CN110483234A - 一种电子级八氟环戊烯的提纯方法 - Google Patents

一种电子级八氟环戊烯的提纯方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110483234A
CN110483234A CN201910809769.0A CN201910809769A CN110483234A CN 110483234 A CN110483234 A CN 110483234A CN 201910809769 A CN201910809769 A CN 201910809769A CN 110483234 A CN110483234 A CN 110483234A
Authority
CN
China
Prior art keywords
purification
parts
rectifying
octafluoro cyclopentene
adsorbent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201910809769.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110483234B (zh
Inventor
陈刚
张晓东
张广第
周井森
张学良
李军
张雪刚
夏添
张云峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Britech Co Ltd
Original Assignee
Zhejiang Britech Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang Britech Co Ltd filed Critical Zhejiang Britech Co Ltd
Priority to CN201910809769.0A priority Critical patent/CN110483234B/zh
Publication of CN110483234A publication Critical patent/CN110483234A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110483234B publication Critical patent/CN110483234B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
    • B01D53/228—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion characterised by specific membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/26—Drying gases or vapours
    • B01D53/261—Drying gases or vapours by adsorption
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/06—Organic material
    • B01D71/76—Macromolecular material not specifically provided for in a single one of groups B01D71/08 - B01D71/74
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
    • B01J20/20—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising free carbon; comprising carbon obtained by carbonising processes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
    • C07C17/38—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
    • C07C17/38—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives
    • C07C17/383—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives by distillation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
    • C07C17/38—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives
    • C07C17/389—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives by adsorption on solids
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2601/00—Systems containing only non-condensed rings
    • C07C2601/06—Systems containing only non-condensed rings with a five-membered ring
    • C07C2601/10—Systems containing only non-condensed rings with a five-membered ring the ring being unsaturated

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

本发明涉及精细化工领域，具体关于一种电子级八氟环戊烯的提纯方法；包含有精馏提纯、低温吸附提纯和加压吸附提纯等步骤；本发明的使用气相法从易得到的原料环戊烯得到最终的产物八氟环戊烯，本发明采用低温精馏技术，同时结合低温吸附技术和加压吸附技术对八氟环戊烯进行纯化，并且采用经过改性的椰子壳炭作为介孔低温吸附剂，再经过膜分离进一步分离提纯，使八氟环戊烯产品中含水分杂质体积浓度≤5ppm，氧气杂质体积浓度≤3.5ppm并且使传统工艺难以分离的氮气体积浓度≤1ppm，有效地提高产品的纯度并实现八氟环戊烯产品的纯度在99.999%以上，满足半导体与微电子工业中对于电子特气的要求。

Description

一种电子级八氟环戊烯的提纯方法
技术领域
本发明涉及精细化工领域，尤其是一种电子级八氟环戊烯的提纯方法。
背景技术
半导体材料和/或衬底的气相蚀刻是利用蚀刻气体(如二氟化氙)完成的。具体地，在蚀刻气体蚀刻中，蚀刻气体与诸如硅和钼的固体材料反应，以使得材料被转化为气相并且被去除。
聚合物自组装技术作为一种可大规模生产具有高渗透性和孔径可控等性能的新一代膜的关键技术，例如，将嵌段共聚物(BCPs)自组装成可控尺寸的纳米结构，被用于使用自组装非溶剂诱导相分离(SNIPS)创建等孔超滤(UF)膜。
CN102503765A涉及四氟化碳提取方法和提取装置。该方法包括：A、将含有杂质的四氟化碳进行精馏；B、对步骤A精馏出的四氟化碳和轻组分进行萃取，排除轻组分，回收四氟化碳；对步骤A精馏出的四氟化碳和重组分进行精馏，得到四氟化碳；C、对步骤B精馏得到的四氟化碳进行收集；步骤A和步骤B中精馏的温度均为-50℃～-130℃，压力均为1mPa-5mPa。该装置包括萃取精馏设备；萃取回收设备；精馏设备；收集设备。本发明由于采用了萃取吸附回收方法提高了收率，同时采用了萃取精馏方法提高了精馏温度(由-180℃精馏变为-80℃精馏)能够降低能源消耗。
CN1839108A公开了一种制造六氟乙烷的方法，包括将含有各具有两个碳原子的氯化合物的粗制六氟乙烷蒸馏以便将六氟乙烷作为顶流从蒸馏塔顶部馏出并将含有氯化合物的六氟乙烷混合物作为底流从蒸馏塔底部分离的步骤，和在氟化催化剂的存在下、在300至500℃的温度下将底流与氟化氢在气相中接触以便将氯化合物氟化的步骤。该方法提供了可主要在半导体器件生产过程中用作清洁气体的六氟乙烷。
CN109761742A公开了一种去除六氟乙烷粗品中含氯化合物杂质的方法，包括加氢脱氯反应和精馏操作两个步骤。本发明提供的方法，能够有效去除六氟乙烷粗品中含氯化合物杂质，将六氟乙烷的纯度提高至99.9999％以上。
八氟环戊烯作为下一代蚀刻气体和最具吸引力的电子器件原材料之一，被认为具有竞争优势。电子级的八氟环戊烯纯度要求提高至99.999％以上，目前相关技术很少被报道，现有技术采用精馏，吸附剂吸附均不能达到99.999％的提纯效果。
发明内容
为了解决上述问题，本发明提供了一种电子级八氟环戊烯的提纯方法。
一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其具体方案如下：
步骤一、精馏提纯，所述的精馏提纯分为一次精馏和二次精馏；所述的一次精馏在第一精馏塔内进行，在47-77℃，0.2-0.8MPa 条件下进行一次精馏；所述的二次精馏在第二精馏塔内进行，在42-62℃，0.1-0.4MPa 条件下进行二次精馏；
步骤二、低温吸附提纯，所述的低温吸附提纯在0-10℃下进行，其特征在于使用一种有序介孔低温吸附剂；
步骤三、加压吸附提纯，将经过低温吸附后的八氟环戊烯进行增压到0.8-2.4 MPa，然后通入气体纯化器中进行加压吸附，加压分吸附所用的吸附剂为4A分子筛和13X分子筛按照质量比1-5:1配制而成。
步骤四、膜分离提纯，将加压吸附提纯后的气体，经过使用离子液共聚物选择性膜的膜分离过滤器进一步纯化，温度0-10℃下进行，压力0.1-0.7MPa。
所述的所述第一精馏塔内液位控制在65%-75%，放空流量为0.5-5Nm3/h。
所述的所述第二精馏塔的放空流量为0.3-3Nm3/h。
所述的经过低温吸附后的八氟环戊烯通过膜压机进行增压。
所述的一种介孔低温吸附剂按照以下方案制备：
按照质量份数，将10-18份的椰子壳炭，加入0.05-0.5mol/L 盐酸溶液100-150份，控温60-80℃，搅拌1-5h后将混合物过滤，将滤饼干燥后研磨成粉末，然后在氮气流下，加热到150-250℃，反应4-8h，完成反应后加入到反应釜中，加入1.5-5份的羟丙甲基纤维素、0.1-0.5份的硫辛酸钠和50-200份的水，搅拌20-30min混合均匀，然后将混合溶液在快速搅拌下加入到含2%-7％的氯化钙的硼酸饱和溶液中，加入完毕后搅拌5-10min，然后静置24-36h，过滤出固体颗粒，干燥后置于氮气气氛炉中550-700℃下煅烧1-5h制得一种介孔低温吸附剂。
所述的一种离子液共聚物选择性膜按照以下方案制备：
按重量份，将1-10份甲醇钠溶解于500-1000份甲醇中，同时加入3-7份1,3-二乙烯基-2-咪唑啉酮和30-50份甲基丙烯磺酸甜菜碱，10-20份丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟异丙酯，0.1-1份1-乙烯基-3-甲基咪唑碘盐；搅拌下使体系在回流中反应2-20h，得到成膜单体，再加入2-5份过氧化苯甲酰，1-4份明胶，混合均匀，充入微孔膜模具的孔隙中，然后将微孔膜模具夹持于两片片材之间，若两片片材之间存在的气泡，则排除；在70-100℃使微孔膜内的膜液发生聚合反应，反应时间5-15小时，反应结束后过滤，烘干，剥离两片片材，就得到离子液共聚物选择性膜。
离子液共聚物选择性膜具有相互连接的结节状特征，这些结构相互连接，形成相互连接的网络，使膜的渗透率大幅提高，有利于提高八氟环戊烯的纯化效率。
本发明的使用气相法从易得到的原料环戊烯得到最终的产物八氟环戊烯，本发明采用低温精馏技术，同时结合低温吸附技术和加压吸附技术对八氟环戊烯进行纯化，并且采用经过改性的椰子壳炭作为介孔低温吸附剂，再经过离子液共聚物选择性膜进一步分离提纯，使八氟环戊烯产品中含水分杂质体积浓度≤5ppm，氧气杂质体积浓度≤3.5ppm并且使传统工艺难以分离的氮气体积浓度≤1ppm，有效地提高产品的纯度并实现八氟丙烷产品的纯度在99.9999%以上，满足半导体与微电子工业中对于电子特气的要求。
附图说明
图1为实施例3做出的八氟环戊烯的傅立叶红外光谱图。
具体实施方式
下面通过具体实施例对该发明作进一步说明：
实验采用GB/T 34091-2017气相色谱法测定方法，对采用不同方案生产的电子级八氟环戊烯中的杂质含量以及产品的体积分数进行测试。
实施例1
一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其具体方案如下：
步骤一、精馏提纯，所述的精馏提纯分为一次精馏和二次精馏；所述的一次精馏在第一精馏塔内进行，在47℃，0.2MPa 条件下进行一次精馏；所述的二次精馏在第二精馏塔内进行，在42℃，0.1MPa 条件下进行二次精馏；
步骤二、低温吸附提纯，所述的低温吸附提纯在0℃下进行，其特征在于使用一种有序介孔低温吸附剂；
步骤三、加压吸附提纯，将经过低温吸附后的八氟环戊烯进行增压到0.8 MPa，然后通入气体纯化器中进行加压吸附，加压分吸附所用的吸附剂为4A分子筛和13X分子筛按照质量比1:1配制而成。
步骤四、膜分离提纯，将加压吸附提纯后的气体，经过使用离子液共聚物选择性膜的膜分离过滤器进一步纯化，温度3℃下进行，压力0.5MPa。
所述的所述第一精馏塔内液位控制在65%，放空流量为0.5Nm3/h。
所述的所述第二精馏塔的放空流量为0.3Nm3/h。
所述的经过低温吸附后的八氟环戊烯通过膜压机进行增压。
所述的一种介孔低温吸附剂按照以下方案制备：
按照质量份数，将10份的椰子壳炭，加入0.05mol/L 盐酸溶液100份，控温60℃，搅拌1h后将混合物过滤，将滤饼干燥后研磨成粉末，然后在氮气流下，加热到150℃，反应4h，完成反应后加入到反应釜中，加入1.5份的羟丙甲基纤维素、0.1份的硫辛酸钠和50份的水，搅拌20min混合均匀，然后将混合溶液在快速搅拌下加入到含2%的氯化钙的硼酸饱和溶液中，加入完毕后搅拌5min，然后静置24h，过滤出固体颗粒，干燥后置于氮气气氛炉中550℃下煅烧1h制得一种介孔低温吸附剂。
所述的一种离子液共聚物选择性膜按照以下方案制备：
按重量份，将5份甲醇钠溶解于70份甲醇中，同时加入4份1,3-二乙烯基-2-咪唑啉酮和37份甲基丙烯磺酸甜菜碱，15份丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟异丙酯，0.3份1-乙烯基-3-甲基咪唑碘盐；搅拌下使体系在回流中反应11h，得到成膜单体，再加入3份过氧化苯甲酰，2份明胶，混合均匀，充入微孔膜模具的孔隙中，然后将微孔膜模具夹持于两片片材之间，若两片片材之间存在的气泡，则排除；在75℃使微孔膜内的膜液发生聚合反应，反应时间9小时，反应结束后过滤，烘干，剥离两片片材，就得到离子液共聚物选择性膜。
经过气相分析，本方案制备的电子级八氟环戊烯的体积份数为99.9991%，水分含量为4.1ppm，氧气含量为3.3ppm，氮气含量为0.7ppm。
实施例2
一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其具体方案如下：
步骤一、精馏提纯，所述的精馏提纯分为一次精馏和二次精馏；所述的一次精馏在第一精馏塔内进行，在57℃，0.5MPa 条件下进行一次精馏；所述的二次精馏在第二精馏塔内进行，在52℃，0.3MPa 条件下进行二次精馏；
步骤二、低温吸附提纯，所述的低温吸附提纯在5℃下进行，其特征在于使用一种有序介孔低温吸附剂；
步骤三、加压吸附提纯，将经过低温吸附后的八氟环戊烯进行增压到1.6 MPa，然后通入气体纯化器中进行加压吸附，加压分吸附所用的吸附剂为4A分子筛和13X分子筛按照质量比3:1配制而成。
步骤四、膜分离提纯，将加压吸附提纯后的气体，经过使用离子液共聚物选择性膜的膜分离过滤器进一步纯化，温度0℃下进行，压力0.1MPa。
所述的所述第一精馏塔内液位控制在70%，放空流量为2.5Nm3/h。
所述的所述第二精馏塔的放空流量为1.5Nm3/h。
所述的经过低温吸附后的八氟环戊烯通过膜压机进行增压。
所述的一种介孔低温吸附剂按照以下方案制备：
按照质量份数，将15份的椰子壳炭，加入0.25mol/L 盐酸溶液130份，控温70℃，搅拌3h后将混合物过滤，将滤饼干燥后研磨成粉末，然后在氮气流下，加热到180℃，反应6h，完成反应后加入到反应釜中，加入3.5份的羟丙甲基纤维素、0.3份的硫辛酸钠和130份的水，搅拌25min混合均匀，然后将混合溶液在快速搅拌下加入到含5％的氯化钙的硼酸饱和溶液中，加入完毕后搅拌8min，然后静置32h，过滤出固体颗粒，干燥后置于氮气气氛炉中600℃下煅烧3h制得一种介孔低温吸附剂。
所述的一种离子液共聚物选择性膜按照以下方案制备：
按重量份，将1份甲醇钠溶解于500份甲醇中，同时加入3份1,3-二乙烯基-2-咪唑啉酮和30份甲基丙烯磺酸甜菜碱，10份丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟异丙酯，0.1份1-乙烯基-3-甲基咪唑碘盐；搅拌下使体系在回流中反应2h，得到成膜单体，再加入2份过氧化苯甲酰，1份明胶，混合均匀，充入微孔膜模具的孔隙中，然后将微孔膜模具夹持于两片片材之间，若两片片材之间存在的气泡，则排除；在70℃使微孔膜内的膜液发生聚合反应，反应时间5小时，反应结束后过滤，烘干，剥离两片片材，就得到离子液共聚物选择性膜。
经过气相分析，本方案制备的电子级八氟环戊烯的体积份数为99.9993%，水分含量为3.7ppm，氧气含量为2.8ppm，氮气含量为0.6ppm。
实施例3
一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其具体方案如下：
步骤一、精馏提纯，所述的精馏提纯分为一次精馏和二次精馏；所述的一次精馏在第一精馏塔内进行，在77℃，0.8MPa 条件下进行一次精馏；所述的二次精馏在第二精馏塔内进行，在62℃，0.4MPa 条件下进行二次精馏；
步骤二、低温吸附提纯，所述的低温吸附提纯在10℃下进行，其特征在于使用一种有序介孔低温吸附剂；
步骤三、加压吸附提纯，将经过低温吸附后的八氟环戊烯进行增压到2.4 MPa，然后通入气体纯化器中进行加压吸附，加压分吸附所用的吸附剂为4A分子筛和13X分子筛按照质量比5:1配制而成。
步骤四、膜分离提纯，将加压吸附提纯后的气体，经过使用离子液共聚物选择性膜的膜分离过滤器进一步纯化，温度10℃下进行，压力0.7MPa。
所述的所述第一精馏塔内液位控制在75%，放空流量为5Nm3/h。
所述的所述第二精馏塔的放空流量为3Nm3/h。
所述的经过低温吸附后的八氟环戊烯通过膜压机进行增压。
所述的一种介孔低温吸附剂按照以下方案制备：
按照质量份数，将18份的椰子壳炭，加入0.5mol/L 盐酸溶液150份，控温80℃，搅拌5h后将混合物过滤，将滤饼干燥后研磨成粉末，然后在氮气流下，加热到250℃，反应8h，完成反应后加入到反应釜中，加入5份的羟丙甲基纤维素、0.5份的硫辛酸钠和200份的水，搅拌30min混合均匀，然后将混合溶液在快速搅拌下加入到含7％的氯化钙的硼酸饱和溶液中，加入完毕后搅拌10min，然后静置36h，过滤出固体颗粒，干燥后置于氮气气氛炉中700℃下煅烧5h制得一种介孔低温吸附剂。
所述的一种离子液共聚物选择性膜按照以下方案制备：
按重量份，将1份甲醇钠溶解于1000份甲醇中，同时加入3份1,3-二乙烯基-2-咪唑啉酮和30份甲基丙烯磺酸甜菜碱，20份丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟异丙酯，1份1-乙烯基-3-甲基咪唑碘盐；搅拌下使体系在回流中反应20h，得到成膜单体，再加入2份过氧化苯甲酰，4份明胶，混合均匀，充入微孔膜模具的孔隙中，然后将微孔膜模具夹持于两片片材之间，若两片片材之间存在的气泡，则排除；在70℃使微孔膜内的膜液发生聚合反应，反应时间15小时，反应结束后过滤，烘干，剥离两片片材，就得到离子液共聚物选择性膜。
经过气相分析，本方案制备的电子级八氟环戊烯的体积份数为99.9994%，水分含量为3.2ppm，氧气含量为2.1ppm，氮气含量为0.4ppm。
实施例4
一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其具体方案如下：
步骤一、精馏提纯，所述的精馏提纯分为一次精馏和二次精馏；所述的一次精馏在第一精馏塔内进行，在57℃，0.5MPa 条件下进行一次精馏；所述的二次精馏在第二精馏塔内进行，在52℃，0.3MPa 条件下进行二次精馏；
步骤二、低温吸附提纯，所述的低温吸附提纯在5℃下进行，其特征在于使用一种有序介孔低温吸附剂；
步骤三、加压吸附提纯，将经过低温吸附后的八氟环戊烯进行增压到1.6 MPa，然后通入气体纯化器中进行加压吸附，加压分吸附所用的吸附剂为4A分子筛和13X分子筛按照质量比3:1配制而成。
步骤四、膜分离提纯，将加压吸附提纯后的气体，经过使用离子液共聚物选择性膜的膜分离过滤器进一步纯化，温度0℃下进行，压力0.7MPa。
所述的所述第一精馏塔内液位控制在75%，放空流量为3Nm3/h。
所述的所述第二精馏塔的放空流量为0.8Nm3/h。
所述的经过低温吸附后的八氟环戊烯通过膜压机进行增压。
所述的一种介孔低温吸附剂按照以下方案制备：
按照质量份数，将18份的椰子壳炭，加入0.5mol/L 盐酸溶液150份，控温80℃，搅拌5h后将混合物过滤，将滤饼干燥后研磨成粉末，然后在氮气流下，加热到250℃，反应8h，完成反应后加入到反应釜中，加入5份的羟丙甲基纤维素、0.5份的硫辛酸钠和200份的水，搅拌30min混合均匀，然后将混合溶液在快速搅拌下加入到含7％的氯化钙的硼酸饱和溶液中，加入完毕后搅拌10min，然后静置36h，过滤出固体颗粒，干燥后置于氮气气氛炉中700℃下煅烧5h制得一种介孔低温吸附剂。
所述的一种离子液共聚物选择性膜按照以下方案制备：
按重量份，将10份甲醇钠溶解于1000份甲醇中，同时加入7份1,3-二乙烯基-2-咪唑啉酮和50份甲基丙烯磺酸甜菜碱，20份丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟异丙酯，1份1-乙烯基-3-甲基咪唑碘盐；搅拌下使体系在回流中反应20h，得到成膜单体，再加入5份过氧化苯甲酰，4份明胶，混合均匀，充入微孔膜模具的孔隙中，然后将微孔膜模具夹持于两片片材之间，若两片片材之间存在的气泡，则排除；在100℃使微孔膜内的膜液发生聚合反应，反应时间5小时，反应结束后过滤，烘干，剥离两片片材，就得到离子液共聚物选择性膜。
经过气相分析，本方案制备的电子级八氟环戊烯的体积份数为99.99992%，水分含量为0.3ppm，氧气含量为0.09ppm，氮气含量为0.07ppm。
对比例1
不加离子液共聚物选择性膜，其它同实施例1。
经过气相分析，本方案制备的电子级八氟环戊烯的体积份数为99.9788%，水分含量为20.1ppm，氧气含量为10.8ppm，氮气含量为4.6ppm。
对比例2
不加1,3-二乙烯基-2-咪唑啉酮，其它同实施例1。
经过气相分析，本方案制备的电子级八氟环戊烯的体积份数为99.9986%，水分含量为4.4ppm，氧气含量为6.4ppm，氮气含量为3.7ppm。
对比例3
不加甲基丙烯磺酸甜菜碱，其它同实施例1。
经过气相分析，本方案制备的电子级八氟环戊烯的体积份数为99.9987%，水分含量为4.2ppm，氧气含量为5.7ppm，氮气含量为2.9ppm。
对比例4
不加丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟异丙酯，其它同实施例1。
经过气相分析，本方案制备的电子级八氟环戊烯的体积份数为99.9917%，水分含量为6.7ppm，氧气含量为3.5ppm，氮气含量为0.9ppm。
对比例5
不加1-乙烯基-3-甲基咪唑碘盐，其它同实施例1。
经过气相分析，本方案制备的电子级八氟环戊烯的体积份数为99.9922%，水分含量为8.6ppm，氧气含量为7.5ppm，氮气含量为2.3ppm。

Claims (6)

1.一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其具体方案如下：
步骤一、精馏提纯，所述的精馏提纯分为一次精馏和二次精馏；所述的一次精馏在第一精馏塔内进行，在47-77℃，0.2-0.8MPa 条件下进行一次精馏；所述的二次精馏在第二精馏塔内进行，在42-62℃，0.1-0.4MPa 条件下进行二次精馏；
步骤二、低温吸附提纯，所述的低温吸附提纯在0-10℃下进行，其特征在于使用一种有序介孔低温吸附剂；
步骤三、加压吸附提纯，将经过低温吸附后的八氟环戊烯进行增压到0.8-2.4 MPa，然后通入气体纯化器中进行加压吸附，加压分吸附所用的吸附剂为4A分子筛和13X分子筛按照质量比1-5:1配制而成；
步骤四、膜分离提纯，将加压吸附提纯后的气体，经过使用离子液共聚物选择性膜的膜分离过滤器进一步纯化，温度0-10℃下进行，压力0.1-0.7MPa。
2.根据权利要求1所述的一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其特征在于：所述的所述第一精馏塔内液位控制在65%-75%，放空流量为0.5-5Nm3/h。
3.根据权利要求1所述的一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其特征在于：所述的所述第二精馏塔的放空流量为0.3-3Nm3/h。
4.根据权利要求1所述的一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其特征在于：所述的经过低温吸附后的八氟环戊烯通过膜压机进行增压。
5.根据权利要求1所述的一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其特征在于：所述的一种介孔低温吸附剂按照以下方案制备：
按照质量份数，将10-18份的椰子壳炭，加入0.05-0.5mol/L 盐酸溶液100-150份，控温60-80℃，搅拌1-5h后将混合物过滤，将滤饼干燥后研磨成粉末，然后在氮气流下，加热到150-250℃，反应4-8h，完成反应后加入到反应釜中，加入1.5-5份的羟丙甲基纤维素、0.1-0.5份的硫辛酸钠和50-200份的水，搅拌20-30min混合均匀，然后将混合溶液在快速搅拌下加入到含2%-7％的氯化钙的硼酸饱和溶液中，加入完毕后搅拌5-10min，然后静置24-36h，过滤出固体颗粒，干燥后置于氮气气氛炉中550-700℃下煅烧1-5h制得一种介孔低温吸附剂。
6.根据权利要求1所述的一种电子级八氟环戊烯的提纯方法，其特征在于：所述的一种离子液共聚物选择性膜按照以下方案制备：
按重量份，将1-10份甲醇钠溶解于500-1000份甲醇中，同时加入3-7份1,3-二乙烯基-2-咪唑啉酮和30-50份甲基丙烯磺酸甜菜碱，10-20份丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟异丙酯，0.1-1份1-乙烯基-3-甲基咪唑碘盐；搅拌下使体系在回流中反应2-20h，得到成膜单体，再加入2-5份过氧化苯甲酰，1-4份明胶，混合均匀，充入微孔膜模具的孔隙中，然后将微孔膜模具夹持于两片片材之间，若两片片材之间存在的气泡，则排除；在70-100℃使微孔膜内的膜液发生聚合反应，反应时间5-15小时，反应结束后过滤，烘干，剥离两片片材，就得到离子液共聚物选择性膜。
CN201910809769.0A 2019-08-29 2019-08-29 一种电子级八氟环戊烯的提纯方法 Active CN110483234B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910809769.0A CN110483234B (zh) 2019-08-29 2019-08-29 一种电子级八氟环戊烯的提纯方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910809769.0A CN110483234B (zh) 2019-08-29 2019-08-29 一种电子级八氟环戊烯的提纯方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110483234A true CN110483234A (zh) 2019-11-22
CN110483234B CN110483234B (zh) 2021-12-07

Family

ID=68555139

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910809769.0A Active CN110483234B (zh) 2019-08-29 2019-08-29 一种电子级八氟环戊烯的提纯方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110483234B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111978145A (zh) * 2020-08-27 2020-11-24 上海化工研究院有限公司 一种低沸点全氟代烃的纯化装置及应用
CN115138213A (zh) * 2022-06-15 2022-10-04 万华化学（宁波）有限公司 一种渗透汽化膜的制备方法、有机溶剂中水及光气的脱除方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000229894A (ja) * 1999-02-15 2000-08-22 Agency Of Ind Science & Technol フッ素化不飽和炭化水素の精製方法
CN103664501A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 佛山市华特气体有限公司 一种六氟乙烷的纯化方法
CN103664502A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 佛山市华特气体有限公司 一种八氟丙烷纯化方法
CN105358233A (zh) * 2013-07-12 2016-02-24 阿科玛股份有限公司 使用膜分离有机氟化合物的方法
CN107032949A (zh) * 2016-02-04 2017-08-11 浙江蓝天环保高科技股份有限公司 一种六氟丁二烯的纯化方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000229894A (ja) * 1999-02-15 2000-08-22 Agency Of Ind Science & Technol フッ素化不飽和炭化水素の精製方法
CN103664501A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 佛山市华特气体有限公司 一种六氟乙烷的纯化方法
CN103664502A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 佛山市华特气体有限公司 一种八氟丙烷纯化方法
CN105358233A (zh) * 2013-07-12 2016-02-24 阿科玛股份有限公司 使用膜分离有机氟化合物的方法
CN107032949A (zh) * 2016-02-04 2017-08-11 浙江蓝天环保高科技股份有限公司 一种六氟丁二烯的纯化方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111978145A (zh) * 2020-08-27 2020-11-24 上海化工研究院有限公司 一种低沸点全氟代烃的纯化装置及应用
CN111978145B (zh) * 2020-08-27 2023-03-28 上海化工研究院有限公司 一种低沸点全氟代烃的纯化装置及应用
CN115138213A (zh) * 2022-06-15 2022-10-04 万华化学（宁波）有限公司 一种渗透汽化膜的制备方法、有机溶剂中水及光气的脱除方法
CN115138213B (zh) * 2022-06-15 2024-02-02 万华化学（宁波）有限公司 一种渗透汽化膜的制备方法、有机溶剂中水及光气的脱除方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN110483234B (zh) 2021-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102502498B (zh) 一种采用变压吸附技术分离回收氯化氢氧化混合气中氯气和氧气的方法
CN103709124A (zh) 一种生产环氧氯丙烷的方法
CN110483234A (zh) 一种电子级八氟环戊烯的提纯方法
CN105418368A (zh) 一种生产高纯乙醇的工艺及装置
CN113429329A (zh) 一种半导体级n-甲基吡咯烷酮的纯化方法
CN104828827B (zh) 提纯三氯氢硅的方法
CN110590495A (zh) 一种六氟丁二烯的制备方法
CN113735683B (zh) 一种电子级二氟甲烷的纯化装置及其纯化方法
CN113562700A (zh) 一种三氟化氯的制备方法
CN111960921A (zh) 一种从双氧水法环氧氯丙烷工艺水层中回收氯丙烯与甲醇的方法及装置
CN102399140A (zh) 一种超纯电子级醋酸的生产方法
CN111530472B (zh) 一种钛基非均相胺化复合催化剂及其在生产液晶面板用n-甲基吡咯烷酮中的应用
CN114315888A (zh) 一种基于格氏法合成有机化合物的环保型方法
CN112661115B (zh) 一种萤石法生产无水HF精制的FTrPSA深度脱水除杂的分离与净化方法
CN102863023B (zh) 一种电子级砷烷的合成和提纯方法
CN108164390B (zh) 一种全氟环戊烯的工业化生产方法
WO2014201916A1 (zh) 碳酰氟的纯化方法
CN115305486A (zh) 一种制备高纯氟气的装置和方法
CN102701920B (zh) 一种乙烯基异丁基醚的提纯方法
CN109970509A (zh) 一种工业级六氟乙烷的提纯方法
CN107663144A (zh) 一种去除六氟丙烯中甲醇的方法
CN110152498A (zh) 一种用于去除氟化氢中水分的复合膜的制备方法
CN206624653U (zh) 一种制备电子级二氯二氢硅的装置
CN114789045B (zh) 一种用于电子特气分离纯化的有机多孔材料及其制备方法
CN109012631A (zh) 一种螯合树脂及其有效去除电镀废水中的重金属的应用

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant