CN112266318A - 一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法 - Google Patents
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- CN112266318A CN112266318A CN202011313236.2A CN202011313236A CN112266318A CN 112266318 A CN112266318 A CN 112266318A CN 202011313236 A CN202011313236 A CN 202011313236A CN 112266318 A CN112266318 A CN 112266318A
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- LGPPATCNSOSOQH-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,3,4,4-hexafluorobuta-1,3-diene Chemical compound FC(F)=C(F)C(F)=C(F)F LGPPATCNSOSOQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 77
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 55
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 48
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims abstract description 41
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 29
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000012264 purified product Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 3
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 claims description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 4
- 238000003795 desorption Methods 0.000 abstract description 3
- 238000011068 loading method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 42
- 239000000047 product Substances 0.000 description 13
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 8
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 7
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- QVHWOZCZUNPZPW-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,3,4,4-hexafluorocyclobutene Chemical compound FC1=C(F)C(F)(F)C1(F)F QVHWOZCZUNPZPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 description 4
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 3
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 3
- -1 halocarbon hydrocarbon Chemical class 0.000 description 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004014 SiF4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005431 greenhouse gas Substances 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
- C07C17/38—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
- B01J20/0203—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising compounds of metals not provided for in B01J20/04
- B01J20/0262—Compounds of O, S, Se, Te
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
- B01J20/04—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising compounds of alkali metals, alkaline earth metals or magnesium
- B01J20/041—Oxides or hydroxides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
- B01J20/10—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising silica or silicate
- B01J20/103—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising silica or silicate comprising silica
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
- B01J20/10—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising silica or silicate
- B01J20/16—Alumino-silicates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
- C07C17/38—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives
- C07C17/383—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives by distillation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
- C07C17/38—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives
- C07C17/389—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives by adsorption on solids
Abstract
本发明提供了一种六氟‑1,3‑丁二烯分级提纯的方法，包括以下步骤：将六氟‑1,3‑丁二烯原料依次进行水洗、冷凝、一级吸附、二级吸附、一级精馏和二级精馏，得到六氟‑1,3‑丁二烯提纯产品；所述一级吸附所使用的吸附剂包括硅胶和负载在硅胶上的氢氧化锂和氧化硼；所述二级吸附所使用的吸附剂为A型沸石和/或Y型沸石。本分级提纯工艺可以采用价格适宜的吸附剂材料，无需处理吸附剂制备过程中产生的废弃物，并且再生方便，可大规模工业化应用，价格便宜；采用氢氧化锂和氧化硼负载，酸性组分和水分脱出深度更高，对六氟‑1,3‑丁二烯的同分异构体脱除效果好。
Description
技术领域
本发明属于有机物分离提纯技术领域，尤其涉及一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法。
背景技术
电子气体中含氟电子气体主要用作清洗和蚀刻气，含氟电子气体主要品种有CH3F、C2F6、C3F8、C5F8、C4F6、CF4、c-C4F8等。目前广泛使用最多的CF4、C2F6、c-C4F8等全氟烷烃(PFCs)在《京都议定书》中被认定为温室气体，随着人们对环境要求的不断提高，传统含氟电子气体的使用将会受到极大的限制。因此新的环保型含氟电子气体六氟-1,3-丁二烯凭借其各方面的优异性能成为传统含氟电子气体的最佳替代品之一；六氟-1,3-丁二烯在等离子体介质蚀刻中表现出高的选择性和深宽比，在等离子体区，六氟-1,3-丁二烯分解为多种活性游离基、亚稳态粒子和原子，大量生成的活性含氟原子与硅材料表面的Si原子反应生成挥发性的SiF4气体，再经真空系统排出。此外，在HFBD蚀刻气系统中，活性游离基CFx(x＝1～3)的密度低于其他全氟蚀刻气系统，且以蚀刻活性较低的CF·为主，因此可实现近乎垂直的蚀刻加工，并具有优异的各向异性。此外，由于六氟-1,3-丁二烯的环境性能优良，用它取代在氧化膜蚀刻工艺中常用的C3F8和c-C4F8蚀刻气，在排气中可分别降低温室气体全氟化合物(PFCs)体积分数80％和82％。有专家指出，六氟-1,3-丁二烯是当前唯一能满足蚀刻条件要求而减少PFCs排放的蚀刻气。
CN106349008A公开了一种提纯六氟-1,3-丁二烯的方法为粗原料经过萃取分离出溶剂，然后气体经过分子筛脱水后进入自制吸附剂的吸收塔脱出含氟杂质之后在进行精馏提纯得到六氟-1,3-丁二烯产品；此提纯工艺流程较长，操作复杂；此外自制高效吸附剂使用石墨烯价格昂贵，不适用与大规模工业化生产。
发明内容
本发明的目的在于提供一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法，本发明中的方法可以采用价格适宜的吸附剂材料，无需处理吸附剂制备过程中产生的废弃物，并且再生方便，可大规模工业化应用。
本发明提供一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法，包括以下步骤：
将六氟-1,3-丁二烯原料依次进行水洗、冷凝、一级吸附、二级吸附、一级精馏和二级精馏，得到六氟-1,3-丁二烯提纯产品；
所述一级吸附所使用的吸附剂包括硅胶和负载在硅胶上的氢氧化锂和氧化硼；
所述二级吸附所使用的吸附剂为A型沸石和/或Y型沸石。
优选的，所述六氟-1,3-丁二烯原料进入水洗塔，进行水洗；
所述六氟-1,3-丁二烯进入水洗塔的流量为2～10kg/h，水的流量为(1～3)×10m3/h；所述水洗塔釜液温度为20～30℃。
优选的，所述水洗后的物料进入冷凝器，进行冷凝；
所述六氟-1,3-丁二烯在冷凝器的出口温度为5～10℃。
优选的，所述冷凝后的物料进入一级吸附塔，进行一级吸附；
所述一级吸附的温度为8～15℃，所述一级吸附的塔内压力为1.5～2.0bar。
优选的，所述硅胶的比表面积为300～500m2/g；
所述氢氧化锂和氧化硼的质量比为1:(5～8)；
所述氢氧化锂和氧化硼在硅胶上的负载量为20～200mg/g。
优选的，所述二级吸附所使用的吸附剂为粒径1～10mm、且具有孔结构的球形颗粒。
优选的，所述二级吸附所使用的吸附剂孔径为0.3～1.3nm，比表面积为500～1000m2/g。
优选的，所述二级吸附的温度为8～15℃，吸附柱压力为1.5～2.0bar。
优选的，经过所述二级吸附后的物料进入一级精馏塔，进行一级精馏；
所述一级精馏塔的塔顶压力为1.0～2.0bar，塔底压力为1.0～2.0barg，塔顶温度为10～20℃，塔底温度为15～25℃。
优选的，经过所述一级精馏的物料进入二级精馏塔，进行二级精馏；
所述二级精馏的塔顶压力为1.0～1.5bar，塔底压力为1.0～1.5barg，塔顶温度为8～15℃，塔底温度为10～20℃。
本发明提供了一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法，包括以下步骤：将六氟-1,3-丁二烯原料依次进行水洗、冷凝、一级吸附、二级吸附、一级精馏和二级精馏，得到六氟-1,3-丁二烯提纯产品；所述一级吸附所使用的吸附剂包括硅胶和负载在硅胶上的氢氧化锂和氧化硼；所述二级吸附所使用的吸附剂为A型沸石和/或Y型沸石。本分级提纯工艺首先脱出酸性及可溶性组分降低气体中酸性组分及可溶组分含量，降低气体中酸性组分HF对设备及管道阀门等的腐蚀，使得后续吸附和精馏塔材料选择不受限制，另外吸附剂制备简单，没有复杂的吸附剂制备流程，节省时间及成本，可以采用价格适宜的吸附剂材料，无需处理吸附剂制备过程中产生的废弃物，并且再生方便，可大规模工业化应用，价格便宜；采用氢氧化锂和氧化硼负载，酸性组分和水分脱出深度更高，对六氟-1,3-丁二烯的同分异构体脱除效果好。
具体实施方式
本发明提供了一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法，包括以下步骤：
将六氟-1,3-丁二烯原料依次进行水洗、冷凝、一级吸附、二级吸附、一级精馏和二级精馏，得到六氟-1,3-丁二烯提纯产品；
所述一级吸附所使用的吸附剂包括硅胶和负载在硅胶上的氢氧化锂和氧化硼；
所述二级吸附所使用的吸附剂为A型沸石和/或Y型沸石。
本发明首先对待提纯的六氟-1,3-丁二烯原料进行水洗，由于六氟-1,3-丁二烯中酸性组分HF易溶于水，使用水洗可以方便的将HF组分及可溶性组分去除，避免酸性组分进入后续设备对设备造成腐蚀。
在本发明中，所述水洗优选在水洗塔内进行，所述六氟-1,3-丁二烯原料经增压泵压力增加至2barg，通过质量流量计控制流量2～10kg/h，进入水洗塔内，进入所述水洗塔内的流量优选为3～9kg/h，更优选为4～8kg/h，最优选哪位5～7kg/h。
在本发明中，所述水洗塔的釜液温度优选为20～30℃，更优选为25℃；所述水洗中水的流量优选为(1～3)×10m3/h，更优选为(1～2)×10m3/h.
脱除酸性组分的气体会从水洗塔携带部分水分，需要将水分进行脱除，本发明优选使用冷凝的方式首先脱除大部分水分，剩余的水分在一级吸附中进行脱除。
在本发明中，所述冷凝优选在冷凝器内进行，所述六氟-1,3-丁二烯在冷凝器的出口温度优选为5～10℃，更优选为6～9℃，最优选为7～8℃。
本发明优选在一级吸附塔内进行所述一级吸附，在本发明中，所述一级吸附塔内设置有一级吸附剂，所述一级吸附剂为负载有氢氧化锂和氧化硼的硅胶；所述硅胶上氢氧化锂和氧化硼的负载量优选为20～200mg/g，更优选为50～180mg/g，最优选为80～150mg/g；所述氢氧化锂与氧化硼的质量比优选为1：(5～8)，更优选为1：(6～7)；所述硅胶的比表面积优选为300～500m2/g，更优选为350～450m2/g，最优选为400m2/g，本发明对所述硅胶的规格没有特殊的限制，优选的，本发明所使用的硅胶的规格为38～212μm。
在本发明中，所述一级吸附的温度为8～15℃，所述一级吸附的塔内压力为1.5～2.0bar，优选为1.6～1.9bar。
经过一级吸附剂吸附脱除其中的酸性组分，并深度脱除剩余水分。脱除酸性组分和水分的气体进入二级吸附塔，进行二级吸附，进一步脱除水分，酸性组分、六氟-1,3-丁二烯的同分异构体六氟环丁烯及与六氟-1,3-丁二烯挥发性接近的卤碳杂质组分。因为六氟环丁烯挥发性与六氟-1,3-丁二烯几乎一样，采用精馏的方式很难脱除，因此，本发明采用沸石类吸附剂进行吸附脱除。
在本发明中，所述二级吸附塔内设置有二级吸附剂，所述二级吸附剂优选为沸石类吸附剂，更优选为A型沸石和/或Y型沸石。
在本发明中，所述二级吸附剂为球形颗粒，粒径为1～10mm，所述二级吸附剂具有微孔结构，微孔的孔径优选为0.3～1.3nm，所述二级吸附剂的比表面积优选为500～1000m2/g，更优选为600～900m2/g，最优选为700～800m2/g。
所述二级吸附的温度为8～15℃，吸附柱压力为1.5～2.0bar，优选为1.6～1.8bar。
剩余(氢、氧、氮、氩、一氧化碳)和卤碳烃类重组分杂质使用吸附的方法脱除困难，本发明优选采用两级精馏的方式进行脱除。
在本发明中，所述一级精馏和二级精馏分别在一级精馏塔和二级精馏塔内进行。
所述一级精馏塔的塔顶压力为1.0～2.0bar，优选为1.3～1.8bar，更优选为1.4～1.5bar；塔底压力为1.0～2.0barg，优选为1.3～1.8barg，更优选为1.5～1.6barg；塔顶温度为10～20℃，塔底温度为15～25℃。
在一级精馏塔的塔顶除去轻组分(包括氢气、氧气、氮气、一氧化碳等)，通过质量流量计控制器控制排出流量为0.5～1kg/h，进入二级精馏塔进行二级精馏。
在本发明中，所述二级精馏的塔顶压力为1.0～1.5bar，优选为1.2～1.3bar；塔底压力为1.0～1.5barg，优选为1.2～1.4barg；塔顶温度为8～15℃，塔底温度为10～20℃。
在二级精馏塔的塔底脱出重组分卤碳烃类杂质，通过质量流量计控制器控制塔底排除流量在0.5-1.5kg/h；
在二级精馏塔的塔顶得到4N纯度的六氟-1,3-丁二烯产品，通过质量流量控制器控制产品流量1～8.5kg/h。
本发明按照脱除酸性组分HF及可溶性组分到脱除水分、脱除同分异构体六氟环丁烯和部分卤碳烃类、脱除轻组分和卤碳烃类重组分的顺序进行，考虑了杂质组分脱除的难易程度和对后续设备腐蚀及负荷的影响。
本发明提供了一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法，包括以下步骤：将六氟-1,3-丁二烯原料依次进行水洗、冷凝、一级吸附、二级吸附、一级精馏和二级精馏，得到六氟-1,3-丁二烯提纯产品；所述一级吸附所使用的吸附剂包括硅胶和负载在硅胶上的氢氧化锂和氧化硼；所述二级吸附所使用的吸附剂为A型沸石和/或Y型沸石。本分级提纯工艺首先脱出酸性及可溶性组分降低气体中酸性组分及可溶组分含量，降低气体中酸性组分HF对设备及管道阀门等的腐蚀，使得后续吸附和精馏塔材料选择不受限制，另外吸附剂制备简单，没有复杂的吸附剂制备流程，节省时间及成本，可以采用价格适宜的吸附剂材料，无需处理吸附剂制备过程中产生的废弃物，并且再生方便，可大规模工业化应用，价格便宜；采用氢氧化锂和氧化硼负载，酸性组分和水分脱出深度更高，对六氟-1,3-丁二烯的同分异构体脱除效果好。
为了进一步说明本发明，以下结合实施例对本发明提供的一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法进行详细描述，但不能将其理解为对本发明保护范围的限定。
实施例1
六氟-1,3-丁二烯原料经增压泵压力增加至2barg，通过质量流量计控制流量8kg/h；进入水洗塔经过塔，控制水洗塔釜液温度30℃，水流量10m3/h。
经水洗后的六氟-1,3-丁二烯气体进入冷凝器，控制六氟-1,3-丁二烯出口温度为10℃，六氟-1,3-丁二烯气体中将大部分水汽冷凝分离，然后气体进入一级吸附塔，控制吸附温度15℃，塔压1.9barg，进一步将气体中的水分脱除。
经过一级吸附塔脱水后六氟-1,3-丁二烯气体进入二级吸附塔，控制分子筛吸附温度15℃，吸附柱压力1.8bar，脱除与六氟-1,3-丁二烯挥发度接近的卤碳烃类，并进一步脱除水分。
经过二级吸附后的六氟-1,3-丁二烯气体进入两级精馏塔进行精馏，气体首先进入一级精馏塔控制塔顶压力1.5barg，塔底压力1.6barg，塔顶温度15℃，塔底温度20℃，在塔顶除去轻组分(包括氢气、氧气、氮气、一氧化碳等)，通过质量流量计控制器控制排出流量为0.5kg/h；
然后塔底物料进入二级精馏塔控制塔顶压力1.3barg，塔底压力1.4barg，塔顶温度12℃，塔底温度18℃，在塔底脱出重组分卤碳烃类杂质，通过质量流量计控制器7控制塔底排除流量在0.5kg/h；在精馏塔顶得到4N合格产品，通过质量流量控制器5控制产品流量7kg/h。
实施例1得到的产品质量如表1所示。
实施例2
六氟-1,3-丁二烯原料经增压泵压力增加至2barg，通过质量流量计控制流量6kg/h；进入水洗塔经过塔，控制水洗塔釜液温度25℃，水流量20m3/h。
经水洗后的六氟-1,3-丁二烯气体进入冷凝器，控制六氟-1,3-丁二烯出口温度为8℃，六氟-1,3-丁二烯气体中将大部分水汽冷凝分离，然后气体进入一级吸附塔，控制吸附温度12℃，塔压1.8barg，进一步将气体中的水分脱除。
经过一级吸附塔脱水后六氟-1,3-丁二烯气体进入二级吸附塔，控制分子筛吸附温度12℃，吸附柱压力1.6bar，脱除与六氟-1,3-丁二烯挥发度接近的卤碳烃类，并进一步脱除水分。
经过二级吸附后的六氟-1,3-丁二烯气体进入两级精馏塔进行精馏，气体首先进入一级精馏塔控制塔顶压力1.4barg，塔底压力1.5barg，塔顶温度12℃，塔底温度18℃，在塔顶除去轻组分(包括氢气、氧气、氮气、一氧化碳等)，通过质量流量计控制器控制排出流量为0.6kg/h；
然后塔底物料进入二级精馏塔控制塔顶压力1.2barg，塔底压力1.3barg，塔顶温度10℃，塔底温度15℃，在塔底脱出重组分卤碳烃类杂质，通过质量流量计控制器控制塔底排除流量在0.6kg/h；在精馏塔顶得到4N合格产品，通过质量流量控制器控制产品流量4.8kg/h。
实施例2得到的产品质量如表1所示。
实施例3
六氟-1,3-丁二烯原料经增压泵压力增加至2barg，通过质量流量计控制流量6kg/h；进入水洗塔经过塔，控制水洗塔釜液温度20℃，水流量20m3/h。
经水洗后的六氟-1,3-丁二烯气体进入冷凝器，控制六氟-1,3-丁二烯出口温度为7℃，六氟-1,3-丁二烯气体中将大部分水汽冷凝分离，然后气体进入一级吸附塔，控制吸附温度8℃，塔压1.6barg，进一步将气体中的水分脱除。
经过一级吸附塔脱水后六氟-1,3-丁二烯气体进入二级吸附塔，控制分子筛吸附温度9℃，吸附柱压力1.6bar，脱除与六氟-1,3-丁二烯挥发度接近的卤碳烃类，并进一步脱除水分。
经过二级吸附后的六氟-1,3-丁二烯气体进入两级精馏塔进行精馏，气体首先进入一级精馏塔控制塔顶压力1.4barg，塔底压力1.5barg，塔顶温度10℃，塔底温度15℃，在塔顶除去轻组分(包括氢气、氧气、氮气、一氧化碳等)，通过质量流量计控制器控制排出流量为0.8kg/h；
然后塔底物料进入二级精馏塔控制塔顶压力1.2barg，塔底压力1.3barg，塔顶温度9℃，塔底温度12℃，在塔底脱出重组分卤碳烃类杂质，通过质量流量计控制器控制塔底排除流量在1kg/h；在精馏塔顶得到4N合格产品，通过质量流量控制器控制产品流量4.2kg/h。
实施例3得到的产品质量如表1所示。
表1本发明实施例中六氟-1,3-丁二烯产品的指标
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法，包括以下步骤：
将六氟-1,3-丁二烯原料依次进行水洗、冷凝、一级吸附、二级吸附、一级精馏和二级精馏，得到六氟-1,3-丁二烯提纯产品；
所述一级吸附所使用的吸附剂包括硅胶和负载在硅胶上的氢氧化锂和氧化硼；
所述二级吸附所使用的吸附剂为A型沸石和/或Y型沸石。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述六氟-1,3-丁二烯原料进入水洗塔，进行水洗；
所述六氟-1,3-丁二烯进入水洗塔的流量为2～10kg/h，水的流量为(1～3)×10m3/h；所述水洗塔釜液温度为20～30℃。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述水洗后的物料进入冷凝器，进行冷凝；
所述六氟-1,3-丁二烯在冷凝器的出口温度为5～10℃。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述冷凝后的物料进入一级吸附塔，进行一级吸附；
所述一级吸附的温度为8～15℃，所述一级吸附的塔内压力为1.5～2.0bar。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述硅胶的比表面积为300～500m2/g；
所述氢氧化锂和氧化硼的质量比为1:(5～8)；
所述氢氧化锂和氧化硼在硅胶上的负载量为20～200mg/g。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述二级吸附所使用的吸附剂为粒径1～10mm、且具有孔结构的球形颗粒。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述二级吸附所使用的吸附剂孔径为0.3～1.3nm，比表面积为500～1000m2/g。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述二级吸附的温度为8～15℃，吸附柱压力为1.5～2.0bar。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，经过所述二级吸附后的物料进入一级精馏塔，进行一级精馏；
所述一级精馏塔的塔顶压力为1.0～2.0bar，塔底压力为1.0～2.0barg，塔顶温度为10～20℃，塔底温度为15～25℃。
10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，经过所述一级精馏的物料进入二级精馏塔，进行二级精馏；
所述二级精馏的塔顶压力为1.0～1.5bar，塔底压力为1.0～1.5barg，塔顶温度为8～15℃，塔底温度为10～20℃。
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| CN (1) | CN112266318A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113257671A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-08-13 | 浙江陶特容器科技股份有限公司 | 一种利用高纯电子级六氟丁二烯的半导体器件蚀刻方法 |
| CN115160105A (zh) * | 2022-07-08 | 2022-10-11 | 苏州金宏气体股份有限公司 | 一种利用涡流技术提纯六氟-1,3-丁二烯的方法和装置 |
| CN115945180A (zh) * | 2023-02-28 | 2023-04-11 | 天津绿菱气体有限公司 | 一种精制六氟-1,3-丁二烯的吸附剂及其制备方法与应用 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100273326A1 (en) * | 2005-11-30 | 2010-10-28 | Masahiro Nakamura | Method for purifying unsaturated fluorocarbon compound, method for forming fluorocarbon film, and method for producing semiconductor device |
| CN107032949A (zh) * | 2016-02-04 | 2017-08-11 | 浙江蓝天环保高科技股份有限公司 | 一种六氟丁二烯的纯化方法 |
| CN108623432A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-10-09 | 宇极（廊坊）新材料有限公司 | 一种采用吸附-低温精馏法制备高纯六氟-1,3-丁二烯的工艺 |
| CN109180424A (zh) * | 2017-12-29 | 2019-01-11 | 中国船舶重工集团公司第七八研究所 | 一种六氟丁二烯的纯化方法及纯化装置 |
| CN111138240A (zh) * | 2019-12-28 | 2020-05-12 | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 | 一种六氟丁二烯的除水装置及除水方法 |
| CN111285753A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-16 | 天津绿菱气体有限公司 | 一种六氟-1，3-丁二烯异构化重排控制与提纯方法 |
| WO2020164912A1 (en) * | 2019-02-11 | 2020-08-20 | Solvay Sa | A process for the purification of fluorinated olefins |
-
2020
- 2020-11-20 CN CN202011313236.2A patent/CN112266318A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100273326A1 (en) * | 2005-11-30 | 2010-10-28 | Masahiro Nakamura | Method for purifying unsaturated fluorocarbon compound, method for forming fluorocarbon film, and method for producing semiconductor device |
| CN107032949A (zh) * | 2016-02-04 | 2017-08-11 | 浙江蓝天环保高科技股份有限公司 | 一种六氟丁二烯的纯化方法 |
| CN109180424A (zh) * | 2017-12-29 | 2019-01-11 | 中国船舶重工集团公司第七八研究所 | 一种六氟丁二烯的纯化方法及纯化装置 |
| CN108623432A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-10-09 | 宇极（廊坊）新材料有限公司 | 一种采用吸附-低温精馏法制备高纯六氟-1,3-丁二烯的工艺 |
| WO2020164912A1 (en) * | 2019-02-11 | 2020-08-20 | Solvay Sa | A process for the purification of fluorinated olefins |
| CN111138240A (zh) * | 2019-12-28 | 2020-05-12 | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 | 一种六氟丁二烯的除水装置及除水方法 |
| CN111285753A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-16 | 天津绿菱气体有限公司 | 一种六氟-1，3-丁二烯异构化重排控制与提纯方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 日本《公害防止技术和法规》编委会主编: "《公害防止技术 大气篇》", 化学工业出版社 * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113257671A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-08-13 | 浙江陶特容器科技股份有限公司 | 一种利用高纯电子级六氟丁二烯的半导体器件蚀刻方法 |
| CN115160105A (zh) * | 2022-07-08 | 2022-10-11 | 苏州金宏气体股份有限公司 | 一种利用涡流技术提纯六氟-1,3-丁二烯的方法和装置 |
| CN115945180A (zh) * | 2023-02-28 | 2023-04-11 | 天津绿菱气体有限公司 | 一种精制六氟-1,3-丁二烯的吸附剂及其制备方法与应用 |
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