CN102979816A - 主轴装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种主轴装置，其可以容易地进行轴承的交换。具体为，其具有：外壳（2）；转轴（3），收纳在外壳（2）中，具备推力盘（3a）；径向推力轴承（30），一体地具备非接触地进行转轴（3）的半径方向的支撑的径向轴承部（30A）以及非接触地进行推力盘（3a）的推力方向的支撑的推力轴承部（30B）；固定螺栓（50），沿转轴（3）的轴向贯穿推力轴承部（30B），固定径向推力轴承（30）和外壳（2）；及马达（4），具有设置在转轴（3）上的转子（4a）以及与转子（4a）相对地设置在外壳（2）内周侧的定子（4b）。

Description

主轴装置

技术领域

所公开的实施方式涉及一种以非接触状态支撑转轴的主轴装置。

背景技术

专利文献1中记载有一种空气静压轴承主轴，其具有：转轴，收纳在外壳内；2个空气静压轴颈轴承，对转轴的半径方向进行支撑；及两面对置型空气静压推力轴承，其配置为夹着在设置于转轴负载侧的推力盘的径向上所设置的间隔件的两侧，对转轴的推力方向进行支撑。

专利文献1：日本国特开2006-132560号公报

主轴装置存在拆下轴承并进行交换的情况，但是在上述现有技术中，对于轴承的交换并没有特别地进行研究等。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而进行的，其目的在于提供一种主轴装置，可以容易地进行轴承的交换。

为了解决上述课题，根据本发明的一个观点，应用一种主轴装置，其具有：外壳；转轴，收纳在所述外壳中，具备推力盘；轴承，一体地具备非接触地进行所述转轴的半径方向的支撑的径向轴承部以及非接触地进行所述推力盘的推力方向的支撑的推力轴承部；固定螺栓，沿所述转轴的轴向贯穿所述推力轴承部，固定所述轴承和所述外壳；及马达，具有设置在所述转轴上的转子以及与所述转子相对地设置在所述外壳内周侧的定子。

根据本发明，可以容易地进行轴承的交换。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的主轴装置的整体构成的纵剖视图。

图2是表示实施方式所涉及的主轴装置的整体构成的其它的纵剖视图。

图3是用于说明轴承的交换步骤的说明图。

符号说明

1-主轴装置；2-外壳；2a-表面；3-转轴；3a-推力盘；4-马达；4a-转子；4b-定子；7-供气通路（第1供给路）；24-供气通路（第4供给路）；30-径向推力轴承（轴承）；30A-径向轴承部；30B-推力轴承部；30b-表面；31-轴承本体部；32-径向轴承用套筒；33-推力轴承用套筒；34c-供气通路（第2供给路）；36-制冷剂流路（第2制冷剂流路）；40-间隔件；40b-表面；42-供气通路（第3供给路）；50-固定螺栓；53-O形圈；54-凹部（第1凹部）；57-O形圈；58-凹部（第2凹部）；61-O形圈；62-凹部（第3凹部）。

具体实施方式

以下，参照附图对一个实施方式进行说明。

<主轴装置的整体构成>

首先，利用图1及图2对主轴装置的整体构成进行说明。另外，图1及图2是针对同一主轴装置的不同角度的纵剖视图。以下，在图1及图2中以右侧为负载侧，左侧为负载相反侧进行说明。

如图1及图2所示，本实施方式所涉及的主轴装置1具有：筒状的外壳2；转轴3，收纳在外壳2内，在负载侧具备推力盘3a；及马达4，设置在负载相反侧。马达4具有：转子4a，设置在转轴3的负载相反侧；及定子4b，与转子4a相对地隔着套筒5设置在外壳2的内周侧。在外壳2的负载相反侧设置有具备排出孔6a的支承板6。

而且，主轴装置1具有：径向轴承10，在负载相反侧非接触地进行转轴3的半径方向的支撑；推力轴承20，在负载侧非接触地进行转轴3的推力盘3a的推力方向的支撑；及径向推力轴承30，在转轴3的轴向上设置在上述径向轴承10和推力轴承20之间，非接触地进行转轴3的半径方向及推力方向的两个方向的支撑。径向推力轴承30一体地具备：径向轴承部30A，非接触地进行转轴3的半径方向的支撑；及推力轴承部30B，非接触地进行推力盘3a的推力方向的支撑。另外，径向推力轴承30相当于技术方案所记载的轴承的一个例子，推力轴承20相当于负载侧推力轴承的一个例子。

轴承10、20、30是通过喷出流体而与转轴3及推力盘3a之间形成流体膜从而非接触地进行支撑的流体轴承。在本实施方式中，作为一个例子说明了将压缩空气用作流体，但是并不限定于此，也可以使用高压水、高压油等其它的流体。

如图1所示，在外壳2中设置有：供气通路7，用于向轴承10、20、30供给压缩空气；及排气通路8，用于排出空气。上述供气通路7及排气通路8设置在外壳2的圆周方向的适当位置（既可以是1个位置也可以是多个位置）上。在图1所示的例子中，供气通路7和排气通路8在圆周方向上对置。另外，供气通路7相当于技术方案所记载的第1供给路的一个例子。

<径向轴承的构成>

下面，对径向轴承10的构成进行说明。径向轴承10嵌合在外壳2的内周侧。径向轴承10具有：轴承本体部11；及径向轴承用套筒12，其利用粘接等而设置在轴承本体部11的内周侧，与转轴3的表面对置。轴承本体部11由刚性高的材料（例如不锈钢）构成，径向轴承用套筒12由自我润滑性高的材料（例如石墨）构成。在轴承本体部11上设置有与供气通路7连通的供气通路13a、13b，在径向轴承用套筒12上设置有供气喷嘴14a、14b，分别与供气通路13a、13b连通，向转轴3的表面喷出压缩空气。上述供气通路13及供气喷嘴14设置在圆周方向的多个位置上。另外，在图1所示的例子中，在轴向的2个位置上设置有供气通路13及供气喷嘴14，但是也可以是1个位置或3个位置以上。

在径向轴承10的轴承本体部11的轴向大致中央位置上设置有用于使制冷剂循环的制冷剂流路15。制冷剂流路15作为凹状槽而形成在轴承本体部11的外周面上，与设置于外壳2的制冷剂流路（省略图示）连通。另外，未图示的外壳2的制冷剂流路相当于技术方案所记载的第1制冷剂流路的一个例子。

在径向轴承10的轴承本体部11的外周面上沿轴向的4个位置设置有O形圈用槽16，在上述槽16中分别嵌入O形圈51。槽16及O形圈51位于如下4个位置，即：负载侧的供气通路13a的更加负载侧；供气通路13a和制冷剂流路15之间；制冷剂流路15和供气通路13b之间；负载相反侧的供气通路13b的更加负载相反侧。通过上述O形圈51，进行外壳2和径向轴承10的接合面上的制冷剂流路15的密封以及供气通路7与供气通路13a、13b的连通部的密封。

<径向推力轴承的构成等>

下面，对径向推力轴承30的构成进行说明。径向推力轴承30使径向轴承部30A嵌合在外壳2的内周侧，使推力轴承部30B固定在外壳2的负载侧。径向推力轴承30具有：剖视呈大致L字形的轴承本体部31，横跨径向轴承部30A和推力轴承部30B而设置；径向轴承用套筒32，在径向轴承部30A中利用粘接等而设置在轴承本体部31的内周侧，与转轴3的表面对置；及剖视呈大致L字形的推力轴承用套筒33，在推力轴承部30B中利用粘接等而设置在轴承本体部31的内周侧，与转轴3及推力盘3a的表面对置。与径向轴承10一样，轴承本体部31由刚性高的材料（例如不锈钢）构成，径向轴承用套筒32及推力轴承用套筒33由自我润滑性高的材料（例如石墨）构成。

在轴承本体部31的径向轴承部30A部分上设置有与供气通路7连通的供气通路34a、34b，在径向轴承用套筒32上设置有2个供气喷嘴35a、35b，其分别与供气通路34a、34b连通，向转轴3的表面喷出压缩空气。而且，在轴承本体部31的推力轴承部30B部分上设置有与供气通路7连通的供气通路34c，在推力轴承用套筒33上设置有供气喷嘴35c，其与供气通路34c连通，向推力盘3a的表面喷出压缩空气。上述供气通路34及供气喷嘴35设置在圆周方向的多个位置上。另外，在图1所示的例子中，在径向轴承部30A中沿轴向的2个位置设置有供气通路34及供气喷嘴35，但是也可以是1个位置或3个位置以上。而且，在推力轴承部30B中沿半径方向的1个位置设置有供气喷嘴35c，但是也可以是2个位置以上。另外，供气通路34c相当于技术方案所记载的第2供给路的一个例子。

在轴承本体部31的径向轴承部30A部分上设置有用于使制冷剂循环的制冷剂流路36。制冷剂流路36作为凹状槽而形成在轴承本体部31的外周面上，与设置于外壳2的制冷剂流路（省略图示）连通。而且，在轴承本体部31的径向轴承部30A部分的外周面上沿轴向的4个位置设置有O形圈用槽37，在上述槽37中分别嵌入O形圈52。槽37及O形圈52的位置关系与前述的径向轴承10一样。通过上述O形圈52，进行外壳2和径向推力轴承30的接合面上的制冷剂流路36的密封以及供气通路7与供气通路34a、34b的连通部的密封。另外，制冷剂流路36相当于技术方案所记载的第2制冷剂流路的一个例子。

另外，在轴承本体部31的推力轴承部30B部分上设置有与排气通路8连通的排气通路38。排气通路38设置在轴承本体部31的圆周方向的适当位置（既可以是1个位置也可以是多个位置）上。在图1所示的例子中，供气通路34c和排气通路38在圆周方向上对置。

在外壳2负载侧的表面2a上设置有用于设置O形圈53的凹部54，该O形圈53在外壳2和推力轴承部30B的接合面上密封供气通路7与供气通路34c的连通部。同样，在外壳2负载侧的表面2a上设置有用于设置O形圈55的凹部56，该O形圈55密封排气通路8与排气通路38的连通部。另外，凹部54相当于技术方案所记载的第1凹部的一个例子。

如图2所示，在推力轴承部30B的圆周方向的多个位置上设置有贯穿孔39，多个固定螺栓50分别沿转轴3的轴向贯穿该贯穿孔39，通过与外壳2的螺纹孔（省略图示）螺合，将径向推力轴承30固定于外壳2。

<间隔件的构成等>

下面，对间隔件40的构成进行说明。在径向推力轴承30的推力轴承部30B的负载侧设置有间隔件40。如图2所示，在间隔件40的圆周方向的多个位置（与贯穿孔39对应的位置）上设置有固定螺栓50用贯穿孔41。间隔件40利用穿过贯穿孔41的固定螺栓50而被固定在推力轴承部30B的负载侧，由此被配置在推力盘3a的外周侧。如图1所示，间隔件40具有供气通路42，其与推力轴承部30B的供气通路34c连通，沿轴向贯穿间隔件40。而且，间隔件40具有与推力轴承部30B的排气通路38连通的排气通路43。排气通路43的端部在与推力盘3a相对的内周面40a上开口。在图1所示的例子中，供气通路42和排气通路43在圆周方向上对置。另外，供气通路42相当于技术方案所记载的第3供给路的一个例子。

在推力轴承部30B负载侧的表面30b上设置有用于设置O形圈57的凹部58，该O形圈57在推力轴承部30B和间隔件40的接合面上密封供气通路34c与供气通路42的连通部。同样，在推力轴承部30B负载侧的表面30b上设置有用于设置O形圈59的凹部60，该O形圈59在推力轴承部30B和间隔件40的接合面上密封排气通路38与排气通路43的连通部。另外，凹部58相当于技术方案所记载的第2凹部的一个例子。

<推力轴承的构成等>

下面，对推力轴承20的构成进行说明。在间隔件40的负载侧设置有推力轴承20。如图2所示，在推力轴承20的圆周方向的多个位置（与贯穿孔41对应的位置）上设置有固定螺栓50用贯穿孔21。推力轴承20利用穿过贯穿孔21的固定螺栓50而被固定在间隔件40的负载侧，由此夹着推力盘3a而与推力轴承部30B对置。

径向轴承20具有：轴承本体部22；及剖视呈大致L字形的推力轴承用套筒23，其利用粘接等而设置在轴承本体部22的内周侧，与转轴3及推力盘3a的表面对置。与径向轴承10、径向推力轴承30一样，轴承本体部22由刚性高的材料（例如不锈钢）构成，推力轴承用套筒23由自我润滑性高的材料（例如石墨）构成。

如图1所示，在轴承本体部22上设置有与间隔件40的供气通路42连通的供气通路24，在推力轴承用套筒23上设置有供气喷嘴25，其与供气通路24连通，向推力盘3a的表面喷出压缩空气。上述供气通路24及供气喷嘴25设置在圆周方向的多个位置上。另外，在图1所示的例子中，在半径方向的1个位置上设置供气喷嘴25，但是也可以是2个位置以上。另外，供气通路24相当于技术方案所记载的第4供给路的一个例子。

在间隔件40负载侧的表面40b上设置有用于设置O形圈61的凹部62，该O形圈61在间隔件40和推力轴承20的接合面上密封供气通路42与供气通路24的连通部。另外，凹部62相当于技术方案所记载的第3凹部的一个例子。

<主轴装置的动作>

下面，对主轴装置1的动作进行说明。在主轴装置1中，向供气通路7供给压缩空气时，压缩空气经过供气喷嘴14a、14b，流入径向轴承10和转轴3之间的轴承间隙从而形成气体膜。而且，压缩空气经过供气喷嘴35a、35b，流入径向推力轴承30的径向轴承部30A和转轴3之间的轴承间隙从而形成气体膜，同时经过供气喷嘴35c，流入推力轴承部30B和推力盘3a之间的轴承间隙从而形成气体膜。而且，压缩空气经过供气喷嘴25，流入推力轴承20和推力盘3a之间的轴承间隙从而形成气体膜。由此，转轴3相对于半径方向及推力方向的两个方向而被非接触地支撑。如此，转轴3在被轴承10、20、30非接触地支撑的状态下，通过马达4而被驱动。

另一方面，供给至轴承10、20、30的压缩空气的排气路径如下所示。如图1所示，从负载侧的排气间隙71向外部排出供给至推力轴承20的空气的一部分。而且，供给至径向推力轴承30的推力轴承部30B的空气的一部分经过排气路径72并经由排气通路43、38、8而流入排气路径73，同时供给至径向轴承部30A的空气的一部分经过排气路径74并经由排气通路8而流入排气路径73。而且，供给至径向轴承10的空气的一部分直接流入排气路径73。如此，流入排气路径73的空气在经过马达4的转子4a和定子4b之间的磁隙75时，利用伴随强制对流的热传递来冷却由定子4b产生的热量，并介由排出孔6a向外壳2的外部散热。

另外，由定子4b产生的热量的散热路径除利用经过前述磁隙75的空气来吸收的路径以外，存在以下2个路径。一个是介由套筒5向外壳2传递由定子4b产生的热量，从外壳2的外周面向空气中散热的路径。另一个是介由磁隙75向转轴3辐射传递由定子4b产生的热量，介由转轴3散热的路径。传递至转轴3的热量沿转轴3的整体扩散，从转轴3的轴端面直接向空气中散热，或传递给从轴承10、20、30向转轴3及推力盘3a的表面喷出的压缩空气，或者，介由轴承间隙传递给轴承10、20、30，直接或介由外壳2等向空气中散热。

<轴承的交换步骤>

下面，利用图3对轴承的交换步骤进行说明。在以非接触状态支撑转轴3的主轴装置1中，每当因停电等而无法实现转轴3的悬浮控制时或装置停止时转轴3与轴承10、20、30接触，因此，有可能导致轴承10、20、30损伤。尤其是配置在负载侧的推力轴承20及径向推力轴承30与负载相反侧的径向轴承10相比容易发生接触，因此，通常交换频度变多。因而，这里对交换推力轴承20及径向推力轴承30时的步骤进行说明。

图3所示的步骤是为了容易进行作业，而在使主轴装置1的负载侧朝向上侧的状态下进行轴承交换作业时的一个例子。首先如图3（a）所示，拧松所有的固定螺栓50，并从主轴装置1拆下。之后如图3（b）所示，向上侧依次拆下推力轴承20及间隔件40。之后如图3（c）所示，向上侧拔出转轴3，并从外壳2拆下。之后如图3（d）所示，向上侧拔出径向推力轴承30，并从外壳2拆下。径向推力轴承30的径向轴承部30A嵌合在外壳2的内周侧，例如预先在推力轴承部30B的周向多个位置上设置螺纹孔（省略图示），使与其螺合的螺钉（省略图示）与外壳2负载侧的表面2a抵接并拧入螺钉，由此使推力轴承部30B离开表面2a，可从外壳2拔出径向轴承部30A。

对于如此拆下的推力轴承20及径向推力轴承30，根据需要，进行推力轴承用套筒23、33或径向轴承用套筒32的交换。套筒交换后，利用与上述相反的步骤，将径向推力轴承30、转轴3、间隔件40、推力轴承20安装于外壳2，连结固定螺钉50。由此，结束轴承的交换。

<实施方式的效果>

根据以上说明的实施方式，主轴装置1具有径向推力轴承30，该径向推力轴承30一体地具备：径向轴承部30A，非接触地进行转轴3的半径方向的支撑；及推力轴承部30B，非接触地进行推力盘3a的推力方向的支撑。如此，通过使径向轴承和推力轴承构成为一体的轴承，可以一次进行径向轴承和推力轴承的装拆作业，因此，可以容易地进行轴承的交换。尤其是在交换频度高的负载侧使径向轴承和推力轴承一体构成，因此，效果明显。

而且，在本实施方式中，通过沿转轴3的轴向贯穿推力轴承部30B的固定螺栓50来固定径向推力轴承30和外壳2。由此，能够得到如下效果。例如，考虑使径向轴承部30A和推力轴承部30B分开构成的主轴装置时，作用于径向轴承部30A的半径方向的负荷仅由位于其外周侧的外壳2支撑。与此相对，在本实施方式中，使径向轴承部30A和推力轴承部30B构成为一体的轴承，使固定螺栓50贯穿推力轴承部30B并进行固定，因此，不仅仅由外壳2还可以由固定螺栓50承受作用于径向轴承部30A的半径方向的负荷。由此，可以使半径方向的承受负荷增大，可提高主轴装置1的耐久性、可靠性。

另外，需要将径向轴承部30A和推力轴承部30B配置为相互呈直角，由于通过使它们为一体构件而能够进行同时加工，因此与分开构成时相比容易达成直角的精度。因而，可以进一步提高主轴装置1的可靠性。

而且，在本实施方式中，尤其是在轴承10、20、30的轴承本体部11、22、31的内周侧设置与转轴3及推力盘3a对置的套筒12、23、32、33。由此，交换轴承10、20、30时，仅交换因与转轴3、推力盘3a接触而损伤的套筒部分即可，与交换轴承整体时相比可以削减成本。尤其是在径向推力轴承30中，由径向轴承用套筒32和推力轴承用套筒33的2个构件构成套筒。由此，当损伤部分仅为径向轴承部30A及推力轴承部30B的一个时，仅交换相应的套筒即可，与交换轴承整体时相比可以进一步削减成本。如此，可容易地进行轴承的交换，并且可以将交换所需的成本控制为所需的最小限度。

另外，如上所述，由定子4b产生的热量传递给外壳2，同时介由磁隙75传递给转轴3。而且，流入径向轴承10及径向推力轴承30与转轴3之间的狭小间隙的压缩空气通过转轴3的旋转而发热。该压缩空气所产生的热量分别传递给轴承10、30及转轴3。而且，在本实施方式中，尤其是外壳2具有制冷剂流路，并且径向轴承10及径向推力轴承30分别具有与外壳2的制冷剂流路连通的制冷剂流路15、36。由此，可以通过沿制冷剂流路循环的制冷剂来冷却从定子4b传递给外壳2的热量，并且可以通过沿制冷剂流路15、36循环的制冷剂来冷却从压缩空气传递给轴承10、30的热量、介由转轴3传递给轴承10、30的热量。而且，利用流过制冷剂流路15、36的制冷剂可以冷却从径向轴承10的供气喷嘴14a、14b喷出的压缩空气以及从径向推力轴承30的供气喷嘴35a、35b、35c喷出的压缩空气，因此，可以有效地冷却轴承10、30、转轴3。而且，由于可以冷却压缩空气，因此可以有效地冷却由位于空气的排出路径上的定子4b产生的热量。而且，由于使径向轴承部30A和推力轴承部30B构成为一体的轴承，因此还可以通过设置于径向轴承部30A的制冷剂流路36而利用热传递对推力轴承部30B进行冷却，与分开构成时相比可以有效地对轴承整体进行冷却。如上所述，可以提高主轴装置1的冷却效率。

而且，在本实施方式中，尤其是分别在外壳2负载侧的表面2a、推力轴承部30B负载侧的表面30b、间隔件40负载侧的表面40b上设置有用于设置O形圈53、57、61的凹部54、58、62，该O形圈53、57、61在外壳2和推力轴承部30B的接合面、推力轴承部30B和间隔件40的接合面、间隔件40和推力轴承20的接合面上密封各供气通路的连通部。由此，由于在轴承的交换作业时各凹部54、58、62位于外壳2、推力轴承部30B及间隔件40的上面，因此O形圈53、57、61的装拆变得容易，并且可以防止所设置的O形圈脱落。另外，对于凹部56、60也呈同样的构成，具有同样的效果，该凹部56、60用于设置对各排气通路的连通部进行密封的O形圈55、59。因而，可以更加容易地进行轴承的交换。

而且，在本实施方式中，尤其是由自我润滑性高的石墨等构成轴承10、20、30的套筒12、23、32、33，由此可以抑制套筒12、23、32、33与转轴3接触时的烧熔等所引起的损伤。另一方面，由刚性高的不锈钢等构成轴承10、20、30的轴承本体部11、22、31，由此可以确保轴承10、20、30的刚性。

<变形例>

另外，不局限于上述实施方式，可在不脱离其主旨及技术思想的范围内实施各种变形。

例如，在上述实施方式中作为一个例子说明了径向轴承为2个（径向轴承10和径向轴承部30A）的情况，但是也可以是径向轴承为1个（不设置径向轴承10而仅设置径向轴承部30A）或者3个以上的构成。

而且，虽然在上述实施方式中，构成为使马达4配置在负载相反侧，但是例如也可以构成为使马达4配置在径向轴承10和径向推力轴承30之间等而配置于轴向中央位置。

而且，虽然在上述实施方式中，作为一个例子说明了各轴承为流体轴承的情况，但是例如也可以是通过磁力非接触地支撑转轴3的磁力轴承。

而且，除以上已经说明的以外，也可以适当组合上述实施方式、各变形例的方法而加以利用。此外，虽未一一例示，但是上述实施方式、各变形例可在不脱离其主旨的范围内施加各种变更来进行实施。

Claims (6)

1.一种主轴装置，其特征在于，具有：

外壳；

转轴，收纳在所述外壳中，具备推力盘；

轴承，一体地具备非接触地进行所述转轴的半径方向的支撑的径向轴承部以及非接触地进行所述推力盘的推力方向的支撑的推力轴承部；

固定螺栓，沿所述转轴的轴向贯穿所述推力轴承部，固定所述轴承和所述外壳；

及马达，具有设置在所述转轴上的转子以及与所述转子相对地设置在所述外壳内周侧的定子。

2.根据权利要求1所述的主轴装置，其特征在于，所述轴承具有：

轴承本体部，横跨所述径向轴承部和所述推力轴承部而设置；

径向轴承用套筒，在所述径向轴承部中设置在所述轴承本体部的内周侧，与所述转轴的表面对置；

及推力轴承用套筒，在所述推力轴承部中设置在所述轴承本体部的内周侧，与所述推力盘的表面对置。

3.根据权利要求1或2所述的主轴装置，其特征在于，

所述外壳具有使制冷剂循环的第1制冷剂流路，

所述轴承在所述径向轴承部中具有与所述第1制冷剂流路连通的第2制冷剂流路。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的主轴装置，其特征在于，

所述轴承是喷出流体而支撑所述转轴及所述推力盘的流体轴承，

所述外壳具有用于向所述轴承供给所述流体的第1供给路，

所述推力轴承部通过所述固定螺栓而被固定在所述外壳的负载侧，具有与所述第1供给路连通的第2供给路，

在所述外壳负载侧的表面上设置有用于设置O形圈的第1凹部，该O形圈在所述外壳和所述推力轴承部的接合面上密封所述第1供给路与所述第2供给路的连通部。

5.根据权利要求4所述的主轴装置，其特征在于，还具有：

间隔件，通过所述固定螺栓而被固定在所述推力轴承部的负载侧，由此被配置在所述推力盘的外周侧，具有与所述第2供给路连通的第3供给路；

及负载侧推力轴承，通过所述固定螺栓而被固定在所述间隔件的负载侧，由此夹着所述推力盘而与所述推力轴承部对置，具有与所述第3供给路连通的第4供给路，

在所述推力轴承部负载侧的表面上设置有用于设置O形圈的第2凹部，该O形圈在所述推力轴承部和所述间隔件的接合面上密封所述第2供给路与所述第3供给路的连通部，

在所述间隔件负载侧的表面上设置有用于设置O形圈的第3凹部，该O形圈在所述间隔件和所述负载侧推力轴承的接合面上密封所述第3供给路与所述第4供给路的连通部。

6.根据权利要求2至5中任意一项所述的主轴装置，其特征在于，

所述轴承本体部由不锈钢构成，

所述径向轴承用套筒及所述推力轴承用套筒由石墨构成。

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