CN112090821B - 一种超高压洗净装置 - Google Patents

一种超高压洗净装置 Download PDF

Info

Publication number
CN112090821B
CN112090821B CN202010745911.2A CN202010745911A CN112090821B CN 112090821 B CN112090821 B CN 112090821B CN 202010745911 A CN202010745911 A CN 202010745911A CN 112090821 B CN112090821 B CN 112090821B
Authority
CN
China
Prior art keywords
pipe
liquid
gas
plunger pump
cleaning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010745911.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112090821A (zh
Inventor
蒋新
陈宽政
陈国才
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Kzone Equipment Technology Co Ltd
Original Assignee
Suzhou Kzone Equipment Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Kzone Equipment Technology Co Ltd filed Critical Suzhou Kzone Equipment Technology Co Ltd
Priority to CN202010745911.2A priority Critical patent/CN112090821B/zh
Priority to PCT/CN2020/135180 priority patent/WO2022021732A1/zh
Priority to PCT/CN2020/135213 priority patent/WO2022021733A1/zh
Publication of CN112090821A publication Critical patent/CN112090821A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112090821B publication Critical patent/CN112090821B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/14—Removing waste, e.g. labels, from cleaning liquid; Regenerating cleaning liquids

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

本发明涉及一种超高压洗净装置，它包括：供给管；气液膜管，所述气液膜管的两端连接所述供给管的相异部位，所述气液膜管还具有通气端，所述通气端连接有二氧化碳接入管；柱塞泵，所述柱塞泵连接在所述供给管的出口，所述柱塞泵由电机驱动；过滤罐，所述过滤罐连接在所述柱塞泵的出口；排出管，所述排出管连接所述过滤罐的出液口。经过柱塞泵的加压后，经过过滤罐过滤，清洗液以超高压被雾化，细化了液体分子，提升小粒径颗粒的去除率，提高产品洗净效果。通过气液膜管向清洗液中溶入二氧化碳，通过二氧化碳溶解于清洗液中，解离的氢离子及重碳酸离子压制清洗液中静电产生，从而减小了由于静电电流导致的基板面上金属导线或薄膜部分溶解。

Description

一种超高压洗净装置
技术领域
本发明属于平板显示器行业，涉及一种洗净装置，特别是涉及一种超高压洗净装置，用于玻璃基板表面清洗。
背景技术
现有技术中，针对小粒径颗粒，洗净方式一般采用的设计有二流体、MS等，但随着平板显示器产品的升级，对其制造工艺要求更高，需要清除更小粒径颗粒，原有技术无法有效提升产品良率。
发明内容
本发明的目的是要提供一种超高压洗净装置，可去除被清洗物表面更小粒径的颗粒。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：
本发明提供了一种超高压洗净装置，它包括：
供给管；
气液膜管，所述气液膜管的两端连接所述供给管的相异部位，所述气液膜管还具有通气端，所述通气端连接有二氧化碳接入管；
柱塞泵，所述柱塞泵连接在所述供给管的出口，所述柱塞泵由电机驱动；
过滤罐，所述过滤罐连接在所述柱塞泵的出口；
排出管，所述排出管连接所述过滤罐的出液口。
优选地，所述相异部位之间设置有流量调节阀。
优选地，所述柱塞泵的泵出压力为可调节设置。
进一步地，所述柱塞泵的泵出压力可调整范围为100kg/cm2~150kg/cm2。
优选地，所述过滤罐设置有两个，且为串联设置。
优选地，所述供给管上还设置有电导度计，所述电导度计位于所述气液膜管所连接位置的下游。
优选地，所述过滤罐上设置有滤罐排气管。
由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：
本发明的超高压洗净装置，通过供给管向柱塞泵供给清洗液（比如纯水），经过柱塞泵的加压后，通过过滤罐过滤，清洗液以超高压被雾化，细化了液体分子，提升小粒径颗粒的去除率，提高产品洗净效果。通过气液膜管向清洗液中溶入二氧化碳，通过二氧化碳溶解于清洗液中，解离的氢离子及重碳酸离子压制清洗液中静电产生，从而减小了由于静电电流导致的基板面上金属导线或薄膜部分溶解。
附图说明
后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本发明的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
图1是根据本发明优选实施例的超高压洗净装置的示意性透视图；
图2是柱塞泵吸入管路的结构示意图；
图3是柱塞泵吐出口管路的结构示意图；
其中，附图标记说明如下：
1、供给管；
2、气液膜管；
3、柱塞泵；
4、电机；
5、过滤罐；
6、排出管；
7、二氧化碳接入管；
8、流量调节阀；
9、电导度计；
10、电磁阀；
11、滤罐排气管；
12、喷嘴；
13、软管。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
如图1所示，超高压洗净装置包括供给管1、气液膜管2、柱塞泵（连接在电机4作用端，由电机4驱动）、过滤罐5以及排出管6。
其中，从供给管1供给清洗液，本例清洗液为超纯水。供给管1中设置有电磁阀10，用于控制流路的通断。如图2，清洗液供给到柱塞泵3，通过柱塞泵3对清洗液进行增压。
如图1，增压后的清洗液经过过滤罐5过滤后从排出管6排出到喷嘴12上。
通过柱塞泵3将水的压力提高至150kg/cm2，此压力可根据实际需求调整，可调整范围100kg/cm2~150kg/cm2，超纯水从柱塞泵3出来后再经过滤罐5过滤后，经由高压软管13，最后由高压喷嘴12喷出，达到洗净目的。以超高压将超纯水雾化，细化液体分子，提升小粒径颗粒的去除率，提高产品洗净效果。
因超纯水具有高电阻值，经过高压喷出后，易产生静电，造成颗粒附着或纯水中产生电流，进而导致基板面上金属导线或薄膜部分溶解，故在超纯水至柱塞泵3管路上增加气液膜管2。气液膜管2的两端（接液端）连接供给管1的相异部位，从供给管1引入清洗液。气液膜管2还具有通气端，通气端连接有二氧化碳接入管7，通过二氧化碳接入管7将二氧化碳引入气液膜管2，气液膜管2中设置有气液膜，使二氧化碳通过高压渗入清洗液中。气体CO2溶解于超纯水中，通过CO2溶解超纯水中，解离的氢离子及重碳酸离子，压制超纯水中静电产生。
如图2，供给管1上还设置有电导度计9，电导度计9位于气液膜管2所连接位置的下游，从而监测清洗液中二氧化碳溶解情况。
气液膜管2与供给管1有两个连接处，这两个连接处之间的供给管1中设置有流量调节阀8，从而调节与气液膜管2并联的一段管路流量。
如图3，过滤罐5连接在柱塞泵3的出口，用于接收从柱塞泵3流出的液体。且过滤罐5设置有两个，这两个过滤罐5为串联设置，从而形成两级过滤，提高了过滤效果。
过滤罐5上还设置有滤罐排气管11，滤罐排气管11用于排出清洗液中的气体。
排出管6连接在过滤罐5的出液口，如图1，排出管6通过软管13连接到喷嘴12上。
综上所述，本例的超高压洗净装置，通过柱塞泵3提高液体的压力，使清洗液以超高压喷出实现雾化，细化液体分子，提升小粒径颗粒的去除率，提高产品洗净效果。通过气液膜管2向清洗液中溶入二氧化碳，二氧化碳在清洗液中解离成氢离子及重碳酸离子，压制超纯水中的静电产生，达到保护被清洗基板表面的效果。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种超高压洗净装置，其特征在于，它包括：
供给管（1）；
气液膜管（2），所述气液膜管（2）的接液两端连接所述供给管（1）的相异部位，所述气液膜管（2）还具有通气端，所述通气端连接有二氧化碳接入管（7），所述气液膜管（2）中设置有气液膜从而使二氧化碳通过高压渗入清洗液中；
柱塞泵（3），所述柱塞泵（3）连接在所述供给管（1）的出口，所述柱塞泵（3）由电机（4）驱动；
过滤罐（5），所述过滤罐（5）连接在所述柱塞泵（3）的出口，所述过滤罐（5）设置有两个，且为串联设置，所述过滤罐（5）上设置有滤罐排气管（11）；
排出管（6），所述排出管（6）连接所述过滤罐（5）的出液口；
所述供给管（1）上还设置有电导度计（9），所述电导度计（9）位于所述气液膜管（2）所连接位置的下游；
喷嘴（12），所述喷嘴（12）通过软管（13）与所述排出管（6）连接。
2.根据权利要求1所述的超高压洗净装置，其特征在于：所述相异部位之间设置有流量调节阀（8）。
3.根据权利要求1所述的超高压洗净装置，其特征在于：所述柱塞泵（3）的泵出压力为可调节设置。
4.根据权利要求3所述的超高压洗净装置，其特征在于：所述柱塞泵（3）的泵出压力可调整范围为100kg/cm2~150kg/cm2。
CN202010745911.2A 2020-07-29 2020-07-29 一种超高压洗净装置 Active CN112090821B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010745911.2A CN112090821B (zh) 2020-07-29 2020-07-29 一种超高压洗净装置
PCT/CN2020/135180 WO2022021732A1 (zh) 2020-07-29 2020-12-10 超高压洗净装置
PCT/CN2020/135213 WO2022021733A1 (zh) 2020-07-29 2020-12-10 清洗装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010745911.2A CN112090821B (zh) 2020-07-29 2020-07-29 一种超高压洗净装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112090821A CN112090821A (zh) 2020-12-18
CN112090821B true CN112090821B (zh) 2022-08-26

Family

ID=73749873

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010745911.2A Active CN112090821B (zh) 2020-07-29 2020-07-29 一种超高压洗净装置

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN112090821B (zh)
WO (2) WO2022021733A1 (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11221532A (ja) * 1998-02-05 1999-08-17 Hitachi Ltd 基板洗浄方法および基板洗浄装置
DE20114257U1 (de) * 2001-08-29 2002-01-10 Herkules Hebetechnik GmbH, 34123 Kassel Reinigungsvorrichtung für Farbspritzgeräte, z.B. Farbspritzpistolen
CN1799710A (zh) * 2004-12-31 2006-07-12 财团法人工业技术研究院 基板清洗系统与方法
US7147670B2 (en) * 2001-04-25 2006-12-12 R.R. Street & Co. Inc. Cleaning system utilizing an organic cleaning solvent and a pressurized fluid solvent
CN103480622A (zh) * 2013-09-18 2014-01-01 合肥京东方光电科技有限公司 基板清洗装置及其工作方法、基板清洗系统
CN207573688U (zh) * 2017-12-14 2018-07-03 苏州晶洲装备科技有限公司 一种气液混合装置
CN208845342U (zh) * 2018-09-28 2019-05-10 常州市往复世佑高压泵阀有限公司 一种具有过滤效果的高压清洗泵

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59173184A (ja) * 1983-03-23 1984-10-01 Kurita Water Ind Ltd 超純水の比抵抗制御装置
JP3140556B2 (ja) * 1992-04-23 2001-03-05 沖電気工業株式会社 半導体ウエハの洗浄方法
JP2004273984A (ja) * 2003-03-12 2004-09-30 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法および基板処理装置
JP2005064312A (ja) * 2003-08-18 2005-03-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法および基板処理装置
JP2005183791A (ja) * 2003-12-22 2005-07-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法及びその装置
JP2006080417A (ja) * 2004-09-13 2006-03-23 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法および基板処理装置
JP2006231319A (ja) * 2005-01-28 2006-09-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法および基板処理装置
JP2011210764A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板洗浄処理装置
CN202021173U (zh) * 2011-05-10 2011-11-02 天津格威莱德科技发展有限公司 高压冲洗机
CN103406322A (zh) * 2013-07-22 2013-11-27 彩虹显示器件股份有限公司 一种用于清洗基板玻璃的装置及方法
TWI648098B (zh) * 2017-11-14 2019-01-21 亞智科技股份有限公司 氣液混合機構、製程設備及氣液混合方法
CN207806066U (zh) * 2017-12-19 2018-09-04 昆山成功环保科技有限公司 一种晶圆清洗装置
CN209379519U (zh) * 2018-11-05 2019-09-13 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 一种玻璃高压喷淋清洗系统
CN209491093U (zh) * 2018-11-16 2019-10-15 四川深北电路科技有限公司 一种高密度互连印刷电路板的清洁装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11221532A (ja) * 1998-02-05 1999-08-17 Hitachi Ltd 基板洗浄方法および基板洗浄装置
US7147670B2 (en) * 2001-04-25 2006-12-12 R.R. Street & Co. Inc. Cleaning system utilizing an organic cleaning solvent and a pressurized fluid solvent
DE20114257U1 (de) * 2001-08-29 2002-01-10 Herkules Hebetechnik GmbH, 34123 Kassel Reinigungsvorrichtung für Farbspritzgeräte, z.B. Farbspritzpistolen
CN1799710A (zh) * 2004-12-31 2006-07-12 财团法人工业技术研究院 基板清洗系统与方法
CN103480622A (zh) * 2013-09-18 2014-01-01 合肥京东方光电科技有限公司 基板清洗装置及其工作方法、基板清洗系统
CN207573688U (zh) * 2017-12-14 2018-07-03 苏州晶洲装备科技有限公司 一种气液混合装置
CN208845342U (zh) * 2018-09-28 2019-05-10 常州市往复世佑高压泵阀有限公司 一种具有过滤效果的高压清洗泵

Also Published As

Publication number Publication date
WO2022021733A1 (zh) 2022-02-03
CN112090821A (zh) 2020-12-18
WO2022021732A1 (zh) 2022-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112090821B (zh) 一种超高压洗净装置
CN208678603U (zh) 一种用于过滤固体颗粒和液体的负压真空系统
CN111701771A (zh) 一种防霉液喷涂设备
CN216574401U (zh) 一种用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统
CN210434128U (zh) 一种中药生产多级过滤器
CN108905403A (zh) 一种用于过滤固体颗粒和液体的负压真空系统
CN206931557U (zh) 用于晶圆切割的抗静电系统
CN207361955U (zh) 一种废水中聚维酮回收系统
CN204723845U (zh) 一种化工水性涂料专用的袋式过滤器
CN206762613U (zh) 简易型sncr除氮设备
CN220249680U (zh) 抽真空管路、真空吸附装置及晶圆加工设备
CN220657875U (zh) 具有回收功能的浆料过滤装置
CN206935319U (zh) 一种溴化环氧树脂高聚物真空装置
CN218834065U (zh) 一种盐雾处理设备
CN219815369U (zh) 一种聚氯乙烯掺混树脂消除回收带料系统
CN210646979U (zh) 一种具有防爆功能的喷枪控制装置
RU2289482C1 (ru) Способ промывки топливной системы самолета, комплекс и аппарат газонасыщения для его осуществления
CN211896248U (zh) 一种用于mbr污水处理系统的气源性抽真空装置
CN204900269U (zh) 自增压稳电流泵装置
CN218012083U (zh) 反渗透装置
CN215886515U (zh) 一种可调节和反冲的气提回流装置
CN207540062U (zh) 一种可调节流量的雾化器
CN208340435U (zh) 散排气体治理罐
CN209621632U (zh) 一种腐蚀性化学用品的输送设备
CN217191218U (zh) 一种便于移动的清洗分站

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant