CN111684269B - 异物的检查方法、检查装置、薄膜辊以及薄膜辊的制造方法 - Google Patents

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Abstract

提供异物的检查方法，能够可靠地检测卷绕以高速输送的薄膜而得的薄膜辊中所含的微小的异物(例如包括检测是否为金属异物)。在用于实现上述目的的本发明的异物的检查方法中，针对即将卷绕于薄膜辊之前的输送中的薄膜，使用光学拍摄部来检测该薄膜上的异物，并将薄膜上的平面坐标下的异物的位置保存在存储部中，将平面坐标下的异物的位置转换为卷绕后的薄膜辊中的空间坐标下的异物的位置。而且，限定于所得到的薄膜辊中的异物的空间坐标，进行X射线拍摄装置等放射线拍摄部的对焦，通过放射线拍摄部来照射放射线，检测薄膜辊中的异物是否为金属。

Description

异物的检查方法、检查装置、薄膜辊以及薄膜辊的制造方法
技术领域
本发明涉及对卷绕有薄膜的薄膜辊中混入的异物进行检查的方法和装置、薄膜辊及其制造方法。
背景技术
各种聚合物薄膜等薄膜通常作为薄膜原材料在卷绕于辊的状态下被提供给使用该薄膜的制造商。特别是，在使用宽度比薄膜原材料小的薄膜的情况下，从宽度宽的原材料辊卷出薄膜并进行形成期望的薄膜宽度的分条加工，将分条加工后的薄膜卷绕于辊而形成薄膜辊。在使用分条加工后的薄膜时，从薄膜辊重新卷出薄膜来使用。另外，在使用进行了各种表面处理的薄膜的情况下，从未处理薄膜的原材料卷出薄膜并进行表面处理，并将处理后的薄膜卷绕而形成薄膜辊。在需要进行了表面处理且进行了分条加工的薄膜时，通常将表面处理后的薄膜卷绕成薄膜辊，然后，从该薄膜辊卷出薄膜并进行分条加工，并再次卷绕成薄膜辊。
在从经过这样的过程而得到的薄膜辊卷出薄膜来使用的情况下，有时混入到薄膜辊中的微小的异物成为问题。因此，要求对混入到薄膜辊中的异物进行检测。例如，在将从薄膜辊卷出的薄膜用作插入于锂离子二次电池的正极与负极之间的电池分隔薄膜的情况下，混入到薄膜辊中的异物成为电池分隔薄膜上的异物，但如果该异物例如是微小的金属片，则会引起锂离子二次电池中的正极与负极之间的短路，或者溶解在电解液中而使电池特性劣化。因此，需求对混入到薄膜辊中的微小的异物进行检测的检查方法和装置。对于电池分隔薄膜，需要可靠地检测100μm以下的大小、例如数十μm左右的金属异物。不过，在异物是不具有电传导性的非金属的异物的情况下，有时即使是更大的异物也不成为问题，因此优选在检测电池分隔薄膜用的薄膜辊中的异物时，还能够判别异物的大小及其材质或种类。
另外，如果能够知道在薄膜辊中的何处存在异物，则能够使用不存在异物的区间的薄膜，从而也能够实现薄膜的有效利用。
作为对在薄膜辊中是否包含异物进行检测的方法，存在利用可见光对即将在薄膜辊上卷绕薄膜之前的输送中的薄膜进行光学检查的方法。在该方法中，无法判别异物的种类。因此，专利文献1记载了如下的内容：在进行光学检查时，使用可见光和红外光双方，使用可见光中的反射光和红外光中的反射光来对异物的种类进行判别。但是，在专利文献1的方法中，不一定能够可靠地从其他异物中判别出金属异物，而且需要严格地将可见光下的检测位置和红外光下的检测位置进行对位。
虽然不是对薄膜辊中的异物进行检测的方法，但专利文献2公开了如下的方法：为了在卷绕成卷状的标签连续体中准确地对接缝的数量进行计数，沿着与辊的中心轴(卷绕的中心轴)平行的方向从X射线源向辊照射X射线，对透过标签连续体的辊的X射线的强度进行测量。在使用该方法来检测薄膜辊中的异物的情况下，在与辊的中心轴垂直的面内，使X射线源和X射线检测器(X射线照相机)相对于薄膜辊相对地扫描，并记录在哪个位置透过X射线量降低。但是，为了以较高的检测精度进行检查，需要使X射线源与异物之间的距离恒定，因此必须使X射线源在与辊的中心轴平行的方向上也移动来进行扫描。因此，在该方法中，如果要检测薄膜辊中的例如100μm见方的金属异物，则必须使X射线的照射视野为例如10mm见方以下的大小，因此在对薄膜辊的整体进行检查的情况下，检查时间变得非常长，在现实中难以执行检查。即使假设对薄膜辊的整体进行检查，由于检查时间长，因此在一个X射线源的寿命范围内能够检查的薄膜辊的根数也被限制。
专利文献3公开了如下的装置：该装置对作为形成有半导体装置用的金属图案的薄膜的CSP(芯片尺寸封装)带上的金属图案的缺损或金属异物的附着等缺陷进行检查，具有光学检查装置和X射线检查装置，将通过了X射线检查装置的CSP带卷绕于辊，其中，该光学检查装置对被卷出并输送的CSP带进行光学拍摄并进行检查，该X射线检查装置在比光学检查装置靠CSP带的输送方向下游侧的位置向CSP带照射X射线并进行检查。在该装置中，通过光学检查装置来检测带上的缺陷，接着，通过X射线检查装置来检查由光学检查装置检测出的CSP带上的缺陷位置，判别缺陷是否由金属异物的附着引起。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特许第5673621号说明书
专利文献2：日本特开2015-44602号公报
专利文献3：日本特许第5126645号说明书
发明内容
发明要解决的课题
专利文献3所记载的装置能够判别并检测输送中的薄膜或带上的金属异物，但由于在X射线检查装置中难以检测以10m/分钟以上的高速输送的物体中的微小的缺陷，因此不得不限制薄膜或带的输送速度。即，为了以能够在现实中应用的水平检查薄膜，需要以例如数十m/分钟至100m/分钟来输送薄膜，但在专利文献3所记载的装置中，无法应对这样的高输送速度。
因此，本发明的目的在于，提供能够可靠地检测卷绕以高速输送的薄膜而得的薄膜辊中所含的微小的异物(例如包括检测是否为金属异物)的检查方法、用于该检查方法的检查装置、经过该检查方法而制造的薄膜辊以及薄膜辊的制造方法。
用于解决课题的手段
即，本发明是一种异物的检查方法，该异物混入于薄膜辊中，其中，该异物的检查方法包含如下的工序：第1异物检测工序，针对卷绕于薄膜辊之前的输送中的薄膜，使用光学拍摄部检测所述薄膜上的异物，取得至少包含该异物在所述薄膜上的位置信息A(平面坐标)在内的异物信息；在所述第1异物检测工序之后，将所述薄膜卷绕于芯上而作为薄膜辊的工序；转换工序，将所述位置信息A(平面坐标)中的所述异物的位置转换为卷绕后的所述薄膜辊上的位置信息B(空间坐标)中的位置信息；以及第2异物检测工序，针对所述薄膜辊使用放射线拍摄部，根据该异物的位置信息B(空间坐标)进行放射线拍摄部的对焦，以使拍摄焦点对准作为检测/评价对象的异物，并且通过所述放射线拍摄部照射放射线，进行作为对象的异物的检测并且进行该异物的评价(鉴定)。
而且，提供异物的检查方法，该异物的检查方法包含如下的检查结果映射工序：在所述第2异物检测工序之后，将所述第2异物检测工序中的评价结果与所述异物的所述位置信息A(平面坐标)中的位置对应起来而作为检查结果进行保存。而且，提供异物的检查方法，在所述转换工序之前，进行如下的工序中的至少三个工序：对卷绕于薄膜辊的薄膜的总卷绕长度进行测量；对所述芯的外径进行测量；对卷绕有薄膜的薄膜辊的外径进行测量；以及对所述薄膜辊上的薄膜的卷绕数进行测量，所述转换工序是根据在所述至少三个工序中得到的测量结果而进行的。
另外，本发明是一种检查装置，其对卷绕有薄膜的薄膜辊中混入的异物进行检查，其中，该检查装置具有：光学拍摄部，其对卷绕于所述薄膜辊之前的输送中的薄膜进行拍摄；图像处理部，其根据所述光学拍摄部中的拍摄图像来检测异物；存储部，其针对由所述图像处理部检测到的异物，存储至少包含所述薄膜上的位置信息A(平面坐标)中的该异物的位置在内的异物信息；转换部，其将所述位置信息A(平面坐标)中的所述异物的位置转换为卷绕后的所述薄膜辊中的位置信息B(空间坐标)中的所述异物的位置；放射线拍摄部，其检测从放射线源放射的放射线并进行拍摄；对焦部，其使所述放射线源相对于所述薄膜辊相对移动来进行放射线拍摄部的对焦，以使拍摄焦点对准转换后的所述位置信息B(空间坐标)中的所述异物的位置；以及评价部，其根据所述放射线拍摄部的放射线强度来检测所述异物并进行评价。
另外，本发明提供薄膜辊，其卷绕有薄膜，其中，该薄膜辊具有检查附录，该检查附录将基于对卷绕于所述薄膜辊之前的输送中的薄膜光学性地进行的异物检测的结果的异物的位置与向所述薄膜辊照射放射线而进行的所述异物的评价结果对应起来而进行记载。
另外，本发明是一种薄膜辊的制造方法，包含通过卷绕薄膜的工序来制造薄膜辊的工序，其中，该薄膜辊的制造方法包含通过本发明的异物的检查方法来进行异物的检查的工序，所述第1异物检测工序在卷绕薄膜的工序之前进行，所述第2异物检测工序在卷绕薄膜的工序之后进行。
发明效果
根据本发明，对卷绕于薄膜辊之前的输送中的薄膜进行光学性的异物检测，根据该异物检测的结果来计算薄膜辊中的异物的位置，将拍摄焦点对准该异物并通过放射线来检测异物，因此使例如为了评价异物是金属还是非金属而借助放射线进行检查的区域最小，从而能够高精度地进行异物的检测和评价。由此，能够在短时间内可靠地检测卷绕有以高速输送的薄膜的薄膜辊中混入的微小的异物(例如包括检测是否为金属异物)。
附图说明
图1是示出本发明的一个实施方式的异物检查装置的结构图。
图2是对薄膜辊的坐标转换方法的一例进行说明的概念图。
图3是对异物的检查方法进行说明的作用图。
图4是对放射线拍摄部中的对焦进行说明的作用图。
图5是示出薄膜辊中的直角坐标系的检查区域的概略图。
图6是示出薄膜辊中的极坐标系的检查区域的概略图。
图7是取得薄膜辊中的各驱动量的流程图。
具体实施方式
为了帮助理解在本发明中公开的结构和特征，首先对概略进行大致说明。针对输送中的薄膜，进行检测异物的第1异物检测工序，得到至少包含检测到的异物的位置信息(平面坐标)的异物信息。薄膜卷绕于芯而成为薄膜辊。而且，根据所述异物信息和卷绕后的薄膜辊信息等，将该异物的位置信息(平面坐标)转换为薄膜辊中的该异物的位置信息(空间坐标)(转换工序)。此时，优选该异物的位置信息(空间坐标)转换为适合于薄膜辊中的第2检查的位置信息参数。通过该转换工序，确定混入到薄膜中的异物存在于薄膜辊的哪个部分，从而确定对薄膜辊进行的第2异物检测工序中的检查部位。对于由该异物的位置信息(空间坐标)确定的检查部位，利用异物的位置信息(空间坐标)进行对焦，以使焦点对准存在于其中的异物，并且进行第2异物检测工序，与该异物的检测一起进行评价(characterization：鉴定)。由此，在第2异物检测工序中，不需要对薄膜辊整体重新进行检查，能够进行混入的异物的检查，因此大幅缩短第2异物检测工序的检查时间。而且，由于将放射线拍摄部的焦点对准混入到薄膜辊中的该异物，因此能够高精度地检测微小的异物并进行评价。另外，由于与薄膜的卷绕工序独立地进行，因此也不会降低生产性。这样，提供能够可靠且高精度地检测并评价卷绕以高速输送的薄膜而得的薄膜辊中所含的微小的异物(例如包括检测是否为金属异物)的检查方法。
接下来，参照附图对本发明的优选的实施方式进行说明。图1是示出本发明的一个实施方式的异物检查装置的结构的图。该异物检查装置检测卷绕有薄膜的薄膜辊内的异物并评价该异物例如是金属还是非金属，例如在插入于二次电池的正极与负极之间的电池分隔薄膜的制造工序中使用。
在图1中，电池分隔薄膜等透光性的薄膜10的原材料被卷绕于卷出辊11。薄膜10的厚度为3μm～30μm，优选为3μm～20μm。薄膜10的原材料从卷出辊11卷出，沿图示箭头方向(从左侧朝向右侧的方向)输送，经由分条机15分条加工成规定的宽度，按照该分条后的宽度分别卷绕于薄膜辊12。另外，在图1中仅描绘了一个薄膜辊12，但配置有多个薄膜辊12。薄膜10的最后端例如通过胶带等固定件固定于薄膜辊12的外周部。薄膜辊12被未图示的卷绕马达旋转驱动。在薄膜辊12中，在与该卷绕马达的旋转轴连接的圆柱状的芯13上卷绕有薄膜10。如图2所示，在该芯13的两侧面中的任意一方安装有标记71作为识别部，该标记71用于识别薄膜10的卷绕开始位置和卷绕方向。标记71在该例中由金属板构成，但如后所述，也可以是非金属例如树脂材料等。
该标记71设置于从作为芯的侧面的圆的中心部向外周部侧偏移的位置，因此，当从接近标记71的位置开始卷绕薄膜10时，即使在卷绕薄膜10之后，也能够判别薄膜10的卷绕开始位置。另外，芯13按照从卷出辊11侧观察时带有标记71的端部配置于一侧(右侧或左侧)的方式构成，薄膜10相对于标记71的卷绕方向在多个薄膜辊12中一致。通过分条机15而被输送的薄膜10的输送速度为数十m/分钟至100m/分钟。卷绕于薄膜辊12的薄膜10是以卷绕时的输送方向作为长度方向(MD方向)的长条的薄膜。这里，将与薄膜10的输送方向垂直的方向称为薄膜10的宽度方向(TD方向)。
为了对从卷出辊11朝向薄膜辊12输送的薄膜10中附着的异物进行光学检测，在分条机15与薄膜辊12之间隔着薄膜10配置有产生可见光的光源21和作为光学拍摄部的照相机22，由光源21和照相机22构成光学拍摄部。为了遍及薄膜10的宽度方向而检测异物，光学拍摄部沿着宽度方向设置于多个部位。光学拍摄部在即将把原材料卷绕于辊之前或者即将把分条后的薄膜卷绕于芯之前进行。“即将…之前”是指将薄膜卷绕于辊以前且优选在薄膜与其他辊等接触之后至与卷绕用的辊接触为止的期间。另外，在本说明书中，关于多个光学拍摄部，统称为“光源21”和“照相机22”进行说明。
照相机22对从光源21照射的光进行拍摄，但如果在薄膜10上存在异物，则光被该异物遮挡，因此在照相机22的拍摄图像中异物被检测为暗缺陷。虽然未图示，但也可以通过相对于薄膜10在相同侧配置光源21和照相机22的散射光学系统来构成光学拍摄部，在该情况下，也可以利用照相机22来拍摄使从光源21照射的可见光散射的异物，因此异物被检测为明缺陷。另外，作为光学拍摄部，也可以构成为对由照相机22拍摄的彩色图像进行二值化处理来判别异物。
另外，在异物检查装置中设置有输入由照相机22拍摄的拍摄图像的图像处理部23。图像处理部23对拍摄图像进行图像处理，提取图像中的暗缺陷来检测异物。此时，还可以检测异物的大小。照相机22连续地拍摄输送中的薄膜10并将拍摄图像发送到图像处理部23，根据在拍摄图像中在哪个时机检测到异物(从拍摄开始时刻起算的经过时间或测长器)，确定薄膜10的长度方向上的该异物的位置。另外，根据异物在拍摄图像中的宽度方向的位置，确定薄膜10的宽度方向上的该异物的位置。由此，在考虑了将薄膜10的长度方向作为x轴且将宽度方向作为y轴的平面坐标时，确定该异物在该平面坐标下的位置。在假定卷出薄膜10而在平面上延伸时，异物在平面坐标下的位置成为该平面上的该异物的位置。将该位置信息作为薄膜上的位置信息A(平面坐标)。另外，在使用上述测长器的情况下，对于由该测长器连续地产生的脉冲信号，从开始卷出薄膜10的时刻以后进行累积，与异物的检测时机同时进行脉冲信号的累积读出，并记录为薄膜10的长度方向上的长度信息。
在异物检查装置中，为了存储检测到的异物的位置等而设置有存储器等缺陷存储部30，针对在薄膜10上检测到的异物，图像处理部23将上述的平面坐标下的该异物的位置作为缺陷信息存储于缺陷存储部30。此时，可以将与异物的尺寸相关的信息也包含在缺陷信息中。另外，也可以不设置这样的缺陷存储部30而将缺陷信息存储于工作存储器来进行后述的各处理。
在针对薄膜10上的异物的使用光源21和照相机22而进行的光学性检测结束之后，对卷绕薄膜10而得的薄膜辊12进行以下详细叙述的利用X射线而进行的异物检测和异物的种类或材质的评价(例如异物是金属还是非金属的判别)。因此，异物检查装置具有X射线源41和对从X射线源41照射的X射线进行拍摄的X射线拍摄部42。X射线源41和X射线拍摄部42构成放射线拍摄部。如图示两条虚线直线所示，从X射线源41呈放射状地(即呈圆锥状地)射出X射线。其结果为，越接近X射线源41，视野越窄，异物检测灵敏度越高。通常，在将X射线源41与异物之间的距离设为FOD(Focus to Object Distance：焦点到对象的距离)、将X射线源41与X射线拍摄部42之间的距离设为FID(Focus to Image Distance：焦点到图像的距离)时，在相同的FID的情况下，异物检测灵敏度与它们的比值FID/FOD成正比，拍摄视野的大小与该比值成反比。因此，为了以高检测灵敏度且相等的检测灵敏度进行异物的检查，需要增大FID/FOD(缩小视野)，并且按照FID和FOD恒定的方式进行拍摄焦点的对焦。这里，为了通过X射线拍摄来对大小为100μm左右的微小的金属异物进行检测，需要将X射线源41的视野缩小到10mm见方以下。但是，薄膜辊12的大小远远大于X射线源41的视野。因此，为了检查薄膜辊的整体，需要使薄膜辊12相对于X射线源41相对移动。该操作也包含在X射线拍摄焦点相对于异物的对焦中。因此，为了进行放射线拍摄部中的拍摄焦点的对焦，在异物检查装置中设置有由马达51、轴向移动机构52、半径方向移动机构53以及移动控制部55构成的对焦部。本发明的X射线源41中的拍摄焦点的深度范围(检测灵敏度偏差的容许范围)例如为±15mm，优选为±5mm，更优选为±1mm，在多个异物存在于该范围内的情况下，可以通过一次X射线拍摄来同时拍摄这些多个异物。在该情况下，由于只需要一次拍摄，因此缩短了检查时间，但如上所述，如果FOD不同，则检测灵敏度也不恒定，因此要兼顾灵敏度偏差的容许范围和检查速度来决定深度范围。另外，X射线源41、X射线拍摄部42、马达51、轴向移动机构52、半径方向移动机构53以及移动控制部55被防止X射线泄漏的壳体覆盖，但这里省略说明。另外，作为从X射线源41照射的放射线，除了X射线以外，还可以是γ射线等。
即，卷绕有薄膜10的薄膜辊12在由光学拍摄部进行了异物检测之后，例如由作业者从卷绕马达(未图示)卸下，将薄膜辊12的芯13与马达51的旋转轴连接。换言之，薄膜辊12以使芯13沿着铅垂方向立起的方式安装于马达51。因此，按照马达51的旋转轴与从X射线源41照射的X射线的照射中心轴(图示单点划线)平行的方式设置马达51，由此，薄膜辊12的轴(即芯13的中心轴)与X射线的照射中心轴平行，并且薄膜辊12的一部分进入X射线源41与X射线拍摄部42之间的空间。构成为：按照已经提到的标记71同样地进入该空间且标记71位于薄膜辊12的设定位置(上端或下端)的方式将该薄膜辊12安装于马达51的旋转轴。即，在后述的X射线的拍摄时，如果标记71没有设置于设定位置，则会出现错误，标记71的位置(换言之薄膜10的卷绕方向)被设定为在马达51上例如成为逆时针(左旋)。另外，由于标记71的位置是在X射线的拍摄图像中获得的，因此可知芯13上的薄膜10的卷绕开始位置。
马达51安装于使薄膜辊12沿其旋转轴方向(图示上下方向)移动的轴向移动机构52，轴向移动机构52安装于使轴向移动机构52沿薄膜辊12的半径方向(图示左右方向)移动的半径方向移动机构53。马达51、轴向移动机构52以及半径方向移动机构53的驱动量由移动控制部55控制。通过半径方向移动机构53的驱动，能够在薄膜辊12上将焦点对准任意的半径方向上的测量位置。如果在该状态下利用马达51使薄膜辊12绕铅垂轴旋转，则在薄膜辊12中，能够对沿着由半径方向移动机构53规定的已经提到的测量位置的圆周的区域照射X射线，能够通过马达51的旋转角来设定对该圆周上的哪个区域照射X射线。进而，通过利用轴向移动机构52使薄膜辊12沿图示上下方向移动，能够调整X射线的照射焦点的深度，换言之，能够将卷入于薄膜辊12的异物与X射线源41之间的距离保持为一定。
如上所述，在X射线源41与X射线拍摄部42之间的空间中存在薄膜辊12，通过轴向移动机构52，薄膜辊12在该空间内接近X射线源41或者接近X射线拍摄部42。在对相同的薄膜辊12进行基于X射线的检查时，X射线源41与X射线拍摄部42的间隔保持一定。但是，薄膜辊12的厚度、即卷绕于薄膜辊12的薄膜10的宽度可以按照薄膜10的种类和规格而不同。因此，为了应对不同厚度的薄膜辊12，还设置有对X射线源41与X射线拍摄部42的间隔进行调整的间隔调整机构43。在图示的情况下，在固定了X射线源41的位置之后，能够通过间隔调整机构43来使X射线拍摄部42相对于X射线源41接近或者远离，但也可以使X射线源41相对于X射线拍摄部42升降。
在本实施方式中，不是对输送中的薄膜10进行基于X射线的异物检测，而是将卷绕有薄膜10的薄膜辊12作为对象进行基于X射线的异物检测，而且，将进行基于X射线的异物检测的范围限定于通过光学拍摄部确认了异物的存在的位置，由此大幅缩短了基于X射线的异物检测所需的时间。由光学拍摄部检测出的异物的位置如上所述用平面坐标表示。另一方面，薄膜辊12呈在芯13上卷绕薄膜10而得的圆柱状的形状，因此异物在薄膜辊12内的位置需要用空间坐标来表示。将该位置信息作为薄膜辊12中的位置信息B(空间坐标)。位置信息A和位置信息B的关系是相同异物的位置信息，存在的是在薄膜上还是在薄膜辊上的表示方法的不同。因此，设置有将薄膜10的位置信息A(平面坐标)下的位置转换为薄膜辊12的位置信息B(空间坐标)下的位置的坐标转换部54。坐标转换部54将存储在缺陷存储部30中的薄膜10的位置信息A(平面坐标)下的异物的位置转换为薄膜辊12的位置信息B(空间坐标)下的异物的位置。由于将薄膜10卷绕于芯13而得的是薄膜辊12，因此如果提供包含芯13的直径、薄膜10的厚度、卷入于上下层叠的薄膜之间的空气层的厚度、以及芯13中的薄膜10的卷绕开始位置和卷绕方向(顺时针还是逆时针)等在内的坐标转换用信息，则能够容易地进行从薄膜10的位置信息A(平面坐标)向薄膜辊12的位置信息B(空间坐标)的转换。因此，对于将薄膜辊12安装于马达51的姿态(朝向)，按照将薄膜10在芯13上的卷绕开始位置和卷绕方向统一设定而不是按照每个薄膜辊12发生变化的方式，在芯13的端面上形成有表示该卷绕开始位置的标记71。另外，所述薄膜辊中的位置信息B(空间坐标)的原点例如设定于芯13的轴中心下端位置。另外，作为位置信息B(空间坐标)，可以是使用纵方向(x坐标)、横方向(y坐标)以及铅垂方向(z坐标)的直角坐标(x，y，z)系的坐标，也可以是给出基于半径方向移动机构53的半径方向的移动量(r坐标)、基于马达51的旋转角度(θ坐标)以及基于轴向移动机构52的铅垂方向的升降量(z方向)的各驱动量的极坐标系(r，θ，z)。
这里，对将位置信息A(平面坐标)转换为给出已经提到的各驱动量的极坐标(r，θ，z)的方法的一例进行详细说明。图2示出为了对这样的转换方法进行说明而从横向(从与芯13的中心轴垂直的面侧)观察薄膜辊12而得的俯视图。在图2中，标号“71”是已经提到的标记，是用于示出薄膜10的卷绕开始位置和卷绕方向的指标。另外，图2中的标号“70”示出异物×。接下来，对将平面坐标转换为极坐标所需的各尺寸的定义进行说明。
如果将从附加有该标记71的卷绕开始位置至卷绕结束位置的薄膜10的总卷绕长度设为L，则该总卷绕长度L例如由已经提到的测长器来测量，因此是已知的值。例如，使用卷绕开始时刻的测长器的指示值L1和卷绕结束时刻的测长器的指示值L2，通过L＝L2-L1来求出，L＝0的地点是薄膜的平面坐标下的x轴原点。另外，芯13的外半径(在薄膜辊12上卷绕有薄膜10的圆环状的区域的内半径)R1通过预先测量该芯13的外径而得到。而且，薄膜辊12的外半径R2是在卷绕薄膜10之后利用位移计等非接触尺寸测量器来测量的。在第1异物检测工序中，已经检测出从所述卷绕开始起至异物70附着的位置为止的薄膜10的卷绕长度j作为位置信息A(平面坐标)。
另一方面，将作为从芯13的中心P至异物70的距离而求出的长度设为R3，并且将卷绕于芯13的薄膜10的内侧和外侧的面中的外侧的面与卷绕于该薄膜10的外侧的薄膜10的外侧的面之间的距离设为t。即，在将薄膜10卷绕于芯13时，在下侧的薄膜10与上侧的薄膜10之间夹入空气层。因此，已经提到的膜厚t是将薄膜10的厚度与夹入薄膜之间的空气层的厚度相加而得到的尺寸。
此外，在图2中，将通过标记71和芯13的中心P的直线与通过中心P和异物70的直线所成的角度中的沿着薄膜10的卷绕方向的方向上的角度设为θ(rad：弧度)(在图2中，薄膜10逆时针(即左旋)卷绕)。另外，在卷绕的薄膜辊的存在异物70的薄膜(第n层)中，将相当于角度θ量的薄膜的长度设为Δj。接下来，对根据上述各尺寸的定义来转换坐标的计算方法进行说明。图7是求出在薄膜辊中用于进行异物的检查的各驱动量(R3和θ)的流程图的一例。以下，进行详细说明。
在图2中，由于卷绕有薄膜10的环状的区域的面积S是从外半径R2的圆的面积减去内半径R1的面积而得到的值，因此成为
S＝π(R2 2-R1 2)····(1)
另一方面，可以说已经提到的面积S是将膜厚t的长条物(由薄膜10和空气层构成的薄膜)遍及长度L而进行了卷绕时的侧面的面积，因此成为
S＝Lt…(2)
如果组合上述(1)式和(2)式进行变形，则得到
t＝π(R2 2-R1 2)/L…(3)
如果对作为从芯13的中心P至异物70的距离而求出的长度R3也与(1)式和(2)式同样地考虑，则得到
π(R3 2-R1 2)＝jt…(4)
另外，如图2所示，作为从芯13的中心P至异物70的距离而求出的长度R3是指，作为将相当于从θ＝0处的点至存在异物70的部位为止的薄膜的长度Δj的薄膜的截面积在整周上平均化时得到的圆弧(图2的(b)虚线)与中心P之间的距离而求出的长度。如果重组该(4)式，则成为
R3＝{(jt/π)+R1 2}1/2…(5)
如果将已经提到的(3)式的膜厚t代入该(5)式，则(5)式的右边全部是已知的值，因此求出异物70的极坐标(r，θ，z)中的r(R3)。
但是，通过异物70的已经提到的圆弧的长度Δj使用以作为到异物70的距离而求出的长度R3为半径的圆的圆周和中心角θ来如下表示。
2πR3×θ/2π≈Δj…(6)
因此，中心角θ成为
θ≈Δj/R3…(7)。
这里，对作为从芯13的中心P至异物70的距离而求出的长度R3与中心角θ的关系进行详细叙述。中心角θ是连结异物和芯中心而得的直线与连结标记和中心而得的线所成的角度。如果将此时的存在该异物的层中的θ＝0处的点至存在异物70的地方的薄膜的长度设为Δj，则Δj部分的薄膜的截面积为Δj×膜厚t，根据式(7)成为
Δj×t≈R3θt…(8)
另一方面，如图2的(b)所示，R3可以说是卷绕相当于从卷绕开始起至存在该异物的部位为止的薄膜长度的薄膜时的半径，因此在实际的薄膜辊中，当将从θ＝0处的点至存在异物的部位为止的薄膜的截面积整理为
πR3 2-π[R3-(R3-R1)modt]2时，则通过
π{2R3×[(R3-R1)modt]-[(R3-R1)modt]2}≈2π×R3×[(R3-R1)modt])求出。
由此，求出θ≈2π×[(R3-R1)modt]/t。另外，mod是指余数运算符，[a mod b]输出a除以b的余数。
极坐标(r，θ，z)中的高度方向的坐标(z)是异物70在薄膜10的宽度方向上的位置，由于已经由已经提到的照相机22拍摄完成，因此确定了极坐标的三个坐标。
在该例中，作为为了将平面坐标转换为空间坐标而使用的坐标转换用信息，是芯13上的薄膜10的卷绕开始位置、卷绕方向、薄膜10的总卷绕长度L、芯的外半径R1、薄膜辊12的外半径R2以及卷绕长度j这六个变量，卷绕开始位置和卷绕方向根据标记71的读取和芯13向马达51的连接而已知。接下来，回到对装置的说明。
通过坐标转换部54而转换为空间坐标的异物的位置被传递到移动控制部55，移动控制部55对马达51、轴向移动机构52以及半径方向移动机构53的驱动进行控制，以便根据空间坐标下的异物的位置而使拍摄焦点对准该异物。实际上，由于薄膜10的厚度偏差、卷绕时的薄膜10的伸长等因素，关于异物的位置，有时在坐标转换部54中计算出的空间坐标下的位置与实际的薄膜辊12中的位置不一致。即使在该情况下，由于薄膜辊的半径相对于薄膜厚度足够大，因此作为该异物与薄膜辊12的中心轴之间的距离而求出的长度R3(即半径方向的尺寸)被大致准确地计算，因此只要根据计算出的位置来对半径方向移动机构53进行驱动并在该状态下一边通过马达51使薄膜辊12旋转一周一边进行基于X射线的检查即可。在该情况下，沿着由计算出的半径表示的圆周，在整个周向范围内进行基于X射线的检查。在该情况下，作为空间坐标和移动机构，根据以下所示的理由，与直角坐标系相比优选使用极坐标系。
图5是在直角坐标系中沿着薄膜辊外周附近的圆周依次移动了视野的情况下的示意图，但在移动到下一视野时需要在大部分的视野中移动x、y轴双方，控制变得复杂。此外，由于薄膜与空气相比X射线透过率低，因此成为在半径方向上具有明暗图案的图像，该明暗图案是指比薄膜辊靠外侧的空间明亮、如果进入薄膜辊的内侧则暗，但在图5的情况下，明暗图案的方向根据视野而发生变化，用于自动检测异物的图像处理变得复杂。另一方面，图6是在极坐标系中在相同的圆周上移动的情况，一旦调整为计算出的半径，则只要保持r恒定而仅移动θ轴即可，因此控制容易，并且由于图像中的明暗图案方向始终恒定，因此图像处理比较简单。另外，在通过由光学拍摄部进行的异物检测来判明异物的大小时，也可以仅对超过规定的阈值(例如100μm)的大小的异物进行使用了X射线的检查。
另外，在异物检查装置中设置有评价部44，该评价部44对通过X射线拍摄部42而得到的X射线拍摄图像进行处理来评价异物。如果异物是金属，则强烈地遮挡X射线，但在异物是非金属的情况下，X射线几乎不被遮挡。因此，评价部44对X射线拍摄图像进行图像处理来检测异物，并根据该异物的位置处的X射线的衰减量来评价异物的材质(例如是金属还是非金属)。该评价结果被发送到缺陷存储部30。缺陷存储部30将评价部44的评价结果与关于所对应的异物的薄膜辊12中的空间坐标下的位置的至少一方对应起来，并存储为检查结果。即，将薄膜辊12的状态下的检查结果和从该薄膜辊12卷出的薄膜10的检查结果中的至少一方存储在缺陷存储部30中。此时，在已经将关于异物的大小的信息存储在缺陷存储部30中的情况下，在检查结果中也可以包含异物的大小的值。在缺陷存储部30上连接有输出部30a，能够输出存储在缺陷存储部30中的检查结果。在该情况下，检查结果除了简单地以数值形式输出将坐标异物的有无或异物的尺寸对应起来的表以外，还可以作为平面坐标或空间坐标下的地图(map)形式的数据输出到纸面上或者电子输出。
另外，也可以根据异物的大小和材质而将异物按照等级分类，并将异物的位置和该分类后的等级作为地图形式的数据输出。输出的检查结果能够在薄膜辊12出厂时附加于薄膜辊12。
图3示出使用了图1所示的异物检查装置的异物检查的步骤的概要。首先，作为第1异物检测工序，针对卷绕于薄膜辊12之前的输送中的薄膜10，使用由光源21和照相机22构成的光学拍摄部来检测异物的位置和大小，检测被判断为缺陷的缺陷点的位置。在图中如缺陷点图61所示，检测结果在薄膜10的俯视图中示出异物存在于哪个位置。相当于该缺陷点图61的各个异物的位置信息A(平面坐标)被存储在缺陷存储部30中。这里，当通过坐标转换部54对各个异物进行从薄膜10中的位置信息A(平面坐标)向薄膜辊12中的位置信息B(空间坐标)的转换时，求出薄膜辊12中的异物的空间位置(三维位置)。图3所示的缺陷点图62示出这样求出的空间坐标下的异物的配置的例子。在图中，作为投影在与薄膜辊12的中心轴垂直的面上的异物，异物的分布被描绘在缺陷点图62中，但实际上，图中的深度方向(薄膜10的宽度方向)的位置的信息也包含在异物的空间位置的信息中。在本实施方式中，仅将转换为薄膜辊12中的位置信息B(空间坐标)的异物的位置及其附近(在图中用单点划线表示的区域63)作为基于X射线的检查的对象区域，对该对象区域执行基于X射线的检查作为第2异物检测工序。
在基于X射线的第2异物检测检查中，考虑到薄膜10的厚度的偏差和延伸的影响，可以将与薄膜辊12的中心轴垂直的面上的沿着圆的区域作为基于X射线的检查对象区域，该圆在薄膜辊12的中心轴上具有中心且在圆周上具有转换为空间坐标的异物的位置。将沿着这样的圆的区域作为基于X射线的检查对象区域而对该检查对象区域进行对焦，也包含使拍摄焦点对准本发明中的转换后的空间坐标下的异物的位置。在将沿着圆的区域作为检查对象区域的情况下，只要在通过轴向移动机构52和半径方向移动机构53进行了对焦之后，对马达51进行驱动，一边使薄膜辊12绕铅垂轴旋转一边进行基于X射线的检查即可。
当对检查对象区域进行基于X射线的检查时，根据X射线的衰减率来评价异物例如是金属还是非金属。根据该评价结果来进行异物的分类(缺陷点分类)。当对缺陷点图62所示的异物应用该评价结果时，得到缺陷点图64。这里，也添加了异物的大小的信息，按照(a)由金属构成且为规定值以上的大小的异物、(b)由金属构成且小于规定值的大小的异物、(c)由非金属构成的异物这三种进行分类。进而，通过在既得的薄膜上的异物的位置信息A(平面坐标)中追加异物的分类(缺陷点分类)信息，能够得到表示在薄膜10中的平面坐标下异物位于何处和该异物的等级(相当于上述(a)～(c)中的哪一个)的缺陷点图65。能够从缺陷存储部30输出这样的缺陷点图64、65，输出的缺陷点图64、65能够作为检查附录而在薄膜辊12出厂时附加于薄膜辊12。另外，作为上述等级，除了(a)～(c)以外，还可以设置(d)由金属和非金属构成且为规定值以上的大小的异物这样的项目。
在上述的例子中，作为在从平面坐标转换为空间坐标时使用的坐标转换用信息，使用了六个变量，但在例如从卷绕装置的转速得知卷绕于薄膜辊12时的卷绕数N的情况下，也可以使用以下的(11)式。
t＝(R2-R1)/N…(11)
在使用该卷绕数N的情况下，可以与已经提到的薄膜10的总卷绕长度L、芯的外半径R1、薄膜辊12的外半径R2以及卷绕长度j这四个变量一起使用，也可以将这四个变量中的一个替代为上述卷绕数N。
另外，作为薄膜辊12的外半径R2的测量方法，在已经提到的例子中对使用测长器的方法进行了说明，但作为参考，举出了记载有这种方法的公知文献。具体而言，可以举出日本特开2000-230810号公报或者日本特开平1-193604号公报等。
此外，作为薄膜辊12的外半径R2的测量方法，也可以使用以下的(A)、(B)的方法中的任意一个来代替上述方法。
(A)在卷绕后的薄膜辊12的外侧沿着周向缠绕卷尺等来测量圆周的长度，根据从半径求出圆周的长度的式子来换算成外半径R2。
(B)通过组合已经提到的(3)式和(11)式，能够将外半径R2作为未知数并且将其他变量作为已知的值进行计算。
另外，关于芯的外半径R1、薄膜辊12的外半径R2以及作为从芯13的中心P至异物70的距离而求出的长度R3的计算方法，也可以使用以下(C)的方法。
(C)当将芯13(薄膜辊12)的卷绕旋转速度和薄膜10的输送速度分别设为ω(rad/s)和v(mm/s)时，混入异物的时刻的薄膜辊12的外半径R(R2和R3中的任意一个)通过以下(12)式来计算。
R＝v/ω…(12)
因此，分别在卷绕开始时刻、卷绕结束时刻以及异物70的产生时刻取得上述旋转速度ω和输送速度v并将它们代入(12)式，从而计算芯的外半径R1、薄膜辊12的外半径R2以及作为从芯13的中心P至异物70的距离而求出的长度R3。
另外，在已经提到的例子中，在读取附着于芯13的标记71的位置时，沿用了异物70检查用的X射线源41和X射线拍摄部42，但也可以分别设置标记71读取用的X射线源和X射线拍摄部。作为标记71，除了金属以外，也可以是树脂制的板或带、或者作业者用笔等标注的标识等。在这样使用非金属性的标记71的情况下，关于卷绕后的薄膜辊12中的标记71的位置，例如也可以将光学系统的照相机另外接近马达51配置来进行拍摄。
此外，为了判别薄膜10在芯13上的卷绕方向(右旋或左旋)，在芯13上设置了标记71，但也可以不设置这样的标记71而在测量薄膜辊12的外半径时判别卷绕方向。即，在薄膜辊12的外周部例如通过胶带等固定薄膜10的最后端，在该外周部形成有该最后端的量的落差。因此，也可以通过检测该落差的位置来判别薄膜10的卷绕方向。
此外，通过标记71判别了薄膜10在芯13上的卷绕开始位置，但也可以为，如上所述取得薄膜10的最后端的落差的位置，通过使薄膜10的前端部假想地从该位置朝向薄膜辊12的内周侧呈涡旋状地延伸薄膜10的总卷绕长度L的量，取得薄膜10的卷绕开始位置。
在图3所示的例子中，如缺陷点图61等所示，有时在薄膜10(即薄膜辊12)中包含多个异物。在包含多个异物时，依次使X射线源41的拍摄焦点对准这些多个异物的每一个来进行基于X射线的拍摄。图4是用于对包含多个异物的情况下的X射线源的拍摄焦点的对焦进行说明的图。这里，在薄膜辊12内包含有异物A、B。首先，使拍摄焦点对准异物A并利用X射线拍摄异物A，接着，通过使薄膜辊12移动，使拍摄焦点对准异物B并利用X射线拍摄异物B。这样，在使拍摄焦点在异物A、B之间移动时(薄膜辊12移动时)，可以关闭X射线源41的输出，或者也可以设为待机状态而使输出值比拍摄时小。在薄膜辊12中还包含有异物时，同样地重复使拍摄焦点对准下一个异物并拍摄该异物。X射线源41与X射线拍摄部42之间的间隔L保持恒定。另外，在对焦时，移动薄膜辊12，以使无论薄膜辊12的深度方向(图示上下方向)上的异物的位置如何，作为对焦对象的异物与X射线源41之间的距离D都恒定。另外，上述间隔L例如可以由作业者调整、设定，也可以根据预先输入的薄膜辊12的宽度尺寸而自动调整。
对本发明的实施方式进行了说明，在检测异物的位置并进行了评价之后，根据评价结果等来筛选(即，使用或者废弃)薄膜辊。在通过基于X射线等的放射线拍摄部来判别例如异物是金属还是非金属的情况下，包含规定值以上的大小且由金属构成的异物的薄膜辊例如不出厂而进行废弃处理，或者去除该异物。作为金属异物的去除方法，在异物是磁性体的情况下使用磁铁，另一方面，在异物是非磁性体的情况下进行物理性地刮落等处理。或者，根据上述缺陷点图而掌握薄膜辊中(或者薄膜上)的金属异物的位置，能够仅使用薄膜辊中的不包含金属异物的区域。具体而言，在包含金属异物的情况下，从薄膜辊卷出薄膜，根据缺陷点图在比附着有异物的位置靠前段部的位置切断薄膜并卷绕，从而作为产品出厂。另外，在比附着有异物的位置靠后段部的位置再次切断薄膜，将其后段部以后也卷绕起来而作为产品出厂。在包含金属异物但所有的金属异物的大小小于预先设定的阈值(例如100μm)的情况下，或者在只含有非金属的异物的情况下，也可以附加上述检查附录或者缺陷点图而使薄膜辊例如出厂。而且，也可以根据薄膜辊所包含的异物的个数来选择废弃或出厂。
如上所述，在本发明中，在薄膜的输送中进行光学系统的异物检查，接着对卷绕有薄膜的薄膜辊进行使用了放射线的异物检查。因此，仅通过选择通过光学系统的检查而检测出异物的部位并照射放射线，就完成对薄膜辊整体的异物检查，因此即使异物的大小为100μm级，也能够高速且可靠地进行检查。即，为了使用放射线来检测微小异物，对于放射线的放射区域，也需要根据该异物的大小而将放射线调整得较小，因此对于薄膜整体，如果要在这样的放射区域中进行检查，则检查时间变得极长，另一方面，如果要以高速进行检查，则不得不将放射区域设定得较大，因此无法检测微小异物，但在本发明中，由于仅向通过光学系统的检查而已经检测出异物的部位照射放射线，因此能够一边以较高的精度检测微小异物一边迅速地完成检查。因此，如制造电池分隔薄膜的工序那样，即使在薄膜被高速输送的情况下，也能够以实用水平应用本发明的检查方法，并且带来放射线源的长寿命化。例如，在以视野10mm见方对辊外径300mm、芯外径200mm的薄膜辊进行检查的情况下，由于薄膜辊厚是50mm，因此需要在辊半径方向上至少拍摄五个视野以上，但由于仅拍摄使用本发明而确定的半径位置即可，因此能够将检查时间缩短到1/5以下。而且，由于通过放射线的检查来判别通过光学系统的检查而检测出的异物是金属还是非金属，因此能够容易地进行已经提到的薄膜辊的筛选。
此外，在仅对通过光学系统的检查检测出的异物中的确定的尺寸以上的大小的异物进行基于放射线的检查的情况下，例如仅将包含在应用电池分隔薄膜的二次电池中被视为问题的程度的异物的薄膜辊废弃，另一方面，能够将包含在二次电池中不被视为问题的异物的薄膜辊用于分隔薄膜。
此外，通过将检测出金属异物的部位保存为空间坐标或平面坐标，即使是检测出金属异物的薄膜辊也不废弃，能够避开附着该金属异物的部位而有效利用薄膜。另外，通过将上述空间坐标或平面坐标作为检查结果输出并附加于薄膜辊，能够在该薄膜辊的接受处进行用于实现这样的薄膜的有效利用的作业。
在以上说明的例子中，对由光学拍摄部检测到的全部异物或者超过规定的阈值的大小的异物进行基于放射线拍摄部的异物的检测和评价。另外，也可以为，在根据光学拍摄部中的检测结果判明了包含在薄膜辊12中的异物的数量为一定个数以上的情况下，开始进行基于放射线拍摄部的异物的检测和评价。而且，也可以为，仅在根据光学拍摄部中的检测结果判明了包含在薄膜辊12中的超过规定的阈值的大小的异物的数量为一定个数以上的情况下，进行基于放射线拍摄部的异物的检测和评价。在该情况下，仅将超过阈值的大小的异物作为放射线拍摄部的检查对象。
在图1所示的异物检查装置中，通过使薄膜辊12移动来使X射线源41的拍摄焦点对焦，但也可以通过使X射线源41和X射线拍摄部42在保持它们之间的位置关系的情况下移动来进行拍摄焦点的对焦。总之，只要使X射线源41和X射线拍摄部42保持它们之间的位置关系而改变X射线源41与薄膜辊12的相对位置关系来进行对焦即可。另外，在图1中，将马达51的旋转轴的方向描绘为与重力方向平行的方向，但进行基于X射线的检查时的马达51的旋转轴的方向即薄膜辊12的中心轴的方向并不限定于此，也可以使薄膜辊12的中心轴的方向为水平方向。
在图1所示的异物检查装置中，对从对薄膜原材料进行分条加工的分条机15的出口排出的输送中的薄膜10进行基于光学拍摄部的异物的检测，但由光学拍摄部进行异物的检测的场所并不限于此。在本发明中，只要是在卷绕之前输送薄膜的场所，就能够在任意的场所进行基于光学拍摄部的异物的检测。另外，本发明也能够应用于未实施分条加工的薄膜。不过，为了尽可能减少在检查后异物附着于薄膜的可能性，优选在即将作为最后的薄膜辊卷绕之前的阶段进行基于光学拍摄部的异物的检测。
关于以上说明的薄膜辊12的制造工序，以电池分隔薄膜为例进行简单说明。首先，将聚乙烯等聚烯烃系树脂和其增塑剂混揉来调制聚烯烃溶液。接下来，将该聚烯烃溶液从模头呈片状挤出并且进行冷却，形成凝胶片。接下来，在使凝胶片延伸之后，去除增塑剂，进行清洗而形成微多孔膜，经过热处理等卷绕于辊而作为原材料。然后，从所述辊卷出原材料，以成为规定的宽度尺寸的方式进行分条，并卷绕于其他的宽度尺寸小的辊。这样，所述宽度尺寸小的辊被提供给使用电池分隔薄膜的制造商例如电池制造商。
产业上的可利用性
应用本发明的检查方法的制造工序不限于聚烯烃制电池分隔薄膜的制造工序，也应用于涂层分隔器、无纺布制电池分隔器、电容器用薄膜、MLCC脱模用薄膜等的制造工序。
标号说明
10：薄膜；11：卷出辊；12：薄膜辊；13：芯；15：分条机；21：光源；22：光学照相机；23：图像处理部；30：缺陷存储部；41：X射线源；42：X射线拍摄部；43：间隔调整机构；44：评价部；51：马达；52：轴向移动机构；53：半径方向移动机构；54：坐标转换部；55：移动控制部；70：异物×；80：一次检查视野；P：薄膜辊中的位置信息B的原点；R1：芯的外半径；R2：薄膜辊的外半径；R3：作为从中心P至异物的距离而求出的长度；S：卷绕有薄膜的区域的面积；L：总卷绕长度；j：到附着有异物的位置的卷绕长度；θ：薄膜辊中的旋转角度(θ坐标)。

Claims (15)

1.一种异物的检查方法，该异物混入于薄膜辊中，其中，
该异物的检查方法包含如下的工序：
第1异物检测工序，针对卷绕于所述薄膜辊之前的输送中的薄膜，使用光学拍摄部检测所述薄膜上的异物，取得至少包含该异物在所述薄膜上的位置信息A在内的异物信息；
在所述第1异物检测工序之后将所述薄膜卷绕于芯上而作为薄膜辊的工序；
转换工序，将所述位置信息A中的所述异物的位置转换为卷绕后的所述薄膜辊上的位置信息B中的位置信息；以及
第2异物检测工序，针对所述薄膜辊使用放射线拍摄部，根据该异物的位置信息B进行放射线拍摄部的对焦，以使拍摄焦点对准作为检测/评价对象的异物，并且通过所述放射线拍摄部照射放射线，与作为对象的异物的检测一起进行该异物的评价。
2.根据权利要求1所述的异物的检查方法，其中，
当在所述第1异物检测工序中检测到多个异物的情况下，在所述第2异物检测工序中，使拍摄焦点依次对准所述多个异物的各位置信息B，检测并评价各异物。
3.根据权利要求1或2所述的异物的检查方法，其中，
所述光学拍摄部是直接透过光学系统，
仅与在所述第1异物检测工序中检测为暗缺陷的异物对应地实施所述第2异物检测工序。
4.根据权利要求1或2所述的异物的检查方法，其中，
所述异物信息包含与检测到的所述异物的大小相关的信息，
仅与为预先设定的阈值以上的异物对应地实施所述第2异物检测工序。
5.根据权利要求1或2所述的异物的检查方法，其中，
该异物的检查方法包含如下的检查结果映射工序：在所述第2异物检测工序之后，将所述第2异物检测工序中的评价结果与所述异物的所述位置信息A中的位置对应起来而作为检查结果进行保存。
6.根据权利要求5所述的异物的检查方法，其中，
输出在所述检查结果映射工序中建立了对应的所述检查结果。
7.根据权利要求1或2所述的异物的检查方法，其中，
所述薄膜是电池分隔薄膜。
8.根据权利要求1或2所述的异物的检查方法，其中，
在所述转换工序之前，进行如下的工序中的至少三个工序：
对卷绕于薄膜辊的薄膜的总卷绕长度进行测量的工序；
对所述芯的外径进行测量的工序；
对卷绕有薄膜的薄膜辊的外径进行测量的工序；以及
对所述薄膜辊上的薄膜的卷绕数进行测量的工序，
所述转换工序是根据在所述至少三个工序中得到的测量结果而进行的。
9.一种检查装置，其对卷绕有薄膜的薄膜辊中混入的异物进行检查，其中，
该检查装置具有：
光学拍摄部，其对卷绕于所述薄膜辊之前的输送中的薄膜进行拍摄；
图像处理部，其根据所述光学拍摄部中的拍摄图像来检测异物；
存储部，其针对由所述图像处理部检测到的异物，存储至少包含所述薄膜上的位置信息A中的该异物的位置在内的异物信息；
转换部，其将所述位置信息A中的所述异物的位置转换为卷绕后的所述薄膜辊中的位置信息B中的所述异物的位置；
放射线拍摄部，其检测从放射线源放射的放射线而进行拍摄；
对焦部，其使所述放射线源相对于所述薄膜辊相对移动来进行放射线拍摄部的对焦，以使拍摄焦点对准转换后的所述位置信息B中的所述异物的位置；以及
评价部，其根据所述放射线拍摄部的放射线强度来检测所述异物并进行评价。
10.根据权利要求9所述的检查装置，其中，
所述评价部判别所述薄膜辊内的异物是金属还是非金属。
11.根据权利要求9或10所述的检查装置，其中，
该检查装置具有输出部，该输出部将基于预先执行的光学系统的所述异物检查的结果的所述异物在所述薄膜上的位置和所述异物在所述薄膜辊中的位置中的至少一方与对所述异物进行了评价的结果对应起来而进行输出。
12.一种薄膜辊，其卷绕有薄膜，其中，
该薄膜辊具有通过权利要求1至8中的任意一项所述的异物的检查方法而获得的检查附录，该检查附录将基于对卷绕于所述薄膜辊之前的输送中的薄膜光学性地进行的异物检测的结果的异物的位置与向所述薄膜辊照射放射线而进行的所述异物的评价结果对应起来而进行记载。
13.一种薄膜辊的制造方法，包含通过卷绕薄膜的工序来制造薄膜辊的工序，其中，
该薄膜辊的制造方法包含通过权利要求1至8中的任意一项所述的异物的检查方法来进行异物的检查的工序，
所述第1异物检测工序在卷绕薄膜的工序之前进行，
所述第2异物检测工序在卷绕薄膜的工序之后进行。
14.根据权利要求13所述的薄膜辊的制造方法，其中，
所述卷绕薄膜的工序是卷绕从薄膜原材料分条而得的薄膜的工序。
15.一种检查装置，其对卷绕有薄膜的薄膜辊中混入的异物进行检查，其中，
该检查装置具有：
输入部，其取得基于对卷绕前的薄膜预先执行的异物检查的结果的所述异物在所述薄膜上的位置信息A；
转换部，其将所述位置信息A中的所述异物的位置转换为卷绕后的所述薄膜辊上的位置信息B中的所述异物的位置；
放射线拍摄部，其检测从放射线源放射的放射线而进行拍摄；
对焦部，其使所述放射线源相对于所述薄膜辊相对移动来进行放射线拍摄部的对焦，以使拍摄焦点对准转换后的所述位置信息B中的所述异物的位置；以及
评价部，其根据所述放射线拍摄部的放射线强度来检测所述异物并进行评价。
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