号を前記マ
   イクロプロセッサで受けるステップと、前記低液体レベ
   ル信号が前記マイクロプロセッサで受けられ且つ液体が
   前記貯蔵器から分配されていないときに、前記マイクロ
   プロセッサによって発生された充填信号に応答して前記
   貯蔵器を再び満たすステップと、を含む液体分配方法。 【請求項７９】 前記分配するステップは、前記分配信
   号に応答して前記貯蔵器に入れられた液体に圧力を加え
   るステップと、前記貯蔵器に入れられた液体に加えられ
   た圧力によって液体を分配するステップと、を含む請求
   項７８の液体分配方法。 【請求項８０】 前記再び満たすステップは、前記マイ
   クロプロセッサによって発生された前記充填信号に応答
   して真空を前記貯蔵器に与え、これにより液体を前記貯
   蔵器に引き入れて前記貯蔵器を再び満たすステップを含
   む請求項７８の液体分配方法。 【請求項８１】 前記再び満たすステップは、前記マイ
   クロプロセッサによって発生された充填信号に応答して
   前記貯蔵器に接続された液体供給源へ圧力を加え、これ
   により前記液体供給源から前記貯蔵器へ液体を行かせて
   前記貯蔵器を再び満たすステップを含む請求項７８の液
   体分配方法。 【請求項８２】 貯蔵器から或る量の液体を分配する方
   法であって、前記貯蔵器に入れられ且つ前記貯蔵器に接
   続された特定の出口に分配されるべき前記液体の少なく
   とも一部が必要であることを示す要求信号を受けるステ
   ップと、前記要求信号がマイクロプロセッサで受けられ
   るときに前記マイクロプロセッサによって発生された圧
   力信号に応答して前記貯蔵器に入れられた液体に圧力を
   加えるステップと、前記貯蔵器に入れられた液体に加え
   られた圧力により、前記貯蔵器から前記特定の出口を通
   して液体を分配するステップと、前記貯蔵器中の低い液
   体レベルを示す低液体レベル信号を送るステップと、前
   記低液体レベル信号を前記マイクロプロセッサで受ける
   ステップと、前記低液体レベル信号が前記マイクロプロ
   セッサによって受けられ且つ前記液体を分配するステッ
   プが働いていないときに、前記マイクロプロセッサによ
   って発生された再満信号に応答して前記貯蔵器に接続さ
   れた或る選択された入口を開くステップと、この入口が
   開いているときに前記選択された入口に存在する液体供
   給源からの液体で前記貯蔵器を再び満たすステップと、
   を含む液体分配方法。 【請求項８３】 前記再び満たすステップは、前記マイ
   クロプロセッサによって発生された前記充填信号に応答
   して前記貯蔵器へ真空を加え、これにより液体を前記貯
   蔵器へ引き入れて前記貯蔵器を再び満たすステップを含
   む請求項８２の液体分配方法。 【請求項８４】 前記再び満たすステップは、前記マイ
   クロプロセッサによって発生された前記充填信号に応答
   して前記貯蔵器に接続された液体供給源へ圧力を加え、
   これにより前記液体供給源から前記貯蔵器へ液体を行か
   せて前記貯蔵器に再び満たせるステップを含む請求項８
   ２の液体分配方法。 【請求項８５】 貯蔵器から液体を分配する方法であっ
   て、前記貯蔵器に入れられた液体の少なくとも一部が必
   要であることを示す要求信号をマイクロプロセッサで受
   けるステップと、前記要求信号が前記マイクロプロセッ
   サで受けられるときに前記マイクロプロセッサによって
   発生された分配信号に応答して前記貯蔵器に入れられた
   液体を分配するステップと、前記貯蔵器からの前記液体
   を分配しながらフィルタ手段で濾過するステップと、前
   記フィルタ手段の両端間の圧力の低下を表す少なくとも
   １つの信号を前記マイクロプロセッサへ送るステップ
   と、前記圧力の低下を表す信号を、前記圧力の低下を表
   す有用な値に前記マイクロプロセッサ内で変換し且つこ
   の値を前記圧力の低下のための所定値と比較するステッ
   プと、を含む液体分配方法。 【請求項８６】 前記分配するステップは、前記要求信
   号が前記マイクロプロセッサで受けられるときに前記マ
   イクロプロセッサによって発生された前記分配信号に応
   答して前記貯蔵器に入れられた液体に圧力を加えるステ
   ップを含む請求項８５の液体分配方法。 【請求項８７】 前記圧力の低下を表す値が前記所定値
   を超えるときに警報手段を作動させるステップを更に含
   む請求項８５の液体分配方法。 【請求項８８】 貯蔵器から或る量の液体を分配する方
   法であって、前記貯蔵器に入れられた前記液体の少なく
   とも一部が必要であることを示す要求信号をマイクロプ
   ロセッサで受けるステップと、前記要求信号が前記マイ
   クロプロセッサで受けられるときに前記マイクロプロセ
   ッサによって発生された分配信号に応答して前記貯蔵器
   に入れられた前記液体に圧力を加えるステップと、前記
   貯蔵器に入れられた前記液体に加えられた圧力により前
   記貯蔵器から液体を分配するステップと、この分配する
   ステップの終りに前記貯蔵器に加えられた圧力を低下さ
   せるステップと、を含む液体分配方法。 【請求項８９】 前記圧力を低下させるステップは、前
   記圧力を大気圧まで下げることを含む請求項８８の液体
   分配方法。 【請求項９０】 前記圧力を低下させるステップは、前
   記圧力を少なくとも大気圧まで下げることを含む請求項
   ８８の液体分配方法。 【請求項９１】 液体が入っている貯蔵器から或る量の
   液体を分配する方法であって、前記貯蔵器にプリセット
   された高い液体レベルを超えるオーバフローした液体が
   存在するため前記貯蔵器を監視するステップと、前記高
   い液体レベルを超える前記オーバフローした液体の存在
   が検出されるときにどんな分配動作および充填動作も停
   止させるステップと、を含む液体分配方法。 【請求項９２】 前記分配動作は、要求信号が発生され
   るときに前記貯蔵器に入れられた前記液体に圧力を加え
   るステップを含み、そして前記高い液体レベルを超える
   液体の存在が検出されるときに前記貯蔵器の圧力を低下
   させるステップを更に含む請求項９１の液体分配方法。 【請求項９３】 前記貯蔵器の圧力を低下させるステッ
   プは、前記貯蔵器の圧力を大気圧まで下げることを含む
   請求項９２の液体分配方法。 【請求項９４】 液体が入っている貯蔵器から或る量の
   液体を分配する方法であって、前記貯蔵器にプリセット
   された高い液体レベルを超える液体の存在を示すオーバ
   フロー信号をマイクロプロセッサで受けるステップと、
   前記オーバフロー信号が受けられるときに前記マイクロ
   プロセッサによって発生された信号に応答して、前記高
   い液体レベルを超える液体の存在が検出されるときにど
   んな分配動作および充填動作も停止させるステップと、
   を含む液体分配方法。 【請求項９５】 前記分配動作は、前記マイクロプロセ
   ッサによって発生された分配信号に応答して、要求信号
   が前記マイクロプロセッサで受けられるときに前記貯蔵
   器に入れられた液体に圧力を加えるステップを含み、そ
   して前記オーバフロー信号が受けられるときに前記マイ
   クロプロセッサによって発生された低下信号に応答し
   て、前記貯蔵器に加えられた圧力を低下させるステップ
   を更に含む請求項９４の液体分配方法。 【請求項９６】 前記貯蔵器の圧力を低下させるステッ
   プは、前記貯蔵器の圧力を大気圧まで下げることを含む
   請求項９５の液体分配方法。 【請求項９７】 貯蔵器から液体を分配する方法であっ
   て、前記貯蔵器に入れられた液体の少なくとも一部が必
   要であることを示す要求信号をマイクロプロセッサで受
   けるステップと、前記要求信号が前記マイクロプロセッ
   サで受けられるときに、前記マイクロプロセッサによっ
   て発生された分配信号に応答して前記貯蔵器に入れられ
   た液体に圧力を加えるステップと、前記貯蔵器に入れら
   れた液体に加えられた圧力により前記貯蔵器から液体を
   分配するステップと、この分配するステップよりも前に
   前記液体が通過する出口の近くで検知された圧力を表す
   圧力信号を前記マイクロプロセッサで受けるステップ
   と、前記検知された圧力を表す値を所定の圧力値と前記
   マイクロプロセッサにて比較するステップと、前記検知
   された圧力を表す値が前記所定の圧力値の所定の許容値
   内にあるときに開放信号を送って液体を分配するための
   前記出口を開くステップと、を含む液体分配方法。 【請求項９８】 前記分配するステップは、更に、前記
   分配するステップ中前記圧力信号を前記マイクロプロセ
   ッサで連続して受けるステップと、前記分配するステッ
   プ中前記検知された圧力を表す値を前記所定値と前記マ
   イクロプロセッサにて連続して比較するステップと、を
   含む請求項９７の液体分配方法。 【請求項９９】 前記分配するステップは、前記液体が
   分配されるときに、オリフィス手段を通して予め選択さ
   れた流量を与えるように前記液体を通過させるステップ
   を更に含む請求項９８の液体分配方法。 【請求項１００】 前記分配するステップは、特定量の
   液体を分配するために、予め選択された時間間隔の終り
   に前記分配するステップを停止させるステップを更に含
   む請求項９９の液体分配方法。 【請求項１０１】 前記液体を分配しながら濾過するス
   テップを更に含む請求項９７の液体分配方法。 【請求項１０２】 或る量の液体を分配する方法であっ
   て、要求信号をマイクロプロセッサで受けるステップ
   と、前記要求信号が前記マイクロプロセッサで受けられ
   るときに、前記マイクロプロセッサによって発生された
   分配信号に応答して貯蔵器から特定量の液体を分配する
   ステップと、前記液体のレベルが前記貯蔵器の所定の低
   い液体レベルを下回るときに低液体レベル信号を前記マ
   イクロプロセッサで受けるステップと、前記低液体レベ
   ル信号が前記マイクロプロセッサで受けられるときに前
   記要求信号に応答して前記貯蔵器から特定量の液体を分
   配し続けるステップと、前記低液体レベル信号が前記マ
   イクロプロセッサで受けられた後に起こる分配のためア
   キュームレータを１だけ増すステップと、前記アキュー
   ムレータを前記貯蔵器の所定の空カウントと比較するス
   テップと、前記アキュームレータが前記貯蔵器の前記所
   定の空カウントを超えるときに前記分配するステップを
   停止させるステップと、前記低液体レベル信号が前記マ
   イクロプロセッサで受けられ且つ液体が前記貯蔵器から
   分配されていないときに、前記マイクロプロセッサによ
   って発生された充填信号に応答して前記貯蔵器を再び満
   たすステップと、を含む液体分配方法。