CN111629838A

CN111629838A - 涂布装置及涂布系统

Info

Publication number: CN111629838A
Application number: CN201980008998.0A
Authority: CN
Inventors: 曾根信幸; 池山裕介; 大岛笃; 坂本孝博
Original assignee: Fujifilm Corp
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 2018-03-22
Filing date: 2019-03-19
Publication date: 2020-09-04
Anticipated expiration: 2039-03-19
Also published as: JP6890715B2; KR20200099569A; CN111629838B; JPWO2019181916A1; WO2019181916A1; TW201940240A; KR102325716B1

Abstract

本发明提供一种用1个棒将至少2种涂布液同时涂布成带状图案的涂布装置及涂布系统。涂布装置具有：长条的棒，经由涂布液而与在特定的行驶方向上连续行驶的长条的基板的至少一个面接触并旋转，且在与行驶方向正交的宽度方向上延伸；及堰板，相对于棒而设置于基板的行驶方向的上游，使涂布液通过该堰板与棒之间并向基板的行驶方向流通。涂布装置具有：主体块，将棒支承为能够旋转；多个堰板，沿着棒的长度方向而配置；及多个供给部，按每个堰板设置，向堰板供给涂布液。涂布系统中，隔着基板对向配置涂布装置而在基板的两个面将涂布液同时涂布成图案状。

Description

涂布装置及涂布系统

技术领域

本发明是关于一种使用在与行驶方向正交的宽度方向上延伸的长条的棒在薄的金属板、纸及薄膜等片状或长条状的被涂布基材上涂布各种液状物质的涂布装置及涂布系统，尤其关于一种用1个棒将至少2种涂布液同时涂布成带(stripe)状图案的涂布装置及涂布系统。

背景技术

以往，当在长条的基板的表面例如形成易粘接层或抗静电层之类的功能性层时，进行将涂布液涂布于基板的表面而形成涂布膜的工序。作为将涂布液涂布于基板的表面的方法，已知有辊涂法、模涂法、喷涂法及棒涂法等多种涂布方法。将长条的基板也称为料片(web)。并且，将长条的基板也简称为基板。

提出有各种将涂布液涂布于基板的涂布装置。例如，在专利文献1中记载有将涂布液涂布于基板的上表面的涂布装置。专利文献1的涂布装置具有：棒，经由涂布液而与连续行驶的料片的上表面接触并旋转；及堰板，相对于棒而设置于料片的行驶方向的上游侧，使涂布液通过该堰板与棒之间并向料片方向流通。在专利文献1的涂布装置中，在将堰板与最靠近堰板的棒的端缘部之间的距离设为A并将堰板与料片之间的距离设为B时，A为0.5～5mm，B为0.5～5mm，且B≤A。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-077589号公报

专利文献2：日本特开2002-159899号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

在上述专利文献1的涂布装置中，在基板的上表面上只能涂布1种涂布液。因此，在更换涂布液时因品种切换而产生制造损失(loss)。

并且，由于只能涂布1种涂布液，所以将涂布液进行涂布之后切出的样品只有1种功能，当在宽度方向上排列功能不同的样品而制作产品时，需要进行样品的贴合工序。因此，制造原价升高。

而且，若料片为树脂，则有时设置有向相对于料片的行进方向正交的方向(以下，宽度方向)进行拉伸的延伸工序。在该情况下，为了使料片的厚度在宽度方向上变均匀，需要在延伸之前在宽度方向上涂布均匀的涂布液。因此，需要将涂布液涂布成宽至产品宽度以上，最终有时在产品宽度外也涂布赋予功能性的涂布液。但是，有时将产品宽度外的料片废弃，存在浪费产品宽度外的涂布液的情况和因涂布液混入而无法将产品宽度外的料片再利用的情况。因此，产品率下降。

由于上述情况，还要求将2种以上的涂布液同时涂布成带状图案，但以专利文献1的涂布装置无法对应。

因此，作为能够涂布2种以上的功能的装置，如专利文献2那样，有反向(reverse)涂布方式。然而，反向涂布方式必须在料片背面设置支承(backup)辊(以下，辊)来防止料片的位移变动，因此在构成上，在料片背面需要辊，无法以1个涂布部同时涂布料片的上表面和下表面。因此，存在需要干燥设备等很多的设备投资或设备大型化等问题。

如此，作为将2种以上的涂布液同时涂布成带状图案的涂布装置，目前没有足以令人满意的装置。

用于解决技术课题的手段

本发明的目的在于提供一种用1个棒将至少2种涂布液同时涂布成带状图案的涂布装置及涂布系统。

为了达成上述目的，本发明提供一种涂布装置，其具有：长条的棒，经由涂布液而与在特定的行驶方向上连续行驶的长条的基板的至少一个面接触并旋转，且在与行驶方向正交的宽度方向上延伸；及堰板，相对于棒而设置于基板的行驶方向的上游，使涂布液通过该堰板与棒之间并向基板的行驶方向流通，所述涂布装置具有：主体块，将棒支承为能够旋转；多个堰板，沿着棒的长度方向而配置；及多个供给部，按每个堰板设置，向堰板供给涂布液。

优选在棒的长度方向上的堰板的间隔为3mm以上。

多个堰板优选为分别能够改变在棒的长度方向上的位置。

多个堰板分别在与棒之间具有储液部，多个堰板优选为分别能够改变储液部的容量。

多个堰板优选为分别能够相对于基板的行驶方向移动，并能够改变棒与堰板的行驶方向上的距离。

由行驶方向和与行驶方向正交的高度方向所构成的平面上的储液部的截面积S为20mm²以上且100mm²以下，储液部的截面积S优选为被平面上的棒的行驶方向的上游侧的周面、通过棒的旋转中心且通过棒的行驶方向的上游侧的端面与堰板的最短距离的线、经过通过最短距离的线与堰板的交点且与基板的面垂直的线、及基板所包围的部分的面积。

多个堰板优选为分别在棒的长度方向的两端部设置有侧板。

优选为在面向多个堰板中相邻的堰板之间的堰板的棒的长度方向的端部设置有侧板。

优选为在主体块或各堰板具有储存涂布液的送液储存部。

并且，提供一种隔着基板对向配置本发明的涂布装置而在基板的两个面将涂布液同时涂布成图案状的涂布系统。

发明效果

根据本发明，能够提供一种能够用1个棒将至少2种涂布液同时涂布成带状图案的涂布装置。

并且，能够提供一种能够在基板的两个面将至少2种涂布液同时涂布成图案状的涂布系统。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的涂布装置的第1例的示意性立体图。

图2是表示本发明的实施方式的涂布装置的第1例的示意性侧面图。

图3是表示本发明的实施方式的涂布装置的第2例的示意性立体图。

图4是表示本发明的实施方式的涂布装置的第3例的示意性立体图。

图5是表示本发明的实施方式的涂布装置的第3例的示意性侧面图。

图6是表示本发明的实施方式的涂布系统的第1例的示意图。

图7是表示本发明的实施方式的涂布系统的第2例的示意图。

具体实施方式

以下，根据附图所示的优选实施方式，对本发明的涂布装置及涂布系统进行详细说明。

另外，以下说明的图用于说明本发明的例示性，本发明并不限定于以下所示的图。

另外，以下表示数值范围的“～”是指包含两侧所记载的数值。例如，ε为数值α～数值β是指ε的范围为包含数值α和数值β的范围，若以数学记号表示，则为α≤ε≤β。

“以具体的数值表示的角度”、“平行”、“垂直”及“正交”等角度，若没有特别记载，则包含该技术领域中一般容许的误差范围。

(涂布装置的第1例)

图1是表示本发明的实施方式的涂布装置的第1例的示意性立体图，图2是表示本发明的实施方式的涂布装置的第1例的示意性侧面图。

图1所示的涂布装置10将涂布液M涂布于在特定的行驶方向D1上连续行驶的长条的基板30的上表面30a或横向面，能够用1个棒12将至少2种涂布液M同时涂布成带状图案。

所谓横向面，将图1所示的状态的基板30以行驶方向D1为中心向高度方向D3旋转90°时上表面30a朝横向，此时的上表面30a称为横向面。

高度方向D3是指与基板30的上表面30a或横向面垂直的方向。并且，在横向面上，基板30的朝向发生变化，在该情况下，横向面的高度方向D3在图1的基板30的状态下相当于宽度方向D2。另外，宽度方向D2是指在基板30的上表面30a内与行驶方向D1正交的方向。

关于涂布装置10，以用1个棒12将3种涂布液M同时涂布成带状图案为例进行说明。涂布装置10例如具有在与行驶方向D1正交的宽度方向D2上延伸的长条的1个棒12、主体块14、3个堰板16、3个供给管20及3个供给部22。并且，在涂布装置10中，多个堰板16分别在与棒12之间具有储存涂布液M的储液部17(参考图2)和送液储存部24。

如上所述，涂布装置10例如具有3个堰板16，该堰板16相对于棒12而设置于长条的基板30的行驶方向D1的上游，使涂布液M通过与棒12之间并向长条的基板30流通。3个堰板16相对于1个棒12沿着棒12的长度方向即沿宽度方向D2相互隔开间隙27而分开配置。在3个堰板16上分别设置有供给管20，各供给管20上连接有供给部22。

若堰板16的数量为多个，则可以根据同时涂布的图案数量适当确定，其数量并不受特别限定。

棒12是在与行驶方向D1正交的宽度方向D2上延伸的长条的部件，例如为圆柱状。如后述，棒12由主体块14支承为能够转动。棒12的长度方向与宽度方向D2具有平行的关系。

棒12经由涂布液M能够与在特定的行驶方向D1上连续行驶的长条的基板30的上表面30a或横向面接触且在旋转中心Cr上旋转。棒12的旋转方向并不受特别限定，相对于基板30的行驶方向D1可以为相同的方向，也可以为相反方向。

棒12的直径优选为1mm～20mm，更优选为6mm～13mm。通过将棒12的直径设在上述范围，还能够抑制在涂布液M的涂布面上产生纵向条纹。

棒12的表面可以被平滑地精加工，但也可以在圆周方向上以一定间隔设置有槽，并且，也可以紧密地卷绕有金属线(wire)。可以为所谓的绕线棒。在该情况下，卷绕于棒的金属线的直径优选为0.05～0.5mm，尤其优选为0.05～0.2mm。另外，在设置有槽的棒12及卷绕有金属线的棒12中，通过使槽的深度变浅或使金属线变细，能够使涂布液M的涂抹变薄，通过使槽的深度变深或使金属线变粗，能够使涂布液M的涂抹变厚。

棒的宽度可以为与基板30的宽度相同的长度，但优选为长于基板30的宽度。并且，当在棒上设置槽或金属线时，设置槽或金属线的范围优选为基板30的宽度以上。

棒的材质优选为不锈钢，尤其优选为SUS(Steel Use Stainless(钢用不锈钢))304或SUS(Steel Use Stainless)316。另外，可以举出SUS430、SUS630等。在棒的表面上可以实施镀硬铬、类金刚石碳(DLC)或氮化钛(TiN)等表面处理。

主体块14将棒12支承为能够旋转，具有将棒12支承为能够转动的结构。

例如，主体块14在与棒12接触的面形成有圆弧状的槽。通过在主体块14上形成圆弧状的槽，能够抑制由基板30的张力所引起的棒12的挠曲而形成在宽度方向D2上均匀的涂布膜32a～32c。

在主体块14中，与棒12接触的一侧和不与棒12接触的一侧无需为相同的材质。例如，当棒12为不锈钢等金属制时，优选为将主体块14的与棒12接触的一侧设为高分子树脂制等并将主体块14的不与棒12接触的一侧设为不锈钢等金属制。

主体块14的大小可以根据棒12的尺寸适当确定。例如，主体块14的行驶方向D1的厚度优选设为棒12的半径以上且棒12的直径的2倍以下。并且，主体块14的高度方向D3的高度优选设为10～100mm。

而且，主体块14的宽度方向D2的宽度并不受特别限定，可以为与棒12相同长度的单体的块结构，也可以为与堰板16相同长度的分割的块结构，任意结构均能够进行图案涂布。从抑制涂布液混杂的观点而言，主体块14的结构优选为分割的块结构。

堰板16配置于基板30的上表面30a上。

堰板16在基板30的上表面30a侧设置有突出部16a。突出部16a的与上表面30a对置的端面16c例如是无起伏等且平坦状态的与基板30的上表面30a平行的面。

堰板16在侧面16b与主体块14之间、侧面16b与棒12之间设置有狭缝15。狭缝15在宽度方向D2上延伸，涂布液M被送液至狭缝15。

如上所述，堰板16的端面16c设为与上表面30a平行的面，但并不限定于此，也可以为斜面。

通过在堰板上设置突出部16a，能够使堰板端部的厚度成为既定值以下，并且能够提高堰板整体的刚性。

并且，在主体块14与堰板16的边界设置有送液储存部24。送液储存部24与狭缝15连通。送液储存部24可以设置于主体块14或各堰板16，也可以横跨主体块14和各堰板16而设置。

送液储存部24例如在主体块14和各堰板16的宽度方向D2上遍及整个区域而设置。

通过设置送液储存部24，涂布液M在宽度方向D2上均匀地流动之后涂布液M向基板30流动，因此能够将涂布液M在宽度方向D2上均匀地涂布。并且，也能够设为没有送液储存部24的结构，但在该情况下，送液的涂布液M在宽度方向D2上难以填满，涂布液M仅在送液的部分流动，因此在端部25等产生空气滞留的空气滞留部(未图示)。从送液系统等带进的气泡停滞在该空气滞留部(未图示)，抑制气泡凹陷的效果小，有时最终成为气泡凹陷故障。

供给管20如上述那样分别设置于各堰板16。在1个堰板16中，供给管20通过堰板16到达送液储存部24。例如，在1个供给管20上连接有1个供给部22。

供给部22如上述那样设置于各堰板16，按各堰板16将涂布液M送液至棒12。供给部22具有储存涂布液M的罐(未图示)、用于将涂布液M送液的泵(未图示)、调整涂布液M的送液量的阀(未图示)及调整阀的开闭量等的控制部(未图示)。作为供给部22，能够适当利用能够供给预定的量的液体的公知的液体供给装置。

通过在各堰板16上分别设置供给部22，能够以堰板16单位调整涂布液M的供给量，能够减少涂布液M的损失。由此，能够提高生产率。

并且，通过在各堰板16上分别设置供给部22，能够按每个堰板16改变涂布液M，由此，能够改变涂布膜32a～32c的组成等。因此，在图1的涂布装置10中为具有3个堰板16的结构，但各堰板16的涂布液M可以相同，也可以不同。所形成的涂布膜32a、32b、32c例如能够设为涂布膜32a和涂布膜32c相同而涂布膜32b不同的结构。

在堰板16中，除突出部以外的整体的厚度优选为在5～50mm的范围内。另外，整体的厚度是行驶方向D1的长度。

并且，堰板16的高度方向D3的长度优选为10～100mm。

堰板16的宽度并不受特别限定，能够以与堰板16的宽度相等的宽度进行涂布。因此，堰板16的宽度可以根据涂布膜的宽度适当确定。

并且，当主体块14如上述那样为分割的块结构时，堰板16的宽度也能够设为与主体块14相同。

宽度方向D2的堰板16的间隙27的间隔δ优选为3mm以上，更优选为5mm以上。若间隔δ狭窄，则有时相邻的堰板16的涂布液M会混杂。间隙27的间隔δ的上限并不受特别限定，可以根据基板的宽度和涂布膜的数量及涂布膜的配置等适当设定。

关于堰板16，其材质并不受特别限定，例如为金属或树脂。作为金属，例如可以举出不锈钢，尤其优选为使用SUS(Steel Use Stainless)304或SUS(Steel Use Stainless)316。

除此以外，作为堰板，也可以是对金属进行镀硬铬或类金刚石碳处理的堰板。

设置于棒12的上游侧即基板30向棒12的进入侧的堰板16能够提高涂布液M的内压。因此，能够抑制由空气伴随所引起的凹陷。关于由空气伴随所引起的凹陷，将在后面详细说明。并且，将由空气伴随所引起的凹陷也简称为空气伴随凹陷。

在涂布装置10中，由行驶方向D1和高度方向D3所构成的平面PL上的储液部17的截面积S优选为20mm²以上且100mm²以下，更优选为30mm²以上且50mm²以下。储液部17的截面积S是指被棒的行驶方向的上游侧的周面、通过棒的旋转中心且通过棒的行驶方向的上游侧的端面与堰板的最短距离的线、经过通过最短距离的线与堰板的交点且与基板的面垂直的线、及基板所包围的部分的面积，是图2所示的符号S的区域的面积。

通过棒12的旋转而涂布液M被刮取，但若储液部17的截面积S小于20mm²，则成为涂布液M的刮取量>涂布液M的供给量，会发生断液故障(由通过液体的供给量不足而发生的薄涂所引起的故障)。并且，若储液部17的截面积S超过100mm²，则涂布液的内压变小，液压变得小于伴随基板30而带来的空气压而发生凹陷故障(由通过伴随料片带进的空气而发生的薄涂所引起的故障)。

在涂布装置10中，多个堰板16优选为分别能够改变储液部17的容量。即，优选为能够改变上述储液部17的截面积S。

多个堰板16分别相对于基板30的行驶方向D1能够移动，并能够改变棒12与堰板16的行驶方向D1的距离。在该情况下，例如设为用螺栓(未图示)固定堰板16和主体块14的结构，并设为紧固或松弛螺栓来改变棒12与堰板16的行驶方向D1的距离的结构。

棒12的行驶方向D1的上游侧的端面12a与堰板16的最短距离即距离B优选为0.05mm以上且2mm以下。

当棒12的行驶方向D1的上游侧的端面12a与堰板16的距离B小于0.05mm时，从棒12与堰板16之间的狭缝15向宽度方向D2无法均匀地供给涂布液M。

另一方面，若与堰板16的距离B超过2mm以下，则难以提高涂布液M的内压，容易发生空气伴随凹陷。更优选为棒12的行驶方向D1的上游侧的端面12a与堰板16的距离B为0.1mm以上且1mm以下。

并且，堰板16与长条的基板30的距离A优选为0.2mm以上且2mm以下。

当堰板16与长条的基板30的距离A小于0.2mm时，向行驶方向D1的上游侧流动的涂布液M会消失，容易发生涂布液M的断液。

另一方面，若堰板16与长条的基板30的距离A超过2mm，则难以提高涂布液M的内压，容易发生空气伴随凹陷。更优选为堰板16与长条的基板30的距离A为0.4mm以上且1mm以下。

并且，堰板16与长条的基板30的距离A是指堰板16的最下部与基板30的最上部之间的长度，是堰板16与基板30的最短距离。在图2的结构中，是堰板16的端面16c与基板30的上表面30a的最短距离。

(涂布方法)

接着，对涂布装置10的涂布方法进行说明。

从供给部22经由供给管20向堰板16供给涂布液M，并经过送液储存部24向狭缝15中填满涂布液M。然后，使棒12旋转。使基板30以特定的行驶速度在行驶方向D1上连续行驶，按每个堰板16使棒12经由涂布液M与连续行驶的基板30的上表面30a接触而在基板30的上表面30a涂布与各堰板16相应的涂布液M，用1个棒12将3种涂布液M同时涂布成带状图案。而且，能够涂布成无各图案的混杂。由此，能够用1个棒12在基板30上将不同的3个涂布膜32a、32b、32c在宽度方向D2上隔开间隙33而同时形成为带状图案。在该情况下，不会发生涂布液相互混杂的情况而能够形成涂布膜32a、32b、32c。

关于涂布装置10的涂布方法，对涂布于基板30的上表面30a的情况进行了说明，但对基板30的横向面也能够如上述那样进行涂布。对基板30的下表面30b也能够如上述那样进行涂布。

在涂布装置10中，能够用1个棒12将3种涂布液M同时涂布成带状图案而将在基板30的宽度方向D2上排列的3个涂布膜32a、32b、32c形成为带状。由此，能够制作在基板30的宽度方向D2上排列有功能不同的样品的产品。在该情况下，无需进行样品的贴合工序，能够降低在宽度方向D2上排列有功能不同的样品的产品的制造原价。

并且，当对树脂的基板30实施向宽度方向D2拉伸的延伸工序时，通过在产品宽度外的区域涂布例如不包含杂质的液体作为涂布液，能够回收产品宽度外的基板30，从而能够抑制浪费产品宽度外的基板30。由此，能够抑制产品率下降，从而能够提高生产率。

而且，由于涂布装置10的堰板16提高涂布液M的内压，所以可抑制从上游侧的空气的进入，并抑制空气伴随凹陷。

并且，由于设置有送液储存部24，所以可抑制气泡凹陷的发生，能够将涂布液M在基板30的宽度方向D2上均匀地涂布。而且，能够抑制断液的发生。

(涂布装置的第2例)

接着，对涂布装置的第2例进行说明。

另外，在图3所示的涂布装置10中，对与图1及图2所示的涂布装置10相同的构成物标注相同符号，并省略其详细说明。

与图1所示的涂布装置10相比，图3所示的涂布装置11的不同点在于，堰板16的间隔δ不同及堰板16在棒12的长度方向即宽度方向D2上能够移动，除此以外的结构与图1所示的涂布装置10相同，因此省略其详细说明。图3所示的涂布装置11能够得到图1所示的涂布装置10的效果。

如涂布装置11那样，多个堰板16优选为分别能够改变在棒12的长度方向上的位置即宽度方向D2上的位置。由此，能够改变涂布膜32a、32b、32c在基板30的宽度方向D2上的形成位置，从而能够改变涂布膜32a、32b之间的间隙33的间隔及涂布膜32b、32c之间的间隙33的间隔。由此，能够改变由3个涂布膜32a、32b、32c形成的带状图案的宽度方向的位置。

并且，即使在基板30的宽度发生变化的情况下，也能够通过改变堰板16的宽度方向D2的位置而与基板30的宽度对应。例如，在基板30的宽度变狭窄的情况下，缩窄两侧的堰板16与中央的堰板16的间隙27。在基板30的宽度变宽的情况下，扩大两侧的堰板16与中央的堰板16的间隙27。

当改变堰板16在宽度方向D2上的位置时，例如在主体块14为分割的块结构的情况下，堰板16与主体块14一同在宽度方向D2上移动。

并且，在主体块14为单体的块结构的情况下，只有堰板16在宽度方向D2上移动。

当改变堰板16的宽度方向D2的位置时，例如在堰板16上设置在宽度方向D2上延伸的长孔(未图示)而使其在宽度方向D2上移动。另外，堰板16例如使用螺栓(未图示)进行固定。

(涂布装置的第3例)

图4是表示本发明的实施方式的涂布装置的第3例的示意性立体图，图5是表示本发明的实施方式的涂布装置的第3例的示意性侧面图。

另外，在图4及图5所示的涂布装置10中，对与图1及图2所示的涂布装置10相同的构成物标注相同符号，并省略其详细说明。

与图1所示的涂布装置10相比，图4所示的涂布装置11a的不同点在于，堰板16的间隔δ不同及具有侧板26，除此以外的结构与图1所示的涂布装置10相同，因此省略其详细说明。图4及图5所示的涂布装置11a能够得到图1所示的涂布装置10的效果。

在涂布装置11a中，多个堰板16分别在棒12的长度方向的两端部设置有侧板26。即，多个堰板16分别在棒12的宽度方向D2的两侧的端部25设置有侧板26。

图5所示的侧板26覆盖端部25以免涂布液M从端部25流出，其形状并不特别限定于图5所示的形状。例如，侧板26为不与基板30接触的结构，侧板26的基板30的上表面30a侧的上边26a以从棒12和基板30最靠近的位置朝向端面16c而与基板30的上表面30a的距离增加的方式倾斜。

通过设置侧板26，能够提高涂布液M的利用效率。另一方面，若没有侧板26，则存在从端部25流出的涂布液M，涂布所需的涂布液M的量增多。

并且，若没有侧板26，则涂布液M会流动到端部25，容易发生涂布液M的断液。因此，用于均匀地涂布的涂布液M的送液量增多。由于涂布液M的送液量增多而堰板16与棒12之间的储液部17的涂布液M的流速上升，容易与相邻的堰板16的涂布液M混杂。

侧板26的材质并不受特别限定，可以适当选择与涂布液M相应的材质。侧板26例如由SUS(Steel Use Stainless)等金属或树脂等所构成。

另外，侧板26并不限定设置于所有堰板16的宽度方向的端部25。在两侧的堰板16的宽度方向D2的外侧的端部25，即使涂布液M流动，也不会与相邻的堰板16的涂布液M混杂，因此只要在面向多个堰板16中相邻的堰板16之间的堰板16的棒12的长度方向的端部25设置侧板26即可。即，只要为仅在位于堰板16的间隙27中的端部25设置侧板26的结构即可。

并且，涂布装置11a也可以与图3所示的涂布装置11同样为堰板16在宽度方向D2上能够移动的结构。

另外，上述中的任一涂布装置10、11、11a均设为设置送液储存部24的结构，但并不限定于此，也可以为未设置送液储存部24的结构，但在该情况下，从送液系统等带进的气泡停滞在空气滞留部(未图示)，因此抑制气泡凹陷的效果小。

接着，对涂布系统进行说明。

(涂布系统)

图6是表示本发明的实施方式的涂布系统的第1例的示意图，图7是表示本发明的实施方式的涂布系统的第2例的示意图。

另外，在图6及图7所示的涂布系统40中，对与图1及图2所示的涂布装置10相同的构成物标注相同符号，并省略其详细说明。

涂布系统40隔着基板30对向配置上述涂布装置10而在基板30的两个面将涂布液同时涂布成图案状。涂布装置10的旋转中心Cr错开行驶方向D1的位置而配置。

在涂布系统40中，能够在基板30的两面将多个涂布液同时涂布成带状图案。

涂布系统40具有1个干燥部42。干燥部42的结构并不受特别限定，例如利用暖风进行干燥。

利用干燥部42对在基板30的两面涂布成带状图案的涂布液进行干燥，从而形成多个涂布膜。

涂布系统40的“同时”并非时间相同，而是指一次程序。

在涂布系统40中，在1个基板30的两面将多个涂布液同时涂布成带状图案，用1个干燥部42使其干燥，从而能够在1个基板30的两面形成多个带状的涂布膜。相对于此，在上述反向涂布方式中，无法同时涂布于料片的上表面和下表面，因此当设置干燥部时，需要设置2个干燥部，需要很多设备投资，且导致设备的大型化。如此，在涂布系统40中，用1个干燥部42即可，不需要干燥设备等很多设备投资，能够以廉价构建设备，且能够抑制设备的大型化。

涂布系统40的涂布装置10的配置并不限定于图6所示的配置，也可以为图7所示的配置。图7所示的涂布系统40为使图6所示的涂布系统40的涂布装置10在高度方向D3上旋转而使基板30的上表面30a朝横向的结构。

另外，涂布系统40并不限定于上述涂布装置10，也能够使用上述涂布装置11及涂布装置11a。

接着，对上述涂布装置10、11、11a及涂布系统40中所使用的基板30及涂布液M进行说明。

(基板)

作为基板，可以举出玻璃材料、金属材料、合金材料、纸、塑胶膜、树脂涂布纸、合成纸及布等。作为塑胶膜的材质，例如可以举出聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃、聚乙酸乙烯酯、聚氯乙烯、聚苯乙烯等乙烯基聚合物、6，6-尼龙、6-尼龙等聚酰胺、聚对邻苯二甲酸乙二酯、聚-2，6-萘二甲酸乙二酯等聚酯、聚碳酸酯、三乙酸纤维素、二乙酸纤维素等乙酸纤维素等。并且，作为树脂涂布纸中所使用的树脂，作为代表例能够例示以聚乙烯为代表的聚烯烃。

基板的厚度并不受特别限定，但从处理及通用性的观点而言，优选地使用厚度为0.01～1.5mm的基板。

基板在施加张力的状态下经由涂布液与棒接触。基板与水平面所成的角度在棒的上游侧及下游侧优选均为0°～10°，更优选为0°～5°。通过将基板的角度设在上述范围，能够使涂布面变均匀，且能够抑制棒的磨耗等。

作为基板的方式并不受特别限定，可以举出片状及连续带状等。另外，将连续带状的基板即长条的基板称为料片。

(涂布液)

涂布液是指各种液状物质。

在涂布液中，溶剂例如为水及有机溶剂。有机溶剂例如为甲基乙基酮(MEK)、丙二醇单甲醚(MFG)及甲醇等。

粘合剂包含聚氨酯、聚酯、聚烯烃、丙烯酸、聚乙烯醇(PVA)等聚合物或单体等。并且，在涂布液中，作为固体成分，例如可以包含氧化硅粒子及氧化钛粒子等。

在涂布液的粘度为7×10-4～0.4Pa·s(0.7～400cP(厘泊))、涂布量为0.1～200ml(毫升)/m²(1～200cc/m²)、涂布速度为1～400m/分钟时能够适用。

优选粘度为1×10^-3～0.1Pa·s(1～100cP)，涂布量为1～100ml/m²(1～100cc/m²)，涂布速度为1～200m/分钟。

并且，作为涂布液，除了上述的涂布液以外，还可以举出涂布于基板并使其干燥而形成皮膜时所使用的溶液。具体而言，除了感光层形成液及感热层形成液以外，还可以举出在基板的表面上形成中间层而改善制版层的粘接的中间层形成液、从氧化中保护平版印刷原版基板的制版面的聚乙烯醇水溶液、形成照相软片中的感光层时所使用的照相软片用感光剂胶体液、印相纸的感光层的形成中所使用的印相纸用感光剂胶体液、录音带、录影带及软磁碟的磁性层的形成中所使用的磁性层形成液以及金属的涂装中所使用的各种涂料等。

(用途)

涂布装置及涂布方法能够适用于使用棒在金属、纸、布及薄膜等上涂布液膜而制作产品的所有领域，用途并不受特别限定。

作为涂布装置及涂布方法的用途，例如能够用于照相软片等的感光材料的制造、录音带等的磁记录材料的制造及彩色铁板等涂装金属薄板的制造等中使用棒进行涂布的情况。因此，作为基板，除了在以往技术栏中叙述的支承体基板以外，还可以举出在支承体基板的经修整的一侧的面形成有感光性或感热性的制版面的平版印刷原版基板、照相软片用基材、印相纸用硫酸钡纸(baryta paper)、录音带用基材、录影带用基材、软磁(floppy)(注册商标)碟用基材等由金属、塑胶或纸等形成且为连续的带状且具有挠性的基材等。

并且，作为涂布液，除了上述的涂布液以外，还可以举出涂布于基板并使其干燥而形成皮膜时所使用的溶液，具体而言，除了感光层形成液及感热层形成液以外，还可以举出在基板的表面形成中间层而改善制版层的粘接的中间层形成液、从氧化中保护平版印刷原版基板的制版面的聚乙烯醇水溶液、形成照相软片中的感光层时所使用的照相软片用感光剂胶体液、形成印相纸的感光层时所使用的印相纸用感光剂胶体液、形成录音带、录影带、软磁碟的磁性层时所使用的磁性层形成液及金属的涂装中所使用的各种涂料等。

并且，通过使用涂布装置及涂布方法，能够效率良好地在基板的两面形成涂布面。以往，当形成均匀的涂布膜时，很多情况下使用下表面涂布装置，在该情况下，在设置第1下表面涂布工序之后，用基板搬送辊改变搬送方向，需要再次设置第2下表面涂布工序。因此，在两面形成涂布面为止的搬送距离延长，需要宽的涂布液的涂布空间。

但是，通过使用涂布装置及涂布方法，在上表面涂布时也能够形成均匀的涂布膜。因此，当在基板的两面形成涂布面时，能够同时进行以往的下表面涂布和使用上述涂布装置的上表面涂布，从而能够实现涂布空间的节省空间化。由此，能够简化制膜工序，还能够抑制制造成本。

本发明基本上如以上那样构成。以上，对本发明的涂布装置及涂布系统进行了详细说明，但本发明并不限定于上述实施方式，当然可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种改良或变更。

实施例

以下，举出实施例对本发明的特征进行进一步具体的说明。以下实施例所示的材料、试剂、物质量与其比例及操作等只要不脱离本发明的趣旨，则能够适当进行变更。因此，本发明的范围并不限定于以下实施例。

在本实施例中，使用实施例1～13及比较例1的涂布装置将涂布液涂布于基板上，并评价了图案涂布性、液体的混杂、断液及凹陷。

涂布装置中，将棒径设为直径10mm，将宽度设为800mm。并且，将棒转速设为1500旋转/分钟(rpm)。将1次侧基板进入角度设为3°，以使正常部的膜厚成为5μm的方式实施了涂布。另外，1次侧基板进入角度是指基板从棒的上游侧进入的角度。将基板的行驶速度设为120m/分钟。

基板使用了宽度为700mm的聚对邻苯二甲酸乙二酯(PET)薄膜。

涂布液使用了将聚酯树脂、交联剂及表面活性剂溶解于水而制备的涂布液。另外，调整组合物量，使涂布液的粘度成为2mPa·s。涂布液的表面张力为40mN/m。

接着，对作为评价项目的图案涂布性、液体的混杂、断液及凹陷进行说明。另外，在图案涂布性、断液及凹陷的各评价项目中进行目视观察，该目视观察时间对每1个样品设为1分钟。

(图案涂布性)

关于图案涂布性，目视观察涂布膜，以以下所示的图案涂布性评价基准进行了评价。将其结果示于下述表1。

图案涂布性评价基准

A：能够进行图案涂布

B：无法进行图案涂布

(液体的混杂)

关于液体的混杂，回收涂布后的涂布液，回收后，涂布回收液而得到了涂布膜。通过荧光X射线(XRF)测定来确定了该涂布膜的成分。

关于液体的混杂，根据所确定的成分的结果，以以下所示的液体的混杂评价基准进行了评价。将其结果示于下述表1。

液体的混杂评价基准

A：污染率为0％

B：污染率为超过0％且小于20％

C：污染率为20％以上

(断液)

关于断液，目视观察涂布膜，目视评价之后对故障部位实施了使用电子束显微分析仪(EPMA)的元素分析。

关于断液，根据元素分析的结果，以以下所示的液体的混杂评价基准进行了评价。将其结果示于下述表1。

断液评价基准

A：含有100％的特定元素

B：含有80％以上且小于100％的特定元素

C：含有小于80％的特定元素

(凹陷)

关于凹陷，目视观察涂布膜，目视评价之后对故障部位实施了使用电子束显微分析仪(EPMA)的元素分析。

关于凹陷，根据元素分析的结果，以以下所示的凹陷评价基准进行了评价。将其结果示于下述表1。

凹陷评价基准

A：含有100％的特定元素

B：含有80％以上且小于100％的特定元素

C：含有小于80％的特定元素

以下，对实施例1～13及比较例1进行说明。另外，在下述表1中，涂布条件栏的“-”表示没有符合。

(实施例1)

实施例1在图1及图2所示的涂布装置的结构中将堰板的数量设为2。将第1堰板的宽度设为100mm，将第2堰板的宽度设为300mm，将第1堰板与第2堰板的间隔δ设为1mm。

将第1堰板的送液量设为100cc/min，将第2堰板的送液量设为300cc/min。并且，将储液部的截面积S设为10mm²。在实施例1中未设置侧板。

(实施例2)

实施例2设为图1及图2所示的涂布装置的结构，堰板的数量为3。将第1堰板的宽度设为100mm，将第2堰板的宽度设为300mm，将第3堰板的宽度设为100mm，将堰板的间隔δ设为1mm。

将第1堰板的送液量设为100cc/min，将第2堰板的送液量设为300cc/min，将第3堰板的送液量设为100cc/min。并且，将储液部的截面积S设为10mm²。在实施例2中未设置侧板。

(实施例3)

与实施例2相比，实施例3中储液部的截面积S为120mm²，除了这点以外，设为与实施例2相同。

(实施例4)

与实施例2相比，实施例4中储液部的截面积S为100mm²，除了这点以外，设为与实施例2相同。

(实施例5)

与实施例2相比，实施例5中储液部的截面积S为20mm²，除了这点以外，设为与实施例2相同。

(实施例6)

与实施例2相比，实施例6中储液部的截面积S为30mm²，除了这点以外，设为与实施例2相同。

(实施例7)

与实施例2相比，实施例7中储液部的截面积S为50mm²，除了这点以外，设为与实施例2相同。

(实施例8)

与实施例2相比，实施例8中堰板的间隔δ为3mm及储液部的截面积S为50mm²，除了这点以外，设为与实施例2相同。

(实施例9)

与实施例2相比，实施例9中堰板的间隔δ为3mm、储液部的截面积S为50mm²及具有侧板，除了这点以外，设为与实施例2相同。

(实施例10)

与实施例2相比，实施例10中堰板的间隔δ为5mm及储液部的截面积S为50mm²，除了这点以外，设为与实施例2相同。

(实施例11)

与实施例2相比，实施例11中堰板的间隔δ为5mm、储液部的截面积S为50mm²及具有侧板，除了这点以外，设为与实施例2相同。

(实施例12)

与实施例2相比，实施例12中堰板的间隔δ为5mm、送液量不同、储液部的截面积S为50mm²及具有侧板，除了这点以外，设为与实施例2相同。

在实施例12中，将第1堰板的送液量设为70cc/min，将第2堰板的送液量设为220cc/min，将第3堰板的送液量设为70cc/min。

(实施例13)

与实施例12相比，实施例13中没有侧板，除了这点以外，设为与实施例12相同。

(比较例1)

比较例1是在图1及图2所示的涂布装置的结构中将堰板的数量设为1且只有相当于实施例1的第2堰板的结构。比较例1中，将送液量设为300cc/min，将储液部的截面积S设为10mm²。比较例1中，只形成有1个涂布膜，因此不会产生液体的混杂。因此，在液体的混杂的评价结果栏中记为“-”。

如表1所示，实施例1～13能够将2种以上的涂布液同时涂布成带状图案。另外，比较例1是堰板为1个的结构，无法将2种以上的涂布液同时涂布成带状图案。

实施例1及实施例2中，储液部的截面积S小而产生了断液。并且，实施例1及实施例2中，堰板的间隔δ狭窄而产生了液体的混杂。

实施例3中，储液部的截面积S过大而产生凹陷，并且，堰板的间隔δ狭窄而产生了液体的混杂。

实施例4中，储液部的截面积S为优选范围的上限，稍微产生了凹陷，并且，堰板的间隔δ狭窄而产生了液体的混杂。

实施例5中，储液部的截面积S为优选范围的下限，稍微产生了断液，并且，堰板的间隔δ狭窄而产生了液体的混杂。

实施例6及实施例7中，储液部的截面积S在优选范围，关于断液及凹陷得到了良好的结果。并且，实施例6及实施例7中，堰板的间隔δ狭窄而产生了液体的混杂。

实施例8中，堰板的间隔δ为优选范围的下限，关于液体的混杂，能够得到比实施例7更良好的结果。实施例9中，堰板的间隔δ为优选范围的下限且具有侧板，关于液体的混杂，能够得到比实施例8进一步良好的结果。

实施例10中，堰板的间隔δ在优选范围，关于液体的混杂，能够得到进一步良好的结果。

实施例11中，堰板的间隔δ在优选范围且具有侧板，关于液体的混杂，能够得到进一步良好的结果。

实施例12中，堰板的间隔δ在优选范围且具有侧板，即使减少送液量，关于液体的混杂、断液及凹陷，也能够得到良好的结果。由此，能够减小涂布液的损失。

实施例13中，堰板的间隔δ在优选范围，在减少送液量的情况下，由于没有侧板，所以关于断液，未能得到良好的结果。

另外，使用实施例9的涂布装置来构成涂布系统，并在基板的两面同时进行了涂布的结果，关于液体的混杂、断液及凹陷，能够得到良好的结果。

符号说明

10、11、11a：涂布装置，12：棒，12a：端面，14：主体块，15：狭缝，16：堰板，16a：突出部，16b：侧面，16c：端面，17：储液部，20：供给管，22：供给部，24：送液储存部，25：端部，26：侧板，27：间隙，30：基板，30a：上表面，30b：下表面，32a、32b、32c：涂布膜，33：间隙，40：涂布系统，42：干燥部，A：距离，B：距离，Cr：旋转中心，D1：行驶方向，D2：宽度方向，D3：高度方向，M：涂布液，PL：平面，δ：间隔，S：截面积。

Claims

1.一种涂布装置，其具有：

长条的棒，经由涂布液而与在特定的行驶方向上连续行驶的长条的基板的至少一个面接触并旋转，且在与所述行驶方向正交的宽度方向上延伸；及

堰板，相对于所述棒而设置于所述基板的所述行驶方向的上游，使所述涂布液通过所述堰板与所述棒之间并向所述基板的所述行驶方向流通，

所述涂布装置具有将所述棒支承为能够旋转的主体块，且具有：

多个堰板，沿着所述棒的长度方向而配置；及

多个供给部，按每个所述堰板设置，向所述堰板供给所述涂布液。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，

在所述棒的所述长度方向上的所述堰板的间隔为3mm以上。

3.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其中，

所述多个堰板分别能够改变在所述棒的所述长度方向上的位置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的涂布装置，其中，

所述多个堰板分别在与所述棒之间具有储液部，

所述多个堰板分别能够改变所述储液部的容量。

5.根据权利要求4所述的涂布装置，其中，

所述多个堰板分别相对于所述基板的所述行驶方向能够移动，并能够改变所述棒与所述堰板的所述行驶方向上的距离。

6.根据权利要求4所述的涂布装置，其中，

由所述行驶方向和与所述行驶方向正交的高度方向所构成的平面上的所述储液部的截面积S为20mm²以上且100mm²以下，

所述储液部的所述截面积S是被所述平面上的所述棒的所述行驶方向的上游侧的周面、通过所述棒的旋转中心且通过所述棒的所述行驶方向的上游侧的端面与所述堰板的最短距离的线、经过通过所述最短距离的线与所述堰板的交点且与所述基板的面垂直的线、及所述基板所包围的部分的面积。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的涂布装置，其中，

所述多个堰板分别在所述棒的所述长度方向的两端部设置有侧板。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的涂布装置，其中，

在面向所述多个堰板中相邻的堰板之间的所述堰板的所述棒的所述长度方向的端部设置有侧板。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的涂布装置，其中，

在所述主体块或所述各堰板具有储存所述涂布液的送液储存部。

10.一种涂布系统，其中，

隔着基板而对向配置权利要求1至9中任一项所述的涂布装置而在所述基板的两个面将涂布液同时涂布成图案状。