CN111108075A - 红外线吸收玻璃板及其制造方法、以及固体摄像元件设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能够实现固体摄像元件设备的小型化的红外线吸收玻璃板。红外线吸收玻璃板(1)具有彼此相反的第一主面和第二主面(1a、1b)、以及连结第一主面和第二主面(1a、1b)的侧面(1c)，该红外线吸收玻璃板(1)由氟磷酸盐系玻璃构成，该氟磷酸盐系玻璃以阳离子％计含有P5+10～70％、Al3+7～50％、Cu2+0.1～15％，并且以阴离子％计含有F－10～90％、O2－10～90％，上述红外线吸收玻璃板的厚度为0.2mm以下，在侧面(1c)不存在微裂纹。
Description
技术领域
本发明涉及红外线吸收玻璃板及其制造方法、以及使用该红外线吸收玻璃板的固体摄像元件设备。
背景技术
在数码相机、智能手机等的相机等中，使用CCD、CMOS等的固体摄像设备。这些固体摄像元件设备具有广范围的感光灵敏度，因此，为了对应人类的视感，需要除去红外域的光。在下述的专利文献1中，作为用于除去红外域的光的近红外线截止滤光器，公开了包含氟磷酸盐系玻璃的红外线吸收玻璃板。专利文献1中，通过物理研磨使玻璃板的厚度变薄。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007－99604号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
近年来，在固体摄像元件设备中，要求更进一步的小型化。因此，对构成固体摄像元件设备的红外线吸收玻璃板，也要求更进一步的薄型化。然而，在专利文献1那样通过物理研磨使其变薄的方法中，使玻璃板的厚度过薄时，玻璃板有可能发生破裂。因此，有时无法使玻璃板充分变薄，无法使固体摄像元件设备充分小型化。
本发明的目的在于，提供一种能够实现固体摄像元件设备的小型化的红外线吸收玻璃板和该红外线吸收玻璃板的制造方法、以及固体摄像元件设备。
用于解决技术问题的技术方案
本发明涉及的红外线吸收玻璃板的特征在于，具有彼此相反的第一主面和第二主面、以及连结上述第一主面和第二主面的侧面，上述红外线吸收玻璃板由氟磷酸盐系玻璃构成，上述氟磷酸盐系玻璃以阳离子％计含有P5+10～70％、Al3+7～50％、Cu2+0.1～15％，并且以阴离子％计含有F－10～90％、O2－10～90％，上述红外线吸收玻璃板的厚度为0.2mm以下，在上述侧面不存在微裂纹。
通过物理研磨使红外线吸收玻璃板的厚度变薄的现有的方法中，如果为了将玻璃板的厚度变薄至0.2mm以下而使载置台的厚度变薄，有时载置台会发生破裂。另外，即使在玻璃板的厚度变薄了的情况下，从载置台取出时，玻璃板也会发生破裂。另外，即使制作了面积大的玻璃板，也会在切断时发生破裂。
相对于此，本发明的发明人发现，将通过物理研磨使厚度变薄至某种程度的氟磷酸盐系的玻璃母材浸渍于碱性洗剂时，能够得到厚度为0.2mm以下且不易发生破裂的玻璃板。其理由可以考虑如下。
氟磷酸盐系的玻璃一般耐碱性高，但是，由于本发明的氟磷酸盐系玻璃含有7阳离子％以上的降低耐碱性的Al3+，因此，耐碱性低。因此可以认为，在利用碱性洗剂的蚀刻工序中，玻璃母材的微裂纹被溶解，在所得到的红外线吸收玻璃板的侧面不会存在微裂纹。可以认为，通过使微裂纹消失，成为红外线吸收玻璃板的破裂的起点消失，因此，红外线吸收玻璃板的强度提高，即使厚度变薄，也不易破裂。
本发明涉及的红外线吸收玻璃板优选上述第一主面和第二主面上不存在研磨痕迹。
本发明涉及的红外线吸收玻璃板优选上述第一主面和第二主面的面积为100mm2以上且25000mm2以下。
本发明涉及的红外线吸收玻璃板优选在支点间距离为2.5mm时的3点弯曲强度为35N/mm2以上。
本发明涉及的红外线吸收玻璃板优选上述第一主面和第二主面的面积为1mm2以上且小于1000mm2。
本发明涉及的红外线吸收玻璃板优选用于固体摄像元件设备。
本发明涉及的红外线吸收玻璃板的阵列具有支撑体和以矩阵状配置在上述支撑体上的上述本发明的多个红外线吸收玻璃板。
本发明涉及的红外线吸收玻璃板的制造方法包括：对由氟磷酸盐系玻璃构成的板状的玻璃母材进行物理研磨的研磨工序，上述氟磷酸盐系玻璃以阳离子％计含有P5+10～70％、Al3+7～50％、Cu2+0.1～15％，并且以阴离子％计含有F－10～90％、O2－10～90％；和通过将上述物理研磨后的玻璃母材浸渍于碱性洗剂来进行蚀刻的蚀刻工序。
本发明涉及的红外线吸收玻璃板的制造方法优选在上述研磨工序中，通过上述物理研磨将上述玻璃母材的厚度研磨成超过0.2mm且0.3mm以下。
本发明涉及的红外线吸收玻璃板的制造方法优选在上述蚀刻工序中，通过将上述物理研磨后的玻璃母材浸渍于pH为7.1以上的碱性洗剂来进行蚀刻。
上述碱性洗剂优选含有氨基多羧酸的碱盐。
本发明涉及的固体摄像元件设备具有根据本发明构成的红外线吸收玻璃板。
发明的效果
根据本发明，能够提供能够实现固体摄像元件设备的小型化的红外线吸收玻璃板。
附图说明
图1是表示本发明的红外线吸收玻璃板的示意立体图。
图2是表示本发明的红外线吸收玻璃板的变形例的示意剖面图。
图3是表示使用了本发明的红外线吸收玻璃板的固体摄像元件设备的示意剖面图。
图4是用于说明本发明的红外线吸收玻璃板的阵列的制造工序的示意剖面图。
图5是用于说明本发明的红外线吸收玻璃板的阵列的制造工序的示意俯视图。
图6是表示本发明的红外线吸收玻璃板的阵列的示意俯视图。
具体实施方式
以下，对优选的实施方式进行说明。但是，以下的实施方式仅为例示，本发明不限定于以下的实施方式。另外，在各附图中，有时对实质上具有相同功能的部件以同一符号参照。
(红外线吸收玻璃板)
图1是表示本发明的红外线吸收玻璃板的示意立体图。如图1所示，红外线吸收玻璃板1的平面形状为矩形。红外线吸收玻璃板1的角部可以被施以倒角。
红外线吸收玻璃板1具有第一主面和第二主面1a、1b以及侧面1c。第一主面和第二主面1a、1b彼此相反。在红外线吸收玻璃板1中，第一主面和第二主面1a、1b均为光学面。侧面1c连结第一主面和第二主面1a、1b。
红外线吸收玻璃板1由含有CuO的氟磷酸盐系玻璃构成。因此，红外线吸收玻璃板1的红外线吸收功能优异。
红外线吸收玻璃板1的厚度为0.2mm以下。优选为0.19mm以下，更优选为0.16mm以下。红外线吸收玻璃板1的厚度薄至0.2mm以下，因此，在用于固体摄像元件设备时，能够实现固体摄像元件设备的小型化。此外，厚度过薄时，在搬运工序中提起红外线吸收玻璃板1时，有时容易发生破裂，因此厚度优选为0.05mm以上，更优选为0.08mm以上。
这样，红外线吸收玻璃板1的红外线吸收功能优异，并且能够实现固体摄像元件设备的小型化，因此，能够很好地用于固体摄像元件设备。
一般而言，氟磷酸盐系玻璃的强度低，变薄时容易破裂，但是在本发明中，由于在红外线吸收玻璃板1的侧面1c不存在微裂纹，即使厚度达到0.2mm以下，也难以发生破裂。所谓微裂纹，是指长度为1～15μm的裂纹。将红外线吸收玻璃板1弯曲时，微裂纹有时成为破裂的起点。特别是在侧面1c存在微裂纹时，容易成为破裂的起点。因此，在侧面1c不存在微裂纹时，能够使红外线吸收玻璃板1难以发生破裂。此外，微裂纹的有无能够通过光学显微镜确认。
另外，不仅是侧面1c，在第一主面和第二主面1a、1b存在微裂纹时，有时也成为破裂的起点。因此，从进一步使红外线吸收玻璃板1难以发生破裂的观点考虑，更优选除侧面1c之外，在第一主面和第二主面1a、1b也不存在微裂纹。
另外，优选在红外线吸收玻璃板1的第一主面和第二主面1a、1b不存在制造时的研磨痕迹。此时，能够进一步使红外线吸收玻璃板1难以发生破裂。从更进一步使红外线吸收玻璃板1难以发生破裂的观点考虑，更优选除第一主面和第二主面1a、1b之外，在侧面1c也不存在研磨痕迹。此外，研磨痕迹能够通过原子力显微镜确认。
红外线吸收玻璃板1的支点间距离为2.5mm时的3点弯曲强度优选在35N/mm2以上，更优选在50N/mm2以上。3点弯曲强度在上述下限以上时，能够使红外线吸收玻璃板1进一步难以发生破裂。此外，红外线吸收玻璃板1的3点弯曲强度的上限没有特别限定，从材料的性质而言为450N/mm2左右。
以下，对构成红外线吸收玻璃板1的材料进行更详细的说明。
材料的详细内容：
红外线吸收玻璃1中，以阳离子％计含有P5+10～70％、Al3+7～50％、Cu2+0.1～15％。以下说明如上所述限定玻璃组成的理由。
P5+为用于形成玻璃骨架的成分。P5+的含量为10～70％，优选为18～63％，特别优选为25～55％。P5+的含量过少时，存在玻璃化变得不稳定的趋势。另一方面，P5+的含量过多时，存在耐失透性降低的趋势。
Al3+为降低耐碱性的成分。Al3+的含量为7～50％，优选为7～31％，特别优选为7～16％。Al3+的含量过少时，耐碱性变高，难以利用碱性洗剂进行蚀刻，因此难以使红外线吸收玻璃板变薄。并且，侧面的微裂纹难以消失，因此红外线吸收玻璃板的强度变弱，容易破裂。而Al3+的含量过多时，存在熔融性降低从而熔融温度上升的趋势。此外，熔融温度上升时，Cu离子容易被还原，从Cu2+转变为Cu+，因此难以得到所期望的光学特性。具体而言，近紫外～可见光域中的透光率容易降低，或者近红外线吸收特性容易降低。
Cu2+为用于吸收近红外线的成分。Cu2+的含量为0.1～15％，优选为2～13％，特别优选为4～10％。Cu2+的含量过少时，难以得到上述效果。另一方面，Cu2+的含量过多时，紫外～可见光域的透光率容易降低。另外，存在耐失透性降低的趋势。
上述成分以外，还能够含有以下所示的各种成分。
Li+为使熔融温度降低的成分。Li+的含量优选为0～30％，特别优选为0.1～25％。Li+的含量过多时，存在耐失透性降低的趋势。
Na+与Li+同样为使熔融温度降低的成分。Na+的含量优选为0～30％、特别优选为0.1～20％。Na+的含量过多时，存在耐失透性降低的趋势。
K+也与Li+同样为使熔融温度降低的成分。K+的含量优选为0～30％，特别优选为0.1～20％。K+的含量过多时，存在耐失透性降低的趋势。
Mg2+为提高耐失透性的成分。Mg2+的含量优选为0～20％，特别优选为0.1～11％。Mg2+的含量过多时，玻璃化的稳定性容易降低。
Ca2+与Mg2+同样为提高耐失透性的成分。Ca2+的含量优选为0～12％，特别优选为0.1～10％。Ca2+的含量过多时，玻璃化的稳定性容易降低。
Sr2+也与Mg2+同样为提高耐失透性的成分。Sr2+的含量优选为0～20％，特别优选为0.1～10％。Sr2+的含量过多时，玻璃化的稳定性容易降低。
Ba2+也与Mg2+同样为提高耐失透性的成分。Ba2+的含量优选为0～13％，特别优选为0.1～11％。Ba2+的含量过多时，玻璃化的稳定性容易降低。
Zn2+也与Mg2+同样为提高耐失透性的成分。Zn2+的含量优选为0～10％，特别优选为0.1～5％。Zn2+的含量过多时，玻璃化的稳定性容易降低。
此外，本发明的光学玻璃中，作为阳离子成分，也可以在不损失本发明效果的范围内含有Bi3+、La3+、Y3+、Gd3+、Te4+、Si4+、Ta5+、Nb5+、Ti4+、Zr4+或Sb3+等。具体而言，这些成分的含量分别优选为0～3％，更优选为0～1％。
Pb成分(Pb2+等)和As成分(As3+等)为环境负荷物质，因此在本发明中优选实质上不含有。其中，“实质上不含有”是指不刻意地将这些成分添加在玻璃中，并不完全排除不可避免的杂质。更客观地说，意指包括杂质的这些成分的含量小于0.1％。
作为阴离子成分的组成，优选含有F－10～90％和O2－10～90％特别优选含有F－10～70％和O2－30～90％。F－的含量过少(O2－的含量过多)时，存在耐失透性降低的趋势。另一方面，F－的含量过多(O2－的含量过少)时，玻璃化的稳定性容易降低。
通过具有上述组成，能够实现可见光域中的更高的透光率和红外域中的更优异的光吸收特性的双方。具体而言，波长500nm的透光率优选为75％以上，更优选为77％以上。另一方面，波长700nm的透光率优选为27％以下，更优选为25％以下，波长1200nm的透光率优选为38％以下，更优选为36％以下。
变形例：
图2是表示本发明的红外线吸收玻璃板的变形例的示意剖面图。
在图2所示的变形例中，在红外线吸收玻璃板1的第一主面1a上设置防反射膜2。另外，在红外线吸收玻璃板1的第二主面1b上设置红外线反射膜3。
防反射膜2是具有降低反射率的功能的膜。防反射膜2只要是与不设置防反射膜2时相比，设置防反射膜2时反射率降低的膜即可，不必是使反射率为0的膜。但是在本发明中也可以不设置防反射膜2。
防反射膜2例如可以由交替叠层有折射率相对低的低折射率膜和折射率相对高的高折射率膜的电介质多层膜构成。上述电介质多层膜的叠层数没有特别限定，通常为3～5层左右。此外，防反射膜2也可以由折射率低于红外线吸收玻璃板1的低折射率膜构成。
红外线反射膜3是具有反射红外线的功能的膜。红外线反射膜3例如可以由SiO2、Nb2O5或TiO2等构成。
在本变形例中，以光入射侧为防反射膜2、光出射侧为红外线反射膜3的方式，在固体摄像元件设备等中设置红外线吸收玻璃板1，就能够使可见光充分地透过并且有效地截止红外线。并且，由于红外线吸收玻璃板1的厚度薄，用于固体摄像元件设备时，能够实现固体摄像元件设备的小型化。
(红外线吸收玻璃板的制造方法)
以下，对本发明的红外线吸收玻璃板的制造方法进行说明。
首先，将配制为所期望的组成的氟磷酸盐系玻璃的原料粉末母料熔融，成型为板状，由此得到玻璃母材。
熔融温度优选为700～900℃，更优选为700～850℃。熔融温度过低时，有时难以得到均质的玻璃。另一方面，如果熔融温度过高，有时Cu离子容易被还原，从Cu2+转变为Cu+，存在难以得到所期望的光学特性的情况。
此外，作为成型方法，没有特别限定，例如能够使用浇铸法、轧平(roll out)法、下拉(down draw)法或再拉(redraw)法等成型方法。
接着，通过物理研磨对如上所述准备的板状的玻璃母材进行研磨(研磨工序)。在研磨工序中，优选通过物理研磨将玻璃母材的厚度研磨成超过0.2mm且0.3mm以下。通过物理研磨使玻璃母材的厚度变得过薄时，玻璃母材有时会破裂。另外，玻璃母材的厚度过厚时，有时在后述蚀刻工序中无法使玻璃板的厚度变得充分薄。
研磨工序中，例如，通过抛光研磨将玻璃母材研磨至0.3mm左右的厚度，接着，通过光学研磨，研磨至超过0.2mm且0.3mm以下的厚度，由此得到物理研磨后的玻璃母材。
接着，通过将物理研磨后的玻璃母材以垂直立起的状态浸渍于碱性洗剂中，进行蚀刻(蚀刻工序)。由此，能够得到厚度为0.2mm以下的本发明的红外线吸收玻璃板。
如上所述，本发明涉及的红外线吸收玻璃板的制造方法能够容易地制造以往难以得到的厚度为0.2mm以下的红外线吸收玻璃板。
作为碱性洗剂，没有特别限定，例如能够使用含有Na、K等碱性成分、三乙醇胺、苄醇或乙二醇等表面活性剂、水或醇等的碱性洗剂。
作为碱性洗剂所含的碱性成分，优选含有氨基多羧酸等的螯合剂的碱盐。作为氨基多羧酸的碱盐，可以列举二乙烯三胺五乙酸、乙烯二胺四乙酸、三乙烯四胺六乙酸、次氮基三乙酸等的钠盐和钾盐。这些之中，优选使用二乙烯三胺五乙酸五钠、乙烯二胺四乙酸四钠、三乙烯四胺六乙酸六钠、次氮基三乙酸三钠，特别优选使用二乙烯三胺五乙酸五钠。
碱性洗剂中的浸渍温度没有特别限定，例如可以设为20～40℃。
碱性洗剂中的浸渍时间没有特别限定，例如可以设为1～30小时。此外，优选将物理研磨后的玻璃母材以垂直立起的状态在碱性洗剂中浸渍1～30小时后，上下颠倒浸渍相同时间。此时，能够得到厚度分布更加均匀的红外线吸收玻璃板。
从微裂纹更难以存在、所得到的红外线吸收玻璃板更难以发生破裂的观点考虑，上述碱性洗剂的pH优选为7.1以上，更优选8.0以上。
另外，通过上述方法得到的红外线吸收玻璃板难以发生破裂，因此能够增大第一主面和第二主面的面积。例如，第一主面和第二主面的面积可以为100mm2以上、25000mm2以下。第一主面和第二主面的面积的更优选的范围为400mm2以上、25000mm2以下，更优选为1000mm2以上、25000mm2以下，进一步优选2500mm2以上、25000mm2以下，特别优选为5000mm2以上、25000mm2以下。第一主面和第二主面的面积大的红外线吸收玻璃板也难以发生破裂，因此能够切断成所期望的大小来使用。此时，能够更高效地制造红外线吸收玻璃板。此外，切断后的第一主面和第二主面的面积优选为1mm2以上、低于1000mm2。
(固体摄像元件设备)
图3是表示使用了本发明的红外线吸收玻璃板的固体摄像元件设备的示意剖面图。如图3所示，固体摄像元件设备10包括红外线吸收玻璃板1、固体摄像元件11、外壳12和粘接剂层13。
外壳12由陶瓷构成。在外壳12的内部，收纳固体摄像元件11。另外，在外壳12的开口部设置红外线吸收玻璃板1。此外，外壳12与红外线吸收玻璃板1通过粘接剂层13接合。粘接剂层13可以由适当的紫外线固化型树脂、热固性树脂构成。
固体摄像元件设备10由于在固体摄像元件11的光入射侧设置红外线吸收玻璃板1，能够充分吸收红外域的光后使光向固体摄像元件11入射。另外，如上所述，构成固体摄像元件设备10的红外线吸收玻璃板1的厚度薄至0.2mm以下，因此，能够使固体摄像元件设备10小型化。此外，作为红外线吸收玻璃板1，还能够采用图2所示的设置有防反射膜、红外线反射膜的红外线吸收玻璃板。
(红外线吸收玻璃板的阵列)
图4是用于说明本发明的红外线吸收玻璃板的阵列的制造工序的示意剖面图。另外，图5是用于说明本发明的红外线吸收玻璃板的阵列的制造工序的示意俯视图。用于智能手机的相机等的红外线吸收玻璃板一般为小尺寸。因此，制作由能够得到多个玻璃板的尺寸的红外线吸收玻璃构成的母玻璃板，通过切割等将其分割，制造单片化的红外线吸收玻璃板的阵列，可以从阵列中取出各个红外线吸收玻璃板来使用。以下，对红外线吸收玻璃板的阵列的制造方法进行说明。
首先，作为玻璃母材，准备由碱清洗后的红外线吸收玻璃构成的母玻璃板21。在母玻璃板21的第一主面21a和第二主面21b上，可以根据需要设置防反射膜、红外线反射膜等的光学膜22和23。
将设置有光学膜22和23的母玻璃板21粘接于支撑体30上。作为支撑体30，例如，可以使用通过照射紫外线而粘接强度降低的UV胶带。
接着，沿着切割线A，利用切割机(dicing saw)等切断支撑体30上的母玻璃板21，分割为以矩阵状配置的多个红外线吸收玻璃板31。
接着，将粘接于支撑体30的单片化的多个红外线吸收玻璃板31与支撑体30一起浸渍于上述碱性洗剂中，对红外线吸收玻璃板31的侧面进行蚀刻。由此，能够除去由于切割在侧面产生的微裂纹等。因此，能够形成难以发生破裂的红外线吸收玻璃板31。
此外，也可以通过激光照射对母玻璃板21进行切断。利用激光照射进行切断时，在切断面不易产生微裂纹等，因此可以省略蚀刻工序。
图6是表示如上所述制作的本发明的红外线吸收玻璃板的阵列的示意俯视图。本实施方式的红外线吸收玻璃板的阵列40包括支撑体30和在以矩阵状配置在支撑体30上的多个红外线吸收玻璃板31。此外，作为支撑体30使用UV胶带时，通过照射紫外线，粘接强度降低，从而能够容易地将红外线吸收玻璃板31从支撑体30上取下。
实施例
以下，基于实施例对本发明进行说明。此外，本发明不限定于以下的实施例。
表1中表示本发明的实施例(试样No.1～10)和比较例(试样No.11)。
[表1]
使配制成表1所示的玻璃组成的原料粉末母料在温度700～850℃熔融，通过轧平法成型为板状，得到板状的玻璃母材。
将所得到的玻璃母材使用切割器(dicer)切断成125.1mm见方的大小，将切断后的玻璃母材载置于设置在双面研磨机的下定盘的载置台的孔部，在其上将上定盘放下，施加压力，使上定盘、下定盘和载置台旋转，并且边使含有Al2O3的研磨液流过、边对两面进行研磨，使玻璃母材的厚度成为0.3mm。接着，利用CeO2对玻璃母材进一步进行研磨，使玻璃母材的厚度成为0.25mm。
接着，将研磨后的玻璃母材在具有以质量％计氨基多羧酸的碱盐37％、三乙醇胺20％和水43％的组成的碱性洗剂中以温度30℃浸渍14小时，得到具有125mm见方的大小、表1所示的厚度的红外线吸收玻璃板(各30枚)。
上述碱性洗剂中，作为氨基多羧酸的碱盐，含有二乙烯三胺五乙酸五钠。
通过利用光学显微镜观察所得到的红外线吸收玻璃板(30枚)的侧面，判断有无微裂纹。
另外，对所得到的红外线吸收玻璃板(30枚)，测定支点间距离为2.5mm时的3点弯曲强度，算出平均值。
由表1可知，作为本发明的实施例的No.1～10的试样的厚度薄至0.16mm以下，被碱性洗剂蚀刻了。并且，在侧面不存在微裂纹，虽然厚度薄，3点弯曲强度也高达121N/mm2以上。
另一方面，作为比较例的No.11的试样的厚度与蚀刻前相同，为0.25mm，没有被碱性洗剂蚀刻。并且，在侧面存在1～10μm左右的微裂纹，3点弯曲强度低至25N/mm2。
符号说明
1：红外线吸收玻璃板；1a、1b：第一主面、第二主面；1c：侧面；2：防反射膜；3：红外线反射膜；10：固体摄像元件设备；11：固体摄像元件；12：外壳；13：粘接剂层；21：母玻璃板；21a、21b：第一主面、第二主面；22、23：光学膜；30：支撑体；31：红外线吸收玻璃板；40：红外线吸收玻璃板的阵列。
Claims (12)
1.一种红外线吸收玻璃板，其特征在于：
具有彼此相反的第一主面和第二主面、以及连结所述第一主面和第二主面的侧面，所述红外线吸收玻璃板由氟磷酸盐系玻璃构成，所述氟磷酸盐系玻璃以阳离子％计含有P5+10～70％、Al3+7～50％、Cu2+0.1～15％，并且以阴离子％计含有F－10～90％、O2－10～90％，所述红外线吸收玻璃板的厚度为0.2mm以下，在所述侧面不存在微裂纹。
2.如权利要求1所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：
在所述第一主面和第二主面不存在研磨痕迹。
3.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：
所述第一主面和第二主面的面积为100mm2以上且25000mm2以下。
4.如权利要求1～3中任一项所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：支点间距离为2.5mm时的3点弯曲强度为35N/mm2以上。
5.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：
所述第一主面和第二主面的面积为1mm2以上且小于1000mm2。
6.如权利要求1～5中任一项所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：其用于固体摄像元件设备。
7.一种红外线吸收玻璃板的阵列，其特征在于：
具有支撑体和以矩阵状配置在所述支撑体上的权利要求1～6中任一项所述的多个红外线吸收玻璃板。
8.一种红外线吸收玻璃板的制造方法，其用于制造权利要求1～6中任一项所述的红外线吸收玻璃板，该制造方法的特征在于，包括：
对由氟磷酸盐系玻璃构成的板状的玻璃母材进行物理研磨的研磨工序，所述氟磷酸盐系玻璃以阳离子％计含有P5+10～70％、Al3+7～50％、Cu2+0.1～15％，并且以阴离子％计含有F－10～90％、O2－10～90％；和
通过将所述物理研磨后的玻璃母材浸渍于碱性洗剂中来进行蚀刻的蚀刻工序。
9.如权利要求8所述的红外线吸收玻璃板的制造方法，其特征在于：在所述研磨工序中，通过所述物理研磨将所述玻璃母材的厚度研磨成超过0.2mm且0.3mm以下。
10.如权利要求8或9所述的红外线吸收玻璃板的制造方法，其特征在于：
在所述蚀刻工序中，通过将所述物理研磨后的玻璃母材浸渍于pH为7.1以上的碱性洗剂来进行蚀刻。
11.如权利要求8～10中任一项所述的红外线吸收玻璃板的制造方法，其特征在于：
所述碱性洗剂含有氨基多羧酸的碱盐。
12.一种固体摄像元件设备，其特征在于：
具有权利要求1～6中任一项所述的红外线吸收玻璃板。
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