JP6076780B2 - 粉体処理装置および粉体処理方法 - Google Patents
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Description
図1に、本発明の粉体処理装置の一例である実施の形態1の粉体処理装置の模式的な断面図を示す。図1に示すように、実施の形態1の粉体処理装置は、放電ユニット1と、放電ユニット1の上方に設けられた粉体配置部6と、放電ユニット1の下方に設けられたガス導入ユニット10とを備えている。
図7に、本発明の粉体処理装置の他の一例である実施の形態2の粉体処理装置の模式的な側面透視図である。実施の形態2の粉体処理装置は、粉体21を連続的に処理することができる構造となっていることを特徴としている。
図11(a)に、本発明の粉体処理装置の他の一例である実施の形態3の粉体処理装置の模式的な平面図を示し、図11(b)に図11(a)のXIb−XIbの模式的な断面図を示す。
図12(a)に、本発明の粉体処理装置の他の一例である実施の形態4の粉体処理装置の模式的な断面図を示し、図12(b)に実施の形態4の粉体処理装置の模式的な平面図を示す。
まず、図2(a)〜図2(c)に示す形状の放電ユニット1を用意した。ここで、放電ユニット1は、アルミナセラミックからなる絶縁性基材2の内部に、互いに向かい合う金属性の第1電極4および第2電極5が設けられた構造を有している。電極形成領域11は、幅50mm×長さ50mmの正方形状であり、貫通孔形成領域12は、幅40mm×長さ40mmの正方形状となっている。
まず、実施例1と同一の粉体処理装置の放電ユニット1の絶縁性基材2の上面上の粉体配置部6に、平均粒径30μmのポリエチレン粒子からなる20gの粉体21を配置した。
図8に示すダイレクト方式による大気圧プラズマ処理装置を用いて粉体の処理を行なった。まず、直径100mmの円盤状の上電極53と下電極54との間に誘電体51を配置した。誘電体51は、それぞれ、直径150mm、厚さ2mmの円盤状の石英製であって、誘電体51の間の間隔は、5mmであった。次に、下電極54の誘電体51上に、平均粒径1μmのMgO粒子からなる20gの粉体21を設置した。
図9に示すリモート方式による大気圧プラズマ処理装置を用いて粉体の処理を行なった。まず、石英製円管(外径8mm、内径5mm)の誘電体64として、誘電体64に幅10mmの上電極62と下電極63とを、これらの電極の間隔が5mmとなるように設置した。
図10に示す放電装置を用いて大気圧プラズマによる粉体の処理を行なった。まず、上部に蓋72を設置したアクリル樹脂板からなる容器71の底部に、平均粒径1μmのMgO粒子からなる20gの粉体21を設置した。
上記のように、プラズマ23を放電ユニット1の絶縁性基材2の貫通孔3から上方に吹き上げることによって、放電ユニット1の上方で粉体21を流動させながらプラズマ23により粉体21を処理した実施例1および実施例2においては、そのように粉体21を処理していない比較例1〜3と比較して、処理後の粉体21の帯電が抑えられてより均一な処理が可能となり、収率が高く、かつ処理効果も高かったことが確認された。
まず、図11(a)に示すような表面形状を有する放電ユニット1を用意した。ここで、放電ユニット1は、アルミナセラミックからなる絶縁性基材2の内部に、互いに向かい合う金属性の第1電極4および第2電極5が設けられた構造を有している。電極形成領域11は、幅150mm×長さ150mmの正方形状であり、貫通孔形成領域12は、幅140mm×長さ140mmの正方形状となっている。
絶縁性基材2としてフッ素樹脂を用い、絶縁性基材2の中心の貫通孔と第1電極4(および第2電極5)との間の間隔を0.3mmとし、絶縁性基材2の周縁の貫通孔と第1電極4(および第2電極5)との間の間隔を0.22mmとして、絶縁性基材2の中心から周縁にかけて、貫通孔と第1電極4(および第2電極5)との間の間隔が連続的に小さくなるように設定したこと以外は実施例3と同様にして、粉体21の処理を行なった。その結果、処理効果は実施例3と同様であった。
Claims (13)
- 放電ユニットと、
前記放電ユニットの上方に設けられた粉体配置部と、
前記放電ユニットの下方に設けられたガス導入ユニットと、を備え、
前記放電ユニットは、絶縁性基材と、前記絶縁性基材の上面と下面との間を貫通する複数の貫通孔と、前記絶縁性基材の内部に設けられた第1電極および第2電極と、を有し、
前記ガス導入ユニットは、前記絶縁性基材の下面側から、前記貫通孔に、ガスを導入できるように設けられており、
前記第1電極および前記第2電極は、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することによって前記貫通孔に導入された前記ガスのプラズマを発生させることができるように設けられており、
前記絶縁性基材がセラミックであって、
前記貫通孔と前記第1電極および/または前記第2電極との間の間隔が、前記絶縁性基材の中心から周縁にかけて増加する、粉体処理装置。 - 放電ユニットと、
前記放電ユニットの上方に設けられた粉体配置部と、
前記放電ユニットの下方に設けられたガス導入ユニットと、を備え、
前記放電ユニットは、絶縁性基材と、前記絶縁性基材の上面と下面との間を貫通する複数の貫通孔と、前記絶縁性基材の内部に設けられた第1電極および第2電極と、を有し、
前記ガス導入ユニットは、前記絶縁性基材の下面側から、前記貫通孔に、ガスを導入できるように設けられており、
前記第1電極および前記第2電極は、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することによって前記貫通孔に導入された前記ガスのプラズマを発生させることができるように設けられており、
前記絶縁性基材が樹脂であって、
前記貫通孔と前記第1電極および/または前記第2電極との間の間隔が、前記絶縁性基材の中心から周縁にかけて減少する、粉体処理装置。 - 放電ユニットと、
前記放電ユニットの上方から粉体を連続的に供給可能な粉体供給部と、
前記放電ユニットの上方から連続的に供給された前記粉体を連続的に回収可能な粉体回収部と、
前記放電ユニットの下方に設けられたガス導入ユニットと、を備え、
前記放電ユニットは、絶縁性基材と、前記絶縁性基材の上面と下面との間を貫通する複数の貫通孔と、前記絶縁性基材の内部に設けられた第1電極および第2電極と、を有し、
前記ガス導入ユニットは、前記絶縁性基材の下面側から、前記貫通孔に、ガスを導入できるように設けられており、
前記第1電極および前記第2電極は、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することによって前記貫通孔に導入された前記ガスのプラズマを発生させることができるように設けられており、
前記絶縁性基材がセラミックであって、
前記貫通孔と前記第1電極および/または前記第2電極との間の間隔が、前記絶縁性基材の中心から周縁にかけて増加する、粉体処理装置。 - 放電ユニットと、
前記放電ユニットの上方から粉体を連続的に供給可能な粉体供給部と、
前記放電ユニットの上方から連続的に供給された前記粉体を連続的に回収可能な粉体回収部と、
前記放電ユニットの下方に設けられたガス導入ユニットと、を備え、
前記放電ユニットは、絶縁性基材と、前記絶縁性基材の上面と下面との間を貫通する複数の貫通孔と、前記絶縁性基材の内部に設けられた第1電極および第2電極と、を有し、
前記ガス導入ユニットは、前記絶縁性基材の下面側から、前記貫通孔に、ガスを導入できるように設けられており、
前記第1電極および前記第2電極は、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することによって前記貫通孔に導入された前記ガスのプラズマを発生させることができるように設けられており、
前記絶縁性基材が樹脂であって、
前記貫通孔と前記第1電極および/または前記第2電極との間の間隔が、前記絶縁性基材の中心から周縁にかけて減少する、粉体処理装置。 - 前記絶縁性基材の前記上面を傾斜させるための傾斜機構をさらに備えた、請求項3または4に記載の粉体処理装置。
- 前記貫通孔の開口部の径が、0.1mm以上3mm以下であり、
前記貫通孔の前記開口部の間隔が、0.1mmを超え5mm以下であり、
前記貫通孔の前記開口部の形状が、円形状である、請求項1から5のいずれか1項に記載の粉体処理装置。 - 前記絶縁性基材の厚さが、0.3mm以上20mm以下である、請求項1から6のいずれか1項に記載の粉体処理装置。
- 前記粉体を振動させるための振動機構をさらに備えた、請求項1から7のいずれか1項に記載の粉体処理装置。
- 前記粉体の帯電を除去するための除電機構をさらに備えた、請求項1から8のいずれか1項に記載の粉体処理装置。
- 前記ガス導入ユニットは、前記ガス導入ユニットの内部空間を仕切る区画部材と、前記区画部材よりも前記ガスの導入側に、前記貫通孔の内部領域と前記放電ユニットの上方領域との間で発生する圧力損失よりも大きな圧力損失を生じさせるフィルターとを備えた、請求項1から9のいずれか1項に記載の粉体処理装置。
- 請求項1から10のいずれか1項に記載の粉体処理装置を用いて粉体を処理する方法であって、
前記放電ユニット上に粉体を配置する工程と、
前記ガス導入ユニットから前記貫通孔にガスを導入する工程と、
前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することによって前記貫通孔に導入された前記ガスのプラズマを発生させる工程と、
前記プラズマを前記貫通孔から上方に吹き上げることによって、前記放電ユニットの上方で前記粉体を流動させながら前記プラズマにより前記粉体を処理する工程と、を含む、粉体処理方法。 - 前記プラズマを発生させる工程において、前記プラズマは、大気圧近傍の圧力で発生させる、請求項11に記載の粉体処理方法。
- 前記貫通孔にガスを導入する工程において、前記ガスは、前記貫通孔の内部の前記ガスの平均ガス流速が、25℃換算で、0.5m/分以上200m/分以下となるように導入される、請求項11または12に記載の粉体処理方法。
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