CN110476204B - 隔音结构体、以及吸音面板及调音面板 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于提供一种在宽的频带显现高隔音性能，并且能够抑制视觉辨认贯穿孔的隔音结构体、以及利用了隔音结构体的吸音面板及调音面板。该隔音结构体具有：板部件，具有沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔；及吸音体，与板部件的一个主面相接而配置，贯穿孔的平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm，将贯穿孔的平均开口直径设为Φ(μm)，且将平均开口率设为σ时，由A＝σ×Φ²表示的参数A为92以下。

Description

隔音结构体、以及吸音面板及调音面板

技术领域

本发明涉及一种隔音结构体、以及利用隔音结构体的吸音面板及调音面板。

背景技术

一般的噪声大多存在于宽频带的频率内，低频声音感知为压力，由于耳朵的结构对中频带(1000Hz～4000Hz左右)的灵敏度良好，因此中频带感知较大，高频声音感知为刺耳。因此，对于宽频带的噪声，需要采取措施。

例如，在风噪声等中还有如白噪声那样从低频区域到高频区域具有声压的噪声，需要对宽频带噪声采取措施。尤其，在各种设备(影印机等办公设备、吸尘器或空气净化器等家电、汽车及电车等)内的噪声措施中设备的大小受到限制，因此要求能够以小空间进行隔音的隔音结构体。

以往，作为针对宽频带频率噪声的一般的隔音材料，使用了聚氨酯和玻璃棉等。然而，在将聚氨酯和玻璃棉等用作隔音材料的情况下，为了增加吸收率需要体积，因此在设备内大小受到限制时存在无法得到充分的隔音性能的问题。并且，存在材料并不耐于环境而是导致材料劣化的问题。而且，由于是纤维状，因此导致因纤维的尘埃而污染环境，存在无法在洁净室内或具有精密设备的环境、并且污染成为问题的生产场所等中使用，对导管风扇等产生影响等问题。

相对于此，在专利文献1中记载有吸音结构，其具备：非通气性气密面状体，从面罩体内沿声场侧隔离而配置；通气性通气电阻体，具有比气密面状体更靠声场侧配置的流动的阻力；及微穿孔面状体，比通气电阻体更靠声场侧配置的多个微穿孔，并记载有通过组合通气性多孔质吸音材料、气密膜及微穿孔板，能够在频率宽的频带形成吸收率高的吸音结构。

并且，专利文献2中记载有一种吸音装饰板，其通过在划分成平面状的吸音基材的侧面附着装饰材料而成，其中，在装饰材料上形成有多个微细孔。并且，记载有由此能够稳定地确保一定的吸音性能，并且能够表现出各种各样的质感、外观。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-044796号公报

专利文献2：日本特开平07-324400号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

然而，根据本发明人等的研究，得知仅通过组合形成有多个贯穿孔的板部件和吸音材料不足以在宽频带得到高的隔音性能。

并且，形成于板部件的贯穿孔的开口直径大时，会发现贯穿孔。因此，存在如下问题，即实际上在壁上、车辆顶棚及地板等使用时会发现贯穿孔，从而会较大地妨碍设计性及质感的问题。

本发明的目的在于解决上述以往技术的问题点，并在宽的频带显现高隔音性能，并且目的在于提供一种能够抑制视觉辨认贯穿孔的隔音结构体、以及利用隔音结构体的吸音面板及调音面板。

用于解决技术课题的手段

本发明人等为了实现上述目的而进行了深入研究的结果，发现通过如下能够解决上述课题，并完成了本发明，即一种隔音结构体，其具有：板部件，具有沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔；及吸音体，与板部件的一个主面相接而配置，贯穿孔的平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm，将贯穿孔的平均开口直径设为Φ(μm)，且将平均开口率设为σ时，由A＝σ×Φ²表示的参数A为92以下。

即，发现了能够通过以下构成而实现上述目的。

[1]一种隔音结构体，其具有：

板部件，具有沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔；及

吸音体，与板部件的一个主面相接而配置，

贯穿孔的平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm，

将贯穿孔的平均开口直径设为Φ(μm)，且将平均开口率设为σ时，由A＝σ×Φ²表示的参数A为92以下。

[2]根据[1]所述的隔音结构体，其中，

板部件为具有多个贯穿孔的板状部件。

[3]根据[1]所述的隔音结构体，其中，

板部件为纤维状部件。

[4]根据[1]至[3]中任一项所述的隔音结构体，其中，

参数A为3.2以上且92以下。

[5]根据[1]至[4]中任一项所述的隔音结构体，其中，

在吸音体的与板部件相反的一侧具有壁部件，

吸音体与壁部件以至少一部分相接的状态配置。

[6]根据[1]至[4]中任一项所述的隔音结构体，其具有壁部件，

板部件与壁部件的距离小于35cm。

[7]根据[6]所述的隔音结构体，其中，

吸音体配置于板部件与壁部件之间。

[8]根据[1]至[7]中任一项所述的隔音结构体，其具有壁部件，

将作为隔音对象的声音的频率波长设为λ时，在与壁部件距离λ/4的位置存在板部件及吸音体中的至少一者。

[9]根据[5]至[8]中任一项所述的隔音结构体，其中，

将作为隔音对象的声音的频率波长设为λ时，在与壁部件距离λ/4的位置存在板部件。

[10]根据[5]至[9]中任一项所述的隔音结构体，其中，

板部件、吸音体及壁部件形成为一体化的单元结构。

[11]根据[10]所述的隔音结构体，其中，

在吸音体的表面中，不与壁部件相接的表面中的至少一个面与板部件相接。

[12]根据[10]或[11]所述的隔音结构体，其中，

最表面中一个面由板部件构成，与板部件侧的面对置的面由壁部件构成。

[13]根据[11]至[12]中任一项所述的隔音结构体，其中，

相对于作为隔音对象的噪声源，吸音体配置于最表面。

[14]根据[1]至[13]中任一项所述的隔音结构体，其具有2个以上的板部件，

在吸音体的2个以上的面配置有板部件。

[15]根据[1]至[14]中任一项所述的隔音结构体，其中，

板部件与吸音体交替层叠。

[16]根据[1]至[15]中任一项所述的隔音结构体，其中，

多个贯穿孔无规则地排列。

[17]根据[1]至[16]中任一项所述的隔音结构体，其中，

贯穿孔的平均开口直径为0.1μm以上且50μm以下。

[18]根据[1]至[17]中任一项所述的隔音结构体，其中，

至少一部分的贯穿孔的形状为在贯穿孔的内部成为最大直径的形状。

[19]根据[1]至[18]中任一项所述的隔音结构体，其中，

板部件的形成材料为金属材料。

[20]根据[1]至[19]中任一项所述的隔音结构体，其中，

板部件包含对臭氧具有耐久性的材料。

[21]根据[1]、[2]、[4]至[20]中任一项所述的隔音结构体，其中，

板部件包含铝或铝合金。

[22]根据[1]至[21]中任一项所述的隔音结构体，其中，

在板部件与吸音体之间配置有具有通气性的中间部件。

[23]根据[22]所述的隔音结构体，其中，

中间部件为网状部件或无纺布部件。

[24]根据[22]或[23]所述的隔音结构体，其中，

板部件为具有多个贯穿孔的板状部件，且还配置有中间部件。

[25]根据[22]至[24]中任一项所述的隔音结构体，其中，

板部件与中间部件均由阻燃性原材料形成。

[26]根据[22]至[24]中任一项所述的隔音结构体，其中，

与吸音体相比，板部件与中间部件均在阻燃性、耐热性、隔热性、对于光的耐久性、臭氧耐久性、耐水性及耐湿性中的一个以上的特性方面优异。

[27]根据[22]至[26]中任一项所述的隔音结构体，其中，

经由中间部件而板部件与吸音体相接。

[28]一种吸音面板，其具有[1]至[27]中任一项所述的隔音结构体。

[29]一种调音面板，其具有[1]至[28]中任一项所述的隔音结构体。

发明效果

根据本发明，能够提供一种在宽的频带显现高隔音性能，并且能够抑制视觉辨认贯穿孔的隔音结构体、以及利用隔音结构体的吸音面板及调音面板。

附图说明

图1为概念性表示本发明的隔音结构体的一例的剖视图。

图2为图1所示的隔音结构体的板部件的主视图。

图3为图2的剖视图。

图4为表示距离与眼睛的分辨率的关系的图表。

图5为表示平均开口直径与最佳空间频率的关系的图表。

图6]为表示平均开口直径与VTF的关系的图表。

图7为表示空间频率与VTF的关系的图表。

图8为概念性表示本发明的隔音结构体的另一例的剖视图。

图9为概念性表示本发明的隔音结构体的另一例的剖视图。

图10为概念性表示本发明的隔音结构体的另一例的剖视图。

图11为概念性表示本发明的隔音结构体的另一例的剖视图。

图12为概念性表示本发明的隔音结构体的另一例的剖视图。

图13为概念性表示本发明的隔音结构体的另一例的剖视图。

图14为概念性表示本发明的隔音结构体的另一例的剖视图。

图15为概念性表示本发明的隔音结构体的另一例的剖视图。

图16为概念性表示本发明的隔音结构体的另一例的剖视图。

图17为用于说明板部件的优选的制造方法的一例的示意性剖视图。

图18为用于说明板部件的优选的制造方法的一例的示意性剖视图。

图19为用于说明板部件的优选的制造方法的一例的示意性剖视图。

图20为用于说明板部件的优选的制造方法的一例的示意性剖视图。

图21为用于说明板部件的优选的制造方法的一例的示意性剖视图。

图22为表示平均开口率与吸收率的关系的图表。

图23为表示平均开口直径与最大吸收率的关系的图表。

图24为表示平均开口直径与最佳开口率的关系的图表。

图25为表示频率与粘性层厚度的关系的图表。

图26为表示平均开口直径与最佳开口率的关系的图表。

图27为表示平均开口直径与最佳开口率的关系的图表。

图28为表示平均开口直径与最佳开口率的关系的图表。

图29为表示平均开口直径与下限开口率的关系的图表。

图30为表示平均开口直径与下限开口率的关系的图表。

图31为表示平均开口直径与下限开口率的关系的图表。

图32为表示平均开口率与吸收率的关系的图表。

图33为表示平均开口直径与上限开口率的关系的图表。

图34为频率与吸收率的关系的图表。

图35为用于说明测量条件的图。

图36为表示频率与吸收率的关系的图表。

图37为表示频率与吸收率的关系的图表。

图38为表示频率与吸收率的关系的图表。

图39为表示频率与吸音率的关系的图表。

图40为表示频率与吸音率的关系的图表。

图41为表示频率与吸音率的关系的图表。

图42为表示频率与吸收率的关系的图表。

图43为表示频率与吸收率的关系的图表。

图44为表示频率与吸音率的关系的图表。

图45为表示频率与吸音率的关系的图表。

图46为表示频率与吸音率的关系的图表。

图47为表示频率与吸音率的关系的图表。

图48为表示频率与吸音率的关系的图表。

图49为表示频率与吸音率的关系的图表。

图50为表示频率与吸音率的关系的图表。

图51为表示频率与吸音率的关系的图表。

图52为表示频率与吸音率的关系的图表。

图53为表示频率与吸音率的关系的图表。

图54为用于说明视觉辨认性的测定方法的示意图。

图55为拍摄到测定了视觉辨认性的结果的图。

图56为拍摄到测定了视觉辨认性的结果的图。

图57为表示吸收率的图表。

图58为进行了模拟的隔音结构体的模型的示意图。

图59为表示吸音率的图表。

图60为进行了模拟的隔音结构体的模型的示意图。

图61为表示频率与吸音率的关系的图表。

图62为表示吸收率的图表。

具体实施方式

以下，对本发明进行详细说明。

以下所记载的构成要件的说明根据本发明的代表性实施方式而进行，但本发明并不限定于这种实施方式。

另外，本说明书中使用“～”表示的数值范围是指将记载在“～”的前后的数值作为下限值及上限值而包含的范围。

[隔音结构体]

本发明的隔音结构体，其具有：

板部件，具有沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔；及

吸音体，与板部件的一个主面相接而配置，

贯穿孔的平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm，

将贯穿孔的平均开口直径设为Φ(μm)，且将平均开口率设为σ时，由A＝σ×Φ²表示的参数A为92以下。

利用附图对本发明的隔音结构体的结构进行说明。

图1为表示本发明的隔音结构体的优选的实施方式的一例的示意性主视图。并且，图2为隔音结构体中所使用的板部件的示意性主视图，图3为图2的剖视图。

如图1～图3所示，隔音结构体10具有：板部件12，具有沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔14；及吸音体20，与板部件12的一个主面(最大表面)相接而配置。

这种隔音结构体10使用于影印机、送风机、空调设备、排气扇、泵类、发电机、导管、以及涂布机、旋转机、输送机等发出声音的各种种类的制造设备等工业设备、汽车、电车、航空器等运输用设备、冰箱、洗衣机、烘干机、电视、复印机、微波炉、游戏机、空调、风扇、PC、吸尘器、空气净化器、换气扇等一般家庭用设备等，且在各种设备中适当配置于从噪声源产生的声音所透过的位置。

图1～图3所示的板部件12为板状部件，并形成有沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔。

形成于板部件12的多个贯穿孔14的平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm。

另外，本发明中，板部件并不限定于具有多个贯穿孔的板状部件，还可以是织布、无纺布等纤维状部件。在纤维状部件的情况下，能够将纤维之间的空间视作贯穿孔。关于该方面，在后面进行详细叙述。

在此，本发明中，隔音结构体10中，将贯穿孔的平均开口直径设为Φ(μm)，将平均开口率设为σ时，由A＝σ×Φ²表示的参数A为92以下。

本发明的隔音结构体以满足上述参数A的平均开口率具有平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm的微贯穿孔，由此因由声音通过微贯穿孔时的贯穿孔的内壁面与空气的摩擦引起的吸音效果和由吸音体引起的吸音效果而能够在宽的频带显现高隔音性能，并且能够抑制视觉辨认贯穿孔。

如前述，提出了一种组合形成有多个贯穿孔的板部件和吸音体而成的隔音结构体，但可知仅通过组合不足以在宽频带得到高的隔音性能。

并且，形成于板部件的贯穿孔的开口直径大时，会发现贯穿孔。因此，存在如下问题，即实际上在壁上、车辆顶棚及地板等中使用时会发现贯穿孔，从而较大地妨碍设计性或质感。

推定由贯穿孔引起的吸音的机制为声音通过微贯穿孔时的由贯穿孔的内壁面与空气的摩擦引起的声音的能量向热能的变化。具体而言，通过贯穿孔部分时，声音从整个板部件上的宽面积向贯穿孔的窄面积聚集而通过。在贯穿孔中由于声音聚集而局部速度变极大。摩擦与速度有关，因此在微贯穿孔内摩擦变大并转换为热。

该机制因贯穿孔尺寸微细而产生。认为在贯穿孔的平均开口直径小的情况下，相对于开口面积的贯穿孔的边缘长度的比率变大，因此能够增加在贯穿孔的边缘部或内壁面产生的摩擦。通过增加通过贯穿孔时的摩擦，能够将声音的能量转换为热能，并吸音。

另一方面，由吸音体引起的吸音的机制为声音在多孔质吸音体中的细孔中传播时，声音的能量通过粘性衰减或热传递而衰减。该衰减电阻与声音的粒子速度成比例。

在此，根据本发明人等的研究，组合具有贯穿孔的板部件和吸音体时，在通过贯穿孔时局部速度变极大，因此根据该效果，通过吸音体的声音的速度也在一部分上变大。由此，可知通过与板部件组合，由吸音体引起的吸音效果会提高。

此时，发现将贯穿孔的平均开口直径设为0.1μm以上且小于100μm，将平均开口直径Φ(μm)和平均开口率σ的参数A＝σ×Φ²设为92以下，由此能够适当地发挥由贯穿孔引起的吸音效果和由吸音材料引起的吸音效果，且能够在宽的频带提高隔音性能。

并且，将贯穿孔的平均开口直径设为小于100μm，将平均开口率σ设为参数A满足92以下的开口率，由此能够抑制视觉辨认贯穿孔，从而提高设计性及质感。

关于贯穿孔的视觉辨认性，在后面进行详细叙述。

并且，本发明的隔音结构体通过声音通过贯穿孔时的摩擦吸音，因此与声音的频带无关而能够吸音，并能够在宽频带吸音。

并且，由于不具有密闭空间，因此能够确保通气性。

并且，由于具有贯穿孔，因此能够使光一边散射一边透射。

并且，由于通过形成微贯穿孔而发挥功能，原材料选择的自由度高，周边环境的污染或耐环境性的问题也能够对应于其环境而选择原材料，因此能够减少问题。

并且，由于板部件具有微贯穿孔，因此即使在板部件侧附着有水等液体的情况下，因表面张力而水会避开贯穿孔的一部分而不堵塞贯穿孔，因此不易降低吸音性能。

并且，板部件为薄的板状(膜状)部件，因此能够对应于配置的场所而弯曲。

在此，从吸音性能等的观点考虑，贯穿孔的平均开口直径的上限值小于100μm，优选为80μm以下，更优选为70μm以下，进一步优选为50μm以下，最优选为30μm以下。其原因为，贯穿孔的平均开口直径越小，在相对于贯穿孔的开口面积的贯穿孔中有助于摩擦的贯穿孔的边缘长度的比率越大，从而容易产生摩擦。

并且，平均开口直径的下限值优选为0.5μm以上，更优选为1μm以上，进一步优选为2μm以上，最优选为5μm以上。平均开口直径过小时通过贯穿孔时的粘性电阻过高而声音无法充分通过，因此即使提高开口率也无法得到充分的吸音效果。

并且，从能够提高更高频侧的吸音性能的观点考虑，由A＝σ×Φ²表示的参数A的下限值优选为3.2以上，更优选为4.3以上，进一步优选为5.0以上，尤其优选为10以上，最优选为15以上。

并且，参数A的上限值为92以下，更优选为49以下。

另外，贯穿孔的平均开口率σ为0＜σ＜1的范围。

另外，关于贯穿孔的平均开口直径，从板部件的一个面，利用高分辨率扫描型电子显微镜(SEM)以倍率200倍对板部件的表面进行拍摄，在所得到的SEM照片中，提取20个周围以环状相连的贯穿孔，并读取其开口直径，将它们的平均值计算为平均开口直径。如果，在1张SEM照片内贯穿孔少于20个时，在周边的其他位置拍摄SEM照片，并进行计数直到合计个数成为20个。

另外，关于开口直径，分别测量贯穿孔部分的面积，利用替换为相同面积的圆时的直径(当量圆直径)来进行了评价。即，贯穿孔的开口部的形状并未限定于大致圆形状，因此当开口部的形状为非圆形状时，用相同面积的圆的直径来进行了评价。因此，例如即使在如2个以上的贯穿孔为一体化的形状的贯穿孔的情况下，也将其视作1个贯穿孔，将贯穿孔的当量圆直径设为开口直径。

这些作业例如使用“Image J”(https：//imagej.nih.gov/ij/)，并通过分析粒子(Analyze Particles)而能够计算全部的当量圆直径、开口率等。

并且，关于平均开口率，利用高分辨率扫描型电子显微镜(SEM)以倍率200倍从正上方对板部件的表面进行拍摄，对于所得到的SEM照片的30mm×30mm的视场(5处)，用图像分析软件等进行2值化来观察贯穿孔部分和非贯穿孔部分，根据贯穿孔的开口面积的合计和视场的面积(几何面积)，计算比率(开口面积/几何面积)，并计算各视场(5处)中的平均值而作为平均开口率。

在此，本发明的隔音结构体中，多个贯穿孔可以有规则地进行排列，也可以无规则地排列。从微贯穿孔的生产率、吸音特性的耐用性、以及抑制声音的衍射等观点考虑，优选无规则地排列。对于声音的衍射，若周期性地排列有贯穿孔，则根据该贯穿孔的周期而产生声音的衍射现象，存在声音因衍射而弯曲且噪音的行进方向被分为多个的担忧。无规则是指成为不具有如完全排列的周期性的配置的状态，且成为出现由各贯穿孔引起的吸收效果，另一方面不产生由贯穿孔间最小距离引起的声音的衍射现象的配置。

并且，在本发明的实施例中，也有通过卷状的连续处理中的蚀刻处理而制作的样品，但为了大规模生产，比起制作周期性排列的工艺，表面处理等统一形成无规则的模式为更容易，因此从生产率的观点考虑，也优选无规则地排列。

并且，从因排列导致的贯穿孔的视觉辨认性的观点考虑，也优选贯穿孔无规则地配置。贯穿孔有规则地排列时，有可能按照该贯穿孔的排列周期产生光的衍射现象且光以彩虹色扩散。

尤其，在将贯穿孔的平均开口直径设为小于100μm的小的开口直径的情况下，从吸音性能的观点考虑，平均开口率需要提高一定程度。因此，相邻的贯穿孔之间的距离(贯穿孔之间的最小距离)变小，因此容易产生由有规则地排列引起的光的衍射现象。

相对于此，通过无规则地配置贯穿孔，将贯穿孔的平均开口直径设为小于100μm的小的开口直径，并设为具有高的吸音性能的结构的情况下，也能够使得由贯穿孔之间的最小距离引起的光的衍射现象不易产生。

另外，本发明中，如下对无规则地配置贯穿孔的情况进行定义。

完全为周期性结构时出现强烈的衍射光。并且，即使仅使周期性结构的极其一部分的位置不同等，也会通过剩余结构而出现衍射光。衍射光为通过来自周期性结构的基本单元的散射光的重叠而形成的波，因此为仅极其一部分紊乱也会由剩余结构引起的干扰产生衍射光的机制。

从而，随着从周期性结构紊乱的基本单元越多，对衍射光进行相长干扰的散射光越减少，从而衍射光的强度变小。

从而，本发明中的“无规则”是指，至少整体的10％的贯穿孔从周期性结构偏离的状态。通过上述讨论，为了抑制衍射光而优选从周期性结构偏离的基本单元越多，因此优选整体的50％偏离的结构，更优选整体的80％偏离的结构，进一步优选整体的90％偏离的结构。

作为偏差的验证，能够拍摄将贯穿孔收容在5个以上的图像，并对其进行该分析。所收容的贯穿孔的数量多则能够进行精度高的分析。图像可以通过光学显微镜得到，也可以通过SEM得到，除此以外，只要为能够识别多个贯穿孔的位置的图像则能够使用。

所拍摄到的图像中，关注一个贯穿孔，测定与其周围的贯穿孔的距离。将最靠近的距离设为a1，并将第二、第三、第四个靠近的距离分别设为a2、a3、a4。此时，在a1至a4中两个以上的距离一致的情况下(例如，将该一致的距离设为b1)，关于b1的距离，能够判定该贯穿孔为具有周期性结构的孔。另一方面，在a1至a4的任一距离均不一致的情况下，能够判定该贯穿孔为从周期性结构偏离的贯穿孔。进行对图像上的所有贯穿孔进行该操作的判断。

在此，上述“一致”是指将所关注的贯穿孔的孔径设为Φ时直至Φ的偏离一致。即，为a2-Φ＜a1＜a2+Φ的关系时，a2与a1一致。其原因为，由于认为衍射光是来自各贯穿孔的散射光，因此认为在孔径Φ的范围产生了散射。

接着，例如计算“关于b1的距离具有周期性结构的贯穿孔”的个数，并求出相对于图像上的所有贯穿孔的个数的比例。将该比例设为c1时，比例c1为具有周期性结构的贯穿孔的比例，且1-c1成为从周期性结构偏离的贯穿孔的比例，且1-c1成为确定上述“无规则”的数值。在存在多个距离、例如“关于b1的距离具有周期性结构的贯穿孔”和“关于b2的距离具有周期性结构的贯穿孔”的情况下，关于b1和b2分别单独进行计数。关于b1的距离将周期性结构的比例设为c1，关于b2的距离将周期性结构的比例设为c2时，在(1-c1)和(1-c2)均为10％以上的情况下，该结构成为“无规则”。

另一方面，在(1-c1)和(1-c2)中的任一个小于10％的情况下，该结构具有周期性结构而不是“无规则”。如此，对于任意比例c1、c2、……也满足“无规则”的条件的情况下，将该结构定义为“无规则”。

并且，多个贯穿孔可以由1种开口直径的贯穿孔构成，也可以由2种以上的开口直径的贯穿孔构成。从生产率的观点、耐久性的观点等考虑，优选由2种以上的开口直径的贯穿孔构成。

作为生产率，与上述无规则排列相同地，从大规模进行蚀刻处理的观点考虑，允许在开口直径中具有偏差时，提高生产率。并且，作为耐久性的观点，由于灰尘或垃圾的尺寸根据环境而不同，因此如果设为1种开口直径的贯穿孔，则主要垃圾的尺寸与贯穿孔几乎一致时，对所有贯穿孔造成影响。通过预先设置多种开口直径的贯穿孔，成为能够适用于各种环境的设备。

并且，通过国际公开WO2016/060037号中所记载的制造方法等，能够形成孔径在贯穿孔内部扩展且在内部成为最大直径的贯穿孔。根据该形状，贯穿孔尺寸大小的垃圾(灰尘、调色剂、无纺布或发泡体的松散物等)不易堵塞内部，且具有贯穿孔的膜的耐久性会提高。

比贯穿孔的最表面的直径大的垃圾不会侵入贯穿孔内，另一方面比直径小的垃圾随着内部直径变大而能够直接通过贯穿孔内。

可知其原因为如下，即考虑到以相反形状内部被挤压的形状，与通过贯穿孔的最表面的垃圾会被卡在内部的直径小的部分，且垃圾容易直接残留的情况相比，在内部成为最大直径的形状在抑制垃圾堵塞方面有利地发挥功能。

并且，如所谓的锥形，在膜的任一表面成为最大直径，内部直径大致单调减少的形状中，从成为最大直径的一者进入满足“最大直径＞垃圾的尺寸＞又一表面的直径”的关系的垃圾的情况下，内部形状如斜率发挥功能则在中途堵塞的可能性进一步变大。

并且，从进一步加大声音通过贯穿孔内时的摩擦的观点考虑，贯穿孔的内壁面优选进行表面粗糙化。具体而言，贯穿孔的内壁面的表面粗糙度Ra优选为0.1μm以上，更优选为0.1μm～10.0μm，更优选为0.2μm以上且1.0μm以下。

在此，表面粗糙度Ra能够通过用AFM(Atomic Force Microscope：原子力显微镜)测量贯穿孔内而进行测定。作为AFM，例如能够使用Hitachi High-Tech ScienceCorporation制SPA300。悬臂能够使用OMCL-AC200TS，并通过DFM(Dynamic Force Mode：动力模式)进行测定。贯穿孔的内壁面的表面粗糙度为数微米左右，因此从具有数微米的测定范围及精度的方面考虑，优选使用AFM。

并且，根据贯穿孔内的SEM图像将贯穿孔内的凹凸的每一个凸部视作粒子，从而能够计算凸部的平均粒径。

具体而言，将以2000倍的倍率拍摄到的SEM图像(1mm×1mm左右的视野)读入ImageJ，以黑白进行二值化以使凸部变白，通过Analyze Particles求出其各凸部的面积。对于各凸部求出假定了与其各面积相同面积的圆的当量圆直径，并计算其平均值来作为平均粒径。

该凸部的平均粒径优选为0.1μm以上且10.0μm以下，更优选为0.15μm以上且5.0μm以下。

在此，在后述模拟结果中，测量了贯穿孔内的速度。贯穿孔内的速度在声压为1[Pa](＝94dB)时为5×10^-2(m/s)左右，60dB时为1×10^-3(m/s)左右。

吸收频率2500Hz的声音时，可知为比局部速度更传播声波的介质的局部移动速度。由此，若假定粒子沿贯穿孔的贯穿方向振动而求出移动距离。由于声音振动，因此成为该距离振幅能够在半周期内移动的距离。在2500Hz下，一周期为1/2500秒，因此其一半时间能够在相同方向上。从局部速度求出的声波半周期下的最大移动距离(声学移动距离)在94dB下为10μm，在60dB下为0.2μm。从而，由于具有该声学移动距离大小的表面粗糙度而摩擦会增加，因此优选上述表面粗糙度Ra的范围及凸部的平均粒径的范围。

在此，从由贯穿孔的大小导致的视觉辨认性的观点考虑，形成于板部件的多个贯穿孔的平均开口直径优选为50μm以下，更优选为20μm以下。

在将本发明的隔音结构中所使用的具有微贯穿孔的板部件配置于壁表面或可见位置的情况下，贯穿孔本身可见时会损害设计性，且作为外形开设有孔的情况令人担心，因此优选难以看见贯穿孔。如果在房间内的隔音壁、调音壁、隔音面板、调音面板及机械的外装部分等各种位置看见贯穿孔时会成为问题。

首先，对一个贯穿孔的视觉辨认性进行研究。

以下，在视力为1的情况下对人眼分辨率进行讨论。

视力为1的定义是分辨1角分来观看的情况。这表示在30cm的距离下能够分辨87μm。图4中示出视力为1时的距离与分辨率的关系。

贯穿孔是否可见与上述视力密切相关。如通过兰杜特(Landolt)环的间隙部分的识别来进行视力检查，在是否会看到两点和/或两条线段之间的空白取决于分辨率。即，关于小于眼睛分辨率的开口直径的贯穿孔，贯穿孔的边缘之间的距离无法用眼睛分辨，因此很难视觉辨认。另一方面，能够识别眼睛分辨率以上的开口直径的贯穿孔的形状。

在视力为1的情况下，能够从35cm的距离分辨100μm的贯穿孔，但50μm的贯穿孔不接近18cm，20μm的贯穿孔不接近7cm的距离时无法分辨。从而，即使在能够视觉辨认100μm的贯穿孔而令人担心的情况下，通过使用20μm的贯穿孔，只要不接近1/5的极近的距离，则无法识别。从而，开口直径小时难以视觉辨认贯穿孔而有利。将隔音结构体用在壁或车内时自观察者的距离一般成为数10cm的距离，但在该情况下开口直径为100μm左右而成为其边界。

接着，对通过贯穿孔产生的光散射进行讨论。由于可见光的波长为400nm～800nm(0.4μm～0.8μm)左右，因此在本发明中讨论的数10μm的开口直径充分大于光学波长。在该情况下，在可见光中散射截面积(表示物体散射的强度的量，单位为面积)与几何截面积大致一致，即在本次情况下与贯穿孔的截面积大致一致。即，得知可见光散射的大小与贯穿孔的半径(当量圆直径的一半)的平方成比例。从而，贯穿孔越大，光散射的强度以贯穿孔的半径的平方越变大。贯穿孔单体的易见度与光的散射量成比例，因此即使在平均开口率相同的情况下，也容易看到一个个贯穿孔大的情况。

而且，本发明的隔音结构体为存在多个微贯穿孔的系统，因此在一个个贯穿孔的易见度的基础上，由贯穿孔的配置引起的空间频率也与视觉辨认性密切有关。表示由排列引起的可见度的函数为视觉传递函数(visual transfer function(VTF)，参考国际公开WO2014/141867 A1，视觉传递函数本身由“R.P.Dooley,R.Shaw：Noise Perception inElectrophotography,J.Appl.Photogr.Eng.,5,4(1979),pp.190-196.”提出)。视觉传递函数为表示按空间频率(周期性结构、间距及粒子排列等的排列方法)，通过人的视觉检测的容易程度的函数，数值越大表示越容易检测。

根据视觉传递函数，得知人能够最强烈地识别数mm^-1的空间频率。

以下示出关于视觉传递函数的研究结果。

首先，关于配置在吸音体上且形成有多个微贯穿孔的板部件，分别在贯穿孔的平均开口直径为20μm、30μm、40μm及50μm的情况下，求出吸收率变最高的平均开口率，并从此时的贯穿孔之间的平均间距计算出空间频率。将结果示于图5。此时，各自的贯穿孔以二维正方配置周期性地排列。

接着，关于各平均开口直径，利用视觉传递函数(VTF)对在上述中求出的空间频率的情况下的视觉辨认性进行了评价。将结果示于图6。并且，图7中示出求出了平均开口直径为20μm的空间频率与视觉传递函数的关系的图表。

如图6所示，在平均开口直径为50μm的情况下，VTF为0.77而较大，相对于此，在平均开口直径为20μm的情况下，VTF为0.009而小1/850左右。即，与平均开口直径为50μm的结构相比。能够将在具有吸音特性的情况下平均开口直径为20μm的结构设为难以视觉辨认1/850的结构。

通过肉眼观察对后述实施例的平均开口直径为20μm的板部件与平均开口直径为50μm的板部件进行比较时，确认到平均开口直径为50μm的板部件的贯穿孔醒目。

另外，上述讨论完全是对具有周期性的情况进行的，但在具有伪周期性的情况下也能够进行相同的讨论。以下示出贯穿孔或粒子排列中的伪周期性。一个个单位(此次为一个个贯穿孔)并不是不具有大小的理想的点而具有大小(此次为一个个开口直径)。尤其在密度大的情况或单位之间排斥大的情况下，各自的单位根据其大小而相互排斥或者彼此排除而排列。此时，具有特征性单位间长度，且即使为随机程序有时也具有伪周期性。

最后，对关于贯穿孔的排列不具有周期性的无规则排列与周期性排列的差异进行研究。在周期性排列中，根据其周期而产生光的衍射现象。在该情况下，在照射了所透射的白色光、所反射的白色光及宽光谱的光等的情况下，如光进行衍射且如彩虹那样看见颜色偏离、以特定角度强烈反射等以各种方式看见色材，因此图案显眼。在后述实施例中，相对于镍周期性地形成有多个贯穿孔，但尝试将该镍膜在荧光灯中加水印时看见由衍射光引起的颜色的扩散。

另一方面，在无规则地排列的情况下不产生上述衍射现象。对于形成有在后述实施例中制作的微贯穿孔的铝膜，均确认到即使尝试在荧光灯中加水印也不会看见由衍射光引起的颜色变化。并且，确认到即使以反射配置观察，外观也具有与通常的铝箔相同的金属光泽，且不会产生衍射反射。

并且，板部件的厚度并无限定，但认为厚度越厚则声音通过贯穿孔时受到的摩擦能量越大，因此吸音性能会进一步提高。并且，在极薄的情况下，难以处理且容易破裂，因此优选能够维持的程度的厚度。另一方面，关于小型化、通气性及光的透射性，优选厚度较薄。并且，在贯穿孔的形成方法中使用蚀刻等的情况下，厚度越厚，制作时越花费时间，因此从生产率的观点考虑，优选厚度较薄。并且，过厚，则在通过厚的贯穿孔时声音的局部速度会降低，且通过吸音体的声音的速度变小，因此有可能会导致由吸音体引起的吸音效果降低。

从吸音性能、小型化、通气性及光的透射性的观点考虑，板部件的厚度优选为5μm～500μm，更优选为7μm～300μm，进一步优选为10μm～100μm，尤其优选为15μm～50μm。

以下，对板部件为板状部件的情况进行说明。

板部件的材质并无限定，能够利用铝、钛、镍、坡莫合金、42合金、可伐合金、镍铬合金、铜、铍、磷靑铜、黄铜、镍银、锡、锌、铁、钽、铌、钼、锆、金、银、铂、钯、钢铁、钨、铅、不锈钢及铱等各种金属；基于这些金属的合金材料；PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、TAC(三乙酰纤维素)、聚偏二氯乙烯、聚乙烯、聚氯乙烯、聚甲基戊烯、COP(环烯烃聚合物)、聚碳酸酯、ZEONOR、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)、聚丙烯及聚酰亚胺、ABS树脂(丙烯腈(Acrylonitrile)、丁二烯(Butadiene)、苯乙烯(Styrene)共聚合成树脂)、PLA树脂等树脂材料等。而且，还能够利用薄膜玻璃等玻璃材料；如CFRP(碳纤维增强塑料：CarbonFiberReinforced Plastics)及GFRP(玻璃纤维增强塑料：Glass FiberReinforced Plastics)等纤维增强塑料材料。

从杨氏模量高、厚度薄也难以引起振动，且容易得到在微小贯穿孔中由摩擦引起的吸音的效果等观点考虑，优选使用金属材料。其中，从成本及操作容易性的观点考虑，优选铜、镍、不锈钢、钛及铝。尤其，从轻量且通过蚀刻等容易形成微小的贯穿孔，获取性或成本等观点考虑，优选使用铝及铝合金。

并且，当使用金属材料时，从抑制生锈等观点考虑，可以对表面实施金属镀覆。

而且，通过至少对贯穿孔的内表面实施金属镀覆，可以将贯穿孔的平均开口直径调整为更小的范围。

并且，作为板部件的材料，通过使用如金属材料具有导电性且不带电的材料，微小灰尘及垃圾等不会因静电而吸引到膜上，从而能够抑制灰尘及垃圾等堵塞在板部件的贯穿孔中而导致的吸音性能降低。

并且，使用金属材料来作为板部件的材料，由此能够提高耐热性。并且，能够提高耐臭氧性。

并且，在使用金属材料来作为板部件的情况下，能够屏蔽电波。

并且，金属材料相对于由远红外线引起的辐射热的反射率大，因此通过使用金属材料来作为板部件的材料，还可以作为防止由辐射热引起的传热的隔热材料而发挥作用。此时，板部件上形成有多个贯穿孔，但贯穿孔的开口直径小，因此板部件作为反射膜而发挥作用。

已知在金属中开设有多个微贯穿孔的结构作为频率的高通滤波器发挥功能。例如，微波炉的带金属网眼的窗具有使作为高频的可见光通过并且屏蔽微波炉中使用的微波的性质。在该情况下，将贯穿孔的孔径设为Φ，将电磁波的波长设为λ时，作为满足Φ＜λ的关系的长波长成分不会通过，且Φ＞λ的短波长成分会透过的滤波器而发挥作用。

在此，考虑对辐射热的响应。辐射热是指，根据物体温度而从物体放射远红外线，且该远红外线被传递到其他物体的传热机构。已知根据维恩辐射定律(Wien's radiationlaw)，室温程度的环境下的辐射热以λ＝10μm为中心而分布，且在长波长侧直至其3倍左右的波长(直至30μm)有效地有助于通过辐射而传递热。若考虑上述高通滤波器的孔径Φ与波长λ之间的关系，则在Φ＝20μm的情况下较强地屏蔽λ＞20μm的成分，另一方面在Φ＝50μm的情况下成为Φ＞λ的关系，从而导致辐射热通过贯穿孔而传播。即，孔径Φ为数10μm，因此根据孔径Φ的不同而辐射热的传播性能大幅改变，得知孔径Φ即平均开口直径越小，作为辐射热截止滤波器而越发挥作用。因此，从作为防止由辐射热引起的传热的隔热材料的观点考虑，形成于板部件的贯穿孔的平均开口直径优选为20μm以下。

另一方面，当整个隔音结构体中需要透明性时，能够使用能够制成透明的树脂材料或玻璃材料。例如，PET膜由于在树脂材料之中杨氏模量也较高，也容易获取且透明性也高，因此能够形成贯穿孔且能够制成优选的隔音结构体。

并且，板部件根据其材料而适当地进行表面处理(镀覆处理、氧化皮膜处理、表面涂敷(氟、陶瓷)等)，由此能够提高板部件的耐久性。例如，在使用铝来作为板部件的材料的情况下，能够通过进行铝阳极化处理(阳极氧化处理)或勃姆石处理而在表面形成氧化皮膜。通过在表面形成氧化皮膜，能够提高耐腐蚀性、耐磨耗性及耐划伤性等。并且，通过调整处理时间而调整氧化皮膜的厚度，由此能够进行由光学干涉引起的色调的调整。

并且，能够对板部件实施着色、点缀、装饰及设计等。作为实施这些的方法，根据板部件的材质或表面处理的状态来选择适当的方法即可。例如，能够使用利用了喷墨法的印刷等。并且，在使用铝来作为板部件的材料的情况下，能够通过进行彩色铝阳极化处理而进行耐久性高的着色。彩色铝阳极化处理是指，在表面上进行铝阳极化处理之后，使染料渗透，然后对表面进行封孔处理的处理。由此，能够制成金属光泽的有无或颜色等设计性高的板部件。并且，通过在形成贯穿孔之后进行铝阳极化处理，仅在铝部分形成阳极氧化皮膜，因此能够在不会导致染料覆盖贯穿孔且吸音特性不会降低的情况下进行点缀。

通过结合上述铝阳极化处理，能够加以实施各种颜色和设计。

接着，对板部件为纤维状部件的情况进行说明。

如前述，板部件可以是织布、无纺布、编织物等纤维状部件。在纤维状部件的情况下，能够将纤维之间的空间视作贯穿孔。

在织布的情况下，经纱和纬纱被有规则地编织。因此，能够通过纤维直径与纤维的间隔控制贯穿孔的平均开口直径和平均开口率。编织物也同样地能够限定开口部。

并且，在无纺布的情况下，纤维被无规编织，因此纤维彼此并不平行或正交，但在被纤维包围的空间形成贯穿孔。因此，根据纤维直径和密度确定贯穿孔的平均开口直径和平均开口率。

板部件为纤维状部件的情况下的厚度优选为500μm以下，更优选为300μm以下，进一步优选为100μm以下。

织布、无纺布的纤维直径通常为数10μm左右。因此，通过将厚度设为100μm以下，在织布的情况下，纤维不会大量交织在一起而成为接近一个纵向一个横向的结构。并且，在无纺布的情况下，大部分线也不会在其厚度范围内层叠。因此，能够将被纤维包围的空间大致视作贯穿孔。由此，即使为纤维状部件也能够以与具有贯穿孔的板状部件相同的方式对吸音特性进行处理。

在纤维状部件的厚度大于10mm左右而较厚的情况下，成为具有被视作这种贯穿孔的区域的层重叠有数十层以上的多层的结构。因此，不显现直接通过连通部分的声音的效果而成为声音通过如迷宫连接的空气的流动路径的模型，因此声学特性与具有贯穿孔的板状部件不同。

作为求出吸音特性的物理模型，Johnson-Champoux-Allard模型(JCA模型)通过具有厚度时也包含的多孔质材料/层叠纤维材料的模型化而使用。该基本参数中有迷宫度(tortuosity：曲折度)，且为表示如空气传播声音道路像迷宫那样弯曲何种程度的指标。通过纤维层较厚，且层叠多层而空气的流动路径变复杂。此时，迷宫度的值变大，且成为与单纯的贯穿孔不同的值。该值的变化会影响作为确定声学特性的参数的有效密度和有效弹性模量，因此即使为相同的纤维材料或布，在厚度较薄而大致视作贯穿孔的情况下和厚度较厚而流动路径成为迷宫时成为不同的声学特征。

如此，纤维状部件根据厚度而对声音的特性在本质上不同。其中，发现厚度较薄时，能够视作具有沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔的板状部件。即，通过与具有微贯穿孔的板状部件相同的处理对吸音效果进行处理。

通过将织布、无纺布等纤维状部件作为板部件而与吸音体相接配置，发现吸收增大的效果，以与具有微贯穿孔的板状部件相同的方式，在由A＝σ×Φ²表示的参数A为92以下的情况下，发现其增大效果有效。

作为纤维状部件，能够举出芳香族聚酰胺纤维、玻璃纤维、纤维素纤维、尼龙纤维、维尼纶纤维、聚酯纤维、聚乙烯纤维、聚丙烯纤维、聚烯烃纤维、人造丝纤维、低密度聚乙烯树脂纤维、乙烯醋酸乙烯酯树脂纤维、合成橡胶纤维、共聚聚酰胺树脂纤维、共聚聚酯树脂纤维等由树脂材料构成的纤维；纸(薄页纸，日本纸等)；SUS纤维(TOMOEGAWA CO.,LTD.制不锈钢纤维板“Tommy phi Rec SS”等)等由金属材料构成的纤维；麻、棉、丝、羊毛等天然纤维；碳材料的纤维、含碳材料的纤维等。并且，也可以是使用了多种这些原材料的纤维状部件。

本发明中的吸收特性通过由声音通过贯穿孔而产生，因此即使纤维状部件的材质发生变化，声学特性也几乎不会发生变化。从而，原材料能够自由选择。并且，也能够结合除了声学特性以外的特性而选择。例如，在需要耐热性的情况下能够选择金属材料，且在需要轻量化的情况下能够选择塑料材料。

吸音体20由多孔质材料构成，且与板部件的一个主面相接而配置。

作为吸音体，并无特别限定，而能够适当利用以往公知的吸音材料。例如，能够利用发泡聚氨酯、软聚氨酯泡沫、木材、陶瓷颗粒烧结材料、酚醛泡沫等发泡材料及包括微小的空气的材料；玻璃棉、岩棉、超细纤维(3M Limited制Thinsulate等)、地垫、地毯、熔喷无纺布、金属无纺布、聚酯无纺布、金属棉、毡、隔热板及玻璃无纺布等纤维及无纺布类材料；木丝水泥板；二氧化硅纳米纤维等纳米纤维系材料；石膏板；以及这些层叠材料或复合材料；各种公知的吸音材料。

吸音体20的厚度并无限定。从吸音性能等观点考虑，吸音体20的厚度优选为3mm～100mm，更优选为5mm～50mm，进一步优选为10mm～30mm。

通过使吸音体20与板部件12接触而配置，具有防止具有贯穿孔的板部件破损的效果。

并且，发泡聚氨酯或玻璃棉等吸音体在内部中包含空气的结构上，随着时间的经过容易释放灰尘的情况较多。如本发明通过将板部件配置于吸音体上，还具有能够抑制来自吸音体的灰尘的量的效果。

板部件12与吸音体20的配置方法并无特别限定，可以仅将板部件12载置于吸音体20上，也可以将板部件12固定于吸音体20。作为板部件12与吸音体20的固定方法，能够利用能够使用有机系及无机系等各种粘合剂，通过模具方式、辊方式、凹版印刷方式、硬涂方式将粘合剂涂布成点状、条状或薄层，并且通过空气喷涂、无气喷涂、静电喷涂、点胶机涂布成点状而以不埋入孔的方式形成并贴合粘接层，通过用网状材料进行的热熔而贴合，用双面胶等粘接剂粘贴一部分，如订书器机械停止等多种方法。

此时，在板部件与吸音体之间无需整个表面都粘接而只要一部分相接即可。并且，可以经由无纺布系(尤其优选玻璃纤维布等纤维布材料等，并且还能够使用通气的纸原材料等)、织布系(尤其优选网状系、尤其金属网或玻璃纤维网等由耐久性高的原材料形成的网，并且还能够使用用碳或金属、玻璃制作的编织物等)、框体(塑料或金属制且以格子状设置有开口的结构，并且还能够使用主要通过冲压或激光形成有大量的圆形贯穿孔的纸、金属、塑料等)、通气膜等通过声音的部件(以下，称为中间部件)而吸音体与板部件相接。更优选的是，期待中间部件的通气阻力低而使声音直接通过。具体而言，中间部件的通气阻力优选为100(N·s/m³)以下，更优选为50(N·s/m³)以下，进一步优选为10(N·s/m³)以下，最优选为5(N·s/m³)以下。

在此定义的通气阻力(或者还称为流动阻力)为取决于中间部件的厚度的量，且与单位厚度流动阻力(流动阻力率)的关系为定义为如下的量。

通气阻力(N·s/m³)＝单位厚度流动阻力(N·s/m⁴)×部件厚度(m)

例如，在通气阻力100(N·s/m³)、部件厚度100(μm)的情况下，单位厚度流动阻力为1000000(N·s/m⁴)。

在该情况下，例如在框体的情况下，将开口的尺寸设为比板部件的开口尺寸大，且通过设为1mm以上而板部件对吸音的影响小，从而能够直接用作中间部件。

或者，在使用通气阻力高的中间部件的情况下，还能够结合板部件的特性而设计。只要在作为板部件的效果的粒子速度的大幅改变的影响涉及吸音体的范围内，则分离的部分也能够产生吸音特性的变化。

作为中间部件的效果，能够在保持板部件的声学效果的同时还进行板部件的操作性或耐破损性、弯曲性的提高。尤其在板部件的厚度小且贯穿孔的开口率大的情况下，若为板部件单体则易破损的情况较多，因此能够通过与中间部件粘接而使其难以破损。即，能够形成为板部件主要具有声学特性，且中间部件主要具有操作性的结构。

并且，板部件和多孔质吸音体的开口率或孔隙层均大，从而有时通常的粘合剂或粘接剂容易被剥离。此时，使用粘合剂或粘接剂易粘附的中间部件，或者使中间部件具有热熔性而对板部件和多孔质吸音体这两者进行熔融等，还能够通过与中间部件粘合来制作难以剥离且耐久性大的隔音结构体。

并且，在具有后述阻燃特性或不燃特性的情况下，通过将板部件与中间部件均形成为具有阻燃性或不燃性的部件，能够进一步提高阻燃特性。这在耐热性或光耐久性、UV耐久性、臭氧耐久性、耐水性、耐湿性等方面也相同。

尤其，在已知热源的位置的情况下，板部件和中间部件在热源方向上朝上，且朝向在背面配置多孔质吸音体的方向配置，由此能够从热保护多孔质吸音体。这在已知UV光源的位置、臭氧的产生源、水的位置等的情况下也能够以相同的方式处置。

并且，在具有后述壁部件的结构中，例如可以在壁部件设置吸音体，且在该吸音体表面以相接的方式将板部件竖起或者仅将其载置于该吸音体表面。

在此，相对于作为隔音对象的噪声源的隔音结构体10的朝向并无特别限定，可以将板部件12侧作为噪声源侧，如图8所示的例，也可以将吸音体20侧作为噪声源侧。图8中的箭头为声音的入射方向，且噪声源位于图中上侧。

另外，关于噪声源的方向，例如在扬声器或机械噪音等噪声源明确的情况下可直接将其方向确定为入射方向。并且，作为定量地确定“声音的入射方向”的方法，能够使用麦克风阵列或波束成型、PU探针，并通过与声压的振幅信息同时测定声压的相位信息或粒子速度来确定声源的方向。

通过使用由ONO SOKKI CO.,LTD.制造的三维强度探针MI-6420或由Microflown制造的PU探针(声压-粒子速度探针)、Bruel&Kjaer公司的麦克风阵列系统等，不仅能够确定声压的强度，还能够确定位置。在具有充分的空间的宽广的自由空间，优选使用麦克风阵列系统从整个空间确定每个频率的噪声源，在导管内等宽度被限制的情况下，能够用小型强度探针或PU探针来确定。

在此，在图1所示的例中，形成为具有1个板部件12和1个吸音体20的结构，但也可以形成为具有2个以上的板部件12和/或吸音体20的结构。

例如，如图9所示的例，可以形成为交替层叠有2个以上的吸音体20和板部件12的结构。并且，如图10所示的例，也可形成为在吸音体20的两个面的每一个中配置板部件12的结构。或者，也可以形成为在板部件12的两个面的每一个中配置吸音体20的结构。

通过用吸音体夹住板部件，能够避免板部件破损或损坏，从该方面考虑为优选。

并且，本发明的隔音结构体可以在吸音体的与板部件相反的一侧的表面侧具有壁部件。

在图11所示的例中，隔音结构体10依次具有板部件12、吸音体20及壁部件30。并且，吸音体20与壁部件30相接配置。

并且，在图12所示的例中，隔音结构体10依次具有板部件12、吸音体20及壁部件30。并且，吸音体20与壁部件30隔开规定距离而配置。

壁部件30为实质上能够视作刚体的板状部件。

作为壁部件30并无限定，能够举出建筑物的壁、地板、天花板、车辆等输送机械的金属板或地板、桌子等一般家具类的板、隔音壁、道路、分区等板、家电类的表面、办公设备的表面或内部导管、工业机械类表面、金属板等。空气的声阻抗和固体的声阻抗在大部分原材料上大不同，因此无论金属、塑料、木等原材料如何而其表面反射变得非常大。因此，由这些材质构成的壁部件实质上能够视作刚体。

通过如此形成为具有壁部件30的结构，透过了板部件12及吸音体20的声音通过壁部件30全部反射而再次入射到吸音体20及板部件12，因此能够进一步提高吸音性能。

另外，从吸音性能的方面考虑，优选吸音体20与壁部件30相接。即，优选在板部件12与壁部件30之间的空间填充有吸音体20。并且，吸音体20与壁部件30可以是一部分相接的状态。

并且，在具有壁部件30的结构的情况下，优选板部件12与壁部件30之间的距离小于35cm。

在形成为具有壁部件30的结构的情况下，在壁部件的位置声压变最大。因此，在从此处距离了半波长λ/2的位置，粒子速度变最小，且声压变最大。如前述，替代摩擦热而板部件吸收通过所形成的贯穿孔的声音的能量。因此，在配置有板部件的位置，粒子速度变小的频率的声音的吸收变小。即，板部件与壁部件的间隔成为λ/2+n×λ/2(n为0以上的整数)的频率的声音的吸收变小。例如，板部件与壁部件的间隔为34.3cm时，相对于500Hz、1000Hz、1500Hz、2000Hz……的频率的声音的波长，与λ/2+n×λ/2一致，因此这些频率的声音的吸收变小。因此，通过将板部件与壁部件的间隔设为小于35cm，能够抑制小于500Hz的频率的声音的吸收变小。

从增大可听区域的声音的吸收的观点考虑，板部件与壁部件的间隔越小越优选，优选为17.1cm(与1000Hz对应)以下，更优选为8.5cm(与2000Hz对应)以下，进一步优选为6.9cm(与2500Hz对应)以下，尤其优选为1.7cm(与10000Hz对应)以下，最优选为0.85cm(与20000Hz对应)以下。

并且，在形成为具有壁部件30的结构的情况下，在从壁部件30的位置距离了1/4波长(λ/4)的位置，粒子速度变最大。在粒子速度变最大的位置存在板部件12或吸音体20时，与该波长对应的频率的声音的吸收变大。从该方面考虑，如图13所示，相对于作为隔音对象的声音的频率波长λ，优选在从壁部件30的位置距离了1/4波长(λ/4)的位置存在板部件12及吸音体20中的至少一者。

尤其，优选在从壁部件30的位置距离了1/4波长(λ/4)的位置存在板部件12。由此，相对于与该波长对应的频率的声音，能够增大由板部件12的贯穿孔引起的吸收效果。

并且，在隔开间隔而配置壁部件30的情况下，也优选在从壁部件30的位置距离了1/4波长(λ/4)的位置存在板部件12及吸音体20中的至少一者。

并且，在具有壁部件30的结构中，可以形成为板部件12、吸音体20及壁部件30成为一体的单元结构。

即，通过形成为能够按壁部件30、吸音体20及板部件12分别相接的结构而移动的形状，能够用作便携式吸音板或吸音单元。具体而言，通过将吸音体贴合到塑料板或金属板(壁部件)，并在该吸音体的表面安装有具有微贯穿孔的板部件的结构，使塑料板或金属板变薄，由此能够形成为能够携带的重量的单元。通过将该单元排列多个而安装到壁等来作为吸音面板或调音面板而发挥功能。另外，吸音面板以吸收声音为目的，例如通过在会议室或商店等使用且为了使声音清晰而在去除噪音时等使用。并且，调音面板以通过调整声音的吸收或扩散来调整声音的目的使用。例如，在音乐厅的声音的音调的调整等中使用。

并且，通过形成为在更小的数cm尺寸的塑料板或金属板安装有吸音体和具有微贯穿孔的板部件的单元，还能够形成为配置于各种设备的导管或供气部等而发挥隔音性能的隔音单元。如此，通过形成为壁部件也成为一体的单元结构，能够在设置时不考虑吸音体与壁部件的距离而发挥隔音性能。

此时，优选吸音体的表面中，不与壁部件相接的表面中的至少一个面与板部件相接。即，优选板部件与吸音体相接，并且成为配置于最表面的结构。

并且，如图14所示，优选形成为最表面中一个面由板部件12构成，且与板部件12侧的面对置的面由壁部件30构成的结构。

并且，如图15所示，可以形成为最表面的所有表面由板部件12及壁部件30中的任一个构成的结构。图15所示的例中，为最表面的一个面由板部件12构成，且其他最表面由壁部件30构成的结构。

并且，如图16所示，在将板部件12、吸音体20及壁部件30设为单元结构的情况下，板部件12与壁部件之间的距离也优选为作为隔音对象的声音的频率的1/4波长。

[板部件的制造方法]

接着，对于板部件的制造方法，以使用板状铝基材的情况为例进行说明。

使用了铝基材的板部件的制造方法具有：

皮膜形成工序，在铝基材的表面形成以氢氧化铝为主成分的皮膜；

贯穿孔形成工序，皮膜形成工序之后，进行贯穿孔形成处理来形成贯穿孔；及

皮膜去除工序，贯穿孔形成工序之后，去除氢氧化铝皮膜。

通过具有皮膜形成工序、贯穿孔形成工序及皮膜去除工序，能够优选地形成平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm的贯穿孔。

＜铝基材＞

用作板部件的铝基材并无特别限定，例如能够使用JIS标准H4000中记载的合金号1085、1N30、3003等公知的铝基材。另外，铝基材为以铝为主成分并含有微量的杂元素的合金板。

作为铝基材的厚度，并无特别限定，优选为5μm～1000μm，更优选为7μm～200μm，尤其优选为10μm～100μm。

接着，利用图18～图22对板部件的制造方法的各工序进行说明之后，对各工序进行详细叙述。

图17～图21为表示使用了铝基材的隔音结构体的制造方法的优选的实施方式的一例的示意性剖视图。

如图17～图21所示，隔音结构体的制造方法为如下制造方法，即具有：皮膜形成工序(图17及图18)，对铝基材11的一个主面实施皮膜形成处理而形成氢氧化铝皮膜13；贯穿孔形成工序(图18及图19)，在皮膜形成工序之后实施电解溶解处理而形成贯穿孔14，且在铝基材11及氢氧化铝皮膜13形成贯穿孔；及皮膜去除工序(图19及图20)，在贯穿孔形成工序之后，去除氢氧化铝皮膜13而制作由具有贯穿孔14的板部件12构成的隔音结构体。

并且，隔音结构体的制造方法优选具有表面粗糙化处理工序(图20及图21)，在皮膜去除工序之后，对具有贯穿孔14的板部件12实施电化学粗糙化处理而将板部件12的表面粗糙化。

氢氧化铝皮膜中容易形成小孔，因此在形成氢氧化铝皮膜的皮膜形成工序之后，在贯穿孔形成工序中实施电解溶解处理而形成贯穿孔，由此能够形成平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm的贯穿孔。

〔皮膜形成工序〕

本发明中，板部件的制造方法所具有的皮膜形成工序为对铝基材的表面实施皮膜形成处理而形成氢氧化铝皮膜的工序。

＜皮膜形成处理＞

上述皮膜形成处理并无特别限定，例如能够实施与以往公知的氢氧化铝皮膜的形成处理相同的处理。

作为皮膜形成处理，例如能够适当采用日本特开2011-201123号公报的＜0013＞～＜0026＞段中所记载的条件或装置。

本发明中，皮膜形成处理的条件根据所使用的电解液发生各种变化，因此不能一概确定，但一般而言电解液浓度1～80质量％、液温5～70℃、电流密度0.5～60A/dm²、电压1～100V、电解时间1秒钟～20分钟是适当的，调整成为所期望的皮膜量。

本发明中，作为电解液，优选使用硝酸、盐酸、硫酸、磷酸、草酸或这些酸的2个以上的混合酸来进行电化学处理。

当在包含硝酸、盐酸的电解液中进行电化学处理时，在铝基材与对电极之间可以施加直流电，也可以施加交流电。在对铝基材施加直流电的情况下，电流密度优选为1～60A/dm²，更优选为5～50A/dm²。当连续进行电化学处理时，优选通过经由电解液向铝基材供电的液体供电方式来进行。

本发明中，通过皮膜形成处理来形成的氢氧化铝皮膜的量优选为0.05～50g/m²，更优选为0.1～10g/m²。

〔贯穿孔形成工序〕

贯穿孔形成工序为皮膜形成工序之后实施电解溶解处理而形成贯穿孔的工序。

＜电解溶解处理＞

上述电解溶解处理并无特别限定，能够使用直流电或交流电，并将酸性溶液用作电解液。其中，优选使用硝酸、盐酸中的至少1个以上的酸来进行电化学处理，进一步优选除了这些酸以外还使用硫酸、磷酸、草酸中的至少1个以上的混合酸来进行电化学处理。

本发明中，作为电解液即酸性溶液，除了上述酸以外，还能够使用美国专利第4,671,859号、美国专利第4,661,219号、美国专利第4,618,405号、美国专利第4,600,482号、美国专利第4,566,960号、美国专利第4,566,958号、美国专利第4,566,959号、美国专利第4,416,972号、美国专利第4,374,710号、美国专利第4,336,113号、美国专利第4,184,932号的各说明书等中所记载的电解液。

酸性溶液的浓度优选为0.1～2.5质量％，尤其优选为0.2～2.0质量％。并且，酸性溶液的液温优选为20～80℃，更优选为30～60℃。

并且，以上述酸为主体的水溶液能够在浓度1～100g/L的酸的水溶液中以从1g/L到饱和为止的范围添加硝酸铝、硝酸钠、硝酸铵等具有硝酸离子的硝酸化合物、或氯化铝、氯化钠、氯化铵等具有盐酸离子的盐酸化合物、硫酸铝、硫酸钠、硫酸铵等具有硫酸离子的硫酸化合物中的至少一个而使用。

并且，在以上述酸为主体的水溶液中可以溶解铁、铜、锰、镍、钛、镁、二氧化硅等包含在铝合金中的金属。优选使用在酸的浓度0.1～2质量％的水溶液中以铝离子成为1～100g/L的方式添加氯化铝、硝酸铝、硫酸铝等而成的液体。

电化学溶解处理中主要使用直流电流，但在使用交流电流的情况下其交流电源波并无特别限定，可使用正弦波、矩形波、梯形波、三角波等，其中，优选矩形波或梯形波，尤其优选梯形波。

(硝酸电解)

本发明中，通过使用了以硝酸为主体的电解液的电化学溶解处理(以下，也简称为“硝酸溶解处理”。)，能够轻松地形成平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm的贯穿孔。

在此，硝酸溶解处理从容易控制贯穿孔形成的溶解点的理由考虑，优选为使用直流电流，在将平均电流密度设为5A/dm²以上，且将电量设为50C/dm²以上的条件下实施的电解处理。另外，平均电流密度优选为100A/dm²以下，电量优选为10000C/dm²以下。

并且，硝酸电解中的电解液的浓度或温度并无特别限定，能够使用高浓度例如硝酸浓度15～35质量％的硝酸电解液在30～60℃下进行电解，或者使用硝酸浓度0.7～2质量％的硝酸电解液在高温例如80℃以上的温度下进行电解。

并且，能够使用在上述硝酸电解液中混合浓度0.1～50质量％的硫酸、草酸、磷酸中的至少1个而成的电解液来进行电解。

(盐酸电解)

本发明中，通过使用了以盐酸为主体的电解液的电化学溶解处理(以下，也简称为“盐酸溶解处理”。)，也能够轻松地形成平均开口直径为1μm以上且小于100μm的贯穿孔。

在此，盐酸溶解处理从容易控制贯穿孔形成的溶解点的理由考虑，优选为使用直流电流，在将平均电流密度设为5A/dm²以上，且将电量设为50C/dm²以上的条件下实施的电解处理。另外，平均电流密度优选为100A/dm²以下，电量优选为10000C/dm²以下。

并且，盐酸电解中的电解液的浓度或温度并无特别限定，能够使用高浓度例如盐酸浓度10～35质量％的盐酸电解液在30～60℃下进行电解，或者使用盐酸浓度0.7～2质量％的盐酸电解液在高温例如80℃以上的温度下进行电解。

并且，能够使用在上述盐酸电解液中混合浓度0.1～50质量％的硫酸、草酸、磷酸中的至少1个而成的电解液来进行电解。

〔皮膜去除工序〕

皮膜去除工序为进行化学溶解处理而去除氢氧化铝皮膜的工序。

上述皮膜去除工序例如能够通过实施后述的酸蚀刻处理或碱蚀刻处理来去除氢氧化铝皮膜。

＜酸蚀刻处理＞

上述溶解处理为使用比起铝更优先溶解氢氧化铝的溶液(以下，称为“氢氧化铝溶解液”。)来溶解氢氧化铝皮膜的处理。

在此，作为氢氧化铝溶解液，例如优选为含有选自包含硝酸、盐酸、硫酸、磷酸、草酸、铬化合物、锆系化合物、钛系化合物、锂盐、铈盐、镁盐、氟硅酸钠、氟化锌、锰化合物、钼化合物、镁化合物、钡化合物及卤素单体的组中的至少1种的水溶液。

具体而言，作为铬化合物，例如可举出氧化铬(III)、无水铬(VI)酸等。

作为锆系化合物，例如可举出氟化锆铵、氟化锆、氯化锆。

作为钛化合物，例如可举出氧化钛、硫化钛。

作为锂盐，例如可举出氟化锂、氯化锂。

作为铈盐，例如可举出氟化铈、氯化铈。

作为镁盐，例如可举出硫化镁。

作为锰化合物，例如可举出高锰酸钠、高锰酸钙。

作为钼化合物，例如可举出钼酸钠。

作为镁化合物，例如可举出五水合氟化镁。

作为钡化合物，例如可举出氧化钡、乙酸钡、碳酸钡、氯酸钡、氯化钡、氟化钡、碘化钡、乳酸钡、草酸钡、高氯酸钡、硒酸钡、亚硒酸钡、硬脂酸钡、亚硫酸钡、钛酸钡、氢氧化钡、硝酸钡或它们的水合物等。

上述钡化合物之中，优选氧化钡、乙酸钡、碳酸钡，尤其优选氧化钡。

作为卤素单体，例如可举出氯、氟、溴。

其中，上述氢氧化铝溶解液优选为含有酸的水溶液，作为酸，可举出硝酸、盐酸、硫酸、磷酸、草酸等，也可以为2种以上的酸的混合物。

作为酸浓度，优选为0.01mol/L以上，更优选为0.05mol/L以上，进一步优选为0.1mol/L以上。上限没有特别限定，但一般而言优选为10mol/L以下，更优选为5mol/L以下。

溶解处理通过使形成有氢氧化铝皮膜的铝基材与上述的溶解液接触而进行。接触的方法并无特别限定，例如可举出浸渍法、喷雾法。其中，优选浸渍法。

浸渍法为使形成有氢氧化铝皮膜的铝基材浸渍于上述的溶解液的处理。若在浸渍处理时进行搅拌，则可进行没有不均的处理，因此优选。

浸渍处理的时间优选为10分钟以上，更优选为1小时以上，进一步优选为3小时以上、5小时以上。

＜碱蚀刻处理＞

碱蚀刻处理为通过使上述氢氧化铝皮膜与碱溶液接触来溶解表层的处理。

作为碱溶液中使用的碱，例如可举出苛性碱、碱金属盐。具体而言，作为苛性碱，例如可举出氢氧化钠(苛性钠)、苛性钾。并且，作为碱金属盐，例如可举出偏硅酸钠、硅酸钠、偏硅酸钾、硅酸钾等碱金属硅酸盐；碳酸钠及碳酸钾等碱金属碳酸盐；铝酸钠及铝酸钾等碱金属铝酸盐；葡糖酸钠及葡糖酸钾等碱金属醛糖酸盐；磷酸氢二钠、磷酸氢二钾、磷酸三钠及磷酸三钾等碱金属磷酸氢盐。其中，从蚀刻速度快的方面及廉价的方面考虑，优选苛性碱的溶液及含有苛性碱及碱金属铝酸盐这两者的溶液。尤其优选氢氧化钠的水溶液。

碱溶液的浓度优选为0.1～50质量％，更优选为0.2～10质量％。当在碱溶液中溶解有铝离子时，铝离子的浓度优选为0.01～10质量％，更优选为0.1～3质量％。碱溶液的温度优选为10～90℃。处理时间优选为1～120秒钟。

作为使氢氧化铝皮膜与碱溶液接触的方法，例如可举出使形成有氢氧化铝皮膜的铝基材通过装入碱溶液的槽中的方法、使形成有氢氧化铝皮膜的铝基材浸渍于装入碱溶液的槽中的方法、将碱溶液喷涂在形成有氢氧化铝皮膜的铝基材的表面(氢氧化铝皮膜)的方法。

〔表面粗糙化处理工序〕

本发明中，板部件的制造方法可以具有的任意的表面粗糙化处理工序为对去除了氢氧化铝皮膜的铝基材实施电化学表面粗糙化处理(以下，也简称为“电解表面粗糙化处理”。)，从而对铝基材的表面或背面进行表面粗糙化的工序。

另外，上述实施方式中，设为形成贯穿孔之后进行表面粗糙化处理的结构，但并不限定于此，也可以设为表面粗糙化处理之后形成贯穿孔的结构。

本发明中，通过使用了以硝酸为主体的电解液的电化学表面粗糙化处理(以下，也简称为“硝酸电解”。)，能够轻松地对表面进行表面粗糙化。

或者，通过使用了以盐酸为主体的电解液的电化学表面粗糙化处理(以下，也简称为“盐酸电解”。)，也能够进行表面粗糙化。

〔金属涂覆工序〕

本发明中，从能够将通过上述的电解溶解处理而形成的贯穿孔的平均开口直径调整为0.1μm～20μm左右的小范围的理由考虑，板部件的制造方法优选在上述的皮膜去除工序之后，具有用铝以外的金属涂覆至少包含贯穿孔的内壁的铝基材的表面的一部分或全部的金属涂覆工序。

在此，“用铝以外的金属涂覆至少包含贯穿孔的内壁的铝基材的表面的一部分或全部”是指在包含贯穿孔的内壁的铝基材的整个表面中，至少对贯穿孔的内壁进行涂覆，且内壁以外的表面可以不进行涂覆，也可以涂覆一部分或全部。

金属涂覆工序为对具有贯穿孔的铝基材实施例如后述的置换处理及镀覆处理的工序。

＜置换处理＞

上述置换处理为对至少包含贯穿孔的内壁的铝基材的表面的一部分或全部置换镀覆锌或锌合金的处理。

作为置换镀覆液，例如可举出氢氧化钠120g/L、氧化锌20g/L、结晶性氯化铁2g/L、罗谢尔盐50g/L、硝酸钠1g/L的混合溶液等。

并且，也可以使用市售的Zn或Zn合金镀覆液，例如能够使用OKUNO CHEMICALINDUSTRIES CO.,LTD制Substar Zn-1、Zn-2、Zn-3、Zn-8、Zn-10、Zn-111、Zn-222、Zn-291等。

铝基材在这种置换镀覆液的浸渍时间优选为15秒钟～40秒钟，浸渍温度优选为20～50℃。

＜镀覆处理＞

通过上述的置换处理，对铝基材的表面置换镀覆锌或锌合金来形成锌皮膜时，优选例如实施镀覆处理，所述镀覆处理中，通过后述的非电解镀覆使锌皮膜置换成镍之后，通过后述的电解镀覆析出各种金属。

(非电解镀覆处理)

作为在非电解镀覆处理中使用的镍镀覆液，能够广泛使用市售品，例如可举出包含硫酸镍30g/L、次磷酸钠20g/L、柠檬酸铵50g/L的水溶液等。

并且，作为镍合金镀覆液，可举出磷化合物成为还原剂的Ni-P合金镀覆液或硼化合物成为还原剂的Ni-B镀覆液等。

在这种镍镀覆液或镍合金镀覆液中的浸渍时间优选为15秒钟～10分钟，浸渍温度优选为30℃～90℃。

(电解镀覆处理)

作为电解镀覆处理，例如，电镀Cu时的镀覆液例如可举出将硫酸Cu60～110g/L、硫酸160～200g/L及盐酸0.1～0.15mL/L添加到纯水中，进一步将OKUNO CHEMICALINDUSTRIES CO.,LTD制Top Lucina SF Base WR 1.5～5.0mL/L、Top Lucina SF-B 0.5～2.0mL/L及Top Lucina SF Leveler3.0～10mL/L作为添加剂添加的镀覆液。

在这种铜镀覆液中的浸渍时间由于取决于Cu膜的厚度，因此并无特别限定，但例如赋予2μm的Cu膜时，优选以电流密度2A/dm²浸渍约5分钟，浸渍温度优选为20℃～30℃。

〔水洗处理〕

本发明中，优选在结束上述的各处理的工序之后进行水洗。水洗中能够使用纯水、井水、自来水等。为了防止处理液向下一工序的带入，也可以使用夹持装置。

这种板部件的制造可以使用切板状的铝基材来进行制造，也可以通过卷对卷(Roll to Roll以下也称为RtoR)来进行。

众所周知，RtoR是指从卷绕长形状的原材料而成的卷拉出原材料，在长度方向上进行输送，并且进行表面处理等各种处理，并将已处理的原材料再次卷绕成卷状的制造方法。

如上所述的在铝基材形成贯穿孔的制造方法通过RtoR，能够容易且有效地形成20μm左右的贯穿孔。

并且，贯穿孔的形成方法并不限定于上述的方法，只要根据板部件的形成材料等以公知的方法进行即可。

例如，当使用PET膜等树脂膜来作为板状的板部件时，能够使用激光加工等吸收能量的加工方法。在板部件较薄而能够加工的情况下，能够通过冲压、针加工、压花加工等由物理接触引起的机械加工或喷砂加工等方法形成贯穿孔。并且，在表面涂布抗蚀剂材料之后，且在对抗蚀剂材料进行光刻之后进行蚀刻加工，由此也能够形成贯穿孔。

以下，对能够与具有本发明的隔音结构体的隔音部件组合的结构部件的物性或特性进行说明。

[阻燃性/不燃性/耐火性]

在作为建筑材料或设备内隔音材料/输送设备用隔音材料而使用具有本发明的隔音结构体的隔音部件的情况下，要求具有阻燃性或不燃性。

因此，板部件优选为阻燃性或不燃性板部件。在作为板部件而使用树脂的情况下，例如使用作为阻燃性的PET膜的LUMIRROR(注册商标)非卤素阻燃型ZV系列(TORAYINDUSTRIES,INC.制)、Teijin Tetoron(注册商标)UF(TEIJIN LIMITED制)和/或作为阻燃性聚酯系膜的DIALAMY(注册商标)(Mitsubishi Plastics,Inc.制)等即可。

并且，在纤维系中，例如也能够通过使用PEI纤维或间位芳族聚酰胺纤维等阻燃纤维来赋予阻燃性。

并且，还能够通过使用铝、镍、钨及铜等金属原材料来赋予阻燃性或不燃性。

尤其，在将本发明的隔音结构体设置在壁上而使用的情况下，最表面成为该板部件。从而，在底部的多孔质吸音层不具有阻燃性/不燃性的情况下，也能够通过板部件具有阻燃性/不燃性而防止整体的燃烧。

并且，中间层部件也通过选择具有阻燃性/不燃性的粘合方法，还能够相对于燃烧具有更高的耐久性。

作为测定这些的方法，有测定JIS K 7201中确定的氧指数的方法或基于UL94标准的燃烧试验的方法等。

由此，能够确定不燃性、阻燃性、自熄性等耐火性的等级。

[耐热性]

担忧隔音特性因伴随环境温度变化的本发明的隔音结构体的结构部件的膨胀伸缩而发生变化，因此构成该结构部件的材质优选耐热性尤其低热收缩的材质。

在作为板部件而使用树脂的情况下，例如优选使用Teijin Tetoron(注册商标)膜SLA(Teijin DuPont Films Japan Limited制)、PEN膜TEONEX(注册商标)(Teijin DuPontFilms Japan Limited制)和/或LUMIRROR(注册商标)离线退火低收缩型(TORAYINDUSTRIES,INC.制)等。并且，也优选使用一般热膨胀率小于塑料材料的铝等金属膜。

[耐候/耐光性]

在屋外或光照射的场所配置有具有本发明的隔音结构体的隔音部件的情况下，结构部件的耐候性成为问题。

因此，在作为板部件而使用树脂的情况下，优选使用特殊聚烯烃膜(ARTPLY(注册商标)(Mitsubishi Plastics,Inc.制))、丙烯酸树脂膜(ACRYPLEN(Mitsubishi RayonCo.,Ltd.制))和/或Scotchcal Film(商标)(3M Company制)等耐候性膜。

并且，通过使用铝等金属原材料也能够赋予相对于紫外线等的耐光性。

关于耐湿性，也优选适当选择具有高耐湿性的板部件。关于吸水性、耐化学性，也优选适当选择适当的板部件。

[垃圾]

在长期的使用中，在板部件表面附着有垃圾，有可能对本发明的隔音结构的隔音特性造成影响。因此，优选防止垃圾的附着或去除所附着的垃圾。

作为防止垃圾的方法，优选使用垃圾难以附着的材质的膜。例如，通过使用导电性膜(FLECLEAR(注册商标)(TDK Corporation.制)和/或NCF(NAGAOKA SANGYOU CO.,LTD.制))等，板部件不带电，由此能够防止由带电引起的垃圾的附着。并且，通过选择如铝等金属原材料，板部件本身具有导电性的板部件，能够防止由静电引起的垃圾的附着。

并且，通过使用氟树脂膜(DI-NOC FILM(商标)(3M Company制))和/或亲水性膜(MIRACLEAN(LIFE CARD CO.,LTD.制)、RIVEX(RIKEN TECHNOS CORP制)和/或SH2CLHF(3MCompany制))，也能够抑制垃圾的附着。而且，通过使用光催化剂膜(LACLEAN(KIMOTO Co.,Ltd.制))，也能够防止板部件的污染。通过将具有这些导电性、亲水性和/或光催化性的喷雾剂和/或包含氟化合物的喷雾剂涂布于板部件，也能够得到相同的效果。

并且，能够进行如下，即通过二氧化硅涂层而形成包括孔内部的亲水性表面，另一方面通过氟涂层而形成疏水性表面，而且通过同时使用这些涂层而形成使得容易一同剥离亲水性污染、疏水性污染的防污涂层。

除了使用如上所述的特殊的材料以外，通过在板部件上设置罩体，也能够防止污染。作为罩体，能够使用薄膜材料(SARAN WRAP(注册商标)等)、具有不通过垃圾的大小的网眼的网状物(金属制、塑料制等)、无纺布、聚氨酯、气凝胶、多孔状的薄膜等。

例如，通过以在板部件上隔开规定距离而覆盖膜的方式配置罩体，能够使得风或垃圾直接撞击到板部件上。

并且，在使用特别薄的膜材料等来作为罩体的情况下，不会贴附于板部件而隔开距离，由此不会阻碍贯穿孔的效果，因此优选。并且，薄的膜材料不具有强烈的膜振动而使声音通过，因此以拉伸薄的膜材料的状态进行固定时容易引起膜振动，因此优选薄的膜材料为被松驰地支撑的状态。

作为去除所附着的垃圾的方法，通过对板部件放射声音，并使板部件强烈振动，由此能够去除垃圾。并且，使用鼓风机或擦拭，也能够得到相同的效果。

[风压]

在强风吹到膜的情况下，板部件成为被挤压的状态，从而有可能使共振频率发生变化。因此，通过在板部件上覆盖无纺布、聚氨酯、纤维材料、网状材料和/或薄膜等，能够抑制风的影响。

本发明的隔音结构体并不限定于上述工业用设备、输送用设备及一般家庭用设备等各种设备中所使用的结构体，也能够用于配置在建筑物的房间内且将房间内隔开的固定隔断结构(分区)等固定壁，配置在建筑物的房间内且将房间内隔开的可动隔断结构(分区)等可动壁中。

如此，通过将本发明的隔音结构体用作分区，能够在进行了间隔断的空间之间良好地屏蔽声音。并且，尤其在可动式分区的情况下，薄而轻的本发明的结构携带容易，因此优点较大。

并且，本发明的隔音结构体通过适当选择吸音体的种类或厚度，例如使用密度小的玻璃棉等，具有光透射性及通气性，因此还能够优选地用作窗部件。

或者，作为防止噪声的用途，也能够用作包围成为噪声源的设备，例如空调室外机或热水器等笼状物。通过适当选择了原材料的本部件包围噪声源，由此能够在确保放热性或通气性的状态下吸收声音，从而防止噪声。为了放热而选择非金属原材料，由此放射得以提高。

并且，也可以用于宠物饲养用笼状物。将本发明的部件应用于饲养宠物的全部或一部分笼状物中，例如通过以本部件替换宠物笼的一个面，能够形成重量轻且具有吸音效果的宠物笼。通过使用该笼状物，能够使笼状物内的宠物免受外部的噪声，并且能够抑制笼状物内的宠物的叫声外漏。

除了上述以外，本发明的隔音结构体还能够用作如下隔音部件。

例如，作为具有本发明的隔音结构体的隔音部件，能够举出：

建筑材料用隔音部件：作为建筑材料用途使用的隔音部件、

空调设备用隔音部件：设置在通风口、空调用导管等，防止来自外部的噪音的隔音部件、

外部开口部用隔音部件：设置在房间的窗户，防止来自室内或室外的噪音的隔音部件、

天花板用隔音部件：设置在室内的天花板，控制室内的声音的隔音部件、

地板用隔音部件：设置在地板上，控制室内的声音的隔音部件、

内部开口部用隔音部件：设置在室内的门、拉门的部分，防止来自各房间的噪音的隔音部件、

卫生间用隔音部件：设置在卫生间内或门(室内外)部，防止来自卫生间的噪音的隔音部件、

阳台用隔音部件：设置在阳台，防止来自自身的阳台或相邻的阳台的噪音的隔音部件、

室内调音用部件：用于控制房间的声音的隔音部件、

简便隔音室部件：能够简便地组装且移动也简便的隔音部件、

宠物用隔音室部件：围绕宠物的房间，防止噪音的隔音部件、

娱乐设施：设置在游戏厅、体育中心、演奏厅、电影院的隔音部件、

施工现场用临时围墙用的隔音部件：覆盖施工现场而防止噪音向周围泄露的隔音部件、

隧道用隔音部件：设置在隧道内，防止向隧道内部及外部泄露的噪音的隔音部件等。

输送设备用隔音部件：汽车及电车等交通工具的车内的隔音部件

吸音面板：用作安装在办公室、会议室、房屋、音乐用房间等的壁而去除杂音，并使声音等所需要的声音清晰的隔音部件。

调音面板：用作安装在音乐用房间、音乐厅等的壁而调整吸音或扩散来使房间的声学性能发生变化的隔音部件。

[模拟1]

接着，示出进行了模拟的研究结果。

具有贯穿孔的板部件按照Maa的式进行了模型化。Maa的式是指，通过“Potentialof microperforated panel absorber.Dah-You Maa.The Journal of the AcousticalSociety of America 104,2861(1998)”等DY Maa示出的板部件的厚度、开口直径及开口率求出板部件的复杂的声阻抗的式。由此，能够在数学上将开设有多个贯穿孔的板部件模型化而进行处理。

另一方面，作为吸音体，玻璃棉通过Delany-Bazley式(DB式)进行了模型化，且聚氨酯通过Biot模型进行了模型化。纳米纤维使用透过流体模型的Limp frame模型进行了模型化。主要对玻璃棉系等纤维系进行研究，通过DB式将单位厚度流动阻力设为20000[Pa·s/m²]而进行了计算。

将这些实际安装在有限元法计算软件COMSOL ver5.2a(COMSOL公司)的声学模块上，并进行了设计和优化。

在上述吸音体的单面与板部件相接的状态下进行研究，并进行了发现板部件的有效条件的研究。通过在声管内配置有上述结构的模型分别求出了透射率和反射率。关于吸收率，将入射声压设为1[Pa]时，设为1-透射率-反射率而求出。

首先，关于频率为2000Hz的声音，相对于几个平均开口直径计算出每一平均开口率的吸收率。另外，吸音体为玻璃棉且厚度为10mm，板部件为铝且厚度为20μm。图22示出平均开口直径20μm、100μm、200μm及300μm的情况下的结果。另外，在图22中，将厚度为10mm的吸音体的玻璃棉表示为“GW10”，将平均开口直径为20μm的板部件的铝表示为“pAl0.02”，平均开口直径为100μm的板部件的铝表示为“pAl0.10”，将平均开口直径为200μm的板部件的铝表示为“pAl0.20”，将平均开口直径为300μm的板部件的铝表示为“pAl0.30”。

如图22所示，在各平均开口直径中存在吸收率成为最大的平均开口率。以下，将在各平均开口直径中吸收率成为最大的平均开口率称为最佳开口率。并且，还将最佳开口率中的吸收率称为最大吸收率。

以2000Hz的频率对各平均开口直径进行这种计算，并求出了最佳开口率及最大吸收率。并且，计算出参数A。

将结果示于表1及表2。并且，图23中示出表示平均开口直径与最大吸收率的关系的图表，图24中示出表示平均开口直径与最佳开口率的关系的图表。

[表1]

从表1、图23及图24可知，最大吸收率在平均开口直径为5μm～50μm时几乎未发生变化，且在直径大于50μm时变小。并且，可知最佳开口率在平均开口直径为100μm左右以上时，直径越大则越大，相对于此，在平均开口直径小于100μm的区域，直径越小则越大。

如上所述，进行了按平均开口直径求出最佳开口率的设计的结果，得知存在加大平均开口直径时最佳开口率变大的区域和缩小平均开口直径时最佳开口率变大的区域。由板部件的贯穿孔引起的吸音特性取决于通过微贯穿孔的声音通过空气的粘性摩擦或热摩擦而被吸收。如本发明在主要平均开口直径为数10μm的区域，在贯穿孔内通过空气的粘性摩擦而产生的粘性层厚度与贯穿孔直径大致一致。因此，使平均开口直径发生变化时存在“粘性层厚度＜平均开口直径/2”的区域和“粘性层厚度＞平均开口直径/2”的区域，从而明确可知根据该区域的不同而相对于平均开口直径的最佳开口率的变化区域被划分。

在平均开口直径大的情况下，声音几乎不会受影响而存在脱落的部分，相对于此，在平均开口直径小的情况下，在整个贯穿孔内由粘性摩擦主导，且为更适合摩擦吸音的区域。因此，在成为“粘性层厚度＞平均开口直径/2”的区域有吸音的优点。将该区域称为“粘性阻力区域”。

在此，粘性层厚度能够在将频率设为f时通过0.22(mm)×√(100(Hz)/f(Hz))的式求出(图25)。

从图25可知频率为2000Hz的情况下的粘性层厚度约为0.05mm。并且，从图24可知频率为2000Hz的情况下的最佳开口率的变化区域被划分的平均开口直径约为100μm。

并且，图26中示出在频率为1000Hz的情况下同样地求出了平均开口直径与最佳开口率的关系的结果。从图25可知频率为1000Hz的情况下的粘性层厚度约为0.07mm。并且，从图26可知频率为1000Hz的情况下的最佳开口率的变化区域被划分的平均开口直径约为140μm。

如此，还通过模拟明确了相对于最佳开口率的行为发生变化的区域被划分的平均开口直径满足“粘性层厚度＝平均开口直径/2”。

另外，关于粘性层厚度的求出方法，能够按照“David T.Blackstock,“fundamentals of physical acoustics”,John Wiley&Sons,2000”的Appendix C进行分析计算。

在对于人类而言在听觉上听起来较大的2000Hz下，粘性层厚度为49μm，且相对应的平均开口直径成为98μm。因此，为了在该频率下得到由粘性阻力区域引起的大的吸收，需要将平均开口直径形成为小于100μm。

为了直至更高频位置成为粘性阻力区域，优选4000Hz下的与35μm的粘性层厚度对应的平均开口直径为70μm以下，更优选8000Hz下的与24.5μm的粘性层厚度对应的平均开口直径为50μm以下，进一步优选12000Hz下的与20μm的粘性层厚度对应的平均开口直径为40μm以下，最优选16000Hz下的与17μm的粘性层厚度对应的平均开口直径为35μm以下。

接着，对平均开口率进行了研究。

如上所述，可知在频率1000Hz及2000Hz下，在平均开口直径大于50μm的区域，最佳开口率成为1％左右，且最佳开口率小。

另一方面，对平均开口直径为50μm以下的区域进行了更详细的研究。图27中示出频率为2000Hz的情况下的平均开口直径与最佳开口率的关系，图28中示出频率为1000Hz的情况下的平均开口直径与最佳开口率的关系。

发现将最佳开口率设为σ_b，并将平均开口直径设为Φ(μm)时，在任意频率下几乎由如下关系表示。

σ_b＝20×Φ^-2

即，明确了最佳开口率与平均开口直径的负平方成比例、即最佳开口率与贯穿孔的开口面积成反比例。并且，明确了此时的系数约为20。

该关系通过贯穿孔的个数N与开口直径的关系来解释。若在一面积S₀的板部件中开口面积S₁的贯穿孔为N个，且以合计面积S₂开设，则为最佳开口率时，根据定义为如下。

σ_b＝S₂/S₀、S₂＝N×S₁

因此，为如下。

σ_b＝N×S₁/S₀

另一方面，根据上述关系式为如下。

σ_b∝Φ^-2∝1/S₁

根据该关系为如下。

N×S₁∝1/S₁

因此，成为如下的关系。

N∝S₁ ^-2

即，存在贯穿孔的个数与贯穿孔的开口面积的负平方(开口直径Φ的-4次方)成比例而数量增加或减少的关系。

如此，成为由σ_b＝20×Φ^-2表示的平均开口率和平均开口直径时为在本发明的结构中吸收变最大的结构。即，参数A为20时吸收变最大。

接着，通过模拟对平均开口率的下限进行了研究。

本发明的目的在于使用吸音体，并组合吸音体与具有贯穿孔的板部件而增加吸收。因此，在组合而成的结果，吸收比原始吸音体单体小的情况下，无法在该频率下实现目的。通常，吸音体的低频侧的吸收小且高频侧具有充分的吸收的情况较多。本发明中增加低频侧的吸收的效果较大，但另一方面，在高频侧欲进行尽量保持原始吸音特性。

从这种观点考虑，关于频率2000Hz、1000Hz及500Hz这3水准，相对于几个平均开口直径，将吸收率与吸音体单体的吸收率大致一致的开口率作为平均开口率的下限(以下，还称为下限开口率)而求出。

将结果示于图29(频率2000Hz)、图30(频率1000Hz)及图31(频率500Hz)。

从图29可知，在2000Hz下，平均开口直径Φ和下限开口率σ_s由如下表示，

σ_s＝5.0×Φ^-2

从图30可知，在1000Hz下，由如下表示，

σ_s＝4.3×Φ^-2

从图31可知，在500Hz下，由如下表示。

σ_s＝3.2×Φ^-2

即，得知在开口率比该开口率小的情况下，比吸音体单体的吸收率低。

因此，平均开口率为σ＝A×Φ^-2时，参数A优选为3.2以上，更优选为4.3以上，进一步优选为5.0以上。同样地，参数A为10以上或15以上，由此能够使得直至更高的高频侧比吸音体单体的吸收率高，因此优选。

接着，通过模拟对平均开口率的上限进行了研究。

增加平均开口率时直接通过板部件的贯穿孔并撞击吸音体的声音的比例变大。因此，平均开口率变大的极限下的吸收率逐渐接近吸音体单体的吸收率。即，使平均开口率比最佳开口率大时吸收率逐渐变小，且在平均开口率大的极限下成为吸音体单体的吸收率。

于是，相对于几个平均开口直径，以吸音体的吸收率为基准，分别求出了在其1.1倍、1.2倍、1.3倍时具有吸收率时的平均开口率。在2000Hz的频率下进行了研究。

图32为，相对于平均开口直径为10μm、20μm、30μm、40μm及50μm，计算了每一平均开口率的吸收率的结果。并且，图32中示出了吸音体单体的吸收率及该吸收率的1.2倍的吸收率。

从图32可知使平均开口率比最佳开口率大时吸收率逐渐变小，且在平均开口率大的极限下逐渐接近吸音体单体的吸收率。

并且，可知相对于各平均开口直径，存在吸收率成为吸音体单体的吸收率的1.2倍的平均开口率。

相对于各平均开口直径，将吸收率成为吸音体单体的吸收率的1.1倍的平均开口率、成为1.2倍的平均开口率及成为1.3倍的平均开口率作为平均开口率的上限(以下，还称为上限开口率)而求出。

将结果示于图33。

从图33得知，上限开口率也按照σ＝A×Φ^-2的形式。具体而言，在以吸音体单体的吸收率的1.1倍作为基准的情况下，平均开口直径Φ和上限开口率σ_t由如下表示，

σ_t＝213×Φ^-2

以1.2倍为基准的情况下，由如下表示，

σ_t＝92×Φ^-2

以1.3倍为基准时由如下表示。

σ_t＝49×Φ^-2

即，得知在平均开口率比该上限开口率小的情况下，吸收率比吸音体单体的吸收率的1.1倍(1.2倍或1.3倍)高。

若对以上进行汇总，则首先关于平均开口直径，直至频率2000Hz落入粘性阻力区域，因此需要小于100μm，且为了更高的高频而优选成为70μm以下、50μm以下、40μm以下、进而35μm以下。

并且，关于平均开口率，能够通过σ＝A×Φ^-2的形式进行范围指定。最佳为A＝20。并且，A的下限为3.2以上，优选为4.3以上、5.0以上、10以上、15以上，上限为92以下，优选为49以下。

作为一例，关于平均开口直径为50μm，且平均开口率为1％(参数A为25)的情况和平均开口率为5％(参数A为125)的情况，求出了频率与吸收率的关系。将结果示于图34。

从图34可知，相对于本发明的范围外的平均开口率为5％(参数A为125)的情况，在本发明的范围内的平均开口率为1％(参数A为25)的情况下，在宽的频率域吸收率高。

接着，通过模拟对如图35所示的结构，隔音结构体依次具有板部件12、吸音体20及壁部件30，且吸音体20与壁部件30隔开规定距离而配置的结构进行了研究。

具体而言，对板部件12的表面与壁部件30之间的距离h₁进行各种变更而计算了频率与吸收率的关系。

图36中示出距离h₁分别为34.3cm、17.1cm、8.5cm及6.9cm的情况下的结果。

如图36所示，在距离h₁为34.3cm的情况下，在500Hz、1000Hz、1500Hz、2000Hz、2500Hz、3000Hz下吸收率极小。这些频率下的波长λ为与满足h₁＝λ/2+n×λ/2的波长对应的频率。

同样地，在距离h₁分别为17.1cm、8.5cm及6.9cm的情况下，也在与满足h₁＝λ/2+n×λ/2的波长对应的频率下吸收率极小。

从以上可知，板部件与壁部件的间隔越小越优选，优选小于35cm，更优选为17.1cm以下，进一步优选为8.5cm以下，尤其优选为6.9cm以下。

实施例

以下，根据实施例对本发明进行进一步详细的说明。以下的实施例所示的材料、使用量、比例、处理内容、处理步骤等在不脱离本发明的宗旨是范围内能够适当进行变更。因此，本发明的范围并不应该通过以下所示实施例而限定性解释。

[实施例1]

＜板部件的制作＞

对于硅基板利用基于光刻的蚀刻法，以规定的排列模式形成了多个直径20μm的圆柱形状的凸部。相邻的凸部之间的中心间距为74μm，排列模式为正方形格子排列。此时，凸部所占的面积比例约为6％。

接着，利用镍电铸法、即电化学反应，以形成有凸部的硅基板为母模并将镍电沉积在硅基板而形成了厚度20μm的镍膜。然后，从硅基板剥离镍膜并进行了表面抛光。由此制作了以正方形格子排列形成有多个贯穿孔的镍制板部件。大小为A4尺寸。

利用SEM及光学显微镜对所制作的膜进行了评价，其结果，平均开口直径为20μm，平均开口率为5.7％，厚度为20μm。并且，还确认到贯穿孔沿厚度方向完全贯穿板部件。参数A为22.8。

＜隔音结构体的制作＞

作为吸音体使用了厚度为10mm(Asahi Fiber Glass Co.,Ltd.制)的玻璃棉。该玻璃棉的单位厚度流动阻力为20000[Pa·s/m²]。流动阻力的测定方法按照“ISO 9053”进行。

将板部件配置于吸音体上而制作了隔音结构体。

[比较例1]

不具有板部件，除此以外，与实施例1相同。即，形成为吸音体单体的结构。

[实施例2～4及比较例2～3]

分别变更了形成于板部件的贯穿孔的平均开口直径及平均开口率，除此以外，制作了与实施例1相同结构的隔音结构体。

实施例2中，平均开口直径为10μm，平均开口率为22.5％。参数A为22.5。

实施例3中，平均开口直径为50μm，平均开口率为1.0％。参数A为25。

实施例4中，平均开口直径为70μm，平均开口率为0.6％。参数A为29.4。

比较例2中，平均开口直径为100μm，平均开口率为0.5％。参数A为50。

比较例3中，平均开口直径为200μm，平均开口率为1.2％。参数A为480。

另外，这些平均开口率为相对于在上述模拟中求出的各平均开口直径的最佳开口率。

[评价]

＜声学特性＞

对所制作的隔音结构体的声学特性，在自制的丙烯酸制声管中使用4个扩音器并通过传递函数法而进行了测定。该方法是按照“ASTM E2611-09：基于传递矩阵法测量声学材料的正常发声声传播的标准测试方法(Standard Test Method for Measurement ofNormal Incidence Sound Transmission of Acoustical Materials Based on theTransfer Matrix Method)”进行的。该测定方法例如为与使用了由Nihon OnkyoEngineering Co.,Ltd.提供的WinZac的4个扩音器测定方法相同的测定原理。在该方法中，能够在宽的光谱带上测定传声损失。尤其，通过同时测定透射率和反射率，并将吸收率作为1-(透射率+反射率)而求出，由此还准确测定了样品的吸收率。在100Hz～4000Hz的范围内进行了传声损失测定。声管的内径为40mm，在4000Hz以上为止能够充分地进行测定。

对应于该声管的尺寸，在直径40mm的圆形上分别对板部件和玻璃棉进行切取加工而配置在声管内。并且，在声管内，隔音结构体配置成板部件侧面向声源侧。

图37中示出关于各实施例及比较例测定了频率与吸收率的关系的结果。另外，在图37所示的图表中，图例由各自的平均开口直径和平均开口率表示。例如，“10um_0.225”的图例为平均开口直径为10μm，平均开口率为0.225(22.5％)的例(实施例2)。

从图37可知，在实施例1及实施例2的平均开口直径为10μm及20μm的情况下的吸收率最大，在实施例3的平均开口直径为50μm的情况下吸收率略微小。并且，在实施例4的平均开口直径为70μm的情况下吸收率比这些小。

另一方面，在比较例2的平均开口直径为100μm的情况下，在宽的频带吸收率低，并且直至频率4000Hz的吸收率斜率与实施例不同。并且，在比较例3的平均开口直径为200μm的情况下吸收率更小。

如上所述，形成在板部件的微贯穿孔的平均开口直径和平均开口率存在最佳组合。从图37可知，对该最佳条件彼此进行比较时平均开口直径小的情况下具有宽频带的吸收。

[实施例5～实施例7]

接着，关于板部件的声源方向的配置和设置张数进行了研究。测定中所使用的声管的粗细成为直径15mm，由此能够测定至更高的高频侧(～12000Hz)。

使用实施例1的板部件和吸音体，将板部件位于声源侧的情况作为实施例5(透射配置_表面)，将声源位于相反一侧的情况作为实施例6(透射配置_背面)。并且，将板部件设置在吸音体的两面的情况作为实施例7(透射配置_两面)。

将各自的测定结果示于图38。

与实施例5～实施例7进行比较时，与板部件位于声源侧的情况相比，板部件位于与声源相反的一侧的情况和位于两面的情况下的吸收率更大。

通过将板部件配置于与声源相反的一侧，产生由微贯穿孔引起的吸收，并且在该板部件部分产生反射。认为通过该反射波干扰入射波而产生由吸音体内部的声学干渉效果引起的声压的强化，且还产生了增加吸音体中的吸收量的效果。即，认为板部件作为吸收体而发挥功能，并且还作为弱的反射壁而发挥功能。

[模拟2]

接着，关于具有壁部件的结构，通过模拟进行了研究。

壁部件作为刚体壁而被模型化，除此以外，以与模拟1相同的方式进行了模型化。并且，吸音体的厚度为20mm，且壁部件与吸音体相接。

在该情况下，通过刚体壁而透过音全部反射，因此根据反射率求出了被定义成吸收率＝1-反射率的吸收率。

在此，与吸音体单体相比，附在壁部件的吸音体能够利用由来自壁的反射引起的干渉效果，因此高频侧的吸音容易变高。因此，可求出低频侧的吸音。而且，对与模拟1相比厚度成倍的吸音体进行了研究，因此作为对象的频率1000Hz，求出其吸收率变最大的最佳开口率而计算出参数A。

将结果示于表2。

[表2]

[实施例8～实施例12及比较例4～比较例6]

根据在上述模拟2中求出的最佳开口率制作了具有满足各自的最佳条件的平均开口直径和平均开口率的贯穿孔的镍膜(板部件)。镍膜的厚度为20μm。将所制作的镍膜配置于厚度为20mm的玻璃棉(吸音体)上，并在与玻璃棉的相反一侧的表面配置厚度为10cm的铝板(壁部件)而制作了隔音结构体。

另外，实施例8中，平均开口直径为10μm，平均开口率为17.3％。参数A为17.3。

实施例9中，平均开口直径为15μm，平均开口率为7.7％。参数A为17.3。

实施例10中，平均开口直径为20μm，平均开口率为4.5％。参数A为18。

实施例11中，平均开口直径为30μm，平均开口率为1.9％。参数A为17.1。

实施例12中，平均开口直径为50μm，平均开口率为0.7％。参数A为17.5。

比较例4中无板部件。

比较例5中，平均开口直径为100μm，平均开口率为0.2％。参数A为20。

比较例6中，平均开口直径为200μm，平均开口率为0.2％。参数A为80。

关于所制作的隔音结构体，通过由使用了声管的麦克风双端传递函数法引起的吸音率测定法进行了吸音率的测定。该方法按照ISO 10534-2进行。声管内径能够根据所测定的频率适当选择，在测定至4000Hz的情况下使用了内径为40mm的声管，在测定至12000Hz的情况下使用了内径为15mm的声管。在声管的一个端部配置有扬声器，在另一个端部配置有上述厚度为10cm的铝板来作为完全反射端。以与该铝板相接的形式，将吸音体配置于声管内部，并以与该吸音体相接的形式配置板部件。即，从扬声器发送的声音入射到以板部件-吸音体-壁的顺序配置的测定对象，并通过两个麦克风获取该反射率。通过该方法，能够测定吸音率来作为“1-反射率”。

将测定了频率与吸收率的关系的结果示于图39及图40。另外，在图39及图40中图例由平均开口直径表示。例如，“φ10um”的图例为平均开口直径10μm的例(实施例8)。

从图39及图40可知，平均开口直径越大则目标频率下的吸音率越大，但其他频率下的吸音率明显降低。尤其，在测定至12000Hz为止的高频的情况下，平均开口直径为100μm(比较例5)及200μm(比较例6)的情况下的吸音率均小于10％，原始吸音体(比较例4)所具有的高频侧的宽频带吸音特性会丧失。

另一方面，可知在平均开口直径为10μm(实施例8)、15μm(实施例9)、20μm(实施例10)、30μm(实施例11)及50μm(实施例12)的情况下，与原始吸音体的吸音率相比，能够一边提高低频侧的吸音率，一边还保持高频侧的吸音率。尤其，在平均开口直径为20μm以下的情况下在高频侧成为相对于频率基本上平坦的吸音特性。

在平均开口直径为100μm、200μm而较大的情况下，最佳开口率成为极小值。因此，根据各个贯穿孔的开口直径大和开口率小的情况，贯穿孔彼此分离而配置。此时，相对于各个贯穿孔存在大的背面体积。因此，认为与贯穿孔的性质，更显现由所谓的亥姆霍兹共振的峰值吸音的特性。亥姆霍兹共振为由各贯穿孔和与该各贯穿孔对应的背面体积引起的LC共振，因此在各贯穿孔彼此的距离大，且相对应的背面体积也大的情况下容易产生。此时，认为目标频率通过共振的性质而强烈吸收，但作为除了共振以外的频率的其他频率会反射，因此位于其背后的吸音体的效果小。

为了特异地吸收特定声音，有利用亥姆霍兹共振体或膜共振器、气柱共振的选择项。另一方面，如本发明欲利用吸音体的宽频带吸音特性的同时增强吸收的情况下，需要通过配置具有微贯穿孔的板部件而在低频侧扩散吸收，并且还需要留住由吸音体引起的高频侧的吸音特性。因此，可知大的平均开口直径即100μm以上时不适合该目的而需要使用小于100μm的平均开口直径。

[实施例13～实施例14]

对吸音特性根据将板部件配置于吸音体的哪一位置而如何发生变化进行了研究。

作为板部件，使用了实施例10的板部件(平均开口直径为20μm，平均开口率为4.5％)。

相对于厚度为20mm的吸音体，分别制作在将板部件配置在最表面的结构(与实施例10相同)、距壁部件10mm(中央部)的位置(实施例13)、落入最表面和中央部这两者的情况(实施例14)，并测定了频率与吸音率的关系。将结果示于图41。

从图41可知，在配置在最表面的情况下低频侧的吸收率变大，但在仅落入中间层的情况下，向低频侧扩散，并且高频侧的吸收率也几乎不会降低。因此，根据隔音目标，能够适当选择配置。

[实施例15～实施例17]

将板部件的厚度分别形成为10μm(实施例15)、30μm(实施例16)及40μm(实施例17)，除此以外，制作与实施例10(板部件厚度为20μm，图42中为“Φ20μm”)的板部件相同的板部件，从而制作了隔音结构体。

板部件的厚度能够通过变更进行镍电铸法的时间来调整。

关于所制作的各隔音结构体，测定了频率与吸音率的关系。将结果示于图42。

从图42可知，在任意实施例中相对于吸音体单体的吸音率在低频侧吸音率均得以增加。板部件的厚度小时在高频侧将吸音率保持较大，另一方面在板部件的厚度大时低频侧的吸音率变高。

[实施例18～实施例20]

接着，为了在更大面积的板部件形成微贯穿孔，并且为了将随机模式排列的贯穿孔形成为大面积，在利用铝的表面特性形成氧化铝和氢氧化铝之后通过进行蚀刻的工艺，将具有微贯穿孔的板部件形成为大面积。具有这种贯穿孔的铝箔能够参考国际公开WO2016/060037号及国际公开WO2016/017380号中所记载的制作方法来制作。

相对于厚度为20μm的铝箔，制作了形成有平均开口直径为20μm且平均开口率为5.7％的贯穿孔的板部件。通过卷对卷工序制作了样品尺寸的宽度为420mm且长度为100m的辊。

通过这种制作方法形成的贯穿孔的配置完全不具有周期性而通过随机配置形成。

将所制作的板部件适当切取成合适的尺寸而制作隔音结构体，并进行了测定。

首先，作为实施例18～实施例20，将板部件变更为在上述铝箔开设有微贯穿孔的部件，除此以外，制作与实施例5～7相同的隔音结构体，并测定了频率与吸收率的关系。将测定结果示于图43。如图43所示，得到了与实施例5～实施例7相同的结果。认为其原因为如下，即声音的吸收通过微贯穿孔内的空气部分的粘性摩擦而产生，因此只要为能够无视板部件的振动的程度则并不取决于板部件的材质。

并且，声音的波长大，因此即使贯穿孔的排列如实施例5～实施例7为周期性模式，或者如实施例18～实施例20为随机模式，也几乎不存在对声学特性的影响。因此，关于通过具有周期性排列模式的贯穿孔的板部件的测量得到的声学特性，在使用了具有随机模式排列的贯穿孔的板部件的情况下也得到相同的声学特性。

[实施例21及比较例7]

作为板部件而使用在实施例18中制作的板部件(平均开口直径为20μm，平均开口率为5.7％，随机配置，材质：铝)，除此以外，作为与实施例10相同的结构制作了隔音结构体(实施例21)。

并且，比较例7中无板部件。即，为作为吸音体的厚度为20mm的玻璃棉单体设置在刚壁上的情况下的测定。

另外，将声学测定中所使用的声管的直径设为40mm，并对应于其而适当调整了样品尺寸。

关于所制作的隔音结构体，测定了频率与吸音率的关系。将结果示于图44。

[实施例22及比较例8]

将玻璃棉的厚度设为15mm，除此以外，以与实施例21及比较例7相同的方式制作隔音结构体，并测定了频率与吸音率的关系。将结果示于图45。

[实施例23及比较例9]

将玻璃棉的厚度设为10mm，除此以外，以与实施例21及比较例7相同的方式制作隔音结构体，并测定了频率与吸音率的关系。将结果示于图46。

[实施例24及比较例10]

作为玻璃棉，使用单位厚度流动阻力为10000[Pa·s/m²]且厚度为20mm的玻璃棉，除此以外，以与实施例21及比较例7相同的方式制作隔音结构体，并测定了频率与吸音率的关系。将结果示于图47。

如图44～图47所示，从实施例21～实施例24与比较例7～比较例10的对比发现，在任意情况下，以低频侧为中心而与玻璃棉单体相比吸收率得以提高的效果。即，即使为贯穿孔的配置为无规则的铝箔，也同样地能够确认到吸音效果的提高。

[实施例25]

接着，按照上述文献而变更制作条件，由此制作了具有如下述表3所示的平均开口直径和平均开口率的贯穿孔的铝膜(厚度为20μm)。将这些分别通过与实施例23相同的方式，配置于厚度10mm的玻璃棉(单位厚度流动阻力为20000[Pa·s/m²])上，并进行了吸音率的测定。表3中示出参数A、1000Hz、2000Hz及3000Hz下的吸音率。比较例9为无板部件的情况下的测定。

[表3]

从表3所示的结果可知，在各种各样的水准下尤其能够得到低频侧的吸音率的提高效果。尤其，如图48所示，得知平均开口直径小且平均开口率也小时低频侧的吸收率的增加效果大(图48中的“φ20”与实施例23对应，“φ16”与实施例23-2对应)。但是，平均开口直径小且平均开口率也小时高频侧的吸音率变小，因此需要根据目的适当选择。

[实施例26、参考例1及比较例10]

作为实施例26，板部件使用与实施例18相同的结构(平均开口直径为20μm，平均开口率为5.7％，随机配置，材质：铝)，作为吸音体替代玻璃棉而使用聚氨酯(HIKARI CO.,LTD.制低反弹聚氨酯板KTHU-1010)而制作了与实施例1相同的隔音结构体。聚氨酯的厚度为10mm。

参考例1中为板部件单体。

比较例10中为聚氨酯单体。

关于测定，与实施例1相同，使用4个麦克风并通过传递函数法而测定了吸收率。

关于所制作的隔音结构体，测定了频率与吸收率的关系。将结果示于图49。另外，在图49中图例的“UT+pAl”表示组合了聚氨酯与板部件的实施例26，“pAl”表示板部件单体的参考例1，“UT”表示聚氨酯单体的比较例10。

从图49可知，在作为吸音体而使用了聚氨酯的情况下，也能够通过载置具有微贯穿孔的板部件而增加吸音率。

接着，对实施例26、参考例1及比较例10的隔音结构体进行臭氧暴露试验而检查了臭氧耐久性。臭氧暴露试验在臭氧浓度为10ppm，暴露时间为48小时，温度为40度，湿度为60％的条件下进行。这与在室内环境下5年间的臭氧暴露对应。

分别测定暴露试验后的样品的吸音率，并与试验前进行了比较。图50中示出参考例1(板部件单体)的结果，图51中示出比较例10(聚氨酯单体)的结果，图52中示出实施例26(在聚氨酯上配置板部件)的结果。

如图51所示，在聚氨酯单体的比较例10中臭氧暴露试验后吸收率大幅降低。另一方面，在聚氨酯上配置有板部件的隔音结构体即实施例26中，在试验前后大幅抑制了吸收率的变化。即，得知通过板部件的效果而吸音率得以提高，并且发挥从臭氧屏蔽吸音体的效果，因此耐久性也会大幅提高。

在紫外线暴露下进行相同的试验，从而得到由相同的紫外线屏蔽效果引起的耐久性提高的结果。

[实施例27、比较例11及比较例12]

实施例27中，作为吸音体替代玻璃棉而使用了聚氨酯(Fuji Gomuco.ltd.U0016)，除此以外，制作了具有与实施例21相同的壁部件的隔音结构体(板部件使用与实施例21相同的结构(平均开口直径为20μm，平均开口率为5.7％，随机配置，材质：铝))。聚氨酯的厚度为20mm。

比较例11中为聚氨酯单体。

比较例12中，作为板部件使用了通过冲压法形成且具有平均开口直径为350μm，开口率为17％的贯穿孔的厚度为20μm的铝膜，除此以外，形成为与实施例27相同的结构。

关于测定，与实施例21相同，利用由麦克风双端引起的传递函数法测定了吸音率。

关于所制作的隔音结构体，测定了频率与吸音率的关系。将结果示于图53。另外，图53中，图例的“UT+pAl_20um”表示组合了聚氨酯与具有平均开口直径为20μm的贯穿孔的板部件的实施例27，“UT”表示聚氨酯单体的比较例11，“UT+pAl_350um”表示组合了具有平均开口直径为350μm的贯穿孔的板部件和聚氨酯的比较例12。

从图53所示的结果可知，实施例27相对于聚氨酯单体的比较例11吸音率大幅提高。另一方面，在将具有平均开口直径为350μm的贯穿孔的板部件配置在聚氨酯的比较例12的情况下，吸音率几乎未得以提高。

[评价2]

＜视觉辨认性＞

接着，关于在实施例1中制作的镍膜(贯穿孔为周期性结构排列)和在实施例18中制作的铝膜(贯穿孔为无规则排列)进行贯穿孔的视觉辨认性的评价。

具体而言，如图54所示，将板部件12载置于厚度为5mm的透明亚克力板T上，且在从透明亚克力板T的主面向与板部件12相反的方向垂直隔开50cm的位置配置有点光源L(Nexus5(LG ELECTRONICS INC.制)的白光)。并且，在从板部件12的主面垂直隔开30cm的位置配置有相机C(iPhone5s(注册商标Apple Inc.))。

点亮点光源，并从相机的位置通过肉眼观察对透射板部件12的贯穿孔的光进行了评价。

接着，用相机拍摄了透射光。确认到所拍摄的结果与肉眼观察的情况相同。

图55中示出镍膜的拍摄结果，图56中示出铝膜的拍摄结果。

如前述，在实施例1中制作的镍膜中，有规则地排列有贯穿孔。因此，如图55所示，贯穿孔被规则地排列。因此，如图56所示，看到通过光的衍射而彩虹色扩散。另一方面，在实施例18中制作出的铝膜中，贯穿孔被无规则地排列。因此，如图56所示，无光的衍射而白色光源保持原样。

[实施例28]

使用了下述板部件，除此以外，以与实施例1相同的方式制作隔音结构体而测定了吸音特性。

作为板部件，制作了网眼开口部的大小为20μm×20μm且开口率为5.7％的织布。原材料使用了PET。厚度为20μm。控制了相同的开口部或厚度的织布例如能够通过Marian公司的SEFAR Acoustic HF系列而选择。

测定吸音特性的结果，与实施例1相同而得到了吸收率的增加效果。

[实施例29]

使用了下述板部件，除此以外，以与实施例10相同的方式制作隔音结构体而测定了吸音特性。

作为板部件，制作了网眼开口部的大小为20μm×20μm，开口率为5.7％且厚度为20μm的织布。原材料使用了PET。

测定吸音特性的结果，与实施例10相同而得到了吸收率的增加效果。

[实施例30]

使用了下述吸音体，除此以外，以与实施例10相同的方式制作隔音结构体而测定了吸音特性。

作为吸音体，使用了沿厚度方向压碎吸音毡“DORIX.,CO.LTD.Fermenon”而调整了流动阻力值且厚度为20mm，单位厚度流动阻力值为20000[Pa·s/m²]的毡。毡也与玻璃棉相同而为纤维系，且能够进行按照Delany-Bazley式的吸音模型化。并且，测定上述条件的毡单体的结果，得到了与相同厚度/流动阻力的玻璃棉相同的吸音特性。

测定吸音特性的结果，与实施例10相同，能够得到增加低频侧的吸音率的吸音特性。

[模拟3]

为了确认中间部件的效果，使用COMSOL进行了有限元法模拟。

首先，通过背面未闭合的配置进行了研究。以与模拟1相同的方式，使用了按照Maa模型的贯穿孔模型和按照DB式的多孔质吸音体模型。

形成了最表面具有贯穿孔径为20(μm)，开口率为5.7％，厚度为20(μm)的贯穿孔的板部件。最背面作为玻璃棉等的多孔质吸音体，单位厚度流动阻力为20000(Pa·s/m²)，厚度为10(mm)。对在其中间作为中间部件配置有厚度为100μm的流动阻力部件的系统进行研究，并改变了该流动阻力。

将流动阻力从1(Pa·s/m)改变为500(Pa·s/m)。即，与将中间部件的单位厚度流动阻力从10000(Pa·s/m²)改变为5000000(Pa·s/m²)的情况相等。将这些与多孔质吸音体单体的情况及仅重叠有板部件和多孔质吸音体的系统进行了比较。

根据计算结果将4kHz下的吸收率(1-反射率-透射率)示于图57。图58中示出进行了模拟的模型的示意图。图58中，符号22为中间部件。

从图57可知，在中间部件的流动阻力为500(Pa·s/m)而较大的情况下，吸收率变小。其原因为，由于中间部件的流动阻力变得过大而声音难以通过，且反射变得过大。中间部件的流动阻力为200(Pa·s/m)以下时吸收变大，100(Pa·s/m)以下时吸收进一步变大，10(Pa·s/m)以下时吸收进一步变大，5(Pa·s/m)以下时吸收与仅重叠有板部件和多孔质吸音体的系统几乎相同。

如此，可知在插入到中间部件的情况下也能够得到与重叠有板部件和多孔质吸音体的效果相同的效果。

[模拟4]

接着，通过具有中间部件，且背面被闭合的配置进行了研究。将与模拟3相同的多层结构且最背面的多孔质吸音体的背面通过刚体被闭合的结构模型化而进行了计算。

根据计算结果将4kHz下的吸音率(1-反射率)示于图59。图60中示出进行了模拟的模型的示意图。

从图59可知，背面被闭合的配置中的吸音率也表示与模拟3相同的行为。即，中间部件的流动阻力为200(Pa·s/m)以下吸收变大，100(Pa·s/m)以下时吸收进一步变大，10(Pa·s/m)以下时吸收进一步变大，5(Pa·s/m)以下时吸收与仅重叠有板部件和多孔质吸音体的系统几乎相同。

如此，在背面被闭合的情况下插入到中间部件的情况下也能够得到与重叠有板部件和多孔质吸音体的效果相同的效果。

图61中示出了通过模拟4计算的吸音率的频谱。从图61可知，即使存在中间部件，吸音率的宽频带特性也几乎不会改变，且与仅为多孔质吸音体的情况相比得到了大的吸音率。

[模拟5]

接着，将吸音体的厚度设为20mm，除此以外，以与模拟4相同的方式进行了计算。即，在模拟5中，具有中间部件，且以背面闭合的配置并通过吸音体的厚度为20mm的模型进行了计算。

根据计算结果将2kHz下的吸音率(1-反射率)示于图62。

从图62可知，吸音体的厚度厚的情况下的吸音率与中间部件的流动阻力的关系在模拟3及4相同。

如上所述，可知即使在板部件与吸音体之间存在流动阻力部件(中间部件)也能够确保由表面的板部件引起的吸音效果。

通过以上明确了本发明的效果。

符号说明

10-隔音结构体，11-铝基材，12-板部件，13-氢氧化铝皮膜，14-贯穿孔，20-吸音体，22-中间部件，30-壁部件。

Claims (14)

1.一种隔音结构体，其具有：

板部件，具有沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔；及

吸音体，与所述板部件的一个主面相接而配置，

所述贯穿孔的平均开口直径为0.1μm以上且小于100μm，

将所述贯穿孔的平均开口直径设为Φ，且将平均开口率设为σ时，由A＝σ×Φ²表示的参数A为92以下，

所述Φ的单位为μm，

至少一部分的所述贯穿孔的形状为在所述贯穿孔的内部成为最大直径的形状。

2.根据权利要求1所述的隔音结构体，其中，

所述板部件为具有多个贯穿孔的板状部件。

3.根据权利要求1所述的隔音结构体，其中，

所述板部件为纤维状部件。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的隔音结构体，其中，

所述参数A为3.2以上且92以下。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的隔音结构体，其中，

在所述吸音体的与所述板部件相反的一侧具有壁部件，

所述吸音体与所述壁部件以至少一部分相接的状态配置。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的隔音结构体，其具有壁部件，

将作为隔音对象的声音的频率波长设为λ时，在与所述壁部件距离λ/4的位置存在所述板部件及所述吸音体中的至少一者。

7.根据权利要求5所述的隔音结构体，其中，

将作为隔音对象的声音的频率波长设为λ时，在与所述壁部件距离λ/4的位置存在所述板部件。

8.根据权利要求5所述的隔音结构体，其中，

所述板部件、所述吸音体及所述壁部件作为一体化的单元结构形成。

9.根据权利要求8所述的隔音结构体，其中，

所述吸音体的表面中，不与所述壁部件相接的表面中的至少一个面与所述板部件相接。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的隔音结构体，其中，

相对于作为隔音对象的噪声源，吸音体配置于最表面。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的隔音结构体，其具有2个以上的所述板部件，

在所述吸音体的2个以上的面配置有所述板部件。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的隔音结构体，其中，

所述板部件与所述吸音体交替层叠。

13.根据权利要求1至3中任一项所述的隔音结构体，其中，

在所述板部件与所述吸音体之间配置有具有通气性的中间部件。

14.根据权利要求13所述的隔音结构体，其中，

所述中间部件为网状部件或无纺布部件。

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