JP5696491B2 - ウェーハ洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Description
1a オリエンテーションフラット
2 洗浄液
10,20 ウェーハ洗浄装置
11,11A,11B 洗浄槽
11a 洗浄槽の開口
11b 洗浄液供給口
12,12A〜12G 受け台
13 ウェーハチャック
13a,13b アーム
14 超音波発生器
15 洗浄液回収槽
16 ポンプ
17 フィルター
18 支持棒
18a 揺動軸
18b クランク
21 搬送ロボット
22 支持部材
23 ウェーハチャック昇降機構
24 ガイドレール
25 移動機構
Claims (14)
- 第1の洗浄槽と、
前記第1の洗浄槽内でウェーハを揺動可能に保持する第1の受け台と、
前記第1の受け台を揺動させる第1の揺動機構と、
前記第1の洗浄槽内に超音波を供給する第1の超音波発生器と、
前記第1の洗浄槽内の前記ウェーハを保持して昇降させるウェーハ保持機構とを備え、
前記ウェーハ保持機構は、前記第1の受け台の揺動角度が第1の角度であるときに前記第1の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記第1の角度とは異なる第2の角度であるときに前記ウェーハを前記第1の受け台上に再び載置することによって、前記第1の受け台上の前記ウェーハを周方向に回転させることを特徴とするウェーハ洗浄装置。 - 前記ウェーハ保持機構は、基準位置から見た前記第1の受け台の揺動角度が−θであるときに前記第1の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記基準位置から見た前記第1の受け台の揺動角度が+θであるときに前記ウェーハを前記第1の受け台上に再び載置することによって、前記第1の受け台上の前記ウェーハを周方向に2θ回転させることを特徴とする請求項1に記載のウェーハ洗浄装置。
- 前記ウェーハ保持機構は、前記第1の受け台上の前記ウェーハの持ち上げ動作と前記第1の受け台への前記ウェーハの載置動作とを交互に繰り返し、前記ウェーハを周方向に連続的に回転させることを特徴とする請求項1又は2に記載のウェーハ洗浄装置。
- 第2の洗浄槽をさらに備え、
前記ウェーハ保持機構は、前記第1及び第2の洗浄槽の一方から他方への前記ウェーハの移動を行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のウェーハ洗浄装置。 - 前記第2の洗浄槽内でウェーハを揺動可能に保持する第2の受け台と、
前記第2の受け台を揺動させる第2の揺動機構と、
前記第2の洗浄槽内に超音波を供給する第2の超音波発生器とをさらに備え、
前記ウェーハ保持機構は、前記第2の洗浄槽内の前記ウェーハを保持して昇降させると共に、前記第2の受け台の揺動角度が第3の角度であるときに前記第2の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記第3の角度とは異なる第4の角度であるときに前記ウェーハを前記第2の受け台上に再び載置することによって、前記第2の受け台上の前記ウェーハを周方向に回転させることを特徴とする請求項4に記載のウェーハ洗浄装置。 - 前記ウェーハ保持機構は、前記第1の受け台と協働して前記第1の洗浄槽内のウェーハを周方向に所定の角度回転させた後、前記第2の洗浄槽に移動させることを特徴とする請求項5に記載のウェーハ洗浄装置。
- 前記ウェーハ保持機構は、前記第1の洗浄槽内のウェーハを前記第2の洗浄槽に移動させた後、前記第2の受け台と協働して第2の洗浄槽内のウェーハを周方向に所定の角度回転させることを特徴とする請求項5に記載のウェーハ洗浄装置。
- 第1の洗浄槽内の第1の受け台に載置されたウェーハを前記第1の受け台と共に揺動させながら前記ウェーハを超音波洗浄する第1の洗浄工程を含み、
前記第1の洗浄工程では、前記第1の受け台の揺動角度が第1の角度であるときにウェーハ保持機構が前記第1の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記第1の角度とは異なる第2の角度であるときに前記ウェーハ保持機構が前記ウェーハを前記第1の受け台上に再び載置することによって、前記第1の受け台上の前記ウェーハを周方向に回転させることを特徴とするウェーハ洗浄方法。 - 前記第1の洗浄工程では、基準位置から見た前記第1の受け台の揺動角度が−θであるときに前記ウェーハ保持機構が前記第1の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記基準位置から見た前記第1の受け台の揺動角度が+θであるときに前記ウェーハ保持機構が前記ウェーハを前記第1の受け台上に再び載置することによって、前記第1の受け台上の前記ウェーハを周方向に2θ回転させることを特徴とする請求項8に記載のウェーハ洗浄方法。
- 前記第1の洗浄工程では、前記ウェーハ保持機構が前記第1の受け台上の前記ウェーハの持ち上げ動作と前記第1の受け台への前記ウェーハの載置動作とを交互に繰り返し、前記第1の洗浄槽内の前記ウェーハを周方向に連続的に回転させることを特徴とする請求項8又は9に記載のウェーハ洗浄方法。
- 前記ウェーハ保持機構を用いて、前記第1の洗浄槽及び第2の洗浄槽の一方から他方へ前記ウェーハの移動を行うことを特徴とする請求項8乃至10のいずれか一項に記載のウェーハ洗浄方法。
- 前記第2の洗浄槽内の第2の受け台に載置されたウェーハを前記第2の受け台を共に揺動させながら前記ウェーハを超音波洗浄する第2の洗浄工程を含み、
前記第2の洗浄工程では、前記第2の受け台の揺動角度が第3の角度であるときに前記ウェーハ保持機構が前記第2の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記第3の角度とは異なる第4の角度であるときに前記ウェーハ保持機構が前記ウェーハを前記第2の受け台上に再び載置することによって、前記第2の受け台上の前記ウェーハを周方向に回転させることを特徴とする請求項11に記載のウェーハ洗浄方法。 - 前記ウェーハ保持機構を用いて、前記第1の受け台と協働して前記第1の洗浄槽内のウェーハを周方向に所定の角度回転させた後、前記第2の洗浄槽に移動させることを特徴とする請求項12に記載のウェーハ洗浄方法。
- 前記ウェーハ保持機構を用いて、前記第1の洗浄槽内のウェーハを前記第2の洗浄槽に移動させた後、前記第2の受け台と協働して第2の洗浄槽内のウェーハを周方向に所定の角度回転させることを特徴とする請求項12に記載のウェーハ洗浄方法。
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