CN110900342A - 一种磨片机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及硅片生产设备领域，公开了一种磨片机，包括机架，所述机架上固定连接有下磨盘，所述机架上固定连接有打磨电机，所述打磨电机的输出轴上固定连接有转动盘，所述转动盘上升降设置有上磨盘，所述下磨盘上放置有安装片，所述安装片上开设有供硅片放置的放置孔，所述机架上设置有驱动所述安装片移动的驱动组件，所述上磨盘上开设有进料孔道，所述下磨盘与所述上磨盘之间设置有辅助喷砂组件。本发明具有提高打磨效率的效果。

Description

一种磨片机

技术领域

本发明涉及硅片生产设备的技术领域，尤其是涉及一种磨片机。

背景技术

目前在硅片的生产过程中,需要通过磨片机对硅片表面进行打磨,清除切片过程及激光标识时产生的不同损伤。

现有的磨片机将研磨砂通过磨盘上的通孔散布在硅片的表面，通过磨盘压迫硅片表面的研磨砂，从而对硅片的上、下两侧进行打磨。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：由于磨盘上的通孔不能够开设的较为密集，从而使得研磨砂难以较为均匀的分布在硅片的表面，磨片机需要运行一段时间后才能够使研磨砂实现均匀的分布，从而使得对硅片的打磨时间延长，降低了打磨效率。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明在于提供一种磨片机，具有提高打磨效率的效果。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种磨片机，包括机架，所述机架上固定连接有下磨盘，所述机架上固定连接有打磨电机，所述打磨电机的输出轴上固定连接有转动盘，所述转动盘上升降设置有上磨盘，所述下磨盘上放置有安装片，所述安装片上开设有供硅片放置的放置孔，所述机架上设置有驱动所述安装片移动的驱动组件，所述上磨盘上开设有进料孔道，所述下磨盘与所述上磨盘之间设置有辅助喷砂组件。

通过采用上述技术方案，工人将硅片放置在放置孔内，然后上磨盘下降与硅片抵触，驱动组件带动安装片移动，打磨电机得挨冻转动盘转动，转动盘转动后带动上磨盘转动，从而对硅片的上、下两侧进行打磨，工人通过上磨盘上的进料孔道是研磨砂进入到上磨盘和下磨盘之间，从而提升打磨效果，辅助喷砂组件对研磨砂进行补充，使得研磨砂能够较为快速的均匀分布在上磨盘和下磨盘之间，从而使打磨的时间缩短，提高了打磨效率。

本发明进一步设置为：所述驱动组件包括转动连接在所述机架上的驱动杆、固定连接在所述驱动杆上的驱动齿轮、固定连接在所述机架上且包围下磨盘的安装板、固定连接在所述安装板上的环形齿条，所述安装片的周侧上开设有转动齿，所述转动齿同时与所述驱动齿轮和环形齿条啮合。

通过采用上述技术方案，驱动杆转动带动驱动齿轮转动，驱动齿轮后，在转动齿和环形齿条的作用下，安装板发生移动，从而带动硅片在上磨盘和下磨盘之间移动，从而实现对硅片的打磨；安装板的移动，使得硅片持续接触到研磨砂，从而提高了打磨的效率。

本发明进一步设置为：上磨盘通过升降组件升降设置在所述转动盘上，所述升降组件包括若干个固定连接在所述转动盘上的液压缸，所述液压缸的推动杆与所述上磨盘固定连接。

通过采用上述技术方案，液压缸带动上磨盘发生移动，使得上磨盘与硅片发生抵触，当硅片在打磨后变薄时，液压缸使得上磨盘随着硅片的变薄而继续移动，从而实现对硅片的持续打磨。

本发明进一步设置为：所述转动盘上固定连接有加强杆，所述加强杆上开设有伸缩槽，所述伸缩槽内滑动连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离所述加强杆的一端与所述上磨盘固定连接。

通过采用上述技术方案，伸缩杆和加强杆的设置，在不影响上磨盘正常升降的同时对液压缸分担一部分扭力，使得液压缸自身不易出现受损，延长了液压缸的使用寿命。

本发明进一步设置为：所述辅助喷砂组件包括开设在所述上磨盘上的进气孔、开设在所述下磨盘内的储料腔、开设在所述下磨盘上且与所述储料腔连通的出砂孔，所述进气孔与所述出砂孔对应，所述出砂孔倾斜设置且位于储料腔的两端。

通过采用上述技术方案，当研磨砂到达下磨盘上时，部分研磨砂通过出砂孔进入到储料腔内，进行研磨砂的存放，工人将压缩空气输入到进气孔内，当进气孔与出砂孔对应时，压缩空气带动储料腔内的研磨砂从另一个出砂孔离开储料腔，从而使得研磨砂均匀的分布在下磨盘上，从而缩短打磨时间，提高打磨效率；同时压缩空气在移动过程中带走打磨产生的部分热量，使得硅片、上磨盘和下磨盘不易发热，减小打磨受到的影响。

本发明进一步设置为：所述安装片上开设有若干个与所述出砂孔对应的通过孔。

通过采用上述技术方案，当通过孔与出砂孔对应时，出砂孔内喷出的研磨砂与上磨盘发生接触，上磨盘在移动过程中带动研磨砂到达硅片的上表面，从而对硅片的上表面进行较好的打磨，提高了打磨的效率。

本发明进一步设置为：所述上磨盘上设置有位移传感器，所述驱动杆位于所述位移传感器的移动路径上，所述位移传感器的检测头朝向所述驱动杆。

通过采用上述技术方案，当位移传感器的检测头与驱动杆接触时，位移传感器检测到的位移值则为上磨盘的移动值，工人通过位移值即可确定硅片的打磨厚度，从而不易使硅片打磨过度。

本发明进一步设置为：所述进料孔道包括开设在所述上磨盘远离所述下磨盘一侧的入料部、若干个开设在所述上磨盘靠近所述下磨盘一侧的出料部、开设在所述上磨盘上且与所述入料部和出料部连通的输料部，所述出料部倾斜设置。

通过采用上述技术方案，研磨砂从入料部进入到输料部内，然后再从输料部到达出料部处，从而使得研磨砂较为均匀的分布在上磨盘和下磨盘之间，从而使打磨的时间缩短，提高了打磨效率。

本发明进一步设置为：所述上磨盘和所述下磨盘互相朝向的一侧上均开设有引导槽。

通过采用上述技术方案，引导槽对研磨砂进行引导，使得研磨砂较为均匀的分布在上磨盘和下磨盘之间，同时引导槽可供空气进行流动，使得上磨盘和下磨盘产生的热量能够及时排出。

综上所述，本发明具有以下有益效果：

通过设置进料孔道和辅助喷砂组件，从而使得研磨砂均匀的分布在上磨盘和下磨盘之间，在上磨盘和下磨盘不必再转动较长时间来对研磨砂进行分散，从而缩短了打磨的时间，提高了打磨的效率。

附图说明

图1为本发明的外部结构示意图；

图2为体现加强杆与伸缩杆的连接结构剖面示意图；

图3为体现转动盘与上磨盘的连接结构示意图；

图4为图3的A处放大图，体现上磨盘与引导槽的连接结构；

图5为体现出料部与输料部的连接结构剖面示意图；

图6为体现下磨盘与驱动杆的连接结构示意图；

图7为图6的B处放大图，体现安装片与转动齿的连接结构；

图8为体现储料腔与出砂孔的连接结构剖面示意图；

图9为体现上磨盘与下磨盘的连接结构示意图；

图10为图9的C处放大图，体现上磨盘与进气孔的连接结构；

图11为体现上磨盘与安装槽的连接结构示意图。

附图标记：1、机架；11、下磨盘；111、置物孔；12、打磨电机；13、转动盘；2、升降组件；21、液压缸；3、加强杆；31、伸缩槽；32、伸缩杆；4、上磨盘；41、进料孔道；411、入料部；412、出料部；413、输料部；42、安装槽；421、位移传感器,43、进料管；5、引导槽；6、安装片；61、放置孔；62、转动齿；63、通过孔；7、驱动组件；71、驱动杆；72、驱动齿轮；73、安装板；74、环形齿条；8、辅助喷砂组件；81、进气孔；82、储料腔；83、出砂孔。

具体实施方式

以下结合附图对本发明作进一步详细说明。

参照图1和图2，为本发明公开的一种磨片机，包括机架1，机架1上固定连接有下磨盘11。机架1上固定连接有打磨电机12，打磨电机12竖直设置，打磨电机12的输出轴上固定连接有转动盘13，转动盘13上通过升降组件2设置有上磨盘4。升降组件2包括若干个固定连接在转动盘13上的液压缸21，液压缸21的推动杆与上磨盘4固定连接。转动盘13上固定连接有加强杆3，加强杆3朝向上磨盘4的一端上开设有伸缩槽31，伸缩槽31内滑动连接有伸缩杆32，伸缩杆32远离伸缩槽31的一端与上磨盘4固定连接。参考图3和图4，上磨盘4远离转动盘13的一侧上开设有呈网状的引导槽5，参考图4和图5，上磨盘4上开设有进料孔道41，进料孔道41包括相互连通的入料部411、出料部412和输料部413，入料部411开设在上磨盘4的上表面，入料部411上连接有进料管43，若干个出料部412开设在上磨盘4朝向下磨盘11的一侧，输料部413开设在上磨盘4上且贯穿上磨盘4的上、下表面，出料部412倾斜设置且与输料部413的侧壁连通。

参考图6和图7，下磨盘11上开设有置物孔111，下磨盘11朝向上盘体的一侧上也开设有上述呈网状的引导槽5。下磨盘11上放置有安装片6，安装片6上开设有若干个放置孔61。机架1上设置有驱动组件7，驱动组件7包括驱动杆71、驱动齿轮72、安装板73和环形齿条74，驱动杆71转动连接在机架1上，驱动杆71位于置物孔111内，驱动杆71采用电动机（图上未示出）驱动，驱动齿轮72固定连接在驱动杆71上且与驱动杆71同轴设置。呈环状的安装板73固定连接在机架1上，安装板73包围下磨盘11，环形齿条74固定连接在安装板73的上表面。安装片6的周侧上开设有转动齿62，转动齿62同时与环形齿条74和驱动齿轮72啮合。

参考图8和图9，上磨盘4和下磨盘11之间设置有辅助喷砂组件8，参考图8和图10，辅助喷砂组件8包括进气孔81、储料腔82和出砂孔83，若干个进气孔81开设在上磨盘4上，若干个储料腔82开设在下磨盘11上，出砂孔83开设在上磨盘4上且与储料腔82连通，出砂孔83倾斜设置且位于储料腔82的两端。安装片6上开设有与出砂孔83对应的通过孔63，进气孔81与出砂孔83对应。

参考图6和图11，上磨盘4开设有安装槽42，安装槽42内固定连接有位移传感器421，位移传感器421的检测头朝向驱动杆71，驱动杆71位于位移传感器421的移动路径上。

本实施例的实施原理为：工人将需要打磨的硅片放置在放置孔61内，然后启动液压缸21，液压缸21带动上磨盘4移动，使上磨盘4与硅片的上表面抵触。然后工人启动打磨电机12和电动机，打磨电机12和电动机的转动方向相同，同时将研磨砂注入到进料孔道41内，研磨砂从入料部411进入到输料部413内，然后再从输料部413到达出料部412处，均匀分布在硅片、安装片6和下磨盘11上。此时上磨盘4在打磨电机12的带动下顺时针转动，驱动杆71在电动机的带动向顺时针转动，从而带动安装片6逆时针移动，从而实现对硅片上、下两侧的打磨。当进气孔81与出砂孔83对应时，工人将压缩空气通入到进气孔81内，空气从出砂孔83进入到储料腔82内，将研磨砂从另一个出砂孔83离开，使研磨砂均匀分布，同时空气带走热量。当出砂孔83与通过孔63对应时，研磨砂从通过孔63达到硅片的上表面，从而使上表面和下表面都得到较好的打磨。

本具体实施方式的实施例均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种磨片机，包括机架（1），所述机架（1）上固定连接有下磨盘（11），所述机架（1）上固定连接有打磨电机（12），所述打磨电机（12）的输出轴上固定连接有转动盘（13），所述转动盘（13）上升降设置有上磨盘（4），其特征是：所述下磨盘（11）上放置有安装片（6），所述安装片（6）上开设有供硅片放置的放置孔（61），所述机架（1）上设置有驱动所述安装片（6）移动的驱动组件（7），所述上磨盘（4）上开设有进料孔道（41），所述下磨盘（11）与所述上磨盘（4）之间设置有辅助喷砂组件（8）。

2.根据权利要求1所述的一种磨片机，其特征是：所述驱动组件（7）包括转动连接在所述机架（1）上的驱动杆（71）、固定连接在所述驱动杆（71）上的驱动齿轮（72）、固定连接在所述机架（1）上且包围下磨盘（11）的安装板（73）、固定连接在所述安装板（73）上的环形齿条（74），所述安装片（6）的周侧上开设有转动齿（62），所述转动齿（62）同时与所述驱动齿轮（72）和环形齿条（74）啮合。

3.根据权利要求1所述的一种磨片机，其特征是：上磨盘（4）通过升降组件（2）升降设置在所述转动盘（13）上，所述升降组件（2）包括若干个固定连接在所述转动盘（13）上的液压缸（21），所述液压缸（21）的推动杆与所述上磨盘（4）固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种磨片机，其特征是：所述转动盘（13）上固定连接有加强杆（3），所述加强杆（3）上开设有伸缩槽（31），所述伸缩槽（31）内滑动连接有伸缩杆（32），所述伸缩杆（32）远离所述加强杆（3）的一端与所述上磨盘（4）固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种磨片机，其特征是：所述辅助喷砂组件（8）包括开设在所述上磨盘（4）上的进气孔（81）、开设在所述下磨盘（11）内的储料腔（82）、开设在所述下磨盘（11）上且与所述储料腔（82）连通的出砂孔（83），所述进气孔（81）与所述出砂孔（83）对应，所述出砂孔（83）倾斜设置且位于储料腔（82）的两端。

6.根据权利要求5所述的一种磨片机，其特征是：所述安装片（6）上开设有若干个与所述出砂孔（83）对应的通过孔（63）。

7.根据权利要求2所述的一种磨片机，其特征是：所述上磨盘（4）上设置有位移传感器（421），所述驱动杆（71）位于所述位移传感器（421）的移动路径上，所述位移传感器（421）的检测头朝向所述驱动杆（71）。

8.根据权利要求1所述的一种磨片机，其特征是：所述进料孔道（41）包括开设在所述上磨盘（4）远离所述下磨盘（11）一侧的入料部（411）、若干个开设在所述上磨盘（4）靠近所述下磨盘（11）一侧的出料部（412）、开设在所述上磨盘（4）上且与所述入料部（411）和出料部（412）连通的输料部（413），所述出料部（412）倾斜设置。

9.根据权利要求1所述的一种磨片机，其特征是：所述上磨盘（4）和所述下磨盘（11）互相朝向的一侧上均开设有引导槽（5）。

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