CN111834190A - 等离子处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种等离子处理装置，其对载置于载物台的工件进行等离子处理，该等离子处理装置具有：检查电路部，其用于上述工件向上述载物台的载置状态的检查；等离子处理电路部，其用于上述等离子处理；以及第一切换部，其能够进行上述检查电路部与上述等离子处理电路部的选择。上述检查电路部具有：检查用连接部，其包含于上述载物台，且在上述工件载置于上述载物台上的上述等离子处理用的预定位置的情况下与上述工件电连接；以及计测部，其设为能够计测包括上述工件与上述检查用连接部之间的电阻的检查用电阻。

Description

等离子处理装置

技术领域

本发明涉及一种等离子处理装置。

背景技术

目前，已知如下方法：在使工件位于设在一对电极间的载置台的状态下，通过在一对电极间施加高频来产生等离子，对工件进行等离子处理。

在日本特开2010－87049号公报中公开了一种等离子处理装置，该等离子处理装置具有：对置配置的上部电极及下部电极；以及载置部，其具备载置面，该载置面以使具有被处理面的工件位于上部电极及下部电极之间的方式载置工件。在具备载置面的下部电极设有从载置面出没自如的销(突起)。突起在其前端面比载置面突出的突出状态和与载置面一致的容纳状态之间移动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－87049号公报

发明内容

发明所要解决的课题

根据日本特开2010－87049号公报的结构，能够在载置面上的预定位置准确地配置工件。但是，在该结构中，无法掌握配置于预定位置的工件是否相对于载置面正确地载置。例如，在工件与载置面之间形成有微小的间隙的情况下，存在不能适当地进行等离子处理的可能性。

本发明的目的在于提供能够将工件适当地组装到载物台进行等离子处理的技术。

用于解决课题的方案

本发明的示例性的等离子处理装置对载置于载物台的工件进行等离子处理，该等离子处理装置具有：检查电路部，其用于上述工件向上述载物台的载置状态的检查；等离子处理电路部，其用于上述等离子处理；以及第一切换部，其能够进行上述检查电路部与上述等离子处理电路部的选择。上述检查电路部具有：检查用连接部，其包含于上述载物台，且在上述工件载置于上述载物台上的上述等离子处理用的预定位置的情况下与上述工件电连接；以及计测部，其设为能够计测包括上述工件与上述检查用连接部之间的电阻的检查用电阻。

发明效果

根据示例性的本发明，能够将工件适当地组装于载物台进行等离子处理。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的结构的示意图。

图2是表示从图1所示的状态切换了使用的电路部的状态的示意图。

图3是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的结构的块图。

图4是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的控制部进行的控制处理的流程图。

图5是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第一变形例的示意图。

图6是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第二变形例的示意图。

图7是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第三变形例的示意图。

图8是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第四变形例的示意图。

图9是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第五变形例的示意图。

图10是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第六变形例的示意图。

图11是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第六变形例的示意图。

图12是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第七变形例的示意图。

图中：

1—载物台，4—第一切换部，5—计测部，7—控制部，9—第二切换部，11—第一分割载物台，12—第二分割载物台，13—检查用连接部，41—第一继电器开关，42—第二继电器开关，43—第三继电器开关，44—第四继电器开关，45—第五继电器开关，46—第六继电器开关，47—第一移动机构，48—第二移动机构，100—等离子处理装置，101—第一金属探针，102—第二金属探针，200—工件，C1—等离子处理电路部，C2—检查电路部。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的示例性的实施方式详细地进行说明。在本说明书中，在进行等离子处理装置100的说明时，将相对于载物台1供工件200配置的一侧设为上，定义上下方向。另外，将平行于与上下方向正交的面的方向设为水平方向。这些方向是用于对各部分的形状、位置关系进行说明的名称，不限定实际的位置关系及方向。

＜1.关于等离子处理的结构＞

图1是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的结构的示意图。如图1所示，等离子处理装置100具有载物台1、电极部2以及电源部3。

载物台1是载置成为等离子处理的对象的工件200的场所。载物台1主要由例如金属等具有导电性的部件构成。在本实施方式中，载物台1是在水平方向上扩展的板状。载物台1通过后述的继电器开关41接通而与电源部3电连接。此外，载置于载物台1的上侧的工件200由例如金属等导电性的材料构成。在继电器开关41接通的情况下，工件200经由载物台1与电源部3电连接。

电极部2与载置于载物台1的工件200对置配置。详细来说，电极部2隔着间隙S配置于在载物台1载置的工件200的上侧。电极部2是上下延伸的柱状。在本实施方式中，电极部2大致由金属等导电性的部件构成。电极部2具有覆盖导电性的部件的下表面的电介质21。因此，工件200与电介质21在上下方向上隔着间隙S对置。电介质21例如由氧化铝、氧化锆或易切削陶瓷等陶瓷材料构成。

就电源部3而言，与电连接于载物台1的端子相反的一侧的端子电连接于电极部2。电源部3是高电压电源。电源部3是能够以高频施加高电压的交流电源。电源部3施加的电压的频率例如是1kHz～100kHz。电源部3施加的电压的波形优选脉冲波形。但是，施加电压的波形例如也可以是正弦波或矩形波等其它波形。另外，电源部3施加的电压的大小例如是5kVPP～20kVPP。施加电压的大小例如考虑电极部2与工件200的上下方向间的间隙S的大小等而适当地设定。

工件200载置于载物台1，在图1所示的状态下由电源部3施加高频的高电压。由此，在电极部2与工件200之间进行电介质阻挡放电，向间隙S供给的处理气体被等离子化。等离子P与工件200的表面接触，工件200的表面被进行等离子处理。即，等离子处理装置100对载置于载物台1的工件200进行等离子处理。等离子处理例如包括表面改性处理、薄膜形成处理、灰化处理或清洗处理等。

此外，处理气体可以由未图示的气体供给单元从外部供给至间隙S。但是，也可以不配置气体供给单元，处理气体也可以是自然地供给至间隙S的气体。另外，处理气体的种类只要根据处理目的适当地选择即可，没有特别限制。例如，在去除附着于金属制的工件200的表面的切削油等残渣的情况下，处理气体可以是对氮微量地添加了氧的混合气体。

另外，在能够通过由电源部3施加的电压的波形控制来抑制电弧放电的情况等下，电极部2也可以没有电介质21。即，电极部2的电介质21不是必须的。

另外，在本实施方式中，等离子处理在大气压下进行。由此，与在密闭容器内配置工件200并在减压下进行等离子处理的情况相比，能够提高作业效率。另外，因为不需要耐减压的牢固的密闭容器，所以能够低价地进行等离子处理。但是，等离子处理装置100也可以设为在减压下进行等离子处理的装置。

由以上的说明可知，等离子处理装置100具有用于等离子处理的等离子处理电路部C1。等离子处理电路部C1具有载物台1、电极部2以及电源部3。等离子处理电路部C1与经由通过电介质阻挡放电产生的等离子与电极部2电连接的工件200一同形成等离子处理时的电路。

＜2.关于载置状态的检查的结构＞

图2是表示从图1所示的状态切换了使用的电路部的状态的示意图。等离子处理装置100设为能够从使用图1所示的等离子处理电路部C1的状态切换到使用图2所示的检查电路部C2的状态。该切换通过第一切换部4进行。换言之，等离子处理装置100具有等离子处理电路部C1、检查电路部C2、以及第一切换部4。第一切换部4能够进行等离子处理电路部C1与检查电路部C2的选择。

检查电路部C2用于工件200向载物台1的载置状态的检查。检查电路部C2具有检查用连接部13和计测部5。

检查用连接部13包含于载物台1。在工件200配置于载物台1上的等离子处理用的预定位置的情况下，检查用连接部13与工件200电连接。换言之，在检查用连接部13与工件200未电连接的情况下，工件200未配置于载物台1上的等离子处理用的预定位置。在这样的状态下，不能适当地进行等离子处理。在工件200与检查用连接部13电连接的状态下，可适当地进行使用了等离子处理电路部C1的等离子处理。

在本实施方式中，检查用连接部13是从载物台1的上表面朝向上方延伸的销形状。与此对应地，在工件200的下表面形成有供检查用连接部13插入的未图示的凹部。通过将检查用连接部13设为销形状，能够易于将工件200简单地配置于预定位置。检查用连接部13具有导电性。检查用连接部13的上端部例如可以是球面状。检查用连接部13可以与载物台1为单一部件。另外，检查用连接部13也可以由与载物台1不同的部件构成，通过固定于载物台1而与载物台1成为一体。

此外，检查用连接部13也可以不是销形状，例如可以是载物台1的上表面的一部分的平面区域。在该结构的情况下，工件200例如可以利用通过负压产生单元产生的负压固定于平面区域。另外，检查用连接部13也可以是形成于载物台1的上表面的凹部。在该结构的情况下，在工件200的下表面可以设有插入到凹部的凸部。

在载物台1的上表面配置有多个检查用连接部13。检查用连接部13的数量例如优选设为三个。由此，能够减少载物台1上的检查用连接部13的数量并平衡性良好地支撑工件200。另外，由此，能够抑制在等离子处理中工件200从预定位置偏离的事态的发生。

详细来说，载物台1具有互相电独立的第一分割载物台11及第二分割载物台12。第一分割载物台11和第二分割载物台12在水平方向上隔开间隔地配置。在第一分割载物台11与第二分割载物台12的水平方向之间配置有绝缘部件14。绝缘部件14例如由绝缘性的树脂或陶瓷等构成。此外，第一分割载物台11通过第一导线6a经由后述的继电器开关41与电源部3连接。另一方面，未设置将第二分割载物台12与电源部3连接的导线。另外，载物台1具有的分割载物台的数量可以是三个以上。

在第一分割载物台11及第二分割载物台12分别设有检查用连接部13。在本实施方式中，在第一分割载物台11设有一个检查用连接部13。在第二分割载物台12设有两个检查用连接部13。以下，有时将配置于第一分割载物台11的检查用连接部13记载为第一检查用连接部131。有时将配置于第二分割载物台12的检查用连接部13记载为第二检查用连接部132。

此外，例如，在检查用连接部13的数量是三个，且分割载物台的数量是三个的情况下，可以在各分割载物台各配置有一个检查用连接部13。即，即使检查用连接部13是三个以上，也可以在第二分割载物台12仅设置一个检查用连接部13。

计测部5设为能够测定包括工件200与检查用连接部13之间的电阻的检查用电阻。在本实施方式中，计测部5是电阻计。在利用第一切换部4选择检查电路部C2时，计测部5具有的两个连接端子(未图示)中的一方与第一分割载物台11电连接。两个连接端子中的另一方与第二分割载物台12连接。

在本实施方式中，第一切换部4由多个继电器开关41～43构成。构成第一切换部4的继电器开关优选为耐压性高的机械式的继电器开关。第一继电器开关41配置于将电源部3和第一分割载物台11连接的第一导线6a的中途。如果第一继电器开关41接通，则电源部3和第一分割载物台11电连接。如果第一继电器开关41断开，则电源部3和第一分割载物台11电断开。

第二继电器开关42配置于将计测部5和第一分割载物台11连接的第二导线6b的中途。如果第二继电器开关42接通，则计测部5和第一分割载物台11电连接。如果第二继电器开关42断开，则计测部5和第一分割载物台11电断开。第三继电器开关43配置于将计测部5和第二分割载物台12连接的第三导线6c的中途。如果第三继电器开关43接通，则计测部5和第二分割载物台12电连接。如果第三继电器开关43断开，则计测部5和第二分割载物台12电断开。

如图1所示，第一继电器开关41接通，且第二继电器开关42及第三继电器开关43断开，由此选择等离子处理电路部C1。由此，能够进行使用了上述的等离子处理电路部C1的工件200的等离子处理。

另一方面，如图2所示，第一继电器开关41断开，且第二继电器开关42及第三继电器开关43接通，由此选择检查电路部C2。检查电路部C2具有计测部5、包括第一检查用连接部131的第一分割载物台11、以及包括第二检查用连接部132的第二分割载物台12。如果在载物台1载置有工件200，则检查电路部C2与工件200一同形成电阻计测电路。

在工件200在载物台1载置于用于进行等离子处理的适当的位置的情况下，工件200和检查用连接部13接触，在该部分不会产生大的电阻。因此，计测部5计测出将构成电阻计测电路的各部件的电阻值加起来的电阻值、或者与其接近的电阻值。另一方面，有时工件200未正确地载置于载物台1，在工件200与检查用连接部13之间产生间隙。在该情况下，计测部5计测出大幅超过将各部件的电阻值加起来的电阻值的电阻值。即，根据本实施方式，能够基于计测部5的计测结果，确认工件200是否适当地载置于用于进行等离子处理的预定位置，能够适当地进行等离子处理。

在等离子处理装置100中，检查用连接部13兼用于等离子处理电路部C1。因此，能够将具有等离子处理电路部C1和检查电路部C2这两个电路部的等离子处理装置100的结构简化。另外，在本结构中，能够对在等离子处理时构成等离子处理用的电路的部分直接应用使用了检查电路部C2的检查。因此，能够降低在等离子处理时产生问题的可能性。

在本实施方式中，第一分割载物台11的检查用连接部13兼用于等离子处理电路部C1。即，第一检查用连接部131兼用于等离子处理电路部C1。在进行等离子处理时，包括第一检查用连接部131的第一分割载物台11为电通道。由于工件200向载物台1的载置的方法不合适，可能引起在第一检查用连接部131与工件200之间产生间隙。如果在这样的状态下进行等离子处理，则存在在第一检查用连接部131与工件200之间的间隙产生放电的可能性。如果产生这样的异常放电，则不仅不能在工件200的表面进行预定的等离子处理，还可能对工件200造成损伤。在本实施方式中，通过使用了检查电路部C2的检查，能够在进行等离子处理之前检测在第一检查用连接部131与工件200之间是否产生了间隙。因此，根据本实施方式，能够不对工件200造成损伤地对工件200的表面适当地进行等离子处理。

另外，在本实施方式中，将载物台1分割为包括第一检查用连接部131的第一分割载物台11和包括第二检查用连接部132的第二分割载物台12，因此仅通过将工件200载置于载物台1便能够简单地进行使用检查电路部C2的检查。而且，在本实施方式中，构成为仅两个分割载物台11、12中的一方兼用于等离子处理电路部C1和检查电路部C2，因此能够简化配线。

＜3.关于控制处理＞

图3是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的结构的块图。如图3所示，等离子处理装置100具有上述的电源部3、第一切换部4以及计测部5。等离子处理装置100还具有控制部7。控制部7控制整个等离子处理装置100。控制部7例如由具备CPU(CentralProcessing Unit)、RAM(Random Access Unit)以及ROM(Read Only Memory)等的计算机构成。

此外，等离子处理装置100还具有通知部8。在通过使用了检查电路部C2的检查对工件200的载置状态检测出异常的情况下，通知部8将异常通知给操作员。通知部8例如可以是通过声音通知异常的单元。另外，通知部8例如可以是利用显示文字等的显示画面通知异常的单元。另外，通知部8例如可以是利用光的点亮通知异常的单元。通知部8也可以是将上述的多个单元组合的结构。

控制部7控制第一切换部4的动作。在本实施方式中，控制部7控制第一继电器开关41、第二继电器开关42以及第三继电器开关43的接通、断开。据此，能够通过控制部7使第一切换部4自动动作，能够减轻作业负担。此外，控制部7还控制电源部3、计测部5以及通知部8的动作。另外，控制部7从计测部5接收计测部5的计测结果。

图4是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的控制部7进行的控制处理的流程图。如果工件200载置于载物台1，则控制部7开始控制动作。此外，控制部7对于工件200载置于载物台1的情况可以自动进行检测，也可以按照来自操作员的指令进行检测。控制部7例如通过对从未图示的摄像机得到的图像进行图像处理，自动检测工件200载置于载物台1。

在步骤S1中，控制部7控制第一切换部4来选择检查电路部C2。详细而言，控制部7将第一继电器开关41断开，并将第二继电器开关42及第三继电器开关43接通。由此，等离子处理装置100能够进行使用了检查电路部C2的检查动作。控制部7通过选择检查电路部C2的动作的结束，将处理进入到接下来的步骤S2。

在步骤S2中，控制部7控制计测部5计测检查用电阻。由此，控制部7从计测部5取得检查用电阻的计测结果。控制部7通过计测结果的取得，将处理进入到接下来的步骤S3。

在步骤S3中，控制部7确认从计测结果中是否发现异常。详细而言，在取得的电阻值为预定的阈值以上的情况下，控制部7检测出工件200未适当地载置于载物台1的异常状态。另一方面，在取得的电阻值小于预定的阈值的情况下，控制部7未检测出异常状态。控制部7在检测出异常的情况下(在步骤S3为是(Yes))，将处理进入到步骤S4。另一方面，控制部7在未检测到异常的情况下(在步骤S3为否(No))，将处理进入到步骤S5。

在步骤S4中，控制部7控制通知部8，向操作员通知工件200的载置状态不合适。通过通知部8的动作，例如发出警报声。由此，操作员能够进行将工件200重新放置于载物台1等对应。

在步骤S5中，控制部7控制第一切换部4选择等离子处理电路部C1。详细而言，控制部7使第一继电器开关41接通，并使第二继电器开关42及第三继电器开关43断开。由此，等离子处理装置100能够进行使用了等离子处理电路部C1的等离子处理。控制部7通过选择等离子处理电路部C1的动作的结束，将处理进入到接下来的步骤S6。

在步骤S6中，控制部7控制电源部3的动作而产生等离子。通过等离子的产生，对工件200的表面进行等离子处理。在本实施方式中，在工件200适当地载置于载物台1的状态下进行等离子处理，因此能够适当地进行工件200的等离子处理。

＜4.变形例＞

(4－1.第一变形例)

图5是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第一变形例的示意图。图5表示选择了等离子处理电路部C1A的状态。如图5所示，在第一变形例的等离子处理装置100A中，载物台1取代被设置成能够与电源部3连接，而是被设置成可接地。

在选择了等离子处理电路部C1A的情况下，构成第一切换部4A的第一继电器开关41A接通，载物台1接地。详细而言，第一分割载物台11接地。第一继电器开关41A配置于将第一分割载物台11和大地连接的第四导线6d的中途。此外，在选择了等离子处理电路部C1A的情况下，第二继电器开关42及第三继电器开关43断开。在这样的结构中，也与上述的实施方式相同地，能够在工件200适当地载置于载物台1的状态下进行等离子处理，能够适当地进行工件200的等离子处理。

(4－2.第二变形例)

图6是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第二变形例的示意图。图6表示选择了等离子处理电路部C1的状态。在第二变形例的等离子处理装置100B中，第一切换部4B也由多个继电器开关41～45构成。但是，在追加了第四继电器开关44及第五继电器开关45这一点上与上述的实施方式不同。

在第二变形例中，检查电路部C2B具有在检查用连接部13与计测部5之间串联配置的多个继电器开关42～45。详细而言，与上述的实施方式的结构相比，在第一检查用连接部131与计测部5之间追加了第四继电器开关44。第四继电器开关44在第二继电器开关42与计测部5之间串联配置。即，在第一检查用连接部131与计测部5之间配置有串联配置的两个继电器开关42、44。另外，与上述的实施方式的结构相比，在第二检查用连接部132与计测部5之间追加了第五继电器开关45。第五继电器开关45在第三继电器开关43与计测部5之间串联配置。即，在第二检查用连接部132与计测部5之间配置有串联配置的两个继电器开关43、45。

根据本变形例，即使在例如第二继电器开关42及第三继电器开关43发生故障而没有断开的情况下，如果第四继电器开关44及第五继电器开关45断开，则也能够阻止在等离子处理时电流流入计测部5。即，根据本变形例，能够降低在等离子处理时电流流入计测部5而使计测部5发生故障的可能性。

此外，在本变形例中，配置于第一检查用连接部131与计测部5之间以及第二检查用连接部132与计测部5之间的继电器开关的个数分别也可以为三个以上。另外，在第一检查用连接部131与计测部5之间和在第二检查用连接部132与计测部5之间，配置的继电器开关的数量也可以不同。

(4－3.第三变形例)

图7是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第三变形例的示意图。图7表示选择了等离子处理电路部C1的状态。第三变形例的等离子处理装置100C与第二变形例的结构大致相同。但是，等离子处理装置100C还具有第二切换部9。这一点与第二变形例不同。

第二切换部9与计测部5并联配置。第二切换部9能够进行第一分割载物台11与第二分割载物台12的电连接的切换。第二切换部9可以是继电器开关。构成第二切换部9的继电器开关优选耐压性高的机械式的继电器开关。第二切换部9的动作优选由控制部7控制。详细而言，第二切换部9的一方的端子经由第五导线6e和第二导线6b的一部分与第一分割载物台11和第二继电器开关42的一方的端子电连接。第二切换部9的另一方的端子经由第六导线6f和第三导线6c的一部分与第二分割载物台12和第三继电器开关43的一方的端子电连接。

在利用第一切换部4C选择检查电路部C2C时，第二切换部9被设为断开。由此，能够维持第一分割载物台11与第二分割载物台12的绝缘状态，适当地检查载物台1上的工件200的载置状态。另一方面，在利用第一切换部4C选择等离子处理电路部C1时，第二切换部9被设为接通。由此，在进行等离子处理时，能够使第一分割载物台11和第二分割载物台12导通。因此，即使在等离子处理时第二～第五继电器开关42～45发生故障而没有断开的情况下，也能够抑制在计测部5的两端施加高电压。即，能够降低计测部5发生故障的可能性。

此外，也可以不设置第四继电器开关44及第五继电器开关45。

(4－4.第四变形例)

图8是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第四变形例的示意图。图8表示选择了等离子处理电路部C1的状态。第四变形例的等离子处理装置100D与第三变形例的结构大致相同。但是，第二切换部9D的配置不同。

在本变形例中，第二切换部9D的一方的端子经由第七导线6g和第二导线6b的一部分与第二继电器开关42的一方的端子和第四继电器开关44的一方的端子电连接。第二切换部9D的另一方的端子经由第八导线6h和第三导线6c的一部分与第三继电器开关43的一方的端子和第五继电器开关45的一方的端子电连接。在本变形例中，第二切换部9D也在切换部4D选择检查电路部C2D时被设为断开，在第一切换部4D选择等离子处理电路部C1时被设为接通。在本变形例中，也能够降低计测部5发生故障的可能性。

(4－5.第五变形例)

图9是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第五变形例的示意图。图9表示选择了等离子处理电路部C1E的状态。就第五变形例的等离子处理装置100E而言，第二分割载物台12设为能够与电源部3电连接这一点与上述的实施方式的结构不同。通过该变更，设置将第二分割载物台12和电源部3连接的第九导线6i，在第九导线6i的中途配置有第六继电器开关46。第六继电器开关46与第一～第三继电器开关41～43一同构成第一切换部4E。

在本变形例中，第一分割载物台11及第二分割载物台12的检查用连接部13兼用于等离子处理电路部C1E。在选择等离子处理电路部C1E时，第一继电器开关41和第六继电器开关46设为接通，第二继电器开关42和第三继电器开关43设为断开。在选择检查电路部C2时，第一继电器开关41和第六继电器开关46设为断开，第二继电器开关42和第三继电器开关43设为接通。

在本变形例中，即使包括第一检查用连接部131的第一分割载物台11和包括第二检查用连接部132的第二分割载物台12中的一方的分割载物台存在问题，也能够利用另一侧的分割载物台构成等离子处理用的电路，进行等离子处理。

此外，第一分割载物台11及第二分割载物台12也可以取代设为能够与电源部3连接，而是设为能够接地。

(4－6.第六变形例)

图10及图11是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第六变形例的示意图。图10表示选择了等离子处理电路部C1F的状态。图11表示选择了检查电路部C2F的状态。

在本变形例中，等离子处理电路部C1F也具有载物台1F、电极部2以及电源部3。但是，载物台1F与上述的实施方式不同，未被分割。

在本变形例中，检查电路部C2F也具有检查用连接部13和计测部5。但是，在本变形例中，检查电路部C2F还具有第一金属探针101和第二金属探针102。这一点与上述的实施方式不同。第一金属探针101设为能够与载物台1F电连接。第二金属探针102设为能够与工件200电连接。

计测部5具有的两个连接端子(未图示)中的一方与第一金属探针101连接。两个连接端子中的另一方与第二金属探针102连接。如果如图11所示地使第一金属探针101的前端接触载物台1F，且使第二金属探针102的前端接触工件200，则形成测定检查用电阻的电阻计测电路。

即，在本变形例中，也能够确认工件200是否适当地配置于载物台1F。在本变形例中，在构成电阻计测电路时，由于利用了金属探针101、102，因此能够减小与载物台1F及工件200的接触部位处的电阻。因此，能够易于准确判断检查用连接部13与工件200之间的电阻。

在本变形例中，等离子处理装置100F也具有能够进行检查电路部C2F与等离子处理电路部C1F的选择的第一切换部4F。但是，其结构与上述的实施方式不同。第一切换部4F是使载物台1F和第一金属探针101及第二金属探针102中的至少任一方移动的移动机构。

在本变形例中，第一切换部4F具有第一移动机构47和第二移动机构48。第一移动机构47是能够将载物台1F沿水平方向移动的公知的机构。第二移动机构48是能够将第一金属探针101及第二金属探针102与计测部5一同沿上下方向移动的公知的机构。此外，第二移动机构48也可以是仅使计测部5和第一金属探针101及第二金属探针102中的第一金属探针101及第二金属探针102移动的机构。

从图10所示的状态起，利用第一移动机构47使载物台1F向左方移动，而且利用第二移动机构48使计测部5、第一金属探针101以及第二金属探针102向下方移动。由此，可得到选择了检查电路部C2F的状态。即，能够计测包括工件200与检查用连接部13之间的电阻的检查用电阻。

另一方面，从图11所示的状态起，利用第一移动机构47使载物台1F向右方移动，而且利用第二移动机构48使计测部5、第一金属探针101以及第二金属探针102向上方移动。由此，可得到选择了等离子处理电路部C1F的状态。在选择了等离子处理电路部C1F的状态下，载置于载物台1F的工件200和电极部2对置。由此，能够利用通过电介质阻挡放电而产生的等离子P对工件200的表面进行等离子处理。

根据本变形例，能够使用移动机构47、48进行检查电路部C2F与等离子处理电路部C1F的选择，能够高效率地进行检查电路部C2F与等离子处理电路部C1F的切换。此外，使载物台1F移动的移动机构47和使金属探针101、102的移动机构48也可以仅设置任一方。在该情况下，基于各移动机构47、48的移动方向可以从图10及图11所示的移动方向适当地变更。

(4－7.第七变形例)

图12是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第七变形例的示意图。图12表示选择了等离子处理电路部C1的状态。第七变形例的等离子处理装置100G是与上述的实施方式(参照图1及图2)的结构大致相同的结构。但是，载物台1G的结构与上述的实施方式的结构不同。

在本变形例中，在水平方向扩展的导电性的载物台1G在其上表面具有互相在水平方向上隔开间隔配置的两个绝缘部件14G。载物台1G具有从两个绝缘部件14G的一方的上表面向上方延伸的导电性的第一分割载物台11G和从两个绝缘部件14G的另一方的上表面向上方延伸的导电性的第二分割载物台12G。即，在本变形例中，载物台1G也具有互相电独立的第一分割载物台11G和第二分割载物台12G。

第一分割载物台11G通过第一导线6a经由第一继电器开关41与电源部3连接。第一分割载物台11G通过第二导线6b经由第二继电器开关42与计测部5具有的两个连接端子的一方连接。第二分割载物台12G通过第三导线6c经由第三继电器开关43与计测部5具有的两个连接端子的另一方连接。

在第一分割载物台11G及第二分割载物台12G分别设有导电性的检查用连接部13G。在本变形例中，在第一分割载物台11G设有一个从第一分割载物台11G向上方延伸的第一检查用连接部131G。在第二分割载物台12G至少设有一个从第二分割载物台12G向上方延伸的第二检查用连接部13。工件200支撑于第一检查用连接部131G及第二检查用连接部132G。

第一分割载物台11G兼用于等离子处理电路部C1。通过第一切换部4选择检查电路部C2时，计测部5具有的两个连接端子中的一方与第一分割载物台11G连接，两个连接端子中的另一方与第二分割载物台12G连接。

＜5.注意事项＞

在本说明书中公开的各种技术特征在不脱离其技术创造的主旨的范围内能够添加各种变更。另外，本说明书中所示的多个实施方式及变形例可以在可能的范围内组合实施。

生产上的可利用性

本发明能够用于进行工件的等离子处理的装置。

Claims (10)

1.一种等离子处理装置，其对载置于载物台的工件进行等离子处理，该等离子处理装置的特征在于，具有：

检查电路部，其用于上述工件向上述载物台的载置状态的检查；

等离子处理电路部，其用于上述等离子处理；以及

第一切换部，其能够进行上述检查电路部与上述等离子处理电路部的选择，

上述检查电路部具有：

检查用连接部，其包含于上述载物台，且在上述工件载置于上述载物台上的上述等离子处理用的预定位置的情况下与上述工件电连接；以及

计测部，其设为能够计测包括上述工件与上述检查用连接部之间的电阻的检查用电阻。

2.根据权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述检查用连接部兼用于上述等离子处理电路部。

3.根据权利要求1或2所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述载物台具有互相电独立的第一分割载物台及第二分割载物台，

在上述第一分割载物台及上述第二分割载物台分别设有上述检查用连接部，

在通过上述第一切换部选择上述检查电路部时，上述计测部具有的两个连接端子中的一方与上述第一分割载物台电连接，上述两个连接端子中的另一方与上述第二分割载物台电连接，

上述第一分割载物台的上述检查用连接部兼用于上述等离子处理电路部。

4.根据权利要求3所述的等离子处理装置，其特征在于，

还具有第二切换部，该第二切换部与上述计测部并联配置，且能够进行上述第一分割载物台与上述第二分割载物台的电连接的切换。

5.根据权利要求1或2所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述载物台具有互相电独立的第一分割载物台及第二分割载物台，

在上述第一分割载物台及上述第二分割载物台分别设有上述检查用连接部，

在通过上述第一切换部选择上述检查电路部时，上述计测部具有的两个连接端子中的一方与上述第一分割载物台电连接，上述两个连接端子中的另一方与上述第二分割载物台电连接，

上述第一分割载物台及上述第二分割载物台的上述检查用连接部兼用于上述等离子处理电路部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述第一切换部由多个继电器开关构成，

上述检查电路部具有在上述检查用连接部与上述计测部之间串联配置的多个上述继电器开关。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的等离子处理装置，其特征在于，

还具有控制上述第一切换部的动作的控制部。

8.根据权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述检查电路部还具有：

第一金属探针，其设为能够与上述载物台电连接；以及

第二金属探针，其设为能够与上述工件电连接，

上述计测部具有的两个连接端子中的一方与上述第一金属探针连接，上述两个连接端子中的另一方与上述第二金属探针连接。

9.根据权利要求8所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述第一切换部是使上述载物台和上述第一金属探针及上述第二金属探针中的至少任一方移动的移动机构。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述等离子处理在大气压下进行。

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