CN111097929A

CN111097929A - 主轴装置

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Publication number: CN111097929A
Application number: CN201911017470.8A
Authority: CN
Inventors: 室田真弘
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2018-10-25
Filing date: 2019-10-24
Publication date: 2020-05-05
Anticipated expiration: 2039-10-24
Also published as: DE102019007416A1; US20200130121A1; JP6802238B2; US11027386B2; JP2020066106A; CN111097929B

Abstract

本发明提供主轴装置(20)，其具有主轴轴体(22)、主轴外壳(24)以及作为旋转部件的卡盘部(30)。在卡盘部(30)形成有供从外部吸引的空气流动的吸引流路(30c)。在主轴轴体(22)形成有第一引导流路(72)，该第一引导流路(72)将在吸引流路(30c)流动的空气穿过主轴轴体(22)的内部引导至形成供主轴轴体(22)插通的贯通孔(24H)的主轴外壳(24)的内壁与和该内壁对置的主轴轴体(22)的外壁之间的间隙。在主轴外壳(24)形成有将引导至该间隙的空气向外部引导的第二引导流路(76)。

Description

主轴装置

技术领域

本发明涉及一种主轴装置，其用于使用工具对加工对象物进行加工的车床(机床)。

背景技术

在主轴装置中，具有在使用真空卡盘机构将加工对象物保持于主轴轴体的一端侧的状态下，一边使主轴轴体旋转，一边对加工对象物进行加工的方式。作为这样的主轴装置，公开了日本特开2014-042945号公报的工件保持装置。

在日本特开2014-042945号公报的工件保持装置中，在一端设有真空卡盘机构的旋转轴的另一端侧设有连接吸气回路和旋转轴的旋转接头。在该旋转接头中，通过设置在吸气回路驱动，从外部经由真空卡盘机构将空气吸引至主轴轴体内的流路的情况下，在与旋转轴的外周面之间非接触地密封的构造，从而可避免使用物理的密封部件。

发明内容

然而，在日本特开2014-042945号公报的工件保持装置中，在主轴轴体的与设有真空卡盘机构的一端侧相反的另一端侧设有马达，在该马达产生的热容易在主轴轴体传递。因此，有在主轴轴体与包围该主轴轴体的外壳之间产生温度差的倾向。如果该温度差变大，则有可能设于外壳的轴承与由该轴承支撑的主轴轴体之间的间隙等变化，加工精度下降。

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制加工精度的下降的主轴装置。

本发明的方案为主轴装置，其具备：主轴外壳，其具有贯通孔；主轴轴体，其插通于上述贯通孔；旋转部件，其设于上述主轴轴体的一端，且与上述主轴轴体的旋转连动而旋转；以及马达，其设于上述主轴轴体的另一端，且使上述主轴轴体旋转，在上述旋转部件形成有供从外部吸引的空气流动的吸引流路，在上述主轴轴体形成有第一引导流路，该第一引导流路将在上述吸引流路流动的空气通过上述主轴轴体的内部引导至形成上述贯通孔的上述主轴外壳的内壁与和该内壁对置的上述主轴轴体的外壁之间的间隙，在上述主轴外壳形成有将引导至上述间隙的空气向上述主轴外壳的外部引导的第二引导流路。

根据本发明，能够在从外部吸引到的空气从第一引导流路在第二引导流路流动时，冷却主轴轴体的外壁侧。因此，能够减小在主轴轴体与供该主轴轴体插通的主轴外壳之间产生的温度差，其结果，能够抑制加工精度的下降。

根据参照附图说明的以下的实施方式的说明，将容易理解上述的目的、特征以及优点。

附图说明

图1是表示本实施方式的车床的概略图。

图2是表示图1的主轴装置的截面的概略图。

图3是表示图1的主轴轴体的一部分的概略图。

图4是放大表示图2的主轴装置的一部分的概略图。

图5是用箭头示出了吸引时的空气的流动的图。

图6是表示变形例1的第一引导流路、第二引导流路以及第三引导流路的概略图。

图7是表示变形例2的槽部的概略图。

具体实施方式

以下揭示优选的实施方式，参照附图对本发明详细地进行说明。

〔实施方式〕

图1是表示车床10的外观结构的概略图。车床10使用工具对加工对象物进行加工，其具有基床12、主轴支撑部14、工作台支撑部16、工作台18以及主轴装置20。

主轴支撑部14设于基床12上，能够相对于基床12向左右方向移动地支撑主轴装置20。此外，将主轴装置20的主轴轴体22延伸的方向(轴向)设为前后方向，将在与载置有该主轴装置20的载置面F平行的面内与轴向正交的方向设为左右方向，将与该面及轴向正交的方向设为上下方向。下方向为重力起作用的方向。另外，在主轴装置20中，将设有卡盘部30的主轴轴体22的一端侧设为前侧，将该主轴轴体22的另一端侧设为后侧。

主轴支撑部14具有沿左右方向设于基床12上的第一滑动部14a、能够沿第一滑动部14a移动的主轴移动台14b以及驱动主轴移动台14b的未图示的第一驱动机构。

第一驱动机构包括马达及将马达的旋转力转换成直进运动的滚珠丝杠等部件。主轴移动台14b通过第一驱动机构沿第一滑动部14a移动，由此，设于该主轴移动台14b上的主轴装置20相对于基床12向左右方向移动。

工作台支撑部16设于基床12上，相对于基床12向前后方向可移动地支撑工作台18。该工作台支撑部16具有沿前后方向设于基床12上的第二滑动部16a和驱动能够沿第二滑动部16a移动的工作台18的未图示的第二驱动机构。

第二驱动机构包括马达及将马达的旋转力转换成直进运动的滚珠丝杠等部件。工作台18通过第二驱动机构利用第二滑动部16a相对于基床12向前后方向移动。工作台18也可以设置成可以以上下方向的轴为旋转轴旋转。

此外，在本实施方式中，在主轴装置20的卡盘部30保持加工对象物，在工作台18保持工具。但是，也可以是在主轴装置20的卡盘部30保持工具，在工作台18保持加工对象物。

图2是表示图1的主轴装置20的截面的图。本实施方式的主轴装置20可旋转地保持加工对象物，且用于以纳米单位控制对加工对象物的加工的情况等。该主轴装置20具有主轴轴体22、主轴外壳24、主轴安装台26以及罩部件28作为主要构成要素。

主轴轴体22为杆状的部件，在该主轴轴体22的一端侧(前侧)设有卡盘部30，在另一端侧(后侧)设有马达40。

卡盘部30为与主轴轴体22的旋转连动地在主轴外壳24的前侧旋转的旋转部件，且设于主轴轴体22的一端。此外，在图1中，卡盘部30形成为圆盘状，但也可以是其它形状。该卡盘部30具有固定于主轴轴体22的前侧的基座30a和相对于基座30a可装拆地安装的吸附垫30b。在基座30a及吸附垫30b形成有供从外部吸引的空气流动的吸引流路30c。该吸引流路30c的吸引口OP在吸附垫30b的吸附面侧设有多个。

马达40使主轴轴体22旋转，且具有安装于主轴外壳24的后侧的马达壳体40a和容纳于马达壳体40a内的转子40b及定子40c。在转子40b固定有主轴轴体22。因此，主轴轴体22与转子40b的旋转连动地旋转。

主轴外壳24具有贯通孔24H，可旋转地支撑插通于该贯通孔24H的主轴轴体22。该主轴外壳24具有外壳主体24a。

在外壳主体24a的前侧设有从外壳主体24a的外周面朝向外侧突出的环状的凸缘部50，在该外壳主体24a的后端面固定有马达40的马达壳体40a。此外，在图2所示的例子中，凸缘部50与外壳主体24a一体成形，但也可以与外壳主体24a形成为分体，并通过预定的夹具固定于外壳主体24a。

在外壳主体24a形成有沿前后方向贯通外壳主体24a的贯通孔24H。在该贯通孔24H插通有主轴轴体22，插通于该贯通孔24H的主轴轴体22由轴承60可旋转地支撑。

轴承60为通过压缩气体可旋转地支撑主轴轴体22的静压轴承，设于外壳主体24a。在本实施方式中，轴承60具有推力轴承60a及径向轴承60b。在主轴轴体22的左侧和右侧分别设有推力轴承60a，在比推力轴承60a靠主轴轴体22的一端侧，在该主轴轴体22的前后分别设有径向轴承60b。

向轴承60经由形成于外壳主体24a的未图示的流路供给压缩气体。供给至轴承60的压缩气体从轴承60流到该轴承60的内圈与主轴轴体22的外壁之间的轴承间隙，作为主轴轴体22的支撑体发挥作用。因此，轴承60和主轴轴体22为隔着压缩气体非接触的状态。此外，流到轴承间隙的压缩气体通过形成于外壳主体24a的未图示的排出路径而排出到外部。

主轴安装台26载置于主轴移动台14b的载置面F(图1)上。该主轴安装台26具有供主轴外壳24沿主轴轴体22的轴向插通的插通孔26H。插通于插通孔26H的主轴外壳24的前侧经由设于外壳主体24a的凸缘部50固定于主轴安装台26的前侧。具体来说，凸缘部50相对于主轴安装台26的前侧(插通孔26H的一方的开口侧)通过螺栓等杆状紧固部件可装拆地的固定。

罩部件28设为覆盖凸缘部50的前侧的表面、从该表面向前侧延伸的外壳主体24a的外周面以及卡盘部30的外周面的一部分。此外，罩部件28覆盖卡盘部30的外周面的一部分，但也可以覆盖该外周面的整体，只要覆盖卡盘部30的外周面的至少一部分即可。

在罩部件28形成有用于流动对密封部进行密封的密封气体的气体用的流路28a。密封部为卡盘部30与罩部件28之间以及卡盘部30与外壳主体24a之间的间隙。密封气体可以被压缩至预定压力。具体来说，例如可列举空气等。通过向密封部供给密封气体，可抑制加工对象物的加工时产生的碎屑或者加工时使用的冷却液等经由密封部进入主轴外壳24的内部。此外，流到密封部的密封气体从主轴装置20的前侧等排出到外部。

另外，在罩部件28形成有用于流动制冷剂的未图示的制冷剂用的流路，通过在该制冷剂用的流路流动的制冷剂调整罩部件28的温度。该制冷剂例如采用水或空气等。

图3是表示图1的主轴轴体22的一部分的概略图。在本实施方式中的主轴轴体22中，在该主轴轴体22的外周面侧的外壁形成有槽部70。槽部70沿主轴轴体22的轴周围形成为环状。在该槽部70的底设有第一引导流路72的流出口74。此外，槽部70的底为形成该槽部70的主轴轴体22的外壁的凹陷的部位。

如图2及图3所示，第一引导流路72使在卡盘部30的吸引流路30c流动的空气穿过主轴轴体22的内部而将之引导至内外壁间隙。内外壁间隙为形成供主轴轴体22插通的贯通孔24H的主轴外壳24的内壁与和该内壁对置的主轴轴体22的外壁之间的间隙。

具体来说，第一引导流路72具有第一通路部72a及第二通路部72b。第一通路部72a沿主轴轴体22的轴向在主轴轴体22的内部延伸，与卡盘部30的吸引流路30c连通。此外，在图2及图3所示的例子中，第一通路部72a的前侧部分形成为比后侧部分更宽。

第二通路部72b沿主轴轴体22的径向在主轴轴体22的内部延伸，且连通第一通路部72a和内外壁间隙。该第二通路部72b的流出口为第一引导流路72的流出口74。此外，如图2所示，具体来说，主轴外壳24的内壁为形成贯通孔24H的外壳主体24a的壁部分。

图4是放大表示图2的主轴装置20的一部分的概略图。如图2及图4所示，主轴外壳24除了外壳主体24a还具有接头部24b。接头部24b为用于与形成于主轴轴体22的第一引导流路72接头的外壳部分，配置于马达壳体40a的内部。即，接头部24b被马达壳体40a覆盖。

该接头部24b以覆盖从外壳主体24a向后侧突出的主轴轴体22的一部分的外周面的方式设置，且安装于外壳主体24a的后端面。被该接头部24b覆盖的主轴轴体22的外壁包含槽部70。此外，在图2及图4所示的例子中，接头部24b与外壳主体24a分体，但也可以与该外壳主体24a一体成形。

在接头部24b及外壳主体24a形成有第二引导流路76。第二引导流路76将被引导至内外壁间隙的空气引导至主轴外壳24的外部。具体来说，该第二引导流路76具有形成于接头部24b的接头通路部76a和形成于外壳主体24a的外壳通路部76b。

接头通路部76a与形成于主轴轴体22的第一引导流路72的第二通路部72b连通。该接头通路部76a的流入口为第二引导流路76的流入口78，且设于与主轴轴体22的槽部70对置的接头部24b的壁部分。

外壳通路部76b连通接头通路部76a和主轴外壳24的外部。该外壳通路部76b的流出口为第二引导流路76的流出口80，且设于外壳主体24a的外壁部分。

另外，在接头部24b形成有第三引导流路82。该第三引导流路82将主轴外壳24的外部的空气引导至内外壁间隙，且以与第二引导流路76的接头通路部76a非连通的状态形成。

第三引导流路82的流入口84设于马达壳体40a的内部，该第三引导流路82的流出口86设于第二引导流路76的流入口78与推力轴承60a之间的接头部24b的内壁。在第三引导流路82的流出口86连接有未图示的吸引源(真空泵)的管。

接下来，对吸引源(真空泵)驱动时的空气的流动进行说明。图5是用箭头示出了吸引时的空气的流动的图。若吸引源(真空泵)驱动，则吸附垫30b(图2)的前表面侧的空气从吸引口OP(图2)被吸引到吸引流路30c(图2)，且在该吸引流路30c流动而流入形成于主轴轴体22的第一引导流路72的第一通路部72a。

流入到第一通路部72a的空气朝向主轴轴体22的另一端侧(后侧)流动而流入第二通路部72b，流入到第二通路部72b的空气从设于主轴轴体22的外壁的流出口74流出到槽部70。

槽部70沿主轴轴体22的轴周围形成为环状，因此从流出口74流出的空气沿主轴轴体22的轴周围流动。因此，根据主轴轴体22的旋转，即使第一引导流路72的流出口74和第二引导流路76的流入口78非对置，从第一引导流路72的流出口74流出的空气也从设于接头部24b的流入口78流入第二引导流路76。

另一方面，根据吸引源(真空泵)的吸引力，马达壳体40a的内部的空气从接头部24b的后端向内外壁间隙被吸入，并且在形成于该接头部24b的第三引导流路82流动，被吸入至内外壁间隙。

在第三引导流路82流动并被吸入到内外壁间隙的空气发挥作用，以抑制供给至主轴轴体22与推力轴承60a之间的轴承用的压缩气体通过内外壁间隙被吸引到第二引导流路76。也就是，在第三引导流路82流动而被吸入到内外壁间隙的马达壳体40a的内部的空气优先流入第二引导流路76，由此，朝向第二引导流路76的轴承用的压缩气体被密封，向第二引导流路76的压缩气体的流入量变为极少量。因此，可抑制因轴承用的压缩气体向第二引导流路76过度流入而使主轴轴体22与轴承60之间的间隙变化。

流入到第二引导流路76的空气在第二引导流路76流动，从该第二引导流路76的流出口80流出。从该流出口80流出的空气被吸引源(真空泵)吸引，从该吸引源排出。

如上，在本实施方式的主轴装置20中，在从外部吸引到的空气从第一引导流路72在第二引导流路76流动时，在主轴轴体22的外壁沿轴周围流动。因此，主轴轴体22的外壁侧被从外部吸引的空气冷却。另外，从马达40向主轴轴体22的前侧的传热减少。

因此，根据本实施方式的主轴装置20，能够减小在主轴轴体22与供该主轴轴体22插通的主轴外壳24之间产生的温度差，其结果，能够抑制加工精度的降低。

〔变形例〕

以上，作为本发明的一例，对上述的实施方式进行了说明，但本发明的技术范围不限于上述的实施方式所记载的范围。当然可以对上述的实施方式添加各种变更或改良。从专利申请所要求的保护范围的记载中可以清楚，加入了那样的变更或改良的方式也包含在本发明的技术范围内。以下记载对上述的实施方式添加了变更或改良的例子。

(变形例1)

图6是表示变形例1的第一引导流路72A、第二引导流路76A以及第三引导流路82A的概略图。此外，在图6中，对与在上述实施方式中说明的结构相同的结构标注相同的符号，适当地省略已经说明了的上述实施方式的结构。

变形例1的第一引导流路72A与上述实施方式的不同点在于，在设于主轴轴体22的前后的径向轴承60b之间配置有第二通路部72b。

在变形例1中，槽部70形成于在主轴轴体22的前后所设置的径向轴承60b之间的主轴轴体22的外周面侧的外壁，在该槽部70的底设有第一引导流路72A的流出口74。

另外，第二引导流路76A及第三引导流路82A在形成于外壳主体24a这一点上与上述实施方式不同。

具体来说，第二引导流路76A形成于在主轴轴体22的前后所设置的径向轴承60b之间，在形成于该之间的主轴轴体22的槽部70对置的外壳主体24a的内壁设有第二引导流路76A的流入口。第二引导流路76A的流出口与上述实施方式相同地设于外壳主体24a的外壁部分。

第三引导流路82A以第二引导流路76A为边界而形成于前侧和后侧双方，前侧及后侧的各第三引导流路82A的流入口设于外壳主体24a的外壁部分。前侧的第三引导流路82A的流出口设于第二引导流路76A的流入口与前侧的径向轴承60b之间的外壳主体24a的内壁。后侧的第三引导流路82A的流出口设于第二引导流路76A的流入口与后侧的径向轴承60b之间的外壳主体24a的内壁。

在变形例1中，从外部吸引且在第一引导流路72A流动的空气与上述实施方式相同地从第一引导流路72A的流出口流出，通过槽部70，从第二引导流路76A的流入口流入第二引导流路76A。

另一方面，根据吸引源(真空泵)的吸引力，外壳主体24a与主轴安装台26之间的空气在第三引导流路82A流动，被吸入内外壁间隙。被吸入到该内外壁间隙的空气发挥作用，以抑制供给至主轴轴体22与径向轴承60b之间的轴承用的压缩气体通过内外壁间隙而被吸引至第二引导流路76A。也就是，与上述实施方式相同地，被吸入到内外壁间隙的空气优先流入第二引导流路76A，由此，朝向第二引导流路76A的轴承用的压缩气体被密封，向第二引导流路76A的压缩气体的流入量变为极少量。

这样，即使是变形例1的第一引导流路72A、第二引导流路76A以及第三引导流路82A，也可确保与上述的实施方式相同的空气的流动。因此，与上述实施方式同样地，能够冷却主轴轴体22的外壁侧。

(变形例2)

图7是表示变形例2的槽部70A的概略图。此外，在图7中，对与在上述实施方式中说明了的结构相同的结构标注相同的符号，适当地省略已经说明了的上述实施方式的结构。

变形例2的槽部70A在形成于主轴外壳24(接头部24b)这一点上与上述实施方式的槽部70不同。具体来说，槽部70A在第一引导流路72的流出口74对置的主轴外壳24(接头部24b)的内壁沿主轴轴体22的轴周围形成为环状。在该槽部70A的底设有第二引导流路76的流入口78。此外，槽部70A的底为形成有该槽部70A的接头部24b的内壁的凹陷的部位。

在变形例2中，从设于主轴轴体22的外壁的流出口74流出的空气通过形成于接头部24b的内壁的槽部70A在主轴轴体22的外壁周围流动。因此，即使在接头部24b的内壁形成有槽部70A，也能够与上述实施方式同样地通过从外部吸引的空气冷却主轴轴体22的外壁侧。

(变形例3)

在上述实施方式中，在主轴轴体22的外周面侧的外壁形成有槽部70，在上述变形例2中，在接头部24b的内壁形成有槽部70A。但是，也可以使形成于主轴轴体22的外周面侧的外壁的槽部70和形成于接头部24b的内壁的槽部70A对置。主要地，只要在内外壁间隙设有槽部70及70A的至少一方即可。

此外，槽部70及70A沿主轴轴体22的轴周围形成为环状，但也可以沿主轴轴体22的轴周围形成为螺旋状。

(变形例4)

在上述实施方式中，在主轴轴体22的外周侧的外壁形成有槽部70。但是，也可以没有槽部70。在取消槽部70的情况下，例如，在绕主轴轴体22的轴的方向上隔开间隔地配置多个第一引导流路72的第二通路部72b和第二引导流路76的接头通路部76a。另外，使各第二通路部72b与第一通路部72a连通，使各接头通路部76a与外壳通路部76b连通。

这样，与上述实施方式同样地，在从外部吸引到的空气从第一引导流路72在第二引导流路76流动时，能够通过从外部吸引的空气冷却主轴轴体22的外壁侧。但是，为了沿轴周围冷却主轴轴体22的外壁侧，优选如上述实施方式那样形成有槽部70。

(变形例5)

在上述实施方式中，在主轴外壳24的接头部24b形成有第三引导流路82。但是，也可以没有第三引导流路82。在取消了第三引导流路82的情况下，例如，只要调整预定的调整对象，以使从第二引导流路76的流入口78吸引的轴承用的压缩气体为极少量即可。

作为该调整对象，例如可列举吸引源(真空泵)的吸引压力、向轴承60供给的压缩气体的气体压力等。但是，因为调整对象的调整容易复杂化，所以为了取消该调整，优选在主轴外壳24的接头部24b形成第三引导流路82。

(变形例6)

上述的实施方式及上述变形例也可以在不产生矛盾的范围内任意组合。

〔技术思想〕

以下记载根据上述的实施方式及变形例可掌握的技术思想。

主轴装置20具备：主轴外壳24，其具有贯通孔24H；主轴轴体22，其插通贯通孔24H；旋转部件30，其设于主轴轴体22的一端，且与主轴轴体22的旋转连动而旋转；以及马达40，其设于主轴轴体22的另一端，且使主轴轴体22旋转。

在旋转部件30形成有供从外部吸引的空气流动的吸引流路30c。

在主轴轴体22设有第一引导流路72、72A，该第一引导流路72、72A将在吸引流路30c流动的空气通过主轴轴体22的内部引导至形成贯通孔24H的主轴外壳24的内壁与和该内壁对置的主轴轴体22的外壁之间的间隙(内外壁间隙)。

在主轴外壳24形成有将引导至间隙的空气向主轴外壳24的外部引导的第二引导流路76、76A。

根据这样的主轴装置20，在从外部吸引的空气从第一引导流路72、72A流经第二引导流路76、76A时，能够冷却主轴轴体22的外壁侧。因此，能够减小在主轴轴体22与供该主轴轴体22插通的主轴外壳24之间产生的温度差，其结果，能够抑制加工精度的下降。

也可以是，在间隙沿主轴轴体22的轴周围设有槽部70、70A，槽部70、70A连通第一引导流路72、72A和第二引导流路76、76A。

这样，能够沿轴周围冷却主轴轴体22的外壁侧。因此，能够进一步减小在主轴轴体22与供该主轴轴体22插通的主轴外壳24之间产生的温度差。

也可以是，在主轴外壳24以与第二引导流路76、76A非连通的状态形成有将主轴外壳24的外部的空气引导至间隙的第三引导流路82、82A，该第三引导流路82、82A的流出口86设于通过压缩气体可旋转地支撑主轴轴体22的轴承60与第二引导流路76、76A的流入口78之间。

这样，能够根据吸引源(真空泵)的吸引压力，利用穿过第三引导流路82、82A而从外部吸入至内外壁间隙的空气减少流向第二引导流路76、76A的轴承用的压缩气体。因此，能够抑制主轴轴体22与轴承60之间的间隙变化。

也可以是，主轴外壳24具有设有轴承60的外壳主体24a和以覆盖外壳主体24a与马达40之间的主轴轴体22的一部分的外周面的方式设置的接头部24b，第二引导流路76具有：形成于接头部24b且与第一引导流路72连通的接头通路部76a；以及形成于外壳主体24a且连通接头通路部76a和主轴外壳24的外部的外壳通路部76b。

这样，能够高效地冷却从马达40传热的主轴轴体22。

也可以是，接头部24b被容纳马达40的转子40b及定子40c的马达壳体40a覆盖。

这样，能够高效地冷却从转子40b传热的主轴轴体22。

也可以是，第三引导流路82与容纳马达40的转子40b及定子40c的马达壳体40a的内部连通。

这样，能够根据吸引源(真空泵)的吸引压力，将由从安装有主轴轴体22的转子40b产生的热加温的空气通过第三引导流路82、82A吸入内外壁间隙，且穿过该内外壁间隙流向第二引导流路76。因此，容易抑制从转子40b向主轴轴体22的传热。

Claims

1.一种主轴装置，其特征在于，具备：

主轴外壳，其具有贯通孔；

主轴轴体，其插通于上述贯通孔；

旋转部件，其设于上述主轴轴体的一端，且与上述主轴轴体的旋转连动而旋转；以及

马达，其设于上述主轴轴体的另一端，且使上述主轴轴体旋转，

在上述旋转部件形成有供从外部吸引的空气流动的吸引流路，

在上述主轴轴体形成有第一引导流路，该第一引导流路将在上述吸引流路流动的空气通过上述主轴轴体的内部引导至形成上述贯通孔的上述主轴外壳的内壁与和该内壁对置的上述主轴轴体的外壁之间的间隙，

在上述主轴外壳形成有将引导至上述间隙的空气向上述主轴外壳的外部引导的第二引导流路。

2.根据权利要求1所述的主轴装置，其特征在于

在上述间隙沿上述主轴轴体的轴周围设有槽部，

上述槽部连通上述第一引导流路和上述第二引导流路。

3.根据权利要求1或2所述的主轴装置，其特征在于，

在上述主轴外壳以与上述第二引导流路非连通的状态形成有将上述主轴外壳的外部的空气向上述间隙引导的第三引导流路，上述第三引导流路的流出口设于利用压缩气体能够旋转地支撑上述主轴轴体的轴承与上述第二引导流路的流入口之间。

4.根据权利要求3所述的主轴装置，其特征在于，

上述主轴外壳具有：外壳主体，其供上述轴承设置；以及接头部，其以覆盖上述外壳主体与上述马达之间的上述主轴轴体的一部分的外周面的方式设置，

上述第二引导流路具有：接头通路部，其形成于上述接头部且与上述第一引导流路连通；以及外壳通路部，其形成于上述外壳主体且连通上述接头通路部和上述主轴外壳的外部。

5.根据权利要求4所述的主轴装置，其特征在于，

上述接头部被容纳上述马达的转子及定子的马达壳体覆盖。

6.根据权利要求3～5中任一项所述的主轴装置，其特征在于，

上述第三引导流路与容纳上述马达的转子及定子的马达壳体的内部连通。