CN110868811B - 一种cof基板成品的清洗方式 - Google Patents

一种cof基板成品的清洗方式 Download PDF

Info

Publication number
CN110868811B
CN110868811B CN201911139650.3A CN201911139650A CN110868811B CN 110868811 B CN110868811 B CN 110868811B CN 201911139650 A CN201911139650 A CN 201911139650A CN 110868811 B CN110868811 B CN 110868811B
Authority
CN
China
Prior art keywords
cof
product
water
cleaning
fluid spraying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911139650.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110868811A (zh
Inventor
孟庆园
计晓东
孙彬
沈洪
李晓华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu SHANGDA Semiconductor Co.,Ltd.
Original Assignee
Jiangsu Shangda Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Shangda Electronics Co Ltd filed Critical Jiangsu Shangda Electronics Co Ltd
Priority to CN201911139650.3A priority Critical patent/CN110868811B/zh
Publication of CN110868811A publication Critical patent/CN110868811A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110868811B publication Critical patent/CN110868811B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/26Cleaning or polishing of the conductive pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05FSTATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/227Drying of printed circuits

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明公开了一种COF基板成品的清洗方式,涉及COF产品清洗技术领域,包括以下步骤:Sp1:将COF产品从卷出端直接进入到二流体喷淋装置的喷淋槽内,二流体喷淋装置混合压缩空气和水液,将水液细化成水雾离子,喷淋的水雾离子对COF产品进行清洗处理,可以直接接触线路间异物,小型水分子打力变弱,不会造成产品褶皱;Sp2:清洗用的水液经过二氧化碳装置处理形成碳酸,从而中和COF产品表面的带电电荷;本发明通过二流体喷淋和纯水碳酸的方式进行的清洗方式,二流体喷淋装置混合压缩空气和水液,将水液细化成水雾离子,可以直接接触线路间异物,小型水分子打力变弱,不会造成产品褶皱,实现COF基板的清洗和完全去静电的客户需求。

Description

一种COF基板成品的清洗方式
技术领域
本发明涉及COF产品清洗技术领域,具体是一种COF基板成品的清洗方式。
背景技术
现今,电子设备的轻薄化,多功能化,高密度化不断发展。搭载芯片的封装基板也由传统的FPC向COF过渡。为满足狭窄空间内封装的需求,COF产品的线宽/线距也越来越小,一般在10/10um左右。传统的COF基板成品清洗时是采用超声波水洗+高压喷淋水洗相结合的方式。首先,利用超声波通过震动的方式使线路板基板表面的异物松动。然后,利用高压纯水喷淋水洗,去除线路板基板表面的异物。除静电方面,则采用干式除静电即静电消除器的方式,用风把大量正负离子吹到产品表面,或者直接把静电消除器靠近产品的表面以中和静电。
然而传统的清洗方式无法清洗精细线路的COF基板,COF线路基板目前的Pitch=18μ m(Line/Space=6μm/12μm),而且正在往更精细化的方向发展,将来会出现比18μm更小pitch的COF基板,传统的喷淋水洗由于水分子较大,无法直接接触精细线路间的异物,也就很难达到理想的清洗效果;无法完全消除静电,产品带电几率变大,干式除静电方式,为了防止静电消除器直接接触造成的产品划伤,其安装位置需与产品保持一定的距离,这种方式存在带电较小无法检测的问题,由于COF基板是用于半导体封装的技术,搭载芯片时若产品带电,则可能击穿芯片;容易造成产品褶皱,由于COF基材是厚度为微米级的聚酰亚胺,具有极高的柔性。成品清洗时若采用高压方式冲洗,存在造成产品褶皱的问题,因此,本领域技术人员提供了一种COF基板成品的清洗方式。
发明内容
本发明的目的在于提供一种COF基板成品的清洗方式,以解决上述背景技术中提出无法清洗精细线路的COF基板、无法完全消除静电、容易造成产品褶皱的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种COF基板成品的清洗方式,包括以下步骤:
Sp1:将COF产品从卷出端直接进入到二流体喷淋装置的喷淋槽内,二流体喷淋装置混合压缩空气和水液,将水液细化成水雾离子,喷淋的水雾离子对COF产品进行清洗处理,可以直接接触线路间异物,小型水分子打力变弱,不会造成产品褶皱;
Sp2:清洗用的水液经过二氧化碳装置处理形成碳酸,从而中和COF产品表面的带电电荷;
Sp3:COF产品经过喷淋清洗处理后进入风刀段和干燥区内进行吹干处理;
Sp4:COF产品经过干燥处理后在静电消除器处进行中和静电处理;
Sp5:COF产品经过静电处理后最后通过卷入端脱离清洗装置即可完成清洗。
作为本发明进一步的方案:所述水雾离子的颗粒直径尺寸范围为10μm~100μm。
作为本发明进一步的方案:所述二氧化碳装置为二氧化碳溶解器。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
本发明通过二流体喷淋和纯水碳酸的方式进行的清洗方式,二流体喷淋装置混合压缩空气和水液,将水液细化成水雾离子,喷淋的水雾离子对COF产品进行清洗处理,可以直接接触线路间异物,小型水分子打力变弱,不会造成产品褶皱,清洗用的水液经过二氧化碳装置处理形成碳酸,从而中和COF产品表面的带电电荷,实现COF基板的清洗和完全去静电的客户需求,二流体的运用可以适度降低纯水用水量和对应静电消除不充分的问题。
附图说明
图1为本发明中清洗装置的结构示意图。
1、卷出端;2、COF产品;3、风刀段;4、干燥区;5、静电消除器;6、卷入装置;7、二流体喷淋装置;8、二氧化碳装置。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1,本发明实施例中,一种COF基板成品的清洗方式,包括以下步骤:
Sp1:将COF产品2从卷出端1直接进入到二流体喷淋装置7的喷淋槽内,二流体喷淋装置7混合压缩空气和水液,将水液细化成水雾离子,喷淋的水雾离子对COF产品2进行清洗处理,可以直接接触线路间异物,小型水分子打力变弱,不会造成产品褶皱;
Sp2:清洗用的水液经过二氧化碳装置8处理形成碳酸,从而中和COF产品2表面的带电电荷;
Sp3:COF产品2经过喷淋清洗处理后进入风刀段3和干燥区4内进行吹干处理;
Sp4:COF产品2经过干燥处理后在静电消除器5处进行中和静电处理;
Sp5:COF产品2经过静电处理后最后通过卷入端6脱离清洗装置即可完成清洗。
所述水雾离子的颗粒直径尺寸范围为10μm~100μm,所述二氧化碳装置8为二氧化碳溶解器。
以上所述的,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明 构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种COF基板成品的清洗方式,其特征在于,包括以下步骤:
Sp1:将COF产品(2)从卷出端(1)直接进入到二流体喷淋装置(7)的喷淋槽内,二流体喷淋装置(7)混合压缩空气和水液,将水液细化成水雾离子,喷淋的水雾离子对COF产品(2)进行清洗处理,可以直接接触线路间异物,小型水分子打力变弱,不会造成产品褶皱;
Sp2:清洗用的水液经过二氧化碳装置(8)处理形成碳酸,从而中和COF产品(2)表面的带电电荷;
Sp3:COF产品(2)经过喷淋清洗处理后进入风刀段(3)和干燥区(4)内进行吹干处理;
Sp4:COF产品(2)经过干燥处理后在静电消除器(5)处进行中和静电处理;
Sp5:COF产品(2)经过静电处理后最后通过卷入端(6)脱离清洗装置即可完成清洗。
2.根据权利要求1所述的一种COF基板成品的清洗方式,其特征在于,所述水雾离子的颗粒直径尺寸范围为10μm~100μm。
3.根据权利要求1所述的一种COF基板成品的清洗方式,其特征在于,所述二氧化碳装置(8)为二氧化碳溶解器。
CN201911139650.3A 2019-11-20 2019-11-20 一种cof基板成品的清洗方式 Active CN110868811B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911139650.3A CN110868811B (zh) 2019-11-20 2019-11-20 一种cof基板成品的清洗方式

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911139650.3A CN110868811B (zh) 2019-11-20 2019-11-20 一种cof基板成品的清洗方式

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110868811A CN110868811A (zh) 2020-03-06
CN110868811B true CN110868811B (zh) 2021-04-06

Family

ID=69655639

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911139650.3A Active CN110868811B (zh) 2019-11-20 2019-11-20 一种cof基板成品的清洗方式

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110868811B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111465207B (zh) * 2020-04-24 2021-07-06 武汉大学 一种带状fpc生产线上的清洗除静电装置
CN112264371B (zh) * 2020-11-02 2024-03-26 江苏科沛达半导体科技有限公司 适用于卷对卷cof基板的清洗装置及其清洗方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5928434A (en) * 1998-07-13 1999-07-27 Ford Motor Company Method of mitigating electrostatic charge during cleaning of electronic circuit boards
CN1949086A (zh) * 2005-10-14 2007-04-18 大日本网目版制造株式会社 基板处理方法以及基板处理装置
CN101888744A (zh) * 2009-05-14 2010-11-17 东京化工机株式会社 基板材的表面处理装置
CN102264192A (zh) * 2011-06-30 2011-11-30 深南电路有限公司 加工印刷电路板的水平设备和加工印刷电路板的方法
CN102446755A (zh) * 2011-10-12 2012-05-09 上海华力微电子有限公司 一种降低化学机械抛光后微粒缺陷的方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090008608A1 (en) * 2006-10-25 2009-01-08 Bublitz Mark O Sodium/silicon "treated" water

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5928434A (en) * 1998-07-13 1999-07-27 Ford Motor Company Method of mitigating electrostatic charge during cleaning of electronic circuit boards
CN1949086A (zh) * 2005-10-14 2007-04-18 大日本网目版制造株式会社 基板处理方法以及基板处理装置
CN101888744A (zh) * 2009-05-14 2010-11-17 东京化工机株式会社 基板材的表面处理装置
CN102264192A (zh) * 2011-06-30 2011-11-30 深南电路有限公司 加工印刷电路板的水平设备和加工印刷电路板的方法
CN102446755A (zh) * 2011-10-12 2012-05-09 上海华力微电子有限公司 一种降低化学机械抛光后微粒缺陷的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN110868811A (zh) 2020-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110868811B (zh) 一种cof基板成品的清洗方式
KR101868820B1 (ko) 수세 방식의 필름 클리닝 설비
KR101271302B1 (ko) 세정 방법 및 세정 장치
KR20060040559A (ko) 평판램프 제조용 성형유리기판 세정 장치 및 방법
CN104617018B (zh) 一种基板处理装置及基板处理方法
KR101244086B1 (ko) 기판 세정 장치 및 방법
CN1690866B (zh) 用于处理面板的装置和方法
JP2016031412A (ja) フォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置及びペリクルの粘着剤の洗浄方法
CN210115294U (zh) 清洗装置
CN104801523A (zh) 一种清洗玻璃基板的方法
TWM429172U (en) Surface treatment apparatus
JP2010094577A (ja) フイルム状基材の洗浄方法及び洗浄装置
CN108598020A (zh) Spm清洗设备的晶圆静电释放装置及方法
US8500949B2 (en) Apparatus and method for wet processing substrate
JPH01130590A (ja) 部品実装回路基板の洗浄方法
KR100608452B1 (ko) 플라즈마를 이용한 tft-lcd 세정방법 및 이를이용한 tft-lcd제조장비
JP2003062491A (ja) 高粘性液体のスプレーによる微少量塗布装置
CN107278039A (zh) 一种用于印制线路板的有机碱干膜退除工艺
CN111605330A (zh) 一种橡胶制品的印刷工艺
KR101035051B1 (ko) 버블을 이용한 기판 세정장치 및 방법
KR102520849B1 (ko) 보조용제의 세정 시스템
CN203972379U (zh) 一种pcb成品表面清洗生产线
TW201535559A (zh) 基板處理裝置
CN109371408A (zh) 一种钢板覆膜工艺的前处理工序
KR200295029Y1 (ko) 기판 세정 장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: 221000 north of Liaohe Road and west of Huashan Road, Pizhou Economic Development Zone, Xuzhou City, Jiangsu Province

Patentee after: Jiangsu SHANGDA Semiconductor Co.,Ltd.

Address before: 221300 north of Liaohe Road and west of Huashan Road, Pizhou Economic Development Zone, Xuzhou City, Jiangsu Province

Patentee before: Jiangsu Shangda Electronics Co.,Ltd.

CP03 Change of name, title or address