CN111874624A - 一种可调轨道宽度的基片传输装置及基片传输方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种可调轨道宽度的基片传输装置及基片传输方法，包括机箱，传送模组的基座沿着前后方向嵌入在机箱的腔体内，传送模组的基座上设置有两条平行的轨道和轨道调节组件，轨道通过轨道调节组件设置在基座上，轨道用于传输基片，轨道调节组件用于调节两条轨道之间的宽度；牵引夹爪模组安装在传送模组上，牵引夹爪模组的移动端沿着传送模组的轨道往复运动，牵引夹爪模组的上夹爪和下夹爪在电机驱动下相对运动，用于夹取或释放基片；调节模组设置在流道传送模组的基片流入端，用于调整基片进入轨道的初始位置。根据本发明实施例的基片传输装置及装置应用方法，能适应多种不同尺寸规格基片的运输，提高了工作效率，降低成本并提高自动化率。

Description

一种可调轨道宽度的基片传输装置及基片传输方法

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，尤其涉及一种可调轨道宽度的基片传输装置及基片传输方法。

背景技术

半导体行业及3C行业，在加工微电子产品的过程中，通常需要将基片从一个位置转移至另一个位置，需要传输不同规格尺寸的基片，在传输机构上设置加工工位进行加工基片，因此，亟需一种可以进行调节轨道宽度的基片传输机构，适应多种不同基片的运输，且具有多个工位。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供一种可调轨道宽度的基片传输装置及基片传输方法，能够适应多种不同规格尺寸基片的运输，且可设置多个工位同时加工基片，节约作业时间，提高效率。

本发明采用以下技术方案实现：

一种可调轨道宽度的基片传输装置，包括：

机箱，所述机箱设有前后贯穿的腔体；

传送模组，所述传送模组的基座沿着前后方向嵌入在所述机箱的腔体内，所述传送模组的基座上设置有两条平行的轨道和轨道调节组件，其中，所述轨道通过所述轨道调节组件设置在所述基座上，所述轨道用于传输基片，所述轨道调节组件用于调节所述两条轨道之间的宽度；

牵引夹爪模组，所述牵引夹爪模组安装在所述传送模组上，所述牵引夹爪模组的移动端沿着所述传送模组的轨道往复运动，所述牵引夹爪模组的上夹爪和下夹爪在电机驱动下相对运动，用于夹取或释放基片；

调节模组，所述调节模组设置在所述流道传送模组的基片流入端，用于调整所述基片进入所述轨道的初始位置。

优选地，所述轨道调节组件分别设置在所述流道传送模组的前部、中部和后部。

优选地，所述轨道调节组件包括基片轨道基座平板、基片轨道从动滑座、轨道宽度调整滑轨，滚珠丝杆，两条平行的所述轨道的一条设置在所述基片轨道基座平板上固定不动，另一条设置在所述基片轨道从动滑座上，所述滚珠丝杠驱动所述基片轨道从动滑座沿着所述轨道宽度调整滑轨左右滑动，用于靠近或远离所述基片轨道基座平板；

优选地，所述轨道调节组件还包括水平同步带驱动件，所述水平同步带驱动件与所述流道传送模组的前部、中部和后部的所述滚珠丝杠连接，所述流道传送模组中部的所述滚珠丝杠通过所述水平同步带驱动件传动给前部和后部的滚珠丝杠。

优选地，所述牵引夹爪模组包括牵引夹爪基座、夹爪组件和移动组件，所述牵引夹爪基座安装在所述传送模组上；所述夹爪组件和移动组件安装在所述传送模组上；其中，

所述牵引夹爪基座上设有夹爪导轨；

所述夹爪组件包括上夹爪、下夹爪、滑块、步进电机、夹爪感应片、传感器、拉伸弹簧、拉伸弹簧柱、夹爪凸轮；其中，所述上夹爪和下夹爪通过滑块与夹爪导轨滑动连接；两个所述拉伸弹簧一端通过所述拉伸弹簧柱分别固定在所述上夹爪和所述下夹爪上，另一端分别与所述夹爪凸轮的左右两端连接，其中，所述夹爪凸轮的左右两端的设有高度差；所述步进电机驱动所述夹爪凸轮转动的左右两端同时转动，带动所述拉伸弹簧上升或下降；所述上夹爪下方安装有所述夹爪感应片，所述夹爪感应片下方安装有所述传感器，当所述传感器感应到所述夹爪感应片，所述步进电机停止转动；

所述移动组件包括直线电机、光栅尺、光栅尺调节支架、读数头和牵引导轨；其中，

所述牵引导轨沿着所述传送模组的基座方向设置，所述直线电机的定子沿着所述传送模组的基座方向设置，所述直线电机的动子用于驱动所述牵引夹爪基座沿着所述牵引导轨方向直线往返运动；所述光栅尺安装在所述传送模组的基座上，所述读数头通过所述光栅尺调节支架安装在所述牵引夹爪基座上；当所述读数头读取预定距离时，所述直线电机停止转动。

优选地，所述牵引夹爪模组设有一组或多组，且所述牵引夹爪模组安装在所述传送模组的一侧。

优选地，所述牵引夹爪模组还包括：限位件，所述限位件与所述牵引夹爪模组的夹爪凸轮连接，用于限定夹爪凸轮的转动位置。

优选地，所述调节模组包括气缸固定板、针型气缸、推块、滑动板、推板、推块斜面、滑动板斜面、销钉、销钉孔；其中，

所述气缸固定板上方安装有所述推块以及和所述推块相对设置的所述滑动板，所述推块斜面与所述滑动板斜面贴合；所述滑动板通过所述销钉穿过所述销钉孔与所述基片轨道连接，所述滑动板上方设有所述推板，所述针型气缸安装在所述气缸固定板下方；当所述针型气缸出气，推动所述推块，带动所述滑动板水平方向运动，推动所述推板水平方向运动，用于调整基片位置。

优选地，所述传送模组的基座可以安装加工组件。

一种采用可调轨道宽度的基片传输装置的基片传输方法，方法包括：

轨道宽度调整，调节所述轨道调节组件，使得两条基片轨道之间的宽度与基片宽度相适应；

基片调整，所述调节模组调整所述基片在所述基片轨道上的位置；

基片夹取，所述牵引夹爪模组夹取基片沿着所述轨道方向运输基片到指定位置。

本发明的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：

根据本发明的可调轨道宽度的基片传输装置，可以根据基片的规格尺寸调节合适的轨道宽度，适应多种不同规格尺寸基片的运输，且该装置具有多个工位，可以实现多工位同时加工基片，节约基片加工的作业时间，提高了整体工作效率。

附图说明

图1为本发明实施例的可调轨道宽度的基片传输装置的整体结构示意图；

图2为本发明实施例的传送模组的结构示意图；

图3为本发明实施例的传送模组的局部结构示意图；

图4为本发明实施例的传送模组的局部放大结构示意图；

图5为本发明实施例的牵引夹爪模组的结构示意图；

图6为本发明实施例的牵引夹爪模组的正视图；

图7为本发明实施例的牵引夹爪模组的右视图；

图8为本发明实施例的牵引夹爪模组的局部放大结构示意图；

图9为本发明实施例的调节模组的结构示意图。

附图标记：

100、机箱；

200、传送模组；210、基座；220、轨道；230、轨道调节组件；2301、基片轨道基座平板；2302、基片轨道从动滑座；2303、轨道宽度调整滑轨；2304、滚珠丝杆；2305、连杆；2306、水平同步带驱动件；2306、水平同步带驱动件；2307、垂直同步带驱动组件；2308、变宽惰轮轴；2309、同步轮旋转轴；2310、变宽惰轮支座；2311、同步轮轴固定支架；

300、牵引夹爪模组；310、牵引夹爪基座；3101、夹爪导轨；320、夹爪组件；3201、上夹爪；3202、下夹爪；3203、滑块；3204、步进电机；3205、夹爪感应片；3206、传感器；3207、拉伸弹簧；3208、拉伸弹簧柱；3209、夹爪凸轮；3210、挡线板；3211、硬限位；3212、缓冲垫；330、移动组件；3301、直线电机；3302、光栅尺；3303、光栅尺调节支架；3304、读数头；3305、牵引轨道；

400、调节模组；401、气缸固定板；402、针型气缸；403、推块(403)；404、滑动板；405、推板；4031、推块斜面；4041、滑动板斜面；4042、销钉、4043、销钉孔。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

除非另作定义，本发明中使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。

下面，参考附图说明根据本发明第一方面实施例的可调轨道宽度的基片传输装置。

如图1和图2所示，根据本发明的可调轨道宽度的基片传输装置，包括机箱100，传送模组200，牵引夹爪模组300，和调节模组400。

具体地，机箱100设有前后贯穿的腔体，传送模组200的基座210沿着前后方向嵌入在机箱100的腔体内，传送模组200的基座210上设置有两条平行的轨道220和轨道调节组件230，其中，轨道220通过轨道调节组件230设置在基座210上，轨道220用于传输基片，轨道调节组件230用于调节两条轨道220之间的宽度，牵引夹爪模组300安装在传送模组200上，牵引夹爪模组300的移动端沿着传送模组200的轨道220往复运动，牵引夹爪模组300的上夹爪301和下夹爪302在电机303驱动下相对运动，用于夹取或释放基片，调节模组400设置在流道传送模组200的基片流入端，用于调整基片进入轨道220的初始位置。

也就是说，首先通过轨道调节组件230调节传送模组200的两条平行轨道(220)之间的宽度，使得两条轨道220之间的宽度与基片尺寸相适应，然后，基片从流道传送模组200的基片流入端端进入，调整模组400推动基片与基片轨道220紧贴，调整好基片位置后，牵引夹爪模组300的夹爪夹住基片，并通过移动端将基片移动预设定的距离至加工点位，在加工点位对基片进行加工作业，当前加工点位完成基片加工作业后，牵引夹爪模组300移动至该加工点位夹住基片，并将基片牵引传送至下一个加工工位，重复以上运动，完成剩余基片加工作业，最后，牵引夹爪模组300将基片牵引至传送模组200的轨道220的末端。

由此，能够自由调节轨道宽度，适应多种不同基片的运输，且装置设有多个模组，模组之间布置紧密，可以实行同时加工基片，节约时间，提高作业效率，且装置的结构合理，提高空间利用率。

根据本申请的一个实施例，轨道调节组件230分别设置在流道传送模组200的前部、中部和后部，由此，轨道调节组件230在调节传送模组200的两条平行轨道220之间的宽度时，前部、中部和后部的轨道调节组件230能够联动，同时移动轨道的位置，保证轨道稳定移动，不会出现歪斜的问题。

根据本申请的一个实施例，轨道调节组件230包括基片轨道基座平板2301、基片轨道从动滑座2302、轨道宽度调整滑轨2303，滚珠丝杆2304，两条平行的轨道220的一条设置在基片轨道基座平板2301上固定不动，另一条设置在基片轨道从动滑座2302上，滚珠丝杠2304驱动基片轨道从动滑座2302沿着轨道宽度调整滑轨2303左右滑动，用于靠近或远离基片轨道基座平板2301。

如图3所示，轨道调节组件230的基座轨道基座平板2301设置在基座210上，基片轨道基座平板2301上设有轨道宽度调整滑轨2303，基片轨道从动滑座2302与轨道宽度调整滑轨2303滑动连接，进一步地，传送模组(200)的两条平行的轨道220中一条设置在基片轨道基座平板2301上固定不动，另一条设置在基片轨道从动滑座2302上，由此，通过基片轨道从动滑座2302沿着轨道宽度调整滑轨2303左右滑动，靠近或远离基片轨道基座平板(2301)，当基片轨道从动滑座2302靠近基片轨道基座平板(2301)时，当两条轨道220之间的距离缩小，当基片轨道从动滑座2302远离基片轨道基座平板(2301)时，当两条轨道220之间的距离增大。

在本申请的一些实施例中，通过滚珠丝杆2304驱动所述基片轨道从动滑座2302沿着所述轨道宽度调整滑轨2303左右滑动，其中，滚珠丝杆2304通过连杆2305与基片轨道从动滑座2302连接，滚珠丝杆2304转动时，通过连杆2305传动给基片轨道从动滑座2302，驱使基片轨道从动滑座2302沿着轨道宽度调整滑轨2303左右滑动。在实际应用中，滚珠丝杆(2304)安装在固定支座上。

根据本申请的一个实施例，轨道调节组件230还包括水平同步带驱动件2306，水平同步带驱动件2306与流道传送模组200的前部、中部和后部的滚珠丝杠2304连接，中部的滚珠丝杠2304通过水平同步带驱动件2306传动给前部和后部的滚珠丝杠2304。

如图4所示，设置在传送模组200中部的轨道调节组件230，在实际应用中，中部滚珠丝杠与水平同步带驱动件2306通过垂直同步带驱动组件2307连接，进一步地，垂直同步带驱动组件2307通过变宽惰轮轴2308和同步轮旋转轴2309与水平同步带驱动组件2306连接，其中，变宽惰轮轴2308通过变宽惰轮支座2310安装在基座210上，同步轮旋转轴2309通过同步轮轴固定支架2311安装在基座210上。

如图3、4所示，调节所述流道传送模组200中部的滚珠丝杆2304转动，基片轨道从动滑座2302在轨道宽度调整滑轨2303上水平移动，带动轨道220移动，同时，滚珠丝杆2304转动传动给垂直同步带驱动组件2307，垂直同步带驱动组件2307通过变宽惰轮轴2308传动给同步轮旋转轴2309，再通过同步轮旋转轴2309传动给水平同步带驱动件2306，水平同步带驱动件2306驱动前部和后部轨道调节组件230的滚珠丝杆2304转动，使得前部和后部的基片轨道从动滑座2302在轨道宽度调整滑轨2303上水平移动，从而同步水平移动基片轨道220的一条导轨靠近或远离基片轨道基座平板2301，达到了调整基片轨道220宽度的目的。

在本申请实施例的实际应用中，基片轨道从动滑座2302上方安装有后轨定位靠块2311，后轨定位靠块2311与轨道220连接，用来固定轨道220的位置，避免基片轨道从动滑座2302在移动的过程中，轨道220偏离基片轨道从动滑座2302。

根据本申请的一个实施例，牵引夹爪模组300包括牵引夹爪基座310、夹爪组件320和移动组件330，牵引夹爪基座310安装在传送模组200上，夹爪组件320和移动组件300安装在传送模组200上。

其中，牵引夹爪基座310上设有夹爪导轨3101，夹爪组件320包括上夹爪3201、下夹爪3202、滑块3203、步进电机3204、夹爪感应片3205、传感器3206、拉伸弹簧3207、拉伸弹簧柱3208、夹爪凸轮3209，其中，上夹爪3201和下夹爪3202通过滑块3203与夹爪导轨3101滑动连接，两个拉伸弹簧3207一端通过拉伸弹簧柱3208分别固定在上夹爪3201和下夹爪3202上，两个拉伸弹簧3207的另一端分别与夹爪凸轮3209的左右两端连接，其中，夹爪凸轮的左右两端的设有高度差，步进电机3204驱动夹爪凸轮3209的左右两端同时转动，带动拉伸弹簧3207上升或下降，上夹爪3201下方安装有夹爪感应片3205，夹爪感应片3205下方安装有传感器3206，当传感器3206感应到夹爪感应片3205，步进电机3204停止转动。

通过部件运动进一步说明，如图5、图6、图7、图8所示，步进电机3204安装在牵引夹爪基座310上，上夹爪3201和下夹爪3202通过拉伸弹簧3207与夹爪凸轮3209连接，两个拉伸弹簧3207一直处于被拉伸状态，当步进电机3204驱动夹爪凸轮3209转动时，由于夹爪凸轮3209左右两端的凸轮轴承设有高度差，使得夹爪凸轮3209左侧凸轮轴承上升，夹爪凸轮3209右侧的凸轮轴承下降，使得左侧拉伸弹簧3207继续拉伸，右侧拉伸弹簧3207收缩，从而带动上夹爪3201通过滑块3203沿着夹爪导轨3101上升，下夹爪通过滑块3203沿着夹爪导轨3101下降，此时牵引夹爪模组300的夹爪组件320处于打开状态，夹爪组件320用于放开基片。

当步进电机3204驱动夹爪凸轮3209转动，夹爪凸轮3209的左侧凸轮轴承下降，右侧凸轮轴承上升时，使得左侧拉伸弹簧3207收缩，右侧拉伸弹簧3207继续拉伸，从而带动上夹爪3201通过滑块3203沿着夹爪导轨3101下降，下夹爪3202通过滑块3203沿着夹爪导轨3101上升，随着上夹爪3201下降，上夹爪3201下方安装的夹爪感应片3205靠近传感器，当传感器3206感应到夹爪感应片3205时，步进电机3204停止转动，此时牵引夹爪模组300的夹爪组件320处于闭合状态，夹爪组件320用于夹取基片。

在本申请的一些实施例中，夹爪组件320还设有挡线板3210，挡线板3210用来挡住传感器3206的线束，避免传感器3206的线束外露影响牵引夹爪模组300沿着轨道220的运动。

在本申请的一些实施例中，牵引夹爪模组300还包括：限位件，限位件与牵引夹爪模组300的夹爪凸轮3209连接，用于限定夹爪凸轮3209的转动位置，例如，限位件包括硬限位3211和缓冲垫3212，当步进电机3204驱动夹爪凸轮3209转动，夹爪凸轮3209带动硬限位3211转动，当硬限位3211转动到一定位置时与缓冲垫3212抵触，硬限位3211停止转动，夹爪凸轮3209也停止转动，由此可以防止上、下夹爪过度夹紧，损坏基片。

牵引夹爪模组300的移动组件330包括直线电机3301、光栅尺3302、光栅尺调节支架3303、读数头3304和牵引导轨3305，其中，所述牵引导轨3305沿着所述传送模组200的基座210方向设置，所述直线电机3301的定子沿着所述传送模组200的基座210方向设置，所述直线电机3301的动子用于驱动牵引夹爪基座310沿着传送模组200的基座210方向直线往返运动，所述光栅尺3302安装在所述传送模组200的基座210上，所述读数头3304通过所述光栅尺调节支架3303安装在所述牵引夹爪基座310上，当读数头3304读取预定距离时，直线电机3301停止转动。

也就是说，当牵引夹爪模组300的夹爪组件320夹住基片以后，移动组件330的直线电机3301的动子驱动牵引夹爪基座310沿着传送模组200的基座210方向运动，读数头3304读取光栅尺3302的数值，当移动预定距离时，直线电机3301停止转动，牵引夹爪模组300停在该位置，同时，夹爪组件320的上夹爪3201和下夹爪3202打开，释放基片后，牵引夹爪模组300的移动组件330驱动牵引夹爪基座310返回初始位置，等待牵引运输下一个基片。

根据本申请的一个实施例，牵引夹爪模组300设有一组或多组，且牵引夹爪模组300安装在传送模组200的一侧，也就是说，可以根据实际加工基片的需要，通过多组牵引夹爪模组300在传送模组200上分段运输基片。

根据本申请的一个实施例，调节模组400包括气缸固定板401、针型气缸402、推块403、滑动板404、推板405、推块斜面4031、滑动板斜面4041、销钉4042、销钉孔4043；其中，气缸固定板401上方安装有推块403以及和推块403相对设置的滑动板404，推块斜面4031与滑动板斜面4041贴合，滑动板404通过销钉4042穿过销钉孔4043与基片轨道210连接，滑动板404上方设有推板405，针型气缸402安装在气缸固定板401下方；当针型气缸402出气，推动推块403，带动滑动板404水平方向运动，推动推板405水平方向运动，用于调整基片位置。

如图9所示，当基片从传送模组200的基片流入端进入时，针型气缸402驱动推块403向上运动，推块403的推块斜面挤压上方滑动板404，由于斜面的作用，滑动板404向水平方向推动推板405，推板405挤压基片，使得基片与传送模组200的轨道220贴合。

根据本申请的一个实施例，传送模组200的基座210可以安装加工组件。例如，在实际应用中，可以在传送模组200的基座210上添加压板夹爪模组、点胶吸附模组等，基片通过牵引夹爪模组300牵引移动到加工点位，压板夹爪模组按压基片，点胶吸附模组吸附基片并对基片点胶，完成基片的加工，一个优选实施例中，传送模组200的基座210上可以设置三组牵引夹爪组件300，并设置两组压板夹爪模组和两组点胶吸附模组，各个模组之间相互配合，完成基片的点胶加工。

根据本发明的可调轨道宽度的基片传输装置，可以根据基片的规格尺寸调节合适的轨道宽度，适应多种不同规格尺寸基片的运输，且该装置具有多个工位，各个模组布置紧密，可以实现多工位同时加工基片，节约基片加工的作业空间和时间，提高了整体工作效率。

根据本发明第二方面实施例的采用上述可调轨道宽度的基片传输装置的基片传输方法，方法包括：

轨道宽度调整，调节轨道调节组件230，使得两条基片轨道220之间的宽度与基片宽度相适应，例如，基片大小7mm，通过调节轨道调节组件230调节两条基片轨道220之间的宽度为7mm。

基片调整，调节模组400调整基片在基片轨道220上的位置，当基片从传送模组200的基片流入端进入后，调节模组400调整基片的位置，使得基片与轨道220贴紧。

基片夹取，牵引夹爪模组300夹取调整好位置的基片，并沿着轨道220方向牵引运输基片到指定位置。例如，传送模组200的基座210上还安装有加工基片的模组，譬如压板夹爪模组、点胶吸附模组等加工基片的模组，牵引夹爪模组300可以牵引基片运输到压板夹爪模组或点胶吸附模组加工基片的点位，等待基片加工结束后，下一组牵引夹爪模组300牵引基片运输到下一个加工点位，直至基片移动到传送模组200的末端。

根据本发明实施例的可调轨道宽度的基片传输装置及应用方法，能够调节轨道宽度，适应多种不同基片的运输，具有多个工位，可以实行同时操作，节约时间，提高作业效率，且装置的结构合理，应用广泛。

最后应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种可调轨道宽度的基片传输装置，其特征在于，包括：

机箱(100)，所述机箱(100)设有前后贯穿的腔体；

传送模组(200)，所述传送模组(200)的基座(210)沿着前后方向嵌入在所述机箱(100)的腔体内，所述传送模组(200)的基座(210)上设置有两条平行的轨道(220)和轨道调节组件(230)，其中，所述轨道(220)通过所述轨道调节组件(230)设置在所述基座(210)上，所述轨道(220)用于传输基片，所述轨道调节组件(230)用于调节所述两条轨道(220)之间的宽度；

牵引夹爪模组(300)，所述牵引夹爪模组(300)安装在所述传送模组(200)上，所述牵引夹爪模组(300)的移动端沿着所述传送模组(200)的轨道(220)往复运动，所述牵引夹爪模组(300)的上夹爪(301)和下夹爪(302)在电机(303)驱动下相对运动，用于夹取或释放基片；

调节模组(400)，所述调节模组(400)设置在所述传送模组(200)的基片流入端，用于调整所述基片进入所述轨道(220)的初始位置。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述轨道调节组件(230)分别设置在所述流道传送模组(200)的前部、中部和后部。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述轨道调节组件(230)包括基片轨道基座平板(2301)、基片轨道从动滑座(2302)、轨道宽度调整滑轨(2303)，滚珠丝杆(2304)、连杆(2305)，两条平行的所述轨道(220)的一条设置在所述基片轨道基座平板(2301)上固定不动，另一条设置在所述基片轨道从动滑座(2302)上，所述滚珠丝杠(2304)通过所述连杆(2305)与所述基片轨道从动滑座(2302)连接，用于驱动所述基片轨道从动滑座(2302)沿着所述轨道宽度调整滑轨(2303)左右滑动靠近或远离所述基片轨道基座平板(2301)。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述轨道调节组件(230)还包括水平同步带驱动件(2306)，所述水平同步带驱动件(2306)与所述流道传送模组(200)的前部、中部和后部的所述滚珠丝杠(2304)连接，所述流道传送模组(200)中部的所述滚珠丝杠(2304)通过所述水平同步带驱动件(2306)传动给前部和后部的滚珠丝杠(2304)。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述牵引夹爪模组(300)包括牵引夹爪基座(310)、夹爪组件(320)和移动组件(330)，所述牵引夹爪基座(310)安装在所述传送模组(200)上；所述夹爪组件(320)和移动组件(300)安装在所述传送模组(200)上；其中，

所述牵引夹爪基座(310)上设有夹爪导轨(3101)；

所述夹爪组件(320)包括上夹爪(3201)、下夹爪(3202)、滑块(3203)、步进电机(3204)、夹爪感应片(3205)、传感器(3206)、拉伸弹簧(3207)、拉伸弹簧柱(3208)、夹爪凸轮(3209)；其中，所述上夹爪(3201)和下夹爪(3202)通过滑块(3203)与夹爪导轨(3101)滑动连接；两个所述拉伸弹簧(3207)一端通过所述拉伸弹簧柱(3208)分别固定在所述上夹爪(3201)和所述下夹爪(3202)上，另一端分别与所述夹爪凸轮(3209)的左右两端连接，其中，所述夹爪凸轮的左右两端的设有高度差；所述步进电机(3204)驱动所述夹爪凸轮(3209)转动的左右两端同时转动，带动所述拉伸弹簧(3207)上升或下降；所述上夹爪(3201)下方安装有所述夹爪感应片(3205)，所述夹爪感应片(3205)下方安装有所述传感器(3206)，当所述传感器(3206)感应到所述夹爪感应片(3205)，所述步进电机(3204)停止转动；

所述移动组件(330)包括直线电机(3301)、光栅尺(3302)、光栅尺调节支架(3303)、读数头(3304)和牵引导轨(3305)；其中，

所述牵引导轨(3305)沿着所述传送模组(200)的基座(210)方向设置，所述直线电机(3301)的定子沿着所述传送模组(200)的基座(210)方向设置，所述直线电机(3301)的动子用于驱动所述牵引夹爪基座(310)沿着所述牵引导轨(3305)方向直线往返运动；所述光栅尺(3302)安装在所述传送模组(200)的基座(210)上，所述读数头(313)通过所述光栅尺调节支架(3303)安装在所述牵引夹爪基座(310)上；当所述读数头(313)读取预定距离时，所述直线电机(3301)停止转动。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述牵引夹爪模组(300)设有一组或多组，且所述牵引夹爪模组(300)安装在所述传送模组(200)的一侧。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述牵引夹爪模组(300)还包括：限位件，所述限位件与所述牵引夹爪模组(300)的夹爪凸轮(3209)连接，用于限定夹爪凸轮(3209)的转动位置。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述调节模组(400)包括气缸固定板(401)、针型气缸(402)、推块(403)、滑动板(404)、推板(405)、推块斜面(4031)、滑动板斜面(4041)、销钉(4042)、销钉孔(4043)；其中，

所述气缸固定板(401)上方安装有所述推块(403)以及和所述推块(403)相对设置的所述滑动板(404)，所述推块斜面(4031)与所述滑动板斜面(4041)贴合；所述滑动板(404)通过所述销钉(4042)穿过所述销钉孔(4043)与所述基片轨道(210)连接，所述滑动板(404)上方设有所述推板(405)，所述针型气缸(402)安装在所述气缸固定板(401)下方；当所述针型气缸(402)出气，推动所述推块(403)，带动所述滑动板(404)水平方向运动，推动所述推板(405)水平方向运动，用于调整基片位置。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述传送模组(200)的基座(210)可以安装加工组件。

10.一种采用权利要求1-9任一项所述的基片传输装置的基片传输方法，其特征在于，方法包括：

轨道宽度调整，调节所述轨道调节组件(230)，使得两条基片轨道(220)之间的宽度与基片宽度相适应；

基片调整，所述调节模组(400)调整所述基片在所述基片轨道(220)上的位置；

基片夹取，所述牵引夹爪模组(300)夹取基片沿着所述轨道(220)方向运输基片到指定位置。

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