CN111607768A - 一种平面靶材解绑定装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种平面靶材解绑定装置及方法，属于靶材解绑定技术领域。本发明提供的平面靶材解绑定装置可实现平面靶材的解绑定，其中，利用传送装置可以实现平面靶材在各区域的输送，利用红外加热装置可以对平面靶材进行红外加热，实现平面靶材中铟焊料的熔化，除铟装置中各部件设置合理，可以有效刮除背板以及废靶上附着的铟焊料(背板可直接投入二次使用)，铟焊料回收率高(回收率可达到97％以上)，同时可以实现铟焊料和铜丝自动分离，避免了铟焊料和铜丝二次分离的步骤，提高了处理效率。此外，本发明提供的平面靶材解绑定装置可实现自动化、大批量的平面靶材解绑定，节省了大量的人力，极大地提高了解绑定效率。

Description

一种平面靶材解绑定装置及方法
技术领域
本发明涉及靶材解绑定技术领域，尤其涉及一种平面靶材解绑定装置及方法。
背景技术
近几年来，由于电子显示行业的飞速发展，磁控溅射靶的需求量也越来越大。磁控溅射靶由靶材和背板两部分组成，通常将靶材和背板的结合过程称为靶材的绑定。靶材的绑定大致过程为：先将靶材和背板表面进行金属化，再在背板上均匀布设几条直径为0.2～1mm的铜丝以保证钎焊时铟焊料层的厚度均匀，最后用铟焊料进行钎焊绑定。
通常平面靶材的利用率较低，一般只有30～40％左右，且背板造价比较昂贵，需要多次重复利用，因此平面靶材使用后，往往需要将残靶和背板分离(即解绑定)，以便于残靶的回收和背板的再次利用，同时回收铟焊料以及铜丝。
目前的解绑定方法是将使用后的靶材(含背板)放在加热台上，对其进行加热，至铟焊料熔化后，将残靶从背板上取下来。该法为纯人工操作，解绑定效率低，并且由于铟熔化的温度在180℃左右，工人工作环境恶劣。
中国专利201510360031.2公开了一种靶材解绑定装置，该装置仅针对使用导电胶进行绑定的靶材，具体是利用溶胀剂溶解导电胶，以实现靶材的解绑定。因此，该装置对于采用铟金属绑定的靶材不适用，而目前绝大多数绑定方法都为铟金属绑定。
中国专利CN 109161862 A公开了一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法，其原理是通过油浴加热使铟焊料熔化，从而将残靶和背板分离。但是利用该装置进行解绑定时，残靶和背板上会残留较多的铟焊料，且解绑定过程中的铜丝与铟焊料会混在一起落在铟篮中，难以分离。
发明内容
本发明的目的在于提供一种平面靶材解绑定装置及方法，本发明提供的装置可以将铜丝和铟焊料分离，背板和废靶上的铟焊料清除的更干净，实现铟焊料的高效回收。
为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：
本发明提供了一种平面靶材解绑定装置，包括传送装置1，沿所述传送装置1的运行方向依次设置有红外加热装置2和除铟装置；所述除铟装置包括设置在传送装置1一侧的固定装置10、机械手臂3和废靶推板4，以及设置在所述传送装置1另一侧的集铟池5、废靶支架6和铜丝收集篮7；
其中，所述固定装置10、机械手臂3和废靶推板4顺次连接，且所述废靶推板4的运行方向与传送装置1的运行方向相垂直；以所述废靶推板4的运行方向为前方，所述废靶推板4的后端连接有第一刮铟板8；
沿所述废靶推板4的运行方向，所述传送装置1、集铟池5和废靶支架6顺次设置；所述废靶支架6呈水平放置的栏杆状，包括围栏和若干个平行设置的栏杆柱；所述废靶支架6靠近集铟池5一侧的围栏上连接有第二刮铟板9；
所述废靶支架6的底部设置有铜丝收集篮7，以所述废靶推板4的运行方向为长度方向，所述集铟池5的长度<平面靶材中铜丝的长度<废靶支架6中栏杆柱的长度。
优选地，所述红外加热装置2非接触设置在传送装置1的上方。
优选地，所述红外加热装置2包括红外加热灯组和红外测温枪。
优选地，所述传送装置1沿水平方向运行。
优选地，所述废靶支架6与传送装置1处于同一水平面。
优选地，所述废靶支架6的栏杆柱与废靶推板4的运行方向平行。
本发明提供了一种平面靶材解绑定方法，包括以下步骤：
(a)将平面靶材进行表面清洁处理，得到预处理靶材；所述平面靶材包括依次叠层设置的废靶、铟焊料层和背板，所述铟焊料层中布设有若干铜丝；
(b)利用上述技术方案所述平面靶材解绑定装置对所述预处理靶材进行解绑定，包括如下步骤：
将所述预处理靶材放置于传送装置1上，且背板与所述传送装置1上表面接触，启动传送装置1，将所述预处理靶材输送至红外加热区后停止输送，利用红外加热装置2对所述预处理靶材进行加热，使预处理靶材中的铟焊料熔化，得到熔铟靶材；
再次启动传送装置1，将所述熔铟靶材输送至除铟区后停止输送，启动除铟装置，机械手臂3带动废靶推板4运行，将熔铟靶材的废靶推向废靶支架6，同时所述废靶支架6上的第二刮铟板9刮除废靶下表面熔融态的铟焊料，待所述废靶移动至废靶支架6上后将废靶移除；第一刮铟板8在废靶推板4带动下，刮除停放于传送装置1上的背板上表面的铜丝和熔融态的铟焊料；其中，所述熔融态的铟焊料收集于集铟池5中，第一刮铟板8推动所述铜丝移动至废靶支架6，并通过废靶支架6的栏杆柱间的空隙，收集于铜丝收集篮7中，完成平面靶材的解绑定。
优选地，所述平面靶材中铜线的布设方向平行于废靶推板4的运行方向。
优选地，所述加热的温度大于180℃。
优选地，所述背板的材质为铜、钛或不锈钢。
本发明提供了一种平面靶材解绑定装置，包括传送装置1，沿传送装置1的运行方向依次设置有红外加热装置2和除铟装置；所述除铟装置包括设置在传送装置1一侧的固定装置10、机械手臂3和废靶推板4，以及设置在所述传送装置1另一侧的集铟池5、废靶支架6和铜丝收集篮7。利用本发明提供的平面靶材解绑定装置可实现平面靶材的解绑定，其中，利用传送装置1可以实现平面靶材在各区域的输送，利用红外加热装置2可以对平面靶材进行红外加热，实现平面靶材中铟焊料的熔化，除铟装置中各部件设置合理，可以有效刮除背板以及废靶上附着的铟焊料(背板可直接投入二次使用)，铟焊料回收率高(回收率可达到97％以上)，同时可以实现铟焊料和铜丝自动分离，避免了铟焊料和铜丝二次分离的步骤，提高了处理效率。此外，本发明提供的平面靶材解绑定装置可实现自动化、大批量的平面靶材解绑定，节省了大量的人力，极大地提高了解绑定效率。
附图说明
图1为本发明中平面靶材解绑定装置的俯视图；
图2为本发明中平面靶材解绑定装置的正视图；
图中，1-传送装置，2-红外加热装置，3-机械手臂，4-废靶推板、5-集铟池、6-废靶支架、7-铜丝收集篮，8-第一刮铟板，9-第二刮铟板，10-固定装置，11-支撑体；其中，图1中未体现第一刮铟板、第二刮铟板以及支撑体，图2中未体现红外加热装置。
具体实施方式
本发明提供了一种平面靶材解绑定装置，包括传送装置1，沿所述传送装置1的运行方向依次设置有红外加热装置2和除铟装置；所述除铟装置包括设置在传送装置1一侧的固定装置10、机械手臂3和废靶推板4，以及设置在所述传送装置1另一侧的集铟池5、废靶支架6和铜丝收集篮7；
其中，所述固定装置10、机械手臂3和废靶推板4顺次连接，且所述废靶推板4的运行方向与传送装置1的运行方向相垂直；以所述废靶推板4的运行方向为前方，所述废靶推板4的后端连接有第一刮铟板8；
沿所述废靶推板4的运行方向，所述传送装置1、集铟池5和废靶支架6顺次设置；所述废靶支架6呈水平放置的栏杆状，包括围栏和若干个平行设置的栏杆柱；所述废靶支架6靠近集铟池5一侧的围栏上连接有第二刮铟板9；
所述废靶支架6的底部设置有铜丝收集篮7，以所述废靶推板4的运行方向为长度方向，所述集铟池5的长度<平面靶材中铜丝的长度<废靶支架6中栏杆柱的长度。
图1为本发明中平面靶材解绑定装置的俯视图，图2为本发明中平面靶材解绑定装置的正视图；图中1为传送装置，2为红外加热装置，3为机械手臂，4为废靶推板，5为集铟池，6为废靶支架，7为铜丝收集篮，8为第一刮铟板，9为第二刮铟板，10为固定装置，11为支撑体；其中，图1中未体现第一刮铟板、第二刮铟板以及支撑体，图2中未体现红外加热装置。下面结合图1和2对本发明中平面靶材解绑定装置进行详细说明。
本发明提供的平面靶材解绑定装置包括传送装置1，用于输送待解绑定的靶材。作为本发明的一个实施例，所述传送装置1沿水平方向运行；所述传送装置1具体可以为传送带。
本发明提供的平面靶材解绑定装置，沿所述传送装置1的运行方向依次设置有红外加热装置2和除铟装置；其中，红外加热装置2用于提供红外加热条件，实现平面靶材中铟焊料的熔化，其中，红外加热装置2覆盖的区域为红外加热区域；除铟装置用于将平面靶材进行解绑定并实现铟焊料和铜丝的分别回收。
作为本发明的一个实施例，所述红外加热装置2非接触设置在传送装置1的上方。本发明对红外加热装置2的具体设置位置不作特殊限定，能够在传送装置1上形成红外加热区，保证放置于传送装置1上的平面靶材中的铟焊料能够通过红外加热熔化即可。
作为本发明的一个实施例，所述红外加热装置2包括红外加热灯组和红外测温枪，其中，红外加热灯组用于提供红外加热条件，红外测温枪用于监测加热过程中靶材的温度，以便更好的控制熔铟过程，提高工作效率。本发明对红外加热灯组和红外测温枪的具体设置位置不作特殊限定，能够保证熔铟过程顺利进行即可。
在本发明中，所述除铟装置包括设置在传送装置1一侧的固定装置10、机械手臂3和废靶推板4，以及设置在所述传送装置1另一侧的集铟池5、废靶支架6和铜丝收集篮7；
其中，所述固定装置10、机械手臂3和废靶推板4顺次连接，且废靶推板4的运行方向与传送装置1的运行方向相垂直；以废靶推板4的运行方向为前方，废靶推板4的后端连接有第一刮铟板8；
沿废靶推板4的运行方向，所述传送装置1、集铟池5和废靶支架6顺次设置；所述废靶支架6呈水平放置的栏杆状，包括围栏和若干个平行设置的栏杆柱；所述废靶支架6靠近集铟池5一侧的围栏上连接有第二刮铟板9；
所述废靶支架6的底部设置有铜丝收集篮7，以废靶推板4的运行方向为长度方向，所述集铟池5的长度<平面靶材中铜丝的长度<废靶支架6中栏杆柱的长度。
本发明通过机械手臂3带动废靶推板4运行，废靶推板4运行区域即为除铟区(或称解绑定区)，实际处理过程中，处于该解绑定区的平面靶材中铟焊料呈熔融态(即熔铟靶材)，且背板与传送装置1上表面接触，即废靶朝上，这样可以利用废靶推板4将废靶推向废靶支架6(由于废靶与背板之间的铟焊料呈熔融态，故在废靶推板4推动下，仅废靶被移至废靶支架6，背板仍停放于传送装置1上)，同时第二刮铟板9可以刮除废靶下表面熔融态的铟焊料，待所述废靶移动至废靶支架6上后将废靶移除；在废靶推板4运行过程中，第一刮铟板8在废靶推板4带动下，可以刮除停放于传送装置1上的背板上表面的铜丝和熔融态的铟焊料；其中，熔融态的铟焊料(包括第一刮铟板8刮除的铟焊料和第二刮铟板9刮除的铟焊料)收集于集铟池5中，由于集铟池5的长度小于铜丝的长度，铜丝不会掉落于集铟池5中，而会在第一刮铟板8推动下，继续移动至废靶支架6上，并通过废靶支架6的栏杆柱间的空隙，掉落于铜丝收集篮7中，实现铜丝的收集。
本发明中所述固定装置10、机械手臂3和废靶推板4顺次连接，且所述废靶推板4设置在靠近传送装置1的位置；本发明对所述固定装置10、机械手臂3和废靶推板4的连接方式不作特殊限定，能够通过机械手臂3带动废靶推板4顺利运行即可。
作为本发明的一个实施例，如图2所示，以废靶推板4的运行方向为前方，废靶推板4包括前端板、后端板以及连接所述前端板和后端板的连接体，所述机械手臂3与所述连接体连接，所述第一刮铟板8设置在所述后端板上；实际运行时，具体是利用所述前端板将废靶推向废靶支架6，利用第一刮铟板8刮除背板上表面的铜丝和熔融态的铟焊料。本发明对第一刮铟板8以及废靶推板4中的前端板、后端板和连接体的具体尺寸不作特殊限定，根据废靶和背板的长度以及厚度尺寸设定，保证解绑定过程顺利进行即可。
作为本发明的一个实施例，所述废靶支架6与传送装置1处于同一水平面，有利于废靶以及铜丝顺利、平稳移动。作为本发明的一个实施例，如图2所示，所述平面靶材解绑定装置还包括支撑体11，所述支撑体11用于支撑废靶支架6，使其与传送装置1处于同一水平面。
作为本发明的一个实施例，所述废靶支架6的围栏呈长方形，栏杆柱两端分别连接在所述围栏相对的两侧，且废靶支架6的尺寸大于平面靶材的尺寸，以保证实际处理过程中，平面靶材中的铜丝能够完全收集于铜丝收集篮7中。
作为本发明的一个实施例，所述栏杆柱与废靶推板4的运行方向平行，实际处理过程中，平面靶材的放置方式以铜线的布设方向平行于废靶推板4的运行方向为宜，这样有利于铜丝通过废靶支架6的栏杆柱间的空隙，顺利掉落于铜丝收集篮7中。
本发明对所述废靶支架6中栏杆柱的个数以及相邻栏杆柱之间的距离没有特殊限定，保证废靶不会掉落于铜丝收集篮7中而铜丝可以掉落于铜丝收集篮7中即可。
本发明提供了一种平面靶材解绑定方法，包括以下步骤：
(a)将平面靶材进行表面清洁处理，得到预处理靶材；所述平面靶材包括依次叠层设置的废靶、铟焊料层和背板，所述铟焊料层中布设有若干铜丝；
(b)利用上述技术方案所述平面靶材解绑定装置对所述预处理靶材进行解绑定，包括如下步骤：
将所述预处理靶材放置于传送装置1上，且背板与所述传送装置1上表面接触，启动传送装置1，将所述预处理靶材输送至红外加热区后停止输送，利用红外加热装置2对所述预处理靶材进行加热，使预处理靶材中的铟焊料熔化，得到熔铟靶材；
再次启动传送装置1，将所述熔铟靶材输送至除铟区后停止输送，启动除铟装置，机械手臂3带动废靶推板4运行，将熔铟靶材的废靶推向废靶支架6，同时所述废靶支架6上的第二刮铟板9刮除废靶下表面熔融态的铟焊料，待所述废靶移动至废靶支架6上后将废靶移除；第一刮铟板8在废靶推板4带动下，刮除停放于传送装置1上的背板上表面的铜丝和熔融态的铟焊料；其中，所述熔融态的铟焊料收集于集铟池5中，第一刮铟板8推动所述铜丝移动至废靶支架6，并通过废靶支架6的栏杆柱间的空隙，收集于铜丝收集篮7中，完成平面靶材的解绑定。
在本发明中，所述平面靶材包括依次叠层设置的废靶、铟焊料层和背板，所述铟焊料层中布设有若干铜丝。本发明对所述平面靶材的具体尺寸以及来源不作特殊限定，本领域技术人员熟知的需要进行解绑定的平面靶材均可。在本发明中，所述平面靶材优选呈长方形，铟焊料层中的铜丝优选沿平面靶材的长度方向平行布设，且铜丝的长度优选与平面靶材的长度相同。本发明对所述背板的材质不作特殊限定，如具体可以为铜、钛或不锈钢。
本发明将平面靶材进行表面清洁处理，得到预处理靶材。在本发明中，所述表面清洁处理优选包括洗涤；本发明对所述洗涤的方法没有特殊限定，能够将平面靶材表面的灰尘等杂质去除即可。在本发明的实施例中，具体是先采用洁净布擦去平面靶材表面的灰尘，然后将平面靶材放入超声洗涤机中，用去离子水超声洗涤20～30min，取出后干燥待用。
在本发明中，所述平面靶材上通常会存在反溅膜(成分优选为铝)，所述反溅膜主要存在于废靶和背板钎焊连接处附近，如平面靶材的侧面以及其上下表面的边缘位置，本发明在平面靶材解绑定前优选将所述反溅膜去除；本发明优选在所述洗涤后对平面靶材进行反溅膜去除处理。本发明对去除反溅膜的方法没有特殊限定，采用本领域技术人员熟知的方法即可，具体的，可使用喷砂枪对反溅膜位置进行喷砂处理，以去除反溅膜，也可以将碱液(如氢氧化钠溶液)喷洒在反溅膜位置，通过碱液与反溅膜的反应实现反溅膜的去除。
得到预处理靶材后，本发明利用上述技术方案所述平面靶材解绑定装置对所述预处理靶材进行解绑定，包括如下步骤：
将所述预处理靶材放置于传送装置1上，且背板与所述传送装置1上表面接触，启动传送装置1，将所述预处理靶材输送至红外加热区后停止输送，利用红外加热装置2对所述预处理靶材进行加热，使预处理靶材中的铟焊料熔化，得到熔铟靶材；
再次启动传送装置1，将所述熔铟靶材输送至除铟区后停止输送，启动除铟装置，机械手臂3带动废靶推板4运行，将熔铟靶材的废靶推向废靶支架6，同时所述废靶支架6上的第二刮铟板9刮除废靶下表面熔融态的铟焊料，待所述废靶移动至废靶支架6上后将废靶移除；第一刮铟板8在废靶推板4带动下，刮除停放于传送装置1上的背板上表面的铜丝和熔融态的铟焊料；其中，所述熔融态的铟焊料收集于集铟池5中，第一刮铟板8推动所述铜丝移动至废靶支架6，并通过废靶支架6的栏杆柱间的空隙，收集于铜丝收集篮7中，完成平面靶材的解绑定。
在本发明中，利用红外加热装置2对所述预处理靶材进行加热时，加热条件不作特殊限定，保证预处理靶材中的铟焊料充分熔化即可，具体的，所述加热的温度优选大于180℃；在本发明的实施例中，具体是利用红外测温枪监测温度，当温度大于180℃时(加热至180℃的时间约为10～15min)，即可再次启动传送装置1，将熔铟靶材输送入除铟区，进行后续解绑定处理。
在本发明中，在除铟区进行解绑定处理时不需要额外加热保温，一方面背板和废靶在红外加热区被加热，另一方面通过控制红外加热区到除铟区的距离以及传送装置1、废靶推板4、第一刮铟板8和第二刮铟板9的运行速率，保证在除铟过程中铟焊料处于熔融状态即可；具体的，平面靶材从红外加热区移动到除铟区的时间优选控制在5～10s，以保证铟焊料不会发生凝固。本发明对所述传送装置1、废靶推板4、第一刮铟板8和第二刮铟板9的运行速率没有特殊限定，根据实际需要调整，保证平面靶材的解绑定过程顺利进行即可。
采用本发明提供的方法可实现平面靶材的自动解绑定，具有背板以及废靶上铟焊料附着量少、铟焊料回收率高、可实现铟焊料和铜丝自动分离等特点。
下面将结合本发明中的实施例，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
采用本发明提供的平面靶材解绑定装置对平面靶材进行解绑定，包括以下步骤：
(a)平面靶材洗涤：用洁净布擦去平面靶材表面的灰尘，然后将平面靶材放入超声清洗机中，用去离子水超声洗涤25min，取出后干燥待用；其中，所述平面靶材包括依次叠层设置的废靶、铟焊料层和铜背板，所述铟焊料层中布设有若干铜丝；
(b)去除反溅膜：使用喷砂枪对清洗后的平面靶材中反溅膜位置进行喷砂处理，以去除反溅膜，得到预处理靶材：
(c)红外加热熔铟：将预处理靶材放到传送装置1上，且铜背板与所述传送装置1上表面接触，启动传送装置1，将预处理靶材输送至红外加热区后停止输送，通过红外加热灯组对预处理靶材进行加热，并通过红外测温枪监测温度，加热15min后温度大于180℃，预处理靶材中的铟焊料充分熔化，得到熔铟靶材；
(d)再次启动传送装置1，将熔铟靶材输送至除铟区后停止输送，启动除铟装置，利用机械手臂3带动废靶推板4运行，将熔铟靶材的废靶推向废靶支架6，同时废靶支架6上的第二刮铟板9刮除废靶下表面熔融态的铟焊料，待所述废靶移动至废靶支架6上后将废靶移除；第一刮铟板8在废靶推板4带动下，刮除停放于传送装置1上的铜背板上表面的铜丝和熔融态的铟焊料；其中，第一刮铟板8和第二刮铟板9刮除的熔融态的铟焊料均收集于集铟池5中，第一刮铟板8推动所述铜丝移动至废靶支架6，并通过废靶支架6的栏杆柱间的空隙，收集于铜丝收集篮7中，完成平面靶材的解绑定；其中，平面靶材从红外加热区移动到除铟区的时间控制在7s，刮除铜背板上表面的铜丝和熔融态的铟焊料后，铜背板可直接投入二次使用，铟焊料回收率为98％。
由以上实施例可知，采用本发明提供的装置可以可以实现自动化、规模化的平面靶材解绑定，并且可以将铜丝和铟焊料分离，背板和废靶上的铟焊料清除的更干净，背板可直接投入二次使用，同时实现了铟焊料的高效回收。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种平面靶材解绑定装置，其特征在于，包括传送装置(1)，沿所述传送装置(1)的运行方向依次设置有红外加热装置(2)和除铟装置；所述除铟装置包括设置在传送装置(1)一侧的固定装置(10)、机械手臂(3)和废靶推板(4)，以及设置在所述传送装置(1)另一侧的集铟池(5)、废靶支架(6)和铜丝收集篮(7)；
其中，所述固定装置(10)、机械手臂(3)和废靶推板(4)顺次连接，且所述废靶推板(4)的运行方向与传送装置(1)的运行方向相垂直；以所述废靶推板(4)的运行方向为前方，所述废靶推板(4)的后端连接有第一刮铟板(8)；
沿所述废靶推板(4)的运行方向，所述传送装置(1)、集铟池(5)和废靶支架(6)顺次设置；所述废靶支架(6)呈水平放置的栏杆状，包括围栏和若干个平行设置的栏杆柱；所述废靶支架(6)靠近集铟池(5)一侧的围栏上连接有第二刮铟板(9)；
所述废靶支架(6)的底部设置有铜丝收集篮(7)，以所述废靶推板(4)的运行方向为长度方向，所述集铟池(5)的长度<平面靶材中铜丝的长度<废靶支架(6)中栏杆柱的长度。
2.根据权利要求1所述的平面靶材解绑定装置，其特征在于，所述红外加热装置(2)非接触设置在传送装置(1)的上方。
3.根据权利要求1或2所述的平面靶材解绑定装置，其特征在于，所述红外加热装置(2)包括红外加热灯组和红外测温枪。
4.根据权利要求1所述的平面靶材解绑定装置，其特征在于，所述传送装置(1)沿水平方向运行。
5.根据权利要求4所述的平面靶材解绑定装置，其特征在于，所述废靶支架(6)与传送装置(1)处于同一水平面。
6.根据权利要求1或5所述的平面靶材解绑定装置，其特征在于，所述废靶支架(6)的栏杆柱与废靶推板(4)的运行方向平行。
7.一种平面靶材解绑定方法，其特征在于，包括以下步骤：
(a)将平面靶材进行表面清洁处理，得到预处理靶材；所述平面靶材包括依次叠层设置的废靶、铟焊料层和背板，所述铟焊料层中布设有若干铜丝；
(b)利用权利要求1～6任一项所述平面靶材解绑定装置对所述预处理靶材进行解绑定，包括如下步骤：
将所述预处理靶材放置于传送装置(1)上，且背板与所述传送装置(1)上表面接触，启动传送装置(1)，将所述预处理靶材输送至红外加热区后停止输送，利用红外加热装置(2)对所述预处理靶材进行加热，使预处理靶材中的铟焊料熔化，得到熔铟靶材；
再次启动传送装置(1)，将所述熔铟靶材输送至除铟区后停止输送，启动除铟装置，机械手臂(3)带动废靶推板(4)运行，将熔铟靶材的废靶推向废靶支架(6)，同时所述废靶支架(6)上的第二刮铟板(9)刮除废靶下表面熔融态的铟焊料，待所述废靶移动至废靶支架(6)上后将废靶移除；第一刮铟板(8)在废靶推板(4)带动下，刮除停放于传送装置(1)上的背板上表面的铜丝和熔融态的铟焊料；其中，所述熔融态的铟焊料收集于集铟池(5)中，第一刮铟板(8)推动所述铜丝移动至废靶支架(6)，并通过废靶支架(6)的栏杆柱间的空隙，收集于铜丝收集篮(7)中，完成平面靶材的解绑定。
8.根据权利要求7所述的平面靶材解绑定方法，其特征在于，所述平面靶材中铜线的布设方向平行于废靶推板(4)的运行方向。
9.根据权利要求7所述的平面靶材解绑定方法，其特征在于，所述加热的温度大于180℃。
10.根据权利要求7所述的平面靶材解绑定方法，其特征在于，所述背板的材质为铜、钛或不锈钢。
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