CN103664501A - 一种六氟乙烷的纯化方法 - Google Patents
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Abstract
Description
物质 | 化学式 | 沸点/℃ |
氮气 | N2 | -195.8 |
氧气 | O2 | -183 |
氢气 | H2 | -252.87 |
一氧化碳 | CO | -191.5 |
二氧化碳 | CO2 | -78.5 |
四氟化碳 | CF4 | -128.1 |
六氟乙烷 | C2F6 | -78 |
八氟丙烷 | C3F8 | -36.7 |
氯五氟乙烷 | CClF2CF3 | -39 |
实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 实施例4 | 实施例5 | 实施例6 | 参考例 | |
N2体积浓度/ ppm | 0.74 | 0.48 | 1.2 | 0.81 | 0.58 | 0.47 | 1.3 |
O2体积浓度/ ppm | 0.3 | 0.3 | 0.38 | 0.5 | 0.35 | 0.16 | 0.6 |
CF4体积浓度/ ppm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.4 |
CH4体积浓度/ ppm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.3 |
CO2体积浓度/ ppm | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.3 | 0.2 | 0.2 | 1.1 |
H2O体积浓度/ ppm | 0.7 | 0.5 | 0.3 | 0.4 | 0.5 | 0.4 | 1.5 |
氟碳化合物杂质体积浓度/ ppm | 0.9 | 0.8 | 0.9 | 0.7 | 0.8 | 0.8 | 0.6 |
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