JP2020122540A - ダンパ部材、ダンパ機構、アクチュエータおよびダンパ部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】共振の抑制等にゲル状部材を利用した場合でも、取扱いが容易なダンパ部材、ダンパ機構、アクチュエータおよびダンパ部材の製造方法を提供すること。【解決手段】アクチュエータにおいて、第１部材と第２部材との間に構成されるダンパ機構のダンパ部材９は、ゲル状部材９５と、ゲル状部材９５の一方面９５１に接合された第１フィルム９１と、ゲル状部材９５の他方面９５２に接合された第２フィルム９２とを有しており、側面９５３は、開放状態にある。ダンパ部材９の一方面９５１の側は、第１フィルム９１を介して第１部材に接着剤によって固定され、ダンパ部材９の他方面９５２の側は、第２フィルム９２を介して第２部材に接着剤によって固定される。第１フィルム９１は、ゲル状部材９５の一方面９５１よりサイズが大きく、第１フィルム９１の端部は、全周にわたってゲル状部材９５の側面９５３から張り出している。【選択図】図６

Description

本発明は、ゲル状部材を備えたダンパ部材、ダンパ機構、アクチュエータおよびダンパ部材の製造方法に関するものである。

磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、コイルを保持する支持体と、支持体に対してダンパ部材を介して支持された可動体とを有するアクチュエータが提案されており、可動体には永久磁石が設けられる。また、アクチュエータには、可動体と支持体との間にシリコーンゲル等のゲル状部材からなるダンパ部材が設けられ、可動体を駆動した際の共振を防止する（特許文献１参照）。

一方、ゲル状部材を２つのフィルムで完全に覆った構造が提案されている（特許文献２参照）。

特開２０１６−１２７７８９号公報 特開２０１５−８５６８２号公報

特許文献１に記載のダンパ部材としてシリコーンゲル等のゲル状部材を用いると、それ自身が吸着性を有するため、ダンパ部材の取扱いが容易でない。例えば、ゲル状部材をテーブル上で分割した後、ゲル状部材をテーブルから吸着ヘッドで１つずつ吸着して搬送しようとした際、ゲル状部材がテーブルに吸着してしまい、搬送を容易に行えないという問題点がある。一方、特許文献２に記載の構成のように、ゲル状部材を２つのフィルムで完全に覆った構造では、ゲル状部材が変形するとともにフィルムも変形するため、特許文献１に記載のダンパ部材として用いた場合、共振周波数にフィルムが影響し、ダンパ性能が低下するという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、共振の抑制等にゲル状部材を利用した場合でも、取扱いが容易なダンパ部材、ダンパ機構、アクチュエータおよびダンパ部材の製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るダンパ部材の一態様は、ゲル状部材と、前記ゲル状部材の厚さ方向の一方面に接合された第１フィルムと、を有し、前記ゲル状部材の前記厚さ方向の前記一方面とは反対側の他方面と前記一方面との間に位置する前記ゲル状部材の側面が開放状態にあることを特徴とする。

本発明に係るダンパ部材は、ゲル状部材を備えており、振動をゲル状部材によって効率よく吸収することができる。また、ゲル状部材には第１フィルムが接合されている。このため、ゲル状部材の複数の面のうち、第１フィルムが接合されている側の面は吸着性を有しないので、第１フィルムが接合されている側の面を搬送部材との接触面として利用すれば、搬送時の取扱い等を容易に行うことができる。また、第１フィルムは、ゲル状部材の側面が開放状態になるようにゲル状部材の一方面に接合されているため、第１フィルムは、ゲル状部材の変形に影響を及ぼしにくい。従って、ゲル状部材の一方面に第１フィルム
を接合しても、ダンパ部材のダンパ性能を低下させにくい。

本発明において、前記第１フィルムは、前記一方面よりサイズが大きい態様を採用することができる。かかる態様によれば、ダンパ部材を第１フィルムを介して部材に接着しても、接着剤がゲル状部材の側面に付着しにくいので、接着剤がゲル状部材の側面に付着することが原因でダンパ性能が低下することを抑制することができる。

本発明において、前記第１フィルムは、厚さが１００μｍ以下である態様を採用することができる。かかる態様によれば、ゲル状部材の一方面に第１フィルムを接合しても、ダンパ部材が厚くなることを抑制することができる。

本発明において、前記ゲル状部材の前記他方面には第２フィルムが接合されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ダンパ部材の両面が吸着性を有していないので、ダンパ部材の搬送時の取扱い等を容易に行うことができる。

本発明において、前記第２フィルムは、前記他方面よりサイズが大きい態様を採用することができる。かかる態様によれば、ダンパ部材を第２フィルムを介して部材に接着しても、接着剤がゲル状部材の側面に付着しにくいので、接着剤がゲル状部材の側面に付着することが原因でダンパ性能が低下することを抑制することができる。

本発明において、前記側面は、前記一方面のサイズと前記他方面のサイズとを相違させる斜面になっている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ゲル状部材を成形した際、型材とゲル状部材とを容易に分離させることができる。

本発明に係るダンパ部材を備えたダンパ機構の一態様は、第１部材と、前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、を有し、前記ダンパ部材は、前記一方面の側が前記第１フィルムを介して前記第１部材に接着され、前記他方面の側は前記第２部材に接していることを特徴とする。

本発明に係るダンパ部材を備えたダンパ機構の別の態様は、第１部材と、前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、を有し、前記ダンパ部材は、前記一方面の側が前記第１フィルムを介して前記第１部材に接着され、前記他方面の側は、前記第２フィルムを介して前記第２部材に接着されていることを特徴とする。

本発明に係るダンパ部材を備えたダンパ機構のさらに別の態様は、第１部材と、前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、を有し、前記ダンパ部材は、前記一方面の側が前記第１フィルムを介して前記第１部材に接着され、前記他方面の側は、前記ゲル状部材の前記他方面が前記第２部材に接していることを特徴とする。

この場合、本発明に係るダンパ機構では、前記ゲル状部材の前記他方面が、前記ゲル状部材自身の吸着力によって前記第２部材に密着している態様を採用することができる。

また、本発明に係るダンパ機構では、前記ゲル状部材の前記他方面が、前記第２部材に接着されている態様を採用してもよい。

本発明に係るダンパ機構を備えたアクチュエータの一態様は、前記第１部材に対して前記第２部材を相対移動させる磁気駆動機構を有する態様を採用することができる。

本発明に係るダンパ部材の製造方法の一態様は、前記第１フィルムより大きな第１大型フィルムを前記第１フィルムに分割する第１工程と、成形用の型部材の枠部を前記第１フ
ィルムの端部に重ねる第２工程と、前記枠部の内側に未硬化のゲル材料を充填する第３工程と、前記ゲル材料および前記枠部に対して前記第１フィルムと反対側からカバー部材を重ねる第４工程と、前記ゲル材料を硬化させて前記枠部、前記第１フィルムおよび前記カバー部材に囲まれた空間内で前記ゲル状部材を成形する第５工程と、前記型部材を外す第６工程と、を有し、前記ゲル状部材の前記一方面に前記第１フィルムが接合された前記ダンパ部材を得ることを特徴とする。かかる態様によれば、ゲル状部材を所定のサイズに切断する工程を行う必要がない。このため、ゲル状部材を切断する際、ゲル状部材がカッターに吸着することが原因で、作業効率が低下するという問題やゲル状部材の寸法精度が低下するという問題が発生しない。

本発明に係るダンパ部材の製造方法において、前記カバー部材は、前記ゲル状部材よりサイズの大きな第２大型フィルムであり、前記第６工程では、前記第１フィルムの側から前記型部材を外し、前記第６工程の後、前記枠部が位置していた個所に沿って前記第２大型フィルムを切断して、前記ゲル状部材の前記厚さ方向の前記一方面とは反対側の他方面に第２フィルムが接合された前記ゲル状部材を得る態様を採用することができる。

本発明に係るダンパ部材の製造方法において、前記カバー部材は、ダンパ機構の一部を構成する部材である態様を採用することができる。

本発明に係るダンパ部材の製造方法において、前記枠部の側面を傾斜面にしておき、前記ダンパ部材の側面を斜面とする態様を採用することができる。

本発明に係るダンパ部材は、ゲル状部材を備えているが、ゲル状部材には第１フィルムが接合されている。このため、ゲル状部材の複数の面のうち、第１フィルムが接合されている側の面は吸着性を有しないので、第１フィルムが接合されている側の面を搬送部材との接触面として利用すれば、搬送時の取扱い等を容易に行うことができる。また、第１フィルムは、ゲル状部材の側面が開放状態になるようにゲル状部材の一方面に接合されているため、第１フィルムは、ゲル状部材の変形に影響を及ぼしにくい。従って、ゲル状部材の一方面に第１フィルムを接合しても、ダンパ部材のダンパ性能を低下させにくい。

本発明の実施形態１に係るアクチュエータの一態様を示す斜視図。 図１に示すアクチュエータのＹＺ断面図。 図１に示すアクチュエータの分解斜視図。 図１に示すアクチュエータを支持体と可動体とに分解した分解斜視図。 図４に示す支持体を第１方向の他方側からみた分解斜視図。 図２等に示すダンパ部材の一部を切断した様子を示す説明図。 図６に示すダンパ部材の製造方法を示す工程断面図。 図６に示すダンパ部材の製造方法を示す工程断面図。 図６に示すダンパ部材の製造方法を示す工程断面図。 図６に示すダンパ部材の製造方法を示す工程断面図。 本発明の実施形態の変形例１に係るダンパ部材の説明図。 本発明の実施形態の変形例２に係るダンパ部材の説明図。 本発明の実施形態の変形例３に係るダンパ部材の説明図。 本発明の実施形態の変形例４に係るダンパ部材の説明図。

図面を参照して、本発明を適用したダンパ部材９、ダンパ機構１０、アクチュエータ１およびダンパ部材９の製造方法を説明する。以下の説明では、アクチュエータ１のダンパ
機構１０に用いたダンパ部材９を中心に説明する。また、ダンパ機構１０では、第１部材と、第１部材に対して相対移動可能な第２部材との間にダンパ部材９が配置されているが、以下の説明では、第１部材が支持体２で、第２部材が可動体６である場合を中心に説明する。また、アクチュエータ１では、支持体２および可動体６のうちの一方側部材にコイルが保持され、他方側部材に磁石が保持されているが、コイルを保持する一方側部材が支持体２であって、永久磁石を保持する他方側部材が可動体６である場合を中心に説明する。

［アクチュエータおよびダンパ機構の構成例］
アクチュエータに関する以下の説明において、可動体６の直動方向（振動方向）にＸを付し、第２方向Ｘと交差する第１方向にＺを付し、第１方向Ｚおよび第２方向Ｘに対して交差する第３方向にＹを付して説明する。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付して説明する。

（アクチュエータ１の全体構成）
図１は、本発明を適用したアクチュエータ１の一態様を示す斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＹＺ断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を支持体２と可動体６とに分解した分解斜視図である。図５は、図４に示す支持体２を第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみた分解斜視図である。

図１に示すアクチュエータ１は、アクチュエータ１を手にした利用者に対して第２方向Ｘの振動によって情報を報知する。従って、アクチュエータ１は、ゲーム機の操作部材等として利用することができ、振動等によって新たな感覚を実感することができる触覚デバイスとして機能する。但し、アクチュエータ１の用途は、触覚デバイス等の情報伝達装置に限定されるものではない。

図２、図３、図４および図５に示すように、アクチュエータ１は、アクチュエータ１の外形を規定する角形のケース３等を含む支持体２と、ケース３の内部で支持体２に対して第２方向Ｘに相対移動可能に支持された可動体６とを有しており、可動体６が第２方向Ｘに振動することによって情報を出力する。

支持体２は、ケース３、コイルホルダ４、コイル５、給電基板１１を有しており、可動体６は、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）、およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を有している。コイル５および永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）は、可動体６を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構１ａを構成している。可動体６は、可動体６と支持体２との間に設けられたダンパ部材９を介して支持体２に支持されており、ダンパ部材９は、可動体６と支持体２との間にダンパ機構１０を構成している。

（可動体６の構成）
図２、図３および図４に示すように、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置された第１ヨーク８１と、コイル５に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向するように第１ヨーク８１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に保持された平板状の第１永久磁石７１とを有している。また、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された第２ヨーク８２と、コイル５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向するように第２ヨーク８２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に保持された平板状の第２永久磁石７２とを有している。本実施形態において、可動体６は、第１ヨーク８１、第１永久磁石７１、第２ヨー
ク８２、および第２永久磁石７２によって構成されている。

第１ヨーク８１は、第１永久磁石７１が固定された平板部８１１と、平板部８１１の第２方向Ｘの両側の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった一対の連結部８１２とを有している。第２ヨーク８２は、第２永久磁石７２が固定された平板部８２１を有しており、平板部８２１の第３方向Ｙの中間部分には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に張り出した一対の張り出し部８２２を有している。一対の張り出し部８２２には、第１ヨーク８１の一対の連結部８１２が溶接等の方法で連結されている。第１永久磁石７１および第２永久磁石７２は各々、第１方向の一方側Ｘ１と第１方向の他方側Ｘ２とが異なる極に着磁されている。

（支持体２の構成）
図１および図２に示すように、支持体２において、ケース３は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１ケース部材３１と、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第１ケース部材３１と重なる第２ケース部材３２とを有しており、第１ケース部材３１の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３１１に、第２ケース部材３２の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３２１が各々、連結されてケース３を構成する。その際、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２との間には、図２および図５に示すコイルホルダ４、コイル５および可動体６が収容される。

図５に示すように、コイル５は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルであり、コイルホルダ４に保持されている。コイル５は、第２方向Ｘで並列して第３方向Ｙに延在する２つの長辺部５１と、２つの長辺部５１の第３方向Ｙの両端を繋ぐ円弧状の２つの短辺部５２とを備えている。このように構成したコイル５に対して、長辺部５１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１で第１永久磁石７１が対向し、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第２永久磁石７２が対向している。コイルホルダ４は、コイル５が内側に配置される長円状の貫通穴からなるコイル配置穴４１０が第１方向Ｚで開口する板部４１を有している。

板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１において、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて側板部４１３が突出し、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１４、４１５が突出している。側板部４１４、４１５の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部４１４ｂ、４１５ｂが形成されている。側板部４１４、４１５の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１にも同様な溝状の凹部（図示せず）が形成されている。

板部４１の第３方向Ｙの他方側Ｙ２の端部４１２において、第３方向Ｙの他方側Ｙ２の縁、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１７、４１８、４１９が突出している。側板部４１８、４１９の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部４１８ｂ、４１９ｂが形成されている。また、側板部４１８、４１９の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１にも同様な溝状の凹部（図示せず）が形成されている。

側板部４１４、４１５にはスリット４１４ｔ、４１５ｔが形成されている。スリット４１４ｔ、４１５ｔには、給電基板１１の両側の端部１１ａ、１１ｂが保持されている。給電基板１１には、コイル５を構成するコイル線の端部５６、５７がハンダ等により接続されている。

（第１プレート４７および第２プレート４８の構成）
図２、図４、および図５に示すように、支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なる第１プレート４７を有しており、少なくともコイル５の空芯部５０に充填された接着剤２０によって、コイル５は、第１プレート４７および板部４１に固定されている。従って、コイル５は、第１プレート４７を介して第１永久磁石７１と第１方向Ｚで対向している。また、接着剤２０によって、第１プレート４７は板部４１に固定されている。

また、支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２プレート４８を有しており、少なくともコイル５の空芯部５０に充填された接着剤２０によって、コイル５は、第２プレート４８に固定されている。従って、コイル５は、第２プレート４８を介して第２永久磁石７２と第１方向Ｚで対向している。また、接着剤２０によって、第２プレート４８は板部４１に固定されている。

第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性材料からなる。本実施形態において、第１プレート４７および第２プレート４８は、金属板からなる。より具体的には、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性のステンレンス板からなる。

第１プレート４７は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に斜めに突出した爪状の凸部４７２を有しており、凸部４７２は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部（図示せず）の内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。第２プレート４８は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に斜めに突出した爪状の凸部４８２を有しており、凸部４８２は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。

このように、本実施形態のアクチュエータ１は、コイルホルダ４の板部４１を第１方向Ｚで貫通するコイル配置穴４１０の内側にコイル５が配置されているとともに、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なるように第１プレート４７が配置されている。このため、コイル５の空芯部５０に接着剤２０を充填すると、接着剤２０は、コイル５とコイルホルダ４との間、コイル５と第１プレート４７との間、および第１プレート４７とコイルホルダ４との間に流れ込む。従って、接着剤２０を硬化させると、コイル５、第１プレート４７、およびコイルホルダ４が接着剤２０によって固定される。

（ダンパ機構１０の構成）
図２、図３、図４および図５に示すように、可動体６は、支持体２と可動体６との間に設けられたダンパ機構１０のダンパ部材９によって第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持されている。従って、可動体６と支持体２との間は、可動体６を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持する板バネ等が配置されていない。それ故、支持体２に対する可動体６の共振周波数は、ダンパ部材９によって制御されている。

ダンパ部材９は、第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。また、ダンパ部材９は、第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。従って、板状バネ等を用いずに、可動体６を第２方向Ｘに移動可能に支持することができる。本実施形態において、ダンパ部材９は板状である。より詳しくは、ダンパ部材９は平板状である。

（ダンパ部材９の詳細構成）
図６は、図２等に示すダンパ部材９の一部を切断した様子を示す説明図である。図６に示すように、ダンパ部材９は、ゲル状部材９５と、ゲル状部材９５の厚さ方向の一方面９
５１に接合された第１フィルム９１とを有している。本形態において、ダンパ部材９は、さらに、ゲル状部材９５の一方面９５１に対して厚さ方向の反対側の他方面９５２に接合された第２フィルム９２を有している。ここで、第１フィルム９１は、ゲル状部材９５の一方面９５１のみに接合され、第２フィルム９２は、ゲル状部材９５の他方面９５２のみに接合されているため、ゲル状部材９５において一方面９５１と他方面９５２の間に位置する側面９５３は、開放状態にある。

ダンパ部材９の一方面９５１の側は、第１フィルム９１を介して支持体２および可動体６の一方（第１部材）に接着剤によって固定され、ダンパ部材９の他方面９５２の側は、第２フィルム９２を介して支持体２および可動体６の他方（第２部材）に接着剤によって固定される。ダンパ部材９は、ゲル状部材９５が厚さ方向に圧縮された状態で可動体６と支持体２との間に配置されている。図６に示すダンパ部材９は四角形の板状であるが、四角形以外の多角形、あるいは円形であってもよい。

ゲル状部材９５は、シリコーンゲル等からなる。例えば、ゲル状部材９５は、ベースポリマーがオルガノポリシロキサンであるシリコーンゲルである。ゲル状部材９５は、例えば、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されているように、２５℃で９．３８ｇの総荷重をかけた１／４コーンの針が５秒間に入り込む深さを１／１０ｍｍ単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。

第１フィルム９１および第２フィルム９２は各々、プラスチックフィルム、金属フィルム、金属フィルムとプラスチックフィルムとの積層フィルム等からなり、ゲル状部材９５より薄い。第１フィルム９１および第２フィルム９２は各々、可撓性を有しており、ゲル状部材９５を成形する際にゲル状部材９５に接合される。第１フィルム９１および第２フィルム９２を構成するプラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリエーテルエーテルケトン等からなるフィルムを用いることができる。

第１フィルム９１および第２フィルム９２は各々、例えば１００μｍ以下の厚さである。第１フィルム９１および第２フィルム９２は、厚さが薄い方が好ましいことから、第１フィルム９１および第２フィルム９２は、厚さが５０μｍ以下であることが好ましく、厚さが２５μｍ以下であることがさらに好ましい。本形態において、第１フィルム９１および第２フィルム９２は、厚さが１２μｍ以下である。従って、ゲル状部材９５に第１フィルム９１および第２フィルム９２を接合しても、ダンパ部材９が厚くなることを抑制することができる。さらに、図７〜図１０を参照して後述する製造工程において、型部材１００からゲル状部材９５を外す際に、第１フィルム９１が枠部１１０に引っかかり、ゲル状部材９５が抜けにくくなったり、ゲル状部材９５が破損したりすることを抑制できる。

ダンパ部材９において、第１フィルム９１は、ゲル状部材９５の一方面９５１よりサイズが大きく、第１フィルム９１の端部は、全周にわたってゲル状部材９５の側面９５３から張り出している。第２フィルム９２は、ゲル状部材９５の他方面９５２よりサイズが大きく、第２フィルム９２の端部は、全周にわたってゲル状部材９５の側面９５３から張り出している。このため、ダンパ部材９を第１フィルム９１を介して第１部材（例えば、支持体２）に接着しても、接着剤がゲル状部材９５の側面９５３に付着しにくい。また、ダンパ部材９を第２フィルム９２を介して第２部材（例えば、可動体６）に接着しても、接着剤がゲル状部材９５の側面９５３に付着しにくい。また、第１フィルム９１を一方面９５１よりサイズを大きく形成することにより、図７〜図１０を参照して後述する製造工程において、型部材１００を第１大型フィルム９１０に重ねる際に、枠部１１０が第１フィルム９１の端部から外れて載置されることを防止できる。このため、第１支持シート９６や型部材１００を外す際に、ゲル状部材９５が破損したりすることを抑制できる。

（動作）
本実施形態のアクチュエータ１において、給電基板１１を介して外部（上位の機器）からコイル５に給電すると、コイル５、第１永久磁石７１および第２永久磁石７２を備えた磁気駆動機構１ａによって、可動体６が第２方向Ｘに往復移動する。従って、アクチュエータ１を手に持っていた利用者は、アクチュエータ１からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル５に印加される信号波形については、例えば、伝達すべき情報によって、周波数を変化させる。また、コイル５に印加される信号波形については極性を反転させるが、その際、駆動信号の極性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体６が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する際の加速度と可動体６が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、アクチュエータ１が第２方向Ｘの一方側Ｘ１あるいは他方側Ｘ２に移動するような感覚を得ることができる。

また、可動体６と支持体２との間にはゲル状部材９５を備えたダンパ部材９が設けられているため、可動体６が共振することを抑制することができる。ここで、ダンパ部材９は、支持体２と可動体６とにおいて第２方向Ｘ（振動方向）に対して交差する第１方向Ｚで対向する位置に設けられているため、ゲル状部材９５は、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、ゲル状部材９５のせん断方向に変形して共振を防止する。このため、可動体６が第２方向Ｘに振動しても、ゲル状部材９５の弾性率の変化が小さいので、可動体６の共振を効果的に抑制することができる。すなわち、ゲル状部材９５は、粘弾性部材であって、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、ゲル状部材９５は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、ゲル状部材９５は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。本実施形態において、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、ゲル状部材９５は、せん断方向に変形するように構成されている。従って、ゲル状部材９５では、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、ゲル状部材９５のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

（ダンパ部材９の製造方法）
図７、図８、図９、および図１０は、図６に示すダンパ部材９の製造方法を示す工程断面図である。なお、図７〜図１０において、互いに直交する方向からみたときの様子は略同様である。

図６に示すダンパ部材９を製造するにあたっては、図７に示す工程ＳＴ１おいては、第１フィルム９１より大きな第１大型フィルム９１０を、ＵＶ硬化性の第１粘着剤９６０を介して第１支持シート９６の一方面に固定する。第１支持シート９６は、例えば、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂シートである。

次に、工程ＳＴ２（第１工程）では、カッター（図示せず）によって第１大型フィルム９１０に切れ目９１０ａを互いに直交する２方向に入れて、第１大型フィルム９１０を複数の第１フィルム９１に分割する。

次に、工程ＳＴ３では、第１支持シート９６を、ＵＶ硬化性の第２粘着剤９７０を介してガラス基板等の第１支持板９７に固定する。次に、工程ＳＴ４では、第１大型フィルム
９１０のうち、隣り合う第１フィルム９１の間で切れ目９１０ａによって挟まれた境界部分９１０ｂを除去する。但し、境界部分９１０ｂを除去しない態様であってもよい。

次に、図８に示す工程ＳＴ５（第２工程）では、成形用の型部材１００の枠部１１０を第１フィルム９１の端部（切れ目９１０ａ）に重ねる。この状態で、枠部１１０の側面１１１は、第１フィルム９１の端部付近で第１フィルム９１と重なっている。

次に、工程ＳＴ６（第３工程）では、枠部１１０の内側に未硬化のゲル材料９５０を充填する。ゲル材料９５０は、例えば、２液混合型であり、常温硬化性を有している。本形態では、ゲル材料９５０として、例えば、付加反応型のシリコーンゲルを用いたが、縮合反応型のシリコーンゲルを用いることもできる。

次に、工程ＳＴ７（第４工程）では、ゲル材料９５０および枠部１１０に対して第１フィルム９１と反対側からカバー部材９４を重ね、ゲル材料９５０とカバー部材９４とを密着させる。本形態において、カバー部材９４は、ゲル状部材９５よりサイズの大きな第２大型フィルム９２０である。本形態では、ゲル材料９５０および枠部１１０に対して第２大型フィルム９２０を重ねた後、第２大型フィルム９２０に対して、ＵＶ硬化性の第３粘着剤９８０を介して第２支持シート９８を固定し、さらに、第２支持シート９８に対して、ＵＶ硬化性の第４粘着剤９９０を介してガラス基板等の第２支持板９９を固定する。第２支持シート９８は、例えば、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂シートである。工程ＳＴ７においては、第２大型フィルム９２０、第２支持シート９８および第２支持板９９が、第３粘着剤９８０および第４粘着剤９９０を介して固定された部材を予め作成しておき、それをゲル材料９５０および枠部１１０に対して第１フィルム９１と反対側から重ねるようにしてもよい。

次に、図９に示す工程ＳＴ８（第５工程）では、ゲル材料９５０を硬化させて枠部１１０、第１フィルム９１およびカバー部材９４（第２大型フィルム９２０）に囲まれた空間内でゲル状部材９５を成形する。本形態において、ゲル材料９５０は、シラノール基等の活性基を有するシリコーンポリマーと、活性基を利用してシリコーンポリマーを架橋させる架橋剤とを含んでおり、架橋剤は、シリコーンポリマーを架橋させて、ゲル材料９５０を硬化させるとともに、ゲル状部材９５を第１フィルム９１および第２フィルム９２と結合させる。ゲル材料９５０は常温でも硬化可能であるが、本形態では、ゲル材料９５０を加熱して、硬化を促進する。

次に、工程ＳＴ９では、第１支持板９７および第２支持板９９を外す。本形態では、第４粘着剤９９０にＵＶ等を照射して第４粘着剤９９０の粘着力を低下させた後、第２支持板９９を外し、第２粘着剤９７０にＵＶを照射して第２粘着剤９７０の粘着力を低下させた後、第１支持板９７を外す。

次に、図１０に示す工程ＳＴ１０（第５工程）では、第１支持シート９６の側と第２支持シート９８の側とを上下反転させた後、第１支持シート９６を外す。本形態では、第１粘着剤９６０にＵＶを照射して第１粘着剤９６０の粘着力を低下させた後、第１支持シート９６を外す。

次に、工程ＳＴ１１（第６工程）では、第１フィルム９１の側から型部材１００を外す。その際、型部材１００の枠部１１０は、第１フィルム９１のうち、ゲル状部材９５から張り出している端部を変形させるので、第１フィルム９１とゲル状部材９５との接合面に大きな負荷をかけずに、型部材１００を外すことができる。また、第１フィルム９１の側から型部材１００を外す際、枠部１１０において幅が広い方が先行するので、第１フィルム９１とゲル状部材９５との接合面に大きな負荷をかけずに、型部材１００を外すことが
できる。

次に、工程ＳＴ１２では、カッター１５０によって、枠部１１０が位置していた個所に沿って第２大型フィルム９２０に切れ目９２０ａを入れて第２大型フィルム９２０を切断する。その結果、第２大型フィルム９２０は、複数の第２フィルム９２に分割される。従って、ゲル状部材９５の一方面９５１に第１フィルム９１が接合され、他方面９５２に第２フィルム９２が接合されたダンパ部材９が製造される。

次に、工程ＳＴ１３では、第３粘着剤９８０にＵＶ等を照射して第３粘着剤９８０の粘着力を低下させた後、吸着ヘッド（図示せず）によって、第２フィルム９２の側を吸着すれば、吸着ヘッドがゲル状部材９５に接しない状態でダンパ部材９を搬送することができる。なお、第１粘着剤９６０、第２粘着剤９７０、第３粘着剤９８０、第４粘着剤９９０として微粘着タイプの粘着剤を使用すれば、ＵＶ等を照射しなくても、それぞれが粘着固定しているフィルム等を剥がすことができる。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のダンパ部材９、ダンパ機構１０、アクチュエータ１、およびダンパ部材９の製造方法によれば、ダンパ部材９がゲル状部材９５を備えているため、振動をゲル状部材９５によって効率よく吸収することができる。

ここで、ゲル状部材９５の一方面９５１には第１フィルム９１が接合され、ゲル状部材９５の他方側の面には第２フィルム９２が接合されている。このため、ダンパ部材９は、アクチュエータ１を組み立てる際、自重等によって過度に撓みにくい。また、ゲル状部材９５の複数の面のうち、第１フィルム９１および第２フィルム９２が接合されている側の面（一方面９５１、および他方面９５２）は吸着性（粘着性）を有しないので、第１フィルム９１、あるいは第２フィルム９２が接合されている側の面を搬送部材との接触面として利用すれば、搬送時の取扱い等を容易に行うことができる。

また、ゲル状部材９５は、型部材１００の枠部１１０の内側で成形されるため、ゲル状部材９５を切断する工程を行う必要がない。従って、ゲル状部材９５がカッターに吸着して、ゲル状部材９５の裁断寸法や裁断形状の精度が低下する等の問題が発生しない。さらに、カッターによる切断後にゲル状部材９５が隣のゲル状部材９５と密着して搬送時の取り扱いが困難になる等の問題も発生しない。

また、第１フィルム９１、および第２フィルム９２は、ゲル状部材９５の側面９５３が開放状態になるようにゲル状部材９５の一方面９５１および他方面９５２に接合されているため、第１フィルム９１、および第２フィルム９２は、ゲル状部材９５の変形に影響を及ぼしにくい。従って、ゲル状部材９５に第１フィルム９１、および第２フィルム９２を接合しても、ダンパ部材９のダンパ性能を低下させにくい。

また、ダンパ機構１０およびアクチュエータ１において、ダンパ部材９は、第１フィルム９１および第２フィルム９２が各々、可動体６および支持体２と接着されている。このため、ゲル状部材９５は接着しにくいという性質を有する場合でも、ダンパ部材９を容易に接着することができる。ここで、第１フィルム９１は、ゲル状部材９５の一方面９５１よりサイズが大きく、第１フィルム９１の端部は、全周にわたってゲル状部材９５の側面９５３から張り出している。また、第２フィルム９２は、ゲル状部材９５の他方面９５２よりサイズが大きく、第２フィルム９２の端部は、全周にわたってゲル状部材９５の側面９５３から張り出している。このため、ダンパ部材９を第１フィルム９１を介して部材に接着しても、接着剤がゲル状部材９５の側面９５３に付着しにくい。また、ダンパ部材９を第２フィルム９２を介して部材に接着しても、接着剤がゲル状部材９５の側面９５３に
付着しにくい。従って、接着剤がゲル状部材９５の側面に付着することが原因で、ゲル状部材９５の側面９５３の硬度（針入度）が変動してダンパ性能が低下することを抑制することができる。

［本発明の変形例１］
図１１は、本発明の実施形態の変形例１に係るダンパ部材９の説明図である。なお、本例、および後述する変形例２、３、４の基本的な構成は、実施形態１と同様であるため、共通する部分に同一の符号を付してそれらの説明を省略する。図１から図１０を参照して説明した実施形態に係るダンパ部材９では、ゲル状部材９５の両面に第１フィルム９１および第２フィルム９２が接合されていた。これに対して、本形態では、図１１に示すように、ゲル状部材９５の一方面９５１に第１フィルム９１が接合されているが、他方面８５２には第２フィルム９２が接合されていない。この場合、ゲル状部材９５の一方面９５１側は、第１フィルム９１を介してダンパ機構１０の第１部材（例えば、支持体２）に接着される。

これに対して、ゲル状部材９５の他方面９５２側は、ゲル状部材９５自身の吸着力によってダンパ機構１０の第２部材（例えば、可動体６）に接合されている態様とすることができる。具体的には、図８に示す工程ＳＴ７において、カバー部材９４を重ねる際、カバー部材９４として、ダンパ機構１０を構成する部材（可動体６の第１ヨーク８１あるいは第２ヨーク８２）を重ねれば、ゲル状部材９５を成形する際、ゲル状部材９５の他方面９５２を可動体６に接合することができる。

［本発明の変形例２］
図１２は、本発明の実施形態の変形例２に係るダンパ部材９の説明図である。本形態では、図１２に示すように、ゲル状部材９５の一方面９５１に第１フィルム９１が接合されているが、他方面８５２には第２フィルム９２が接合されていない。この場合、ゲル状部材９５の一方面９５１側は、第１フィルム９１を介してダンパ機構１０の第１部材（例えば、支持体２）に接着され、ゲル状部材９５の他方面９５２は、ダンパ機構１０の第２部材（例えば、可動体６）に接着される。

かかる態様のダンパ部材９は、例えば、図８に示す工程ＳＴ７において、フッ素樹脂等の離型性の高い樹脂シートをカバー部材９４として重ね、ゲル状部材９５を成形した後、図１０に示す工程ＳＴ１１において型部材１００を外した状態で、ゲル状部材９５をカバー部材９４から外すことによって製造することができる。

［本発明の変形例３］
図１３は、本発明の実施形態の変形例３に係るダンパ部材９の説明図である。上記の実施形態等においては、ゲル状部材９５の両面（一方面９５１および他方面９５２）が同一サイズであった。これに対して、本形態では、図８等に示す枠部１１０の側面１１１を傾斜面とし、枠部１１０を抜きやすくする。より具体的には、枠部１１０の幅を第１フィルム９１から離間するに伴い狭くする。その結果、図１３に示すように、ゲル状部材９５の側面９５３は、一方面９５１のサイズと他方面９５２のサイズとを相違させる斜面になる。本形態において、側面９５３は、他方面９５２のサイズが一方面９５１のサイズより大きくなるように、他方面９５２側から一方面９５１側に向かって側面９５３の間隔が狭くなるように傾いている。

［本発明の変形例４］
図１４は、本発明の実施形態の変形例４に係るダンパ部材９の説明図である。上記の実施形態等においては、図７に示す工程ＳＴ３において、境界部分９１０ｂを除去したため、第１フィルム９１のサイズが第２フィルム９２のサイズより小さかった。これに対して
、本形態では、図７に示す工程ＳＴ３において、隣り合う第１フィルム９１の間に１本の切れ目９１０ａを設け、境界部分９１０ｂを除去しない。このため、図１４に示すように、第１フィルム９１のサイズは、第２フィルム９２のサイズと等しい。

［他の実施形態］
上記実施形態に係るダンパ機構１０およびアクチュエータ１において、ダンパ部材９では、ゲル状部材９５の一方面９５１の側が支持体２（第１部材）に接続され、他方面９５２が可動体６（第２部材）に接続されていたが、可動体６が第１部材であり、支持体２が第２部材である場合に本発明を適用してもよい。この場合、ゲル状部材９５の一方面９５１の側が可動体６（第１部材）に接続され、他方面９５２が支持体２（第２部材）に接続されることになる。

上記実施形態に係るダンパ機構１０およびアクチュエータ１においては、ダンパ部材９が可動体６および支持体２に接着や接合等によって固定されている態様であったが、例えば、可動体６と支持体２との間にゲル状部材９５が板厚方向で圧縮された状態に配置され、その反力によって、ダンパ部材９が可動体６および支持体２に接している態様であってもよい。

上記実施形態に係るアクチュエータ１では、支持体２にコイルが保持され、可動体６に永久磁石が保持されていたが、支持体２に永久磁石が保持され、可動体６にコイルが保持されている場合に本発明を適用してもよい。

上記実施形態では、可動体６を１方向に振動させるアクチュエータ１に本発明を適用したが、互いに交差する２方向に可動体６を振動させるアクチュエータに本発明を適用してもよい。

上記実施形態では、ダンパ部材９をアクチュエータ１に設けたが、アクチュエータ１以外の機器において、可動体と支持体との間に配置されるダンパ部材９に本発明を適用してもよい。また、上記実施形態では、可動体６および支持体２の双方に接するようにダンパ部材９を設けたが、可動体６のみに接するように設けられるダンパ部材９に本発明を適用してもよい。この場合、ダンパ部材９では、ゲル状部材９５の可動体側の面にフィルムを接合し、フィルムが可動体に接するようにダンパ部材９を配置する。また、フィルムを可動体に接着してもよい。

上記実施形態では、ゲル状部材９５にシリコーンゲルを用いたが、他のゲルを用いた場合に本発明を適用してもよい。

上記実施形態では、型部材１００の枠部１１０の平面形状が方形である場合を例に説明したが、枠部１１０の平面形状は、方形に限定されず、円形、楕円形、多角形、その他任意の形状を適用してもよい。

１…アクチュエータ、１ａ…磁気駆動機構、２…支持体、３…ケース、４…コイルホルダ、５…コイル、６…可動体、９…ダンパ部材、１０…ダンパ機構、３１…第１ケース部材、３２…第２ケース部材、４７…第１プレート、４８…第２プレート、７１…第１永久磁石、７２…第２永久磁石、８１…第１ヨーク、８２…第２ヨーク、９１…第１フィルム、９２…第２フィルム、９４…カバー部材、９５…ゲル状部材、９６…第１支持シート、９７…第１支持板、９８…第２支持シート、９９…第２支持板、１００…型部材、１１０…枠部、１１１、９５３…側面、１５０…カッター、９１０…第１大型フィルム、９１０ａ、９２０ａ…切れ目、９１０ｂ…境界部分、９２０…第２大型フィルム、９５０…ゲル材
料、９６０…第１粘着剤、９７０…第２粘着剤、９８０…第３粘着剤、９９０…第４粘着剤

Claims (16)

1. ゲル状部材と、
   前記ゲル状部材の厚さ方向の一方面に接合された第１フィルムと、
   を有し、
   前記ゲル状部材の前記厚さ方向の前記一方面とは反対側の他方面と前記一方面との間に位置する前記ゲル状部材の側面が開放状態にあることを特徴とするダンパ部材。
2. 請求項１に記載のダンパ部材において、
   前記第１フィルムは、前記一方面よりサイズが大きいことを特徴とするダンパ部材。
3. 請求項１または２に記載のダンパ部材において、
   前記第１フィルムは、厚さが１００μｍ以下であることを特徴とするダンパ部材。
4. 請求項１から３までの何れか一項に記載のダンパ部材において、
   前記ゲル状部材の前記他方面には第２フィルムが接合されていることを特徴とするダンパ部材。
5. 請求項４に記載のダンパ部材において、
   前記第２フィルムは、前記他方面よりサイズが大きいことを特徴とするダンパ部材。
6. 請求項１から５までの何れか一項に記載のダンパ部材において、
   前記側面は、前記一方面のサイズと前記他方面のサイズとを相違させる斜面になっていることを特徴とするダンパ部材。
7. 請求項１から６までの何れか一項に記載のダンパ部材を備えたダンパ機構であって、
   第１部材と、
   前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、
   を有し、
   前記ダンパ部材は、前記一方面の側が前記第１フィルムを介して前記第１部材に接着され、前記他方面の側は前記第２部材に接していることを特徴とするダンパ機構。
8. 請求項４または５に記載のダンパ部材を備えたダンパ機構であって、
   第１部材と、
   前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、
   を有し、
   前記ダンパ部材は、前記一方面の側が前記第１フィルムを介して前記第１部材に接着され、前記他方面の側は、前記第２フィルムを介して前記第２部材に接着されていることを特徴とするダンパ機構。
9. 請求項１から３までの何れか一項に記載のダンパ部材を備えたダンパ機構であって、
   第１部材と、
   前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、
   を有し、
   前記ダンパ部材は、前記一方面の側が前記第１フィルムを介して前記第１部材に接着され、前記他方面の側は、前記ゲル状部材の前記他方面が前記第２部材に接していることを特徴とするダンパ機構。
10. 請求項９に記載のダンパ機構において、
    前記ゲル状部材の前記他方面は、前記ゲル状部材自身の吸着力によって前記第２部材に
    密着していることを特徴とするダンパ機構。
11. 請求項９に記載のダンパ機構において、
    前記ゲル状部材の前記他方面は、前記第２部材に接着されていることを特徴とするダンパ機構。
12. 請求項７から１１までの何れか一項に記載のダンパ機構を備えたアクチュエータであって、
    前記第１部材に対して前記第２部材を相対移動させる磁気駆動機構を有することを特徴とするアクチュエータ。
13. 請求項１に記載のダンパ部材を製造する方法であって、
    前記第１フィルムより大きな第１大型フィルムを前記第１フィルムに分割する第１工程と、
    成形用の型部材の枠部を前記第１フィルムの端部に重ねる第２工程と、
    前記枠部の内側に未硬化のゲル材料を充填する第３工程と、
    前記ゲル材料および前記枠部に対して前記第１フィルムと反対側からカバー部材を重ねる第４工程と、
    前記ゲル材料を硬化させて前記枠部、前記第１フィルムおよび前記カバー部材に囲まれた空間内で前記ゲル状部材を成形する第５工程と、
    前記型部材を外す第６工程と、
    を有し、
    前記ゲル状部材の前記一方面に前記第１フィルムが接合された前記ダンパ部材を得ることを特徴とするダンパ部材の製造方法。
14. 請求項１３に記載のダンパ部材の製造方法であって、
    前記カバー部材は、前記ゲル状部材よりサイズの大きな第２大型フィルムであり、
    前記第６工程では、前記第１フィルムの側から前記型部材を外し、
    前記第６工程の後、前記枠部が位置していた個所に沿って前記第２大型フィルムを切断して、前記ゲル状部材の前記厚さ方向の前記一方面とは反対側の他方面に第２フィルムが接合された前記ゲル状部材を得ることを特徴とするダンパ部材の製造方法。
15. 請求項１３に記載のダンパ部材の製造方法であって、
    前記カバー部材は、ダンパ機構の一部を構成する部材であるダンパ部材の製造方法。
16. 請求項１３から１５までの何れか一項に記載のダンパ部材の製造方法であって、
    前記枠部の側面を傾斜面にしておき、
    前記ダンパ部材の側面を斜面とすることを特徴とするダンパ部材の製造方法。