CN110223910A - 一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备，支架的底部设置炉管挂钩，支架的下方侧面设置防滑挡板，支架，炉管挂钩和防滑挡板支撑炉管，支架的上部设置升降基座，升降基座和升降丝杆啮合，升降丝杆由升降电机驱动，升降电机固定在升降支撑板上，升降丝杆通过两端的轴承固定在升降支撑板上，升降支撑板上两侧设置第一滑轨，第一滑轨和升降基座的卡槽配合；升降支撑板的底部和平移丝杆啮合，平移丝杆由移动电机驱动，移动电机固定在水平基座上，平移丝杆通过两端的轴承固定在水平基座上，水平基座的两侧设置第二滑轨，第二滑轨和升降支撑板的底部卡槽配合。本发明能兼容不同规格的晶圆、降低成本、实现自动移位。

Description

一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，特别是一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备。
背景技术
晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。
传统的半导体晶片湿法清洗机为单列槽式清洗机，即上片区(Loader)与下片区(Unloader)之间有一或多于一个槽，每个槽按设计规格或需求可使用所需的酸液，碱液，纯水等进行清洗或漂洗，一般下片前会经过干燥槽干燥。一般的清洗机会配置搬送机构在不同槽间自动搬送晶片或装载晶片的晶片盒。
现有技术中，炉管进过酸洗，水洗，干燥后完成清洗。现有的设备不能兼容不同规格的晶圆，效率底下，成本高。需要一种能兼容不同规格的晶圆、降低成本、实现自动移位的十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构。
发明内容
本发明的目的是提供一种能兼容不同规格的晶圆、降低成本、实现自动移位的十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备。
根据本发明的第一方面，提供了一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，包括：
支架，所述支架的底部设置炉管挂钩，所述支架的下方侧面设置防滑挡板，所述支架，炉管挂钩和防滑挡板支撑炉管，所述支架的上部设置升降基座，所述升降基座和升降丝杆啮合，所述升降丝杆由升降电机驱动，所述升降电机固定在升降支撑板上，所述升降丝杆通过两端的轴承固定在升降支撑板上，所述升降支撑板上两侧设置第一滑轨，所述第一滑轨和升降基座的卡槽配合；
所述升降支撑板的底部和平移丝杆啮合，所述平移丝杆由移动电机驱动，所述移动电机固定在水平基座上，所述平移丝杆通过两端的轴承固定在水平基座上，所述水平基座的两侧设置第二滑轨，所述第二滑轨和升降支撑板的底部卡槽配合。
所述支架的竖向两侧为长条形对称的悬臂。
所述炉管挂钩的数量为两个以上，高度不相同，共线，相对于水平面倾斜。
所述炉管挂钩与支架的连接处铰接，设有弹性拉杆。
所述防滑挡板为板状支撑板。
所述升降基座为条状，中部设置内螺纹孔，两侧设置卡槽。
所述升降支撑板和水平基座相互垂直。
所述升降支撑板的底部中间位置设置内螺纹孔，两侧设置底部卡槽。
根据本发明的第二方面，提供了一种清洗设备，包括如上所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构。
本发明支架的底部设置炉管挂钩，支架的下方侧面设置防滑挡板，支架，炉管挂钩和防滑挡板支撑炉管，支架的上部设置升降基座，升降基座和升降丝杆啮合，升降丝杆由升降电机驱动，升降电机固定在升降支撑板上，升降丝杆通过两端的轴承固定在升降支撑板上，升降支撑板上两侧设置第一滑轨，第一滑轨和升降基座的卡槽配合；升降支撑板的底部和平移丝杆啮合，平移丝杆由移动电机驱动，移动电机固定在水平基座上，平移丝杆通过两端的轴承固定在水平基座上，水平基座的两侧设置第二滑轨，第二滑轨和升降支撑板的底部卡槽配合。支架的底部设置炉管挂钩，支架的下方侧面设置防滑挡板，支架，炉管挂钩和防滑挡板支撑炉管，支撑炉管，防止炉管滑落，可以放置不同规格的炉管，炉管挂钩带有呈凹槽状，可以分别放置十二寸或者八寸炉管，兼容使用。升降电机转动，带动升降丝杆转动，升降基座和升降丝杆啮合，升降基座实现升降。升降基座上的卡槽和升降支撑板上的第一滑轨配合限位，辅助升降。移动电机转动，带动平移丝杆转动，升降支撑板和平移丝杆啮合，升降支撑板实现水平运动。升降支撑板上的卡槽水平基座上的第二滑轨配合限位，辅助水平运动。本发明能兼容不同规格的晶圆、降低成本、实现自动移位。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一实施例中十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构的主视向的立体图；
图2为本发明一实施例中十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构的后视向的立体图；
图3为本发明一实施例中十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构的俯视图；
图4为本发明一实施例中十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构的主视图；
图中：1、支架，2、炉管挂钩，3、防滑挡板，4、炉管，5、升降基座，6、升降丝杆，7、升降电机，8、升降支撑板，9、第一滑轨，10、悬臂，11、平移丝杆，12、水平基座，13、移动电机,14、第二滑轨。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
图1为本发明一实施例中十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构的主视向的立体图；图2为本发明一实施例中十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构的后视向的立体图；图3为本发明一实施例中十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构的俯视图；图4为本发明一实施例中十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构的主视图。
请参考图1-图4，本发明一实施例中提供的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，包括：支架1，支架1的底部设置炉管挂钩2，支架1的下方侧面设置防滑挡板3，支架1，炉管挂钩2和防滑挡板3支撑炉管4，支架1的上部设置升降基座5，升降基座5和升降丝杆6啮合，升降丝杆6由升降电机7驱动，升降电机7固定在升降支撑板8上，升降丝杆6通过两端的轴承固定在升降支撑板8上，升降支撑板8上两侧设置第一滑轨9，第一滑轨9和升降基座5的卡槽配合；升降支撑板8的底部和平移丝杆11啮合，平移丝杆11由移动电机13驱动，移动电机13固定在水平基座12上，平移丝杆11通过两端的轴承固定在水平基座12上，水平基座12的两侧设置第二滑轨14，第二滑轨14和升降支撑板8的底部卡槽配合。
支架1的竖向两侧为长条形对称的悬臂10。炉管挂钩2的数量为两个以上，高度不相同，共线，相对于水平面倾斜。炉管挂钩2与支架1的连接处铰接，设有弹性拉杆。防滑挡板3为板状支撑板。升降基座5为条状，中部设置内螺纹孔，两侧设置卡槽。升降支撑板8和水平基座12相互垂直。升降支撑板8的底部中间位置设置内螺纹孔，两侧设置底部卡槽。
支架1的底部设置炉管挂钩2，支架1的下方侧面设置防滑挡板3，支架1，炉管挂钩2和防滑挡板3支撑炉管4，支撑炉管4，防止炉管4滑落，可以放置不同规格的炉管，炉管挂钩2带有呈凹槽状，可以分别放置十二寸或者八寸炉管，兼容使用。升降电机7转动，带动升降丝杆6转动，升降基座5和升降丝杆6啮合，升降基座5实现升降。升降基座5上的卡槽和升降支撑板8上的第一滑轨9配合限位，辅助升降。移动电机13转动，带动平移丝杆11转动，升降支撑板8和平移丝杆11啮合，升降支撑板8实现水平运动。升降支撑板8上的卡槽水平基座12上的第二滑轨14配合限位，辅助水平运动。
支架1的竖向两侧为长条形对称的悬臂10，起到支撑作用。炉管挂钩2的数量为两个以上，高度不相同，共线，相对于水平面倾斜，方便倾斜放置炉管4。炉管挂钩2与支架1的连接处铰接，设有弹性拉杆，当放置炉管4时，支撑炉管4，对于不同规格的炉管4，炉管挂钩2可以转动，并通过弹性拉杆提供支撑力。
防滑挡板3为板状支撑板，方便与炉管4对齐。升降基座5为条状，中部设置内螺纹孔，两侧设置卡槽，使受力均匀，便于运动。升降支撑板8和水平基座12相互垂直，实现竖向和水平向的定位，方便后续位置调节。升降支撑板8的底部中间位置设置内螺纹孔，两侧设置底部卡槽，使受力均匀，便于运动。
本发明实施例还提供了一种清洗设备，包括如上所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (9)

1.一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，其特征在于，包括：
支架(1)，所述支架(1)的底部设置炉管挂钩(2)，所述支架(1)的下方侧面设置防滑挡板(3)，所述支架(1)，炉管挂钩(2)和防滑挡板(3)支撑炉管(4)，所述支架(1)的上部设置升降基座(5)，所述升降基座(5)和升降丝杆(6)啮合，所述升降丝杆(6)由升降电机(7)驱动，所述升降电机(7)固定在升降支撑板(8)上，所述升降丝杆(6)通过两端的轴承固定在升降支撑板(8)上，所述升降支撑板(8)上两侧设置第一滑轨(9)，所述第一滑轨(9)和升降基座(5)的卡槽配合；
所述升降支撑板(8)的底部和平移丝杆(11)啮合，所述平移丝杆(11)由移动电机(13)驱动，所述移动电机(13)固定在水平基座(12)上，所述平移丝杆(11)通过两端的轴承固定在水平基座(12)上，所述水平基座(12)的两侧设置第二滑轨(14)，所述第二滑轨(14)和升降支撑板(8)的底部卡槽配合。
2.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，其特征在于，所述支架(1)的竖向两侧为长条形对称的悬臂(10)。
3.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，其特征在于，所述炉管挂钩(2)的数量为两个以上，高度不相同，共线，相对于水平面倾斜。
4.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，其特征在于，所述炉管挂钩(2)与支架(1)的连接处铰接，设有弹性拉杆。
5.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，其特征在于，所述防滑挡板(3)为板状支撑板。
6.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，其特征在于，所述升降基座(5)为条状，中部设置内螺纹孔，两侧设置卡槽。
7.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，其特征在于，所述升降支撑板(8)和水平基座(12)相互垂直。
8.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构，其特征在于，所述升降支撑板(8)的底部中间位置设置内螺纹孔，两侧设置底部卡槽。
9.一种清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1至8中任意一项所述的一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构。
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