CN111020477A - 一种掩膜装置、蒸镀方法及显示面板 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜装置、蒸镀方法及显示面板，该掩膜装置掩膜装置包括：第一掩膜版和第二掩膜版；第一掩膜版包括边框遮挡部和蒸镀开口区,边框遮挡部围绕蒸镀开口区；在制备显示基板的公共膜层时，蒸镀开口区在显示基板所在平面上的正投影覆盖显示基板的像素设置区；第二掩膜版包括开孔遮挡部，以及沿第一方向延伸的至少两条碳纤维；碳纤维与开孔遮挡部固定连接，承载开孔遮挡部；开孔遮挡部在显示基板上的正投影覆盖基板的预设开孔区，碳纤维在显示基板上的正投影位于显示基板上相邻子像素开口之间。本发明提供了一种掩膜装置、蒸镀方法及显示面板，以解决显示面板的开孔区因被蒸镀有蒸镀材料而无法进行封装的问题。

Description

一种掩膜装置、蒸镀方法及显示面板

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜装置、蒸镀方法及显示面板。

背景技术

随着显示技术的发展，显示设备的边框越来越窄，甚至呈现无边框的视觉效果，这极大的提高了显示设备的屏占比，使得用户的视觉体验得到了提升。

对于窄边框的显示设备来说，有的需要在显示设备的屏幕开孔，以在显示设备的屏幕开孔区设置功能器件。例如：对全屏化手机，其前置摄像头位于全屏化手机的屏幕区域，全屏化手机对应前置摄像头的位置开设功能孔，以保证前置摄像头正常工作。

然而，在显示面板的制作过程中，需要通过公共掩膜版进行膜层蒸镀，上述开孔区也容易被蒸镀上蒸镀材料，导致后续显示面板无法进行封装，此外，若上述开孔区被蒸镀上阴极材料，则阴极材料会影响该区域的透过率和反射率，从而影响其下部摄像头的成像效果。

发明内容

本发明实施例提供了一种掩膜装置、蒸镀方法及显示面板，以解决显示面板的开孔区因被蒸镀有蒸镀材料而无法进行封装的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种掩膜装置，用于制备显示基板的公共膜层，所述显示基板包括预设开孔区和像素设置区，所述掩膜装置包括：第一掩膜版和第二掩膜版；

所述第一掩膜版包括边框遮挡部和蒸镀开口区,所述边框遮挡部围绕所述蒸镀开口区；在制备所述显示基板的公共膜层时，所述蒸镀开口区在所述显示基板所在平面上的正投影覆盖所述显示基板的像素设置区；

所述第二掩膜版包括开孔遮挡部，以及沿第一方向延伸的至少两条碳纤维；所述碳纤维与所述开孔遮挡部固定连接，承载所述开孔遮挡部；在制备所述显示基板的公共膜层时，沿垂直于所述基板所在平面的方向上，所述开孔遮挡部在所述显示基板上的正投影覆盖所述基板的预设开孔区，所述碳纤维在所述显示基板上的正投影位于所述显示基板上相邻子像素开口之间。

第二方面，本发明实施例还提供了一种蒸镀方法，适用于本发明任意实施例提供的掩膜装置，所述蒸镀方法包括：

提供一显示基板，所述显示基板包括预设开孔区、像素设置区和围绕所述像素设置区的边框区；所述像素设置区包括多个像素开口；

将第一掩膜版和第二掩膜版设置于所述显示基板与蒸镀源之间；所述第一掩膜版包括边框遮挡部和蒸镀开口区,所述边框遮挡部围绕所述蒸镀开口区；所述蒸镀开口区在所述显示基板所在平面上的正投影覆盖所述显示基板的像素设置区；所述第二掩膜版包括开孔遮挡部，以及沿第一方向延伸的多条碳纤维；所述碳纤维与所述开孔遮挡部固定连接，承载所述开孔遮挡部；所述开孔遮挡部在所述显示基板上的正投影覆盖所述基板的预设开孔区，所述碳纤维在所述显示基板上的正投影位于所述显示基板上相邻子像素开口之间；

控制所述蒸镀源进行蒸镀，形成所述显示基板的公共膜层，所述公共膜层包括膜层开口；所述膜层开口在所述显示基板所在平面的正投影与所述预设开孔区重合。

第三方面，本发明实施例还提供了一种显示面板，包括：显示基板；所述显示基板包括像素设置区和至少一个预设开孔区；所述预设开孔区用于设置功能器件；

采用本发明任意实施例所述的蒸镀方法形成的公共膜层；所述公共膜层包括与所述预设开孔区一一对应的膜层开口；所述膜层开口在所述显示基板所在平面的正投影与对应的所述预设开孔区重合；

将所述膜层开口沿所述第一方向扫过整个公共膜层形成的区域称为第一膜层区域；沿第三方向上，所述第一膜层区域存在所述相邻子像素开口之间的间隙的公共膜层厚度小于其他位置的公共膜层厚度；所述第一方向与所述第三方向相交。

本发明中，掩膜装置为第一掩膜版和第二掩膜版的组合，用于制备包括预设开孔区和像素设置区的显示基板的公共膜层，其中，第一掩膜版包括蒸镀开口区和围绕蒸镀开口的边框遮挡部，在形成上述公共膜层时，蒸镀开口区在显示基板所在平面上的垂直投影覆盖像素设置区；第二掩膜版包括开孔遮挡部和沿第一方向延伸的至少两条碳纤维，碳纤维用于固定并承载开孔遮挡部，在形成上述公共膜层时，开孔遮挡部在显示基板上的正投影覆盖预设开孔区，通过将第一掩膜版和第二掩膜版分别与显示基板进行对位，使得公共膜层避开预设开孔区进行设置，即蒸镀形成的公共膜层包括膜层开口，并且膜层开口覆盖预设开孔区，则避免预设开孔区被蒸镀上蒸镀材料导致后续显示面板无法进行开孔区的封装的情况，并且避免蒸镀材料蒸镀在预设开孔区影响开孔区的透过率和反射率的问题，使得开孔区设置的功能器件具有较佳的透视效果。并且，开孔遮挡部通过穿过子像素开口之间的碳纤维进行固定，碳纤维有很高的抗拉强度，则在相同的拉力下可以选择更细的碳纤维，从而避免碳纤维的阴影效应对显示面板产生分屏现象。

附图说明

图1是现有技术中一种掩膜版蒸镀流程示意图

图2是本发明实施例提供的一种第一掩膜版的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的一种第二掩膜版的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的一种掩膜装置的堆叠结构示意图；

图5是本发明实施例提供的一种显示基板的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的另一种掩膜装置的堆叠结构示意图；

图7是本发明实施例提供的另一种掩膜装置的堆叠结构示意图；

图8是本发明实施例提供的另一种掩膜装置的堆叠结构示意图；

图9是本发明实施例提供的另一种掩膜装置的堆叠结构示意图；

图10是图9中掩膜装置的侧视图；

图11是图9中掩膜装置的另一种侧视图；

图12是本发明实施例提供的一种蒸镀方法的流程示意图；

图13是本发明实施例提供的一种显示面板的平面结构示意图；

图14是本发明实施例提供的一种显示面板的侧视图；

图15是图13中显示面板沿线端a-a’的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在设置有开孔区的显示面板的制作过程中，一般需要在面板各膜层蒸镀完成后通过激光对各膜层进行开孔操作。但是开孔的时候某些膜层很难去除，例如，在对阴极进行开孔时，由于通过现有工艺很难将阴极材料去除或图案化。由于阴极的透光率低，在开孔区保留阴极的话，会大大降低开孔区的透光效果，如果开孔区放置摄像头等光学器件的话，会大大降低这些光学器件的工作效果。所以现常用的方式为通过掩膜版对预设开孔区进行遮挡，避免公共膜层蒸镀到预设开孔区，解决公共膜层难以开孔去除的问题。参考图1，图1是现有技术中一种掩膜版蒸镀流程示意图，掩膜版包括掩膜版A和掩膜版B，掩膜版A包括矩形遮挡部A1和由矩形遮挡部A1延伸出的半圆遮挡部A2，掩膜版B为与掩膜版A镜像对称的掩膜版，包括矩形遮挡部B1和由矩形遮挡部B1延伸出的半圆遮挡部B2。在蒸镀公共膜层时，首先通过掩膜版A进行掩膜蒸镀，半圆遮挡部A2遮挡了一半的预设开孔区11，蒸镀形成第一蒸镀区C1，之后通过掩膜版B进行掩膜蒸镀，半圆遮挡部B2遮挡了另一半的预设开孔区11，形成第二蒸镀区C2，则经过两次蒸镀，形成一整层的公共膜层，并且公共膜层设置有与预设开孔区11对应的膜层开口。

但是在实现本发明实施例方案的过程中，发明人发现，两次蒸镀的第一蒸镀区C1和第二蒸镀区C2之间出现分屏或断开的现象，使得公共膜层的蒸镀不合格，降低显示面板的制作效率。此外，在掩膜版多次张网拉伸之后，由于不规则的形状等原因也容易造成掩膜版变形，如果为了遮挡显示面板开孔区而设置特殊形状的掩膜版的话，由于形状不规则，更容易出现张网过程造成掩膜版变形，可能会造成掩膜版移位等问题，从而影响整个显示面板蒸镀的准确性，影响显示面板良率。同时变形的掩膜版也无法多次重复使用，由于掩膜版的造价昂贵，使得工艺成本较高。

为解决上述问题，本本发明实施例提供了一种掩膜装置，

用于制备显示基板的公共膜层，显示基板包括预设开孔区和像素设置区，掩膜装置包括：第一掩膜版和第二掩膜版；

第一掩膜版包括边框遮挡部和蒸镀开口区,边框遮挡部围绕蒸镀开口区；在制备显示基板的公共膜层时，蒸镀开口区在显示基板所在平面上的正投影覆盖显示基板的像素设置区；

第二掩膜版包括开孔遮挡部，以及沿第一方向延伸的至少两条碳纤维；碳纤维与开孔遮挡部固定连接，承载开孔遮挡部；在制备显示基板的公共膜层时，沿垂直于基板所在平面的方向上，开孔遮挡部在显示基板上的正投影覆盖基板的预设开孔区，碳纤维在显示基板上的正投影位于显示基板上相邻子像素开口之间。

本发明实施例中，掩膜装置为第一掩膜版和第二掩膜版的组合，用于制备包括预设开孔区和像素设置区的显示基板的公共膜层，其中，第一掩膜版包括蒸镀开口区和围绕蒸镀开口的边框遮挡部，在形成上述公共膜层时，蒸镀开口区在显示基板所在平面上的垂直投影覆盖像素设置区；第二掩膜版包括开孔遮挡部和沿第一方向延伸的至少两条碳纤维，碳纤维用于固定并承载开孔遮挡部，在形成上述公共膜层时，开孔遮挡部在显示基板上的正投影覆盖预设开孔区，通过将第一掩膜版和第二掩膜版分别与显示基板进行对位，使得公共膜层避开预设开孔区进行设置，即蒸镀形成的公共膜层包括膜层开口，并且膜层开口覆盖预设开孔区，则避免预设开孔区被蒸镀上蒸镀材料导致后续显示面板无法进行开孔区的封装的情况，并且避免蒸镀材料蒸镀在预设开孔区影响开孔区的透过率和反射率的问题，使得开孔区设置的功能器件具有较佳的透视效果。并且，开孔遮挡部通过穿过子像素开口之间的碳纤维进行固定，碳纤维有很高的抗拉强度，则在相同的拉力下可以选择更细的碳纤维，从而可以有效避免阴影效应对显示面板产生分屏现象。

以上是本发明的核心思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图2是本发明实施例提供的一种第一掩膜版的结构示意图，图3是本发明实施例提供的一种第二掩膜版的结构示意图，图4是本发明实施例提供的一种掩膜装置的堆叠结构示意图，如图4所示，本实施例中的掩膜装置用于制备显示基板3的公共膜层，公共膜层整层覆盖显示基板3设置，如图5所示，图5是本发明实施例提供的一种显示基板的结构示意图，显示基板3包括预设开孔区32和像素设置区31，像素设置区31设置有阵列排布的子像素开口311，预设开孔区32未设置子像素开口，为已设置或者将要设置开孔的区域。值得注意的是，对预设开孔区32的打孔操作可以在形成该公共膜层之前，或者形成该公共膜层之后，本实施例对此不进行限定。本实施例在形成公共膜层时，公共膜层不覆盖预设开孔区32，则无需设置公共膜层之后进行打孔刻蚀掉预设开孔区部分的公共膜层，节约了显示面板的制作工艺，节约材料成本。

掩膜装置包括第一掩膜版1和第二掩膜版2，第一掩膜版1包括边框遮挡部12和蒸镀开口区11，边框遮挡部12围绕蒸镀开口区11，如图4所示，蒸镀开口区11在显示基板3所在平面上的正投影覆盖显示基板3的像素设置区31，一般情况下，如图4所示，显示基板3的像素设置区31围绕预设开孔区32，则第一掩膜版1的蒸镀开口区11覆盖整个像素设置区31的同时，也覆盖了预设开孔区32。第二掩膜版2包括开孔遮挡部21和至少两条碳纤维22，碳纤维22沿第一方向x延伸，碳纤维22与开孔遮挡部21固定连接，能够对开孔遮挡部21进行承托，并能够固定开孔遮挡部21的位置，如图4和图5所示，在制备显示基板3的公共膜层时，开孔遮挡部21在显示基板3所在平面的正投影覆盖显示基板3的预设开孔区32。将第一掩膜版1和第二掩膜版2分别与显示基板3进行对位，使得第一掩膜版1的蒸镀开口区11在显示基板3所在平面上的正投影覆盖显示基板3的像素设置区31，第二掩膜版2的开孔遮挡部21在显示基板3所在平面上的正投影覆盖显示基板3的预设开孔区32，则在后续通过蒸镀工艺制作公共膜层时，仅对像素设置区31蒸镀材料，而未对预设开孔区32蒸镀材料，即公共膜层在对应预设开孔区32的部分设置有膜层开口，从而无需激光对公共膜层进行打孔，节省工艺。并且因为预设开孔区32未被蒸镀有蒸镀材料，所以不会妨碍预设开孔区32的开孔的封装，并且增强开孔区的透过率和反射率，使得开孔区设置的功能器件具有较佳的透视效果，本实施例中，上述功能器件可以为摄像头、听筒、传感器等部件，示例性的，若功能器件为摄像头，本实施例能够避免蒸镀材料膜层影响开孔区的透光率，提高摄像头的成像效果。

参考图4，沿第一方向x延伸的碳纤维22在显示基板3上的正投影位于相邻子像素开口311之间，不妨碍对子像素开口311的膜层蒸镀，并且碳纤维22的宽度较小，使得碳纤维22不会因为阴影效应而使得其覆盖的子像素开口311之间的间隙的蒸镀，碳纤维22在显示基板3上的正投影覆盖的区域也能够蒸镀上公共膜层的蒸镀材料，防止出现分屏，或拼接的状况，影响公共膜层的工作性能。例如，若公共膜层为阴极，容易无法使整个公共膜层形成相同的电位，影响阴极的工作性能，出现分屏状况，而本实施例因为纤细的碳纤维22则不会产生断开或分屏的状况。本实施例中，固定开孔遮挡部21的碳纤维22可设置至少两条碳纤维22，当然，为了加强对开孔遮挡部21的固定作用，可设置尽量多的碳纤维22，可选的，如图4所示，可将碳纤维22沿子像素开口311的列方向设置，即第一方向x为列方向，则在子像素开口311的行方向上，每相邻两行子像素开口311之间均设置有一条碳纤维22，以进一步固定开孔遮挡部21，防止开孔遮挡部21在蒸镀过程中发生移动。同理，如图6所示，图6是本发明实施例提供的另一种掩膜装置的堆叠结构示意图，可将碳纤维22沿子像素开口311的行方向设置，即第一方向x为列方向，则在子像素开口311的列方向上，每相邻两列子像素开口311之间均设置有一条碳纤维22，以进一步固定开孔遮挡部21，防止开孔遮挡部21在蒸镀过程中发生移动。此外，继续参考图6，在由多个显示基板3形成的母版上，多个第二掩膜版2可顺次连接，使得母版上个显示基板3同时进行蒸镀。参考图7，图7是本发明实施例提供的另一种掩膜装置的堆叠结构示意图，图6为沿行方向上，多个第二掩膜版2可顺次连接的情形，图7同样为在多个显示基板3形成的母版上，但是多个第二掩膜版2沿列方向顺次连接，本实施例对第二掩膜版2顺次连接的方向不进行限定。

碳纤维22为含碳量在90％以上的高强度高模量纤维，由于碳纤维22有很高的抗拉强度，所以在相同的拉力下可以选择更细的碳纤维22，从而进一步减小阴影效应的负作用。并且碳纤维22强度高，不易因拉伸而发生变形，张网工艺友好，并且张网精度较高，掩膜版寿命较长，节省蒸镀成本。

可选的，碳纤维22在第二方向上的最大宽度可以为H，H小于或等于10μm，其中，第二方向与第一方向垂直。第二方向为碳纤维22的宽度方向，已知碳纤维22的宽度小于相邻两个子像素开口311之间间隙的宽度，本实施例中，可将碳纤维22的最大宽度H优选设置为小于或等于10μm，既可以保证形成的碳纤维支撑结构的支撑可靠性，同时较窄的宽度可以减小阴影效应的影响，避免在蒸镀过程中阴影效应对像素设置区的影响。

可选的，继续参考图3和图4，第二掩膜版2还可以包括沿第一方向x设置于开孔遮挡部21两端的固定板23，固定板23用于支撑碳纤维22；固定板23在显示基板3上的正投影位于像素设置区31的外侧。固定板23与碳纤维22固定连接，并且可通过固定板23对碳纤维22进行拉伸，从而固定开孔遮挡部21的位置，固定板23在显示基板3上的正投影位于像素设置区31的外侧，即蒸镀时，固定板23不会挡到像素设置区31，从而避免对像素设置区31的蒸镀产生影响。

可选的，固定板23和开孔遮挡部21分别附着于碳纤维22上，并与碳纤维固定连接，如图6和图7所示，碳纤维22的长度跨过多个显示基板3，固定板23和开孔遮挡部21附着于碳纤维22上。或者，碳纤维22可通过通孔穿过固定板23和开孔遮挡部21。

可选的，开孔遮挡部21可与碳纤维22粘连，通过粘接固定可以增强开孔遮挡部21的位置稳定性。同时，固定板23也可以和碳纤维22粘连，从而固定固定板23与碳纤维22之间的相对位置，并固定开孔遮挡部21与碳纤维22之间的相对位置。

可选的，开孔遮挡部21和固定板23可分别与碳纤维22通过可拆式连接方式进行固定连接。开孔遮挡部21与碳纤维22之间，以及固定板23与碳纤维2之间可通过固定夹，固定卡扣等结构进行可拆卸的固定连接。则开孔遮挡部21与碳纤维22，以及固定板23与碳纤维2均为可拆式连接方式，则用户可根据不同的显示基板3将不同的开孔遮挡部21和固定板23分别与碳纤维22组合，形成不同尺寸和不同类型的掩膜版，开孔遮挡部21和固定板23均可以重复利用，能够节省掩膜版的制作成本。需要说明的是，如果采用可拆卸式连接方式将碳纤维22与开孔遮挡部21进行固定连接时，用于固定连接的固定结构是设置在开孔遮挡部21上的，即在开孔遮挡部21的厚度方向上，开孔遮挡部21完全覆盖固定结构。

图8是本发明实施例提供的另一种掩膜装置的堆叠结构示意图，可选的，如图8所示，第一掩膜版1的边框遮挡部12可复用为固定板23，节约了掩膜版的制作成本，且直接将第一掩膜版1和第二掩膜版2连接为一个整体，在将掩膜装置与显示基板3进行对位时，仅需要一次对位即可，而不需要将第一掩膜版1和第二掩膜版2分别进行对位，从而加快蒸镀工艺进行。

图9是本发明实施例提供的另一种掩膜装置的堆叠结构示意图，图10是图9中掩膜装置的侧视图，可选的，掩膜装置还可以包括：磁力板4；磁力板4在显示基板3所在平面上的正投影覆盖第一掩膜版1和第二掩膜版2；磁力板4设置于显示基板3远离第一掩膜版1和第二掩膜版2的一侧；第一掩膜版1和第二掩膜版2的材料为顺磁性的金属或合金。

磁力板4设置于显示基板3远离第一掩膜版1和第二掩膜版2的一侧，而第一掩膜版1和第二掩膜版2的材料为顺磁性的金属或合金材料，则磁力板4能够对第一掩膜版1和第二掩膜版2有一定的吸附作用。使得第一掩膜版1和第二掩膜版2更加靠近显示基板3，获取精准的蒸镀效果。可选的，磁力板4可贴附显示基板3设置，使得磁力板4对第一掩膜版1和第二掩膜版2具有更大的吸附力。可选的，第一掩膜版1设置于显示基板3与第二掩膜版2之间，并且第一掩膜版1贴合显示基板3设置，第二掩膜版2贴合第一掩膜版1，磁力板4使得显示基板3、第一掩膜版1和第二掩膜版2之间更加紧密的贴合，增强掩膜装置的掩膜精度。图11是图9中掩膜装置的另一种侧视图，可选的，第二掩膜版2可设置于显示基板3和第一掩膜版1之间，则第二掩膜版2贴附显示基板3设置，有利于提高公共膜层在靠近预设开孔区32的位置处的掩膜精度，避免蒸镀材料沉积至预设开孔区32。

磁力板4在显示基板3所在平面上的正投影覆盖第一掩膜版1和第二掩膜版2，使得磁力板4与第一掩膜版1和第二掩膜版2之间具有正对面积，增大吸附力，增大掩膜精度。一般情况下，第一掩膜版1和第二掩膜版2位于显示基板3的下侧，在重力作用下，第一掩膜版1和第二掩膜版2具有向下的趋势，即远离显示基板3的趋势，对掩膜精度造成影响，而磁力板4设置在显示基板3的上侧，在一定程度上，避免重力作用对掩膜精度造成的影响。

可选的，第一掩膜版1和第二掩膜版2的材料为顺磁性的，并且磁性较强，热膨胀系数较低的金属或合金，便于增大第一掩膜版1和第二掩膜版2，与磁力板4之间的吸附力，增大掩膜精度，并且第一掩膜版1和第二掩膜版2的热膨胀系数较低，不易因环境因素发生变形，进一步增大掩膜精度。

基于同一构思，本发明实施例还提供一种蒸镀方法，适用于本发明任意实施例提供的掩膜装置，图12是本发明实施例提供的一种蒸镀方法的流程示意图，如图12所示，本实施例的方法包括如下步骤：

步骤S110、提供一显示基板，显示基板包括预设开孔区、像素设置区和围绕像素设置区的边框区；像素设置区包括多个像素开口。

步骤S120、将第一掩膜版和第二掩膜版设置于显示基板与蒸镀源之间；第一掩膜版包括边框遮挡部和蒸镀开口区,边框遮挡部围绕蒸镀开口区；蒸镀开口区在显示基板所在平面上的正投影覆盖显示基板的像素设置区；第二掩膜版包括开孔遮挡部，以及沿第一方向延伸的多条碳纤维；碳纤维与开孔遮挡部固定连接，承载开孔遮挡部；开孔遮挡部在显示基板上的正投影覆盖基板的预设开孔区，碳纤维在显示基板上的正投影位于显示基板上相邻子像素开口之间。

步骤S130、控制蒸镀源进行蒸镀，形成显示基板的公共膜层，公共膜层包括膜层开口；膜层开口在显示基板所在平面的正投影与预设开孔区重合。

本发明实施例中，掩膜装置为第一掩膜版和第二掩膜版的组合，用于制备包括预设开孔区和像素设置区的显示基板的公共膜层，其中，第一掩膜版包括蒸镀开口区和围绕蒸镀开口的边框遮挡部，在形成上述公共膜层时，蒸镀开口区在显示基板所在平面上的垂直投影覆盖像素设置区；第二掩膜版包括开孔遮挡部和沿第一方向延伸的至少两条碳纤维，碳纤维用于固定并承载开孔遮挡部，在形成上述公共膜层时，开孔遮挡部在显示基板上的正投影覆盖预设开孔区，通过将第一掩膜版和第二掩膜版分别与显示基板进行对位，使得公共膜层避开预设开孔区进行设置，即蒸镀形成的公共膜层包括膜层开口，并且膜层开口覆盖预设开孔区，则避免预设开孔区被蒸镀上蒸镀材料导致后续显示面板无法进行开孔区的封装的情况，并且避免蒸镀材料蒸镀在预设开孔区影响开孔区的透过率和反射率的问题，使得开孔区设置的功能器件具有较佳的透视效果。并且，开孔遮挡部通过穿过子像素开口之间的碳纤维进行固定，碳纤维有很高的抗拉强度，则在相同的拉力下可以选择更细的碳纤维，从而避免碳纤维的阴影效应对显示面板产生分屏现象。

在上述实施例的基础上，掩膜装置还包括可以磁力板；第一掩膜版和第二掩膜版的材料为顺磁性的金属或合金；控制蒸镀源进行蒸镀之前，蒸镀方法还包括：将磁力板设置于显示基板远离第一掩膜版和第二掩膜版的一侧，使得磁力板在显示基板所在平面上的正投影覆盖第一掩膜版和第二掩膜版。

可选的，将第一掩膜版和第二掩膜版设置于显示基板与蒸镀源之间，可以包括：将第一掩膜版设置于显示基板与蒸镀源之间；将第二掩膜版设置于显示基板与第一掩膜版之间。参考图11，第二掩膜版2设置于显示基板3和第一掩膜版1之间，则第二掩膜版2贴附显示基板3设置，有利于提高公共膜层在靠近预设开孔区32的位置处的掩膜精度，避免蒸镀材料沉积至预设开孔区32。

本发明实施例还提供一种显示面板。图12是本发明实施例提供的一种显示面板的平面结构示意图，图14是本发明实施例提供的一种显示面板的侧视图，图15是图13中显示面板沿线端a-a’的剖视图，如图12和图14所示，本发明实施例提供的显示面板包括：显示基板3；显示基板3包括像素设置区31和至少一个预设开孔区32；预设开孔区32用于设置功能器件；

采用本发明任意实施例的蒸镀方法形成的公共膜层33；公共膜层33包括与预设开孔区32一一对应的膜层开口331；膜层开口331在显示基板3所在平面的正投影与对应的预设开孔区32重合；

继续参考图13，将膜层开口331沿第一方向x扫过整个公共膜层形成的区域称为第一膜层区域332；参考图13和图15，沿第三方向y上，第一膜层区域332存在相邻子像素开口311之间的间隙的公共膜层厚度d1小于其他位置的公共膜层厚度d2。图15即为通过本发明实施例获取的第一膜层区域332的公共膜层33的膜层厚度设置。相邻子像素开口311之间的间隙的公共膜层厚度d1较低，但是公共膜层也是整层覆盖第一膜层区域332，不会影响公共膜层的工作性能，显示面板可以为手机，也可以为电脑、电视机、智能穿戴设备等，本实施例对此不作特殊限定。

可选的，公共膜层可以包括下述至少一层：电子注入层、电子传输层、空穴注入层、空穴传输层和阴极层。上述膜层均为需要整层蒸镀的膜层，上述膜层可通过化学气相沉积法方法形成，此外公共膜层还可以包括电子阻挡层和空穴阻挡层等，本实施例对此不进行限定。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (11)

1.一种掩膜装置，其特征在于，用于制备显示基板的公共膜层，所述显示基板包括预设开孔区和像素设置区，所述掩膜装置包括：第一掩膜版和第二掩膜版；

所述第一掩膜版包括边框遮挡部和蒸镀开口区,所述边框遮挡部围绕所述蒸镀开口区；在制备所述显示基板的公共膜层时，所述蒸镀开口区在所述显示基板所在平面上的正投影覆盖所述显示基板的像素设置区；

所述第二掩膜版包括开孔遮挡部，以及沿第一方向延伸的至少两条碳纤维；所述碳纤维与所述开孔遮挡部固定连接，承载所述开孔遮挡部；在制备所述显示基板的公共膜层时，沿垂直于所述基板所在平面的方向上，所述开孔遮挡部在所述显示基板上的正投影覆盖所述基板的预设开孔区，所述碳纤维在所述显示基板上的正投影位于所述显示基板上相邻子像素开口之间。

2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，

所述第二掩膜版还包括沿所述第一方向设置于所述开孔遮挡部两端的固定板，所述固定板用于支撑所述碳纤维；所述固定板在所述显示基板上的正投影位于所述像素设置区的外侧。

3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，

所述第一掩膜版的边框遮挡部复用为所述固定板。

4.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，还包括：磁力板；所述磁力板在所述显示基板所在平面上的正投影覆盖所述第一掩膜版和所述第二掩膜版；所述磁力板设置于所述显示基板远离所述第一掩膜版和第二掩膜版的一侧；

所述第一掩膜版和所述第二掩膜版的材料为顺磁性的金属或合金。

5.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，

所述碳纤维在第二方向上的最大宽度为H，H小于或等于10μm，其中，第二方向与所述第一方向垂直。

6.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，

所述开孔遮挡部和所述固定板分别与所述碳纤维通过粘接固定。

7.一种蒸镀方法，其特征在于，适用于上述权利要求1-6任一项所述的掩膜装置，所述蒸镀方法包括：

提供一显示基板，所述显示基板包括预设开孔区、像素设置区和围绕所述像素设置区的边框区；所述像素设置区包括多个像素开口；

将第一掩膜版和第二掩膜版设置于所述显示基板与蒸镀源之间；所述第一掩膜版包括边框遮挡部和蒸镀开口区,所述边框遮挡部围绕所述蒸镀开口区；所述蒸镀开口区在所述显示基板所在平面上的正投影覆盖所述显示基板的像素设置区；所述第二掩膜版包括开孔遮挡部，以及沿第一方向延伸的多条碳纤维；所述碳纤维与所述开孔遮挡部固定连接，承载所述开孔遮挡部；所述开孔遮挡部在所述显示基板上的正投影覆盖所述基板的预设开孔区，所述碳纤维在所述显示基板上的正投影位于所述显示基板上相邻子像素开口之间；

控制所述蒸镀源进行蒸镀，形成所述显示基板的公共膜层，所述公共膜层包括膜层开口；所述膜层开口在所述显示基板所在平面的正投影与所述预设开孔区重合。

8.根据权利要求7所述的蒸镀方法，其特征在于，所述掩膜装置还包括磁力板；所述第一掩膜版和所述第二掩膜版的材料为顺磁性的金属或合金；

控制所述蒸镀源进行蒸镀之前，所述蒸镀方法还包括：

将所述磁力板设置于所述显示基板远离所述第一掩膜版和所述第二掩膜版的一侧，使得所述磁力板在所述显示基板所在平面上的正投影覆盖所述第一掩膜版和所述第二掩膜版。

9.根据权利要求7所述的蒸镀方法，其特征在于，将第一掩膜版和第二掩膜版设置于所述显示基板与所述蒸镀源之间，包括：

将所述第一掩膜版设置于所述显示基板与所述蒸镀源之间；

将所述第二掩膜版设置于所述显示基板与所述第一掩膜版之间。

10.一种显示面板，其特征在于，包括：显示基板；所述显示基板包括像素设置区和至少一个预设开孔区；所述预设开孔区用于设置功能器件；

采用上述权利要求7-9任一项所述的蒸镀方法形成的公共膜层；所述公共膜层包括与所述预设开孔区一一对应的膜层开口；所述膜层开口在所述显示基板所在平面的正投影与对应的所述预设开孔区重合；

将所述膜层开口沿所述第一方向扫过整个公共膜层形成的区域称为第一膜层区域；沿第三方向上，所述第一膜层区域存在所述相邻子像素开口之间的间隙的公共膜层厚度小于其他位置的公共膜层厚度；所述第一方向与所述第三方向相交。

11.根据权利要求10所述的显示面板，其特征在于，所述公共膜层包括下述至少一层：

电子注入层、电子传输层、空穴注入层、空穴传输层和阴极层。

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