CN1103743C - 采用离子交换树脂处理废水的方法和装置 - Google Patents

采用离子交换树脂处理废水的方法和装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1103743C
CN1103743C CN96109994A CN96109994A CN1103743C CN 1103743 C CN1103743 C CN 1103743C CN 96109994 A CN96109994 A CN 96109994A CN 96109994 A CN96109994 A CN 96109994A CN 1103743 C CN1103743 C CN 1103743C
Authority
CN
China
Prior art keywords
water
exchange resin
ion exchange
tank
treated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN96109994A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1146977A (zh
Inventor
山崎和幸
滨口喜弘
松本茂树
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Publication of CN1146977A publication Critical patent/CN1146977A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1103743C publication Critical patent/CN1103743C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/42—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J47/00—Ion-exchange processes in general; Apparatus therefor
    • B01J47/10—Ion-exchange processes in general; Apparatus therefor with moving ion-exchange material; with ion-exchange material in suspension or in fluidised-bed form
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J49/00—Regeneration or reactivation of ion-exchangers; Apparatus therefor
    • B01J49/10—Regeneration or reactivation of ion-exchangers; Apparatus therefor of moving beds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J49/00—Regeneration or reactivation of ion-exchangers; Apparatus therefor
    • B01J49/10—Regeneration or reactivation of ion-exchangers; Apparatus therefor of moving beds
    • B01J49/16—Regeneration or reactivation of ion-exchangers; Apparatus therefor of moving beds containing cationic and anionic exchangers in separate beds
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S210/00—Liquid purification or separation
    • Y10S210/90—Ultra pure water, e.g. conductivity water

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Water Treatment By Sorption (AREA)
  • Biological Treatment Of Waste Water (AREA)
  • Removal Of Specific Substances (AREA)

Abstract

本发明提供了一种处理后的水可用作超纯水生产装置原水，而无需添加各种化学物质的水处理装置。该装置包括一个接收碱水或酸水的第一水池，一个对来自第一水池的废水进行固-液分离的第二水池，一个装有离子交换树脂和曝气管的离子交换塔，一个沉淀离子交换树脂的沉淀池，一个将离子交换树脂从沉淀池输送的第一水池的空气提升泵，一个将离子交换树脂从第二水池返回到离子交换塔到返回空气提升泵。离子交换树脂与处理水中的氟离子在离子交换塔中进行离子交换，并在第一水池中用酸性废水对其进行再生。

Description

采用离子交换树脂处理废水的方法和装置
本发明涉及一种水处理方法和装置，更具体地说，本发明涉及一种采用离子交换树脂处理来自半导体车间的酸性废水或碱性废水的方法和装置。
通常，来自半导体车间的酸性废水都是通过采用各种各样的化学物质来处理的，处理后的水直接排放，不能循环使用。使处理后的水不能循环使用的原因是处理后的水电导率很高，因而不能被循环。
至今为止，大多数超纯水生产系统使用的离子交换树脂都不能循环使用，而作为工业废物废弃掉。下面进一步详细描述已有技术。
在各种半导体车间产生的废水中，数量最多的是酸性废水。因为半导体车间要大量使用酸，因而酸性废水中含有使用过的酸，例如氟酸、硫酸和硝酸。至今为止，处理酸性废水都是通过使用大量的化学物质对废水中所含的F-和SO4 2-等物质进行混凝沉淀，即对它们进行化学处理，上述化学物质可以是例如熟石灰、苛性钠、硫酸、聚氯化铝和聚合物混凝剂。因此，处理这种酸性废水得到的处理后水的电导率都比较高，也就是说，在1400-1900μs/cm的量级上。考虑到通常城市水或工业水的电导率在100-400μs/cm的量级，因此不难看出从这种酸性废水得到的处理后水的电导率是相当高的。“城市水”这一术语表示饮用水或自来水。
用这种方式，由于大量使用熟石灰、聚氯化铝和聚合物混凝剂处理酸性废水，处理后水的电导率高，且溶解盐的含量也高，并含有大量的阳离子或阴离子。结果使这种处理后的水不能被循环使用。
进一步，当将处理后的水输送到超纯水生产装置时，由于处理后水中含有混凝剂，它会附着在离子交换树脂表面上，使超纯水生产装置的生产能力降低，或堵塞反渗透(RO)膜。因而不能循环使用处理后的水。
通常，在半导体车间，含氟酸性废水中氟的浓度经常在30-300ppm的数量级上。传统的作法是，对这种浓度的含氟废水加入如熟石灰和聚氯化铝这样的化学物质，使其生成氟化钙和氟化铝的细小絮凝体。然后，通过加入聚合物混凝剂使之变成大的絮凝体，然后再对絮凝体进行沉淀分离。用这种方式，可以除去废水中的氟。如上所述由于使用了化学物质，处理后水的电导率都比较高，在1400-1900μs/cm的量级上。
图4表示的是半导体车间的常规用水系统，它包括一个用两步混凝沉淀法处理废水的设备。如图所示，来自半导体车间100的酸性废水首先流入原水池101，在这里根据废水量和水质进行适当的调节。之后，通过原水泵112将酸性废水输送到第一反应池102中。
然后，在第一反应池102中加入熟石灰，通过一个搅拌器113进行搅拌，使废水与熟石灰进行反应。在这之后，在第一反应池102中，使氟与钙反应生成氟化钙。这样便可以从废水中除去氟。然后将废水转移到装有铝处理剂的第二反应池103，通过搅拌进行反应。在第二反应池103中，废水中未反应的氟与铝处理剂进行反应，生成氟化铝。这样可进一步从废水中除去氟。
接下来，将废水转移到第一混凝池104，并加入聚合物混凝剂。随后，第一反应池102中反应生成的氟化钙的细小絮状体和第二反应池103中反应生成的氟化铝的细小絮状体被混凝成大絮状体。然后将废水引入第一沉淀池105，在这里对废水进行固-液分离。
单独采用上述步骤，废水氟的浓度不能降低到不大于15ppm的目标水质。因此，需要依次将废水输送到第三反应池106、第二混凝池107和第二沉淀池108中，此后，废水进一步流过一个pH值调节池109，使废水的pH值达到排放标准。只有在废水的pH值被调节后，才能排放废水。通过刮泥板114分别收集第一和第二沉淀池中的沉淀污泥，并将它们输送到浓缩池110中。再通过一个刮泥板114收集浓缩池110中的污泥，并将它们输送到一个压滤机111中进行脱水。
同时，对水质较好的中性废水，例如：半导体车间中仅用于进行清洗的纯水进行循环。也就是说，将中性废水引入超纯水生产装置115，在该超纯水生产装置115中对废水进行各种处理，之后将中性废水回流到半导体车间用作超纯水。如图4所示，除了来自工业装置的中性废水以外，还在超纯水生产装置中引入城市水或工业水，以便与中性废水相混合。用这种方式来生产超纯水然而，如上所述，通常不能循环使用酸性废水。
日本的少数半导体车间装配有能够循环使用酸性废水的全封闭系统。在装有这种全封闭系统的车间中，一般的作法都是在稀酸废水经过活性炭过滤器除去有机物和/或过氧化氢之后，使废水流过弱阴离子交换树脂床和阳离子交换树脂床进行处理，然后再进一步进行紫外线(UV)消毒和其它微生物杀菌处理。
日本专利特开昭63-62592中描述了另一种水处理方法，其中，酸性废水能被重复使用。该方法是在废水经过活性炭过滤器处理后，在一个由强酸阳离子交换树脂和弱碱阴离子交换树脂组成的混合床树脂塔中对废水进行处理。经过这种处理后，可将废水转化成超纯水进行重复使用。
上述两种水处理方法中都使用了离子交换树脂。因此，这两种方法都有需要再生离子交换树脂的缺点，并且当离子交换树脂的性能变坏时，必须更换和废弃性能变坏的离子交换树脂。
此外，一般采用上述两种水处理方法的作法是，不能在任何要循环的稀酸废水中加入强酸废水，而是将它独立储存在一个储罐中，由另一个公司收集。
因此，需要发明一种装置和方法处理这种废水，使得强酸废水能够重复利用。
参见图5，下面对上述两种水处理方法中，采用阳离子交换树脂塔125作为离子交换树脂装置的实例进行说明。阳离子交换树脂塔125中装有预定量的阳离子交换树脂。待处理水按规定的量从顶部入口125A流入阳离子交换树脂塔125中。当从阳离子交换树脂塔125出口125C流出的处理后水的电导率不合适时，从底部进口125B向阳离子交换树脂塔125通入几个百分比的盐酸或硫酸，以再生阳离子交换树脂。在阳离子树脂再生之后，用过的再生废液(盐酸或硫酸)从阳离子交换树脂塔125的顶部出口125D排走。
通常，工业水或城市水不能直接流入组成超纯水生产装置的阳离子交换树脂塔125，但是当这种水经过图5所示的预处理装置预处理后，则可以通入阳离子交换树脂塔125。可以单独采用或联合采用下列方法进行预处理，如：混凝沉淀、混凝过滤、炭吸附和反渗透膜处理。
用这种方式，将经过预处理的、水质改善了的工业水或城市水输送到阳离子交换树脂塔125或超纯水生产装置中。因此，要在较好的条件下使用阳离子交换树脂塔125。换句话说，应向阳离子交换树脂塔125通入水质较好或预处理到较好水质的水。通常的作法是，当从阳离子交换树脂塔125出口排出水的水质不合适时，立即再生阳离子交换树脂，如果再生仍不能使水质得到改善，那么就说明这些阳离子交换树脂已不适用于超纯水生产装置，为了生产必须全部更换。
半导体车间无一例外地都装配有如图5所示的大型离子交换树脂单元。超纯水生产装置中装有大量的阳离子交换树脂。当阳离子交换树脂本身的离子交换性能变坏时，通常不管其成本有多大，都将这些树脂作为工业废物处置掉。原因是如果阳离子交换树脂性能变坏，不但产水量减少了，而且还会出现有机物从阳离子交换树脂中洗提出来的问题。然而，这并不意味着树脂全部失去了其离子交换能力，而表示树脂的离子交换性能变坏了。
然而，虽然情况如此，当其性能变坏时，通常的作法是不再使用这种阳离子交换树脂，而是把它们作为工业废物花费必需的处置费用处置掉。用过的离子交换树脂是一种工业废物，在任何水质低于上述超纯水生产装置的循环单元中也决不能再重新使用它。
如上所述，当用大量的化学试剂处理来自半导体车间的酸性废水时，处理后水的电导率高达1400-1900μs/cm的量级。在这个意义上，处理后的水不适宜用作超纯水生产装置的原水。
目前，现有的几个半导体厂都是采用全封闭系统。然而，实际情况是只有通过离子交换树脂或类似方法处理稀的酸性废水，这种废水才能被循环使用。而决不能循环使用稀的酸性废水和强酸废水混合在一起得到酸性废水混合物。
此外，从来都不会循环使用性能变坏的离子交换树脂，这些性能变坏的离子交换树脂作为工业废物从超纯水生产装置中废弃掉。
当阳离子交换树脂塔125使用阳离子交换树脂时，用过的离子交换树脂必须进行化学再生。因此，单独使用一个树脂塔，不能连续运行。所以为了再生离子交换树脂，分别需要特殊的化学试剂(再生液)。与该方法相配合的是，在再生液流过离子交换树脂后，还必须进行中和处理。这又产生了中和处理运行费用的问题。
因此，本发明的一个目的是提供一种水处理方法和装置，该方法和装置能够处理在过去不能被循环的强酸废水和稀酸废水的混合废水(或强碱废水与稀碱废水的混合废水)，处理后的水无需添加各种化学试剂，便可用作超纯水生产系统的原水。
本发明的另一个目的是提供一种废水处理方法和装置，该方法和装置能够有效地循环使用用过的通常作为工业废物废弃掉的离子交换树脂。
为了实现这些目的，根据本发明，废水处理方法包括以下步骤：
在第一水池中引入碱水或酸水；
在离子交换树脂塔中引入含有阴离子或阳离子的水，用阴离子交换树脂或阳离子交换树脂对水中的阴离子或阳离子进行离子交换处理，从而得到处理后的水；
在第一水池中引入离子交换塔中的阴离子交换树脂或阳离子交换树脂，用碱水或酸水对阴离子交换树脂或阳离子交换树脂进行再生；和
将在第一水池再生后的阴离子交换树脂或阳离子交换树脂返回到离子交换塔中；
在离子交换塔和第一水池之间循环上述阴离子交换树脂或阳离子交换树脂。
因此，根据本发明，在离子交换塔中用阳离子交换树脂或阴离子交换树脂对含有阳离子或阴离子的水进行处理。在离子交换处理之后，将阳离子交换树脂或阴离子交换树脂，也就是说离子交换树脂引到第一水池中。在第一水池中用酸水或碱水对引入的阳离子交换树脂或阴离子交换树脂进行再生。将再生后的阳离子交换树脂或阴离子交换树脂循环到离子交换塔中。
根据本发明，用这种方式，在第一水池中用碱水或酸水对离子交换塔中用过的离子交换树脂进行再生。此外，在再生过程中，离子交换树脂将碱水或酸水中和到接近中性。换句话说，根据本发明，通过重复进行离子交换塔中离子交换树脂的交换处理，和用过的离子交换树脂在第一水池中的再生，能够在第一水池和离子交换塔两个地方处理水。因此，本发明能够对水进行最有效的离子交换处理。此外，用过的离子交换树脂不会作为废物废弃掉，这样节省了废物处置费用。因此，本发明提供了一种废物较少，有效利用资源，以及运行费用较少的水处理方法。
根据本发明，用离子交换塔中的离子交换树脂对废水进行离子交换处理，得到处理后的水。由于在上述塔中进行了离子交换，所以来自离子交换塔的处理后水的电导率基本上较低，能够作为原水供应到超纯水生产系统中。这样能够有效地利用水。
根据本发明的一个实施例，引入第一水池的碱水或酸水是待处理的碱性废水或酸性废水，和
在第一水池中，在对阴离子交换树脂或阳离子交换树脂再生之后，对碱性废水或酸性废水进行预处理，然后，将它作为待处理水引入离子交换塔中。
根据该实施例，第一水池中的碱性废水或酸性废水能够有效地用于再生离子交换树脂，同时，离子交换树脂将其中和到接近中性。这意味着在一个处理阶段可同时进行再生和处理，这本身又意味着能够对水进行高效处理。
根据上述实施例，在离子交换塔中对在碱性废水或酸性废水处理过程中产生的含阴离子或阳离子的水进行离子交换处理，得到的处理后水能够用作超纯水生产系统的原水。这种方法有利地改善了废水利用效率。
根据本发明的一个实施例，提供了一种废水处理装置，该装置包括：
用于接收碱水或酸水的第一水池；
装有阴离子交换树脂或阳离子交换树脂的离子交换塔，将含有阴离子或阳离子的水引入上述离子交换塔，用阴离子交换树脂或阳离子交换树脂对上述水进行离子交换处理，以便得到处理后的水；
离子交换树脂输送部件，用于将离子交换塔中的阴离子交换树脂或阳离子交换树脂引入第一水池；
离子交换树脂返回部件，用于将在第一水池中用碱水或酸水再生后的阴离子交换树脂或阳离子交换树脂送回离子交换塔；和
用于接收来自再生阴离子交换树脂或阳离子交换树脂的第一水池中的碱水或酸水的部件，并引入离子交换塔，在这里对碱水或酸水进行预处理。
根据该实施例，在离子交换塔中用阴离子交换树脂或阳离子交换树脂对引入离子交换塔的含有阴离子或阳离子的水进行离子交换处理。在离子交换处理之后，通过离子交换树脂输送部件将离子交换树脂输送到第一水池。在第一水池中，用碱水或酸水对阴离子交换树脂或阳离子交换树脂进行再生。通过离子交换树脂返回部件将再生后的阴离子交换树脂或阳离子交换树脂送回离子交换塔。
根据该实施例，用这种方式，在第一水池中，用碱水或酸水对在离子交换塔中进行离子交换的离子交换树脂进行再生。此外，在再生过程中，碱水或酸水与离子交换树脂反应后接近中性。换句话说，通过重复进行离子交换塔中使用离子交换树脂的过程，和在第一水池中再生用过的离子交换树脂的过程，能够在第一水池和离子交换塔中更好地利用离子交换树脂处理水。因此，该实施例能最有效地利用离子交换树脂处理水。此外，用过的离子交换树脂无需作为废物废弃掉，这样节省了很多废物处置费用。因此，本实施例提供了一种能够减少产生的废物，有效地利用资源，且运行费用低的水处理装置。
根据该实施例，在离子交换塔中用离子交换树脂对废水进行离子交换处理，得到处理后的水。由于在离子交换塔中进行了离子交换，所以离子交换塔的处理后水有较低的电导率，它能用作原水输送到超纯水生产系统中。结果有效地利用了水。
在该实施例的装置中，当在第一水池中对用过的离子交换树脂再生后，对碱水或酸水进行预处理，得到的处理后水被输送到离子交换塔中进行离子交换。这使处理后的水适于用作超纯水生产系统的原水。因此根据该实施例，在对碱水或酸水预处理后，对水进行离子交换处理，由此使水能转化成超纯水生产系统的原水。这样改进了废水循环效率。
根据一个实施例，第一水池接收作为碱水或酸水的碱性废水或酸性废水。
根据该实施例，能够在第一水池中再生离子交换树脂，并在该过程中使碱性废水或酸性废水变成中性水，结果改进了水处理效率。
一个水处理装置的实施例还包括，在第一水池中使碱水或酸水与阴离子交换树脂或阳离子交换树脂相混合的曝气部件。
根据该实施例，能够将离子交换树脂与碱水或酸水相混合，而不会损坏离子交换树脂，有利于离子交换树脂的再生。
一个水处理装置的实施例还包括，在离子交换塔中使碱水或酸水与阴离子交换树脂或阳离子交换树脂相混合的曝气部件。
根据该实施例，能够将离子交换树脂与碱水或酸水相混合，而不会损坏和/或磨损离子交换树脂，有利于用离子交换树脂对含阴离子或阳离子的水进行离子交换处理。
根据一个实施例，每一个离子交换树脂输送部件和每一个离子交换树脂返回部件都有与第一水池和离子交换塔相连接的管线和空气提升泵。
根据该实施例，将离子交换树脂有效地从离子交换塔输送到第一水池中，或从第一水池输送到离子交换塔中，而不会损坏和/或磨损离子交换树脂。
根据一个实施例，离子交换塔有一个放置在其中的膜过滤器，它设置有一个处理水排放部件，用于排放通过膜过滤器处理后的、与阴离子交换树脂或阳离子交换树脂相分离的水。
根据该实施例，通过处理后水排放部件，与离子交换树脂分离开的处理后水能作为原水输送到超纯水生产系统中。
根据一个实施例，将经过预处理的待处理水引入离子交换塔的部件包括一个其中放置有碳酸钙的碳酸钙储槽，它接收来自第一水池的并在其中带有再生的阳离子交换树脂的酸性废水，并排出由碳酸钙溶解在酸性废水生成的接近中性的液体。
根据该实施例，当用碳酸钙处理酸性废水时，钙离子被洗提出进入低pH值的酸性废水中，使处理后的水中含有钙离子。处理后水中的钙离子能够在离子交换塔中吸附在阳离子交换树脂上。也就是说，阳离子交换树脂能够以交换的方式，从处理后的水中除去钙离子。用过的吸附有钙离子的阳离子交换树脂被引入第一水池进行再生。
根据该实施例，用这种方式，用碳酸钙处理酸性废水得到的处理后水是一种阳离子水，它被引入离子交换塔中进行处理。因此，根据该实施例，酸性废水首先在第一水池中与阳离子交换树脂相反应，再生阳离子交换树脂。在这种情况下，酸性废水的pH值增加，使pH值接近中性。然后，中和过的酸性废水与碳酸钙相反应，使水接近中性。当pH值进一步增加时，在除去了钙离子的离子交换塔中，含有钙离子的酸性废水的电导率较低。因此，能够得到可用作超纯水生产系统原水的处理后水。
根据该实施例，由于碳酸钙的洗出，酸性废水的中和反应很慢，可以看作是化学理论当量反应，所以可以将反应沉淀物的量保持在最低限度。因此，可使废物量最少。
根据一个实施例，将经过预处理的待处理水引入离子交换塔的部件包括一个用于接收来自碳酸钙池的中性液体的生物处理池，上述生物处理池中装填有炭和塑料填料，液体穿过炭和塑料填料循环，以进行生物处理。将生物处理后的液体作为阳离子水排放到离子交换塔中。
根据该实施例，通过生长在塑料填料和炭上的微生物的反应，能够处理液体中所含的有机物。此外，塑料填料的存在还能够改善液体在池中的接触效率。
此外，在生物处理池中，通过使用炭作为催化剂，能够将液体中所含的过氧化氢分解成水和氧气。同时，液体中的有机物能够吸附在炭上。
因此，根据该实施例，处理后水的电导率可以降低到处理后水可用作超纯水生产系统原水的程度，这与已有技术的作法相反，已有技术是通过使用化学试剂如：NaHSO3和类似的还原剂，来处理过氧化氢的。
根据下文所作的详细描述和仅用于说明而不能限制本发明的附图，将能全面地理解本发明的内容，其中：
图1是本发明水处理装置第一实施例的流程图。
图2是本发明水处理装置第二实施例的流程图。
图3是本发明水处理装置第三实施例的流程图。
图4是传统酸性废水处理装置的流程图。
图5是传统阳离子树脂塔的示意图。
下面参照附图所示的各种方式详细描述本发明的内容。
第一实施例
图1表示的是本发明水处理装置的第一实施例。在第一实施例中，该水处理装置包括第一水池1、第二水池2、第三水池3、第四水池4、第五水池5、离子交换单元26和反渗透(RO)单元27。
第一水池1接收来自半导体车间的碱性废水(例如含有再生化学试剂的水)，它有一个用作搅拌部件的曝气管8。该曝气管8与一个鼓风机10相连。在第一水池1的顶部固定安装着一个通入空气的提升泵15。第一水池1还用作阴离子交换树脂循环池/曝气池，这一点下文将要详细描述。
第二水池2设置在第一水池1的旁边。用于接收来自第一水池1的处理水。第二水池2的底部2A是倾斜的。此外，第二水池2有一个在中间垂直设置的作为曝气/搅拌部件的曝气管11。该曝气管11与一鼓风机10相连。第二水池2内设置有一个返回空气提升泵12的进口端12A，其开口朝向底部2A的最低端。进口端12A有一个作为通入空气部件的曝气管13，它与鼓风机10相连。来自第二水池2的处理后水引入废水处理单元150进一步进行处理。
返回空气的提升泵12从第二水池2向上延伸，它有一个向上开口的开口端12B。该提升泵12有一个从略低于开口端12B的顶端向右延伸的横向延伸部分12C，如图1所示。横向延伸部分12C从左向右稍稍有点向下倾斜。横向延伸部分12C在第三水池3的上方向下弯折，直到到达第三水池3的顶端。
进入空气的提升泵15从低于水池1顶部的位置向上延伸，并在高于回流空气提升泵12的位置水平向右延伸。该通入空气的提升泵15进一步稍稍向上地向右延伸，并在第四水池4的上方向下弯折，如图所示。向下弯折的部分有一个向上延伸的部分，它限定了一个向上开口的开口端15A。通入空气的提升泵15的下端部分15B开口开到第四水池4倾斜的底部4A的最下端4A-1。
第三水池3有一个曝气管16，向第三水池3通入含F-和SO4 2-负离子的废水。曝气管16与鼓风机23相连。第三水池3装有作为离子交换树脂的阴离子交换树脂21。第三水池3还装有一个膜过滤器单元17。该膜过滤器单元17有多个横向排列的超滤膜和/或精滤膜。穿过膜过滤器单元17的处理后的水被泵20抽走，并引入第五水池5。
来自第三水池3的含有阴离子交换树脂21的阴离子的废水，通过隔墙W的出水管(图中未示)引入第四水池4。具有引入空气部件功能的曝气管22设置在通入空气的提升泵15的下端部分15B，其开口开在第四水池4的最下端4A-1上。曝气管22与一鼓风机23相连。
从第三水池3引入第五水池5的处理后的水通过泵24输送到离子交换树脂单元26中，进一步再输送到反渗透膜单元27中。离子交换树脂单元26与反渗透膜单元27相连，构成了一个初级纯水生产系统28。
在上述水处理装置中，首先将碱性废水引入具有阴离子交换树脂再循环/曝气功能的第一水池1中。碱性废水对通过通入空气提升泵15引入第一水池1中的阴离子交换树脂碱性进行再生。换句话说，碱性废水驱逐与阴离子交换树脂21进行离子交换的负离子，以恢复阴离子交换树脂21的离子交换能力。在第一水池1中恢复了离子交换能力的阴离子交换树脂21被引入相邻的水池，也就是第二水池(第一沉淀池)2，在该第二水池中，阴离子交换树脂21向下移动，并沿着倾斜的底部2A向下移动，直到到达最下端2A-1。到达最下端2A-1的阴离子交换树脂21的颗粒通过返回空气提升泵12的入口端12A与空气30一起被向上抽吸。从开口端12B的顶端排走空气30。阴离子交换树脂21的颗粒沿着横向延伸部分12C向下移动，并进一步向下移动以从上部回到第三水池3中。这样回到第三水池3的阴离子交换树脂21在曝气管16的搅拌下，从含阴离子的废水中去除交换基团上的负离子(F-和/或SO4 2-)。由此没有负离子的阴离子废水穿过膜过滤器17，通过泵20抽走并通入第五水池5中。
通过第三水池3的隔墙W上的出水管(图中未示)送入邻近的第四水池4的用过的阴离子交换树脂21的颗粒沿着倾斜的底部4A向下移动，直到到达最底部4A-1。然后，阴离子交换树脂21的颗粒通过通入空气提升泵15的下端15B被向上抽吸，结果与空气30一起向上运动。从开口端15A排放空气30。阴离子交换树脂21的颗粒沿着向下倾斜的通入空气提升泵15向左移动，并从第一水池1的上方垂直向下运动，直到到达第一水池1。如上所述，用碱性废水对已经到达第一水池1的阴离子交换树脂21的颗粒进行再生。
然后，将引入第五水池5的阴离子废水作为待处理水，通入超纯水生产系统28的离子交换树脂单元26，进一步进行离子交换处理。处理后的水穿过反渗透膜单元27，然后作为初级纯水收集起来。
根据第一实施例，用这种方式可以在第三水池3中，用阴离子交换树脂21从阴离子废水中除去F-和/或SO4 2-，借助于空气提升泵15将用过的阴离子交换树脂21通入第一水池1中，以便用碱性废水对阴离子交换树脂进行再生。如此再生后的阴离子交换树脂21通过回流空气提升泵12回流到第三水池3中。因此，在该第一实施例中，中和来自半导体厂的碱性废水的第一水池1也用于再生阴离子交换树脂21。换句话说，这种结构能够同时进行碱性废水的处理和阴离子交换树脂21的再生。因此，根据这种结构，能够用强碱废水和稀碱废水的混合废水作为超纯水生产系统28的原水，而无需添加各种化学试剂。
此外，根据该第一实施例，在离子交换树脂单元26中用过的离子交换树脂被通入第三水池3以便重复使用，这样显著减少了工业废物量，并降低了废物处理费用。
在第一水池1中，对阴离子交换树脂21进行的再生会导致废水中含有来自阴离子交换树脂21中的阴离子，但这不是问题，因为在随后的废水处理过程中可除去这些阴离子，所以阴离子浓度仍然很低。在该第一实施例中，用碱性废水对阴离子交换树脂21进行再生，但是无需说，阳离子交换树脂要用酸性废水进行再生。第一实施例利用了来自半导体车间的酸性废水和/或碱性废水中除了酸和碱外，不含许多杂质的好处。
第二实施例
图2显示的是本发明水处理装置第二实施例。该实施例设计用来处理半导体车间产生的大量酸性废水，将酸性废水处理到适于超纯水生产装置使用的程度。更具体地说，第二实施例用来循环来自半导体车间的酸性废水混合物，它包括(1)由生产者收集的酸性废水，(2)强酸废水，和(3)稀酸废水(下文称作酸性废水)，使它能够作为超纯水生产装置的原水。第二实施例是一个甚至能够处理如H2O2和有机物等物质的例子。在第二实施例中，使用碳酸钙处理酸性废水，已经发现，这能有效地生产水质较好的处理后水。
如图2所示，该第二实施例的装置包括第一水池41、第二水池42、第三水池43、第四水池44、第五水池45、第六水池46、第七水池47、第八水池48、第九水池49、第十水池50、和第十一水池51。该装置还包括一个浓缩池52和一个压滤器53。此外，该装置还包括一个初级纯水生产单元56，它有一个离子交换树脂单元54和一个反渗透膜单元55。
第一水池41的底部设置有一个曝气管57，该曝气管57与一个第一鼓风机58相连。第一水池41用于接收从半导体车间(图中未示)输送来的酸性废水。第二水池42设置在第一水池41的附近。第二水池42的底部42A是倾斜的。作为搅拌部件的曝气管59垂直设置在第二水池42的中间。该曝气管59与第一鼓风机58相连。空气提升泵61的入口端61A安装在第二水池42中。入口端61A的开口开到第二水池42倾斜底部42A的最下端42A-1。引入空气的部件曝气管62设置在入口端61A上。该曝气管62与第一鼓风机58相连。
空气提升泵61从入口端61A直接向上延伸，在泵61的最顶端限定了一个开口端61B，该开口端61B向上敞开。空气提升泵61有一个横向部分61C，它从开口端61B稍前的位置横向延伸，横向部分61C在第九水池49的上方终止。该横向部分61C从第二水池42向第九水池49的方向稍稍向下倾斜。空气提升泵61从横向部分61C的末端向下延伸，直到到达第九水池49。
第三水池43设置在第二水池42附近，相互隔开一定的距离。使第三水池43适于接收来自第二水池42的待处理水。起曝气/搅拌作用的曝气管63设置在第三水池43的底部，并与第二鼓风机72相连。在曝气管63的上方固定有一个格栅64。粒径为10mm量级的大碳酸钙颗粒堆积在格栅64上。第四水池44设置在第三水池43的旁边并与其相连。第四水池44的底部是圆锥形的，且第四水池44的最低部分44A通过管线与浓缩池52相连。第五水池45设置在第四水池44附近，并相互隔开一定的距离。在第五水池45的底部设置有一个曝气管66，该曝气管66与第三鼓风机69相连。在曝气管66的上方固定有一个格栅67。粒径为5mm量级的较小碳酸钙颗粒堆积在格栅67上。第六水池46设置在第五水池45的旁边并与其相连。第六水池46的底部46A是圆锥形的，且第六水池46的最低部分通过管线与浓缩池52相连。
第七水池47设置在第六水池46附近，并相互隔开一定的距离。第七水池47有一个潮湿的上部区域47A和一个浸没的下部区域47B。该浸没的下部区域47B有一个设置在底部的曝气管70，一个第一接触循环部分47B-1，和一个在其旁边设置的第二接触循环部分47B-2。曝气管70与第四鼓风机71相连。第一接触循环部分47B-1在格栅77上交替有塑料填料75和炭76的堆积层。第二接触循环部分47B-2在格栅77上也交替有塑料填料78和炭80的堆积层。潮湿的上部区域47A有一个格栅81和位于该格栅81上交替的塑料填料82和炭80的堆积层。第七水池47有一个空气提升泵85，其最下端的开口85A靠近第二接触循环部分47B-2的最下端。空气提升泵85有一个位于下部开口端85A内的曝气管86，该曝气管86用作引入空气部件。该空气提升泵85从下部开口85A处向上延伸，并在潮湿的上部区域47A横向弯折，从水平延伸部分85B的位置水平延伸。该水平部分85B构成了一个喷水器87，在它的下表面部分有多个小孔。
第八水池48设置在第七水池47旁边，并是第七水池47的延续部分。第八水池48要适于接收来自第七水池47的处理后的水。第八水池48有一个与第七水池47的底部47D相连的、并朝着底部47D向下倾斜的底部48A。此外，第七水池47的底部47D与该底部48A有相同的倾斜度。倾斜的底部47D和48A用于引导底部曝气管70，底部物质沿着底部47D、48A下落，通过从曝气管70吹出的空气流的迁移运动，使底部物质向上流动。
第九水池49设置在第八水池48附近，并与它隔开一定的距离。第九水池49底部有一个曝气管88。该曝气管88与第五鼓风机90相连。第九水池49顶部有一个膜过滤器91。该膜过滤器91有多个水平排列的超滤膜或精滤膜。在本实施例中，使用排列在水下的超滤膜或精滤膜，然而，也可以采用其它的过滤膜，例如：反渗透膜。将多个超滤膜或精滤膜固定在两个纵向相对的管子上。膜过滤器泵92连接在膜过滤器部分91上，以便使该泵92将穿过膜过滤器91的处理后的水引导到第十一水池51中。返回空气提升泵61的出口端61D与第九水池49的最上端相连。再生后的阳离子交换树脂93穿过出口61D被引导到第九水池49中。
第十水池50设置在第九水池49旁边并与其相连。第十水池50有一个朝远离第九水池49方向向下倾斜的底部50A。引入空气提升泵95的入口端95A安装在靠近底部50A最低的位置上。一个用作引入空气部件的曝气管96设置在入口端95A的内部。该曝气管96与第五鼓风机90相连。引入空气的空气提升泵95从入口端95A直接向上延伸，空气提升泵95的最上端部分限定了一个开口95B。引入空气提升泵95在稍低于开口95B的位置水平弯折，并从这里朝着第一水池41的方向稍稍向下倾斜延伸，形成了一个向下倾斜部分95C。引入空气提升泵95在向下倾斜部分95C的末端向下弯折，然后垂直向下延伸，由此形成了一个向下延伸部分95D。该向下延伸部分95D有一个下端出口，它设置在第一水池41的最顶部。
通过处理后水的水泵98将从第九水池49引导到第十一水池51的处理后的水引到初级纯水生产单元56中。在离子交换单元54中，对来自第十一水池51的处理后的水进行离子交换处理，然后再引导到反渗透膜单元55进行过滤。流过初级纯水生产单元56的处理后的水可作为初级纯水再循环，或者在经历了次级纯水生产单元(图中未示)的随后处理后，作为半导体车间的超纯水。
在上述构造的水处理装置中，来自半导体车间的酸性废水首先被引入第一水池41中。同时，通过引入空气提升泵95向第一水池41中引入阳离子交换树脂93。使用该阳离子交换树脂93作为阳离子交换树脂的原因是因为它在第九水池49中已经与处理后水进行了离子交换。由此，该阳离子交换树脂93含有正离子Ca++。引入第一水池41中的阳离子交换树脂93在曝气管57的曝气下与酸性废水反应，结果阳离子交换树脂93的钙离子被释放出来( )。因此，阳离子交换树脂得到了再生。酸性废水中的氟离子可以有效地与释放的钙离子的反应，生成氟化钙。
在半导体车间，在冲洗半导体片时，使用的是高纯度的工业等级的氟酸和硫酸，然后再用超纯水冲洗该半导体片。上述冲洗过程生成的酸性废水作为酸性废水排出半导体车间。因此，可以说半导体车间排出的酸性废水是相当清洁的废水。通常，再生阳离子交换树脂的盐酸和硫酸也是工业纯度。因此，由这种纯度的氟酸和硫酸形成的酸性废水可以令人满意地作为再生阳离子交换树脂的化学试剂。
曝气管57鼓入空气，彻底搅拌该酸性废水和该阳离子交换树脂，使它们相互接触。因此，上述钙离子和氟离子之间能够充分进行反应。
接下来，如上所述，处理后的水与再生后的离子交换树脂93一起，流入邻近的第二水池42。在第二水池42中，在垂直方向的中间位置曝气管以较小的鼓入空气速度进行曝气。在第二水池42内，由于阳离子交换树脂的比重比较大，所以阳离子交换树脂沉淀，而氟化钙不会沉淀，因为它的颗粒非常细小，不可能发生沉淀。因此，引入邻近的第三水池43中的氟化钙会留在处理后的水中。
阳离子交换树脂93沿着倾斜的底部42A向下运动，这使它能自动地到达返回空气提升泵61的入口端61A。然后，阳离子交换树脂93被入口端61A吸走，并与从曝气管62鼓出的空气一起向上运动。当从开口端61B排放空气时，再生后的阳离子交换树脂93流入横向部分61C。阳离子交换树脂93沿着稍稍向下倾斜的横向部分61C移动，并在横向部分61C的末端向下运动。然后，再生后的阳离子交换树脂93回到第九水池49。用这种方式，通过在第一水池41中阳离子交换树脂93与酸性废水相反应，阳离子交换树脂93对酸性废水进行处理，同时用这种方式也使阳离子交换树脂得到再生。此外，回到第九水池49的再生后的阳离子交换树脂93能够使处理后的水除去正离子。也就是说，根据该第二实施例，能够在再生阳离子交换树脂93的同时，用阳离子交换树脂93处理废水。因此，能够改进废水处理效率。此外，通过使用初级纯水生成系统56的离子交换树脂单元54中的用过的离子交换树脂，可以有效地利用用过的离子交换树脂处理水，而不用将它作为废物废弃掉。与此同时，该种结构减少了废物数量，这样作的结果减少了与废物处置有关的费用。
根据该第二实施例，借助于空气提升泵61和69使阳离子交换树脂93在水池之间移动，因此，在移动过程中，可以防止损坏阳离子交换树脂93。此外，每一个空气提升泵61和95都沿阳离子交换树脂93的运动方向向下倾斜，这样可确保阳离子交换树脂93能够平稳地流动。
来自第二水池42的处理后的水流入第三水池43中。未反应的氟离子与从碳酸钙中洗出的钙离子相反应，生成氟化钙，该碳酸钙填充在第三水池43(第一反应池)中。此外，碳酸钙还可以中和硫酸。通过来自曝气管63鼓入的空气对碳酸钙矿物质65进行搅拌，这可加速洗提钙离子的速度。从第二水池42引入第三水池43中的处理后的水是酸性的，其pH值为4或低于4。因此，这种用途的碳酸钙矿物质65的粒径可以比较大，在1cm的量级上，将曝气使用的空气量维持在合理的水平上。采用这种尺寸的碳酸钙颗粒是由于当洗出钙离子时，能够防止碳酸钙矿物质65粘连在一起。在该第二实施例中，可采用天然石灰石作为碳酸钙矿物质65，然而，研磨过的碳酸钙都可以使用，如：可以使用市售的称为“Kansuiseki”的矿产品。
第三水池43的格栅64其垂直投影面积远小于其水平投影面积。因此，来自曝气管63的搅拌空气能够迅速地穿过格栅64。该格栅64的强度比较大，使它能够支承重量较重的碳酸钙矿物质65。
第三水池43处理后的水流入第四水池44。在第四水池44中，对该处理后的水进行固液分离，结果，分离出的氟化钙沉淀在底部44A上。借助于一个与底部44A相连接的管子，将沉淀出的氟化钙引入浓缩池52。而此时第四水池44中的上清液则流入第五水池45(第二反应池)。在第五水池45中，在处理后水中未反应的氟离子与从碳酸钙矿物质68中洗出的钙离子相反应，生成了氟化钙。第五水池45中碳酸钙矿物质68的粒径在0.5cm的量级上。这意味着第五水池45生成氟化钙的反应活性比第三水池43大得多。因此，第五水池45能够进一步降低处理水中氟离子的浓度。
在第五水池45中，氟离子浓度已被进一步降低的处理后水流入第六水池46中。在第六水池46中，沉淀物沉积在漏斗形的底部46A上。通过一个与底部46A相连的管将沉积物引入浓缩池52中。沉淀物在浓缩池52被浓缩后输送到下一个阶段，也就是，使沉积物脱水的压滤器53。在压滤机53中，通常可产生水分含量不超过65％的滤饼，滤饼中水分的含量取决于所采用的压滤机的种类。
第六水池46中的上清液流入下一水池或第七水池47进行进一步处理。第七水池47是一个过氧化氢分解池。在第七水池47中，首先通过设置在浸没的下部区域47B的第一接触循环部分47B-1的曝气管70对待处理水进行搅拌。这样水与炭76和塑料填料75相接触，水中所含的过氧化氢被炭76分解，与此同时，水中所含的有机物被生长在塑料填料75上的微生物分解掉。
然后，水流入第二接触循环部分47B-2与其中的炭80和塑料填料78相反应，同时与它们相接触，由此分解水中的过氧化氢。在起催化剂作用的炭80的帮助下，过氧化氢被分解成水和氧气。通过隔板W10使第一接触循环部分47B-1和第二接触循环部分47B-2彼此隔开。
随后，经过如此处理后的水穿过格栅77，在那里一部分水回到第一接触循环部分47B-1，而另一部分水到达空气提升泵85的下部开口端85A。到达开口端85A的处理后水与曝气管86鼓入的空气一起向上移动。到达潮湿的上部区域47A的处理后的水通过喷水器87上的多个小孔喷洒到潮湿的上部区域47A上。水在重力的作用下下落，与此同时，将填充在潮湿的上部区域47A中的炭83和塑料填料82浸湿。在这种情况下，通过中间的炭83对处理水中所含的过氧化氢进行分解，喷洒水通过气-液接触可以更有效地进行分解。
用这种方式对引入第七水池47中的水进行分解，与此同时，水穿过第一接触循环部分47B-1、第二接触循环部分47B-2、和潮湿的上部区域47A循环流动。可从腊希环、马鞍形填料、编制填料、Terralet和polering中适当地选择塑料填料75、78、82。这些塑料填料有许多水和空气可渗透部分，并且便于水的流动。因此，处理后的水能够等量地分布在潮湿的上部区域47A上，尤其是从顶部到底部。这有助于通过炭的催化作用分解过氧化氢，以及通过气液接触分解过氧化氢。尽管在第二实施例中第七水池47装配有空气提升泵85，通常，使用的是泵而不是空气提升泵85。然而，应当注意，使用空气提升泵85有一个好处，就是可以较低的能量消耗，带动大量的处理后水流动。此外，使用空气提升泵85能使水保持在好氧条件下进行处理，这有助于微生物的繁殖。尤其是在潮湿的上部区域47A中有助于好氧微生物的繁殖，通过这些微生物能够有效地处理待处理水中所含的有机物。
在第七水池47中，在处理池下部区域的第一接触循环部分47B-1和第二接触循环部分47B-2对待处理水中的过氧化氢进行处理，因此，微生物很可能生长在潮湿的上部区域47A中的炭83上。当废水(待处理水)中的过氧化氢的浓度低时，经过一定的时间，过氧化氢新陈代谢细菌不仅在潮湿的上部区域47A繁殖，而且还在填充在第一和第二接触循环部分47B-1和47B-2中的炭76，80上繁殖，以处理有机物。“过氧化氢新陈代谢细菌”这一术语在这里表示微生物熟悉低浓度的过氧化氢。炭76、80用作固定微生物的载体，炭表面形成有生物膜。因此，当第一接触循环部分47B-1荷有在生物处理区域产生的剩余污泥或生物膜污泥时，在起微生物固定载体作用的炭76、80上很快就形成了生物膜。此外，通过周期性地将生物膜污泥引入第一接触循环部分47B-1，能够恒定地提供生物膜。通过生长在潮湿的上部区域47A中炭83表面的微生物、生长在第一接触循环部分47B-1中炭76表面的微生物和生长在第二接触循环部分47B-2中炭80表面的微生物，对待处理水中的有机物进行处理。
对装填在第一接触循环部分47B-1和第二接触循环部分47B-2中的炭来说，应选择其比重大于1的被称为“Binchotan”的炭，以便使炭浸没在水中。“Binchotan”炭具有吸附有机物的作用。因此，可用生长在炭76、80上的微生物处理吸附在“Binchotan”炭上的有机物。通常，将这种其上可繁殖微生物的炭76、80称为活性炭。
接下来，使待处理水从第七水池47流入第八水池48，而将处理后的上清液引入下一个处理池或第九水池49。第九水池49是一个阳离子交换树脂曝气池，在第一水池41中用酸性废水再生的阳离子交换树脂93，穿过空气提升泵61连续流到第九水池49中。在该第九水池49中，通过曝气管88对水进行搅拌和曝气。通过在离子交换基团上的阳离子交换树脂93，能够除去来自碳酸钙矿物质的处理水中所含的钙离子。从曝气管88鼓入的空气不仅能够清洁膜过滤器91，而且还有助于用阳离子交换树脂置换废水中的钙离子。
用泵92吸取除去了钙离子的水，以穿过膜过滤器91。膜过滤器91用于从水中过滤出阳离子交换树脂93，还能过滤出细小的悬浮微生物、反应产物(如细小的氟化钙颗粒)，它们都是在第八水池(沉淀池)48中不能沉淀的。应当注意，由于在第九水池49中进行曝气，经过一定的时间这种悬浮微生物在处理过程中能被消化掉和消失。
在现行的技术状况中，超滤膜和精滤膜仅仅是不同种类的商业产品，它们适宜用作设置在处理池中的浸没式过滤器(膜过滤器)，并且这种用途还没有其它类型的过滤器。在将反渗透膜用作膜过滤器的情况下，反渗透膜必需设置在第九水池49或阳离子交换树脂曝气池的外面，不能设置在里面。目前，还没有反渗透膜设置在浸没式过滤器里面的用法。浸没式过滤器的过滤膜设置在处理池内部的一个特殊例子是Kubota公司的“NF”系列。精滤膜的一个特殊例子是Mitsubishi Rayon股份有限公司的“STERAPORE”。不用说，本发明并不局限于这些例子。对反渗透膜来说，唯一需要的是选择螺线形的醋酸纤维素膜，其运行压力为10-25kg/cm2，就加工和生产样本或模型来说，一点也不受限制。在上述这三种分离膜中，反渗透膜具有最高的过滤精度。而在过滤精度方面，超滤膜排在第二，精滤膜排在第三。反渗透膜能够过滤低分子范围的离子，而超滤膜或精滤膜不能过滤低分子范围的离子。超滤膜能够除去所有种类的细小颗粒、细菌、病毒和某些胶体状的溶解有机物。精滤膜也能除去某些细小颗粒、细菌、病毒和一些胶体状的溶解有机物。
在本实施例中，膜过滤器91由超滤膜组成。另一方面，膜过滤器91也可以由精滤膜或反渗透膜组成。再一方面，膜过滤器91还可以由超滤膜和反渗透膜联合组成。无需说，这种联合组成的过滤膜能够改善处理水的水质。
在第九水池49中，通过从曝气管88中鼓入的空气对膜过滤器91进行持续清洁，这可以防止堵塞过滤器，并将由于堵塞造成处理水量减少的可能性降低到最小限度。由于预先考虑到水处理会在膜过滤器91处发生堵塞，所以，可将膜过滤器泵92运行在开-关控制状态，以便使膜过滤器91间歇进行过滤。通过这种间歇运行可将堵塞的可能性降低到最小限度，由此也将降低过滤水数量的可能性降低到最小程度。
如图2所示，膜过滤器91包括多个水平相互隔开的，排列在位于一对垂直方向上隔开的管子(或平板)上的多个超滤膜。应当注意，如果膜过滤器91有“STERAPORE”单元，作为精滤膜，而不是超滤膜的，那么“STERAPORE”单元应是一个空心丝膜精滤器，因此，它是丝型的，而不是板型的。因此，在这种情况下，膜过滤器应当包括多个隔开排列的丝。
对膜过滤器91来说，如上所述，可以使用精滤膜或反渗透膜代替超滤膜。在这种情况下，根据整个水处理系统内初级纯水生产装置56的最终水质要求，决定这两种膜的类型。在整个系统中，从维持运行的观点来看，尤其重要的一点是通过使用空气总是保持过滤膜91表面的清洁。
通过膜过滤器泵92抽出的处理水被引入第十一水池51中，该第十一水池51由一个泵接收槽构成。
已经与钙离子交换了氢离子的阳离子交换树脂53进入下一处理池或第十水池50，在这里树脂93沿着向下倾斜的底部50A向下运动。然后，阳离子交换树脂93被空气提升泵95的入口端95A吸走，与从曝气管96引入的空气一起向上运动。然后，阳离子交换树脂93通畅地穿过向下倾斜部分95C和向下延伸部分95D，而不会被损坏，然后，将它引入第一水池41中。在起阳离子交换树脂再生曝气池作用的第一水池41中，用酸性废水再生阳离子交换树脂93，以便重复使用。
通过处理后水的水泵98，抽吸引入作为泵接收槽的第十一水池51中的处理后的水，将它们引入离子交换单元54中，该离子交换单元54填充有阴离子交换树脂或类似物。在离子交换单元54中，对处理后的水进一步进行离子交换处理。然后将已经通过阳离子和阴离子处理的处理后水引入反渗透膜单元55中，进行反渗透处理。根据超纯水的最终水质要求，从反渗透膜单元55排出的处理后水可流过一组图中未示的处理单元进行进一步处理，直到最后生成超纯水。
第三实施例
图3显示的是本发明水处理装置的第三实施例。第三实施例与第二实施例的不同之处仅在于第三实施例的装置不包括第七水池(过氧化氢分解池)47、第八水池(沉淀池)48、和如图2所示的第四鼓风机71。因此，在图3中，与图2相同的部件用相同的数字表示。
在第三实施例中，来自第六水池46的处理后的水直接流入第九水池49。在来自半导体车间的酸性废水中绝对探测不出过氧化氢的情况下适于使用第三实施例，或者即使探测出了过氧化氢，而过氧化氢的浓度可忽略，无需对水中所含的过氧化氢进行处理的情况下，也适于采用第三实施例。
通常，在半导体车间，用车间生产系统的管线将过氧化氢单独分离出来。因此，在这种半导体车间，对过氧化氢单独进行处理，而不将它与酸性废水混合。第三实施例的废水处理装置正好适用于这种半导体车间。
因此，根据第三实施例的废水处理装置，在酸性废水不含过氧化氢的情况下，通过对该酸性废水进行处理，无需采用象第二实施例中的上部和下部填充有活性炭和塑料填料的生物反应器(第七水池)，就可将废水的水质处理到可用作初级纯水生产单元56原水的程度。
然而应当注意，图3所示的第三实施例不适于处理含有过氧化氢和/或有机物的废水。因此，如上所述，在第三实施例中根本不使用活性炭，在处理过氧化氢的问题上，第三实施例的性能不仅比第二实施例低，而且，对处理有机物它的性能也低。
下面用一特定的实施例进一步说明本发明。在如图2所示的水处理装置中，组成单元分别具有下列容积。第一水池(阳离子交换树脂再生曝气池)41的容积大约为0.6立方米。第二水池(再生阳离子交换树脂的第一沉淀池)42的容积大约为0.3立方米。第三水池(第一反应池)43的容积大约为1.2立方米。第四水池(第二沉淀池)44的容积大约为0.4立方米。第五水池(第二反应池)45的容积大约为1.2立方米。第六水池(第三沉淀池)46的容积大约为0.4立方米。第一接触循环部分47B-1的容积大约为0.6立方米。第二接触循环部分47B-2的容积大约为0.4立方米。潮湿的上部(反应喷水部分)47的容积大约为0.5立方米。第八水池(第四沉淀池)48的容积大约为0.2立方米。第九水池(阳离子交换树脂曝气池)49的容积大约为0.6立方米。第十水池(第五沉淀池)50的容积大约为0.4立方米。阳离子交换树脂93的量大约占第一和第二水池41、42以及第九和第十水池49、50容积总和的10％。空气提升泵61和95输送的空气量大约占废水流量的3％。
从第二水池42转移到第九水池49的废水流量的3％限定了这样一个流量比例，该比例的水不穿过第二水池与第九水池之间的废水处理池，没有被处理，而流量的97％在上述处理池中进行了处理。因此，整个废水大体上被处理了。
在本实施例中，在未处理阶段，酸性废水的pH值为2.9；氟离子浓度为206ppm；电导率为1600μs/cm；阳离子总浓度为64ppm；过氧化氢浓度为112ppm；TOC(总有机碳)为12ppm；KMnO4消耗量为110ppm。处理后，废水的pH值变到7.2，氟离子降低到13ppm，电导率降低到320μs/cm。阳离子浓度降低到40ppm，过氧化氢浓度减少到不超过6ppm。TOC降低到不超过1ppm，KMnO4消耗量降低到不超过6ppm。KMnO4消耗量是一个必需的分析项目，与纯水生产有关，主要用来表示有机物的量。
为了进行比较，对未经处理的相同水质的酸性废水在如图4所示的已有技术的酸性废水处理装置中进行处理。处理后，废水的pH值为7.5，氟离子浓度为14ppm，电导率为1780μs/cm。此外，废水的阳离子总量为820ppm，过氧化氢浓度为62ppm，TOC为9ppm，KMnO4消耗量为82ppm。
与现有技术相比，本发明的实施例将阳离子浓度降低到已有技术的大约二十分之一。将过氧化氢浓度降低到已有技术的大约十分之一。将TOC降低到已有技术的九分之一或更低。将KMnO4消耗量降低到已有技术的十三分之一或更低。也就是说，本实施例表明，使用本发明的装置能够得到高水质的处理水，可很好地用作超纯水生产装置的纯水。
在上述实施本发明的方式中，在处理废水过程要中加入碳酸钙。另一方面，也可以采用消石灰处理废水。在这种情况下，为了沉淀要使用混凝剂，然而任何离子化的混凝剂都不能通过膜过滤除去，它们容易吸附在离子交换树脂上。因此，使离子交换树脂不能获得所期望的离子交换作用。
在上述第二和第三水池中都使用了阳离子交换树脂，然而，如果要处理碱性废水，如含氨废水，可使用阴离子交换树脂。在这种情况下，第三水池43到第六水池46应当用作碱性处理池。
如上所述，如保护全球环境所热切提倡的那样，本发明的水处理装置和方法能够满足保护资源和节约能量的要求，它对环境是有益的并能够合理地管理生产车间。
以上描述了本发明，显然，还可以有许多方式的变化。这种没有背离本发明范围和精神的变化，以及所有对本专业技术人员来说是显而易见的变化，都应包括在下列权利要求书的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种水处理方法，包括以下步骤：
在第一水池中加入碱水或酸水；
在离子交换塔中引入含有阴离子或阳离子的水，用阴离子交换树脂或阳离子交换树脂对水中的阴离子或阳离子进行离子交换处理，得到处理后的水；
在第一水池中引入离子交换树脂塔中的阴离子交换树脂或阳离子交换树脂，用碱水或酸水对阴离子交换树脂或阳离子交换树脂进行再生；和
将在第一水池再生后的阴离子交换树脂或阳离子交换树脂返回到离子交换塔；
在离子交换塔和第一水池之间循环上述阴离子交换树脂或阳离子交换树脂其特征在于引入第一水池的碱水或酸水是待处理的碱性废水或酸性废水，和
在第一水池再生完阴离子交换树脂或阳离子交换树脂的碱性废水或酸性废水，作为待处理水被引入离子交换塔中。
2.一种废水处理装置，该装置包括：
用于接收碱水或酸水的第一水池；
装有阴离子交换树脂或阳离子交换树脂的离子交换塔，将含有阴离子或阳离子的水引入上述离子交换塔，用阴离子交换树脂或阳离子交换树脂对上述水进行离子交换处理，以便得到处理后的水；
离子交换树脂输送部件，用于将离子交换塔中的阴离子交换树脂或阳离子交换树脂引入第一水池；
离子交换树脂返回部件，用于将在第一水池中用碱水或酸水再生后的阴离子交换树脂或阳离子交换树脂送回离子交换塔；和
用于接收来自再生阴离子交换树脂或阳离子交换树脂的第一水池中的碱水或酸水的部件，并引入离子交换塔，在这里对碱水或酸水进行预处理，其中
引入第一水池的碱水或酸水是待处理的碱性废水或酸性废水，和
在第一水池再生完阴离子交换树脂或阳离子交换树脂的碱性废水或酸性废水，作为待处理水被引入离子交换塔中。
3.如权利要求2所述的水处理装置，其特征在于第一水池接收作为碱水或酸水的碱性废水或酸性废水。
4.如权利要求2所述的水处理装置，其特征在于还包括在第一水池中用于将碱水或酸水与阴离子交换树脂或阳离子交换树脂相混合的曝气部件。
5.如权利要求2所述的水处理装置，其特征在于还包括在离子交换塔中用于将阴离子水或阳离子水与阴离子交换树脂或阳离子交换树脂相混合的曝气部件。
6.如权利要求2所述的水处理装置，其特征在于每一个离子交换树脂输送部件和离子交换树脂返回部件都有与第一水池和离子交换塔相连接的管线和空气提升泵。
7.如权利要求2所述的水处理装置，其特征在于离子交换塔有一个放置在其中的膜过滤器，以及一个处理水排放部件，用于排放穿过膜过滤器的、与阳离子交换树脂或阴离子交换树脂相分离的处理后水。
8.如权利要求2所述的水处理装置，其特征在于将经过预处理的待处理水引入离子交换塔的部件包括一个其中放置有碳酸钙的碳酸钙储槽，它接收来自第一水池的并在其中再生了阳离子交换树脂的酸性废水，并排出由碳酸钙溶解在酸性废水生成的接近中性的液体。
9.如权利要求8所述的水处理装置，其特征在于所述用于接收来自第一水池中的碱水或酸水的部件包括一个用于接收来自碳酸钙池的中性液体的生物处理池，上述生物处理池中装填有碳和塑料填料，液体穿过炭和塑料填料流动，以进行生物处理，将生物处理后的液体作为阳离子水排放到离子交换塔中。
CN96109994A 1995-08-16 1996-08-16 采用离子交换树脂处理废水的方法和装置 Expired - Fee Related CN1103743C (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP208737/95 1995-08-16
JP20873795A JP3244404B2 (ja) 1995-08-16 1995-08-16 水処理方法および水処理装置
JP208737/1995 1995-08-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1146977A CN1146977A (zh) 1997-04-09
CN1103743C true CN1103743C (zh) 2003-03-26

Family

ID=16561252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN96109994A Expired - Fee Related CN1103743C (zh) 1995-08-16 1996-08-16 采用离子交换树脂处理废水的方法和装置

Country Status (8)

Country Link
US (2) US5707514A (zh)
EP (1) EP0758627B1 (zh)
JP (1) JP3244404B2 (zh)
KR (1) KR100190220B1 (zh)
CN (1) CN1103743C (zh)
DE (1) DE69612438T2 (zh)
MY (1) MY113250A (zh)
TW (1) TW387863B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101758457B (zh) * 2010-01-19 2012-05-30 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法
CN103232124A (zh) * 2013-05-09 2013-08-07 林江颖 一种风化壳淋积型稀土矿开采产生的废水处理方法

Families Citing this family (67)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3192557B2 (ja) * 1994-08-26 2001-07-30 シャープ株式会社 排水処理装置および排水処理方法
AUPM959994A0 (en) * 1994-11-22 1994-12-15 Ici Australia Operations Proprietary Limited Water treatment process
US6572769B2 (en) * 1994-09-26 2003-06-03 Rajan G. Rajan Water treatment apparatus
JP3244404B2 (ja) * 1995-08-16 2002-01-07 シャープ株式会社 水処理方法および水処理装置
US6042730A (en) * 1997-03-03 2000-03-28 Lahti; William J. Car wash wastewater treatment
JP3434438B2 (ja) * 1997-09-18 2003-08-11 シャープ株式会社 排水処理方法および排水処理装置
JP3370576B2 (ja) * 1997-10-09 2003-01-27 シャープ株式会社 超純水製造装置
US6190255B1 (en) * 1998-03-24 2001-02-20 Wms Gaming Inc. Bonus game for a gaming machine
US6168712B1 (en) * 1998-05-06 2001-01-02 Kenko Sangyo Co., Ltd. Apparatus for the biological treatment of waste fluid from the coating process
JP3601976B2 (ja) 1998-06-16 2004-12-15 シャープ株式会社 排水処理方法および排水処理装置
CN1069605C (zh) * 1998-08-20 2001-08-15 南亚塑胶工业股份有限公司 从乙二醇制程水中去除甲酸、乙酸的方法和装置
JP2000245297A (ja) * 1998-12-28 2000-09-12 Denshi Bussei Sogo Kenkyusho:Kk 魚介類飼育装置
JP2003527950A (ja) * 2000-01-03 2003-09-24 ジャングバーワラ、ジュザー イオン交換による金属の除去方法およびその装置
US7618316B2 (en) * 2000-05-16 2009-11-17 Igt Gaming device having main game activating a bonus event
US7025884B2 (en) * 2000-11-10 2006-04-11 Ch2M Hill, Inc. Method and apparatus for treatment of a fluid system
US7108784B1 (en) * 2001-09-26 2006-09-19 Wrt International Llc Apparatus for removal and destruction of ammonia from an aqueous medium
US7476311B2 (en) * 2001-09-26 2009-01-13 Wrt International Llc Arsenic removal from aqueous media using chemically treated zeolite materials
US9908788B1 (en) 2001-09-26 2018-03-06 Wrt International Llc Radium removal from aqueous media using zeolite materials
AUPR987802A0 (en) 2002-01-08 2002-01-31 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Complexing resins and method for preparation thereof
US7494413B2 (en) * 2002-02-20 2009-02-24 Igt Slot machine game having a plurality of ways for a user to obtain payouts for one or more additional pay lines formed by the appearance of special symbols in a symbol matrix
US6767455B2 (en) * 2002-08-21 2004-07-27 Ceramem Corporation Airlift membrane device and membrane bioreactor and bioreactor process containing same
US8147699B2 (en) * 2002-08-21 2012-04-03 Hpd, Llc Monolith filter apparatus and membrane apparatus, and method using same
US7105087B2 (en) * 2002-09-17 2006-09-12 Wrt International Llc Hexa-valent chromium removal from aqueous media using ferrous-form zeolite materials
US7390414B2 (en) * 2002-09-25 2008-06-24 Wrt International Llc Regeneration of chemically treated zeolite
AU2003901583A0 (en) 2003-04-04 2003-05-01 Orica Australia Pty Ltd A process
CA2533628C (en) * 2003-07-24 2013-12-10 Otv Sa System and method for treatment of acidic wastewater
US7326347B2 (en) * 2003-10-29 2008-02-05 Wrt International Llc Dynamic up-flow zeolite system and method
US7607980B2 (en) * 2003-11-10 2009-10-27 Igt Gaming device having free potential winning combinations
US6998054B2 (en) * 2003-12-31 2006-02-14 The Boc Group, Inc. Selective fluoride and ammonia removal by chromatographic separation of wastewater
US20050173314A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-11 Drake Ronald N. Controlled liquid purification system
US8721894B2 (en) * 2005-02-07 2014-05-13 Drake Water Technologies, Inc. Methods for hydrodynamic control of a continuous water purification system
US7862715B2 (en) 2004-02-09 2011-01-04 Drake Engineering Incorporated Apparatus for removing undesirable components from a contaminated solution containing both desirable and undesirable components
US7368059B2 (en) * 2004-02-09 2008-05-06 Drake Engineering Incorporated Method for preferentially removing monovalent cations from contaminated water
US7291272B2 (en) * 2004-05-07 2007-11-06 Orica Australia Pty Ltd. Inorganic contaminant removal from water
US7763666B2 (en) 2004-07-28 2010-07-27 Orica Australia Pty Ltd. Plug-flow regeneration process
US7147887B2 (en) * 2004-11-12 2006-12-12 Cinquini Carlos Alberto Ignaci Highly absorbable taste and odor free organic nutritional supplement made from food by products and mixable with solids and liquids, and method of making such
TWI284119B (en) * 2004-12-22 2007-07-21 Ind Tech Res Inst Biological membrane filtration system for water treatment and water treatment process using the same
US7578740B2 (en) * 2005-01-05 2009-08-25 Igt Gaming device and method having payline progressive awards
JP4490848B2 (ja) * 2005-02-24 2010-06-30 シャープ株式会社 排水処理装置および排水処理方法
CA2606190A1 (en) * 2005-04-27 2006-11-02 Hw Process Technologies, Inc. Treating produced waters
US20070215552A1 (en) * 2005-09-16 2007-09-20 Wrt International Llc. Systems and methods for removal of contaminates from an aqueous media in the absence of modified nitrate levels
US7520987B1 (en) 2005-11-15 2009-04-21 Wrt International Llc System and apparatus for purging absorptive materials used in the removal of contaminates from an aqueous medium
US8206592B2 (en) * 2005-12-15 2012-06-26 Siemens Industry, Inc. Treating acidic water
CN1329316C (zh) * 2005-12-19 2007-08-01 东南大学 多点交替进水活性污泥除磷脱氮方法
WO2007131278A1 (en) * 2006-05-15 2007-11-22 Orica Australia Pty Ltd Process for treatment of water to reduce fluoride levels
KR100839350B1 (ko) * 2006-08-24 2008-06-19 삼성전자주식회사 폐수 재활용 방법 및 이를 수행하기 위한 장치
CL2007002699A1 (es) * 2006-09-20 2008-02-29 Hw Advanced Technologies Inc Metodo que comprende lixiviar metal valioso de material que lo contiene, obtener fase liquida con ion y oxido ferrico y uno de ion u oxido ferroso, pasar por membrana de nanofiltracion, obtener retentato mas concentrado en ion u oxido ferrico y menos
US8663479B2 (en) * 2006-11-20 2014-03-04 Wrt International Llc Method for removing cationic contaminants from water using natural zeolite underloaded with transition metal ions to limit leakage of intrinsic arsenic therefrom
US20080128354A1 (en) * 2006-11-30 2008-06-05 Hw Advanced Technologies, Inc. Method for washing filtration membranes
CN101249461B (zh) * 2007-12-03 2010-06-02 友达光电股份有限公司 离子交换树脂塔中树脂使用寿命的检测方法
CN101402497A (zh) * 2008-09-16 2009-04-08 王方 一种回收无机氨氮废水用的电去离子方法及装置
KR101047186B1 (ko) * 2009-01-14 2011-07-06 신명섭 해수 수족관용 수산화칼슘 공급장치
KR101007522B1 (ko) * 2010-11-12 2011-01-14 주식회사 시노펙스 멤브레인을 이용한 불산 폐수 처리시스템 및 처리방법
CN102001707B (zh) * 2010-12-28 2012-09-12 南京源泉环保科技股份有限公司 一种回收电镀废水中的铬酸的方法
US9650020B1 (en) * 2011-11-30 2017-05-16 Rapidtech, Llc Detail bay wash water reclaim system
CN102489347B (zh) * 2011-12-19 2014-05-14 南京大学 一种粉体树脂脱附再生反应器
US20130313199A1 (en) * 2012-05-23 2013-11-28 High Sierra Energy, LP System and method for treatment of produced waters
US9719179B2 (en) * 2012-05-23 2017-08-01 High Sierra Energy, LP System and method for treatment of produced waters
US9403698B2 (en) 2012-09-17 2016-08-02 De Nora Water Technologies, Inc. Method and system for treating produced water
KR101583713B1 (ko) * 2014-11-13 2016-01-08 말레동현필터시스템 주식회사 회전형 드레인핀을 구비하는 오일필터모듈
US9931584B2 (en) 2015-02-10 2018-04-03 Drake Water Technologies, Inc. Methods and apparatus for counter-current leaching of finely divided solids
CN106927550B (zh) * 2017-03-07 2020-06-23 广东省资源综合利用研究所 一种含氟工业废水的回收方法
WO2019093251A1 (ja) * 2017-11-10 2019-05-16 日本ゼオン株式会社 洗浄溶剤組成物の再生方法および再生装置、並びに、被洗浄物の洗浄方法および洗浄システム
US11845074B2 (en) * 2018-02-12 2023-12-19 Evoqua Water Technologies Llc Antioxidant protection for ion exchange resins
CN108862532A (zh) * 2018-07-10 2018-11-23 四川永祥股份有限公司 一种盐水精制中螯合树脂塔废水的处理系统及其处理方法
KR102243162B1 (ko) 2020-11-09 2021-04-21 허재수 암모니아포함 불산폐수를 이용한 고체비료용 분말 제조방법
CN113149302A (zh) * 2021-05-06 2021-07-23 中电建生态环境设计研究有限公司 一种一体化农村污水处理设备

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1084241B (de) * 1954-06-22 1960-06-30 Metallgesellschaft Ag Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Fluessigkeiten mit Ionenaustauschern
US2767140A (en) * 1954-10-07 1956-10-16 Dorr Oliver Inc Continuous ion exchange treatment
DE1293698B (de) * 1961-02-08 1969-04-24 Commissariat a !.'Energie Atomique, Paris; Soc. Grenobloise d'Etudes et d*Applications Hydrauliques, S.O.G.R.E. A. H ·, GrenobIe (Prankrei cn)j Verfahren und Vorrichtung zum Enthärten von Wasser
DE1517930A1 (de) * 1966-01-27 1970-07-23 Ghh Man Anlagen Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Fluessigkeiten,insbesondere zum Enthaerten und/oder Entsalzen von Wasser
US4060447A (en) * 1976-03-29 1977-11-29 Philip A. Hunt Chemical Corporation Process for etching of metal
US4289626A (en) * 1977-09-19 1981-09-15 Sterling Drug, Inc. Wastewater treatment
CS212854B1 (en) * 1980-02-01 1982-03-26 Vaclav Kadlec Method of water demineralization or deionization
JPH0644074B2 (ja) * 1986-02-18 1994-06-08 動力炉・核燃料開発事業団 ウランおよびフツ素含有廃水の処理方法
US4861490A (en) * 1987-08-21 1989-08-29 Phosphate Engineering & Construction Co., Inc. Removal of cationic impurities from inorganic solutions
GB8817083D0 (en) * 1988-07-18 1988-08-24 Solt G S Improved method of ion exchange & apparatus for carrying out said method
DE3903343C2 (de) * 1989-02-04 1994-10-13 Schneider Ludwig Verfahren zur Abwasserreinigung durch Ionenaustauscherharze
US5066371A (en) * 1989-02-24 1991-11-19 Metanetix, Inc. Removal of contaminants and recovery of metals from waste solutions
US5116511A (en) * 1991-02-22 1992-05-26 Harrison Western Environmental Services, Inc. Water treatment system and method for operating the same
US5112504A (en) * 1991-05-22 1992-05-12 Baker Hughes Incorporated System and method of decreasing waste fluid in continuous backwash filtration
US5174901A (en) * 1991-06-10 1992-12-29 Smith Verity C Liquid purifying system
JP3468784B2 (ja) * 1992-08-25 2003-11-17 栗田工業株式会社 超純水製造装置
US5443740A (en) * 1992-10-07 1995-08-22 Christ Ag Process for the conditioning of ion exchange resins
DE4241080C1 (de) * 1992-12-05 1994-02-17 Guetling Gmbh Verfahren zur Überführung von Kupfer aus kupferhaltigen Abwässern in die verbrauchte Kupferchlorid-Ätze aus der Leiterplattenfertigung
US5302288A (en) * 1993-03-19 1994-04-12 Zimpro Environmental, Inc. Treatment of highly colored wastewaters
JP3252521B2 (ja) * 1993-03-25 2002-02-04 栗田工業株式会社 リンス排水の処理方法
JP3145240B2 (ja) * 1993-12-27 2001-03-12 オルガノ株式会社 連続イオン交換装置
JP3244404B2 (ja) * 1995-08-16 2002-01-07 シャープ株式会社 水処理方法および水処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101758457B (zh) * 2010-01-19 2012-05-30 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法
CN103232124A (zh) * 2013-05-09 2013-08-07 林江颖 一种风化壳淋积型稀土矿开采产生的废水处理方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW387863B (en) 2000-04-21
US5707514A (en) 1998-01-13
EP0758627A2 (en) 1997-02-19
DE69612438T2 (de) 2001-09-06
EP0758627A3 (en) 1997-04-16
DE69612438D1 (de) 2001-05-17
JPH0952087A (ja) 1997-02-25
JP3244404B2 (ja) 2002-01-07
MY113250A (en) 2001-12-31
KR100190220B1 (ko) 1999-06-01
KR970010661A (ko) 1997-03-27
CN1146977A (zh) 1997-04-09
EP0758627B1 (en) 2001-04-11
US5772891A (en) 1998-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1103743C (zh) 采用离子交换树脂处理废水的方法和装置
KR0160232B1 (ko) 불소와 표면활성제를 함유하는 폐수 및 배가스 처리장치
JP3350364B2 (ja) 排水処理方法および排水処理装置
CN110422964A (zh) 一种化工园区废水深度处理工艺方法
KR100198191B1 (ko) 폐수처리장치 및 폐수처리방법
CN1958471A (zh) 一种氨氮废水的处理方法
CN113003846B (zh) 高含盐量和高cod的污水的零排放处理工艺和系统
CN1278959C (zh) 氮处理方法以及氮处理系统
KR100310327B1 (ko) 과산화수소,인,불소및유기물을고효율로처리할수있는폐수처리방법및장치
CN1258265A (zh) 污水回收设备
JP3323040B2 (ja) 超純水製造装置
JP3370576B2 (ja) 超純水製造装置
CN113003845B (zh) 高硫酸盐含量和高cod的污水的零排放处理工艺和系统
CN216998076U (zh) 一种工业废水的处理系统
CN118026473A (zh) 一种滤清器生产线污水零排放处理方法及装置
JP2006289153A (ja) 汚水浄化方法及び装置
KR20140101589A (ko) 불산 폐수 정화 방법 및 이를 이용한 불화수소산 폐수의 처리 시설
CN215559437U (zh) 一种废水处理系统
CN215559636U (zh) 一种废水处理系统
CN112744915B (zh) 机械擦洗膜生物反应系统及方法
CN209010325U (zh) 一种生物制药废水零排放的成套处理设备
CN220703463U (zh) 一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统
CN105016546B (zh) 一种电镀废水处理系统与方法
CN210825862U (zh) 一种针对工业高盐高cod废水的处理装置
CN111825280B (zh) 一种靛红酸酐废水资源化处理工艺和设备

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20030326

Termination date: 20110816