CN217451224U

CN217451224U - 一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机

Info

Publication number: CN217451224U
Application number: CN202221307727.0U
Authority: CN
Inventors: 李瑞鹏; 武瑞; 武治军; 曹政民; 曹进根; 陈春娟; 贾海东; 陈列波; 万银虎; 颜亮; 张�杰; 王大伟; 任倞辉; 万遥
Original assignee: Wuxi Zhonghuan Application Material Co ltd
Current assignee: Wuxi Zhonghuan Application Material Co ltd
Priority date: 2022-05-30
Filing date: 2022-05-30
Publication date: 2022-09-20
Anticipated expiration: 2032-05-30

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，涉及单晶硅相关领域，为解决现有技术中的无法解决现有横向主梁在长时间使用后易导致连接盘与横向主梁产生分离现象的问题。所述设备箱的一侧设置有滑道箱，所述滑道箱上通过螺栓连接有电动滑道，所述滑道箱的一侧设置有连接架，所述连接架的内部设置有滑动道，所述滑动道的下端设置有滑动块，所述滑动块的下端设置有电动推杆，所述电动推杆上设置有机械夹爪，所述机械夹爪的下端设置有连接块，所述连接块的下端设置有硅片箱。

Description

一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机

技术领域

本实用新型涉及单晶硅相关领域，具体为一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机。

背景技术

单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。

例如公告号为CN208527516U的中国授权专利（一种自动插片清洗一体机）：包括相互固定的插片机和清洗机，所述插片机包括依次排列的提篮升降装置、插片装置和一体片盒上料装置，所述清洗机包括传输装置、清洗装置和烘干装置，所述传输装置的一侧设置有所述清洗装置与所述烘干装置，所述清洗装置与所述烘干装置依次排列；

上述现有技术在进行使用时虽然具备实现了硅片的自动化清洗，提高了清洗机的产能等优点，但其在对单晶硅进行移动时，往往难以实现对单晶硅片盒进行平稳移动，从而极易影响到整个一体机的工作效率，因此市场急需研制一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，以解决上述背景技术中提出的无法解决现有脱胶插片清洗一体机难以对单晶硅片盒进行平稳移动的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，包括设备箱，所述设备箱的一侧设置有滑道箱，所述滑道箱上通过螺栓连接有电动滑道，所述滑道箱的一侧设置有连接架，所述连接架的内部设置有滑动道，所述滑动道的下端设置有滑动块，所述滑动块的下端设置有电动推杆，所述电动推杆上设置有机械夹爪，所述机械夹爪的下端设置有连接块，所述连接块的下端设置有硅片箱。

优选的，所述连接块上设置有卡接槽，所述卡接槽设置为矩形槽状，所述连接块的内侧设置有吸磁片，所述吸磁片与连接块设置为固定连接。

优选的，所述硅片箱的内部设置有限位片，所述限位片设置为矩形片状，所述限位片设置有多个，所述限位片与硅片箱设置为一体状，所述硅片箱的外表面上设置有镂槽，所述镂槽设置为矩形槽状，所述镂槽的深度与硅片箱的厚度设置为一致，所述硅片箱的下端设置有支撑板，所述支撑板设置有两个，所述支撑板上设置有电动滑块，所述电动滑块与滑道箱上的电动滑道设置为电性连接。

优选的，所述设备箱的内部设置有传动轮，所述传动轮上设置有传动带，所述设备箱的前端设置有第二电机。

优选的，所述设备箱的上端设置有连接滑道，所述连接滑道的内部设置有连接滑块，所述连接滑块上设置有连接臂，所述连接臂上设置有脱胶喷头。

优选的，所述设备箱的后端设置有第一电机，所述第一电机的前端设置有转动套，所述转动套的上端设置有托料板，所述转动套的一侧设置有落料板，所述转动套的另一侧设置有超声波清洗机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该实用新型通过机械夹爪、卡接槽与吸磁片的设置，使用者在对该脱胶插片清洗一体机进行使用时，使用者可以通过将机械夹爪固定在卡接槽的内部，从而可以在一定程度上实现对连接块的锁紧处理，同时也可以通过吸磁片与机械夹爪上的磁片来进一步的提高机械夹爪与连接块之间的连接性能，进而可以在一定程度上解决现有脱胶插片清洗一体机难以对单晶硅片盒进行平稳移动的问题；

2、该实用新型通过第一电机、落料板与托料板的设置，使用者在对该脱胶插片清洗一体机进行使用时，使用者可以通过第一电机来驱动转动套进行转动，再通过落料板来对硅片箱进行支撑，同时也可以通过托料板的设置，来使得进入清洁水内部的硅片箱可以充分进行浸泡，从而可以在一定程度上缓解使用者的使用压力，进而可以大幅度的提高整个一体机的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的硅片箱的结构图。

图2为本实用新型的一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机的正局部剖视结构图。

图3为本实用新型的一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机的俯局部剖视结构图。

图4为本实用新型的连接块的结构图。

图中：1、设备箱；2、传动轮；3、传动带；4、滑道箱；5、电动滑块；6、支撑板；7、硅片箱；8、限位片；9、镂槽；10、连接块；11、卡接槽；12、吸磁片；13、电动推杆；14、机械夹爪；15、滑动块；16、滑动道；17、连接架；18、连接滑道；19、连接滑块；20、连接臂；21、脱胶喷头；22、超声波清洗机；23、转动套；24、落料板；25、托料板；26、第一电机；27、第二电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，包括设备箱1，设备箱1的一侧设置有滑道箱4，滑道箱4上通过螺栓连接有电动滑道，滑道箱4的一侧设置有连接架17，连接架17的内部设置有滑动道16，滑动道16的下端设置有滑动块15，滑动块15的下端设置有电动推杆13，电动推杆13上设置有机械夹爪14，机械夹爪14的下端设置有连接块10，连接块10的下端设置有硅片箱7，机械夹爪14的下端面设置有磁片。

进一步，连接块10上设置有卡接槽11，卡接槽11设置为矩形槽状，连接块10的内侧设置有吸磁片12，吸磁片12与连接块10设置为固定连接。

进一步，硅片箱7的内部设置有限位片8，限位片8设置为矩形片状，限位片8设置有多个，限位片8与硅片箱7设置为一体状，硅片箱7的外表面上设置有镂槽9，镂槽9设置为矩形槽状，镂槽9的深度与硅片箱7的厚度设置为一致，硅片箱7的下端设置有支撑板6，支撑板6设置有两个，支撑板6上设置有电动滑块5，电动滑块5与滑道箱4上的电动滑道设置为电性连接。

进一步，设备箱1的内部设置有传动轮2，传动轮2设置有多个，传动轮2上设置有传动带3，传动带3紧贴传动轮2，设备箱1的前端设置有第二电机27，第二电机27与传动轮2通过联轴器连接。

进一步，设备箱1的上端设置有连接滑道18，连接滑道18的内部设置有连接滑块19，连接滑块19上设置有连接臂20，连接臂20上设置有脱胶喷头21。

进一步，设备箱1的后端设置有第一电机26，第一电机26的前端设置有转动套23，转动套23的上端设置有托料板25，转动套23的一侧设置有落料板24，转动套23的另一侧设置有超声波清洗机22。

工作原理：使用时，先对整个单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机进行检查，使用者确认检查无误后，即可以开始进行使用，使用者可以通过将单晶硅放置在传动带3上，并通过传动轮2将单晶硅送入硅片箱7中，一端实现后，通过机械夹爪14抓取硅片箱7，并将其放置在落料板24上，通过第一电机26转动转动套23，再通过脱胶喷头21将脱胶液喷在单晶硅上，以实现对单晶硅的脱胶处理，同时也可以通过超声波清洗机22的设置，来实现对单晶硅的超声波清洗处理，而使用者在使用该一体机的过程中，可以通过将机械夹爪14固定在卡接槽11的内部，从而可以在一定程度上实现对连接块10的锁紧处理，同时也可以通过吸磁片12与机械夹爪14上的磁片来进一步的提高机械夹爪14与连接块10之间的连接性能，进而可以在一定程度上解决现有脱胶插片清洗一体机难以对单晶硅片盒进行平稳移动的问题，再通过第一电机26来驱动转动套23进行转动，再通过落料板24来对硅片箱7进行支撑，同时也可以通过托料板25的设置，来使得进入清洁水内部的硅片箱7可以充分进行浸泡，从而可以在一定程度上缓解使用者的使用压力，进而可以大幅度的提高整个一体机的工作效率。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims

1.一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，包括设备箱（1），其特征在于：所述设备箱（1）的一侧设置有滑道箱（4），所述滑道箱（4）上通过螺栓连接有电动滑道，所述滑道箱（4）的一侧设置有连接架（17），所述连接架（17）的内部设置有滑动道（16），所述滑动道（16）的下端设置有滑动块（15），所述滑动块（15）的下端设置有电动推杆（13），所述电动推杆（13）上设置有机械夹爪（14），所述机械夹爪（14）的下端设置有连接块（10），所述连接块（10）的下端设置有硅片箱（7）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，其特征在于：所述连接块（10）上设置有卡接槽（11），所述卡接槽（11）设置为矩形槽状，所述连接块（10）的内侧设置有吸磁片（12），所述吸磁片（12）与连接块（10）设置为固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，其特征在于：所述硅片箱（7）的内部设置有限位片（8），所述限位片（8）设置为矩形片状，所述限位片（8）设置有多个，所述限位片（8）与硅片箱（7）设置为一体状，所述硅片箱（7）的外表面上设置有镂槽（9），所述镂槽（9）设置为矩形槽状，所述镂槽（9）的深度与硅片箱（7）的厚度设置为一致，所述硅片箱（7）的下端设置有支撑板（6），所述支撑板（6）设置有两个，所述支撑板（6）上设置有电动滑块（5），所述电动滑块（5）与滑道箱（4）上的电动滑道设置为电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，其特征在于：所述设备箱（1）的内部设置有传动轮（2），所述传动轮（2）上设置有传动带（3），所述设备箱（1）的前端设置有第二电机（27）。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，其特征在于：所述设备箱（1）的上端设置有连接滑道（18），所述连接滑道（18）的内部设置有连接滑块（19），所述连接滑块（19）上设置有连接臂（20），所述连接臂（20）上设置有脱胶喷头（21）。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用脱胶插片清洗一体机，其特征在于：所述设备箱（1）的后端设置有第一电机（26），所述第一电机（26）的前端设置有转动套（23），所述转动套（23）的上端设置有托料板（25），所述转动套（23）的一侧设置有落料板（24），所述转动套（23）的另一侧设置有超声波清洗机（22）。