CN215451365U - 一种硅片清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种硅片清洗装置，涉及硅片清洗技术领域，包括拾取机构和清洗箱,拾取机构将硅片拾取并放置在传动机构上,传动机构将硅片送入分配机构,分配机构将硅片调节为竖立状态并插入清洗篮,所述清洗篮沿清洗箱内壁上设置的导向槽运动,所述清洗箱侧壁设置有液体扇,所述清洗箱一侧设置有用于带动清洗篮脱离清洗箱的顶升机构，本实用新型清洗效率高，减少了人工参与保证了硅片质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，尤其涉及一种硅片清洗装置。
背景技术
硅片是制备芯片的主要原材料之一，随着大规模集成电路的发展，集成度的不断提高，线宽的不断减小，对硅片的质量要求也越来越高，特别是对硅片的表面质量要求越来越严，这主要是因为硅片抛光面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率，因此硅片表面处理的情况将直接影响最终产出的芯片质量。表面处理的最后一道工序是硅片清洗，由于需对硅片表面进行彻底的清洗，因此需使其表面裸露，不能在两片硅片贴合的情况下进行清洗。
现有技术存在以下问题：传统的单晶硅片清洗装置，通过传送带的传动输送单晶硅片的位置依次完成清洗步骤，而且对单晶硅片的一面清洗完成后，需要进行翻面，进行另外一面的清洗。硅片清洗装置在清洗前，工人需人工将硅片放入清洗框的清洗槽内，使硅片与硅片之间隔开，不仅效率低下，人工操作劳动量极大，对此我们提出一种硅片清洗装置。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种硅片清洗装置。
本实用新型是通过以下技术方案予以实现：一种硅片清洗装置，包括拾取机构和清洗箱,拾取机构将硅片拾取并放置在传动机构上,传动机构将硅片送入分配机构,分配机构将硅片调节为竖立状态并插入清洗篮,所述清洗篮沿清洗箱内壁上设置的导向槽运动,所述清洗箱侧壁设置有液体扇,所述清洗箱一侧设置有用于带动清洗篮脱离清洗箱的顶升机构。
本实用新型技术方案的进一步改进在于：拾取机构包括与水平滑轨滑动连接的升降杆和拾取吸盘,气缸的伸长端与升降杆顶部固定连接,升降杆的伸长端与拾取吸盘固定连接。
本实用新型技术方案的进一步改进在于：传动机构为传送皮带,分配机构包括分配盒和直线驱动机构,分配盒底部设置与硅片厚度相适应的通槽,分配盒底部与分配器滑动连接,分配器有若干个通过孔,所述通过孔下方与清洗篮的硅片插槽相对应,直线驱动机构的伸长端与分配盒固定连接。
本实用新型技术方案的进一步改进在于：顶升机构包括顶升板和滚珠丝杠,滚珠丝杠上设置有螺纹套,所述顶升板通过支杆与螺纹套固定连接,滚珠丝杠一端与驱动电机的输出端固定连接,另一端与清洗箱转动连接。
本实用新型的有益效果是：拾取机构拾取成摞放置的待清洗硅片无需人工拾取提高效率,通过传动机构将硅片送入分配机构,分配机构对硅片姿态进行转换将硅片竖直放置进入清洗篮便于清洗,导向槽便于控制清洗篮在清洗箱内运动轨迹避免硅片脱离清洗篮,顶升机构便于将清洗完毕的硅片和清洗篮送出清洗箱,避免工作人员手动取出对硅片造成污染。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图中：1、拾取机构；2、分配机构；3、传动机构；4、清洗篮；5、导向槽；6、顶升机构；7、清洗箱；8、升降杆；9、拾取吸盘；10、分配盒；11、滚珠丝杠；12、顶升板。
具体实施方式
为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图所示，本实用新型提供了一种硅片清洗装置，包括拾取机构1和清洗箱7,拾取机构1将硅片拾取并放置在传动机构3上,传动机构3将硅片送入分配机构2,分配机构2将硅片调节为竖立状态并插入清洗篮4,所述清洗篮4沿清洗箱7内壁上设置的导向槽5运动,所述清洗箱7侧壁设置有液体扇,所述清洗箱7一侧设置有用于带动清洗篮4脱离清洗箱7的顶升机构6。清洗篮4两侧设置有导向轴,清洗篮采用不锈钢制作，所述导向轴尺寸与导向槽5宽度相适应,清洗箱7靠近分配机构2一侧设置有直线驱动机构,直线驱动机构可以是气缸或者电动推杆,以电动推杆为例,电动推杆的伸长端固定连接有顶块,电动推杆伸长推动清洗篮4做远离分配机构2运动。导向槽5由两个Z形弯折轨道和一条线性轨道拼合形成，清洗篮4在第一Z形弯折轨道受直线驱动机构推动沿导向槽5下落后，通过设置在导向槽5上方的牵引装置牵引进入第二Z形弯折轨道，牵引装置包括电动推杆和电磁铁，电磁铁设置在电动推杆的伸缩端，电动推杆伸长至电磁铁接触清洗篮4后，通过电磁铁的磁性吸附清洗篮4，电动推杆收缩牵引清洗篮4沿导向槽5移动，清洗篮4沿导向槽5在重力作用下下滑时，电磁铁与清洗篮4分离，液体扇搅动的清洗液形成水流同时会推动清洗篮4向顶升机构6靠近，启动顶升机构6清洗篮4浮出清洗箱7，工作人员取出清洗篮4。液体扇可以有多个，液体扇也分布在清洗箱7导向槽5一侧，用来搅动清洗液对硅片进行多角度冲刷。
进一步的实施方案中,拾取机构1包括与水平滑轨滑动连接的升降杆8和拾取吸盘9,气缸的伸长端与升降杆8顶部固定连接,升降杆8的伸长端与拾取吸盘9固定连接。
进一步的实施方案中,传动机构3为传送皮带,分配机构2包括分配盒10和直线驱动机构,分配盒10底部设置与硅片厚度相适应的通槽,分配盒10底部与分配器滑动连接,分配盒10底部通槽处做圆弧处理避免刮伤硅片，分配器有若干个通过孔,所述通过孔下方与清洗篮4的硅片插槽相对应,直线驱动机构的伸长端与分配盒10固定连接。直线驱动机构是电动推杆或气缸。清洗篮4内设置软质层如橡胶，增加清洗篮与硅片的阻尼。气缸推动分配盒10相对于分配器滑动，将硅片分配落入清洗篮4的不同硅片插槽内，实现对清洗篮4的自动上料。
进一步的实施方案中,顶升机构6包括顶升板12和滚珠丝杠11,滚珠丝杠11上设置有螺纹套,所述顶升板12通过支杆与螺纹套固定连接,滚珠丝杠11一端与驱动电机的输出端固定连接,另一端与清洗箱7转动连接。
本实用新型的工作原理是：拾取机构1拾取成摞放置的待清洗硅片无需人工拾取提高效率,通过传动机构3将硅片送入分配机构2,分配机构2对硅片姿态进行转换将硅片竖直放置进入清洗篮4便于清洗,导向槽5便于控制清洗篮4在清洗箱7内运动轨迹避免硅片脱离清洗篮4,顶升机构6便于将清洗完毕的硅片和清洗篮4送出清洗箱7,避免工作人员手动取出对硅片造成污染。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种硅片清洗装置，其特征在于：包括拾取机构和清洗箱,拾取机构将硅片拾取并放置在传动机构上,传动机构将硅片送入分配机构,分配机构将硅片调节为竖立状态并插入清洗篮,所述清洗篮沿清洗箱内壁上设置的导向槽运动,所述清洗箱侧壁设置有液体扇,所述清洗箱一侧设置有用于带动清洗篮脱离清洗箱的顶升机构。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：拾取机构包括与水平滑轨滑动连接的升降杆和拾取吸盘,气缸的伸长端与升降杆顶部固定连接,升降杆的伸长端与拾取吸盘固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：传动机构为传送皮带,分配机构包括分配盒和直线驱动机构,分配盒底部设置与硅片厚度相适应的通槽,分配盒底部与分配器滑动连接,分配器有若干个通过孔,所述通过孔下方与清洗篮的硅片插槽相对应,直线驱动机构的伸长端与分配盒固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：顶升机构包括顶升板和滚珠丝杠,滚珠丝杠上设置有螺纹套,所述顶升板通过支杆与螺纹套固定连接,滚珠丝杠一端与驱动电机的输出端固定连接,另一端与清洗箱转动连接。
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2021
- 2021-07-12 CN CN202121571586.9U patent/CN215451365U/zh active Active
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