CN111511937A

CN111511937A - 垫片、硬盘驱动器及垫片的制造方法

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Publication number: CN111511937A
Application number: CN201880083573.1A
Authority: CN
Inventors: 生松晃; 西田幸宽; 河野明训; 坪井耕一; 沟口太一朗; 铃木聪
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2017-12-26
Filing date: 2018-12-10
Publication date: 2020-08-07
Anticipated expiration: 2038-12-10
Also published as: WO2019131084A1; JP2019112706A; CN111511937B; PH12020550939A1; TW201930613A; TWI758572B; JP6753613B2

Abstract

本发明实现了磁特性优异的垫片。垫片(12)是将铁素体系不锈钢的板材成形为环状之后，将环状的所述板材以900℃以上且小于奥氏体转变开始温度Ac1的温度加热的同时进行加压所制造而成。

Description

垫片、硬盘驱动器及垫片的制造方法

技术领域

本发明涉及垫片、硬盘驱动器及垫片的制造方法。

背景技术

一直以来，磁盘装置(例如硬盘驱动器)的小型化以及大容量化持续不断地发展。储存容量为大容量的磁盘装置具备多个磁盘，环状的垫片插入于这些磁盘之间，垫片与磁盘一起旋转。

这里，传统的垫片大多是将切削性优异的快削不锈钢进行切削加工而制造，然而由于快削不锈钢含有S、Pb，因此钢材价格高而导致成本攀升。是以，对与快削不锈钢相比S、Pb的含量少且较便宜的铁素体系不锈钢的板材进行冲孔加工等来制造垫片的技术研究正在进行。

例如，专利文献1当中公开了一种制造垫圈的方法，将具有特定板厚的金属板进行冲孔而形成大致环状的原型圈，将经预定工序而形成于原型圈的环状舌片的底端以剪切工具剪切而制造垫圈。此外，例如专利文献2当中公开了一种垫片，其是使用表面硬度的偏差在以平均值为中心的上下4％以内、晶粒度号为5.0～9.0、且残留压缩应力为80MPa以下的铁素体系不锈钢的压延板材来制造而成的。该垫片是通过利用冲孔加工将压延板材加工为环状从而成形的。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开公报“特开平2001-167548(2001年6月22日公开)”

专利文献2：日本专利公开公报“特开平2013-222487(2013年10月28日公开)”

发明内容

发明要解决的课题

然而，通过专利文献1中公开的方法所制造的垫圈，在其内部会产生残留应力，因此在制造工序的最后阶段或是组装进磁盘中时形状不稳定，成为磁盘变形的主要原因。关于此点，虽然专利文献2中公开的垫片在一定程度上解决了残留应力的问题，但由于利用冲孔加工进行成形，因此磁特性受损。关于上述垫圈，也由于施加了冲孔加工、冲压加工，因而与上述垫片同样地，磁特性受损。然而，在专利文献1、2当中，都未记载也未启示有关施加垫圈及垫片的磁特性不受损那样的处理来提高配置于硬盘驱动器的马达的旋转性能的技术。

本发明的一个形态为鉴于上述各问题而完成的，其目的在于提供一种垫片，其能够实现高效率且能源负荷小的硬盘驱动器，并且磁特性优异。

解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的一个形态涉及的垫片为配置于硬盘驱动器中的垫片，该垫片是将铁素体系不锈钢的板材成形为环状之后，将成形为环状的上述板材以900℃以上且小于奥氏体转变开始温度Ac1(以下仅记载为“Ac1”)的温度加热的同时进行加压所制造而成。

此外，为了解决上述课题，本发明的一个形态涉及的垫片的制造方法为配置于硬盘驱动器的垫片的制造方法，其包含：第一工序，将铁素体系不锈钢的板材成形为环状；以及第二工序，将在上述第一工序成形为环状的上述板材以900℃以上且小于Ac1的温度加热的同时进行加压。

发明的效果

根据本发明的一个形态，能够提供一种垫片，其能够实现高效率且能源负荷小的硬盘驱动器，并且磁特性优异。

附图说明

图1是表示本发明一个实施方式涉及的硬盘驱动器的概略构成的剖面图。

图2是表示配置于硬盘驱动器的主轴马达(spindle motor)的概略构成的剖面图、以及表示垫片周边的磁通密度的变化的图。

图3是表示关于上述铁素体系不锈钢的、应变量与磁通密度之间的关系的图表。

具体实施方式

以下，针对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，以下记载内容是为了更好地理解本发明的主旨，只要没有特别指定就不限定本发明。此外，本说明书中，所谓“A～B”表示A以上B以下。

用于制造本发明的一个形态涉及的垫片的铁素体系不锈钢，是适用于制造较小(例如直径50mm以下或是高度20mm以下)且要求高尺寸精度的成形品的不锈钢。

此外，本说明书中，所谓的奥氏体转变开始温度Ac1(以下，也会仅记载为“Ac1”)，是指因加热而在环状的钢材组织中开始生成奥氏体的温度，其根据铁素体系不锈钢的含有成分的比例而变化。在实验室中确认到，本发明一个形态涉及的垫片中使用的铁素体系不锈钢的Ac1与含有成分之间具有下述式1的关系。因此，本发明中，将通过式(1)求得的值AC[℃]作为加热温度上限的指标，也就是Ac1。本实施方式中，使用使AC为约1150℃以下那样的含有成分比例的铁素体系不锈钢。

(式1)

AC[℃]＝-221C+64Si-40Mn-80Ni+20Cr-247N+1240Al+486Ti+602

＜硬盘驱动器的结构＞

首先，参照图1，针对本发明一个实施方式涉及的硬盘驱动器1的结构进行说明。图1是表示硬盘驱动器1的概略构成的剖面图。如图1所示，硬盘驱动器1于护罩2内具备3片盘片11，护罩2为将装置内部密闭的密闭盒状。盘片11通过主轴马达20旋转，从盘片11表面稍微浮起的磁头30进行盘片11的写入以及读取。

相邻的2片盘片11之间分别设置有垫片12(详细情况后述)。该垫片12为环状且配置为包围主轴马达20的旋转毂21周围。将圆盘状的夹持器22用螺丝紧固于旋转毂21的上端部。通过夹持器22的弹性变形来挤压盘片11的内周部，将多个盘片11与多个垫片12保持于旋转毂21底部的大直径部分与夹持器22之间。需要说明的是，也可以通过螺丝23以外的部件来固定夹持器22。

硬盘驱动器通常有2.5英寸的规格以及3.5英寸的规格。3.5英寸规格的硬盘驱动器当中，由于使用玻璃盘片与不锈钢垫片的组合，因而更要求不锈钢制垫片的尺寸精度。

＜垫片的磁特性与主轴马达的性能之间的关系＞

接着，参照图2说明垫片12的磁特性与主轴马达20的性能之间的关系。图2表示主轴马达20的概略构成的剖面图以及表示垫片12周边的磁通密度的变化的图。

如图2所示，主轴马达20当中，6个定子铁芯20b从旋转轴20a朝向旋转毂21突出，并且沿着旋转轴20a的侧面延伸，该6个定子铁芯20b上分别卷绕有定子线圈20c。

首先，使电流流经定子线圈20c而使定子铁芯20b磁化，使经磁化的定子铁芯10b与磁铁21a之间产生斥力或引力。磁铁21a配置于旋转毂21中旋转轴20a侧的区域，与定子铁芯20b相对向。接着，利用所产生的斥力等，使旋转毂21、夹持器22及盘片11旋转。

通过在旋转毂21中构成极力地降低了所谓“漏磁通量(leakage magnetic flux)”的磁路，从而具有作为提高主轴马达20性能的轭(具体来说为背轭(back yoke))的作用。所谓“漏磁通量”是指经过原本磁路以外的部分，且无助于产生斥力等的磁力线。

这里，通过使用磁特性优异的垫片，使得旋转毂21作为轭的作用更为强化。也就是说，垫片的磁特性是以该垫片的磁通密度(或是磁导率)的大小来决定，因此当垫片的磁通密度(或磁导率)越大，“漏磁通量”就越小(图2中从面向纸面的右上角图的状态变成右下角图的状态)，进而主轴马达20的性能提高。

尤其是用于近线(near line)用途或大容量服务器的3.5英寸规格的硬盘驱动器，每台的盘片层叠片数多，施加到主轴马达的旋转负载也变大。因此，一直以来期望高效率的主轴马达，为了实现该高效率的主轴马达，提高垫片的磁特性成为了大问题。

关于此点，由于主轴马达20使用了磁特性优异的垫片12,因此，旋转毂21作为轭的作用更为强化，其性能与以往的主轴马达相比得以提高。

＜铁素体系不锈钢的含有成分的组成＞

用于制造垫片12的铁素体系不锈钢的含有成分的组成如下所示。需要说明的是，以下所示的各种成分以外的剩余部分为铁(Fe)及无法避免混入的少量杂质(无法避免的杂质)。

(铬：Cr)

Cr对铁素体系不锈钢来说为必须的元素，为了确保耐腐蚀性，Cr浓度优选为11质量％以上。但是，若大量含有Cr，则不锈钢会过度地硬质化，因此Cr浓度优选为19质量％以下，更优选为13质量％以下。Cr含量的调整方法没有特别限制，例如可以通过控制Cr氧化物的还原反应来调整Cr含量。

(锰：Mn)

Mn是通过生成硫化物而对耐释气性及磁特性带来恶劣影响的元素。因此，用于制造垫片12的铁素体系不锈钢当中，Mn的含量最好尽可能少，优选0.60质量％以下。

(钛：Ti)

Ti与Nb同样，为能够通过与C或N反应而使铁素体系不锈钢于900～1000℃成为铁素体系单相的元素。另一方面，晶粒越大则磁特性就越提高，而不同于Nb，Ti几乎不妨碍高温下的铁素体系不锈钢的晶粒成长，因此从磁特性的观点来看，与Nb相比优选添加Ti。另一方面，过度地添加Ti会对不锈钢的表面性状带来恶劣影响而损害制造性，因此优选含有0.05～0.50质量％以下的Ti。

(碳：C)

C是通过生成碳化物而使磁特性降低的有害元素，因此C的含量设为0.08质量％以下，优选为0.02质量％以下。

(硅：Si)

Si是作为制钢时的脱氧剂的有效元素。但是，若大量含有Si，则会因固溶强化而使得不锈钢过度地硬质化。因此，Si的含量优选为0.80％质量以下。

(磷：P)

P会随着其含量而使热加工性降低。因此，P的含量优选为0.04质量％以下。

(硫磺：S)

若铁素体系不锈钢当中S的含量多，则存在于该钢中的以MnS为主体的A系夹杂物变多而使磁特性劣化。因此，S的含量优选为0.03质量％以下。

作为S含量的调整方法，由于在还原、精炼期间，当进行Cr氧化物的还原及脱氧时，连同脱氧进行造渣而发生脱硫，因此可以通过促进该脱硫反应而降低S的含量。作为S含量的调整方法使用公知的方法即可，并不特别限定该调整方法。

(镍：Ni)

由于Ni会增加高温范围中的奥氏体相的比例，因此在提高热压延时的加工性方面是有效的。然而，若过度地含有，则α-γ转变点温度降低，无法确保充分的再结晶温度。此外，Ni也为昂贵的元素。因此，Ni的含量优选为0.50质量％以下。

(氮：N)

若过度地添加N，则会与其他元素形成氮化物，导致磁特性降低。因此，N的含量优选为0.02质量％以下。

(铝：Al)

Al是提高钢洁净度的元素，但另一方面，若含量高则会与C、N形成化合物而降低磁特性，因此优选为0.05质量％以下。

需要说明的是，上述含有成分的组成仅为一例，即使在各含有成分的含量(质量％)为上述例子以外的情形下，也能够实现对于垫片12施加了外部磁场10Oe时的磁通密度B10为0.6T以上的磁特性优异的垫片12，并且为平行度5μm以下、平面度1μm以下的垫片12。此外，即使为含有上述各含有成分以外的含有成分的垫片12，也能够实现磁通密度B10为0.6T以上、平行度5μm以下且平面度1μm以下的垫片12。

＜垫片的制造方法＞

以下说明垫片12的制造方法的一例，其使用了含有成分的组成充分满足上述条件的铁素体系不锈钢。具体地说，通过下述(1)～(4)的各工序来制造垫片12。

(1)首先，对于施加了退火处理的铁素体系不锈钢的压延板材(板材：未图示)，使用模具来进行精密的冲孔加工。也就是说，通过针对上述压延板材进行外径冲孔加工，并接着进行内径冲孔加工，从而获得成形为环状的钢材(板材：未图示)(第一工序)。

该环状的钢材中，大致上没有在冲孔端面上产生下垂，大幅地改善了该冲孔端面性状。然而，第一工序结束后的环状钢材，其与进行第一工序之前的压延板材相比，磁特性下降了约10～约20％。需要说明的是，在该工序当中，进一步实施了压制加工时，磁特性降低了约50％以上。

(2)接着，对于通过上述冲孔加工获得的环状钢材，一边以900℃以上且小于Ac1的温度加热，一边进行加压(第二工序)。

通过进行该第二工序，与进行其他加热处理及加压处理的情形相比，大幅地减少生成的析出物、夹杂物的量，并且所生成的析出物等的大小也变大。此外，关于环状钢材的组织，由于一边以900℃以上加热一边加压，从而使得晶粒变大。此外，由于加热温度为小于Ac1，从而环状的钢材为α单相。进一步地，可有效地去除环状钢材的残留应力。通过发生这些现象，从而完成了第二工序的环状钢材的磁特性大幅提高。

具体来说，第二工序结束后的环状钢材在外部磁场H＝10Oe(796A/m)时的磁通密度B10至少为0.6T以上。补充说明，该环状钢材的磁通密度B10优选为0.8T以上，能够通过适当地调整加热温度、压力来获得该数值。

作为第二工序，能够例示将环状钢材以900℃以上且小于Ac1的温度进行加压退火的处理、以900℃以上且小于Ac1的温度进行热密闭锻压的处理等。

加压退火是退火的一种，是指如下处理：将环状钢材一边加热到预定温度一边加压，并以该预定温度保持一定时间之后逐渐冷却。此外，热密闭锻压是指如下处理：将已加热至预定温度的环状板材放进模具内并封闭，在该封闭的状态下，使复动式(doubleacting)冲头复动地进入至模具内，由此使上述钢材填满模具内部。两种处理均具有有效地去除环状钢材的残留应力的效果，并有助于提高垫片12的磁特性。

需要说明的是，作为加压退火，除了后述的堆叠加压退火以外，还能够例示对环状钢材实施在板材、各种部件的形状校正中所采用的加压回火处理的情况。加压回火处理是指在回火(temper)时进行加压(press)的处理。

此外，作为热密闭锻压，能够例示利用油压多轴加压机等的热密闭锻压。闭密锻造与一般的锻造不同，在不带毛刺的情况下将封入模具内的环状板材成型。

进而，关于堆叠加压退火时的加压力，从尺寸精度的观点来看，优选为0.001MPa～200MPa。当加压小于0.001MPa时，因加压不足而难以控制平面度、平行度。另一方面，当大于200MPa时，由于加压力过大，因此难以控制板厚。

(3)接着，针对第二工序结束后的环状钢材，使用例如研磨剂(金刚石浆料)作为磨粒，进行精磨(lapping)加工，研磨环状钢材的表面。然后，将精磨加工后的上述钢材与颗粒状的磨料及介质(化合物)一起置入滚筒容器中，进行滚筒研磨，去除毛刺(第三工序)。

这里，对于环状钢材，由于可抑制在冲孔端面产生下垂，因此能够缩短在精磨研磨以及滚筒研磨中的研磨时间，能够减少切削加工费用。此外，能够降低施加到上述钢材的研磨负荷，并能够抑制最终制品即垫片12产生翘曲。通过以上所述，能够在提高生产效率的同时，提高材料成品率。

(4)其后，清洗滚筒研磨后的上述钢材(第四工序)。这里，从磁特性的观点来看，必须极力减少夹杂物，用于制造垫片12的铁素体系不锈钢优选以JIS G0555所规定的洁净度的计算方法算出的洁净度为0.04％以下。但是，当含有0.004质量％～0.02质量％的TiN系夹杂物时，能够将磁特性的降低抑制到最小限度，同时更进一步地抑制冲孔端面产生下垂，并且部件洁净性也不会恶化。

通过进行上述第四工序，垫片12的制造完成。需要说明的是，为了制造磁特性优异的垫片12，只要至少进行第一工序及第二工序即可，第三工序及第四工序并非制造上述垫片12所必须的工序。

＜实施例＞

本实施例当中，使用具有下述表1所示成分、组成的各铁素体系不锈钢(第一发明钢、第二发明钢及比较钢)制造垫片。需要说明的是，第一发明钢的Ac1为984℃；第二发明钢的Ac1为1089℃。此外，以预定的方法来测量各垫片的磁性，比较它们的磁特性。此外，也调查了应变量与磁通密度之间的关系。

[表1]

No	C	Si	Mn	P	S	Ni	Cr	N	其他
										第一发明钢	0.005	0.70	0.22	0.026	0.001	0.12	11.01	0.009	Ti：0.26，Al：0.01，AC：984℃
第二发明钢	0.009	0.25	0.25	0.027	0.002	0.17	17.20	0.012	Ti：0.27，Al：0.02，AC：1089℃
										比较钢	0.061	0.31	0.41	0.029	0.370	0.21	19.15	0.008	Pb：0.15，Te：0.027

(垫片的制造)

关于第一发明钢及第二发明钢，将板厚1.8mm的冷轧退火酸洗板(压延板材)在调质处理至1.80t/1.60t的板厚之后，进行精密落料冲压(fine blanking press)加工(第一工序)，并将得到的环状钢材在真空(0.005Pa)中进行堆叠加压退火(第二工序)。其后进行上述第三工序、第四工序，从而制造了垫片12。

这里，关于第一发明钢，以950℃的加热温度进行2小时堆叠加压退火。也就是说，对第一发明钢以900℃以上且小于奥氏体转变开始温度Ac1(984℃)的温度进行加热的同时进行加压。此外，关于第二发明钢，以1050℃的加热温度进行2小时的堆叠加压退火处理。也就是说，对第二发明钢以900℃以上且小于奥氏体转变开始温度Ac1(1089℃)的温度加热的同时进行加压。堆叠加压退火是指：在相互对向的2个环状钢材之间插入与所述钢材相同材料并实施了预氧化的隔板，在该状态下层叠多个环状钢材。然后，装载压铁使得层压体的上表面为面压0.01MPa，并于真空中进行退火的处理。

另一方面，关于比较钢，将比较钢的圆棒进行切片，将得到的薄板状的钢材进一步进行切削加工，从而制造了环状的垫片。该制造方法与适于2.5英寸规格的硬盘驱动器的以往垫片的制造方法相同。

使用第一发明钢及第二发明钢所制造的各垫片12与使用比较钢所制造的垫片(以下称为“第一比较用垫片”)均为厚度1.60mm、内径25.0mm、外径32mm的环状物。这是适于3.5英寸规格的硬盘驱动器的形状、小大。

(测量磁性的方法)

对使用第一发明钢及第二发明钢所制造的各垫片12以及第一比较用垫片，以同样的方法分别测量磁性。具体来说，使用0.32mmφ的漆包铜线，针对上述所有的各垫片12及第一比较用垫片，制成100匝的初级线圈、90匝的次级线圈，使用B-H分析仪测量外部磁场H＝10Oe时的磁通密度B10。

并且，针对上述所有的各垫片12及第一比较用垫片还测量了平面度、平行度。关于平面度，以1.50μm以下为合格；关于平行度，以5.00μm以下为合格(表2中的○)；大于这些数值的情形设为不合格(表2中的×)。测量结果如下述表2所示。

[表2]

	平面度	平行度	B10(T)
				第一发明钢	○	○	1.0
第二发明钢	○	○	0.9
				第一发明钢/省略退火工序	○	○	0.4
比较钢	×	×	0.5

(测量磁性的结果)

如表2所示，使用第一发明钢所制造的垫片12的磁通密度B10为1.0T。此外，使用第二发明钢所制造的垫片12的磁通密度B10为0.9T。两个垫片12的磁通密度B10均为0.8T以上，呈现出优异的磁特性。

另一方面，第一比较用垫片的磁通密度B10为0.5T，低于作为垫片的磁特性优劣基准值的0.6T。此外，仅对板厚1.8mm的第一发明钢的冷轧退火酸洗板实施调质处理和精密落料冲压加工所制造的第二比较用垫片(对应表2中的“第一发明钢/省略退火工序”)的磁通密度B10为0.4，也低于0.6T。

由这些情况来看，显然可知，根据本发明一个形态涉及的制造方法所制造的垫片，与根据其他制造方法所制造的垫片相比，其磁特性大幅地提高。

需要说明的是，关于平面度及平行度，不论何种制造方法，使用第一发明钢或第二发明钢所制造的垫片均为合格(○)。一般来说，由于平面度为1μm以下、平行度为5μm以下时为优选，因此显然可知，为了提高垫片的平面度及平行度，优选使用含有成分的组成充分满足本实施方式中所说明的条件的铁素体系不锈钢。

(应变量与磁通密度之间的关系)

对使用第一发明钢且第二工序结束后的垫片12施加预定的压力，分别测量因该压力所产生的应变量、及加压时的外部磁场H＝10Oe时的磁通密度B10。使用测量结果制作纵轴为磁通密度B10、横轴为应变量的图表，结果得到如图3所示那样的图表。图3的图表中，以虚线表示作为比较用的第一比较用垫片的图表。

如图3所示，认为：关于使用第一发明钢且进行到第二工序为止所制造出的垫片12，在未产生应变的状态下，磁通密度B10为1.2T，与第一比较用垫片相比具有2倍以上的磁通密度B10。此外，当应变量从0％增加至约0.5％的期间中，磁通密度B10急速地降低，而从应变量大于约0.5％的附近起，磁通密度B10的降低变得缓和。

由此显然可知，为了制造磁特性优异的垫片即具有高磁通密度的垫片，除去成形时所施加的应变是有效的。由此点来看，也可以说能够有效地除去环状钢材的残留应力的本发明一个形态涉及的垫片的制造方法是有用的。

<总结>

为了解决上述课题，本发明一个形态涉及的垫片是配置于硬盘驱动器的垫片，其是将铁素体系不锈钢的板材成形为环状之后，将成形为环状的所述板材以900℃以上且小于奥氏体转变开始温度Ac1(以下也仅记载为“Ac1”)的温度加热的同时进行加压所制造而成。

根据上述构成，成形为环状的铁素体系不锈钢的板材是以900℃以上且小于Ac1的温度加热的同时被加压。因此，因成形为环状而导致磁特性一度降低的上述板材，通过加热、加压而使得其磁特性提高。因此，与例如成形为环状之后未实施任何处理而制造的垫片相比，能够实现提高了磁特性的垫片。

此外，为了解决上述课题，本发明一个形态涉及的垫片优选在对所述垫片施加外部磁场10Oe时的磁通密度B10为0.6T以上、平行度5μm以下、平面度1μm以下。

此外，为了解决上述课题，优选地，本发明一个形态涉及的垫片由：C的含量为0.08质量％以下；Si的含量为0.80质量％以下；Mn的含量为0.60质量％以下；P的含量为0.04质量％以下；S的含量为0.03质量％以下；Ni的含量为0.50质量％以下；Cr的含量为11质量％以上19质量％以下；N的含量为0.02质量％以下；Al的含量为0.05质量％以下；Ti的含量为0.05质量％以上0.50质量％以下，剩余部分为Fe及无法避免的杂质所构成，且洁净度为0.04％以下。

此外，为了解决上述课题，本发明一个形态涉及的垫片中，优选C的含量为0.02质量％以下。

此外，为了解决上述课题，本发明一个形态涉及的垫片中，优选TiN系夹杂物的含量为0.004质量％以上且0.02质量％以下。

此外，为了解决上述课题，本发明一个形态涉及的垫片中，优选上述环状的上述板材以900℃以上且小于Ac1的温度进行加压退火。

根据上述构成，成形为环状的铁素体系不锈钢的板材以900℃以上且小于Ac1的温度进行加压退火。因此，因成形为环状而导致磁特性一度降低的上述板材通过上述的加压退火而使得其磁特性提高。因此，能够实现提高了磁特性的垫片。

此外，为了解决上述课题，本发明一个形态涉及的垫片中，优选上述环状的上述板材以900℃以上且小于Ac1的温度进行热密闭锻压。

根据上述构成，成形为环状的铁素体系不锈钢的板材以900℃以上且小于Ac1的温度进行热密闭锻压。因此，因成形为环状而导致磁特性一度降低的上述板材通过上述的热密闭锻压而使得其磁特性提高。因此，能够实现提高了磁特性的垫片。

此外，为了解决上述课题，本发明一个形态涉及的硬盘驱动器优选具备上述垫片。根据上述构成，通过具备磁特性优异的垫片，能够减轻硬盘驱动器中施加至主轴马达的旋转负荷。

此外，为了解决上述课题，本发明一个形态涉及的垫片的制造方法为配置于硬盘驱动器的垫片的制造方法，其包含：第一工序，将铁素体系不锈钢的板材成形为环状；及第二工序，将在上述第一工序中成形为环状的上述板材以900℃以上且小于Ac1的温度加热的同时进行加压。

根据上述构成，与例如成形为环状之后未施加任何处理的垫片相比，能够制造提高了磁特性的垫片。

＜补充事项＞

本发明并不受到上述各实施方式所限制，能够在权利要求书所示的范围内进行各种变更，关于将在不同实施方式中分别公开的技术手段适当组合所得的实施方式，也包含在本发明的技术范围内。进而，通过将在各实施形态中分别公开的技术手段进行组合，能够形成新的技术特征。

符号说明

1：硬盘驱动器，12：垫片。

Claims

1.一种垫片，其为配置于硬盘驱动器中的垫片，

所述垫片是将铁素体系不锈钢的板材成形为环状之后，将成形为环状的所述板材以900℃以上且小于奥氏体转变开始温度Ac1的温度加热的同时进行加压所制造而成。

2.根据权利要求1所述的垫片，其中，对所述垫片施加外部磁场10Oe时的磁通密度B10为0.6T以上，平行度为5μm以下，平面度为1μm以下。

3.根据权利要求1或2所述的垫片，其中，该垫片是由：C的含量为0.08质量％以下；Si的含量为0.80质量％以下；Mn的含量为0.60质量％以下；P的含量为0.04质量％以下；S的含量为0.03质量％以下；Ni的含量为0.50质量％以下；Cr的含量为11质量％以上19质量％以下；N的含量为0.02质量％以下；Al的含量为0.05质量％以下；Ti的含量为0.05质量％以上0.50质量％以下，剩余部分为Fe及无法避免的杂质所构成，且

洁净度为0.04％以下。

4.根据权利要求3所述的垫片，其中，C的含量为0.02质量％以下。

5.根据权利要求3或4所述的垫片，其中，TiN系夹杂物的含量为0.004质量％以上0.02质量％以下。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的垫片，其中，所述环状的所述板材以900℃以上且小于奥氏体转变开始温度Ac1的温度进行加压退火。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的垫片，其中，所述环状的所述板材以900℃以上且小于奥氏体转变开始温度Ac1的温度进行热密闭锻压。

8.一种硬盘驱动器，其特征在于，具备权利要求1～7中任一项所述的垫片。

9.一种垫片的制造方法，其为配置于硬盘驱动器中的垫片的制造方法，包含：

第一工序，将铁素体系不锈钢的板材成形为环状；及

第二工序，将在所述第一工序中成形为环状的所述板材以900℃以上且小于奥氏体转变开始温度Ac1的温度加热的同时进行加压。