CN110520688A - 标记单元 - Google Patents

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CN110520688A
CN110520688A CN201880025492.6A CN201880025492A CN110520688A CN 110520688 A CN110520688 A CN 110520688A CN 201880025492 A CN201880025492 A CN 201880025492A CN 110520688 A CN110520688 A CN 110520688A
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斉藤共啓
福田康幸
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Abstract

本发明提供一种例如对于相同的对象物，同等条件下，能够简便地进行设置的标记单元。本发明的标记单元含有上基板和下基板，是在所述下基板上层叠了所述上基板的层叠体，其特征在于，所述下基板在其上表面具有露出于所述层叠体上表面侧的下基板被检测部，在其下表面具有位置确定部；所述被检测部能够从所述层叠体的上表面侧检测；所述位置确定部为相对于设置标记单元的被设置体中的设置所述标记单元的被设置部，确定位置的形状。

Description

标记单元
技术领域
本发明涉及一种标记单元。
背景技术
在增强现实(Augmented Reality，以下也称作“AR”)及机器人等领域中，为了识别物体的位置及姿势等，而使用所谓的视觉标记。作为所述标记，例如，通常使用AR标记。并且，作为所述标记的另一例，例如报告有在黑色条纹图案上配置柱状透镜的标记(专利文献1)。所述标记通常被称为根据视角移位的可变莫尔条纹(VMP)标记，并且也被称为RAS(Rotation Angle Scale；旋转角度)标记。在根据相机等检测机器检测出现在所述标记上的图像时，所述图像的浓淡式样根据所述相机相对于所述标记的视角而改变。因此，通过检测所述标记的浓淡式样，可以判断所述标记的旋转角度。
所述视觉标记通常配置于基板上，所述基板上设置有成为所述相机待检测区域记号的多个检测基准部，以整体作为标记单元使用。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：特开2012-145559号公报
发明内容
发明要解决的课题
在机器人等对象上设置所述标记单元时，通常用双面胶带粘合。并且，所述标记单元例如在有污渍、发生故障等时需要更换。另外，有时测定后需要取下。于是，再次测定同一对象时，需要设置新的标记单元。
并且，现如今，所述标记单元相对于所述对象以目视定位。但是，根据位置和角度的不同，所述标记单元的所述标记和所述检测基准部看起来也不同。因此，每次测定时，在需要把标记单元设置在所述对象上并且取下的情况下，在需要对同种类的标记单元进行更换的情况下等，标记单元的设置精度变得重要。即，即使是同一个标记单元，即使是更换同一种类的标记单元，如果对所述对象的设置每次都不一样，那么即使是同条件下的测定，从所述标记单元得到的结果也可能不同。于是，每次设置时，为了上一次设置的标记单元的测定结果和下一次设置的标记单元的测定结果能够相对应，需要校准等，十分费事。
因此，本发明的目的是提供一种例如可以相对于同一对象物，以相同的设置条件简便地设置的标记单元。
解决课题的方法
为了实现上述目的，本发明的标记单元为含有上基板和下基板，在所述下基板之上层叠了所述上基板的层叠体，其特征在于，
对所述下基板而言，
其上表面有在所述层叠体上表面侧露出的下基板被检测部；其下表面有位置确定部，
对所述被检测部而言，
可以从所述层叠体的上表面侧检测，
对所述位置确定部而言，
为相对于设置标记单元的被设置体中的设置所述标记单元的被设置部，确定位置的形状。
发明的效果
本发明的标记单元因为有所述位置确定部，可以在相同设置条件下，简便地设置在机器人等被设置体上。因此，例如可以省略每次在所述被设置体上设置标记单元时，对所述标记单元的检测基准部和标记等的测定进行校准等。
附图说明
[图1]在图1(A)中，上图是示出实施方式1的标记单元的一例的侧面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图1(B)中，上图是示出实施方式1的标记单元的一例的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图2]在图2(A)中，上图是示出实施方式2的标记单元的一例的侧面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图2(B)中，上图是示出实施方式2的标记单元的一例的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图3]在图3(A)中，上图是示出实施方式3的标记单元的一例的侧面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图3(B)中，上图是示出实施方式3的标记单元一例的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图4]在图4(A)中，上图是示出实施方式4的标记单元的一例的侧面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。在图4(B)中，上图是示出实施方式4的标记单元的一例的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图5]在图5(A)中，上图是示出实施方式5的标记单元的一例的侧面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图5(B)中，上图是示出实施方式5的标记单元的一例的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图6]在图6(A)中，上图是示出实施方式6的标记单元的一例的侧面图，中间图是所述标记单元的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图6(B)中，上方两张图以及中间图是示出实施方式6的标记单元的一例的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图7]在图7中，上图是示出实施方式7的标记单元的一例的侧面图，中间图是所述标记单元的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图8]在图8中，上图是示出实施方式8的标记单元的一例的侧面图，中间图是所述标记单元的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图9]在图9中，上方两张图和中间图是示出实施方式9的标记单元的一例的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图10]在图10中，上图是示出实施方式10的标记单元的一例的侧面图，中间图是所述标记单元的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图11]在图11(A)中，上图是示出实施方式11的标记单元一例的侧面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图11(B)中，上方两张图是示出实施方式11的标记单元的一例的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图12]在图12中，上图是示出实施方式12的标记单元的一例的侧面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图13]图13是各实施方式的标记单元的基本构成的一例，图13(A)是从所述标记单元的上方向所视的平面图，图13(B)是所述标记单元的截面图，图13(C)是所述标记单元的上基板的平面图。
[图14]在图14(A)中，上图是示出变形例的标记单元的一例的侧面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图14(B)中，上图是示出变形例的标记单元的一例的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图15]图15(A)是从变体例的标记单元的上方向所视的平面图，图15(B)是所述标记单元的截面图，图15(C)是所述标记单元的上基板的平面图。
[图16]在图16(A)中，右下图是示出实施方式13的标记单元的一例的平面图，右上图是从箭头A方向所视的所述标记单元的侧面图，左下图是从箭头B方向所视的所述标记单元的侧面图，在图16(B)中，右下图是示出实施方式13的标记单元的一例的平面图，右上图是从箭头A方向所视的所述标记单元的侧面图，左下图是从箭头B方向所视的所述标记单元的侧面图。
[图17]在图17(A)中，上图是示出实施方式14的标记单元的一例的侧面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图17(B)中，上图是实施方式14的标记单元的侧面图，中间图是所述标记单元的截面图，下图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图18]在图18(A)中，左图是示出实施方式15的标记单元的一例的侧面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图18(B)中，左图是示出实施方式15的标记单元的一例的侧面图，右图是从下方向所视的平面图，在图18(C)中，左图是示出实施方式15的标记单元的一例的侧面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图18(D)中，左图是示出实施方式15的标记单元的一例的截面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，中间图是所述标记单元的侧面图。
[图19]在图19(A)中，左图是示出实施方式16的标记单元的一例的侧面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图19(B)中，左图是示出实施方式16的标记单元的一例的侧面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图20]在图20中，左图是示出实施方式17的标记单元的一例的侧面图，中间图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，右上图是所述标记单元的截面图。
[图21]在图21(A)中，左图是示出实施方式18的标记单元的一例的截面图，中间图是所述标记单元的侧面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图21(B)中，左图是示出实施方式18的标记单元的一例的截面图，中间图是所述标记单元的侧面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图21(C)中，左图是示出实施方式18的标记单元的一例的截面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，在图21(D)中，左图是示出实施方式18的标记单元的一例的截面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
[图22]图22(A)是示出实施方式19的标记单元的一例的图示，左图是从所述标记单元的上方向所视的平面图，中上图和中下图是所述标记单元的截面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图，图22(B)是示出实施方式19的标记单元的一例的图示，左图是从所述标记单元的上方向所视的平面图，中上图和中下图是所述标记单元的截面图，右图是从所述标记单元的下方向所视的平面图。
具体实施方式
在本发明的标记单元中，例如所述下基板被检测部含有标记、以及所述标记的检测中成为基准的检测基准部中的至少一种。
本发明的标记单元中，例如进一步，所述上基板具有可从所述层叠体的上表面侧检测的上基板被检测部，所述上基板被检测部为标记。
本发明的标记单元中，例如所述位置确定部的形状与所述被设置部的形状相对应。
对本发明标记单元而言，例如所述被设置体的被设置部是凸部时，所述下基板的位置确定部是凹部；所述被设置体的被设置部是凹部时，所述下基板的位置确定部是凸部。
对本发明的标记单元而言，例如所述被设置体的被设置部具有凸状的曲面时，所述下基板的位置确定部是多个凸部。
对本发明的标记单元而言，例如所述下基板的位置确定部为2处以上。
对本发明的标记单元而言，例如所述下基板的位置确定部为1处。
在本发明的标记单元中，例如所述下基板在其下表面上、与所述下基板被检测部相对应处有所述位置确定部。
本发明的标记单元中，例如所述上基板有贯通孔，对所述下基板而言，在其上表面上、与所述上基板的贯通孔相对应处为所述检测基准部，在其下表面上、与所述检测基准部相对应处有所述位置确定部。
本发明的标记单元中，例如对所述下基板而言，在其上表面上、与所述上基板的贯通孔相对应处有凸部，所述凸部的上表面为所述检测基准部。
对本发明的标记单元而言，例如所述下基板被检测部含有标记，对所述下基板而言，在其下表面上、与所述标记相对应处有所述位置确定部。
对本发明的标记单元而言，为方便起见，将观察侧称为“上方向”，其相反侧称为“下方向”。因此，本发明的标记单元中，例如“上基板”是观察侧的基板，“下基板”是相对于上基板位于下方向的基板。
设置本发明的标记单元的被设置体没有特殊限制，例如可以列举机器人、建筑仪器、服装、以及附于其上的固定件等。本发明的标记单元上的所述位置确定部的形状，是相对于所述被设置体上的被设置部确定标记单元的设置位置的形状即可，例如，可根据位于所述被设置体上的被设置部的形状适当确定。位于所述被设置体上的被设置部是设置所述标记单元的部位。
另外，所述标记单元的位置确定部和所述被设置体的被设置部，例如可以是相互嵌合的形状。根据所述位置确定部和所述被设置部，当所述标记单元能够固定在所述被设置体上时，例如所述位置确定部也称为固定部，所述被设置部也称为被固定部。
本发明的标记单元的位置确定部，例如能够设计成与所述被设置体的被设置部相对应的形状。作为具体例子，例如，所述被设置体的被设置部是凸部时，所述下基板的位置确定部是凹部，前者的凸部和后者的凹部，优选为一一对应的关系。另外，例如，所述被设置体的被设置部是凹部，所述下基板的位置确定部是凸部，前者的凹部和后者的凸部优选为一一对应的关系。像这样，本发明的标记单元，例如作为所述位置确定部，具有与所述被设置体的被设置部的形状相对应的形状，两者相嵌合，而能够进行简便地设置。
另外，本发明的标记单元，例如即使所述被设置部有凸状的曲面时，也能够简便、稳定地进行设置。以往，所述被设置体的所述被设置部并非平面而是曲面的时候，例如所述标记单元是板状时，在设置上会产生稳定性的问题。另外，一旦将所述板状的标记单元强行设置在曲面上，所述标记单元因为扭曲等而变形，其结果有可能发生所述标记单元上的标记机能降低，无法被发现。对此，根据本发明的标记单元，例如将所述位置确定部设为凸状，让所述凸状的前端接触到所述曲面，即使是相对于具有所述曲面的所述被设置部，也可以简便、稳定地设置。
本发明的标记单元的特征在于，设置所述位置确定部以成为如前所述的条件，其他的构成等，没有任何限制，具体而言，在所述标记单元上，例如所述被检测部、包含在所述被检测部上的标记的种类、各种基板的种类及层叠方式等均没有限制。
下文参考附图描述了本发明的实施方式。本发明不受下面的实施方式限制或约束。在附图中，相同的部分用相同的附图标记表示。此外，为了便于解释，可以适当地简化而示出各部件的结构，并且各部件的尺寸比例等不限于附图的条件。另外，以下，在包含所述下基板和上基板的层叠体上，下基板一侧称为下方向，上基板一侧称为上方向。
首先，图13示出了以下实施方式中标记单元的基本构成的一例。图13(A)是从上方向所视的标记单元1的平面图，图13(B)是从XII-XII方向所视的标记单元1的截面图，图13(C)是标记单元1的上基板10的平面图。标记单元1是具有下基板12、居间基板11及上基板10，在下基板12上经由居间基板11配置有上基板10的层叠体。
对标记单元1而言，作为可以从所述层叠体的上表面侧检测的被检测部，具有检测基准部122，及在检测基准部122之间的VMP(可变莫尔条纹)等标记20。检测基准部122和标记20，是由下基板12形成的所述下基板被检测部。所述下基板被检测部是标记单元1的下基板12上表面侧的区域，在下基板12的上表面，露出在标记单元1的上表面侧。在标记单元1中，上基板10和居间基板11在与检测基准部122和标记20相对应处具有贯通孔101，102。并且，在下基板12之上，层叠居间基板11和上基板10时，在与上基板10的贯通孔101，102相对应的区域，下基板12的上表面露出，成为上述的检测基准部122和标记20。下基板12例如在成为检测基准部122的位置，具有向上方向凸起的圆形凸部，在标记单元1中，所述凸部的上表面成为检测基准部122。另外，下基板12例如在成为标记20的位置，具有山形的连续凸部，在标记单元1中，所述连续凸部成为标记20。
在以下实施方式中，以该标记单元1的基本构造作为前提，进而对所述下基板的位置确定部进行说明。在图13中，与后述图1(A)相同，作为下基板12的位置确定部，示出了向下方向凸出的位置确定部121，但本发明的标记单元不限于此。
另外，本发明的标记单元的基本构造，不限定于图13的示例，例如有无所述居间基板均可，作为所述下基板被检测部，可以只有标记20，也可以只有检测基准部122，标记20和检测基准部122的形状等，也不限定于这些示例。另外，对本发明的标记单元而言，例如，进一步，作为上基板检测部，也可具有标记。此外，以下的实施方式图中，省略标记20。
[实施方式1]
图1示出了本实施方式的标记单元的一例。对本实施方式的标记单元1(1A和1B)而言，下基板12在上表面具有检测基准部122，并且，在下表面上与检测基准部122相对应处，有位置确定部121。图1(A)的标记单元1A，是下基板12具有凸状的位置确定部121A的方案，图1(B)的标记单元1B是下基板12具有凹状的位置确定部121B的方案。
首先，对图1(A)示出的标记单元1A进行说明。在图1(A)中，上图是标记单元1A的侧面图，下图是标记单元1A从下基板12侧所视的平面图。如图1(A)所示，标记单元1A具有下基板12、居间基板11和上基板10，在下基板12上经由居间基板11配置有上基板10。标记单元1A具有可以从上表面侧检测的检测基准部122和标记(参照图13)，所述标记在检测基准部122之间(参照图13)。对标记单元1A中的下基板12而言，其上表面具有向上方向凸出的圆柱状凸部(以下也称作上表面侧凸部)，所述上表面侧凸部的上表面为检测基准部122，居间基板11和上基板10分别在与检测基准部122相对应处具有贯通孔，下基板12的上表面侧凸部插入居间基板11和上基板10各自的贯通孔中，作为其上表面的检测基准部122从上方向露出。并且，下基板12在其下表面与所述上表面的检测基准部122相对应处，具有向下方向凸出的圆柱状凸部，所述凸部是位置确定部121A。具有所述上表面侧的凸部和所述下表面侧的凸部的下基板12，例如是一体成型体。标记单元1A各边角区域各自具有检测基准部122(4处)，下基板12的下表面与它们对应的4处具有位置确定部121A。
标记单元1A例如能够设置在具有凹状的被设置部的被设置体上。此时，标记单元1A的位置确定部121A的形状和大小没有特殊限制，例如，可根据所述被设置体上的所述被设置部的形状和大小进行设定。此时，因为标记单元1A要能够固定在所述被设置体上，例如也可以设定为相互嵌合的样式。将标记单元1A的位置确定部121A插入所述被设置体的凹状的被设置部，两者相嵌合，从而能够把标记单元1A设置在所述被设置体上。位置确定部12A和所述被设置部的嵌合没有特殊限制，例如可以是嵌入等。
标记单元1A因为在4处有位置确定部121A，设置于所述被设置体上后，例如不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。本发明中，所述位置确定部的个数没有特殊限制，例如从上述效果考虑，优选两处以上。
接下来，对图1(B)示出的标记单元1B进行说明。在图1(B)中，上图是从I-I方向所视的标记单元1B的截面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元1B的平面图。如图1(B)所示，对标记单元1B而言，除了下基板12在其下表面上与所述上表面的检测基准部122相对应处具有内部为圆柱状的凹部，所述凹部是位置确定部121B以外，与所述图1(A)示出的标记单元1A相同。标记单元1B的各边角区域，分别具有检测基准部122(4处)，在下基板12的下表面对应这些检测基准部的4处有位置确定部121B。
标记单元1B例如能够设置在具有凸状的被设置部的被设置体上。此时，标记单元1B的位置确定部121B的形状和大小例如可以根据所述被设置体的被设置部的形状和大小进行设定，也可以设定为相互嵌合的样式。将所述被设置体的凸状的被设置部插入标记单元1B的位置确定部121B，两者嵌合，从而能够把标记单元1B设置在所述被设置体上。
标记单元1B因为在4处具有位置确定部121B，设置在所述被设置体上后，例如不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。本发明中，所述位置确定部的个数没有特殊限制，例如从上述效果考虑，优选两处以上。
在本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过所述位置确定部，可以进行更精确地配置。另外，本实施方式的标记单元，因为在所述下基板的上表面和下表面上的相对应处，具有作为所述下基板被检测部的检测基准部和所述位置确定部，进而使所述下基板被检测部能够被更精确地配置。
[实施方式2]
图2示出了本实施方式的标记单元的一例。对本实施方式的标记单元2(2A，2B)而言，下基板12在与标记的端部相对应处具有位置确定部221。图2(A)的标记单元2A是下基板12具有凸状的位置确定部221A的方案，图2(B)的标记单元2B是下基板12具有凹状的位置确定部221B的方案。
首先，对图2(A)示出的标记单元2A进行说明。在图2(A)中，上图是标记单元2A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元2A的平面图。如图2(A)所示，对标记单元2A而言，除了下基板12在其下表面上与所述上表面的标记端部对应处有圆柱状凸部，所述凸部是位置确定部221A以外，与所述实施方式1相同。对标记单元2A而言，作为所述下基板被检测部，在各个边角区域，分别有检测基准部122(4处)，在检测基准部122之间，有平行的两个标记(参照图13)。并且，在与这些标记的端部相对应处，下基板12的下表面的4处有位置确定部221A。标记单元2A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如可以设置在具有凹状的被设置部的被设置体上。
标记单元2A因为在4处有位置确定部221A，设置在所述被设置体上后，例如不易转动。因此，设置在被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。
接下来，对图2(B)示出的标记单元2B进行说明。在图2(B)中，上图是从II-II方向所视的标记单元2B的截面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元2B的平面图。如图2(B)所示，对标记单元2B而言，除了下基板12在其下表面上与所述上表面的标记端部相对应处有内部为圆柱状的凹部，所述凹部是位置确定部221B以外，与所述图2(A)的标记单元2A相同。对标记单元2B而言，作为所述下基板被检测部，在各边角区域分别有检测基准部122(4处)，检测基准部122之间，有平行的两个标记。并且，在与这些标记端部相对应处，下基板12的下表面的4处有位置确定部221B。标记单元2B与所述实施方式1的标记单元1B同样地，例如能够设置在具有凸状的被设置部的被设置体上。
标记单元2B因为在4处有位置确定部221B，设置在所述被设置体上后，例如不易转动，因此，设置在被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。另外，对本实施方式的标记单元而言，因为在所述下基板的上表面和下表面上的相对应处，具有作为所述下基板被检测部的标记和所述位置确定部，进而使所述下基板被检测部能够被更精确地配置。
[实施方式3]
图3示出了本实施方式标记单元的一例。本实施方式标记单元3(3A，3B)是下基板12在其下表面的中央有位置确定部321的方案。图3(A)的标记单元3A是下基板12有凸状的位置确定部321A的方案，图3(B)的标记单元3B是下基板12具有凹状的位置确定部321B的方案。
首先，对图3(A)示出的标记单元3A进行说明。在图3(A)中，上图是标记单元3A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元3A的平面图。如图3(A)所示，对标记单元3A而言，除了下基板12在其下表面的中央有圆柱状凸部，所述凸部是位置确定部321A以外，与所述实施方式1相同。标记单元3A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在具有凹状的被设置部的被设置体上。
接下来，对图3(B)示出的标记单元3B进行说明。图3(B)中，上图是从标记单元3B的III-III方向所视的截面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元3B的平面图。如图3(B)所示，对标记单元3A而言，除了下基板12在其下表面的中央有内部为圆柱状的凹部，所述凹部是位置确定部321B以外，与所述图3(A)示出的标记单元3A相同。标记单元3B与所述实施方式1的标记单元1B同样地，例如能够设置在具有凸状的被设置部的被设置体上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过所述位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式4]
图4示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元4(4A，4B)是下基板12在其下表面的中央有位置确定部421的方案。图4(A)的标记单元4A是下基板12有凸状的位置确定部421A的方案，图4(B)的标记单元4B是下基板12有凹状的位置确定部421B的方案。
首先对图4(A)示出的标记单元4A进行说明。在图4(A)中，上图是标记单元4A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元4A的平面图。如图4(A)所示，对标记单元4A而言，除了下基板12在其下表面的中央有缺失一部分圆周的柱状凸部，所述凸部是位置确定部421A以外，与所述实施方式1相同。标记单元4A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在具有凹状的被设置部的被设置体上。
位置确定部421A例如因为是缺失一部分圆周的柱状凸部，插入所述被设置体的被设置部时，不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。另外，例如标记单元4A相对于所述被设置体的被设置部的朝向，必然根据位置确定部421A的形状确定，因此可以更简便地设置在目标位置的正确方向上。
接下来，对图4(B)示出的标记单元4B进行说明。在图4(B)中，上图是从标记单元4B的IV-IV方向所视的截面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元4B的平面图。如图4(B)所示，对标记单元4B而言，除了下基板12在其下表面的中央有缺失一部分圆周的内部为柱状的凹部，所述凹部是位置确定部421B以外，与所述图4(A)的标记单元4A相同。标记单元4B与所述实施方式1的标记单元1B同样地，例如能够设置在具有凸状的被设置部的被设置体上。
位置确定部421B例如因为是缺失一部分圆周的柱状凹部，插入所述被设置体的被设置部时，不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。另外，例如标记单元4B相对于所述被设置体的被设置部的朝向，必然根据位置确定部421B的形状确定，因此可以更简便地设置在目标位置的正确方向上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式5]
图5示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元5(5A，5B)是下基板12在其下表面的中央有位置确定部521的方案。图5(A)的标记单元5A是下基板12有凸状的位置确定部521A的方案，图5(B)的标记单元5B是下基板12有凹状的位置确定部521B的方案。
首先，对图5(A)示出的标记单元5A进行说明。在图5(A)中，上图是标记单元5A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元5A的平面图。如图5(A)所示，对标记单元5A而言，除了下基板12在其下表面的中央有棱柱状凸部，所述凸部是位置确定部521A以外，与所述实施方式1相同。标记单元5A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在具有凹状的被设置部的被设置体上。
接下来，对图5(B)示出的标记单元5B进行说明。在图5(B)中，上图是从标记单元5B的V-V方向所视的截面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元5B的平面图。如图5(B)所示，对标记单元5B而言，除了下基板12在其下表面的中央，有内部为棱柱状的凹部，所述凹部是位置确定部521B以外，与所述图5(A)的标记单元5A相同。标记单元5B与所述实施方式1的标记单元1B同样地，例如能够设置在具有凸状的被设置部的被设置体上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式6]
图6示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元6(6A，6B)是下基板12在其下表面的对角线上的边角部区域有位置确定部621的方案。图6(A)的标记单元6A是下基板12有凸状的位置确定部621A，621A’的方案，图6(B)的标记单元6B是下基板12有凹状的位置确定部621B，621B’的方案。
首先，对图6(A)示出的标记单元6A进行说明。在图6(A)中，上图是标记单元6A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元6A的平面图，右上图是从上述平面图的VI-VI方向所视的截面图。如图6(A)所示，对标记单元6A而言，除了下基板12在其下表面的对角线上的边角部区域有2个圆柱状凸部，所述凸部是位置确定部621A，621A’以外，与所述实施方式1相同。标记单元6A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在具有凹状的被设置部的被设置体上。
标记单元6A因为在2处有位置确定部621A，621A’，设置在所述被设置体上后，例如不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止产生位置偏移。
接下来对图6(B)示出的标记单元6B进行说明。在图6(B)中，上图和中间图是标记单元6B的截面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元6B的平面图，右上图是标记单元6B的截面图。所述截面图中，上图是从VIa-VIa方向所视的截面图，中间图是从VIb-VIb方向所视的截面图，右上图是从VIc-VIc方向所视的截面图。如图6(B)所示，对标记单元6B而言，除了下基板12在其下表面的对角线上，有2个内部为圆柱状的凹部，所述凹部是位置确定部621B，621B’以外，与所述图6(A)的标记单元6A相同。标记单元6B与所述实施方式1的标记单元1B同样地，例如能够设置在具有凸状的被设置部的被设置体上。
标记单元6B因为在2处有位置确定部621B，621B’，设置在所述被设置体上后，例如不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止产生位置偏移。
本实施方式中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式7]
图7示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元7A是下基板12具有凸状且呈锥状的位置确定部721A的方案。
在图7中，上图是标记单元7A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元7A的平面图，右上图是从上述平面图的VII-VII方向所视的截面图。如图7所示，对标记单元7A而言，除了下基板12具有平面形状为三角形、厚度方向呈锥状的凸部，所述凸部是位置确定部721A以外，与所述实施方式1相同。对标记单元7A而言，例如可以通过位置确定部721A的凸部的角抵接到所述被设置体上与之对应的地方(或者角对齐)，从而确定位置。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式8]
图8示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元8A是下基板12具有凸状且呈锥状的位置确定部821A的方案。
在图8中，上图是标记单元8A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元8A的平面图，右上图是从上述平面图的VIII-VIII方向所视的截面图。如图8所示，标记单元8A除了下基板12具有平面形状为三角形、厚度方向呈锥状的凸部，所述凸部是位置确定部821A以外，与所述实施方式1相同。对标记单元8A而言，例如可以通过位置确定部821A的凸部的角抵接到所述被设置体上与之对应的地方(或者角对齐)，从而进行位置确定。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过所述位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式9]
图9示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元9B是下基板12在其下表面的对角线上的边角部区域有凹状位置确定部921B，921B’的方案。
接下来对图9示出的标记单元9B进行说明。在图9中，上图和中间图是标记单元9B的截面图，下图是从下基板12侧方向所视的标记单元9B的平面图，右上图是标记单元9B的截面图。所述截面图中，上图是从IXa-IXa方向所视的截面图，中间图是从IXb-IXb方向所视的截面图，右上图是从IXc-IXc方向所视的截面图。如图9所示，对标记单元9B而言，除了下基板12在其下表面的对角线上，有内部为近正圆形的圆柱状凹部和内部为椭圆形的圆柱状凹部，所述凹部是位置确定部921B，921B’外，与所述图6(B)的标记单元6B相同。标记单元9B与所述实施方式1的标记单元1B同样地，例如能够设置在具有凸状的被设置部的被设置体上。
位置确定部921B，921B’因为分别为不同形状，插入所述被设置体的被设置部时，不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。另外，例如标记单元9B相对于所述被设置体的被设置部的朝向，必然根据位置确定部921B，921B’的形状确定，因此可以更简便地设置在目标位置的正确方向上。
标记单元9B的2个位置确定部，像上述一样，一个是近正圆形，一个是椭圆形。因此，所述被设置体的2个被设置部分别是正圆形时，例如首先将一个正圆形的所述被设置部插入标记单元9B的椭圆形的位置确定部921B’中，再将另一个正圆形的所述被设置部插入标记单元9B的正圆形位置确定部921B中，能够更简便地进行设置。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式10]
图10示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元13A是下基板在其12下表面的对角线上的边角区域有凸状的位置确定部1321A，1321A’的方案。
接下来对图10示出的标记单元13A进行说明。在图10中，上图是标记单元13A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元13A的平面图，右上图是从上述平面图的X-X方向所视的截面图。如图10所示，对标记单元13A而言，除了下基板12在其下表面的对角线上有圆柱状凸部和棱柱状凸部，所述2个凸部是位置确定部1321A，1321A’以外，与所述实施方式1相同。标记单元13A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在具有凹状的被设置部的被设置体上。
位置确定部1321A，1321A’因为分别为不同形状，插入所述被设置体的被设置部时，不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。另外，例如标记单元13A相对于所述被设置体的被设置部的朝向，必然根据位置确定部1321A，1321A’的形状确定，因此可以更简便地设置在目标位置的正确方向上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式11]
图11示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元14(14A，14B)是下基板12在与沿着相邻两边配置的2个标记(图13中的标记20)相对应处，有位置确定部1421的方案。图11(A)的标记单元14A是下基板12具有凸状的位置确定部1421A，1421A’的方案，图11(B)的标记单元14B是下基板12具有凹状的位置确定部1421B，1421B’的方案。
首先，对图11(A)示出的标记单元14A进行说明。在图11(A)中，上图是标记单元14A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元14A的平面图。如图11(A)所示，对标记单元14A而言，除了下基板12在与沿着相邻两边配置的2个标记(参照图13)相对应处，分别有棱柱状凸部，所述2个凸部是位置确定部1421A，1421A’以外，与所述实施方式1相同。标记单元14A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在具有凹状的被设置部的被设置体上。
标记单元14A因为在两处有位置确定部1421A，1421A’，设置在所述被设置体上后，不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。另外，例如标记单元14A相对于所述被设置体的被设置部的朝向，必然根据位置确定部1421A，1421A’的形状确定，因此可以更简便地设置在目标位置的正确方向上。
接下来对图11(B)示出的标记单元14B进行说明。在图11(B)中，上图和中间图是标记单元14B的截面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元14B的平面图。所述截面图中，上图是从XIa-XIa方向所视的截面图，中间图是从XIb-XIb方向所视的截面图。如图11(B)所示，标记单元14B除了下基板12在与沿着相邻两边配置的2个标记(参照图13)相对应处，分别有内部为棱柱状的凹部，所述凹部是位置确定部1421B，1421B’以外，与所述图11(A)的标记单元14A相同。标记单元14B与所述实施方式1的标记单元1B同样地，例如能够设置在具有凸状的被设置部的被设置体上。
标记单元14B因为在两处有位置确定部1421B，1421B’，设置在所述被设置体上后，例如不易转动。因此，设置在所述设置目标上后，例如能够充分防止发生位置偏移。另外，例如标记单元14B相对于所述被设置体的被设置部的朝向，必然根据位置确定部1421B，1421B’的组合形状确定，因此可以更简便地设置在目标位置的正确方向上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。另外，对本实施方式的标记单元而言，因为在所述下基板的上表面和下表面上，在相对应的位置具有作为所述下基板被检测部的标记和所述位置确定部，进而使所述下基板被检测部能够被更精确地配置。
[实施方式12]
图12示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元15A是下基板12具有凸状且呈交叉状的位置确定部1521A的方案。
在图12中，上图是标记单元15A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元15A的平面图。如图12所示，标记单元15A除了下基板12具有交叉状(X状)的凸部，所述凸部是位置确定部1521A以外，与所述实施方式1相同。标记15A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在具有凹状的被设置部的被设置体上。
位置确定部1521A因为是X状的凸部，插入所述被设置体的被设置部后不易转动。因此，设置在所述被设置体上后，例如能够充分防止发生位置偏移。
在图12中，X状的位置确定部1521A，4个线状凸部在中央连接，各线状凸部的长度大致相同，各线所形成的角度也相等。位置确定部1521A对此没有限制，例如各线长、各线所形成的角度均可不同。该种方案，例如标记单元15A相对于所述被设置体的被设置部的朝向，必然根据位置确定部1521A的形状确定，因此可以更简便地设置在目标位置的正确方向上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式13]
图16示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元18(18A，18B)分别是下基板12有3个位置确定部1821(1821A，1821B)的方案。
首先，对图16(A)的标记单元18A进行说明。在图16(A)中，右下图是从下基板12侧所视的标记单元18A的平面图，右上图是从所述平面图的箭头A方向所视的标记单元18A的侧面图，左下图是从所述平面图的箭头B方向所视的标记单元18A的侧面图。如图16(A)所示，标记单元18A除了下基板12在其下表面的3处有圆柱状凸部，所述凸部是位置确定部1821A以外，与所述实施方式1相同。位置确定部1821A在下基板12相反侧的前端部分别是曲面。
标记单元18A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在具有分别与所述3个凸状的位置确定部1821A相对应的3个凹状的被设置部的被设置体上。这种情况时，标记单元18A例如能够将各位置确定部1821A插入到各凹状的被设置部，从而设置在所述被设置体上。
另外，标记单元18A例如也能够简便地设置在表面弯曲的被设置体上。该种情况时，标记单元18A例如让所述3个凸状的位置确定部1821A的各前端部接触到所述被设置体的弯曲曲面(被设置部)，从而能够将标记单元18A设置在所述被设置体上。具体而言，标记单元18A中，位置确定部1821A包围的空间整体是相对于所述被设置体的曲面的凹部，所述被设置体的曲面的一部分插入位置确定部1821A的所述空间，并且，位置确定部1821A的前端部设置在被设置体上。
本实施方式的标记单元18A中，位置确定部1821例如被设置在与所述被设置体的曲面相对应处。因此，例如即使构成标记单元18的层叠体为平面形状，因为有数个凸部(位置确定部1821)，从而标记单元18能够设置在所述被设置体的包含所述曲面的所述被设置部。
接下来对图16(B)的标记单元18B进行说明。在图16(B)中，右下图是从下基板12侧所视的标记单元18B的平面图，右上图是从所述平面图的箭头A方向所视的标记单元18B的侧面图，左下图是从所述平面图的箭头B方向所视的标记单元18B的侧面图。标记单元18B除所述凸部呈以下方向为顶点的圆锥状，所述凸部是位置确定部1821B以外，与图16(A)的标记单元18A相同。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式14]
图17示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元19(19A，19B)分别是下基板12有凸状的位置确定部1921(1921A，1921B)的方案。
首先对图17(A)的标记单元19A进行说明。在图17(A)中，上图是标记单元19A的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元19A的平面图。如图17(A)所示，标记单元19A除了下基板12在其下表面有平行的一对直线状凸部，所述凸部是位置确定部1921A以外，与所述实施方式1相同。所述一对直线状凸部分别是通过与所述上表面的标记和检测基准部(参照图13)对应的位置，并且以下方向作为顶点的山形凸部。
标记单元19A例如能够设置在具有与所述一对直线状的山形凸部分别对应的一对谷型凹状的被设置部的被设置体上。这种情况时，标记单元19A例如将一对位置确定部1921A分别插入所述各谷型凹状的被设置部，从而能够设置在所述被设置体上。
另外，标记单元19A例如也能够简便稳定地设置在表面弯曲的被设置体上。作为所述被设置体，例如所述被设置部的形状是半圆筒状。该种情况时，标记单元19A例如让所述一对直线状凸部(位置确定部1921A)的各前端部接触到所述被设置体的弯曲曲面(被设置部)，从而能够将标记单元19A设置在所述被设置体上。具体而言，标记单元19A中，一对位置确定部1921A之间的整个空间是相对于被设置体的曲面的凹部，所述被设置体的曲面的一部分插入位置确定部1921A的所述空间，并且，通过位置确定部1921A的前端部分设置在被设置体上。优选所述被设置部的半圆筒状的轴方向，与位置确定部1921的轴线方向平行。
接下来对图17(B)示出的标记单元19B进行说明。在图17(B)中，上图是标记单元19B的侧面图，下图是从下基板12侧所视的标记单元19B的平面图，中间图是从所述平面图的XV-XV方向所视的截面图。如图17(B)所示，标记单元19B，除下基板12的下表面有环状凸部，所述凸部是位置确定部1921B以外，与所述实施方式1相同。所述环状凸部是以下方向为顶点的山型凸部。
标记单元19B，例如能够设置在有环状谷型凹陷状的被设置部的被设置体上，且环状谷型凹陷状的被设置部与所述环状山型凸部相对应。该种情况时，标记单元19B，例如将位置确定部1921B插入所述环状谷型凹陷状的被设置部中，从而能够设置在被设置体上。
另外，标记单元19B，例如也能够简便地设置在表面弯曲的被设置体上。作为所述被设置体，例如所述被设置部是有球状面的方案。该种情况时，标记单元19B例如让所述山型凸起状的位置确定部1921B的山型前端部位接触到所述被设置体的弯曲曲面(被设置部)，从而能够将标记单元19B设置在所述被设置体上。具体而言，标记单元19B中，环状位置确定部1921B环绕的整个空间是相对于所述被设置体的曲面的凹部，所述被设置体的曲面的一部分插入位置确定部1921B的所述空间，并且，通过位置确定部1921B的前端部分，设置在被设置体上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部，与作为从外部检测的的对象的下基板检测部相同，都设置在下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地放置。
[实施方式15]
图18示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元21(21A，21B，21C，21D)，是分别在下基板12的下表面有凸起状的位置确定部2121(2121A，2121B，2121C，2121D)的方案。
首先，对图18(A)示出的标记单元21A进行说明。在图18(A)中，右图是从下基板12侧所视的标记单元21A的平面图，左图是标记单元21A的侧面图。如图18(A)所示，标记单元21A，除下基板12的下表面的四个位置有棱柱状凸部，所述凸部是位置确定部2121A以外，与所述实施方式1相同。位置确定部2121A各自位于下基板12的四个边的中点位置。
标记单元21A与所述实施方式1的标记单元1A相同，例如能够设置在有与所述凸起状的4个位置确定部2121A分别对应的凹陷状的4个被设置部的被设置体上。此种情况时，标记单元21A例如将各位置确定部2121A插入各凹陷状的被设置部中，从而能够设置在所述被设置体上。
另外，标记单元21A，例如也能够简便地设置在表面弯曲的被设置体上。该种情况时，标记单元21A例如让所述凸起状的位置确定部2121A接触到所述被设置体的弯曲曲面(被设置部)，从而能够将标记单元21A设置在所述被设置体上。具体而言，标记单元21A中，4个位置确定部2121A环绕的整个空间是相对于被设置体的曲面的凹部，所述被设置体曲面的一部分插入位置确定部2121A的所述空间，并且，通过位置确定部2121A的前端部分，能够设置在被设置体上。
接下来，对图18(B)示出的标记单元21B和图18(C)示出的标记单元21C进行说明。在图18(B)和(C)中，右图是从下基板12侧所视的标记单元21B，21C的平面图，左图是标记单元21B，21C的侧面图。标记单元21B，21C，除各自所述凸部的个数是3个或者2个以外，与所述图18(A)的标记单元21A相同。
接下来，对图18(D)示出的标记单元21D进行说明。在图18(D)中，右图是从下基板12侧所视的标记单元21D的平面图，中间图是标记单元21D的侧面图，左图是从XVI-XVI方向所视的截面图。如图18(D)所示，标记单元21D，除下基板12的下表面有十字状凸部，所述十字状凸部是位置确定部2121D以外，与所述实施方式1相同。
标记单元21D与所述实施方式1的标记单元1A相同，例如能够设置在有与所述凸起状的位置确定部2121D相对应的十字凹陷状的被设置部的被设置体上。该种情况时，标记单元21D，例如将位置确定部2121D插入所述凹陷状的被设置部，从而能够设置在被设置体上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部，与作为从外部检测的对象的下基板检测部相同，都设置在下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地放置。
[实施方式16]
图19示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元22(22A，22B)是分别在下基板12上有凸状的位置确定部2221(2221A，2221B)的方案。
首先，对图19(A)示出的标记单元22A进行说明。在图19(A)中，右图是从下基板12侧所视的标记单元22A的平面图，左图是标记单元22A的侧面图。标记单元22A除了作为位置确定部2221A的4个凸部在下基板12的4个边上至少有一个位于中点以外之外，与所述实施方式15的标记单元21A相同。
标记单元22A中，位于下基板12的4个边上的4个位置确定部2221A的位置没有特殊限制，例如可以是中点，也可以是相邻的任意角部附近的位置，也可以是角部。但是，4个位置确定部2221A全部位于中点的方案，如图18(A)所示，不包含在本实施方式中。
接下来对图19(B)的标记单元22B进行说明。图19(B)中，右图是从下基板12侧所视的标记单元22B的平面图，左图是标记单元22B的侧面图。标记单元22B除作为位置确定部2221B的凸部的个数是3个外，与所述图19(A)的标记单元22A相同。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。另外，对本实施方式的标记单元而言，因为在所述下基板的上表面和下表面上，在相对应处具有作为所述下基板被检测部的标记和所述位置确定部，进而使所述下基板被检测部能够被更精确地配置。
[实施方式17]
图20示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元23A是下基板在其下表面有位置确定部2321A的方案。
图20中，中间图是从下基板12侧所视的标记单元23A的平面图，右上图是从标记单元23A的XVII-XVII方向所视的截面图，左图是标记单元23A的侧面图。如图20所示，标记单元23A除了下基板12在其下表面的中央部有棱柱状凸部，所述凸部是位置确定部2321A以外，与实施方式1的标记单元1A相同。
标记单元23A与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在有与所述棱柱状的位置确定部2321A相对应的凹状的被设置部的被设置体上。该种情况时，标记单元23A例如将位置确定部2321A插入所述凹状的被设置部，从而能够设置在所述被设置体上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式18]
图21示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元24(24A，24B，24C，24D)是下基板12在其下表面有位置确定部2421(2421A，2421B，2421C，2421D)的方案。图21(A)和(B)示出的标记单元24A，24B是下基板12有凸状的位置确定部2421A，2421B的方案，图21(C)和(D)中的标记单元24C，24D是下基板12有凹状的位置确定部2421C，2421D的方案。
首先，对图21(A)示出的标记单元24A进行说明。在图21(A)中，右图是从下基板12侧所视的标记单元24A的平面图，中间图是标记单元24A的侧面图，左图是从标记单元24A的XVIII-XVIII方向所视的截面图。如图21(A)所示，标记单元24A除了下基板12有包围边缘部的凸部，所述凸部是位置确定部2421A以外，与所述实施方式1相同。标记单元24中，凸状的位置确定部2421A包围下基板12的边缘部，4个边的各中点位置有缺损。
标记单元24A与所述实施方式1A的标记单元1A同样地，例如能够设置在有与所述凸状的位置确定部2421A相对应的凹状的被设置部的被设置体上。该种情况时，标记单元24A例如将位置确定部2421A插入所述凹状的被设置部，从而能够设置在所述被设置体上。另外，标记单元24A例如能够设置在有与被所述凸状的位置确定部2421A包围的空间相对应的凸状的被设置部的被设置体上。该种情况时，标记单元24A例如将所述凸状的被设置部插入被位置确定部2421A包围的空间，从而能够设置在所述被设置体上。
接下来对图21(B)示出的标记单元24B进行说明。在图21(B)中，右图是从下基板12侧所视的标记单元24B的平面图，中间图是标记单元24B的侧面图，左图是从标记单元24B的XIX-XIX方向所视的截面图。如图21(B)所示，标记单元24B除了在下基板12的4个边的中点有三棱柱状的一对凸部，所述凸部是位置确定部2421B以外，与所述实施方式1相同。
标记单元24B与所述实施方式1的标记单元1A同样地，例如能够设置在有与所述凸状的位置确定部2421B相对应的凹状的被设置部的被设置体上。该种情况时，标记单元24B例如将所述位置确定部2421B插入所述凹状的被设置部，从而设置在所述被设置体上。
接下来对图21(C)示出的标记单元24C进行说明。在图21(C)中，右图是标记单元24C的平面图，左图是从标记单元24C的XX-XX方向所视的截面图。如图21(C)所示，标记单元24C除了下基板12在4个边的中点有凹部，所述凹部是位置确定部2421C以外，与所述图21(A)的标记单元24A相同。标记单元24C与所述实施方式1的标记单元1B同样地，例如能够设置的有凸状的被设置部的被设置体上。
接下来对图21(D)示出的标记单元24D进行说明。在图21(D)中，右图是标记单元24D的平面图，左图是从标记单元24C的XXI-XXI方向所视的截面图。如图21(D)所示，标记单元24D除了下基板12在4个边的中点有三棱柱状的一对凹部，所述凹部是位置确定部2421D以外，与所述图21(A)的标记单元24A相同。标记单元24D与所述实施方式1的标记单元1B同样地，例如能够设置在有凸状的被设置部的被设置体上。
本实施方式的标记单元中，所述位置确定部与作为从外部检测的对象的所述下基板被检测部设置在同一下基板上。如此，两者因为设置在同一下基板上，例如，像上述那样由于位置偏移而影响测定结果的所述下基板被检测部通过位置确定部，可以进行更精确地配置。
[实施方式19]
图22示出了本实施方式的标记单元的一例。本实施方式的标记单元25(25A，25B)是下基板12在其中央有作为凹状的位置确定部2521(2521A，2521B)的贯通孔的方案。
首先，对图22(A)示出的标记单元25A进行说明。在图22(A)中，左图是从标记单元25A的上方向所视的平面图，中上图是从XXIIa-XXIIa方向所视的所述左图的截面图，中下图是从XXIIb-XXIIb方向所视的所述左图的截面图，右图从标记单元25A的下方向所视的平面图。
标记单元25A与后述的变形例2同样地，是在下基板12之上层叠了上基板10的二层构造。标记单元25A与所述图13同样地，有下基板12的上表面露出的检测基准部122和配置于检测基准部122之间的标记40。本实施方式中，标记40与下基板12和上基板10为不同构件，配置于上基板10上。
标记单元25A中，下基板12在其中心有贯通孔，而且，上基板10在与下基板12的所述贯通孔相对应处有贯通孔103A。也就是说，标记单元25A在其中心，有贯通上基板10和下基板12的贯通孔，所述贯通孔形成位置确定部2521A。如此，位置确定部2521A与检测基准部122一起形成于下基板12上，从而能够相对于所述被设置体进行更加高精度的定位。
标记单元25A中，作为位置确定部2521A的所述贯通孔的位置，与上述相同，位于下基板12的中心。所谓下基板12的中心，例如是4个检测基准部122，将相对的2对检测基准部分别连接，其连接线相交的位置。位置确定部2521A的截面形状(所述贯通孔的形状)没有特殊限制，例如如图22(A)的左图和右图所示，是圆形的，作为具体的例子，可以举出正圆形，椭圆形等例子。
标记单元25A中，下基板12，例如如图22(A)的左图和中下图所示，所述贯通孔(位置确定部2521A)的周围，也可以有向上方向凸起的筒部123A。筒部123A的上表面，如图22(A)的左图和中下图所示，在上基板10侧露出。由此，下基板12的筒部123A的上表面露出，从而对被设置体的定位变得更加简便。上基板10侧露出的筒部123A的形状，例如是圆环状的。下基板12，例如是包含筒部123A和检测基准部122的一体成型体。在标记单元25A的截面中，下基板12上的筒部123A的上表面，优选例如与下基板12上的检测基准部122的上表面同等高度，或者低于该高度。
标记单元25A中，上基板10的表面，例如其中央部，也可以有粘贴具备二维码等贴纸的粘贴区域104。具体而言，上基板10的表面，例如，如图22(A)的左图和中下图所示，中央部有比周围低的凹部，该凹部露出的底面，为粘贴区域104。在上基板10上的所述凹部的深度没有特殊限制，例如，为了粘贴所述贴纸，可根据所述贴纸的厚度进行设定。上基板10的粘贴区域104上粘贴了所述贴纸时，在标记单元25A的截面上，下基板12上的筒部123A的上表面，例如优选与所述贴纸的上表面同等高度，或低于其高度。
标记单元25A，例如基于同样目的，在上基板10的上表面，检测基准部122之间也可以有粘贴标记40的凹部(粘贴领域)。如图22(A)的左图和中上图所示，在检测基准部122之间，上基板10有比周围低的凹部，该凹部用于放置标记40。另外，本发明中，标记单元上的标记方案，没有特殊限制，标记40如示例所示。
标记单元25A，例如将位置确定部2521A插入凸起状的被设置部，从而能够设置在所述被设置体上。作为所述被设置体的凸起状的被设置部，例如是所述被设置体的旋转轴等。另外，标记单元25A，例如放置到所述被设置体的被设置部上后，从上方向将棒插入位置确定部2521A，由此也能够固定在所述被设置体上。位置确定部2521A的截面形状和所述凸起状的被设置部的截面形状，例如优选相互对应。
接下来，对图22(B)示出的标记单元25B进行说明。在图22(B)中，左图是从标记单元25B的上方向所视的平面图，中上图是从X X III a-X X III a方向所视的左图的截面图，中下图是从X X III b-X X III b方向所视的左图的截面图，右图是从标记单元25B的下方向所视的平面图。
标记单元25B，除位置确定部2521B的截面形状根据多边形的贯通孔形成，所述贯通孔的周围有向上方凸起的多边形环状筒部123B以外，与标记单元25A相同。所述多边形没有特殊限制，可以是图22(B)所示的四边形，也可以是三角形，有四个边以上的多边形。所述四边形没有特殊限制，例如可以是正方形，长方形，菱形等。
本发明的标记单元，对所述各实施方式没有限定。以下，作为本发明的变形例，示出了所述下基板上的位置确定部以外的构成的示例。另外，本发明不限制于该示例。
[变形例1]
本发明的标记单元中，作为所述下基板被检测部，如上所述，可以列举是所述检测基准部和所述标记。所述检测基准部例如在用相机等检测机器检测所述标记时，成为待检测区域的记号。本发明标记单元中，所述检测基准部的数量及位置没有特别限制。所述各实施方式中的各图，是有4个所述检测基准部，所述检测基准部位于四个角落附近的示例。
本发明的标记单元，例如除了有所述下基板被检测部，也可以进一步有所述上基板被检测部。所述下基板被检测部是由所述下基板的上表面形成的、露出于所述层叠体的上表面侧的被检测部，与之相对，所述上基板被检测部是由所述上基板形成的、可以从所述层叠体的上表面侧检测的被检测部。所述上基板被检测部例如是标记。
本发明的标记单元例如可以作为所述下基板被检测部，具有所述检测基准部和所述标记，进一步，作为所述上基板被检测部，具有所述标记，也可以作为所述下基板被检测部，具有所述检测基准部和所述标记中的一个，进一步，作为所述上基板被检测部，具有所述标记。
所述下基板被检测部的标记和所述上基板被检测部的标记各自均没有特别限制，例如可举例如上所述的VMP标记(RAS标记)，二维图案代码等。所述二维图案代码可为AR标记，QR标记等。所述AR标记例如可举例ARToolKit，ARTag，CyberCode，ARTooIKitPlus等。本发明的标记单元中，所述标记的位置没有特别限制。所述各实施方式中的各图，是作为所述下基板被检测部具有所述检测基准部和所述标记，所述标记是VMP标记，并且设置在位于4个角落的检测基准部和检测基准部之间的示例。
本发明标记单元中，所述标记的形成方法没有特别限制。作为所述下基板被检测部的标记例如能够以以下方式形成。即，在本发明标记单元的所希望区域中，例如可通过在所述下基板的上表面形成谷型和山形的凹凸，从而使所述所希望区域成为所述标记。
作为所述上基板被检测部的标记例如能够以以下方式搭载。即，在本发明标记单元的所希望区域中，例如可通过在所述上基板的上表面侧形成柱状透镜等透镜结构，并在所述下基板的下表面侧形成条纹图案或点图案等图案，从而使所述所希望区域成为所述标记。
作为所述上基板被检测部的标记，具体地将以VMP标记举例说明。
所述标记包含具有多个透镜单元的透镜主体，所述多个透镜单元在平面方向中连续配置。将所述多个透镜单元的配置方向称为配置方向或宽度方向，将在平面方向中的与所述配置方向垂直的方向称为长度方向。
所述透镜主体中的所述透镜单元例如可举例柱面透镜。所述透镜主体例如是透光性构件。所述透光性构件没有特别限制，例如可举例树脂以及玻璃等。所述树脂，例如可举例聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)等丙烯酸类树脂、环烯烃聚合物(COP)、环烯烃共聚物(COC)等。
对所述透镜主体而言，一方表面侧具备具有集光功能的集光部，另一方表面侧上具有多个图案形成部。所述图案形成部例如是沿着所述透镜主体的所述长度方向延伸的线，在所述透镜主体的另一方表面侧，通过多个线条形成条纹图案，或通过多个点，形成点图案。所述多个图案形成部例如作为可光学检测的图像，被投影在所述透镜主体的上表面侧，并可光学检测。
所述图案形成部只要是可光学检测的即可，例如可举例着色膜。所述着色膜的颜色没有特别限制，例如为黑色。所述着色膜例如为涂膜，能够通过涂料形成。所述涂料没有特别限制，例如可为液体涂料，也可为粉末涂料。所述涂料例如可通过涂布和/或固化来形成所述涂膜。所述涂布方法例如可举例喷涂涂布、丝网印刷等。所述固化方法例如可举例所述液体涂料的干燥、所述涂料中的固化成分(例如，自由基聚合性化合物等)的固化、所述粉末涂料的烘烤等。
通过所述图案形成部形成的图案没有任何限制。在所述图案是例如所述条纹图案时，形成条纹图案的颜色浓度例如可相同，也可以浓淡不同。
将所述标记例如放置于白色物体上时，从所述标记的所述透镜主体的上表面射入的光中，到达所述图案形成部的光被所述图案形成部(例如，黑色着色膜)吸收，其余的光透过所述透镜主体，在所述物体的表面反射。因此，在所述透镜主体的上表面上，所述图案形成部的图像(例如，黑色的线)被投影到白色背景上。因此，在所述标记单元中，配置具有所述标记的所述上基板的所述居间基板起到反射板的作用，因此例如，在所述标记的图案形成部被形成为黑色时，优选位于所述标记下方的所述居间基板的上表面为白色。
图15示出了作为本实施方式的标记单元，具有所述上基板被检测部的标记的一例。图15(A)是标记单元17的上表面图，图15(B)是从XIV-XIV方向所视的截面图，图15(C)是标记单元17的上基板30的上表面图。标记单元17中，下基板12的上表面侧有作为所述下基板被检测部的检测基准部122，下表面有位置确定部1721，上基板30有成为所述透镜主体的区域，所述区域是所述上基板被检测部的标记31。本实施方式的标记单元，除代替所述下基板被检测部的标记，有所述上基板被检测部的标记以外，与图1(A)所示的所述实施方式1相同。另外，所述各实施方式的标记单元，除代替所述下基板被检测部的标记，有所述上基板被检测部的标记以外，也相同。
[变形例2]
本发明的标记单元，例如可以包含所述在下基板上层叠了所述上基板的层叠体(例如，二层结构)，也可以包含如上所述，进一步，有所述居间基板，在所述下基板上经由所述居间基板层叠所述上基板的层叠体(例如，三层结构)。
图14中，作为本实施方式的标记单元，示出了二层层叠构造的一个示例。图14(A)的标记单元16A是下基板12有凸状位置确定部1621A的方案；图14(B)的标记单元16B是下基板12有凹状位置确定部1621B的方案。本实施方式的标记单元除没有居间基板以外，与所述实施方式1相同。另外，所述各实施方式的标记单元除没有所述居间基板外，也相同。
在所述二层构造的层叠体的情况下，例如所述上基板有贯通孔，所述下基板的上表面与所述上基板的贯通孔相对应的区域，即通过所述贯通孔露出的上表面的区域，成为所述下基板被检测部。在所述三层构造的层叠体的情况下，例如，进一步，所述居间基板在与所述上基板的贯通孔相对应的地方也有贯通孔，通过所述上基板的贯通孔和所述居间基板的贯通孔露出的所述下基板的上表面区域，成为所述下基板被检测部。
所述下基板的上表面例如可以是平面的，也可以有向上方向突出的所述上表面侧凸部。这种情况下，所述下基板的所述上表面侧凸部被设置在与所述上基板的贯通孔和所述居间基板的贯通孔相对应的地方，所述层叠体中，所述上表面侧凸部成为插入所述各贯通孔的构造。并且，所述下基板的上表面侧凸部的上表面成为作为所述下基板被检测部的所述检测基准部。所述下基板的所述上表面侧凸部的上表面，例如可以是与所述上基板的上表面相平的状态(没有高度差的状态)，也可以是比所述上基板的上表面高(突出)的状态，也可以是比所述上基板的上表面低的状态。
所述下基板有成为所述检测基准部的所述上表面侧凸部时，所述下基板的上表面侧凸部与所述上基板的贯通孔及所述居间基板的贯通孔，优选前者形状与后者形状实质上为相同形状，并且，前者的平面面积与后者贯通孔的孔面积实质上相同。
所述下基板的所述检测基准部的形状例如可举例圆形、多边形等。所述圆形例如可为正圆形、椭圆形等，优选正圆形。所述多边形例如可为三角形、四边形等多边形，所述四边形例如可为正方形、长方形等。所述上基板和所述居间基板贯通孔的形状，也没有特别限制，例如可举例圆形，多边形等。
所述二层结构的情况下，所述下基板和所述上基板的颜色组合没有特别限制，例如，只要可以检测所述下基板被检测部和所述上基板被检测部(任意)即可。所述下基板和所述上基板的颜色，例如可举例以下组合。所述下基板例如其上表面为黑色，所述上基板例如为透明或白色。
所述三层结构的情况下，所述下基板和所述居间基板和所述上基板的颜色组合没有特别限制，例如，只要可以检测所述下基板被检测部和所述上基板被检测部(任意)即可。所述下基板和所述上基板的颜色例如与上述相同。所述居间基板的颜色，例如可根据所述上基板、所述下基板和所述标记适当设定。所述居间基板上表面的颜色，例如是与所述下基板被检测部和所述上基板板被检测部的颜色不同的颜色。并且，所述居间基板上表面的颜色与所述下基板被检测部的颜色和所述上基板被检测部的颜色，例如优选易产生对比差的组合。像这样，通过由所述居间基板产生对比差，例如能够进一步提高所述下基板被检测部和所述上基板被检测部的检测精度。
所述下基板、所述居间基板和所述上基板的颜色，例如可举例以下组合。所述下基板例如其上表面是黑色，所述居间基板例如其上表面是白色，所述上基板例如是透明的。所述居间基板例如也可称作对所述下基板被检测部和所述上基板被检测部的反射基板。
所述下基板、所述居间基板和所述上基板，例如分别是树脂基板。作为所述树脂基板的成型树脂，例如可举例聚碳酸酯(PC)、丙烯酸类树脂(例如，聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA))、环烯烃聚合物(COP)，环烯烃共聚物(COC)等。并且，在将所述树脂基板着色时，例如可将在树脂中添加了目标颜色的着色剂(例如，母料、干色料等)的所希望的着色树脂作为成型材料。
虽然上文参考实施方式说明了本发明，但是本发明不限于上述实施方式。对本发明的结构和细节而言，可在本发明的范围内作出本领域技术人员能够理解的各种改变。
本申请主张2017年4月19日提交的日本专利申请2017-082435和2017年7月31日提交的日本专利申请2017-148305为基础的优先权，其公开的所有内容纳入本文。
产业上利用可能性
如上所述，本发明标记单元因为有如上所述的位置确定部，同等条件下，能够简便地设置在机器人等被设置体上。因此，例如每次将新的标记单元设置在所述被设置体上时，测定所述标记单元的检测基准部和标记时，可以省略校准等步骤。
附图标记说明
1～9，13～19，21～25 标记单元
10，30 上基板
11 居间基板
12 下基板
20，31，40 标记
121，221，321，421，521，621，721，821，921，1321，1421，1521，1621，1721，1821，1921，2121，2221，2321，2421，2521 位置确定部
122 检测基准部

Claims (11)

1.一种标记单元，
含有上基板和下基板，
是在所述下基板上层叠了所述上基板的层叠体，其特征在于，
对所述下基板而言，
其上表面具有所述层叠体的上表面侧露出的下基板被检测部，其下表面具有位置确定部，
对所述被检测部而言，
能够从所述层叠体的上表面侧检测，
对所述位置确定部而言，
为相对于设置标记单元的被设置体中的设置所述标记单元的被设置部，确定位置的形状。
2.根据权利要求1所述的标记单元，其中
所述下基板被检测部至少包含标记和在所述标记的检测中作为基准的检测基准部中的一种。
3.根据权利要求1或2所述的标记单元，其中
进一步，
所述上基板具有能够从所述层叠体的上表面侧检测的上基板被检测部，
所述上基板被检测部是标记。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的标记单元，其中所述位置确定部是与所述被设置部的形状相对应的形状。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的标记单元，其中
所述被设置体的被设置部是凸部时，所述下基板的位置确定部是凹部，
所述被设置体的被设置部是凹部时，所述下基板的位置确定部是凸部。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的标记单元，其中所述下基板的位置确定部有2处以上。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的标记单元，其中所述下基板的位置确定部有1处。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的标记单元，其中
对所述下基板而言，
在其下表面上与所述下基板被检测部相对应处具有所述位置确定部。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的标记单元，其中
所述上基板具有贯通孔，
对所述下基板而言，
在其上表面上与所述上基板的贯通孔相对应处是所述检测基准部，
在其下表面上与所述检测基准部相对应处具有所述位置确定部。
10.根据权利要求9所述的标记单元，其中
对所述下基板而言，
在其上表面上与所述上基板的贯通孔相对应处有凸部，所述凸部的上表面是所述检测基准部。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的标记单元，其中
所述下基板被检测部包含标记，
对所述下基板而言，
在其下表面上与所述标记相对应处有所述位置确定部。
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