CN111937096A - 磁性吸盘 - Google Patents

Abstract

在磁性吸盘(10)中，活塞组件(14)设置成能够在缸筒(12)的内部进行移动，该活塞组件(14)包括筒状的永磁体(42)和芯部磁轭(40)，永磁体(42)设置于芯部磁轭(40)的外周，并且永磁体(42)在径向上被磁化。

Description

磁性吸盘

技术领域

本发明涉及一种以永磁体的磁力对工件进行吸引并保持的磁性吸盘。

背景技术

以往，已知有使永磁体与气缸内部的活塞连结的磁性吸盘，并且该磁性吸盘使活塞和永磁体位移(例如，参见日本实开昭51-101724号公报)。在这样的磁性吸盘中，随着永磁体追随受到流体压的活塞的位移而接近工件，工件被吸引并保持。另外，当活塞向从工件离开的方向位移时，工件被释放。

经由磁性吸盘吸附大重量的工件时需要增大吸引力，但是在工件是薄板的情况下，由于在工件内部发生磁饱和，因此不容易增大吸引力。另外，单纯地选定磁力大的永磁体，会导致装置的大型化。

在使用了永磁体的磁性吸盘中，本申请人提出了这样的技术：发现增加通过工件的磁通量而对工件有大的吸引力(参见日本特开2016-124096号公报)。该磁性吸盘以在工件磁化面N极和S极的组合存在一组以上的方式配列有多个永磁体。

发明要解决的技术问题

被期望的是，进一步增加通过工件的磁通量，能够尽可能地以大的吸引力对工件进行吸引并保持的磁性吸盘。

发明内容

本发明以上述事项为背景，其目的在于提供一种能够以尽可能大的磁吸引力对工件进行吸引并保持的磁性吸盘。

在本发明所涉及的磁性吸盘中，活塞组件设置成能够在缸筒的内部移动，该活塞组件包括筒状的永磁体和芯部磁轭，永磁体设置在芯部磁轭的外周，并且永磁体在径向上被磁化。

根据上述的磁性吸盘，由于在永磁体的内周侧配设有作为铁磁体的芯部磁轭，因此能够使来自永磁体的磁通量集中，从而能够增大作用于工件的磁吸引力。

在所述磁性吸盘中，永磁体也可以是通过组合多个磁体片而构成的。由此，能够简单地得到筒状的永磁体。

另外，除了优选在永磁体的外周设置有罩磁轭，优选的是，在缸筒的轴向的一端侧设置有外部磁轭，该外部磁轭在活塞组件的移动端处与活塞组件的外周侧相对。由此，能够进一步增大作用于工件的磁吸引力。并且，在活塞组件的移动端处，由于在外部磁轭与活塞组件之间发挥作用的磁吸引力的移动方向成分减弱，因此能够减小使活塞组件从该移动端移动所需的气压。

另外，优选的是，与芯部磁轭相对的底部磁轭设置在缸筒的轴向的一端侧，在这种情况下，优选的是，在活塞组件的移动端处，底部磁轭进入芯部磁轭的凹部。由此，能够进一步增大作用于工件的磁吸引力。并且，在活塞组件的移动端处，由于在底部磁轭与活塞组件之间发挥作用的磁吸引力的移动方向成分减弱，因此能够减小使活塞组件从该移动端移动所需的气压。

另外，优选的是，与活塞组件相对的闩锁磁轭设置在缸筒的轴向的另一端侧。由此，在与所述移动端相反的一侧的移动端处，由于活塞组件以规定的磁吸引力被闩锁磁轭吸引，因此不会有活塞组件意外地移动而吸附工件的担忧。并且，在磁性吸盘的输送时等，能够避免磁性吸盘吸附周围的铁材等的无法预料的事态，实现安全的目的。

另外，优选的是，在活塞组件连结有杆，在杆向外部露出的端部设置有调节器，该调节器能够对活塞组件的移动端位置进行调节。由此，能够容易地调节对工件进行吸引并保持的磁吸引力。

根据本发明所涉及的磁性吸盘，由于在永磁体的内周侧配设有作为铁磁体的芯部磁轭，因此能够使来自永磁体的磁通量集中，从而能够增大作用于工件的磁吸引力。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的磁性吸盘的立体图。

图2是在活塞组件位于上止点时的图1的磁性吸盘的纵剖视图。

图3是图1的磁性吸盘的零件展开图。

图4是进一步展开图3的活塞组件的图。

图5是图2的V部放大图。

图6是在活塞组件位于下止点时的图1的磁性吸盘的纵剖视图。

图7A是表示在图1的磁性吸盘的活塞组件位于上止点时的磁通线的图，图7B及图7C是表示在该活塞组件分别位于规定位置时的磁通线的图，图7D是在该活塞组件位于下止点时的磁通线的图。

图8是表示图1的磁性吸盘的活塞组件的位置与作用于活塞组件的磁吸引力的大小之间的关系的图。

图9是表示图1的磁性吸盘的活塞组件的位置与作用于板的磁吸引力的大小之间的关系的图。

图10是本发明的第二实施方式所涉及的磁性吸盘的立体图。

图11是图10的磁性吸盘的纵剖视图。

具体实施方式

以下，列举了本发明所涉及的磁性吸盘的多个优选的实施方式，并且参见附图进行说明。

(第一实施方式)

参见图1～图9对本发明的第一实施方式所涉及的磁性吸盘10进行说明。

磁性吸盘10包括缸筒12、活塞组件14、顶罩16、底罩18以及闩锁磁轭20。磁性吸盘10例如安装于未图示的自动装置的顶端臂。

缸筒12由铝合金等顺磁体金属构成。缸筒12的横截面的外形是除了设置于缸筒12的下端的嵌合部22以外为矩形，缸筒12具有四个侧面。缸筒12的嵌合部22的横截面的外形是圆形。在缸筒12沿缸筒12的轴线方向贯通设置有截面为圆形的气缸孔24。

在缸筒12的一个侧面设置有供气排气用的第一端口26。第一端口26连接于第一供气排气孔28的上端，该第一供气排气孔28在缸筒12的壁的内部沿轴向延伸。如图5所示，在缸筒12的嵌合部22的内周侧形成有向下方开口的环状凹部30，第一供气排气孔28的下端面对该环状凹部30。

在供第一端口26开口的缸筒12的侧面和与之相对的缸筒12的侧面分别形成有两条安装槽34。这些安装槽34沿着缸筒12的轴线方向延伸至该缸筒12的上下两端，并且能够安装未图示的磁传感器。

在缸筒12的嵌合部22的顶端设置有用于装配后述的第三密封件96的台阶部。在气缸孔24的上端侧设置有用于安装闩锁磁轭20的台阶部32。缸筒12的四角，即，各个侧面彼此连接的部位是厚壁，在该厚壁部形成有供后述的贯穿螺栓94插通的插通孔35。

活塞组件14包括密封件保持架38、芯部磁轭40、永磁体42、罩磁轭44以及环状板45。

密封件保持架38由铝合金等顺磁体形成为圆板状。在密封件保持架38的外周经由凹槽设置有活塞密封件46，活塞密封件46与气缸孔24的壁面滑动接触。在密封件保持架38的中央设置有贯通孔48，在密封件保持架38的上端部设置有从贯通孔48向内方突出的向内凸缘50。在与顶罩16相对的密封件保持架38的上表面设置有环状凹部51。

芯部磁轭40由作为铁磁体的钢铁材料构成，构成为大致圆柱状。在芯部磁轭40的上端部的中央设置有小径的筒状突出部52。芯部磁轭40具有向筒状突出部52的顶端开口的有底的螺纹孔54。在芯部磁轭40的下端部形成有向下方开口的截面为圆形的凹部56。在凹部56的底面安装有从底面略微突出的第一减振器58，第一减振器58在活塞组件14下降到下止点时与底部磁轭80抵接，从而具有缓和冲击的功能(参见图6)。

芯部磁轭40的筒状突出部52从密封件保持架38的贯通孔48的下端侧嵌合至与密封件保持架38的向内凸缘50抵接，固定螺纹件60从贯通孔48的上端侧朝向芯部磁轭40的螺纹孔54被插入并螺合。由此，密封件保持架38和芯部磁轭40连结为一体。在芯部磁轭40的筒状突出部52的根部装配有第一密封件62。第一密封件62对密封件保持架38与芯部磁轭40之间进行密封。

筒状的永磁体42配置在芯部磁轭40的外周，安装成由密封件保持架38、芯部磁轭40、罩磁轭44以及环状板45包围。永磁体42在径向上被磁化。即，永磁体42的内周侧为N极，外周侧为S极。也可以是与之相反的，内周侧为S极，外周侧为N极。如图4所示，在本实施方式中，永磁体42在周向上被分割，即，永磁体42虽然构成为组合多个扇形的磁体片42a而成的圆筒状，但也可以是由单一的部件构成的。另外，也可以是组合多个平板状的磁体片而成的横截面为多边形的方筒状的永磁体。在永磁体为方筒状的情况下，将相对于永磁体的中心轴垂直地正交的方向称为永磁体的“径向”。

筒状的罩磁轭44配置在永磁体42的外周。罩磁轭44由作为铁磁体的钢铁材料组成。罩磁轭44的外周面的上方侧形成为大径，下方侧形成为小径。即，罩磁轭44具有隔着台阶部65的上方侧的大径部64和下方侧的小径部66。在大径部64设置有彼此在轴向上分离的两条环状槽68a、68b，在这些环状槽68a、68b装配有耐磨环70a、70b。活塞组件14经由耐磨环70a、70b被引导支承于气缸孔24。

顶罩16由铝合金等顺磁体金属组成，构成为俯视观察时与缸筒12的外形相同的矩形的板状。在顶罩16的下表面设置有具有两个台阶面的圆形凹部72。即，圆形凹部72从靠近缸筒12的一侧起依次具有大径部72a、中径部72b以及小径部72c，在大径部72a与中径部72b的边界形成有第一台阶面72d，在中径部72b与小径部72c的边界形成有第二台阶面72e。

中径部72b和第二台阶面72e用于定位闩锁磁轭20。小径部72c用于在活塞组件14上升时能够收容固定螺纹件60的头部(参见图2)。在由大径部72a和第一台阶面72d形成的环状的间隙装配有环状的第二密封件74。第二密封件74对缸筒12与顶罩16之间进行密封。

在顶罩16设置有第二端口76。第二端口76的一端向与供第一端口26开口的缸筒12的侧面对应的顶罩16的侧面开口。第二端口76的另一端向顶罩16的第二台阶面72e开口。

在供第二端口76开口的顶罩16的侧面和与之相对的顶罩16的侧面设置有与缸筒12的安装槽34对齐的槽78。该槽78在向缸筒12的安装槽34安装磁传感器时被利用。在矩形形状的顶盖16的四角设置有供后述的贯穿螺栓94插通的插通孔79，该插通孔79贯通顶罩16的厚度方向。

底罩18包括底部磁轭80、外部磁轭82、第一壳体86以及第二壳体100。

底部磁轭80由作为铁磁体的钢铁材料构成为圆柱状。底部磁轭80在活塞组件14下降时进入芯部磁轭40的凹部56(参见图6)。在底部磁轭80的下部设置有向径向外侧突出的下部凸缘80a。

在底部磁轭80的外侧配置有外部磁轭82。外部磁轭82由作为铁磁体的钢铁材料构成为圆筒状。在外部磁轭82的上部设置有向径向外侧突出的上部凸缘82a，在外部磁轭82的靠近下方的外周面设置有向径向内侧凹陷的外周凹部82b。在外部磁轭82的下端部内周侧设置有台阶部82c。

在底部磁轭80的下部凸缘80a与外部磁轭82的台阶部82c之间安装有环状的连结板84。由此，外部磁轭82固定于底部磁轭80。连结板84由铝合金等顺磁体金属组成。

第一壳体86由铝合金等顺磁体金属构成为筒状。第一壳体86的横截面的外形是与缸筒12相同的形状。第一壳体86具有在上下方向贯通的横截面为圆形的贯通孔88，并且具备在贯通孔88的下端部向内侧突出的下部凸缘90。在第一壳体86的贯通孔88嵌合有缸筒12的嵌合部22。

在第一壳体86的四个侧面中的相对的一对侧面设置有对缸筒12的安装槽34对齐的槽92。该槽92在缸筒12的安装槽34安装磁传感器时被利用。在第一壳体86的四角设置有供后述的贯穿螺栓94螺合的螺纹孔93。

四个贯穿螺栓94插通于顶罩16的插通孔79和缸筒12的插通孔35，该贯穿螺栓94的端部与第一壳体86的螺纹孔93螺合。由此，顶罩16、缸筒12以及第一壳体86这三者彼此连结固定。另外，由于外部磁轭82的上部凸缘82a被夹持在缸筒12的嵌合部22的端面与第一壳体86的下部凸缘90之间，因此外部磁轭82也被连结固定。

在设置在缸筒12的嵌合部22的顶端的台阶部和外部磁轭82的上表面形成的间隙装配有第三密封件96。第三密封件96对缸筒12与外部磁轭82之间进行密封。

环状的第二减振器98装配在缸筒12的下端与外部磁轭82的上表面之间，并且装配在面对缸筒12的环状凹部30的位置。在活塞组件14下降到下止点时，第二减振器98与罩磁轭44的台阶部65抵接，从而具有缓和冲击的功能。如图3所示，在第二减振器98的上表面，在周向上等间隔地设置有从内周端延伸至外周端的多个狭缝98a。该狭缝98a用于使第一供气排气孔28与气缸孔24连通。

第二壳体100由树脂材料或橡胶材料组成，以嵌合于外部磁轭82的外周凹部82b的方式被安装。第二壳体100相比底部磁轭80及外部磁轭82略微向下方突出。由此，在第二壳体100与作为吸附对象的铁质的板(工件)W接触时，在底部磁轭80及外部磁轭82与板W之间形成微小的间隔。

闩锁磁轭20由作为铁磁体的钢铁材料构成为圆板状，并且遍及顶罩16的圆形凹部72和设置在气缸孔24的上端侧的台阶部32地配置。在闩锁磁轭20的中央设置有在上下方向上贯通的中央贯通孔102。中央贯通孔102的上部是与顶罩16的小径部72c对齐的小径部102a，并且中央贯通孔102的上部能够在活塞组件14上升时对固定螺纹件60的头部进行收容(参见图2)。中央贯通孔102具有与小径部102a相连的大径部102b，并且在大径部102b装配有环状的第三减振器104。如图2所示，在活塞组件14上升后，第三减振器104与密封件保持架38的向内凸缘50抵接，从而具有缓和冲击的功能。大径部102b的下端锥状地扩径而形成有环状突出部106，在活塞组件14上升后，环状突出部106能够进入密封件保持架38的环状凹部51。

在闩锁磁轭20的上表面设置有环状槽108(参见图3)，并且设置有从环状槽108的底面延伸至闩锁磁轭20的下表面的多个第二供气排气孔110。向顶罩16的第二台阶面72e开口的第二端口76的另一端面对该环状槽108。即，第二端口76经由闩锁磁轭20的环状槽108和第二供气排气孔110与气缸孔24连通。

缸筒12的内侧的空间划分为：第一压力室112，该第一压力室112相比密封件保持架38的活塞密封件46存在于下方；第二压力室114，该第二压力室114相比密封件保持架38的活塞密封件46存在于上方。第一端口26经由第一供气排气孔28和第二减振器98的狭缝98a与第一压力室112连通，第二端口76经由闩锁磁轭20的环状槽108和第二供气排气孔110与第二压力室114连通。

本实施方式所涉及的磁性吸盘10基本上是如上构成的，以下，主要参见图7A～图9对其作用进行说明。如图2所示，将活塞组件14位于上止点(上升端)的状态作为初始状态。

以图7A表示初始状态下的磁通线。包括本图，表示磁通线的图基于计算机的计算。在表示磁通线的图中，为了方便，构成磁性吸盘10的部件仅表示了永磁体42与铁磁体(磁轭40、罩磁轭44、底部磁轭80、外部磁轭82及闩锁磁轭20)的轮廓。

从作为N极的永磁体42的内周侧发出的相当数量的磁通线经由芯部磁轭40、闩锁磁轭20以及罩磁轭44而返回到作为S极的永磁体42的外周侧。另一方面，几乎没有经由位于远离永磁体42的距离处的底部磁轭80或外部磁轭82而返回到永磁体42的磁通线。包含永磁体42的活塞组件14以规定的磁吸引力被闩锁磁轭20吸引。

在磁性吸盘10被使用之前的输送时等，即使不向磁性吸盘10供给空气，也能够通过闩锁磁轭20的作用来将活塞组件14保持在上止点的位置。由此，能够避免磁性吸盘10吸附周围的铁材等的无法预料的事态，实现安全的目的。

在初始状态中，对例如未图示的自动装置进行驱动，使磁性吸盘10接近作为吸附对象的铁制的板(工件)W，从而使第二壳体100与板W抵接。与此同时，对未图示的切换阀进行操作，从第二端口76向第二压力室114内供给空气，并且将第一压力室112内的空气从第一端口26排出。

当通过第二压力室114与第一压力室112之间的压差而向下方驱动活塞组件14的力超过在活塞组件14的上止点处闩锁磁轭20和活塞组件14之间发挥作用的磁吸引力，活塞组件14开始下降。

随着活塞组件14下降，在闩锁磁轭20与活塞组件14之间发挥作用的磁吸引力逐渐变小，另一方面，在底部磁轭80或外部磁轭82与活塞组件14之间发挥作用的磁吸引力逐渐变大。当后者的磁吸引力超过前者的磁吸引力时，使活塞组件14下降的力除了基于第一压力室112和第二压力室114之间的压差的力以外，还加上后者的磁吸引力和前者的磁吸引力的差值。

在此，以图7B表示活塞组件14位于相比闩锁磁轭20更靠近底部磁轭80的位置时的磁通线。

从永磁体42的内周侧发出的相当数量的磁通线至少经由底部磁轭80或外部磁轭82而返回到永磁体42的外周侧。另一方面，几乎没有经由闩锁磁轭20而返回到永磁体42的磁通线。该经由底部磁轭80或外部磁轭82而返回到永磁体42的磁通线主要包括以下的三条路径。

第一路径是从永磁体42发出之后，依次经由芯部磁轭40、底部磁轭80、板W、外部磁轭82以及罩磁轭44而返回到永磁体42的路径。第二路径是从永磁体42发出之后，依次经由芯部磁轭40、底部磁轭80、外部磁轭82以及罩磁轭44而返回到永磁体42的路径。第三路径是从永磁体42发出之后，依次经由芯部磁轭40、外部磁轭82以及罩磁轭44而返回到永磁体42的路径。板W包含于上述的第一路径，受到来自磁性吸盘10的磁吸引力。

当活塞组件14进一步下降时，底部磁轭80进入芯部磁轭40的凹部56。而且，罩磁轭44的台阶部65与第二减振器98抵接，并且第一减振器58与底部磁轭80抵接，从而活塞组件14到达下止点(下降端)。以图7C表示底部磁轭80开始进入芯部磁轭40的凹部56时的磁通线。另外，以图7D表示活塞组件14到达下止点时的磁通线。

观察这些图可知，在活塞组件14位于下止点附近时，从永磁体42发出并返回到永磁体42的磁通线的大部分依次经由芯部磁轭40、底部磁轭80、板W、外部磁轭82以及罩磁轭44。

进一步具体而言，从永磁体42的内周面发出的磁通线一边变化为朝向下方，一边通过芯部磁轭40或底部磁轭80的内部，一边提高磁通量密度，一边进入板W。然后，该磁通线在从板W向上方出来之后，经由外部磁轭82和罩磁轭44而返回到永磁体42的外周面。进入板W的磁通量密度大意味着作用于板W的磁吸引力大。在活塞组件14位于下止点时，通过板W的磁通量密度最大，板W以最大的磁吸引力被吸引并保持于磁性吸盘10。

然而，在活塞组件14位于下止点时，从芯部磁轭40发出并进入到底部磁轭80的磁通线的大部分从芯部磁轭40的凹部56的壁面向大致水平方向延伸。该磁通线的水平方向成分在圆周方向整体上相互抵消，不对在芯部磁轭40与底部磁轭80之间发挥作用的磁吸引力产生贡献。另外，从外部磁轭82发出并进入到罩磁轭44的磁通线的大部分在罩磁轭44的小径部66中大致在水平方向上延伸。该磁通线的水平方向成分在圆周方向整体上相互抵消，不对在罩磁轭44与外部磁轭82之间发挥作用的磁吸引力产生贡献。即，在活塞组件14的下止点附近，除了外部磁轭82与包含罩磁轭44在内的活塞组件14的外周侧相对以外，由于底部磁轭80进入芯部磁轭40的凹部56，因此活塞组件14被底部磁轭80及外部磁轭82吸引的力减弱。

在活塞组件14的下止点位置处，在磁性吸盘10对板W进行吸引并保持的状态下，板W被输送至规定位置。随后，为了释放板W，对未图示的切换阀进行操作，从第一端口26向第一压力室112内供给空气，并且第二压力室114内的空气从第二端口76被排出。

当通过第一压力室112与第二压力室114之间的压差而向上方驱动活塞组件14的力超过在活塞组件14的下止点及其附近处在底部磁轭80及外部磁轭82与活塞组件14之间发挥作用的磁吸引力，活塞组件14上升。如上所述，在活塞组件14的下止点附近，由于在底部磁轭80及外部磁轭82与活塞组件14之间发挥作用的磁吸引力被减弱，因此能够使为了使活塞组件14上升所必须的气压减少相应量。

活塞组件14的上升在密封件保持架38的向内凸缘50与第三减振器104抵接时停止。即，活塞组件14到达上止点。作用于板W的磁吸引力在活塞组件14的上升途中逐渐变小，将板W从吸附释放。除了闩锁磁轭20发生作用以外，由于第一压力室112与第二压力室114之间的压差持续发生作用，因此将活塞组件14稳固地保持在上止点的位置。由此，不会有活塞组件14意外地下降而吸附板W的担忧。

以图8表示分别在没有板W的情况、有厚度为2mm的板W的情况以及有厚度为5mm的板W的情况下，活塞组件14的位置与作用于活塞组件14的磁吸引力的大小之间的关系。将活塞组件14位于下止点时活塞组件14的位置作为零点，并以自下止点起的移动距离表示活塞组件14的位置。在本实施方式中，在活塞组件14位于上止点时，活塞组件14的位置为25mm。另外，磁吸引力中，将朝向上方的力设为正，将朝向下方的力设为负。即，活塞组件14被闩锁磁轭20吸引时为正，活塞组件14被底部磁轭80或外部磁轭82吸引时为负。

观察图8可知，在活塞组件14位于上止点时，作用于活塞组件14的向上方的磁吸引力为最大。随着活塞组件14从上止点下降，向上方的磁吸引力变小，并且在磁吸引力的朝向转变为朝下方后达到极大值。在没有板W或者板W的厚度为2mm的情况下，达到该极大值时，向下方的磁吸引力成为最大。

另一方面，以图9表示分别在板W的厚度是2mm的情况和板W的厚度是5mm的情况下，活塞组件14的位置与作用于板W的磁吸引力的大小之间的关系。观察该图可知，作用于板W的磁吸引力在活塞组件14从上止点下降至规定距离之间几乎为零，随后，随着下降而增大。作用于板W的磁吸引力在活塞组件14的下止点成为最大。

根据本实施方式，由于在永磁体42的内周侧配设有作为铁磁体的芯部磁轭40，因此能够使来自永磁体42的磁通量集中，从而能够使作用于工件的磁吸引力增大。

(第二实施方式)

接着，参见图10及图11对本发明的第二实施方式所涉及的磁性吸盘120进行说明。第二实施方式在活塞组件14连结有长尺寸的杆122以及在杆122向外部露出的端部设置有能够对活塞组件14的移动端位置进行调节的调节器这一点与第一实施方式不同。此外，在第二实施方式所涉及的磁性吸盘120中，对与上述的磁性吸盘10相同或同等的构成要素标注相同的参照符号，并且省略详细的说明。

在顶罩126的上表面中央设置有筒状突出部128。包括该筒状突出部128在内在顶罩126的上部中央配置有与圆形凹部72的小径部72c相连的中央孔130，杆122插通并支承于中央孔130。在圆形凹部72的小径部72c装配有与杆122抵接的杆衬垫132，顶罩126与杆122之间被密封。

杆122的下端侧通过密封件保持架38的贯通孔48而与芯部磁轭40的螺纹孔54螺合。杆122的上端侧通过闩锁磁轭20的中央贯通孔102和顶罩126的中央孔130而向外部延伸。杆122由铝合金等顺磁体金属组成。

调节螺母134和锁紧螺母136与形成于杆122的上端侧的内螺纹进行螺合。即，在杆122的上端侧的适当的位置安装有调节螺母134，并且该调节螺母134被锁紧螺母136固定在该位置。在调节螺母134的下表面安装有具有弹性的落座部件138。调节器由这些调节螺母134、锁紧螺母136以及落座部件138构成。

由于从活塞组件14位于上止点的状态对板W进行吸附，因此当从第二端口76向第二压力室114内供给空气，并且将第一压力室112内的空气从第一端口26排出时，活塞组件14下降。活塞组件14的下降在安装于杆122的落座部件138与顶罩126的筒状突出部128抵接时停止。

因此，通过变更调节螺母134相对于杆122的安装位置，能够对活塞组件14的下止点的位置进行调节，由此，能够调节对板W进行吸引并保持时的磁吸引力的大小。图9示出了活塞组件14的位置与作用于板W的磁吸引力的大小之间的关系。

根据本实施方式，能够调节为与吸附对象的板W的重量等相应的适当的磁吸引力而对板W进行吸引并保持。另外，在多个板W重叠放置的情况下，能够调节磁吸引力而一个一个地对板W进行吸引并保持。在本实施方式中，由调节螺母134、锁紧螺母136以及落座部件138构成调节器，但是调节器的结构并不限定于此。

本发明所涉及的磁性吸盘并不限定于上述的各实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内，可以采用各种结构，这是不言而喻的。

Claims (8)

1.一种磁性吸盘，在该磁性吸盘中，活塞组件设置成能够在缸筒的内部移动，该活塞组件包括筒状的永磁体和芯部磁轭，所述磁性吸盘的特征在于，

所述永磁体设置在所述芯部磁轭的外周，并且所述永磁体在径向上被磁化。

2.根据权利要求1所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述永磁体是通过组合多个磁体片而构成的。

3.根据权利要求1所述的磁性吸盘，其特征在于，

在所述永磁体的外周设置有罩磁轭。

4.根据权利要求1所述的磁性吸盘，其特征在于，

在所述缸筒的轴向的一端侧设置有外部磁轭，该外部磁轭在所述活塞组件的移动端处与所述活塞组件的外周侧相对。

5.根据权利要求1所述的磁性吸盘，其特征在于，

与所述芯部磁轭相对的底部磁轭设置在所述缸筒的轴向的一端侧。

6.根据权利要求5所述的磁性吸盘，其特征在于，

在所述活塞组件的移动端处，所述底部磁轭进入所述芯部磁轭的凹部。

7.根据权利要求1所述的磁性吸盘，其特征在于，

与所述活塞组件相对的闩锁磁轭设置在所述缸筒的轴向的另一端侧。

8.根据权利要求1所述的磁性吸盘，其特征在于，

在所述活塞组件连结有杆，在所述杆向外部露出的端部设置有调节器，该调节器能够对所述活塞组件的移动端位置进行调节。

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