CN111430251A - 绑头固晶装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、横向移动机构和升降移动机构；升降移动机构包括支座、滑板和升降直线电机，升降直线电机包括竖向动子板和竖向定子板，竖向动子板横向滑动安装于竖向定子板中。通过设置可以在竖向定子板中横向移动的竖向动子板，并且将竖向动子板与滑板相连，滑板升降滑动安装在支座上，而支座支撑在横向交叉导轨上，而固晶绑头支撑在滑板上，竖向定子板支撑在机架上，从而使升降移动机构的大部分重量直接支撑在机架上，以减小横向动子板驱动移动部分结构的重量，进而减小运动惯量冲击，保证横向移动平稳性，减小磨损和运行噪音，进而降低发热，保证长期运动精度，从而提升固晶效率与精度。

Description

绑头固晶装置

技术领域

本申请属于固晶设备技术领域，更具体地说，是涉及一种绑头固晶装置。

背景技术

晶片固晶时，需要驱动固晶绑头升降移动，以将固晶绑头移动到适当的高度，便于固晶绑头取放晶片；同时还需要驱动固晶绑头横向移动，以移动晶片。当前绑头固晶装置一般是将固晶绑头支撑在升降机构上，而将升降机构支撑在横向丝杆机构上，通过横向丝杆机构驱动升降机构横向移动，以带动固晶绑头横向移动。然而这种结构具有较大的运动惯量，导致运行时存在发热大、磨损大、噪声大，运动惯量大，长期运行影响精度。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种绑头固晶装置，以解决相关技术中存在的固晶绑头横向移动运动惯量大影响精度的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构和用于驱动所述固晶绑头升降的升降移动机构；所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和横向直线电机，所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述横向动子板横向移动的横向定子板，所述横向定子板支撑于所述机架上；所述升降移动机构包括与所述横向交叉导轨相连的支座、竖向滑动安装于所述支座上的滑板和驱动所述滑板升降移动的升降直线电机，所述固晶绑头安装于所述滑板上，所述升降直线电机包括与所述滑板相连的竖向动子板和驱动所述竖向动子板升降移动的竖向定子板，所述竖向动子板横向滑动安装于所述竖向定子板中，所述竖向定子板与所述机架固定相连，所述横向动子板与所述支座固定相连。

在一个实施例中，所述横向移动机构还包括分别设于所述横向交叉导轨两侧的同步移动组件，各所述同步移动组件包括安装于所述滑座上的齿轮和分别与所述齿轮啮合的固定齿条和滑动齿条，所述固定齿条与所述滑动齿条均平行于所述横向交叉导轨，所述固定齿条与所述滑动齿条分别位于所述齿轮的两侧，所述固定齿条固定于所述滑座上，所述滑动齿条与所述横向交叉导轨相连。

在一个实施例中，所述横向交叉导轨上设有若干减重孔。

在一个实施例中，所述升降移动机构还包括用于引导所述滑板升降的竖向交叉导轨，所述竖向交叉导轨竖向设置于所述支座上，所述滑板支撑于所述竖向交叉导轨上。

在一个实施例中，所述升降移动机构还包括用于向上拉动所述滑板的弹性件，所述弹性件的一端与所述滑板相连，所述弹性件的另一端与所述支座相连。

在一个实施例中，所述绑头固晶装置还包括驱动所述固晶绑头纵向移动的纵向移动机构，所述纵向移动机构安装于所述机架上，所述滑座支撑于所述纵向移动机构上，所述竖向动子板纵向滑动安装于所述竖向定子板中，所述横向动子板纵向滑动安装于所述横向定子板中。

在一个实施例中，所述绑头固晶装置还包括固定于所述机架上的支撑架，所述支撑架包括分别设于所述滑座两侧的立板和连接两个所述立板的支撑板，各所述立板与所述横向定子板固定相连，所述竖向定子板安装于所述支撑板上。

在一个实施例中，所述纵向移动机构包括安装于所述机架上的固定座、支撑所述滑座的滑块、滑动支撑所述滑块的直线导轨和驱动所述滑座纵向移动的纵向直线电机，所述纵向直线电机安装于所述固定座上，所述直线导轨纵向设于所述固定座上。

在一个实施例中，所述固晶绑头包括吸嘴组件、支撑所述吸嘴组件的支撑座、驱动所述支撑座升降的升降驱动器、支撑所述支撑座的升降交叉导轨、支撑所述升降交叉导轨的支架和用于驱动所述吸嘴组件转动以调节所述吸嘴组件角度的校正组件，所述升降驱动器安装于所述支架上，所述校正组件安装于所述支架上，所述吸嘴组件转动安装于所述支撑座上，所述支架支撑于所述横向交叉导轨上。

在一个实施例中，所述校正组件包括与所述吸嘴组件相连的从动轮、安装于所述支架上的调节电机、安装于所述调节电机上的主动轮和连接所述从动轮与所述主动轮的传动带。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：

本申请实施例提供的绑头固晶装置，通过设置可以在竖向定子板中横向移动的竖向动子板，并且将竖向动子板与滑板相连，滑板升降滑动安装在支座上，而支座支撑在横向交叉导轨上，将横向直线电机的横向动子板与支座相连，而固晶绑头支撑在滑板上，竖向定子板支撑在机架上，从而使升降移动机构的大部分重量直接支撑在机架上，以减小横向动子板驱动移动部分结构的重量，进而减小运动惯量冲击，保证横向移动平稳性，减小磨损和运行噪音，进而降低发热，保证长期运动精度，从而提升固晶效率与精度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的绑头固晶装置的结构示意图。

图2为图1的绑头固晶装置中部分结构示意。

图3为图1的绑头固晶装置中部分结构的爆炸结构示意图。

图4为图3中支座、滑板及竖向交叉导轨组合的侧视结构示意图。

图5为图3中横向交叉导轨及滑座组合的结构示意图。

图6为图3中竖向直线电机的分解结构示意图。

图7为图3中固晶绑头的结构示意图。

其中，图中各附图主要标记：

100-绑头固晶装置；

11-机架；12-支撑架；121-立板；122-支撑板；

20-纵向移动机构；21-固定座；22-直线导轨；23-滑块；24-纵向直线电机；241-纵向定子板；242-纵向动子板；251-限位档块；252-限位块；

30-横向移动机构；31-滑座；32-横向直线电机；321-横向定子板；322-横向动子板；33-横向交叉导轨；331-减重孔；34-同步移动组件；341-齿轮；342-固定齿条；343-滑动齿条；

40-升降移动机构；41-支座；42-升降直线电机；421-竖向定子板；422-竖向动子板；43-竖向交叉导轨；44-滑板；45-弹性件；

50-固晶绑头；51-支架；52-吸嘴组件；53-支撑座；54-升降驱动器；55-升降交叉导轨；56-校正组件；561-调节电机；562-主动轮；563-从动轮；564-传动带。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”、“一些实施例”或“实施例”意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征、结构或特性。

交叉导轨指交叉滚子导轨，交叉滚子导轨是由两根具有V型滚道的导轨、滚子保持架圆柱滚子等组成，相互交叉排列的圆柱滚子在经过精密磨削的V型滚道面上往复运动。即其包括固定部分和滑动部分，滑动部分可以在固定部分上平稳、灵活滑动，并承受各向载荷。在安装交叉导轨时，将固定部分与相应的固定结构相连，而滑动部分与相应的滑动结构相连。

为了方便描述，定义空间上相互垂直的三个坐标轴分别为X轴、Y轴和Z轴，同时，沿X轴的方向为纵向，沿Y轴的方向为横向，沿Z轴方向为竖向；其中X轴与Y轴为同一水平面相互垂直的两个坐标轴，Z轴为竖直方向的坐标轴；X轴、Y轴和Z轴位于空间相互垂直有三个平面分别为XY面、YZ面和XZ面，其中，XY面为水平面，XZ面和YZ面均为竖直面，且XZ面与YZ面垂直。空间中三轴为X轴、Y轴和Z轴，沿空间上三轴移动指沿空间上相互垂直的三轴移动，特指在空间上沿X轴、Y轴和Z轴移动；而平面移动，则为在XY面移动。

请参阅图1至图3，现对本申请提供的绑头固晶装置100进行说明。所述绑头固晶装置100，包括机架11、固晶绑头50和横向移动机构30，横向移动机构30支撑于机架11上，固晶绑头50支撑在横向移动机构30上，通过横向移动机构30驱动固晶绑头50横向移动。横向移动机构30包括滑座31、横向交叉导轨33和横向直线电机32，滑座31支撑在机架11上。横向交叉导轨33横向安装于滑座31上，固晶绑头50支撑于横向交叉导轨33上，以支撑住固晶绑头50，并且可以引导固晶绑头50平稳、灵活横向移动，减小高速移动时的磨损和惯量冲击，保证长期运行精度。横向直线电机32支撑于机架11上，通过机架11来支撑住横向直线电机32，横向直线电机32与固晶绑头50相连，以驱动固晶绑头50横向移动，而使用横向直线电机32，可以保证高精度地高速运行，减小高速运行的磨损与噪音，进而降低发热，保证长期运动精度。并且横向交叉导轨33支撑住固晶绑头50，可以使横向直线电机32灵活固晶绑头50横向移动，提升固晶效率与精度。

请参阅图2和图3，横向直线电机32包括用于带动固晶绑头50横向移动的横向动子板322和驱动横向动子板322横向移动的横向定子板321，横向定子板321支撑于机架11上，横向动子板322与固晶绑头50相连。将横向动子板322与固晶绑头50相连，而横向定子板321支撑于机架11上，使横向直线电机32大部分重量支撑在机架11上，可以减小横向移动部分结构的重量，进而减小运动惯量。当然，一些实施例中，也可以将横向动子板322固定在滑座31上，而将横向定子板321与固晶绑头50相连。一些实施例中，当滑座31固定在机架11上时，横向定子板321也可以固定在滑座31上。

请参阅图2至图4，绑头固晶装置100还包括用于驱动固晶绑头50升降驱动的升降移动机构40，以便固晶绑头50具有较大范围的升降移动，以对固晶绑头50上高度上进行定位，方便固晶，也便于适应不同的高度要求。升降移动机构40包括支座41、滑板44和升降直线电机42。固晶绑头50安装于滑板44上，滑板44竖向滑动安装于支座41上，支座41与横向交叉导轨33相连，横向动子板322与支座41固定相连，通过横向交叉导轨33支撑住支座41，而横向动子板322带动支座41横向移动，以带动滑板44横向移动，进而带动固晶绑头50横向移动。请参阅图2、图3和图6，升降直线电机42包括竖向动子板422和竖向定子板421，竖向定子板421用于驱动竖向动子板422升降移动。竖向定子板421支撑在机架11上，竖向动子板422横向滑动安装于竖向定子板421中，即竖向动子板422可以于竖向定子板421中沿横向滑动，同时竖向定子板421可以驱动竖向动子板422升降移动，而竖向动子板422与滑板44相连，则在滑板44横向移动时，可以带动竖向动子板422于竖向定子板421中沿横向滑动。该结构无需驱动升降移机构的整体横移，可以进一步减小横向直线电机32驱动横向移动部分器件重量，减小运动惯量，提高运行速度与精度。当然，在一些实施例中，升降移动机构40可以是丝杆结构等，而将升降移动机构40整体安装在横向交叉导轨33上，也可以实现驱动固晶绑头50升降的功能。

本申请实施例的绑头固晶装置100，通过设置可以在竖向定子板421中横向移动的竖向动子板422，并且将竖向动子板422与滑板44相连，滑板44升降滑动安装在支座41上，而支座41支撑在横向交叉导轨33上，将横向直线电机32的横向动子板322与支座41相连，而固晶绑头50支撑在滑板44上，竖向定子板421支撑在机架11上，从而使升降移动机构40的大部分重量直接支撑在机架11上，以减小横向动子板322驱动移动部分结构的重量，进而减小运动惯量冲击，保证横向移动平稳性，减小磨损和运行噪音，进而降低发热，保证长期运动精度，从而提升固晶效率与精度。另外，通过在滑座31上设置横向交叉导轨33和横向直线电机32，通过横向交叉导轨33引导固晶绑头50平稳、灵活横向移动，减小高速移动时的磨损，保证长期运行精度；并且横向直线电机32可以灵活驱动固晶绑头50横向移动，减小磨损和运行噪音，进而降低发热。

在一个实施例中，请参阅图3和图5，横向移动机构30还包括分别设于横向交叉导轨33两侧的同步移动组件34，各同步移动组件34包括安装于滑座31上的齿轮341和分别与齿轮341啮合的固定齿条342和滑动齿条343，固定齿条342与滑动齿条343均平行于横向交叉导轨33，固定齿条342与滑动齿条343分别位于齿轮341的两侧，固定齿条342固定于滑座31上，滑动齿条343与横向交叉导轨33相连。在齿轮341的两侧分别设置固定齿条342和滑动齿条343，将滑动齿轮341与横向交叉导轨33相连，而固定齿条342与滑座31相连，则在横向交叉导轨33于滑座31上横向移动时，可以带动两侧的滑动齿轮341移动，通过滑动齿轮341带动相应的齿轮341转动，进而齿轮341带动相应的固定齿轮341反向移动，以保证横向交叉导轨33两侧同步移动，进而保证横向交叉导轨33平稳横移，以保证固晶绑头50平稳横移。

在一个实施例中，请参阅图3和图5，横向交叉导轨33上设有若干减重孔331，以减轻横向交叉导轨33的重量，以便横向直线电机32灵活平稳推动横向交叉导轨33移动，减小运动惯量。

在一个实施例中，请参阅图2至图4，升降移动机构40还包括用于引导滑板44升降的竖向交叉导轨43，竖向交叉导轨43竖向设置于支座41上，滑板44支撑于竖向交叉导轨43上，以灵活、平稳引导滑板44升降移动，进而带动固晶绑头50灵活、平稳升降移动。

在一个实施例中，请参阅图2至图4，升降移动机构40还包括用于向上拉动滑板44的弹性件45，弹性件45的一端与滑板44相连，弹性件45的另一端与支座41相连。弹性件45可以是弹簧、弹性绳带等。设置弹性件45弹性拉动滑板44，可以抵消固晶绑头50部分重力影响，以便升降移动机构40可以灵活驱动固晶绑头50升降，减小升降移动惯量，提升运行精度。

在一个实施例中，请参阅图1至图3，该绑头固晶装置100还包括驱动固晶绑头50纵向移动的纵向移动机构20，纵向移动机构20安装于机架11上，横向移动机构30安装于纵向移动机构20上，滑座31支撑于纵向移动机构20上。固晶绑头50支撑在横向移动机构30上，通过纵向移动机构20驱动横向移动机构30纵向移动，以带动固晶绑头50纵向移动，而横向移动机构30驱动固晶绑头50横向移动，以便在纵向位置上对固晶绑头50进行定位，提升该绑头固晶装置100适应性。在一些实施例中，可以将横向移动机构30安装在纵向移动机构20上，通过纵向移动机构20驱动横向移动机构20整体移动。

由于固晶绑头50需要纵向移动的距离相对较小，故在一个实施例中，请参阅图1至图3，可以将竖向动子板422纵向滑动安装于竖向定子板421中，即竖向动子板422可以在竖向定子板421中沿纵向滑动，同时竖向动子板422可以在竖向定子板421中沿横向滑动；横向动子板322纵向滑动安装在横向定子板321中，即横向动子板322可以在横向定子板321中沿纵向滑动，则横向定子板321固定在机架11上，而竖向定子板421固定在机架11上，横向动子板322与支座41固定相连，则横向动子板322与纵向移动机构20相连，则可以减轻纵向移动部分结构的重量，减小纵向移动的惯量冲击，提升纵向移动的平稳性与灵活性。

在一个实施例中，升降直线电机42包括间隔设置的两块竖向定子板421，而竖向动子板422置于两块竖向定子板421之间，两块竖向定子板421间的间距大于竖向动子板422的厚度，以便竖向动子板422可以在竖向定子板421中沿纵向滑动；而各竖向定子板421的横向长度大于竖向动子板422的横向宽度，以便竖向动子板422可以在竖向定子板421中沿横向滑动。

在一个实施例中，请参阅图1至图3，绑头固晶装置100还包括固定于机架11上的支撑架12，支撑架12包括分别设于滑座31两侧的立板121和连接两个立板121的支撑板122，各立板121与横向定子板321固定相连，竖向定子板421安装于支撑板122上。设置支撑架12，可以更为稳定支撑住竖向定子板421，以便竖向定子板421驱动竖向动子板422升降移动。

在一个实施例中，请参阅图1至图3，纵向移动机构20包括安装于机架11上的固定座21、支撑滑座31的滑块23、滑动支撑滑块23的直线导轨22和驱动滑座31纵向移动的纵向直线电机24，纵向直线电机24安装于固定座21上，直线导轨22纵向设于固定座21上。设置固定座21，以便将该纵向移动机构20安装在机架11上。通过直线导轨22和滑块23稳定支撑住滑座31，并引导滑座31纵向移动，而使用纵向直线电机24可以灵活驱动滑块23纵向移动，减小运行噪音。当然，一些实施例中，也可以直接使用丝杆结构等直线移动机构来驱动滑座31纵向移动。

在一个实施例中，纵向直线电机24包括纵向定子板241和纵向动子板242，纵向定子板241与滑座31相连，而纵向动子板242与固定座21相连，以便驱动滑座31纵向移动，并减小运行噪音，减小发热，保证长期运行的稳定性与精度；同时可以与直线导轨22及滑块23配合，以更稳定支撑滑座31。一些实施例中，也可以将纵向定子板241与固定座21相连，纵向动子板242与滑座31相连。

在一个实施例中，请参阅图1至图3，纵向移动机构20还包括安装于滑座31上的限位块252和用于止挡限位块252的限位档块251，限位档块251安装于固定座21上。在滑座31上设置限位块252，并在固定座21上设置限位档块251，在滑座31纵向移动时，可以通过限位档块251止档限位块252，以限位滑块23的移动行程位置，进而保护横向移动机构30。

在一个实施例中，请参阅图2、图3和图7，固晶绑头50包括吸嘴组件52、支撑座53、升降驱动器54和支架51，吸嘴组件52用于吸附晶片，以例取放晶片。吸嘴组件52安装在支撑座53上，支撑座53与升降驱动器54相连，以通过升降驱动器54带动吸嘴组件52升降，以便取放晶片。升降驱动器54安装在支架51上，以通过升降驱动器54支撑住支架51，支架51支撑在横向交叉导轨33上，以便横向移动机构30驱动支架51横向移动，进而带动吸嘴组件52横向移动。

在一个实施例中，支架51与滑板44固定相连，在横向移动机构30驱动滑板44横向移动时，带动支架51横向移动，进而带动吸嘴组件52横向移动。升降移动机构40驱动滑板44升降时，可以带动支架51升降移动，进而带动吸嘴组件52升降移动。

在一个实施例中，升降驱动器54可以使用音圈电机，以便精确、高速、平稳驱动吸嘴组件52升降移动，并且在固晶时，竖向动子板422驱动固晶邦头50下降到一定高度进行固晶吸晶，但吸嘴组件52在下降到这个高度时可能没有碰到晶片或者过度挤压晶片，这时候就需要微调以防止过度挤压晶片导致晶片和吸嘴组件52的损害。若没有碰到晶片则音圈电机驱动吸嘴组件52向下运动吸取晶片，若过度挤压晶片则驱动吸嘴组件52向上运动，并反馈至控制系统。在一些实施例中，升降驱动器54也可以使用其他直线移动机构，如气缸等。

在一个实施例中，请参阅图2、图3和图7，固晶绑头50还包括支撑支撑座53的升降交叉导轨55，升降交叉导轨55支撑在支架51上，从而通过升降交叉导轨55支撑住支撑座53，并灵活引导支撑座53平稳升降。在一些实施例中，也可以使用直线滑轨与滑行块配合支撑住支撑座53。

在一个实施例中，请参阅图2、图3和图7，固晶绑头50还包括用于驱动吸嘴组件52转动以调节吸嘴组件52角度的校正组件56，校正组件56安装于支架51上，吸嘴组件52转动安装于支撑座53上，设置校正组件56，在固晶时，可以转动吸嘴组件52，以转动晶片，进而对晶片的角度进行调整，以提升固晶精度。

在一个实施例中，请参阅图2、图3和图7，校正组件56包括与吸嘴组件52相连的从动轮563、安装于支架51上的调节电机561、安装于调节电机561上的主动轮562和连接从动轮563与主动轮562的传动带564，方便安装，并且在升降驱动器54驱动吸嘴组件52升降时，从动轮563可以随吸嘴组件52升降。在一些实施例中，可以直接使用电机来驱动吸嘴组件52转动，如将电机安装在支撑座53上，以驱动吸嘴组件52转动。

本申请实施例的绑头固晶装置100，可以灵活平稳驱动固晶绑头50移动，保证固晶绑头50灵活、平稳移动的同时，减小运动惯量冲击，减小磨损和运行噪音，保证长期运行精度，提升固晶效率与精度。

以上所述仅为本申请的可选实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构和用于驱动所述固晶绑头升降的升降移动机构；其特征在于：所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和横向直线电机，所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述横向动子板横向移动的横向定子板，所述横向定子板支撑于所述机架上；所述升降移动机构包括与所述横向交叉导轨相连的支座、竖向滑动安装于所述支座上的滑板和驱动所述滑板升降移动的升降直线电机，所述固晶绑头安装于所述滑板上，所述升降直线电机包括与所述滑板相连的竖向动子板和驱动所述竖向动子板升降移动的竖向定子板，所述竖向动子板横向滑动安装于所述竖向定子板中，所述竖向定子板与所述机架固定相连，所述横向动子板与所述支座固定相连。

2.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述横向移动机构还包括分别设于所述横向交叉导轨两侧的同步移动组件，各所述同步移动组件包括安装于所述滑座上的齿轮和分别与所述齿轮啮合的固定齿条和滑动齿条，所述固定齿条与所述滑动齿条均平行于所述横向交叉导轨，所述固定齿条与所述滑动齿条分别位于所述齿轮的两侧，所述固定齿条固定于所述滑座上，所述滑动齿条与所述横向交叉导轨相连。

3.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述横向交叉导轨上设有若干减重孔。

4.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述升降移动机构还包括用于引导所述滑板升降的竖向交叉导轨，所述竖向交叉导轨竖向设置于所述支座上，所述滑板支撑于所述竖向交叉导轨上。

5.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述升降移动机构还包括用于向上拉动所述滑板的弹性件，所述弹性件的一端与所述滑板相连，所述弹性件的另一端与所述支座相连。

6.如权利要求1-5任一项所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述绑头固晶装置还包括驱动所述固晶绑头纵向移动的纵向移动机构，所述纵向移动机构安装于所述机架上，所述滑座支撑于所述纵向移动机构上，所述竖向动子板纵向滑动安装于所述竖向定子板中，所述横向动子板纵向滑动安装于所述横向定子板中。

7.如权利要求6所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述绑头固晶装置还包括固定于所述机架上的支撑架，所述支撑架包括分别设于所述滑座两侧的立板和连接两个所述立板的支撑板，各所述立板与所述横向定子板固定相连，所述竖向定子板安装于所述支撑板上。

8.如权利要求6所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述纵向移动机构包括安装于所述机架上的固定座、支撑所述滑座的滑块、滑动支撑所述滑块的直线导轨和驱动所述滑座纵向移动的纵向直线电机，所述纵向直线电机安装于所述固定座上，所述直线导轨纵向设于所述固定座上。

9.如权利要求1-5任一项所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述固晶绑头包括吸嘴组件、支撑所述吸嘴组件的支撑座、驱动所述支撑座升降的升降驱动器、支撑所述支撑座的升降交叉导轨、支撑所述升降交叉导轨的支架和用于驱动所述吸嘴组件转动以调节所述吸嘴组件角度的校正组件，所述升降驱动器安装于所述支架上，所述校正组件安装于所述支架上，所述吸嘴组件转动安装于所述支撑座上，所述支架支撑于所述横向交叉导轨上。

10.如权利要求9所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述校正组件包括与所述吸嘴组件相连的从动轮、安装于所述支架上的调节电机、安装于所述调节电机上的主动轮和连接所述从动轮与所述主动轮的传动带。

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