CN209957865U - 一种ito靶材解绑装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种ITO靶材解绑装置，包括工作平台、二甲基硅油油浴装置、靶材支撑架、背板支撑架、刮铟板和背板夹持器，所述二甲基硅油油浴装置安装在工作平台上，靶材支撑架和背板支撑架安装在二甲基硅油油浴装置内，二甲基硅油油浴装置相对的两侧边缘顶端分别设置有滑道，刮铟板活动安装在其中一个滑道内，背板夹持器活动安装在另一个滑道内。与现有技术相比较，本实用新型的优点是：使用二甲基硅油对残靶各面进行加热，使焊料层（铟层）逐渐融化，从而使ITO靶材与铜背板脱离，此解绑方式一方面可以保证ITO残靶的完整性；另一方面，使贵重金属铟能够得到回收，一定程度上节约了生产成本，同时过滤后的二甲基硅油也可以重复再利用。

Description

一种ITO靶材解绑装置

技术领域

本实用新型涉及一种靶材解绑装置，特别涉及一种ITO靶材解绑装置。

背景技术

ITO平面靶材及旋转靶材常常是将靶材绑定在背衬材料（铜背板）上，且是通过焊料层（铟层）来将靶材结合至背衬材料（铜背板）上，从而形成能后续溅射生产的ITO靶材。

公开号为CN104032133A的中国专利公开了一种适于使用后的ITO残靶回收金属铟锡的方法，通过还原性物资活性炭或石墨在惰性气体保护下，与ITO残靶进行反应，氧化铟和氧化锡被还原，生成金属铟锡合金。该专利通过一步还原法直接将ITO残靶制备成铟锡合金，直接用于制造ITO粉末，并用于靶材制备，大大缩短了残靶的再利用周期。

目前，现有ITO靶材解绑方式是将ITO靶材及背板放置于加热平台上，加热至200℃，待铟层融化后将ITO靶材取下，该方法会使残靶各面温度不一致，极易导致ITO残靶破碎，影响后续的靶材再利用，且不能充分的对焊料层（铟层）进行回收，导致贵金属的浪费。

现有专利文献中，有公开使用溶胀剂对靶材进行解绑的装置，但是溶胀剂并不能溶解ITO靶材绑定用的焊料铟，故其不适用于解绑ITO靶材。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种ITO靶材解绑装置，该装置能有效实现焊料层的回收，并能确保解绑后的ITO靶材完整性，解决了上述现有技术中存在的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种ITO靶材解绑装置，包括工作平台、二甲基硅油油浴装置、靶材支撑架、背板支撑架、刮铟板和背板夹持器，所述二甲基硅油油浴装置安装在工作平台上，靶材支撑架和背板支撑架安装在二甲基硅油油浴装置内，二甲基硅油油浴装置相对的两侧边缘顶端分别设置有滑道，刮铟板活动安装在其中一个滑道内，背板夹持器活动安装在另一个滑道内。

所述刮铟板是由连杆和套装在连杆上的硅胶块构成，硅胶块位于二甲基硅油油浴装置内。

所述二甲基硅油油浴装置底面设置有二甲基硅油排出口，二甲基硅油排出口上设置有阀门。

与现有技术相比较，本实用新型的优点是：使用二甲基硅油对残靶各面进行加热，使焊料层（铟层）逐渐融化，从而使ITO靶材与铜背板脱离，此解绑方式一方面能使ITO残靶各面的受热温度均匀，ITO靶材不易破碎，可以保证ITO残靶的完整性；另一方面，二甲基硅油加热，能够使铟层完全融化，再采用刮铟板将背板和残靶上的铟刮下，使贵重金属铟能够得到回收，一定程度上节约了生产成本，同时过滤后的二甲基硅油也可以重复再利用。

下面，结合附图和实施例对本实用新型之一种ITO靶材解绑装置的技术特征作进一步的说明。

附图说明

图1：本实用新型之一种ITO靶材解绑装置主视图。

图2：本实用新型之一种ITO靶材解绑装置俯视图。

图中：1-二甲基硅油油浴装置，2-靶材支撑架，3-背板夹持器，4-滑道，5-工作平台，6-刮铟板，61-连杆，62-硅胶块，7-背板支撑架，8-二甲基硅油排出口，9-阀门。

P表示残靶。

具体实施方式

实施例1：一种ITO靶材解绑装置，如图1-图2所示，包括工作平台5、二甲基硅油油浴装置1、靶材支撑架2、背板支撑架7、刮铟板6和两个背板夹持器3，所述二甲基硅油油浴装置安装在工作平台上，靶材支撑架和背板支撑架安装在二甲基硅油油浴装置内，靶材支撑架和背板支撑架均是两个支架构成，二甲基硅油油浴装置相对的两侧边缘顶端分别设置有滑道4，靶材支撑架和背板支撑架的中心线与滑道相互平行，刮铟板活动安装在其中一个滑道内，背板夹持器活动安装在另一个滑道内，刮铟板和背板夹持器可在滑道内移动。

本实施例中，所述刮铟板6是由连杆61和套装在连杆上的用于刮铟的硅胶块62构成，硅胶块位于二甲基硅油油浴装置内。刮铟板的连杆可以在滑道内左右、前后移动，硅胶块套入连杆上的深度也可以调节整个刮铟板的长度。连杆的最外端还设置有防止其脱出滑道的挡块。作为一种变换，刮铟板的具体结构还可以根据情况调整变化。

本实施例中，所述二甲基硅油油浴装置底面设置有二甲基硅油排出口8，二甲基硅油排出口上设置有阀门9，以便于二甲基硅油的排出及回收。

本实施例中，背板夹持器3可采用类似镊子的结构，其最外端设置有防止其脱出滑道的挡板，背板夹持器可以在滑道内左右、前后移动。作为一种变化背板夹持器还可以采用其他结构，只要能够将背板夹持放置到背板支撑架上即可。

作为本实施例的一种变换，二甲基硅油油浴装置中还可以设置升温控温组件，用于控制二甲基硅油的加热及恒温的温度。

使用过程：将二甲基硅油放入二甲基硅油油浴装置中，残靶放入二甲基硅油油浴装置中的靶材支撑架上，打开油浴装置加热开关，升温阶段控制如下：常温到180℃，升温速率1℃/min，180℃保温10min。之后用背板夹持器取下铜背板放置于背板支撑架上，用刮铟板将背板及残靶上面的铟尽量清洗干净。待静置一段时间后，打开油浴装置下端阀门，放出含铟二甲基硅油。待二甲基硅油冷却后，用筛网过滤冷却后的铟渣，将铟回收，过滤后的二甲基硅油可重复使用。

Claims (3)

1.一种ITO靶材解绑装置，其特征在于：包括工作平台（5）、二甲基硅油油浴装置（1）、靶材支撑架（2）、背板支撑架（7）、刮铟板（6）和背板夹持器（3），所述二甲基硅油油浴装置安装在工作平台上，靶材支撑架和背板支撑架安装在二甲基硅油油浴装置内，二甲基硅油油浴装置相对的两侧边缘顶端分别设置有滑道（4），刮铟板活动安装在其中一个滑道内，背板夹持器活动安装在另一个滑道内。

2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材解绑装置，其特征在于：所述刮铟板（6）是由连杆（61）和套装在连杆上的硅胶块（62）构成，硅胶块位于二甲基硅油油浴装置内。

3.根据权利要求1或2所述的一种ITO靶材解绑装置，其特征在于：所述二甲基硅油油浴装置底面设置有二甲基硅油排出口（8），二甲基硅油排出口上设置有阀门（9）。

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