JPS6094266A - スピンドルユニツト - Google Patents

スピンドルユニツト

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Publication number
JPS6094266A
JPS6094266A JP20301183A JP20301183A JPS6094266A JP S6094266 A JPS6094266 A JP S6094266A JP 20301183 A JP20301183 A JP 20301183A JP 20301183 A JP20301183 A JP 20301183A JP S6094266 A JPS6094266 A JP S6094266A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
flow passage
air
rotary shaft
bearing body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20301183A
Other languages
English (en)
Inventor
Isamu Ogami
大上 勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP20301183A priority Critical patent/JPS6094266A/ja
Publication of JPS6094266A publication Critical patent/JPS6094266A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/04Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Turning (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業」二の利用分野 本発明は工作機等のスピンドルユニットに関するもので
ある。
従来例の構成とその問題点 従来、砥石と被加工物を相対回転せしめ、送り装置によ
り砥石を被加工物に押圧し研削加工する研削機において
、被力旧1二物を保持する手段として電磁チャックや爪
チャノクを用いているが、重量が大、構造が複雑、被加
工物が磁化される等の問題があった。特に高精密で微細
な加工前を効率よく得るには、砥石と被加工物の相対回
転速度と、回転振れ等の回転精度の上昇が必要で、前記
電46チャックや爪チャック等の重量の大きなものは回
転不均衡の要因となり、高精密で、微細な研削加工は容
易でなかった。
発明の目的 本発明は上記欠点を解消するもので、数千ないし数万回
転/分の高速回転と回転精度を阻害しない真空チャンク
を具備したスピンドルユニットを提供するものである。
発明の構成 本発明は、スピンドルユニットの軸受体内に設けられた
真空排気ポートと回転軸に設けられた真空排気溜りと吸
着部とにより構成された真空チャックとクリーニングエ
アー流路を具備したスピンドルユニットで、軸受体と回
転軸間の流路は、非接触で、スピンドルユニットの回転
精度を阻害する事なく、軽量な為、回転不均衡もなく高
速回転で使用でき研削加工等の機械加工精度向上に果す
役割の大なるものである。
実施例の説明 以下本発明の一実施例を第1図〜第3図により説明する
。1はモーターを内蔵一体化し、端部に椀形砥石2を装
着し、該椀形砥石2を、回動自在ならしめている砥石軸
ヘッドである。3は軸端部にモルタ−6を装着し、他軸
端部には被加工物4を前記椀形砥石2VC対向、保持す
る真空チャック6を具(+ifi L、空気軸受で軸支
されたスピンドルユニット7より成る工作物ヘッドで、
その下部には被加工物4を椀形砥石2に押圧する送り装
置8が配設されていて、椀形砥石2と被加工物4を相対
回転せしめ、送り装置8により被加工物4を椀形砥石2
に押圧し、研削加工を行なう研削加工機に実施した一例
である。
9は円柱状の回転軸で、端部には被加工物4を張り付け
だ円板状の治具10を真空吸着する為の治具10より小
径で段付き穴のポート11が設けられている。ポート1
1の近傍には丸棒状のピン24が治具10に設けられて
いる穴26に一端を1捷せて、治具1oを位置決めかつ
回転軸9のトルクを伝達できる様に係止されている。ま
た後述する軸受体に設けられている真空排気ポートに対
向かつ連通ずる溝状の真空排気溜り12が円周面に設け
られている。真空排気溜り12近傍の後述する軸受体と
回転軸9との空隙tは数μmとなっている。
13は前記ポート11と真空排気溜り12とを連通ずる
流路である。壕だ回転軸9の他端には、モーター(図の
左側で第2〜3図では図示せず)が装着されていて、後
述の空気軸受で軸方向及び軸直交方向とも軸支され、回
動自在となっている。
14は回転軸9とで公知の空気軸苧5を構成し、回転軸
9を回動可能に軸支している軸受体で該軸受体14の先
端部には一端を軸受体14外部に臨捷せ回転軸9円周面
との間に隙間Tとなる様な円形の吹き出し穴17が設け
られている。前記隙間Tは空隙tより大である。次いで
軸受体14には吹き出し入17に隣接して環状の溝より
なるエアーポケット16が設けられている。
18はエアーポケット16に連通して、流体導管とも連
結可能な流体路で、19は回転体9に設けられている真
空拮気溜り12に対向しナイロンテー−ブや鋼管等の流
体導管と連結可能な真空排気ポートであり真空発生装置
(図示せず)と連通している。丑だ前記流体路18は圧
縮空気源(図示せず)に連通している。また20は空気
軸受15の力!気孔である。21は空気軸受15の給気
ボートで、22は軸受体14と回転軸9とで構成された
スピンドルユニットを数句ける取付台である。
以上述べた構成の内、ポート11と真空排気溜り12と
流路13と真空排気ポート19とで真空チャック23 
’E ’rtQ成している。またクリーニングエアー流
路24は流体路18とエアーポケット16と吹き出し穴
17とで構成されている。
以上の様に構成されたスピンドルユニットについて、以
下その動作について説明する。予じめ被加工物4を張り
(=Jけた治具1oを真空チャック23のピン24 v
c穴25を臨ませ、治具1oを真空チーtツク23 (
1111VtC;1114寸は入J−n @ ’521
k 抜讐(Ft+ 乎A−ず)よりの排気作動により真
空チャック23はチャッキング作用を果し治具10は保
持される。その際、排気経路の真空排気溜り12と真空
排気ポート19との間に空隙tがあり幾分真空チャック
23の吸着効果は減少するが実用上の障害はない。
次いで給気ポート21より圧縮空気を導入し空気軸受1
5の作動により軸支された回転軸9を回動させると治具
1oはピン24を介して治具10は回転軸9と一体に回
転し、実施例の研削加工機のスピンドルユニットの用を
供して研削加工を行なうがその際、切粉等の微小な粒子
の軸受体14と回転軸9との空隙tへの混入は流体路1
8より導入された圧縮空気はエアーポケット16を経て
真空排気溜り12に幾分かは流れるが空隙tと隙間Tと
の関係により殆んどは吹き出し穴17を経てスピンドル
ユニット外へと放出され、切粉等の異物の混入もなく空
気軸受15も損傷を受ける事はない。
発明の効果 以上の様に本発明は軸受体と回転軸2VC流体流路を非
接触で連通ずる様に設けた真空吸着部と端部に空気吹き
出し部を設ける事によりチャ・、り装置の軽減とスピン
ドルユニットの回転精度の向上と高速回:1lJ−を容
易にする事ができその実用的効果は犬なるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図d、本発明のブ実施例におけるスピンドルユニッ
トを使用した加工機主要部の側面図、第2図はスピンド
ルユニットの主要部の断面図、第3図は同拡大断面図で
ある。 11・・・・ボート、12・・・・・真空排気溜り、1
3・・・・流路、16 ・・エアーポケット、17・°
・吹き出し穴、18・・・流体路、19・・・真空排気
ポート。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名筆 
3 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 非接触で軸受体と回転軸とで構成されだ流路を有する真
    空吸着部と、軸受体端部で流体軸受用の軸受体と回転軸
    との空隙よりも大の空隙を軸受体外部に臨1ぜる軸受体
    と、回転軸とで構成された空気吹き出し部を具備したス
    ピンドルユニノl−。
JP20301183A 1983-10-28 1983-10-28 スピンドルユニツト Pending JPS6094266A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20301183A JPS6094266A (ja) 1983-10-28 1983-10-28 スピンドルユニツト

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20301183A JPS6094266A (ja) 1983-10-28 1983-10-28 スピンドルユニツト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6094266A true JPS6094266A (ja) 1985-05-27

Family

ID=16466855

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20301183A Pending JPS6094266A (ja) 1983-10-28 1983-10-28 スピンドルユニツト

Country Status (1)

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JP (1) JPS6094266A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7118446B2 (en) * 2003-04-04 2006-10-10 Strasbaugh, A California Corporation Grinding apparatus and method
US11027386B2 (en) 2018-10-25 2021-06-08 Fanuc Corporation Spindle device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7118446B2 (en) * 2003-04-04 2006-10-10 Strasbaugh, A California Corporation Grinding apparatus and method
US7458878B2 (en) 2003-04-04 2008-12-02 Strasbaugh, A California Corporation Grinding apparatus and method
US11027386B2 (en) 2018-10-25 2021-06-08 Fanuc Corporation Spindle device

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