CN207573688U - 一种气液混合装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种气液混合装置，包括筒状的装置本体，所述装置本体上分别设有气体进口和液体进口，所述装置本体内部具有上宽下窄的密闭的锥形容腔，所述气体进口、液体进口均设置在所述装置本体的侧壁上部且与所述锥形容腔联通，在所述装置本体的侧壁下部设置有与所述锥形容腔联通的出液口，其中，所述气体进口处设置有针阀。本实用新型能够提高极大地增大二氧化碳和水的接触面积，促进二氧化碳在水中的溶解度，以提高去静电效果，进而提高产品质量。

Description

一种气液混合装置

技术领域

本实用新型涉及一种实现气体与液体进行混合、将气体溶于液体中的装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆是制造半导体芯片的基本材料。晶圆的制备是由硅元素加以纯化（99.999%），接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版、研磨、抛光、切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。在晶圆切割的过程中会产生静电，使得粉尘等杂质附着在晶圆表面，影响产品质量，目前多是采用碳化水来去除晶圆表面的静电，碳酸在水中电离出的氢根离子和碳酸氢根离子可去除在切割晶圆时产生的静电。

除此之外，生产过程中所使用的玻璃基板在清洗时，玻璃和滚刷、滚轮等之间因为摩擦产生静电，为了去除静电，也会采用碳化水来达到去静电的目的。

而碳化水的由来最简单的就是通过混合装置将纯水与二氧化碳予以混合，但是，现有的混合装置，由于气液二相特性，二氧化碳很难溶于气体中，或者说溶解度不够，影响去静电效果，进而影响产品质量。

发明内容

本实用新型目的在于提供一种气液混合装置，其能够提高极大地增大二氧化碳和水的接触面积，促进二氧化碳在水中的溶解度，以提高去静电效果，进而提高产品质量。

为了解决现有技术中的这些问题，本实用新型提供的技术方案是：

一种气液混合装置，包括筒状的装置本体，所述装置本体上分别设有气体进口和液体进口，所述装置本体内部具有上宽下窄的密闭的锥形容腔，所述气体进口、液体进口均设置在所述装置本体的侧壁上部且与所述锥形容腔联通，在所述装置本体的侧壁下部设置有与所述锥形容腔联通的出液口，其中，所述气体进口处设置有针阀。

对于上述技术方案，发明人还有进一步的优化措施。

进一步地，所述装置本体的顶部设置有与所述锥形容腔联通的泄压阀。

进一步地，所述装置本体的底部设置有与所述锥形容腔联通的泄流阀。

更进一步地，所述锥形容腔内壁与装置本体的轴向间的角度为度到度。

进一步地，所述气体进口采用的是VCR（Vacuum Coupling Radius Seal）接头，即真空连接径向密封接头。

进一步地，所述装置本体采用金属制成，其最小壁厚为5毫米。而如果所述装置本体1采用PVC制成，其最小壁厚为10毫米。

更进一步地，通入所述锥形容腔的气体为二氧化碳，而液体为水。

相比于现有技术中的解决方案，本实用新型优点是：

本实用新型通过向所设置的锥形容腔通入二氧化碳与水，二氧化碳气体经过针阀小孔形成高压高速的气流，在锥型容腔内形成旋转气流，再通入水使其与二氧化碳接触并混合，同时在锥形容腔中也形成旋转气液混流，极大地增大二氧化碳和水的接触面积，促进二氧化碳在水中的溶解度，最终从出液口引出碳酸水后即可很好地去除晶圆表面的静电，节约能源，还能提高最终的产品质量。

附图说明

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

图1为本实用新型一个实施例的气液混合装置的结构示意图。

其中：

1、装置本体；2、气体进口；3、液体进口；4、锥形容腔；5、出液口；6、针阀；7、泄压阀；8、泄流阀。

具体实施方式

以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本发明而不限于限制本发明的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体厂家的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。

实施例：

本实施例描述了一种气液混合装置，如图1所示，其一般性地可以包括筒状的装置本体1，所述装置本体1上分别设有气体进口2和液体进口3，所述装置本体1内部具有上宽下窄的密闭的锥形容腔4，所述气体进口2、液体进口3均设置在所述装置本体1的侧壁上部且与所述锥形容腔4联通，在所述装置本体1的侧壁下部设置有与所述锥形容腔4联通的出液口5，其中，所述气体进口2处设置有针阀6。

本实施例中，所通入的气体为二氧化碳，而液体为水，最终混合生成的维碳酸水。

本实施例向所设置的锥形容腔4中分别通入二氧化碳与水后，二氧化碳气体经过针阀6的小孔形成高压高速的气流，在锥型容腔4内形成旋转气流，再通入水使其与二氧化碳接触并混合，同时在锥形容腔4中也形成旋转气液混流，极大地增大二氧化碳和水的接触面积，促进二氧化碳在水中的溶解度，最终从出液口5引出碳酸水后即可很好地去除晶圆表面的静电，溶解度高的碳酸水能够降低用量也就能节约能源，还能提高最终的产品质量。

所述装置本体1的顶部设置有与所述锥形容腔4联通的泄压阀7；所述装置本体1的底部设置有与所述锥形容腔4联通的泄流阀8。在装置本1体外设的泄压阀7能够提升装置的整体工作安全性，而泄流阀8使得装置内部便于清洗，通水清洗后可直接从泄流阀8中放出清洗后的水。

为了满足上述旋转气流以及旋转气液混流的形成，所述锥形容腔4内壁与装置本体1的轴向间的角度为4度到6度。

进一步地，所述气体进口2采用的是VCR接头。VCR接头具有密封性好、工作稳定性高的特点，能够很好地满足进气需求，且不会泄露。

本实施例中所述装置本体1采用金属制成，其最小壁厚也就是壁厚最薄的地方为6毫米。而如果所述装置本体1采用PVC制成，其最小壁厚则至少为12毫米才能够满足装置需求。

上述实例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人是能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所做的等效变换或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种气液混合装置，包括筒状的装置本体（1），所述装置本体（1）上分别设有气体进口（2）和液体进口（3），其特征在于，所述装置本体（1）内部具有上宽下窄的密闭的锥形容腔（4），所述气体进口（2）、液体进口（3）均设置在所述装置本体（1）的侧壁上部且与所述锥形容腔（4）联通，在所述装置本体（1）的侧壁下部设置有与所述锥形容腔（4）联通的出液口（5），其中，所述气体进口（2）处设置有针阀（6）。

2.根据权利要求1所述的气液混合装置，其特征在于，所述装置本体（1）的顶部设置有与所述锥形容腔（4）联通的泄压阀（7）。

3.根据权利要求1所述的气液混合装置，其特征在于，所述装置本体（1）的底部设置有与所述锥形容腔（4）联通的泄流阀（8）。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的气液混合装置，其特征在于，所述锥形容腔（4）内壁与装置本体（1）的轴向间的角度为4度到6度。

5.根据权利要求1所述的气液混合装置，其特征在于，所述气体进口（2）采用的是VCR接头。

6.根据权利要求1所述的气液混合装置，其特征在于，所述装置本体（1）采用金属制成，其最小壁厚为5毫米。

7.根据权利要求1所述的气液混合装置，其特征在于，所述装置本体（1）采用PVC制成，其最小壁厚为10毫米。

8.根据权利要求1所述的气液混合装置，其特征在于，通入所述锥形容腔（4）的气体为二氧化碳，而液体为水。