CN111509943A - 减震部件、减震机构、致动器及减震部件的制造方法 - Google Patents

减震部件、减震机构、致动器及减震部件的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种即使在使用凝胶状部件来抑制共振等的情况下也容易操作的减震部件、减震机构、致动器及减震部件的制造方法。在该致动器中，构成于第一部件和第二部件之间的减震机构的减震部件(9)具有凝胶状部件(95)、接合于凝胶状部件的一表面(951)的第一薄膜(91)以及接合于凝胶状部件的另一表面(952)的第二薄膜(92)，侧面(953)处于敞开状态。减震部件的一表面(951)侧经由第一薄膜通过粘接剂固定于第一部件，减震部件的另一表面(952)侧经由第二薄膜通过粘接剂固定于第二部件。第一薄膜的尺寸大于凝胶状部件的一表面(951)，第一薄膜的端部遍及四周从凝胶状部件的侧面(953)伸出。

Description

减震部件、减震机构、致动器及减震部件的制造方法
技术领域
本发明涉及一种具备凝胶状部件的减震部件、减震机构、致动器及减震部件的制造方法。
背景技术
作为通过磁驱动机构产生振动的设备，有一种致动器已被提出，其具有保持线圈的支承体和经由减震部件被支承体支承的可动体，在可动体上设置有永磁体。另外，在致动器中，在可动体和支承体之间设置有由硅凝胶等凝胶状部件构成的减震部件，防止驱动可动体时的共振(参照专利文献1)。
另一方面，有一种用两个薄膜将凝胶状部件完全覆盖的结构已被提出(参照专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2016-127789号公报
专利文献2：日本特开2015-85682号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
使用硅凝胶等凝胶状部件作为专利文献1所记载的减震部件时，因为其本身具有吸附性，所以减震部件的操作并不容易。例如，在工作台上将凝胶状部件分割之后，用吸附头从工作台上逐一吸附并输送凝胶状部件时，凝胶状部件可能会吸附在工作台上，存在不容易输送的问题。另一方面，在如专利文献2所记载的构成那样用两个薄膜将凝胶状部件完全覆盖的结构中，因为在凝胶状部件变形的同时薄膜也变形，所以当用作专利文献1中记载的减震部件时，薄膜会影响共振频率，存在减震性能降低的问题。
鉴于上述问题，本发明的技术问题在于，提供一种即使在利用凝胶状部件来抑制共振等的情况下也容易操作的减震部件、减震机构、致动器及减震部件的制造方法。
解决技术问题所采用的技术方案
为了解决上述技术问题，本发明所涉及的减震部件的一个方式的特征在于，具有凝胶状部件和第一薄膜，所述第一薄膜接合于所述凝胶状部件的厚度方向上的一表面，位于所述凝胶状部件的在所述厚度方向上与所述一表面相反的一侧的另一表面和所述一表面之间的所述凝胶状部件的侧面处于敞开状态。
本发明所涉及的减震部件具备凝胶状部件，可以通过凝胶状部件高效地吸收振动。另外，在凝胶状部件上接合有第一薄膜。因此，凝胶状部件的多个面中、接合有第一薄膜的一侧的表面没有吸附性，所以如果将接合有第一薄膜的一侧的表面用作与输送部件的接触面，则可以容易地进行输送时的操作等。另外，因为第一薄膜接合于凝胶状部件的一表面，使得凝胶状部件的侧面处于敞开状态，所以第一薄膜不易影响凝胶状部件的变形。因此，即使将第一薄膜接合于凝胶状部件的一表面，也不易降低减震部件的减震性能。
在本发明中，可以采用以下方式：所述第一薄膜的尺寸大于所述一表面。根据该方式，因为即使将减震部件经由第一薄膜粘接于部件上，粘接剂也不易附着到凝胶状部件的侧面，所以能够抑制由于粘接剂附着于凝胶状部件的侧面而导致减震性能降低。
在本发明中，可以采用以下方式：所述第一薄膜的厚度为100μm以下。根据该方式，即使将第一薄膜接合于凝胶状部件的一表面，也能够抑制减震部件变厚。
在本发明中，可以采用以下方式：在所述凝胶状部件的所述另一表面接合有第二薄膜。根据该方式，因为减震部件的两面没有吸附性，所以能够容易地进行输送减震部件时的操作等。
在本发明中，可以采用以下方式：所述第二薄膜的尺寸大于所述另一表面。根据该方式，因为即使将减震部件经由第二薄膜粘接于部件上，粘接剂也不易附着到凝胶状部件的侧面，所以能够抑制由于粘接剂附着于凝胶状部件的侧面而导致减震性能降低。
在本发明中，可以采用以下方式：所述侧面是使所述一表面的尺寸与所述另一表面的尺寸不同的斜面。根据该方式，在成型凝胶状部件时，可以容易地使模具材料和凝胶状部件分离。
具备本发明所涉及的减震部件的减震机构的一方式的特征在于，具有第一部件和第二部件，所述第二部件相对于所述第一部件可移动，所述减震部件的所述一表面侧经由所述第一薄膜粘接于所述第一部件，所述另一表面侧与所述第二部件相接。
具备本发明所涉及的减震部件的减震机构的另一方式的特征在于，具有第一部件和第二部件，所述第二部件相对于所述第一部件可移动，所述减震部件的所述一表面侧经由所述第一薄膜粘接于所述第一部件，所述另一表面侧经由所述第二薄膜粘接于所述第二部件。
具备本发明所涉及的减震部件的减震机构的又一个方式的特征在于，具有第一部件和第二部件，所述第二部件相对于所述第一部件可移动，所述减震部件的所述一表面侧经由所述第一薄膜粘接于所述第一部件，在所述另一表面侧，所述凝胶状部件的所述另一表面与所述第二部件相接。
在这种情况下，在本发明所涉及的减震机构中，可以采用以下方式：所述凝胶状部件的所述另一表面通过所述凝胶状部件本身的吸附力密接于所述第二部件。
另外，在本发明所涉及的减震机构中，可以采用以下方式：所述凝胶状部件的所述另一表面粘接于所述第二部件。
具备本发明所涉及的减震机构的致动器的一方式可以采用以下方式：具有使所述第二部件相对于所述第一部件相对移动的磁驱动机构。
本发明所涉及的减震部件的制造方法的特征在于，具有：第一工序，将大于所述第一薄膜的第一大型薄膜分割成所述第一薄膜；第二工序，将成型用的模具部件的框部与所述第一薄膜的端部重叠；第三工序，在所述框部的内侧填充未固化的凝胶材料；第四工序，从与所述第一薄膜相反的一侧将罩部件重叠于所述凝胶材料及所述框部；第五工序，使所述凝胶材料固化并且在被所述框部、所述第一薄膜及所述罩部件围绕的空间内成型所述凝胶状部件；以及第六工序，拆卸所述模具部件，获得所述第一薄膜接合于所述凝胶状部件的所述一表面的所述减震部件。根据该方式，不需要进行将凝胶状部件切割为规定尺寸的工序。因此，在切割凝胶状部件时，不会发生由于凝胶状部件吸附在切刀上而导致作业效率降低或者凝胶状部件的尺寸精度降低的问题。
在本发明所涉及的减震部件的制造方法中，可以采用以下方式：所述罩部件是尺寸大于所述凝胶状部件的第二大型薄膜，在所述第六工序中，从所述第一薄膜侧拆卸所述模具部件，在所述第六工序之后，沿着所述框部所在的部位切割所述第二大型薄膜，获得第二薄膜接合于所述凝胶状部件的在所述厚度方向上与所述一表面相反的一侧的另一表面的所述凝胶状部件。
在本发明所涉及的减震部件的制造方法中，可以采用以下方式：所述罩部件是构成减震机构的一部分的部件。
在本发明所涉及的减震部件的制造方法中，可以采用以下方式：将所述框部的侧面制成倾斜面，将所述减震部件的侧面设为斜面。
发明效果
本发明所涉及的减震部件具备凝胶状部件，但在凝胶状部件上接合有第一薄膜。因此，凝胶状部件的多个面中、接合有第一薄膜的一侧的表面没有吸附性，所以如果将接合有第一薄膜的一侧的表面用作与输送部件的接触面，则可以容易地进行输送时的操作等。另外，因为第一薄膜接合于凝胶状部件的一表面，使得凝胶状部件的侧面处于敞开状态，所以第一薄膜不易影响凝胶状部件的变形。因此，即使将第一薄膜接合于凝胶状部件的一表面，也不易降低减震部件的减震性能。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式1所涉及的致动器的一方式的立体图。
图2是图1所示的致动器的YZ剖视图。
图3是图1所示的致动器的分解立体图。
图4是将图1所示的致动器分解为支承体和可动体的分解立体图。
图5是从第一方向上的另一侧观察图4所示的支承体的分解立体图。
图6是表示将图2等所示的减震部件的一部分切割之后的样子的说明图。
图7是表示图6所示的减震部件的制造方法的工序剖视图。
图8是表示图6所示的减震部件的制造方法的工序剖视图。
图9是表示图6所示的减震部件的制造方法的工序剖视图。
图10是表示图6所示的减震部件的制造方法的工序剖视图。
图11是本发明的实施方式的变形例1所涉及的减震部件的说明图。
图12是本发明的实施方式的变形例2所涉及的减震部件的说明图。
图13是本发明的实施方式的变形例3所涉及的减震部件的说明图。
图14是本发明的实施方式的变形例4所涉及的减震部件的说明图。
附图标记说明
1…致动器；1a…磁驱动机构；2…支承体；3…壳体；4…线圈保持架；5…线圈；6…可动体；9…减震部件；10…减震机构；31…第一壳体部件；32…第二壳体部件；47…第一板；48…第二板；71…第一永磁体；72…第二永磁体；81…第一磁轭；82…第二磁轭；91…第一薄膜；92…第二薄膜；94…罩部件；95…凝胶状部件；96…第一支承片；97…第一支承板；98…第二支承片；99…第二支承板；100…模具部件；110…框部；111、953…侧面；150…切刀；910…第一大型薄膜；910a、920a…切缝；910b…边界部分；920…第二大型薄膜；950…凝胶材料；960…第一粘接剂；970…第二粘接剂；980…第三粘接剂；990…第四粘接剂。
具体实施方式
参照附图，对应用了本发明的减震部件9、减震机构10、致动器1及减震部件9的制造方法进行说明。在下面的说明中，以用于致动器1的减震机构10的减震部件9为中心进行说明。另外，在减震机构10中，减震部件9配置在第一部件和相对于第一部件能相对移动的第二部件之间，但是在下面的说明中，以第一部件是支承体2、第二部件是可动体6的情况为中心进行说明。另外，在致动器1中，线圈被支承体2及可动体6中的一侧部件保持，磁体被另一侧部件保持，但是以保持线圈的一侧部件是支承体2、保持永磁体的另一侧部件是可动体6的情况为中心进行说明。
[致动器及减震机构的构成例]
在以下关于致动器的说明中，在可动体6的直线运动方向(振动方向)标注X，在与第二方向X交叉的第一方向标注Z，在与第一方向Z及第二方向X交叉的第三方向标注Y进行说明。另外，在第二方向X的一侧标注X1，在第二方向X的另一侧标注X2，在第一方向Z的一侧标注Z1，在第一方向Z的另一侧标注Z2，在第三方向Y的一侧标注Y1，在第三方向Y的另一侧标注Y2来进行说明。
(致动器1的整体构成)
图1是表示应用了本发明的致动器1的一方式的立体图。图2是图1所示的致动器1的YZ剖视图。图3是图1所示的致动器1的分解立体图。图4是将图1所示的致动器1分解为支承体2和可动体6的分解立体图。图5是从第一方向Z的另一侧Z2观察图4所示的支承体2的分解立体图。
图1所示的致动器1通过第二方向X上的振动向手持致动器1的用户通知信息。因此，致动器1可以用作游戏机的操作部件等，作为可以通过振动等真实感受到新的感觉的触觉器件发挥作用。但是，致动器1的用途不限于触觉器件等信息传递装置。
如图2、图3、图4及图5所示，致动器1具有支承体2和可动体6，该支承体2包括用于规定致动器1的外形的方形壳体3等，该可动体6被支承体2支承为在壳体3的内部相对于支承体2能够在第二方向X上相对移动，可动体6通过在第二方向X上振动而输出信息。
支承体2具有壳体3、线圈保持架4、线圈5以及供电基板11，可动体6具有永磁体(第一永磁体71及第二永磁体72)及磁轭(第一磁轭81及第二磁轭82)。线圈5及永磁体(第一永磁体71及第二永磁体72)构成使可动体6相对于支承体2相对移动的磁驱动机构1a。可动体6经由设置于可动体6和支承体2之间的减震部件9被支承体2支承，减震部件9在可动体6和支承体2之间构成减震机构10。
(可动体6的构成)
如图2、图3及图4所示，可动体6具有：第一磁轭81，其相对于线圈5配置于第一方向Z的一侧Z1；以及平板状的第一永磁体71，其以在第一方向Z的一侧Z1与线圈5对置的方式被保持于第一磁轭81的第一方向Z的另一侧Z2的表面。另外，可动体6具有：第二磁轭82，其相对于线圈5配置于第一方向Z的另一侧Z2；以及平板状的第二永磁体72，其以在第一方向Z的另一侧Z2与线圈5对置的方式被保持于第二磁轭82的第一方向Z上的一侧Z1的表面。在本实施方式中，可动体6由第一磁轭81、第一永磁体71、第二磁轭82及第二永磁体72构成。
第一磁轭81具有固定有第一永磁体71的平板部811和从平板部811的第二方向X上的两侧的端部起向第一方向Z的另一侧Z2弯曲的一对连接部812。第二磁轭82具有固定有第二永磁体72的平板部821，在平板部821的第三方向Y的中间部分，具有向第二方向X的一侧X1及另一侧X2伸出的一对伸出部822。第一磁轭81的一对连接部812通过焊接等方法连接于一对伸出部822。第一永磁体71及第二永磁体72分别将第一方向Z的一侧Z1和第一方向Z的另一侧Z2磁化为不同的极。
(支承体2的构成)
如图1及图2所示，在支承体2中，壳体3具有位于第一方向Z的一侧Z1的第一壳体部件31和在第一方向Z的另一侧Z2与第一壳体部件31重叠的第二壳体部件32，设置于第二壳体部件32的第二方向X的两侧的一对侧板部321分别与设置于第一壳体部件31的第二方向X的两侧的一对侧板部311连接，构成壳体3。这时，在第一壳体部件31和第二壳体部件32之间，收容有图2及图5所示的线圈保持架4、线圈5及可动体6。
如图5所示，线圈5是具有卷绕成长圆状的环状的平面形状的空芯线圈，被保持于线圈保持架4。线圈5具备在第二方向X上排列并沿第三方向Y延伸的两个长边部51和连接两个长边部51的第三方向Y的两端的圆弧状的两个短边部52。对于这样构成的线圈5，第一永磁体71在第一方向Z的一侧Z1与长边部51对置，第二永磁体72在第一方向Z的另一侧Z2与长边部51对置。线圈保持架4具有板部41，该板部41在第一方向Z上开设有由在内侧配置有线圈5的长圆状的贯通孔构成的线圈配置孔410。
在板部41的第三方向Y的一侧Y1的端部411，侧板部413从第三方向Y上的一侧Y1的边缘朝向第一方向Z的一侧Z1突出，侧板部414、415从第二方向X的一侧X1的边缘及第二方向X的另一侧X2的边缘朝向第一方向Z的一侧Z1及另一侧Z2突出。在侧板部414、415的内表面中、相对于板部41靠第一方向Z的另一侧Z2的位置，形成有沿第一方向Z延伸的槽状的凹部414b、415b。在侧板部414、415的内表面中、相对于板部41靠第一方向Z的一侧Z1的位置也形成有同样的槽状的凹部(未图示)。
在板部41的第三方向Y的另一侧Y2的端部412，侧板部417、418、419从第三方向Y的另一侧Y2的边缘、第二方向X的一侧X1的边缘及第二方向X的另一侧X2的边缘朝向第一方向Z的一侧Z1及另一侧Z2突出。在侧板部418、419的内表面中、相对于板部41靠第一方向Z的另一侧Z2的位置，形成有沿第一方向Z延伸的槽状的凹部418b、419b。另外，在侧板部418、419的内表面中、相对于板部41靠第一方向Z的一侧Z1的位置，也形成有同样的槽状的凹部(未图示)。
在侧板部414、415形成有狭缝414t、415t。在狭缝414t、415t中，保持有供电基板11的两侧的端部11a、11b。在供电基板11上，通过焊锡等连接有构成线圈5的线圈线的端部56、57。
(第一板47及第二板48的构成)
如图2、图4及图5所示，支承体2具有从第一方向Z的一侧Z1与线圈配置孔410及板部41重叠的第一板47，线圈5通过至少填充于线圈5的空芯部50内的粘接剂20固定于第一板47及板部41。因此，线圈5隔着第一板47在第一方向Z上与第一永磁体71对置。另外，第一板47通过粘接剂20固定于板部41。
另外，支承体2具有从第一方向Z的另一侧Z2与线圈配置孔410及板部41重叠的第二板48，线圈5通过至少填充于线圈5的空芯部50内的粘接剂20固定于第二板48。因此，线圈5隔着第二板48在第一方向Z上与第二永磁体72对置。另外，第二板48通过粘接剂20固定于板部41。
第一板47及第二板48由非磁性材料构成。在本实施方式中，第一板47及第二板48由金属板构成。更具体地说，第一板47及第二板48由非磁性的不锈钢板构成。
第一板47具有从第二方向X的两侧向第一方向Z的一侧Z1倾斜地突出的爪形的凸部472，凸部472以弹性与形成于侧板部414、415、418、419的槽状的凹部(未图示)的内部抵接，且被线圈保持架4保持。第二板48具有从第二方向X的两侧向第一方向Z的另一侧Z2倾斜地突出的爪形的凸部482，凸部482以弹性与形成于侧板部414、415、418、419的槽状的凹部414b、415b、418b、419b的内部抵接，且被线圈保持架4保持。
这样，在本实施方式的致动器1中，线圈5配置在沿第一方向Z贯通线圈保持架4的板部41的线圈配置孔410的内侧，并且第一板47配置为从第一方向Z的一侧Z1与线圈配置孔410及板部41重叠。因此，向线圈5的空芯部50填充粘接剂20时，粘接剂20流入线圈5和线圈保持架4之间、线圈5和第一板47之间及第一板47和线圈保持架4之间。因此，当粘接剂20固化时，线圈5、第一板47及线圈保持架4被粘接剂20固定。
(减震机构10的构成)
如图2、图3、图4及图5所示，可动体6由设置于支承体2和可动体6之间的减震机构10的减震部件9支承为可沿第二方向X及第三方向Y移动。因此，可动体6和支承体2之间没有配置沿第二方向X及第三方向Y可移动地支承可动体6的板簧等。因此，可动体6相对于支承体2的共振频率由减震部件9控制。
减震部件9设置于第一磁轭81和第一板47在第一方向Z上对置的部分。另外，减震部件9设置于第二磁轭82和第二板48在第一方向Z上对置的部分。因此，能够在不使用板状弹簧等的情况下，沿第二方向X可移动地支承可动体6。在本实施方式中，减震部件9是板状。更详细地说，减震部件9是平板状。
(减震部件9的详细构成)
图6是表示将图2等所示的减震部件9的一部分切割之后的样子的说明图。如图6所示，减震部件9具有凝胶状部件95和接合于凝胶状部件95的厚度方向上的一表面951的第一薄膜91。在本实施方式中，减震部件9还具有第二薄膜92，该第二薄膜92接合于凝胶状部件95的厚度方向上与一表面951相反的一侧的另一表面952。在此，因为第一薄膜91仅接合于凝胶状部件95的一表面951，第二薄膜92仅接合于凝胶状部件95的另一表面952，所以在凝胶状部件95中位于一表面951和另一表面952之间的侧面953处于敞开状态。
减震部件9的一表面951侧经由第一薄膜91通过粘接剂固定于支承体2及可动体6中的一方(第一部件)，减震部件9的另一表面952侧经由第二薄膜92通过粘接剂固定于支承体2及可动体6中的另一方(第二部件)。在凝胶状部件95沿厚度方向被压缩的状态下，减震部件9配置于可动体6和支承体2之间。图6所示的减震部件9是四边形的板状，但也可以是四边形以外的多边形或者圆形。
凝胶状部件95由硅凝胶等构成。例如，凝胶状部件95是基础聚合物为有机聚硅氧烷的有机硅凝胶。例如，凝胶状部件95由针入度为90度～110度的硅凝胶构成。针入度是指，像JIS-K-2207、JIS-K-2220中规定的那样，以1/10mm单位表示在25℃下施加了9.38g的总载荷的1/4锥形针5秒钟插入的深度的值，意味着该值越小则越硬。
第一薄膜91及第二薄膜92分别由塑料薄膜、金属薄膜以及金属薄膜和塑料薄膜的层叠薄膜等构成，且比凝胶状部件95薄。第一薄膜91及第二薄膜92各自具有柔性，在成型凝胶状部件95时接合于凝胶状部件95。作为构成第一薄膜91及第二薄膜92的塑料薄膜，可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯、丙烯酸树脂、聚醚醚酮等构成的薄膜。
例如，第一薄膜91及第二薄膜92的厚度分别为100μm以下。第一薄膜91及第二薄膜92优选厚度较薄的薄膜，因此理想的是，第一薄膜91及第二薄膜92的厚度为50μm以下，更理想的是，厚度为25μm以下。在本实施方式中，第一薄膜91及第二薄膜92的厚度为12μm以下。因此，即使将第一薄膜91及第二薄膜92接合于凝胶状部件95，也可以抑制减震部件9变厚。而且，在后面参照图7～图10描述的制造工序中，从模具部件100拆卸凝胶状部件95时，可以抑制第一薄膜91挂住框部110而使得凝胶状部件95难以拔出或者凝胶状部件95损坏的情况。
在减震部件9中，第一薄膜91的尺寸大于凝胶状部件95的一表面951，第一薄膜91的端部在四周从凝胶状部件95的侧面953伸出。第二薄膜92的尺寸大于凝胶状部件95的另一表面952，第二薄膜92的端部在四周从凝胶状部件95的侧面953伸出。因此，即使将减震部件9经由第一薄膜91粘接于第一部件(例如，支承体2)，粘接剂也不易附着到凝胶状部件95的侧面953。另外，即使将减震部件9经由第二薄膜92粘接于第二部件(例如，可动体6)，粘接剂也不易附着到凝胶状部件95的侧面953。另外，通过将第一薄膜91的尺寸形成得大于一表面951，在后面参照图7～图10描述的制造工序中，将模具部件100与第一大型薄膜910重叠时，可以防止框部110从第一薄膜91的端部脱落而载置。因此，在拆卸第一支承片96、模具部件100时，可以抑制凝胶状部件95被损坏。
(动作)
在本实施方式的致动器1中，经由供电基板11从外部(上位设备)向线圈5供电时，可动体6通过具备线圈5、第一永磁体71及第二永磁体72的磁驱动机构1a沿第二方向X往复移动。因此，手持致动器1的用户可以通过致动器1的振动获得信息。这时，关于施加在线圈5上的信号波形，例如，根据要传递的信息，改变频率。另外，关于施加在线圈5上的信号波形，虽然使极性翻转，但这时，在驱动信号的极性为负期间和为正期间针对电压的变化设定快慢的差别。其结果为，可动体6向第二方向X的一侧X1移动时的加速度和可动体6向第二方向X的另一侧X2移动时的加速度之间产生差别。因此，用户可以感觉到致动器1向第二方向X的一侧X1或另一侧X2移动。
另外，因为在可动体6和支承体2之间设置有具备凝胶状部件95的减震部件9，所以可以抑制可动体6共振。在此，因为减震部件9设置于支承体2和可动体6的在与第二方向X(振动方向)交叉的第一方向Z上对置的位置，所以在可动体6沿第二方向X振动时，凝胶状部件95沿凝胶状部件95的剪切方向变形以防止共振。因此，即使可动体6沿第二方向X振动，因为凝胶状部件95的弹性模量的变化小，所以依然可以有效地抑制可动体6的共振。即，凝胶状部件95是粘弹性部件，根据其伸缩方向而具备线性或非线性的伸缩特性。例如，凝胶状部件95在沿其厚度方向(轴向)被按压而压缩变形时，具备非线性分量大于线性分量(弹簧系数)的伸缩特性，另一方面，在沿厚度方向(轴向)拉伸而伸长时，具备线性分量(弹簧系数)大于非线性分量(弹簧系数)的伸缩特性。另外，凝胶状部件95在沿与厚度方向(轴向)交叉的方向(剪切方向)变形的情况下，因为无论沿哪个方向移动，都是被拉伸而伸长的方向上的变形，所以具有线性分量(弹簧系数)大于非线性分量(弹簧系数)的变形特性。在本实施方式中，构成为：当可动体6沿第二方向X振动时，凝胶状部件95沿剪切方向变形。因此，在凝胶状部件95中，当可动体6沿第二方向X振动时，在运动方向上产生的弹力恒定。因此，通过使用凝胶状部件95的剪切方向上的弹簧要素，可以提高振动加速度对于输入信号的再现性，所以可以实现具有细微差别的振动。
(减震部件9的制造方法)
图7、图8、图9及图10是表示图6所示的减震部件9的制造方法的工序剖视图。需要说明的是，在图7～图10中，从互相正交的方向观察时的样子大致相同。
在制造图6所示的减震部件9时，在图7所示的工序ST1中，将大于第一薄膜91的第一大型薄膜910经由UV(紫外线)固化性的第一粘接剂960固定于第一支承片96的一表面。第一支承片96例如是聚对苯二甲酸乙二醇酯等树脂片。
接着，在工序ST2(第一工序)中，在第一大型薄膜910上通过切刀(未图示)沿互相正交的两个方向形成切缝910a，将第一大型薄膜910分割成多个第一薄膜91。
接着，在工序ST3中，将第一支承片96经由UV固化性的第二粘接剂970固定于玻璃基板等第一支承板97上。接着，在工序ST4中，去除第一大型薄膜910中、在相邻的第一薄膜91之间被切缝910a夹着的边界部分910b。但是，也可以是不去除边界部分910b的方式。
接着，在图8所示的工序ST5(第二工序)中，将成型用的模具部件100的框部110重叠于第一薄膜91的端部(切缝910a)。在这种状态下，框部110的侧面111在第一薄膜91的端部附近与第一薄膜91重叠。
接着，在工序ST6(第三工序)中，在框部110的内侧填充未固化的凝胶材料950。凝胶材料950例如是二液混合型，具有常温固化性。在本实施方式中，作为凝胶材料950，例如，使用加成反应型硅凝胶，但也可以使用缩合反应型硅凝胶。
接着，在工序ST7(第四工序)中，从与第一薄膜91相反的一侧将罩部件94层叠在凝胶材料950及框部110上，使凝胶材料950和罩部件94密接。在本实施方式中，罩部件94是尺寸大于凝胶状部件95的第二大型薄膜920。在本实施方式中，将第二大型薄膜920层叠在凝胶材料950及框部110上之后，经由UV固化性的第三粘接剂980将第二支承片98固定在第二大型薄膜920上，然后，经由UV固化性的第四粘接剂990将玻璃基板等第二支承板99固定在第二支承片98上。第二支承片98例如是聚对苯二甲酸乙二醇酯等树脂片。在工序ST7中，也可以预先制作经由第三粘接剂980及第四粘接剂990将第二大型薄膜920、第二支承片98及第二支承板99固定而成的部件，从与第一薄膜91相反的一侧将其与凝胶材料950及框部110重叠。
接着，在图9所示的工序ST8(第五工序)中，使凝胶材料950固化并且在被框部110、第一薄膜91及罩部件94(第二大型薄膜920)围绕的空间内成型凝胶状部件95。在本实施方式中，凝胶材料950含有具有硅烷醇基等活性基的有机硅聚合物和利用活性基使有机硅聚合物交联的交联剂，交联剂使有机硅聚合物交联，使凝胶材料950固化，并且使凝胶状部件95与第一薄膜91及第二薄膜92结合。虽然凝胶材料950在常温下也能固化，但在本实施方式中，将凝胶材料950加热以促进固化。
接着，在工序ST9中，拆卸第一支承板97及第二支承板99。在本实施方式中，对第四粘接剂990照射紫外线等使第四粘接剂990的粘接力降低之后，拆卸第二支承板99，对第二粘接剂970照射紫外线使第二粘接剂970的粘接力降低之后，拆卸第一支承板97。
接着，在图10所示的工序ST10(第五工序)中，使第一支承片96侧和第二支承片98侧上下翻转之后，拆卸第一支承片96。在本实施方式中，对第一粘接剂960照射紫外线使第一粘接剂960的粘接力降低之后，拆卸第一支承片96。
接着，在工序ST11(第六工序)中，从第一薄膜91侧拆卸模具部件100。这时，因为模具部件100的框部110使第一薄膜91中从凝胶状部件95伸出的端部变形，所以不用对第一薄膜91和凝胶状部件95的接合面施加大的负荷就可以拆卸模具部件100。另外，如后面所描述的那样，将框部110的侧表面设为倾斜面，将框部110的宽度形成为随着远离第一薄膜91而变窄，由此从第一薄膜91侧拆卸模具部件100时，在框部110中从宽度宽的一侧先开始，所以不用对第一薄膜91和凝胶状部件95的接合面施加大的负荷，就可以拆卸模具部件100。
接着，在工序ST12中，在第二大型薄膜920上通过切刀150沿着框部110所在的位置形成切缝920a，切割第二大型薄膜920。其结果是，第二大型薄膜920被分割成多个第二薄膜92。因此，制造出第一薄膜91接合于凝胶状部件95的一表面951且第二薄膜92接合于另一表面952的减震部件9。
接着，在工序ST13中，只要对第三粘接剂980照射紫外线等使第三粘接剂980的粘接力降低之后，通过吸附头(未图示)吸附第二薄膜92侧，就可以在吸附头不接触凝胶状部件95的状态下输送减震部件9。需要说明的是，如果使用微粘接型粘接剂作为第一粘接剂960、第二粘接剂970、第三粘接剂980及第四粘接剂990，则不照射紫外线等也可以将各个粘接固定的薄膜等剥离。
(本实施方式的主要效果)
如上所述，根据本实施方式的减震部件9、减震机构10、致动器1及减震部件9的制造方法，因为减震部件9具备凝胶状部件95，所以能够通过凝胶状部件95有效地吸收振动。
在此，在凝胶状部件95的一表面951接合有第一薄膜91，在凝胶状部件95的另一表面952接合有第二薄膜92。因此，在组装致动器1时，减震部件9不易因自重等而过度弯曲。另外，因为凝胶状部件95的多个表面中、接合有第一薄膜91及第二薄膜92的一侧的表面(一表面951及另一表面952)没有吸附性(粘接性)，所以只要将接合有第一薄膜91或第二薄膜92的一侧的表面用作与输送部件的接触面，则可以容易地进行输送时的操作等。
另外，因为凝胶状部件95在模具部件100的框部110的内侧成型，所以不需要进行切割凝胶状部件95的工序。因此，不会发生凝胶状部件95吸附在切刀上而导致凝胶状部件95的裁剪尺寸、裁剪形状的精度降低等问题。而且，不会发生被切刀切割之后凝胶状部件95与相邻的凝胶状部件95密接、输送时的操作变得困难等问题。
另外，因为第一薄膜91及第二薄膜92接合于凝胶状部件95的一表面951及另一表面952，使得凝胶状部件95的侧面953处于敞开状态，所以第一薄膜91及第二薄膜92不易影响凝胶状部件95的变形。因此，即使将第一薄膜91及第二薄膜92接合于凝胶状部件95，也不易降低减震部件9的减震性能。
另外，在减震机构10及致动器1中，减震部件9的第一薄膜91及第二薄膜92分别与可动体6及支承体2粘接。因此，即使在凝胶状部件95具有难粘接的性质的情况下，也可以容易地粘接减震部件9。在此，第一薄膜91的尺寸大于凝胶状部件95的一表面951，第一薄膜91的端部在四周从凝胶状部件95的侧面953伸出。另外，第二薄膜92的尺寸大于凝胶状部件95的另一表面952，第二薄膜92的端部在四周从凝胶状部件95的侧面953伸出。因此，即使将减震部件9经由第一薄膜91粘接于部件上，粘接剂也不易附着到凝胶状部件95的侧面953。另外，即使将减震部件9经由第二薄膜92粘接于部件上，粘接剂也不易附着到凝胶状部件95的侧面953。因此，可以抑制由于粘接剂附着于凝胶状部件95的侧面而导致凝胶状部件95的侧面953的硬度(针入度)变化并且减震性能降低。
[本发明的变形例1]
图11是本发明的实施方式的变形例1所涉及的减震部件9的说明图。需要说明的是，因为本例及后面将描述的变形例2、3、4的基本构成与实施方式1相同，所以对共同的部分标注相同的符号并且省略对它们的说明。在参照图1～图10进行了说明的实施方式所涉及的减震部件9中，第一薄膜91及第二薄膜92接合于凝胶状部件95的两面。与此相对，在本实施方式中，如图11所示，在凝胶状部件95的一表面951接合有第一薄膜91，但在另一表面952没有接合第二薄膜92。在这种情况下，凝胶状部件95的一表面951侧经由第一薄膜91粘接于减震机构10的第一部件(例如，支承体2)。
与此相对，可以设为以下方式：凝胶状部件95的另一表面952侧通过凝胶状部件95本身的吸附力接合于减震机构10的第二部件(例如，可动体6)上。具体地说，在图8所示的工序ST7中，当层叠罩部件94时，作为罩部件94，如果将构成减震机构10的部件(可动体6的第一磁轭81或第二磁轭82)层叠，则在成型凝胶状部件95时可以将凝胶状部件95的另一表面952接合于可动体6。
[本发明的变形例2]
图12是本发明的实施方式的变形例2所涉及的减震部件9的说明图。在本实施方式中，如图12所示，在凝胶状部件95的一表面951接合有第一薄膜91，但在另一表面952没有接合第二薄膜92。在这种情况下，凝胶状部件95的一表面951侧经由第一薄膜91粘接于减震机构10的第一部件(例如，支承体2)上，凝胶状部件95的另一表面952粘接于减震机构10的第二部件(例如，可动体6)上。
例如，在图8所示的工序ST7中，层叠氟树脂等高脱模性的树脂片作为罩部件94，成型凝胶状部件95，之后，在图10所示的工序ST11中卸下模具部件100的状态下，将凝胶状部件95从罩部件94卸下，由此，可以制造这种形式的减震部件9。
[本发明的变形例3]
图13是本发明的实施方式的变形例3所涉及的减震部件9的说明图。在上述的实施方式等中，凝胶状部件95的两面(一表面951及另一表面952)是相同的尺寸。与此相对，在本实施方式中，将图8等所示的框部110的侧面111设为倾斜面，使框部110易于拔出。更具体地说，将框部110的宽度设为随着远离第一薄膜91而变窄。其结果为，如图13所示，凝胶状部件95的侧面953变为使一表面951的尺寸和另一表面952的尺寸不同的斜面。在本实施方式中，侧面953倾斜，使得侧面953的间隔从另一表面952侧朝向一表面951侧变窄，以使另一表面952的尺寸大于一表面951的尺寸。
[本发明的变形例4]
图14是本发明的实施方式的变形例4所涉及的减震部件9的说明图。在上述的实施方式等中，在图7所示的工序ST3中，因为去除了边界部分910b，所以第一薄膜91的尺寸小于第二薄膜92的尺寸。与此相对，在本实施方式中，在图7所示的工序ST3中，在相邻的第一薄膜91之间设置一条切缝910a，不去除边界部分910b。因此，如图14所示，第一薄膜91的尺寸和第二薄膜92的尺寸相等。
[其他实施方式]
在上述实施方式所涉及的减震机构10及致动器1中，在减震部件9中，凝胶状部件95的一表面951侧连接于支承体2(第一部件)，另一表面952连接于可动体6(第二部件)，但可动体6是第一部件、支承体2是第二部件的情况也可以应用本发明。在这种情况下，凝胶状部件95的一表面951侧连接于可动体6(第一部件)，另一表面952连接于支承体2(第二部件)。
在上述实施方式所涉及的减震机构10及致动器1中，采用了减震部件9通过粘接、接合等固定于可动体6及支承体2的形式，但例如也可以采用以下形式：凝胶状部件95以在板厚方向上被压缩的状态配置于可动体6和支承体2之间，并且减震部件9通过其反作用力与可动体6及支承体2相接。
在上述实施方式所涉及的致动器1中，线圈被支承体2保持，永磁体被可动体6保持，但永磁体被支承体2保持而线圈被可动体6保持的情况也可以应用本发明。
在上述实施方式中，在使可动体6在一个方向上振动的致动器1中应用了本发明，但本发明也可以应用于使可动体6在互相交叉的两个方向上振动的致动器。
在上述实施方式中，将减震部件9设置于致动器1，但是，在除了致动器1以外的设备中，也可以将本发明应用于配置在可动体和支承体之间的减震部件9。另外，在上述实施方式中，减震部件9设置为与可动体6及支承体2双方相接，但也可以将本发明应用于设置为仅与可动体6相接的减震部件9。在这种情况下，在减震部件9中，将薄膜接合于凝胶状部件95的可动体侧的表面，并且将减震部件9配置为薄膜与可动体相接。另外，也可以将薄膜粘接在可动体上。
在上述实施方式中，凝胶状部件95使用了硅凝胶，但使用其他凝胶时也可以应用本发明。
在上述实施方式中，以模具部件100的框部110的平面形状为方形的情况为例进行了说明，但是框部110的平面形状不限于方形，也可以是圆形、椭圆形、多边形以及其他任意的形状。

Claims (16)

1.一种减震部件，其特征在于，具有：
凝胶状部件；以及
第一薄膜，所述第一薄膜接合于所述凝胶状部件的厚度方向上的一表面，
位于所述凝胶状部件的另一表面和所述一表面之间的所述凝胶状部件的侧面处于敞开状态，所述另一表面在所述厚度方向上位于与所述一表面相反的一侧。
2.根据权利要求1所述的减震部件，其特征在于，
所述第一薄膜的尺寸大于所述一表面。
3.根据权利要求1或2所述的减震部件，其特征在于，
所述第一薄膜的厚度为100μm以下。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的减震部件，其特征在于，
在所述凝胶状部件的所述另一表面接合有第二薄膜。
5.根据权利要求4所述的减震部件，其特征在于，
所述第二薄膜的尺寸大于所述另一表面。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的减震部件，其特征在于，
所述侧面是使所述一表面的尺寸与所述另一表面的尺寸不同的斜面。
7.一种减震机构，具备权利要求1～6中任一项所述的减震部件，其特征在于，具有：
第一部件；以及
第二部件，所述第二部件相对于所述第一部件能移动，
所述减震部件的所述一表面侧经由所述第一薄膜粘接于所述第一部件，所述另一表面侧与所述第二部件相接。
8.一种减震机构，具备权利要求4或5所述的减震部件，其特征在于，具有：
第一部件；以及
第二部件，所述第二部件相对于所述第一部件能移动，
所述减震部件的所述一表面侧经由所述第一薄膜粘接于所述第一部件，所述另一表面侧经由所述第二薄膜粘接于所述第二部件。
9.一种减震机构，具备权利要求1～3中任一项所述的减震部件，其特征在于，具有：
第一部件；以及
第二部件，所述第二部件相对于所述第一部件能移动，
所述减震部件的所述一表面侧经由所述第一薄膜粘接于所述第一部件，在所述另一表面侧，所述凝胶状部件的所述另一表面与所述第二部件相接。
10.根据权利要求9所述的减震机构，其特征在于，
所述凝胶状部件的所述另一表面通过所述凝胶状部件本身的吸附力密接于所述第二部件。
11.根据权利要求9所述的减震机构，其特征在于，
所述凝胶状部件的所述另一表面粘接于所述第二部件。
12.一种致动器，具备权利要求7～11中任一项所述的减震机构，其特征在于，
具有使所述第二部件相对于所述第一部件相对移动的磁驱动机构。
13.一种减震部件的制造方法，制造权利要求1所述的减震部件，其特征在于，具有：
第一工序，将大于所述第一薄膜的第一大型薄膜分割成所述第一薄膜；
第二工序，将成型用的模具部件的框部与所述第一薄膜的端部重叠；
第三工序，在所述框部的内侧填充未固化的凝胶材料；
第四工序，从与所述第一薄膜相反的一侧将罩部件重叠于所述凝胶材料及所述框部；
第五工序，使所述凝胶材料固化并且在被所述框部、所述第一薄膜及所述罩部件围绕的空间内成型所述凝胶状部件；以及
第六工序，拆卸所述模具部件，
获得所述第一薄膜接合于所述凝胶状部件的所述一表面的所述减震部件。
14.根据权利要求13所述的减震部件的制造方法，其特征在于，
所述罩部件是尺寸大于所述凝胶状部件的第二大型薄膜，
在所述第六工序中，从所述第一薄膜侧拆卸所述模具部件，
在所述第六工序之后，沿着所述框部所在的部位切割所述第二大型薄膜，获得第二薄膜接合于所述凝胶状部件的在所述厚度方向上与所述一表面相反的一侧的另一表面的所述凝胶状部件。
15.根据权利要求13所述的减震部件的制造方法，其特征在于，
所述罩部件是构成减震机构的一部分的部件。
16.根据权利要求13～15中任一项所述的减震部件的制造方法，其特征在于，
将所述框部的侧面制成倾斜面，
将所述减震部件的侧面设为斜面。
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