CN112108453A - 超声波处理装置以及超声波处理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种超声波处理装置以及超声波处理方法，能够有效且均匀地对被处理物进行超声波处理。超声波处理装置，用于对被处理物进行超声波处理，包含：处理槽，其装入第1液体；流路，其被配置成在所述处理槽内与所述第1液体接触，并且流过被处理物以及第2液体；以及超声波谐振器，其被设置于所述处理槽，所述流路具有间隔地与从所述超声波谐振器发出的超声波的行进方向至少相交2次，该间隔是该超声波的波长的1/2的整数倍±5％以内。
Description
技术领域
本发明涉及一种超声波处理装置以及超声波处理方法。
背景技术
以往，超声波处理被广泛利用于为了在液体中对被处理物进行清洗或者表面处理，或者确保被处理物(例如粉体、液体)在液体介质中的分散性并使其提高。例如，在半导体装置等的清洗、精密加工、各种浆料的制造工序等中进行了，通过对被处理物照射超声波(使其作用)，来除去在被处理物的表面附着的杂质，或者确保包含被处理物的液状混合物的分散性并使其提高。
超声波处理是通过利用液体将被处理物的周围填满来照射超声波而进行的，其原理大体上按如下那样来理解。在照射几十kHz的比较小的频率的超声波的情况下，在液体中产生压力的疏密差，由此，微气泡产生，产生的微气泡通过超声波的压力的波动而被压缩，当马上压坏时产生冲击波(气蚀现象)。这种冲击波、因局部的高温以及高压状态导致的化学反应对被处理物的表面产生作用，由此，实现了被处理物的表面的附着物的脱离、被处理物在液体中的分散。在照射几百kHz以上的比较大的频率的超声波的情况下，主要通过因超声波的振动导致的液体粒子的碰撞，来实现同样的效果。
超声波处理装置一般包含收纳用于对被处理物以及超声波进行传播的液体的处理槽、和发出超声波的超声波谐振器来构成。当希望在与处理槽内的上述液体不同的液体(为了区分，分别称为“第1液体”以及“第2液体”)中对被处理物进行处理的情况下，能够将装入了被处理物以及第2液体的处理容器在处理槽内与第1液体接触来设置。
此外，作为提高了清洗作用的超声波连续清洗装置，已知如下装置，其由将被清洗物(被处理物)和输送液体从供给部连续地输送到排出部的清洗路径即在路径中途中形成了弯折部的该清洗路径、以及在清洗路径中配置了多个的超声波发生器(包含超声波谐振器)构成(参照专利文献1)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003-164821号公报
-发明要解决的课题-
然而，在专利文献1中记载的超声波连续清洗装置中，尽管通过在清洗路径设置弯折部并将超声波发生器接近弯折部来配置，使清洗效率提高，但是，由于使用多个超声波发生器(包含超声波谐振器)，因此，存在消耗大量的能量、效率低下这样的问题。此外，在专利文献1中记载的超声波连续清洗装置中，以获得高的清洗效果为目的，并未设想对被处理物均匀地进行超声波处理。在专利文献1中记载的超声波连续清洗装置中，由于从在清洗路径中配置了多个的超声波发生器(包含超声波谐振器)发出超声波，因此被处理物在弯折部以外的部位也受到超声波的作用，根据被处理物的经过路径的不同，在因超声波而导致气蚀、声压的状态不同的条件下来被处理，存在处理后的状态变得不均匀这样的问题。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种能够有效并且均匀地对被处理物进行超声波处理的超声波处理装置以及超声波处理方法。
-用于解决课题的手段-
根据本发明，提供下述的超声波处理装置以及超声波处理方法。
[1]一种超声波处理装置，用于对被处理物进行超声波处理，
所述超声波处理装置包含：
处理槽，其装入第1液体；
流路，其被配置为在所述处理槽内与所述第1液体接触，并且流过被处理物以及第2液体；以及
超声波谐振器，其被设置于所述处理槽，
所述流路具有间隔地与从所述超声波谐振器发出的超声波的行进方向至少相交2次，该间隔是该超声波的波长的1/2的整数倍±5％以内。
[2]根据上述[1]所述的超声波处理装置，其中，所述流路由树脂材料构成。
[3]根据上述[2]所述的超声波处理装置，其中，所述树脂材料包含选自由热塑性树脂、热固化性树脂以及超级工程塑料构成的组的至少一者。
[4]根据上述[1]～[3]中任一项所述的超声波处理装置，其中，所述流路具有螺旋形状。
[5]根据上述[4]所述的超声波处理装置，其中，所述螺旋形状的中心轴与所述超声波的行进方向平行。
[6]根据上述[1]～[5]中任一项所述的超声波处理装置，其中，所述第1液体是水。
[7]根据上述[1]～[6]中任一项所述的超声波处理装置，其中，所述第2液体具有100℃以上的沸点。
[8]根据上述[1]～[7]中任一项所述的超声波处理装置，其中，所述被处理物是焊锡材料。
[9]根据上述[8]所述的超声波处理装置，其中，所述第2液体具有比所述焊锡材料的熔点高的沸点。
[10]一种超声波处理方法，用于使用上述[1]～[9]中任一项所述的超声波处理装置对被处理物进行超声波处理，
包含：将所述第1液体装入所述处理槽，从所述超声波谐振器发出超声波，并且使所述被处理物以及所述第2液体流过所述流路。
[11]根据上述[10]所述的超声波处理方法，其中，所述被处理物以液体状态在所述流路内流过。
[12]根据上述[11]所述的超声波处理方法，其中，包含：从所述流路得到所述被处理物在所述第2液体中分散为粒子状而得的分散物。
发明的效果
根据本发明的超声波处理装置，在装入了第1液体的处理槽内配置供被处理物以及第2液体流过的流路，该流路具有间隔地与从超声波谐振器发出的超声波的行进方向至少相交2次，且该间隔是该超声波的波长的1/2的整数倍±5％以内，由此，能够在超声波状态的类似条件下，选择性地将被处理物暴露于超声波，其结果，不需要多个超声波谐振器，就能够对被处理物有效且均匀地进行超声波处理。此外，根据本发明，还提供一种使用了该超声波处理装置的超声波处理方法，能够实现同样的效果。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式中的超声波处理装置的概略示意剖视图，是透视地表示在流路中流过的被处理物的图。
图2是在比较例1中使用的超声波处理装置的概略示意剖视图。
-符号说明-
100、100’ 超声波处理装置
101 超声波谐振器
102 处理槽
103 被处理物
104 第1液体
105、109 流路
105a、109a 入口
105b、109b 出口
106 第2液体
A 超声波的行进方向
B 螺旋形状的中心轴。
具体实施方式
以下，参照附图来详述本发明的一个实施方式中的超声波处理装置以及超声波处理方法，然而本发明并不限定于该实施方式。
如图1所示那样，本实施方式中的用于对被处理物103进行超声波处理的超声波处理装置100包含：装入第1液体104的处理槽102；被配置成在处理槽102内与第1液体104接触，并且流过被处理物103以及第2液体106的流路105；以及在处理槽102设置的超声波谐振器101。
超声波谐振器101是进行振动以便发出超声波的构件。在本实施方式中，所谓“超声波”是指具有20kHz以上的频率的声波，例如可以是具有20～150kHz的频率的声波。
更详细地，超声波谐振器101能够根据从振荡器(未图示)对超声波谐振器101施加的电信号，超声波谐振器101的表面振动，并使给定频率的超声波传播到与该表面接触的第1液体104(以下，将超声波谐振器101的与第1液体104接触的表面区域也称为振动面)。在超声波谐振器101中，根据电信号来振动的振动元件能够被内置于用于对其进行保护的金属等壳体中，壳体的表面的至少一部分能够作为振动面来与第1液体104接触。
处理槽102是用于进行超声波处理的槽，设置超声波谐振器101，并在其内部配置流路105。超声波谐振器101在图示的方式下被设置成从处理槽102的内壁面露出，其露出面作为振动面来与第1液体104接触。
第1液体104具有对从超声波谐振器101发出的超声波进行传播这样的功能。第1液体104与超声波谐振器101的振动面接触，并且以合适的量使用以便浸渍流路105(更详细地，至少是流路105的意图进行超声波处理的部分)。作为第1液体104，在超声波谐振器101的动作温度范围内的温度下实质上不会蒸发以便不会引起超声波谐振器101的故障，使用液体状态即液体，例如能够是超声波的传输良好、处理容易的水。
被处理物103是被实施超声波处理的物质(对象物)。被处理物103能够是希望被实施超声波处理的任意的合适的粉末或者液体。虽然不对本实施方式进行限定，然而被处理物103例如可以是焊锡材料。在本实施方式中，所谓“焊锡材料”是指具有450℃以下的熔点的金属材料，例如能够是具有0～450℃的熔点的金属材料，通常能够是2种以上的金属的合金。焊锡材料的熔点能够通过液相线温度来规定。焊锡材料例如是Sn基合金、Bi基合金、In基合金、Ga基合金等，优选地，可以是Sn-3.0Ag-0.5Cu、Sn-58Bi、Sn-51In、Bi-45In(在这些表述中，如在焊锡领域中一般能够理解的，对元素附加的数字意指该元素的质量％，未附加数字的元素是其余部分)等。
第2液体106具有在流路105内移送被处理物103这样的功能，根据情况的不同，能够是被处理物103的分散介质，和/或是能够实施被处理物103的任意合适的反应的反应原料或者反应场。作为第2液体106，根据超声波处理的温度、被处理物103的种类、对被处理物103意图进行的超声波处理的目的等的不同，使用任意合适的液体，例如可以是水、水性介质、有机介质等。第2液体106能够具有100℃以上的沸点。
虽然不对本实施方式进行限定，然而在被处理物103是焊锡材料的情况下，第2液体106可以具有比该焊锡材料的熔点高的沸点。该情况下，通过将第2液体106加热到焊锡材料的熔点以上并且不到第2液体106的沸点的温度来使用，被处理物103(焊锡材料)能够以液体状态在流路105内流过。
然而，需要注意的是，在本实施方式中，第1液体104以及第2液体106能够根据对被处理物103意图进行的超声波处理的目的等来任意地选择。
流路105是在其内部流过被处理物103以及第2液体106的流路，在被处理物103在流路105中流过的期间，从超声波谐振器101发出的超声波在第1液体104、流路105以及第2液体106中传播，对被处理物103实施超声波处理.
流路105被构成为：有间隔地与从超声波谐振器101发出的超声波的行进方向至少相交2次，该间隔是该超声波的波长的1/2的整数倍±5％以内。
在本实施方式中，所谓“超声波的行进方向”，是指相对于超声波谐振器101的与第1液体104接触的表面即振动面垂直的方向，是从该振动面起在该垂直方向上投射的空间中的方向(在图示的方式中，通过箭头A表示)。超声波的行进方向A与流路105相交的部分能够被理解为，流路105的中心线(或者流速成为最大的虚拟线)与该超声波的行进方向A相交的部分(图1中，通过黑圆点来表示超声波的行进方向A与流路105的中心线相交的位置)。在本实施方式中，所谓流路105与超声波的行进方向A有间隔地至少相交2次且该间隔是该超声波波长的1/2的整数倍±5％以内，是指超声波的行进方向A与流路105相交的部分至少存在2个(在图示的方式中，示出了存在3个情况，然而并不受限于此)，这些间隔、换言之相邻的2个相交部分之间的、相对于超声波的行进方向A而平行的距离(在图示的方式中，距离d1以及d2)是超声波波长的1/2的整数倍±5％以内。在超声波的行进方向A与流路105相交的部分存在3个以上的情况下，只要相邻的2个相交部分的间隔(在图示的方式中，距离d1以及d2)是超声波波长的1/2的整数倍±5％以内，则可以如图1所示那样实质上相同，或者也可以不同。超声波的行进方向A与流路105相交的部分全部位于超声波波长的1/2的整数倍±5％以内的位置是优选的。
在本实施方式中，所谓“超声波波长”是指超声波在第1液体104中传播时的波长，根据超声波的频率、和第1液体104中的声波的传播速度来算出。此外，在本实施方式中，所谓“超声波波长的1/2的整数倍±5％以内”本质上是指与超声波波长的1/2的整数倍同等，在更具体的含义中规定了是超声波波长的1/2的整数倍±5％以内，优选是超声波波长的1/2的整数倍±3％以内。
流路105能够具有螺旋形状来构成。由此，能够通过第2液体106来顺利地移送被处理物103。在该方式中，优选地，如图1所示那样，螺旋形状的中心轴B与超声波的行进方向A平行。该情况下，螺旋间距即流路105的间隔被设计成为超声波波长的1/2的整数倍±5％以内，由此，超声波的行进方向A与流路105以等间隔相交。并且，在该情况下，优选地，流路105如图示那样螺旋形状的旋转的一部分(从与中心轴平行的方向观察的情况下的圆弧状部分)位于超声波谐振器101正上方(从振动面起在与其垂直的方向上投射的空间内)，然而并不受限于此。
然而，在本实施方式中，流路105例如还可以具有阶梯状等任意合适的其他形状来构成。此外，在图示的方式中，示出了流路105的入口105a以及出口105b贯通处理槽102的壁而被引出到处理槽102的外部配置，然而流路105的入口105a以及出口105b能够以任意合适的方式来配置。
流路105能够根据第1液体104以及第2液体106的种类等，由任意合适的材料构成，例如能够由树脂材料构成，由此，能够以比较小的厚度来容易地成形为所期望的形状，因此能够将超声波从第1液体104经过流路105而有效地传播到第2液体106。优选地，树脂材料的声阻抗的值与第1液体104以及第2液体106相近，超声波的透过性优异，更具体地，能够包含选自由热塑性树脂、热固化性树脂以及超级工程塑料构成的组的至少一者。热塑性树脂例如是氟树脂、聚甲基戊烯、聚丙烯、聚乙烯等，优选地可以是氟树脂。热固化性树脂例如是硅酮树脂、环氧树脂等，优选地可以是硅酮树脂。超级工程塑料例如是聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺等，优选地可以是聚酰亚胺。
接下来，说明该本实施方式的超声波处理装置100来实施的超声波处理方法。
本实施方式中的用于对被处理物103进行超声波处理的超声波处理方法包含：将第1液体106装入处理槽102，一边从超声波谐振器101发出超声波，一边使被处理物103以及第2液体106与流路105接通来流动。
更详细地，首先，在将第1液体106装入到处理槽102的状态下，从与外部电源连接的振荡器(均未图示)对超声波谐振器101施加电信号，由此，使超声波谐振器101的表面(振动面)振动来使给定频率的超声波发生。另一方面，使被处理物103以及第2液体106从流路105的入口105a流向出口105b。超声波从超声波谐振器101的振动面起，在与其接触的第1液体104内传播，到达流路105，并透过其而传播到在流路105内流过的第2液体106。然后，在第2液体106中，因基于超声波的压力的疏密不同，会发生重复进行微小气泡的生成和压坏的气蚀(cavitation)。通过由该气蚀而生成的冲击波、和超声波的声压，在与第2液体106一起在流路105内流过的被处理物103的表面产生物理的和/或化学的作用(根据情况而反应)，实施被处理物103的超声波处理。被处理物103有多个，优选依次与第2液体106一起在流路105中流过，来被超声波处理(换言之，连续地进行超声波处理)。
根据该本实施方式的超声波处理装置100以及使用其的超声波处理方法，以超声波波长的1/2的整数倍±5％以内的间隔，来配置超声波的行进方向A与流路105相交的部分，在该部分，被处理物103在第2液体106中暴露于超声波来被超声波处理；在除此以外的部分，基于超声波的作用被实质上降低(优选地，实质上不进行超声波处理)。超声波处理通过超声波的气蚀以及声压来实现，因此，处理后的被处理物103的状态会因气蚀以及声压的强度、频率以及空间的分布而受影响。根据本实施方式，能够仅在以基于超声波的驻波的间隔即与超声波波长的1/2的整数倍同等(±5％以内)的间隔配置的部分、即超声波的状态(产生超声波的处理场的状态)类似的部分，对被处理物103进行超声波处理。由此，不需要多个超声波谐振器，能够有效且均匀地对被处理物103进行超声波处理。
本实施方式的超声波处理装置100以及使用其的超声波处理方法例如能够被利用于将作为被处理物103的粉体在第2液体106中进行表面处理，和/或使其分散于第2液体106中，或者，使作为被处理物103的液体在第2液体106中分散等。
在例示的方式中，本实施方式的超声波处理方法可以使被处理物103以液体状态在流路105内流动。由此，能够从流路105得到被处理物103在第2液体106中分散成粒子状而得的分散物。该情况下，能够得到粒子径更均匀、换言之粒度分布的宽度更小的被处理物103的粒子。
虽然不是对本实施方式进行限定，然而在被处理物103是焊锡材料的情况下，还可以将第2液体106加热到焊锡材料的熔点以上且不到第2液体106的沸点的温度来使用，由此，使被处理物103(焊锡材料)以液体状态在流路105内流动，在实施了超声波处理之后，从流路105得到被处理物103在第2液体106中分散为粒子状而得的分散物，将该分散物冷却来使粒子状的被处理物103(焊锡材料)固体化，并将固体化的粒子状的被处理物103(焊锡材料)从该分散物分离。
【实施例】
在以下的实施例以及比较例中，作为超声波处理，实施了使焊锡材料在液体介质中分散的处理。
(实施例1)
在本实施例中，实施了使用了参照图1的上述本发明的实施方式中的超声波处理装置100的超声波处理方法。
作为被处理物103，使用了熔点为89℃的Bi-In焊锡材料。作为第1液体104使用了水，作为第2液体106使用了三乙二醇单丁醚(BTG)。此外，三乙二醇单丁醚的沸点是278℃。
作为流路105，将由氟树脂构成且具有内径10mm、厚度1mm的圆形剖面的管加工成螺旋形状来使用。在本实施例中，螺旋间距即流路105的间隔设为29mm(参照表1)。流路105的间隔被理解为，和超声波的行进方向A与流路105的中心线(或者流速成为最大的虚拟线)相交的部分的间隔相等。
在处理槽102内装入第1液体104(水)，将第1液体104的温度维持在30℃。在100W的输入功率下对超声波谐振器101施加电信号(参照表1)，以使从超声波谐振器101发出的超声波的频率成为26kHz。在作为第1液体104来使用的水中的声波的传播速度在30℃下是约1509m/s，因此，超声波的波长是约58mm(＝(1509×103)/(26×103))。由此，在本实施例中，流路105的间隔(29mm)对超声波的波长(58mm)的比是0.5(即，超声波波长的1/2的1倍)(参照表1)。
另一方面，将被处理物103(熔点89℃的Bi-In焊锡材料)连同第2液体106(BTG)一起加热到120℃，从流路105的入口105a开始流动。此时，被处理物103是液体状态(熔融状态)，以多个液体粒子的状态连同第2液体106一起流到流路105。
之后，从流路105的出口105b得到被实施了超声波处理的被处理物103在第2液体106中分散成粒子状而得的分散物。将得到的分散物冷却来使粒子状的被处理物103(焊锡材料)固体化，通过固液分离，从该分散物回收固体化了的粒子状的被处理物103(焊锡粒子)。
关于由此得到的焊锡粒子，对其粒径以及形状进行了评价。焊锡粒子的粒径利用激光式粒度分布直径来测定，并求取中值直径“D50”，还一并求出了当从小直径侧起进行了测量的情况下的累计10％直径与累计90％直径的差即“D90-D10”(表示粒度分布的宽度)。焊锡粒子的形状利用扫描型电子显微镜(SEM)来观察。此外，作为超声波处理的均匀性的目标，将D90-D10的值与后述的比较例1的D90-D10的值进行比较，在小50％以上的情况下判定为A；在小20％以上且不足50％的情况下判定为B；在除此以外的情况下判定为C。将这些结果一并在表1中示出。
(实施例2～3)
将对超声波谐振器101施加的电信号的输入功率设为200W(实施例2)以及300W(实施例3)，除此以外，与实施例1同样地得到焊锡粒子来进行评价。
(实施例4)
将流路105的间隔设为58mm(由此，流路105的间隔对超声波波长的比成为1，即设为超声波波长的1/2的2倍)，除此以外，与实施例2同样地得到焊锡粒子，并对其进行评价。
(实施例5)
将从超声波谐振器101发出的超声波的频率设为78kHz，并将流路105的间隔设为19mm(由此，流路的间隔对超声波波长的比成为0.5，即设为超声波波长的1/2的1倍)，除此以外，与实施例2同样地得到焊锡粒子，并对其进行评价。
(比较例1)
代替图1中示出的超声波处理装置100，使用图2中示出的超声波处理装置100’，除此以外，与实施例2同样地得到焊锡粒子，并对其进行评价。参照图2，在本比较例中使用的超声波处理装置100’中，在处理槽102内代替流路105地配置了筒状的流路109。更详细地，作为流路109，由氟树脂构成，在入口109a以及出口109b之间，作为实施超声波处理的部分，配置了具有内径20mm、厚度1mm的圆形剖面的筒，以使该筒的中心线与超声波的行进方向A一致。将流路109的入口109a以及出口109b设为与流路105的入口105a以及出口105b相同的尺寸。
(比较例2～4)
将流路105的间隔设为15mm(比较例2)、20mm(比较例3)、44mm(比较例4)(由此，流路105的间隔相对于超声波波长的比成为0.25(比较例2)、0.67(比较例3)、0.76(比较例4)，即并未设为超声波波长的1/2的整数倍±5％以内)，除此以外，与实施例2同样地得到焊锡粒子，并对其进行评价。
(比较例5)
将从超声波谐振器101发出的超声波的频率设为78kHz，并将流路105的间隔设为27mm(由此，流路的间隔相对于超声波波长的比成为0.71，即并未设为超声波波长的1/2的整数倍±5％以内)，除此以外，与实施例2同样地得到焊锡粒子，并对其进行评价。
【表1】
参照表1，在实施例1～3中，焊锡粒子的D50以及D90-D10均不存在大的变化，表示粒度分布的宽度的D90-D10的值分别小至5.2μm、7.3μm以及11μm。从实施例1～3的结果确认出，通过将流路的间隔设为超声波波长的1/2(固定)，能够与超声波的输入功率无关地进行粒度分布的宽度小的、换言之均匀的超声波处理。
实施例4与实施例2相比，将流路的间隔设为2倍(超声波波长的1.0倍)，D90-D10的值成为15μm。从实施例4的结果确认出，流路不一定需要设置于超声波波长的1/2的间隔全部，只要以超声波波长的1/2的任意整数倍±5％以内的间隔来设置即可。
在实施例5中，与实施例2相比，将超声波的频率更改为78kHz，D90-D10的值成为10μm。从实施例5的结果确认出，通过将流路的间隔设为超声波波长的1/2，能够与超声波的频率无关地进行粒度分布的宽度小的、换言之均匀的超声波处理。
在比较例1中，设为与实施例2相同的频率以及输入功率，然而配置了筒状的流路109(参照图2)，D90-D10的值成为27μm。
在比较例2～4中，设为与实施例2相同的频率以及输入功率，然而并未将流路105的间隔设为超声波波长的1/2的整数倍±5％以内，D90-D10的值是23～26μm，未观察到与比较例1中的D90-D10的值相比大的变化。
在比较例5中，设为与实施例5相同的频率以及输入功率，然而并未将流路105的间隔设为超声波波长的1/2的整数倍±5％以内，D90-D10的值是26μm，与比较例2～4同样地，未观察到与比较例1中的D90-D10的值相比大的变化。
产业上的可利用性
根据本发明的超声波处理装置以及超声波处理方法，在粉体的表面处理或者分散处理、液体的分散处理等目的下对被处理物实施超声波处理的情况下，能够有效地且均匀地对被处理物进行超声波处理，能够有助于处理的高速化以及节能化。
本申请主张基于在2019年6月19日向日本国提出申请的日本特愿2019-114003的优先权，其全部记载内容通过参照而被引入到本说明书中。
Claims (12)
1.一种超声波处理装置，用于对被处理物进行超声波处理，
所述超声波处理装置包含：
处理槽，其装入第1液体；
流路，其被配置为在所述处理槽内与所述第1液体接触，并且流过被处理物以及第2液体；以及
超声波谐振器，其被设置于所述处理槽，
所述流路具有间隔地与从所述超声波谐振器发出的超声波的行进方向至少相交2次，该间隔是该超声波的波长的1/2的整数倍±5％以内。
2.根据权利要求1所述的超声波处理装置，其中，
所述流路由树脂材料构成。
3.根据权利要求2所述的超声波处理装置，其中，
所述树脂材料包含选自由热塑性树脂、热固化性树脂以及超级工程塑料构成的组的至少一者。
4.根据权利要求1所述的超声波处理装置，其中，
所述流路具有螺旋形状。
5.根据权利要求4所述的超声波处理装置，其中，
所述螺旋形状的中心轴与所述超声波的行进方向平行。
6.根据权利要求1所述的超声波处理装置，其中，
所述第1液体是水。
7.根据权利要求1所述的超声波处理装置，其中，
所述第2液体具有100℃以上的沸点。
8.根据权利要求1所述的超声波处理装置，其中，
所述被处理物是焊锡材料。
9.根据权利要求8所述的超声波处理装置，其中，
所述第2液体具有比所述焊锡材料的熔点高的沸点。
10.一种超声波处理方法，用于使用权利要求1～9中任一项所述的超声波处理装置对被处理物进行超声波处理，
所述超声波处理方法包含：
将所述第1液体装入所述处理槽，从所述超声波谐振器发出超声波，并且使所述被处理物以及所述第2液体流过所述流路。
11.根据权利要求10所述的超声波处理方法，其中，
所述被处理物以液体状态在所述流路内流过。
12.根据权利要求11所述的超声波处理方法，其中，
所述超声波处理方法包含：
从所述流路得到所述被处理物在所述第2液体中分散为粒子状而得的分散物。
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