CN110670022A - 沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法。沉积装置包括：腔室，包括至少一个排气孔；旋转部件，被配置在所述腔室的内部；多个沉积源，在平面上彼此隔开并被配置在所述旋转部件上，各个沉积源包括限定有开口部的主体、连接到所述主体的加热器、通过所述开口部安装到所述主体的收纳容器和填充到所述收纳容器且待形成在基板上的沉积材料；以及电源模块，与包括在所述沉积源中的多个所述加热器分别电连接，在预备区间期间，通过由所述电源模块向所述加热器供应的电源来同时加热所述收纳容器。

Description

沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法
技术领域
本发明涉及一种沉积装置，更详细而言，涉及一种沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法。
背景技术
热物理气相沉积是利用沉积材料(有机物)的蒸汽来在基板表面上形成发光层的技术，收容在容器内的沉积材料被加热至汽化温度。此时，沉积材料的蒸汽在向其被收容的容器外移动之后凝结在待涂布的基板上。在规定范围的压力状态的腔室内进行这种沉积工艺，该腔室具备收容沉积材料的容器及待形成沉积材料的基板。
一般，作为收容沉积材料的容器的沉积源由电流通过壁时温度增加的电阻抗材料制造。此时，如果对沉积源施加电流，则内部的沉积材料由于从沉积源的壁产生的辐射热以及与壁接触而产生的传导热而被加热。在转炉(revolver)的内部配置有多个沉积源，沉积工艺持续进行直至收容在多个沉积源中的沉积材料耗尽为止。
另外，通过沉积源中的一个沉积源来在基板上形成沉积材料。特别是，在通过一个沉积源来在基板上形成沉积材料的过程中，对沉积源中的另一个沉积源进行预加热。
但是，在对另一个沉积源进行预加热的过程中，由沉积材料产生气体，并进行用于去除该气体的工艺。特别是，由于在对各个沉积源进行预加热的过程中产生气体，因此需要用于去除该气体的工艺时间。
发明内容
本发明的目的是提供一种能够缩减工艺时间的沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法。
为了实现本发明的目的，本发明一实施例的沉积方法包括以下步骤：在预备区间期间同时加热多个沉积源，多个所述沉积源被配置在腔室内并且在平面上彼此隔开并被配置在旋转部件上；在所述预备区间期间，去除在所述腔室内产生的气体；在所述预备区间之后，对所述沉积源中配置于所述旋转部件的加热区域上的第一沉积源进行加热；在所述预备区间之后的第一沉积区间期间，将包括在所述第一沉积源中的第一沉积材料蒸发并形成在基板上；在所述第一沉积区间中的预热区间期间，对所述沉积源中配置于所述旋转部件的预加热区域上的第二沉积源进行预热；以及在所述第一沉积区间之后，使所述旋转部件旋转使得所述第二沉积源与所述加热区域重叠。
根据本发明实施例，各个所述沉积源包括：限定有开口部的主体；连接到所述主体的加热器；通过所述开口部安装到所述主体的收纳容器；和填充到所述收纳容器的沉积材料，多个所述加热器分别与外部电源模块电连接。
根据本发明实施例，其特征在于，在所述预备区间期间，通过所述加热器将包括在所述沉积源中的所述收纳容器分别加热至第一温度。
根据本发明实施例，在所述预备区间之后，将包括在所述第一沉积源中的第一收纳容器加热至比所述第一温度高的第二温度。
根据本发明实施例，在所述预热区间期间，将包括在所述第二沉积源中的第二收纳容器加热至所述第一温度。
根据本发明实施例，进一步包括以下步骤：通过传感器检查所述第二沉积源的预热过程，所述传感器包括：温度传感器，用于感测包括在所述第二沉积源中的第二收纳容器的温度；以及石英晶体传感器，用于检验填充到所述第二收纳容器中的沉积材料的蒸发状态。
根据本发明实施例，同时加热所述沉积源的步骤包括：通过所述电源模块向所述加热器分别提供电源；以及通过所述加热器来加热所述收纳容器。
根据本发明实施例，所述旋转部件进一步包括待机区域，在所述第一沉积区间期间，将所述第一沉积源、所述第二沉积源和剩余沉积源分别配置在所述旋转部件上，使得所述第一沉积源与所述加热区域重叠，所述第二沉积源与所述预加热区域重叠，所述剩余沉积源与所述待机区域重叠。
根据本发明实施例，在所述第一沉积区间期间，对与所述待机区域重叠的所述剩余沉积源切断电源。
根据本发明实施例，其特征在于，在所述第一沉积区间之后，所述旋转部件被旋转使得所述第二沉积源与所述加热区域重叠且所述剩余沉积源中的第三沉积源与所述预加热区域重叠。
根据本发明实施例，通过排气装置抽吸所述气体，所述排气装置与限定在所述腔室的至少一个排气孔连接。
根据本发明实施例，其特征在于，进一步包括以下步骤：在所述第一沉积区间之后的在第二沉积区间期间，将包括在所述第二沉积源中的第二沉积材料蒸发并形成在所述基板上，所述第一沉积材料及所述第二沉积材料为同一物质。
为了实现本发明的目的，另一实施例的沉积装置包括：腔室，包括至少一个排气孔；旋转部件，被配置在所述腔室的内部；多个沉积源，在平面上彼此隔开并被配置在所述旋转部件上，各个沉积源包括限定有开口部的主体、连接到所述主体的加热器、通过所述开口部安装到所述主体的收纳容器和填充到所述收纳容器且待形成在基板上的沉积材料；以及电源模块，与包括在多个所述沉积源中的多个所述加热器分别电连接，在预备区间期间，通过由所述电源模块向所述加热器供应的电源来同时加热所述收纳容器。
根据本发明实施例，所述旋转部件包括加热区域、预加热区域及待机区域，在所述预备区间之后的第一沉积区间期间，所述沉积源中的第一沉积源被配置在所述加热区域上，第二沉积源被配置在所述预加热区域上，剩余沉积源被配置在所述待机区域上。
根据本发明实施例，在所述第一沉积区间期间，所述电源模块对所述加热器中包括在所述第一沉积源中的第一加热器供应电源，在所述第一沉积区间中的预热区间期间，所述电源模块对所述加热器中包括在所述第二沉积源中的第二加热器供应电源。
根据本发明实施例，在所述第一沉积区间期间，对所述加热器中的剩余加热器切断所述电源模块的电源供应。
根据本发明实施例，在所述预备区间期间，所述收纳容器通过所述加热器被加热至第一温度，在所述第一沉积区间期间，所述收纳容器中包括在所述第一沉积源中的第一收纳容器通过所述第一加热器被加热至比所述第一温度高的第二温度，在所述预热区间期间，所述收纳容器中包括在所述第二沉积源中的第二收纳容器通过所述第二加热器被加热至第一温度。
根据本发明实施例，其特征在于，在所述第一沉积区间之后，所述旋转部件被旋转使得所述第二沉积源与所述加热区域重叠。
根据本发明实施例，所述剩余沉积源中的至少一个沉积源在所述平面上被配置在所述第一沉积源与所述第二沉积源之间。
根据本发明实施例，进一步包括连接到所述排气孔的排气装置，所述排气装置在所述预备区间期间抽吸所述腔室内的气体。
根据本发明实施例，可以在预备区间期间向包括在多个沉积源中的各个加热器供应电源。随着同时对加热器进行加热，能够在沉积区间之前去除从包括在沉积源中的沉积材料中产生的气体。
因此，随着省略在沉积区间期间去除在沉积源的预热过程中产生的气体的工艺，能够缩减总体工艺时间。
附图说明
图1是本发明实施例的沉积部件的立体图。
图2是本发明实施例的包括图1所示的沉积部件的沉积装置的剖视图。
图3是示出利用本发明实施例的沉积装置的沉积方法的顺序图。
图4a及图4b是示出图3所示的沉积方法的一例。
图5是示出图3所示的沉积方法的一例。
图6a及图6b是示出图3所示的沉积方法的一例。
图7a及图7b是示出图3所示的沉积方法的一例。
图8a及图8b是示出图3所示的沉积方法的一例。
具体实施方式
本发明可进行多种变更，可具有多种形式，将在附图中例示特定实施例，并在本文中进行详细的说明。但应当理解的是，本发明并不限定于特定的公开形式，而是包括包括在本发明的思想及技术范围内的所有变更、等同物以及替代物。
在说明各图时，对类似的结构要素使用了类似的附图标记。对于附图，为了本发明的清楚性，比实际扩大或缩小图示了结构物的尺寸。虽然第一、第二等用语可用于说明多种结构要素，但所述结构要素并非由所述用语限定。所述用语可以仅用于将一个结构要素与其他结构要素区别的目的。例如，在不脱离本发明的权利范围的情况下，第一结构要素可被命名为第二结构要素，类似地第二结构要素也可以被命名为第一结构要素。关于单数的表述，只要在上下文中不是明确地表示其他含义，则该单数的表述包括复数的表述。
应当理解的是，在本申请中，“包括”或“具有”等用语指定存在说明书上记载的特征、数字、步骤、操作、结构要素、部件或它们的组合，而不是事先排除一个或更多个其他特征、数字、步骤、操作、结构要素、部件或它们的组合存在或附加的可能性。
图1是本发明实施例的沉积部件的立体图。图2是本发明实施例的包括图1所示的沉积部件的沉积装置的剖视图。
参照图1，沉积部件VD包括旋转部件RT及多个沉积源P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7。
沉积源P1～P7可被配置在旋转部件RT上，并且在旋转部件RT的平面上被配置为彼此隔开。作为一例，在旋转部件RT的平面上，沉积源P1～P7可以分别被配置在旋转部件RT上使得沉积源P1～P7与旋转轴RX之间的距离彼此相同。根据本发明，说明为七个沉积源P1～P7被配置在旋转部件RT上，但并不限定于此，可对沉积源的数量进行各种变更。
沉积源P1～P7中的每一个收容沉积材料，并且沉积源P1～P7可通过外部电源被加热。在包括于沉积源P1～P7的沉积材料被加热至汽化温度的情况下，收容在沉积源P1～P7中的沉积材料可蒸发并沉积在基板上。可持续进行沉积工艺直至收容在沉积源P1～P7中的沉积材料耗尽为止。
下面，根据本发明，沉积工艺是指通过加热等对包括在沉积源中的收纳容器进行加热而使收容在收纳容器中的沉积材料蒸发并在基板上形成膜的工艺。加热等可以是使沉积材料蒸发的方法。作为使沉积材料蒸发的加热方法，可使用电阻加热法、高频加热法、电子束加热法、激光加热法等。作为举例说明，说明了本发明的沉积部件VD通过所述加热法中的电阻加热法来加热沉积源P1～P7。但是，本发明的技术思想并不限定于此，沉积部件VD可通过多种加热法来加热沉积源P1～P7。
根据本发明，说明了通过加热收纳容器而使沉积材料蒸发的实施例，但也可以使用直接加热沉积材料的加热法。
此外，本发明的收纳容器可包括熔点高的钨、钽、钼等的金属材料。作为一例，收纳容器可以是通过将金属材料加工成薄板形状而提高电阻的金属板，所谓的金属舟或槽型坩埚。
根据本发明实施例，可通过沉积源P1～P7中的任一沉积源来执行沉积工艺，而不是包括在沉积源P1～P7中的沉积材料同时沉积在基板上。在收容于所述任一沉积源的沉积材料耗尽的情况下，通过沉积源P1～P7中的另一沉积源来继续进行沉积工艺。根据本发明，可通过七个沉积源P1～P7来进行七次沉积工艺。
旋转部件RT包括支撑沉积源P1～P7的旋转盘Rs及支撑旋转盘Rs的支撑台Rb。旋转盘Rs以旋转轴RX为基准旋转。随着旋转盘Rs以旋转轴RX为基准旋转，能够变更沉积源P1～P7的位置。
但是，本发明的技术思想并不限定于此，也可以省略旋转盘Rs。在该情况下，用于使被配置在旋转部件RT上的沉积源P1～P7旋转的旋转机构(未图示)可被另行连接到沉积源P1～P7。即，可对用于变更沉积源P1～P7的位置的结构进行各种改变。此外，根据本发明，旋转部件RT可被提供为圆形形状，但并不限定于此，可根据实施例对旋转部件RT的形状进行改变。
根据本发明实施例，旋转部件RT可包括配置一个沉积源的加热区域HA(参照图4a)、配置一个沉积源的预加热区域PA(参照图4a)及配置多个沉积源的待机区域WA(参照图4a)。
下面，根据本发明，将配置有图1所示的沉积源P1～P7中的第一沉积源P1的区域限定为加热区域HA，将配置有第三沉积源P3的区域限定为预加热区域PA，将配置有剩余的第二沉积源P2和第四至第七沉积源P4～P7的区域限定为待机区域WA。因此，第一沉积源P1与加热区域HA重叠，第三沉积源P3与预加热区域PA重叠，剩余沉积源P2、P4～P7与待机区域WA重叠。
通过配置在加热区域HA中的第一沉积源P1来进行实际沉积工艺，为了下一个沉积工艺而对配置在预加热区域PA中的第三沉积源P3进行预热。在完成配置在加热区域HA中的第一沉积源P1的沉积工艺之后，配置在预加热区域PA中的第三沉积源P3可以向加热区域HA移动。可以是，通过旋转盘Rs的旋转运动而第三沉积源P3向加热区域HA移动，此时第一沉积源P1可向待机区域WA移动。
根据实施例，在配置于加热区域HA的沉积源与配置于预加热区域PA的沉积源之间可配置有配置于待机区域WA的沉积源中的至少一个沉积源。如图4a所示，在配置于加热区域HA的第一沉积源P1与配置于预加热区域PA的第三沉积源P3之间可配置有配置于待机区域WA的第二沉积源P2。
在对配置于预加热区域PA的第三沉积源P3进行预热的情况下，进行用于确认包括在第三沉积源P3中的沉积材料的状态的工艺。但是，在配置于预加热区域PA的第三沉积源P3被配置为最靠近第一沉积源P1的情况下，因配置在第一沉积源P1上的导轨WB(参照图2)而有可能难以确认包括在第三沉积源P3中的沉积材料的状态。其结果，在预加热区域PA与加热区域HA之间可设置待机区域WA。
参照图2，对包括图1所示的沉积部件VD的沉积装置LDD进行说明。另外，通过图2，示意性地图示图1所示的沉积源P1～P7中配置于加热区域HA的第一沉积源P1，但第二至第七沉积源P2～P7各自的结构及组成也可以与图2所示的第一沉积源P1实质上相同。
沉积装置LDD包括腔室CB、沉积部件VD、排气装置EXD1、EXD2、导轨WB、第一电动机MT、第二电动机MS及固定部件SD。基板ST可通过固件部件SD被固定在腔室CB内。
首先，腔室CB可包括上表面CB-U、下表面CB-B和用于连接上表面CB-U和下表面CB-B的侧表面CB-S，通过这些表面提供内部空间。在腔室CB的内部空间可配置沉积部件VD、导轨WB、固定部件SD及固定于固定部件SD的基板ST。排气装置EXD1、EXD2、第一电动机MT及第二电动机MS可被配置在腔室CB的外部。
腔室CB所包括的表面中的至少一个表面可包括将内部空气排出到外部的排气孔。作为举例说明，根据本发明，说明为在腔室CB所包括的表面中的侧表面CB-S上限定有第一排气孔OP1和第二排气孔OP2。
在第一排气孔OP1上连接有第一排气装置EXD1，在第二排气孔OP2上连接有第二排气装置EXD2。第一排气装置EXD1及第二排气装置EXD2可以将腔室CB的内部空间提供为真空状态，并且也可以抽吸在腔室CB的内部空间中产生的气体。作为举例说明，气体可包括吸附到沉积源P1～P7的氢、水、一氧化碳、二氧化碳等的吸附物质或者从沉积材料汽化而成的杂质等。换言之，气体可以是在通过沉积源P1～P7将沉积材料形成在基板ST上的过程中产生的不必要的物质。
此外，在腔室CB的上表面CB-U及下表面CB-B中的每一个上可分别限定有用于与第一电动机MT及第二电动机MS连接的开口部。第一电动机MT是旋转电动机，可通过限定于下表面CB-B的开口部与旋转部件RT连接。第二电动机MS是旋转电动机，可通过限定于上表面CB-U的开口部与基板ST连接。旋转部件RT及基板ST可通过第一电动机MT及第二电动机MS分别进行旋转运动。
另外，虽然未图示，但腔室CB可进一步包括用于使基板ST向腔室CB的内部及外部空间移动的通路。
沉积部件VD被配置在下表面CB-B上，并且包括沉积源P1～P7及旋转部件RT。如前述，通过图2，示意性地图示沉积源P1～P7中配置于加热区域HA的第一沉积源P1。
第一沉积源P1包括第一主体BM1、第一加热器HT1、第一收纳容器CM1及第一沉积材料EM1。同样，第二至第七沉积源P2～P7中的每一个可包括主体、加热器、收纳容器及沉积材料。
第一主体BM1可被配置在旋转部件RT上，并且包括安装第一收纳容器CM1的开口部。
第一收纳容器CM1可通过第一主体BM1的开口部被安装在第一主体BM1上。第一收纳容器CM1可收容第一沉积材料EM1。第一收纳容器CM1可包括温度通过第一加热器HT1上升的金属物质。
第一加热器HT1与第一主体BM1的内侧表面连接，并且与外部电源模块电连接。第一加热器HT1可通过与第一收纳容器CM1直接接触或相邻配置而加热第一收纳容器CM1。作为一例，第一加热器HT1可被配置为包围第一收纳容器CM1的外形，并且可被提供为线圈。
根据本发明实施例，包括在沉积源P1～P7中的多个加热器可以分别与外部电源模块电连接。作为一例，外部电源模块可以向多个加热器同时提供电源，或者向多个加热器单独提供电源。
导轨WB可被配置在第一沉积源P1的上部，并且包括用于向基板ST传递收容在第一收纳容器CM1中的第一沉积材料EM1的开口孔OH。所蒸发的第一沉积材料EM1可通过导轨WB集中沉积在基板ST上。此外，可根据实施例对导轨WB的形状进行多种改变。
根据本发明实施例，沉积源P1～P7在将沉积材料沉积在基板ST上的工艺之前执行对包括在沉积源P1～P7中的收纳容器进行加热的工艺。这可以是用于去除从包括在沉积源P1～P7的收纳容器中的沉积材料中产生的气体或存在于腔室CB的内部空间的气体的工艺。
特别是，如前述，本发明的沉积源P1～P7可分别与外部电源模块电连接而同时被供应电源。因此，本发明的沉积装置LDD可以在将沉积材料沉积在基板ST上的工艺之前同时进行用于去除由沉积源P1～P7产生的气体的工艺。
图3是示出利用本发明实施例的沉积装置的沉积方法的顺序图。图4a及图4b是示出图3所示的沉积方法的一例。
下面，根据本发明，图2所示的沉积装置LDD可进行通过预备区间TO(参照图4b)及沉积区间(参照图6b)将沉积材料沉积在基板ST上的工艺。预备区间TO可以是用于去除从沉积源P1～P7中产生的气体的时间，可以在沉积区间之前进行。沉积区间可以是通过沉积源P1～P7将沉积材料沉积在基板ST上的时间，可包括与第一至第七沉积源P1～P7对应的第一至第七沉积区间。
另外，为了方便说明，在图4a中示意性地图示沉积源P1～P7中的第一至第四沉积源P1～P4。以下，在预备区间TO期间应用到第一至第四沉积源P1～P4中的实施例同样可应用到第五至第七沉积源P5～P7中。
由于通过图2说明了第一沉积源P1，因此省略关于此的说明。第二沉积源P2包括第二主体BM2、第二加热器HT2、第二收纳容器CM2及第二沉积材料EM2。第三沉积源P3包括第三主体BM3、第三加热器HT3、第三收纳容器CM3及第三沉积材料EM3。第四沉积源P4包括第四主体BM4、第四加热器HT4、第四收纳容器CM4及第四沉积材料EM4。
此外，与图2所示的沉积装置LDD相比较，在图4a所示的沉积装置LDD中进一步图示了电源模块PM。电源模块PM可被安装在腔室CB中或者可被配置在腔室CB上，并且与沉积源P1～P7分别电连接。
下面，对图3所示的沉积装置LDD的沉积方法进行说明。
参照图3和图4a及图4b，在第一步骤S110中，可以在预备区间TO期间同时加热第一至第四沉积源P1～P4。包括在第一至第四沉积源P1～P4中的第一至第四加热器HT1～HT4可以分别与电源模块PM电连接。特别是，电源模块PM可以在预备区间TO期间向第一至第四加热器HT1～HT4同时供应电源。
图4b所示的表格示出对在旋转部件RT上配置有沉积源P1～P7的区域(AREA)和包括在沉积源P1～P7中的第一至第七加热器HT1～HT7施加(ON)电源(POWER)还是切断(OFF)电源。
首先，通过电源模块PM对包括在沉积源P1～P7中的第一至第七加热器HT1～HT7的每一个施加(ON)电源(POWER)。即，通过对第一至第七加热器HT1～HT7同时施加电源(POWER)，可同时加热第一至第七收纳容器CM1～CM7。
此外，第一沉积源P1、第三沉积源P3以及第二沉积源P2及第四至第七沉积源P4～P7可以分别被配置在旋转部件RT上，使得第一沉积源P1与加热区域HA重叠，第三沉积源P3与预加热区域PA重叠，第二沉积源P2及第四至第七沉积源P4～P7与待机区域WA重叠。
随着在预备区间TO期间向第一至第四加热器HT1～HT4供应电源，可通过第一至第四加热器HT1～HT4来同时加热第一至第四收纳容器CM1～CM4。特别是，在预备区间TO期间，第一至第四加热器HT1～HT4可以将第一至第四收纳容器CM1～CM4加热至第一温度。在此，第一温度可以是包括在第一至第四收纳容器CM1～CM4中的第一至第四沉积材料EM1～EM4实际蒸发之前的温度。但是，在稍后说明的预热区间期间可通过第一温度来蒸发第一至第四沉积材料EM1～EM4中的一部分。
另外，可通过预备区间TO对第一至第四收纳容器CM1～CM4进行初始加热。这是因为，从沉积材料中产生的气体因初始加热而产生。随着通过预备区间TO对第一至第四收纳容器CM1～CM4进行初始加热，能够使包括在第一至第四收纳容器CM1～CM4中的第一至第四沉积材料EM1～EM4的杂质汽化。
图5是示出图3所示的沉积方法的一例。
参照图3及图5，在第二步骤S120中，可以在预备区间TO期间去除在腔室CB内产生的气体GS。气体GS可以是随着在第一步骤S110中对第一至第四收纳容器CM1～CM4进行加热而从第一至第四沉积材料EM1～EM4汽化的杂质或者吸附到第一至第四收纳容器CM1～CM4的吸附物质。
第一排气装置EXD1及第二排气装置EXD2可通过第一排气孔OP1及第二排气孔OP2来抽吸从第一至第四沉积材料EM1～EM4中产生的气体GS。
第一步骤S110及第二步骤S120相当于预备区间TO，可同时进行第一步骤S110及第二步骤120。即，对第一至第四收纳容器CM1～CM4进行加热的同时，还可以使第一排气装置EXD1及第二排气装置EXD2操作。
图6a及图6b是示出图3所示的沉积方法的一例。
参照图3和图6a及图6b，在第三步骤S130中，可以对沉积源P1～P4中配置于加热区域HA的第一沉积源P1进行加热。然后，在第四步骤S140中，可以在预备区间TO之后的第一沉积区间TL1期间使包括在第一沉积源P1中的第一沉积材料EM1蒸发并形成在基板ST(参照图2)上。
第一沉积区间TL1可相当于第三步骤S130及第四步骤S140的全部。作为一例，第一沉积区间TL1可以是从通过第一加热器HT1来加热第一收纳容器CM1的时刻起至收容在第一收纳容器CM1中的第一沉积材料EM1耗尽为止的区间。
此外，第一沉积区间TL1也可以只相当于第四步骤S140。作为一例，第一沉积区间TL1可以是从收容在第一收纳容器CM1中的第一沉积材料EM1首次蒸发的时刻起至收容在第一收纳容器CM1中的第一沉积材料EM1耗尽为止的区间。
详细而言，电源模块PM在预备区间TO之后只向第一至第四加热器HT1～HT4中的第一加热器HT1供应电源。即，电源模块PM不会向除第一加热器HT1以外的第二至第四加热器HT2～HT4供应电源。其结果，可对第一至第四收纳容器CM1～CM4中的第一收纳容器CM1进行加热。
如图6b所示，在第一沉积区间TL1期间，只对包括于沉积源P1～P7的第一至第七加热器HT1～HT7中的第一加热器HT1施加(ON)电源(POWER)，对剩余加热器HT2～HT7切断(OFF)电源(POWER)。
此外，第一沉积源P1、第三沉积源P3以及第二沉积源P2及第四至第七沉积源P4～P7可以分别被配置在旋转部件RT上，使得第一沉积源P1与加热区域HA重叠，第三沉积源P3与预加热区域PA重叠，第二沉积源P2及第四至第七沉积源P4～P7与待机区域WA重叠。
本发明实施例的第一收纳容器CM1可被加热至比第一温度高的第二温度。在此，第二温度可以是用于使收容在第一收纳容器CM1中的第一沉积材料EM1蒸发的温度。即，在第一收纳容器CM1被加热至第二温度的情况下，能够使第一沉积材料EM1蒸发并沉积在基板ST(参照图2)上。
如上述，在第一沉积区间TL1期间，能够使收容在第一收纳容器CM1中的第一沉积材料EM1蒸发并持续沉积在基板ST上。
图7a及图7b是示出图3所示的沉积方法的一例。
参照图3和图7a及图7b，在第五步骤S150中，可以在第一沉积区间TL1中的预热区间TL1-P期间对沉积源P1～P4中配置于预加热区域PA的第三沉积源P3进行预热。在该情况下，随着在第一沉积区间TL1期间使填充到第一收纳容器CM1中的第一沉积材料EM1持续蒸发并沉积在基板ST上，能够耗尽填充到第一收纳容器CM1中的第一沉积材料EM1。
根据本发明实施例，预热区间TL1-P可以是从第一沉积区间TL1的开始时刻起至规定时间之后的时刻与第一沉积区间TL1结束的时刻之间的区间。但是，本发明的技术思想并不限定于此，可以从第一沉积区间TL1的开始时刻起同时进行预热区间TL1-P。
根据本发明实施例，包括在第三沉积源P3中的第三收纳容器CM3可被加热至第一温度。在该情况下，在第三收纳容器CM3上升至第一温度的期间，可检验收容在第三收纳容器CM3中的第三沉积材料EM3的状态。例如，随着第三收纳容器CM3上升至第一温度，能够使收容在第三收纳容器CM3中的第三沉积材料EM3的一部分蒸发。在此，在预热区间TL1-P期间，所蒸发的一部分第三沉积材料EM3不会传递到基板ST。
传感器CS可以检验填充到第三收纳容器CM3中的第三沉积材料EM3的蒸发状态。传感器CS可以与第三沉积源P3相邻配置，向配置在腔室CB外部的控制装置ED传递感测到的信号。作为一例，传感器CS可以是石英晶体传感器(Quartz crystal sensor)。控制装置ED可以以由传感器CS提供的感测信号为基础判断第三沉积材料EM3能否形成在基板ST上。
此外，虽然未图示，但在第三收纳容器CM3中可配置有检验第三加热器HT3的温度的温度传感器。
另外，在配置于预加热区域PA的第三沉积源P3被配置为最靠近第一沉积源P1的情况下，因配置在第一沉积源P1上的导轨WB而可能难以确认包括在第三沉积源P3中的第三沉积材料EM3的状态。因此，在平面上，在配置于预加热区域PA的第三沉积源P3与配置于加热区域HA的第一沉积源P1之间可设置有配置于待机区域WA的第二沉积源P2。
如图7b所示，电源模块PM为了对配置于预加热区域PA的第三沉积源P3的第三收纳容器CM3进行预热而向第三加热器HT3供应电源。因此，在预热区间TL1-P期间，对配置于加热区域HA的第一加热器HT1及配置于预加热区域PA的第三加热器HT3施加(ON)电源(POWER)，对配置于待机区域WA的第二加热器HT2及第四至第七加热器HT4～HT7切断(OFF)电源(POWER)。
图8a及图8b是示出图3所示的沉积方法的一例。
参照图3和图8a及图8b，在第六步骤S160中，可以在第一沉积区间TL1之后使旋转部件RT旋转使得第三沉积源P3与加热区域HA重叠。可通过图2所示的第一电动机MT来使旋转部件RT旋转。然后，在第七步骤S170中，可以在第一沉积区间TL1之后的第二沉积区间TL2期间将包括在第三沉积源P3中的第三沉积材料EM3形成在基板ST(参照图2)上。
如图8a所示，随着通过旋转部件RT使沉积源P1～P4旋转，在预热区间TL1-P期间预热的第三沉积源P3可被配置在加热区域HA中。然后，可以开始第二沉积区间TL2。
详细而言，根据图8b所示，在第二沉积区间TL2期间，通过电源模块PM对沉积源P1～P7中配置于加热区域HA的第三沉积源P3的第三加热器HT3及配置于预加热区域PA的第五沉积源P5的第五加热器HT5施加(ON)电源(POWER)。对配置于待机区域WA的剩余沉积源P1、P2、P4、P6、P7的加热器HT1、HT2、HT4、HT6、HT7切断(OFF)电源(POWER)。
另外，图8b所示的第二沉积区间TL2仍然可包括预热区间。可以在预热区间期间对配置于预加热区域PA的第五加热器HT5施加电源(POWER)。
如上述，可以在预备区间TO期间同时加热本发明的沉积源P1～P7。特别是，随着在预备区间TO期间首次加热沉积源P1～P7，能够同时去除从包括在沉积源P1～P7中的沉积材料汽化的杂质或者吸附到沉积源P1～P7的吸附物质。
因此，在通过图7b说明的第一沉积区间TL1所包括的预热区间TL1-P期间，在对第三沉积源P3进行预热的过程中不会从第三沉积源P3的沉积材料中产生其他气体。其结果，随着不执行用于去除在腔室CB的内部空间产生的气体的其他工艺，能够缩减总体工艺时间。
如上所述，在附图和说明书中公开了实施例。在此，虽然使用特定用语，但这只是为了说明本发明而使用的，并不是为了限制含义或者权利要求书中记载的本发明的范围而使用的。因此本发明所属技术领域的技术人员应能理解，由此可进行各种改变并实施其他等同的实施例。因此，本发明真正的技术保护范围应由所附的权利要求书的技术思想来确定。
附图标记说明
VD： 沉积部件
P1～P7： 沉积源
RT： 旋转部件
CB： 腔室
MT： 第一电动机
MS： 第二电动机
EXD1： 第一排气装置
EXD2： 第二排气装置
ST： 基板
WB： 导轨。

Claims (10)

1.一种沉积方法，包括以下步骤：
在预备区间期间同时加热多个沉积源，多个所述沉积源被配置在腔室内并且在平面上彼此隔开并被配置在旋转部件上；
在所述预备区间期间，去除在所述腔室内产生的气体；
在所述预备区间之后，对所述沉积源中配置于所述旋转部件的加热区域上的第一沉积源进行加热；
在所述预备区间之后的第一沉积区间期间，将包括在所述第一沉积源中的第一沉积材料蒸发并形成在基板上；
在所述第一沉积区间中的预热区间期间，对所述沉积源中配置于所述旋转部件的预加热区域上的第二沉积源进行预热；以及
在所述第一沉积区间之后，使所述旋转部件旋转使得所述第二沉积源与所述加热区域重叠。
2.根据权利要求1所述的沉积方法，其中，
各个所述沉积源包括：
限定有开口部的主体；
连接到所述主体的加热器；
通过所述开口部安装到所述主体的收纳容器；和
填充到所述收纳容器的沉积材料，
多个所述加热器分别与外部电源模块电连接。
3.根据权利要求2所述的沉积方法，其中，
在所述预备区间期间，通过所述加热器将包括在所述沉积源中的所述收纳容器分别加热至第一温度。
4.根据权利要求3所述的沉积方法，其中，
在所述预备区间之后，将包括在所述第一沉积源中的第一收纳容器加热至比所述第一温度高的第二温度。
5.根据权利要求4所述的沉积方法，其中，
在所述预热区间期间，将包括在所述第二沉积源中的第二收纳容器加热至所述第一温度。
6.根据权利要求2所述的沉积方法，
进一步包括以下步骤：通过传感器检查所述第二沉积源的预热过程，
所述传感器包括：温度传感器，用于感测包括在所述第二沉积源中的第二收纳容器的温度；以及石英晶体传感器，用于检验填充到所述第二收纳容器的沉积材料的蒸发状态。
7.根据权利要求1所述的沉积方法，其中，
所述旋转部件进一步包括待机区域，
在所述第一沉积区间期间，将所述第一沉积源、所述第二沉积源和剩余沉积源分别配置在所述旋转部件上，使得所述第一沉积源与所述加热区域重叠，所述第二沉积源与所述预加热区域重叠，所述剩余沉积源与所述待机区域重叠。
8.根据权利要求7所述的沉积方法，其中，
在所述第一沉积区间期间，对与所述待机区域重叠的所述剩余沉积源切断电源。
9.一种沉积装置，包括：
腔室，包括至少一个排气孔；
旋转部件，被配置在所述腔室的内部；
多个沉积源，在平面上彼此隔开并被配置在所述旋转部件上，各个沉积源包括限定有开口部的主体、连接到所述主体的加热器、通过所述开口部安装到所述主体的收纳容器和填充到所述收纳容器且待形成在基板上的沉积材料；以及
电源模块，与包括在多个所述沉积源中的多个所述加热器分别电连接，
在预备区间期间，通过由所述电源模块向所述加热器供应的电源来同时加热所述收纳容器。
10.根据权利要求9所述的沉积装置，其中，
所述旋转部件包括加热区域、预加热区域及待机区域，
在所述预备区间之后的第一沉积区间期间，所述沉积源中的第一沉积源被配置在所述加热区域上，第二沉积源被配置在所述预加热区域上，剩余沉积源被配置在所述待机区域上。
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