CN206931557U - 用于晶圆切割的抗静电系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于晶圆切割的抗静电系统，该系统包括喷雾装置，喷雾装置连接抗静电装置，抗静电装置包括进气端、出水端以及过滤箱，过滤箱均与进气端、出水端连接，进气端连接进气管，进气管连接调压阀、气压表，过滤箱内靠近进气端设置有薄膜，过滤箱的侧壁上设有第一开口、第二开口，薄膜、第一开口、第二开口的位置依次降低，第二开口连接入水管，第一开口连接第一排水管，第一排水管上设有电导率探头，采用以上结构，在过滤箱内将二氧化碳气体溶在水中，产生碳酸根离子与氢离子，使得静电阻值降低至适当值，最后通过喷雾装置将混合后的水以水雾的状态喷出，保证晶圆的质量。

Description

用于晶圆切割的抗静电系统

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种用于晶圆切割的抗静电系统。

背景技术

静电在自然环境中广泛存在，在生产环境和作业过程中也极易产生，然而在晶圆加工过程，在生产环境内存在静电，静电会对晶圆表面的线路产生破坏，导致晶圆加工的质量下降，不良品率高。

发明内容

本实用新型的主要目的是提供一种提高晶圆加工质量的用于晶圆切割的抗静电系统。

为实现上述的主要目的，本实用新型提供的用于晶圆切割的抗静电系统包括切割机，切割机内设置有喷雾装置，喷雾装置包括第一喷嘴与第二喷嘴，第一喷嘴包括喷嘴固定块，喷嘴固定块的侧壁上设有出水口与第一出气口，喷嘴固定块内设置有喷水套筒，喷水套筒均与出水口、第一出气口连通，喷嘴固定块连接喷嘴固定套，喷嘴固定套的第一端内固定有喷嘴头，喷嘴固定套的第二端内固定有连接套，连接套连接喷水套筒，喷水套筒、连接套与喷嘴头相互连通，第一喷嘴的第一端设有喷雾口；第一出气口连接第一出气管，出水口连接出水管，第二喷嘴的侧壁上设置有第二出气口，第二喷嘴远离第二出气口的一侧设有喷气口，喷气口与第二出气口连通，第二出气口连接第二出气管，第一出气管、第二出气管与出水管均与气液分离管连接；

抗静电装置，抗静电装置连接喷雾装置，抗静电装置包括进气端、出水端以及过滤箱，过滤箱均与进气端、出水端连接，进气端包括进气管，进气管连接调压阀、气压表，过滤箱内靠近进气端设置有薄膜，过滤箱的侧壁上设有第一开口、第二开口，薄膜、第一开口、第二开口的设置位置依次降低，出水端包括入水管、第一排水管，第二开口连接入水管，第一开口连接第一排水管，第一排水管上设有电导率探头。

由此可见，在抗静电装置中的过滤箱内通过薄膜过滤二氧化碳气体后，二氧化碳气体与入水管进入过滤箱内的水混合后从第一排水管中排出，混合时，二氧化碳气体在水中产生碳酸根离子与氢离子，使得静电阻值降低至适当值，最后通过喷雾装置将混合后的水以水雾的状态喷出。

进一步的方案是，过滤箱的底部设置有第三开口，第三开口的设置位置低于第二开口的设置位置，第三开口连接第二排水管。

可见，过滤箱的底部设置有第三开口，第三开口的设置位置低于第二开口的设置位置，便于抗静电装置停止过程后，清洗过滤箱底部的积水。

进一步的的方案是，气液分离管朝向第一喷嘴的一端设有进水口，进水口连接出水管，气液分离管上还设有第一进气口以及第二进气口，第一进气口连接第一出气管，第二进气口连接第二出气管，气液分离管内连接有进水管、第一进气管以及第二进气管，进水管连接进水口，第一进气管连接第一进气口，第二进气管连接第二进气口，进水管连接抗静电装置。

可见，液分离管作为限位管，对连接第一喷嘴、第二喷嘴的管道进行集中限位，避免管道在切割机内随意摆放，影响切割清洗过程。

进一步的方案是，第一喷嘴、第二喷嘴以及气液分离管均固定在固定板上，固定板弯曲设置。

可见，固定板上同时固定第一喷嘴、第二喷嘴宜家气液分离管便于在清洁过程中整体的移动，固定板的弯曲设置便于适应在切割机内的安装位置。

进一步的方案是，抗静电装置还包括控制器以及与控制器连接的电池组。

附图说明

图1是本实用新型用于晶圆切割的抗静电系统实施例的结构框图。

图2是本实用新型用于晶圆切割的抗静电系统实施例中的喷雾装置的结构图。

图3是本实用新型用于晶圆切割的抗静电系统实施例中的第一喷嘴的结构图。

图4是沿图3中的A-A线剖切的剖面图。

图5是本实用新型用于晶圆切割的抗静电系统实施例中药水混合装置的结构图。

图6是本实用新型用于晶圆切割的抗静电系统实施例中的抗静电装置的部分结构图。

图7是本实用新型用于晶圆切割的抗静电系统实施例中的抗静电装置的另一部分结构图。

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

具体实施方式

本实用新型的用于晶圆切割的抗静电系统应用在晶圆切割过程中，抗静电系统中的抗静电装置中的过滤箱内将二氧化碳气体溶在水中，产生碳酸根离子与氢离子，使得静电阻值降低至适当值，最后通过喷雾装置将混合后的水以水雾的状态喷出，保证晶圆的质量。

参见图1至图4，本实用新型的用于晶圆切割的抗静电系统包括切割机1，切割机1内设有喷雾装置2，喷雾装置2包括第一喷嘴20与第二喷嘴21，第一喷嘴20包括喷嘴固定块203，喷嘴固定块203的侧壁上设有出水口201与第一出气口202，喷嘴固定块203内设置有喷水套筒204，喷水套筒204均与出水口201、第一出气口202连通，喷嘴固定块203连接喷嘴固定套206，喷嘴固定套206的第一端内固定有喷嘴头207，喷嘴固定套206的第二端内固定有连接套205，连接套205连接喷水套筒204，喷水套筒204、连接套205与喷嘴头207相互连通，第一喷嘴20的第一端设有喷雾口208。第一出气口202连接第一出气管，出水口201连接出水管。

第二喷嘴21的侧壁上设置有第二出气口211，第二喷嘴21远离第二出气口211的一侧设有喷气口，喷气口与第二出气口211连通，第二出气口211连接第二出气管，第一出气管、第二出气管与出水管均与气液分离管23连接。第二喷嘴21可将晶圆上清洗完成后的残留水喷干。

第二喷嘴21上设置有设有限位孔213，出水管与第一出气管均贯穿限位孔213，限位孔213对出水管与第二出气管进行限位，避免管道在切割机内随意摆放，影响切割清洗过程。第二喷嘴21连通喷气管212，喷气管212的自由端的管口朝向清洁盘。

气液分离管23朝向第一喷嘴20的一端设有进水口231，进水口231连接出水管，气液分离管23上还设有第一进气口以及第二进气口，第一进气口连接第一出气管，第二进气口连接第二出气管。气液分离管23内连接有进水管、第一进气管以及第二进气管，进水管连接进水口231，第一进气管连接第一进气口，第二进气管连接第二进气口，气液分离管23作为限位管，对连接第一喷嘴20、第二喷嘴21的管道进行集中限位，避免管道在切割机内随意摆放，影响切割清洗过程。

第一喷嘴20、第二喷嘴21以及气液分离管23均固定在固定板24上，固定板24弯曲设置，固定板24上同时固定第一喷嘴20、第二喷嘴21以及气液分离管23便于在清洁过程中整体的移动，固定板24的弯曲设置便于适应在切割机内的安装位置。

切割机1内还设有清洗盘，喷雾装置2的喷雾口208、喷气口朝向清洁盘。

切割机1内的喷雾装置2还可连接药水管3，药水管3连接气液分离管23中的进水管，将药水管3内的清洁水通过喷雾装置2以水雾形状喷出。药水管3还通过逆止阀连接药水混合装置4，将药水混合装置4内的含一定比例的清洁剂的清洁水通过喷雾装置2以水雾形状喷出，使得晶圆的清洗更加彻底，有效防止硅粉残留。参见图5，药水混合装置4包括药水罐40，药水罐40上设有卧式离心泵42，卧式离心泵42连接控制器41。卧式离心泵42连接第一排水管45，第一排水管45伸入药水罐40内，便于将药水罐40内的清洁水排出。卧式离心泵42包括排水口43、排气口44，其中当药水罐40内的药水被抽取完后，但卧式离心泵42依然在工作时，此时卧式离心泵42抽取的是药水罐40内的空气，卧式离心泵42根据介质的不同切换排出端，抽取到的空气从排气口44排出，避免空气进行药水管3内。排水口43连接第二排水管46，第二排水管46连接逆止阀的一端，逆止阀的另一端与药水管3连接。

喷雾装置还连接气体机6，气体机6连接气液分离管23中的第一进气管、第二进气管。

在切割机切割晶圆的过程中，由于自然存在的静电会对晶圆表面的线路产生破坏，因此在晶圆切割的过程中，为去除切割水内的静电，切割机1需连接抗静电装置5，抗静电装置5通过在切割水同通入二氧化碳，产生碳酸氢根离子和氢离子，使静电阻值降低至适当值，保证切割完成的晶圆的质量。

参见图6、图7，抗静电装置5包括进气端51、出水端53以及过滤箱52，过滤箱52均与进气端51、出水端53连接，进气端51设置有进气管511，进气管511连接二氧化碳钢瓶。沿着二氧化碳气体在进气管511的流向，进气管511依次连接调压阀512、气压表513，分别用于调整与测试二氧化碳的气压，便于适应生产。

过滤箱52的侧壁上设有第一开口520、第二开口521，过滤箱52内靠近第一开口520设置有薄膜，该薄膜只允许通过二氧化碳气体，无法通过水分子气体。第一开口520连接第一排水管530，第二开口521连接入水管531，薄膜、第一开口520以及第二开口521的设置位置依次降低，出水端包括入水管531、第一排水管530，第一开口520连接第一排水管530，第二开口521连接入水管531，由于第一开口520连接第一排水管530，第二开口521连接入水管531，第一排水管530连接喷雾装置2，喷雾装置2朝向晶圆，入水管531往过滤箱52内从底部或较低处注水，使得过滤箱52内的水接触刚用过薄膜的二氧化碳气体就通过第一开口520，从第一排水管530流向喷雾装置2，由喷雾装置2将混合有二氧化碳的水以水雾形态喷出。

在第一排水管530上还设置有电导率探头532，便于控制进入第一排水管530的切割水的电阻值。

过滤箱52的底部设置在第三开口，第三开口的设置位置低于第二开口的设置位置，第三开口连接第二排水管522，便于在切割机1停止工作后清理过滤箱52内的积水。抗静电装置内还设置有控制器，与控制器连接的电池组54，电池组54为抗静电装置5的显示功能提供电源。

抗静电装置5的第一排水管530可与喷雾装置2的进水管连接，将抗静电装置中第二排水管522排出的含有二氧化碳气体的清洁水以雾状形状喷出。

通过喷雾装置2喷出的水雾代替传统的水柱对切割机1切割的晶圆进行清洁，水雾的可接触面积更大，清洗更彻底，喷雾装置2不需要通过高压泵进行取水，因此避免可活塞磨损的情况。喷雾装置2在长期使用过程中，无需短期更换，使用寿命更长。

最后需要强调的是，本实用新型不限于上述实施方式，如第一喷嘴、第二喷嘴的制造材料的改变、固定板结构与形状的改变等变化也应该包括在本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (5)

1.用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于，包括：

切割机，所述切割机内设置有喷雾装置，所述喷雾装置包括第一喷嘴与第二喷嘴，所述第一喷嘴包括喷嘴固定块，所述喷嘴固定块的侧壁上设有出水口与第一出气口，所述喷嘴固定块内设置有喷水套筒，所述喷水套筒均与所述出水口、第一出气口连通，所述喷嘴固定块连接喷嘴固定套，所述喷嘴固定套的第一端内固定有喷嘴头，所述喷嘴固定套的第二端内固定有连接套，所述连接套连接所述喷水套筒，所述喷水套筒、所述连接套与所述喷嘴头相互连通，所述第一喷嘴的第一端设有喷雾口；所述第一出气口连接第一出气管，所述出水口连接出水管，所述第二喷嘴的侧壁上设置有第二出气口，所述第二喷嘴远离所述第二出气口的一侧设有喷气口，所述喷气口与所述第二出气口连通，所述第二出气口连接第二出气管，所述第一出气管、所述第二出气管与所述出水管均与气液分离管连接；

抗静电装置，所述抗静电装置连接所述喷雾装置，所述抗静电装置包括进气端、出水端以及过滤箱，所述过滤箱均与所述进气端、所述出水端连接，所述进气端包括进气管，所述进气管连接调压阀、气压表，所述过滤箱内靠近所述进气端设置有薄膜，所述过滤箱的侧壁上设有第一开口以及第二开口，所述薄膜、所述第一开口、所述第二开口的设置位置依次降低，所述出水端包括入水管和第一排水管，所述第二开口连接所述入水管，所述第一开口连接所述第一排水管，所述第一排水管上设有电导率探头。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于：

所述过滤箱的底部设置有第三开口，所述第三开口的设置位置低于所述第二开口的设置位置，所述第三开口连接第二排水管。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于：

所述气液分离管朝向所述第一喷嘴的一端设有进水口，所述进水口连接所述出水管，所述气液分离管上还设有第一进气口以及第二进气口，所述第一进气口连接所述第一出气管，所述第二进气口连接所述第二出气管，所述气液分离管内连接有进水管、第一进气管以及第二进气管，所述进水管连接所述进水口，所述第一进气管连接所述第一进气口，所述第二进气管连接第二进气口，所述进水管连接所述抗静电装置。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于：

所述第一喷嘴、第二喷嘴以及气液分离管均固定在固定板上，所述固定板弯曲设置。

5.根据权利要求4所述的用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于：

所述抗静电装置还包括控制器以及与所述控制器连接的电池组。