CN109161862A - 一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法，包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽，所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内，所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连接杆上的多个加热棒组成，加热组件安装在油浴槽内，所述平面靶材栅格托架包括多块其上开有小孔的隔板，多块隔板间隔一定距离倾斜排列，多块隔板的两侧均是通过上连杆和下连杆连接，所述旋转靶材托架是由两根导轨和滑动安装在导轨上的旋转靶材托构成。本发明适用于对采用铟金属绑定的靶材进行解绑，可对平面和旋转靶材进行批量解绑定，解绑温度均匀，解绑后靶材完好，解绑效率高。
Description
技术领域
本发明涉及一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法。
背景技术
磁控溅射用靶材在使用时，需要将靶材与背板焊接在一起。通常采用铟为焊料进行钎焊。磁控溅射对靶材的利用率在80%以下，剩余的废靶需要从背板上拆除，以便于靶材的回收和背靶材再次使用，这一过程叫靶材解绑定。目前使用的解绑定方法是，将使用后的靶材（含背板）放在热台上，对其进行加热，至铟焊料溶化后，将靶材从背板上取下来。该法由于靶材受热不均，取下的废靶通常是碎裂的，并且受限于热台的面积，同时解绑定的靶材数量少，因为只能在热台上放置一层靶材。
中国专利申请201510360031.2公开了一种靶材解绑定装置，针对使用导电胶进行绑定的靶材，使用溶胀剂进行解绑，该靶材解绑定装置包括解绑容器、集渣斗、滤网、管道和溶胀剂储罐。该专利申请是用化学方法解绑用电解质绑定的靶材，即使用溶胀剂溶解电解质；对于采用铟金属绑定的靶材不适用。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：提供一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法，该装置及方法适用于对采用铟金属绑定的靶材进行解绑，可对平面和旋转靶材进行批量解绑定，解绑温度均匀，解绑后靶材完好，解绑效率高，解决了上述现有技术中存在的问题。
解决上述技术问题的技术方案是：一种平面和旋转靶材解绑定的装置，包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽，所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内，所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连接杆上的多个加热棒组成，加热组件安装在油浴槽内，所述平面靶材栅格托架包括多块其上开有小孔的隔板，多块隔板间隔一定距离倾斜排列，多块隔板的两侧均是通过上连杆和下连杆连接，所述旋转靶材托架是由两根导轨和滑动安装在导轨上的旋转靶材托构成。
所述油浴槽底面与水平面之间的夹角β为1-5度。
所述集铟篮是由长方形篮体和连接在长方形篮体上端的手把构成，所述长方形篮体放置在集铟篮放置凹槽内。
还包括用于控制加热组件的温控箱，温控箱设置在油浴槽的外侧面上。
本发明的另一技术方案是：一种平面和旋转靶材解绑定的方法，采用的装置是上述的平面和旋转靶材解绑定的装置，包括以下步骤：
⑴根据需要解绑的靶材类型选择需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架；
⑵有两种操作方式；方式一：先将需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架放入油浴槽中，再向油浴槽中加入油浴油；方式二：先向油浴槽中加入油浴油，再将需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架放入油浴槽中；
⑶将油浴油加热到170℃～250℃；
⑷将用铟金属绑定的待解绑的平面或旋转靶材及背板一起放置到相应的托架上，待铟溶化后，即可将分离的靶材和背板分别取出；
⑸溶化的铟由于油浴槽底面倾斜而滚落入集铟篮中，将集铟篮取出，回收铟。
由于采用上述技术方案，本发明具有以下有益效果：
1、解绑平面靶材时，可将多块平面靶材间隔放入平面靶材栅格托架内同时进行解绑。解绑旋转靶材时，一个旋转靶材托架支撑一个旋转靶材，多个旋转靶材可以堆叠解绑；即本发明可对平面和旋转靶材进行批量解绑定，解绑效率高。
2、本发明是采用油浴加热的方式解绑靶材，与现有采用热台解绑的方式相比，油浴加热温度更均匀，解绑后靶材完好，不易碎裂，收集残铟更方便。
3、本发明是用物理的方法（油浴熔化金属铟），达到解绑的目的，适用于解绑用铟金属绑定的靶材。
下面结合附图和实施例对本发明之一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法的技术特征作进一步的说明。
附图说明
图1：本发明之平面和旋转靶材解绑定的装置立体图。
图2：本发明之平面和旋转靶材解绑定的装置后视图。
图3：本发明之旋转靶材托架立体图。
图4：本发明之旋转靶材托架左视图。
图5：本发明之平面靶材栅格托架立体图。
图6：本发明之平面靶材栅格托架主视图。
图7：本发明之平面靶材栅格托架左视图。
图8：本发明之集铟篮结构示意图。
图中：1-油浴槽，2-集铟篮放置凹槽，3-加热组件，31-连接杆，32-加热棒，4-温控箱，5-旋转靶材托架，51-导轨，52-旋转靶材托，6-平面靶材栅格托架，61-隔板，62-上连杆，63-下连杆，7-集铟篮，71-长方形篮体，72-手把。
具体实施方式
实施例1：一种平面和旋转靶材解绑定的装置，如图1-图8所示，包括油浴槽1、加热组件3、平面靶材栅格托架6、旋转靶材托架5和集铟篮7，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽2，所述集铟篮7放置在集铟篮放置凹槽2内，所述加热组件3是由连接杆31和均匀安装在连接杆上的多个加热棒32组成，所述加热棒为U形加热管，加热组件3安装在油浴槽1内，所述平面靶材栅格托架6包括多块其上开有小孔的隔板61，多块隔板间隔一定距离倾斜排列，多块隔板两侧的上端和下端均是通过上连杆62和下连杆63连接，所述旋转靶材托架5是由两根导轨51和滑动安装在导轨上的旋转靶材托52构成，旋转靶材托52可在导轨51上来回滑动，旋转靶材托的上端面开有V形槽，旋转靶材托架可根据需要设置1个、2个、3个或多个。
本实施例中，所述油浴槽底面与水平面之间的夹角β为1-5度。作为一种变换，夹角β的角度可以根据需要调整，只要便于收集铟即可。
本实施例中，所述集铟篮7是由长方形篮体71和连接在长方形篮体上端的手把72构成，所述长方形篮体71放置在集铟篮放置凹槽2内。
本实施例中，还包括用于控制加热组件的温控箱4，温控箱设置在油浴槽的外侧面上。
实施例2：一种平面和旋转靶材解绑定的方法，采用实施例1所述的平面和旋转靶材解绑定的装置，包括以下步骤：
⑴根据需要解绑的靶材类型选择需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架；
⑵有两种操作方式；方式一：先将需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架放入油浴槽中，再向油浴槽中加入油浴油；方式二：先向油浴槽中加入油浴油，再将需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架放入油浴槽中；
⑶将油浴油加热到170℃～250℃；
⑷将用铟金属绑定的待解绑的平面或旋转靶材及与靶材粘贴在一起的背板放置到相应的托架上，待铟溶化后，即可将分离的靶材和背板分别取出；
⑸溶化的铟由于油浴槽底面倾斜而滚落入集铟篮中，将集铟篮取出，回收铟。
实施例2中，当解绑平面靶材时，一块平面靶材从上往下放置在相邻两块隔板之间，斜靠在隔板上，即多块平面靶材可同时间隔放入平面靶材栅格托架内。解绑旋转靶材时，一个旋转靶材托架支撑一个旋转靶材，旋转靶材放置在旋转靶材托上，多个旋转靶材可以堆叠。
实施例2中油浴油可以重复多次使用。油浴油选择温度可加热到170℃的油浴油即可。
Claims (5)
1.一种平面和旋转靶材解绑定的装置，其特征在于：包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽，所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内，所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连接杆上的多个加热棒组成，加热组件安装在油浴槽内，所述平面靶材栅格托架包括多块其上开有小孔的隔板，多块隔板间隔一定距离倾斜排列，多块隔板的两侧均是通过上连杆和下连杆连接，所述旋转靶材托架是由两根导轨和滑动安装在导轨上的旋转靶材托构成。
2.根据权利要求1所述一种平面和旋转靶材解绑定的装置，其特征在于：所述油浴槽底面与水平面之间的夹角β为1-5度。
3.根据权利要求1或2所述一种平面和旋转靶材解绑定的装置，其特征在于：所述集铟篮是由长方形篮体和连接在长方形篮体上端的手把构成，所述长方形篮体放置在集铟篮放置凹槽内。
4.根据权利要求1或2所述一种平面和旋转靶材解绑定的装置，其特征在于：还包括用于控制加热组件的温控箱，温控箱设置在油浴槽的外侧面上。
5.一种平面和旋转靶材解绑定的方法，其特征在于：采用的装置是权利要求1-4任一项所述的平面和旋转靶材解绑定的装置，包括以下步骤：
⑴根据需要解绑的靶材类型选择需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架；
⑵有两种操作方式；方式一：先将需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架放入油浴槽中，再向油浴槽中加入油浴油；方式二：先向油浴槽中加入油浴油，再将需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架放入油浴槽中；
⑶将油浴油加热到170℃～250℃；
⑷将用铟金属绑定的待解绑的平面或旋转靶材及背板一起放置到相应的托架上，待铟溶化后，即可将分离的靶材和背板分别取出；
⑸溶化的铟由于油浴槽底面倾斜而滚落入集铟篮中，将集铟篮取出，回收铟。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20190108 |
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| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |