JP6768153B2 - プラズマ発生装置 - Google Patents
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Description
プラズマ発生装置10は、プラズマヘッド11、制御装置110、ケーブルハーネス40、ガス配管80、および検知モジュール120などを備える。プラズマ発生装置10は、制御装置110からケーブルハーネス40を介してプラズマヘッド11に電力を伝送し、ガス配管80を介して処理ガスを供給し、プラズマヘッド11からプラズマを照射させる。プラズマヘッド11は、産業用ロボット100のロボットアーム101の先端に取り付けられている。ケーブルハーネス40およびガス配管80はロボットアーム101に沿って取り付けられている。ロボットアーム101は、2つのアーム部105,105を1方向に連結させた多関節ロボットである。産業用ロボット100は、ロボットアーム101を駆動して、ワーク台5が支持するワークWにプラズマを照射する作業を行う。後述するように、ケーブルハーネス40は、第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51、ケーブル52、および第1アースケーブル53を有する。ガス配管80は、不図示の第1ガス配管および第2ガス配管を有する。制御装置110は、第1処理ガス供給装置111および第2処理ガス供給装置112を有する。第1処理ガス供給装置111は、窒素等を含む不活性ガスを処理ガスとして供給する。第2処理ガス供給装置112は、ドライエア等を含む活性ガスを処理ガスとして供給する。また、制御装置110には、タッチパネル113を備える。タッチパネル113は、各種の設定画面や装置の動作状態等を表示する。
次に、プラズマヘッド11の構成について、図2,3を用いて説明する。図2に示すように、プラズマヘッド11は、本体ブロック20、1対の電極22,22(図3)、緩衝部材26、第1連結ブロック28、反応室ブロック30、および第2連結ブロック32を備えている。以下の説明において、方向は、図2に示す方向を用いる。
次に、プラズマ発生装置10におけるプラズマ発生について説明する。第1ガス流路62に、窒素等の不活性ガスとドライエアとの混合されたガスが処理ガスとして供給される。第1ガス流路62に供給されたガスは反応室35に供給される。また、第2ガス流路66に、窒素等の不活性ガスが処理ガスとして供給される。第2ガス流路66に供給された不活性ガスは、反応室35に供給される。また、1対の電極22,22に電圧が印加される。これにより、1対の電極22,22間に疑似アーク放電が生じ、電流が流れる。疑似アーク放電により、処理ガスがプラズマ化される。なお、疑似アーク放電とは、通常のアーク放電のように大電流が流れないように、プラズマ電源で電流を制限しながら放電させる方式のものである。反応室35で発生したプラズマは、第2連結ブロック32の複数の連通穴36を介して噴出され、ワークWにプラズマが照射される。
次にプラズマ発生装置10の制御系統について、図4を用いて、説明する。制御装置110は、上記した構成の他に、コントローラ130、電源装置140、および複数の駆動回路132を備えている。複数の駆動回路132は、第1処理ガス供給装置111、第2処理ガス供給装置112、およびタッチパネル113に接続されている。コントローラ130は、CPU、ROM、RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路132および電源装置140に接続されている。コントローラ130は、電源装置140、第1処理ガス供給装置111、第2処理ガス供給装置112、およびタッチパネル113などを制御する。
図5に示すように、プラズマヘッド11は不図示の筐体を備え、筐体の外面にコネクタ12が設置されている。コネクタ12は、端子13〜16を有する。端子13,14は、夫々、1対の電極22,22と電気的に接続されている1対の端子である。端子15と端子16とはプラズマヘッド11の内部で結線されている。ケーブルハーネス40は、コネクタ41,42、第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51、ケーブル52、および第1アースケーブル53を有する。第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51は、端子13,14に給電する1対の電力ケーブルである。ケーブル52は、後述するパルス信号を端子15へ伝送するケーブルである。コネクタ41は端子43〜45を有する。コネクタ42は端子46〜49を有する。第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51、ケーブル52、および第1アースケーブル53の各々は、電線に絶縁体が被覆されているものである。また、第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51、およびケーブル52の各々は、一端が夫々、端子43〜45に接続され、他端が夫々、端子46〜48に接続されている。第1アースケーブル53の一端は端子49に接続されており、他端はアースされている。第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51およびケーブル52は、メッシュ状の導電性のシールド部材55でシールドされている。シールド部材55は、電線に絶縁体が被覆されている第2アースケーブル56でアースされている。
プラズマ発生装置10は、コネクタ12を有するプラズマヘッド11、ケーブルハーネス40、フォトカプラ94を備える。コネクタ12は、放電によりプラズマを発生させる電極22,22に給電する端子13,14、および結線されている端子15および端子16を有する。ケーブルハーネス40は、端子13,14に給電する第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51、端子15へパルス信号を伝送するケーブル52、端子16を接地させる第1アースケーブル53を有する。フォトカプラ94は、パルス信号の伝送に伴いケーブル52から第1アースケーブル53に至る経路に流れる信号電流を検出する。
例えば、上記では、リレー95を備える構成を説明したが、リレー95を備えない構成としても良い。この場合、プラズマ発生時には、コントローラ130のパルス信号の出力端子をハイインピーダンスとする、プルダウンするなどしてもと良い。また、上記では、単極双投のリレー95を備える構成を説明したが、単極単投のリレーをそなえる構成としても良い。詳しくは、プラズマ発生時には、リレーの接点を開き、フォトカプラ94と端子93との電気的な接続を切る。また、プラズマヘッド11のコネクタ12とケーブルハーネス40との電気的な接続がされているか否かを検出する場合には、リレーの接点を閉じる構成とする。
11 プラズマヘッド
12 コネクタ
13,14,15,16 端子
22 電極
50 第1電力ケーブル
51 第2電力ケーブル
52 ケーブル
53 第1アースケーブル
56 第2アースケーブル
57 第3アースケーブル
94 フォトカプラ
95 リレー
96 出力端子
97 第1入力端子
98 第2入力端子
113 タッチパネル
130 コントローラ
CT カレントトランス
Claims (5)
- 放電によりプラズマを発生させる電極に給電する端子、および結線されている第1端子および第2端子を有するコネクタを備えるヘッドと、
前記端子に給電する電力ケーブルと、
前記第1端子へ信号を伝送するケーブルと、
前記第2端子を接地させる第1アースケーブルと、
前記信号の伝送に伴い前記ケーブルから前記第1アースケーブルに至る経路に流れる信号電流を検出する検出器と、
前記信号の出力装置と前記ケーブルとの間に介在するリレーと、を備え、
前記リレーは、
前記信号の出力装置と接続される第1入力端子と、接地される第2入力端子と、前記ケーブルと接続する出力端子とを有し、前記信号の伝送に応じて前記出力端子との接続を前記第2入力端子から前記第1入力端子に切替えるプラズマ発生装置。 - 放電によりプラズマを発生させる電極に給電する端子、および結線されている第1端子および第2端子を有するコネクタを備えるヘッドと、
前記端子に給電する電力ケーブルと、
前記第1端子へ信号を伝送するケーブルと、
前記第2端子を接地させる第1アースケーブルと、
前記信号の伝送に伴い前記ケーブルから前記第1アースケーブルに至る経路に流れる信号電流を検出する検出器と、
前記信号の出力装置と前記ケーブルとの間に介在するリレーと、を備え、
前記検出器は前記経路に発光素子を介在させたフォトカプラであり、
前記リレーは、
前記信号の出力装置と接続される第1入力端子と、接地される第2入力端子と、前記ケーブルと接続する出力端子とを有し、前記信号の伝送に応じて前記出力端子との接続を前記第2入力端子から前記第1入力端子に切替えるプラズマ発生装置。 - 前記検出器はカレントトランスであり、
前記第2入力端子を接地させる第2アースケーブルと、
前記電力ケーブルおよび前記ケーブルをシールドするシールド部材を接地させる第3アースケーブルと、を備え、
前記カレントトランスは、前記第1アースケーブルを流れる前記信号電流と、前記第2アースケーブルおよび前記第3アースケーブルに流れる電流とを検出する請求項1または2に記載のプラズマ発生装置。 - 前記検出器が前記信号電流を検出することに応じて、前記コネクタが接続されている旨を報知する報知部を備える請求項1から3の何れかに記載のプラズマ発生装置。
- 前記電極、前記端子、前記電力ケーブルをそれぞれ1対備える請求項1から4の何れかに記載のプラズマ発生装置。
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US3604889A (en) * | 1969-05-08 | 1971-09-14 | North American Rockwell | Plasma-generating method and means |
US3912889A (en) * | 1974-02-14 | 1975-10-14 | Bendix Corp | Electrical connector having an internal switch |
JPS54146891U (ja) | 1978-04-04 | 1979-10-12 | ||
JPH073447B2 (ja) * | 1986-04-17 | 1995-01-18 | 株式会社東芝 | ケ−ブルの異常検出装置 |
US5272477A (en) * | 1989-06-20 | 1993-12-21 | Omron Corporation | Remote control card and remote control system |
DE4234267A1 (de) * | 1991-10-14 | 1993-04-15 | Binzel Alexander Gmbh Co Kg | Plasmabrennerkopf fuer einen plasmaschweiss- und schneidbrenner |
JPH05204459A (ja) * | 1992-01-24 | 1993-08-13 | Fujitsu Ltd | 位置計測装置及びコネクタの嵌合方法 |
JP2725752B2 (ja) * | 1992-12-14 | 1998-03-11 | 矢崎総業株式会社 | コネクタ |
US5344331A (en) * | 1993-01-15 | 1994-09-06 | Hubbell Incorporated | Electrical connector system, especially for electric vehicles |
DE4305541A1 (de) * | 1993-02-21 | 1994-08-25 | Fiwatech Gmbh | Plasmaschneidbrenner zum Schneiden metallischer Werkstoffe |
JPH11348678A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-21 | Yazaki Corp | センタークラスタモジュール |
JP2907373B2 (ja) * | 1994-05-10 | 1999-06-21 | 矢崎総業株式会社 | コネクタのロック結合検知構造 |
US5525795A (en) * | 1994-05-24 | 1996-06-11 | Intel Corporation | Voltage protection for add in cards with sideswipe contacts |
DE19604249C2 (de) * | 1995-02-10 | 2001-01-25 | Yazaki Corp | Steckverbindung mit Einrichtung zum Erfassen des Steckzustands |
US5796067A (en) * | 1995-10-30 | 1998-08-18 | The Lincoln Electric Company | Plasma arc torches and methods of operating and testing the same |
US5807130A (en) * | 1996-05-31 | 1998-09-15 | Chrysler Corporation | Two way electrical connector |
JP3446990B2 (ja) * | 1997-06-04 | 2003-09-16 | 矢崎総業株式会社 | コネクタのロック忘れ検知構造 |
US5971591A (en) * | 1997-10-20 | 1999-10-26 | Eni Technologies, Inc. | Process detection system for plasma process |
US20030043516A1 (en) * | 1998-06-19 | 2003-03-06 | Ahlstrom Michael R. | Electrical ground fault protection circuit |
JP4268314B2 (ja) | 2000-04-27 | 2009-05-27 | パナソニック電工電路株式会社 | ケーブル故障表示装置 |
US6903301B2 (en) * | 2001-02-27 | 2005-06-07 | Thermal Dynamics Corporation | Contact start plasma arc torch and method of initiating a pilot arc |
CA2356583C (en) * | 2001-03-28 | 2007-10-16 | Nippon Welding Rod Co., Ltd. | Torch for powder plasma buildup welding |
JP2003142208A (ja) * | 2001-11-07 | 2003-05-16 | Sumitomo Wiring Syst Ltd | コネクタ |
US6713711B2 (en) * | 2001-11-09 | 2004-03-30 | Thermal Dynamics Corporation | Plasma arc torch quick disconnect |
US6794601B2 (en) * | 2002-09-05 | 2004-09-21 | Thermal Dynamics Corporation | Plasma arc torch system with pilot re-attach circuit and method |
DE50301917D1 (de) * | 2003-02-14 | 2006-01-19 | Delphi Tech Inc | Steckverbinder mit einem Kurzschlusskontakt |
US7312963B1 (en) * | 2003-12-05 | 2007-12-25 | Pass & Seymour, Inc. | Protective device with tamper resistant shutters |
JP2005251540A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | コネクタ装置 |
WO2008080036A2 (en) * | 2006-12-21 | 2008-07-03 | Draeger Medical Systems, Inc. | A cable detection system |
CN101232307B (zh) * | 2008-02-21 | 2011-05-18 | 江苏西蒙智控设备有限公司 | 网络电缆/模块连通性测试装置 |
JP4978566B2 (ja) | 2008-06-10 | 2012-07-18 | パナソニック株式会社 | 大気圧プラズマ発生方法及び装置 |
CN102387653B (zh) * | 2010-09-02 | 2015-08-05 | 松下电器产业株式会社 | 等离子体处理装置及等离子体处理方法 |
DE102011080456A1 (de) * | 2011-08-04 | 2013-02-07 | Siemens Ag | Anordnung und Verfahren zur Unterstützung einer Herstellung einer Steckverbindung |
GB2531963B (en) * | 2011-09-09 | 2016-12-21 | Ifpl Group Ltd | Electrical socket |
US20150192613A1 (en) * | 2011-12-22 | 2015-07-09 | Koninklijke Philips N.V. | Electrical connector |
US10128090B2 (en) * | 2012-02-22 | 2018-11-13 | Lam Research Corporation | RF impedance model based fault detection |
KR101303040B1 (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-03 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 플라즈마 챔버의 아크 검출 방법 및 장치 |
JP5921964B2 (ja) * | 2012-06-11 | 2016-05-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプローブ装置 |
US9615440B2 (en) * | 2013-10-04 | 2017-04-04 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Power supply apparatus outputting alternating-current voltage to plasma generator |
JP6330402B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2018-05-30 | 株式会社リコー | インバータ装置及びプラズマ発生装置 |
US10493552B2 (en) * | 2014-04-04 | 2019-12-03 | Illinois Tool Works Inc. | Systems and methods for measuring voltage and current in a torch |
EP3035365A1 (en) * | 2014-12-19 | 2016-06-22 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | Method of detecting an arc occurring during the power supply of a plasma process, control unit for a plasma power supply, and plasma power supply |
CN104502807B (zh) * | 2015-01-13 | 2019-03-08 | 国家电网公司 | 电缆线路故障定位方法及装置、系统 |
KR102376982B1 (ko) * | 2015-04-14 | 2022-03-21 | 삼성전자주식회사 | 세라믹을 이용하여 파티클 저감 효과를 가지는 원격 플라즈마 발생장치 |
CA3010341C (en) * | 2016-01-05 | 2023-08-08 | Eaton Intelligent Power Limited | Electrical connector plug continuity |
WO2018185836A1 (ja) * | 2017-04-04 | 2018-10-11 | 株式会社Fuji | 大気圧プラズマ装置 |
JP6922034B2 (ja) * | 2017-04-04 | 2021-08-18 | 株式会社Fuji | プラズマ発生装置、及びプラズマ発生装置における電流検出方法 |
EP3609300B1 (en) * | 2017-04-04 | 2021-06-23 | Fuji Corporation | Plasma generating device with detector to detect a current flowing through a ground cable |
JP6768153B2 (ja) * | 2017-05-16 | 2020-10-14 | 株式会社Fuji | プラズマ発生装置 |
CN107969063A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-04-27 | 神雾科技集团股份有限公司 | 等离子处理物料装置及处理方法 |
EP3749064B1 (en) * | 2018-01-30 | 2023-05-24 | FUJI Corporation | Plasma processing machine |
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