CN110190240B - 复合型锂氧化物薄膜及其制备方法与应用 - Google Patents

复合型锂氧化物薄膜及其制备方法与应用 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种复合型锂氧化物薄膜及其制备方法与应用。所述复合型锂氧化物薄膜的制备方法包括的步骤有：将锂氧化物靶材和能量密度贡献主体元素靶材在惰性气氛下进行共溅射处理，在基体上生长复合型锂氧化物薄膜。本发明复合型锂氧化物薄膜的制备方法将锂氧化物靶材和能量密度贡献主体元素靶材直接采用共溅射法沉积形成。使得生长的复合型锂氧化物薄膜具有界面电阻小的特性，而且可以减少固体电解质膜(SEI)的产生，减轻周期性体积变化的应力，保持锂离子嵌入/脱出过程中的结构稳定性。另外，所述制备方法有效保证生长的复合型锂氧化物薄膜化学性能稳定。

Description

复合型锂氧化物薄膜及其制备方法与应用
技术领域
本发明属于化学电源技术领域，尤其涉及一种复合型锂氧化物薄膜及其制备方法与应用。
背景技术
锂电池由于其容量高、能量密度大、造价低廉、循环寿命长、工作电压高等优点，成为当今最具潜力的能量储存体系之一，并已得到广泛运用。其中，电极材料的性能直接决定了锂离子电池的性能。
由于锂氧化物如碳酸锂是制备各种锂化合物的原料，是锂盐产品中产量最大、用途最广的产品，被广泛应用于化工、冶金、陶瓷、医药、制冷等行业，还可用于制备化学反应的催化剂，素有“工业味精”之称。随着低碳经济和绿色新能源产业的快速发展，特别是随着大容量动力电池技术的突破及推广应用，新型锂电动力汽车行业迅速崛起，大力发展锂电产业成为人们的普遍共识，将推动锂的需求走出“工业味精”的传统局限，迎来“能源金属”的新时代。碳酸锂是锂电新能源产业发展的重要基础原材料，主要用于合成各种锂电池电极材料，其市场需求量将呈爆发性的增长，碳酸锂是现代高科技产品不可或缺的重要原材料。
虽然锂氧化物具有优异的电化学性能，且常被用于锂离子电池负极材料，但是目前大多是将锂氧化物与导电剂和粘结剂等先配制成负极浆料，然后进行涂覆处理获得负极片。正是由于粘结剂等的存在导致制备的相应负极片内阻偏大，而且含锂氧化物的活性层易脱落，从而导致锂电池的首次充放电效率和比容量以及循环等性能不理想，还需要提高。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的上述不足，提供一种复合型锂氧化物薄膜及其制备方法，以解决现有锂氧化物作为负极材料时几乎采用涂覆方式形成活性层而导致形成的负极片充放电效率和比容量以及循环等电化学性能不理想的技术问题。
本发明的另一目的在于提供一种电极片和电极片的应用，以解决现有含锂氧化物的电极片存在如充放电效率和比容量以及循环等电化学性能不理想的技术问题。
为了实现本发明的发明目的，本发明的一方面，提供了一种复合型锂氧化物薄膜的制备方法。所述复合型锂氧化物薄膜的制备方法包括如下步骤：
将氧化锂、过氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种和能量密度贡献主体元素靶材在惰性气氛下进行共溅射处理，在基体上生长复合型锂氧化物薄膜。
本发明的另一方面，提供了一种复合型锂氧化物薄膜。所述复合型锂氧化物薄膜是由本发明复合型锂氧化物薄膜的制备方法生长形成。
本发明的又一方面，提供了一种电极片。所述电极片包括集流体，在所述集流体表面上还结合有复合型锂氧化物薄膜，所述复合型锂氧化物薄膜是按照本发明制备方法在所述集流体上生长形成。
本发明的再一方面，提供本发明电极片的应用。所述电极片在制备锂离子电池或超级电容器中的应用。
与现有技术相比，本发明复合型锂氧化物薄膜的制备方法将氧化锂、过氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种和能量密度贡献主体元素靶材直接采用共溅射法沉积形成。这样，使得纳米级能量密度贡献主体元素嵌在锂氧化物基体中，从而在复合型锂氧化物薄膜中形成了一个更大的表面积供锂离子容纳，赋予所述复合型锂氧化物薄膜具有界面电阻小的特性。而且将所述复合型锂氧化物薄膜作为负极膜层后，其所含的锂氧化物基体能够有效阻止电解液与纳米级能量密度贡献主体元素的直接接触，可以减少和阻止电解液与能量密度贡献主体之间的不可逆副反应，减少固体电解质膜(SEI)的产生，减轻周期性体积变化的应力，保持锂离子嵌入/脱出过程中的结构稳定性，且赋予所述复合型薄膜材料良好的大倍率性能，安全性能良好。另外，采用共溅射法生长形成膜层，其条件易控，有效保证生长的复合型锂氧化物薄膜化学性能稳定，效率高，适用于工业化大规模的生产。
因此，本发明复合型锂氧化物薄膜界面电阻小，其所含的锂氧化物基体能够有效阻止电解液与纳米级能量密度贡献主体元素的直接接触，可以减少和阻止电解液与能量密度贡献主体之间的不可逆副反应，减少固体电解质膜(SEI) 的产生，然后减轻周期性体积变化的应力，同时保持锂离子嵌入/脱出过程中的结构稳定性。
本发明电极片由于是利用本发明制备方法直接在集流体上生长形成复合型锂氧化物薄膜。因此，所述电极片内阻小，而且所含的复合型锂氧化物薄膜能够有效阻止电解液与纳米级能量密度贡献主体元素的直接接触，可以减少和阻止电解液与能量密度贡献主体之间的不可逆副反应，减少固体电解质膜(SEI) 的产生，减轻周期性体积变化的应力，保持锂离子嵌入/脱出过程中的结构稳定性。而且具有大倍率性能，安全性能良好。
由于本发明电极片具有该些优点，含有本发明电极片的锂离子电池的锂离子传导速率高，结构稳定性和容量保持率高，赋予所述锂离子电池具有高的首次充放电效率和锂离子电池或超级电容器具有大倍率性能，安全性能良好，循环性能好，循环稳定性好，安全性能较高。含有本发明电极片的超级电容器内阻小，充放电快速，同时储能性能优异。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的复合型锂氧化物薄膜材料的XRD图；
图2为本发明实施例七提供的含复合型锂氧化物薄膜电极材料的锂离子电池在150mA/g时首圈、第30圈、第100圈的充放电曲线图；
图3是本发明实施例八、九、十、十一、十二提供的含复合型锂氧化物薄膜电极材料的锂离子电池在150mA/g时首次充放电曲线对比图；其中，曲线1 为实施例八得到的锂离子电池的首次充放电曲线，曲线2为实施例九得到的的锂离子电池的首次充放电曲线，曲线3为实施例十得到的锂离子电池的首次充放电曲线，曲线4为实施例十一得到的锂离子电池的首次充放电曲线1，曲线5 为实施例十二得到的锂离子电池的首次充放电曲线；
图4是本发明实施例七得到的含复合型锂氧化物薄膜电极材料的锂离子电池3000mA/g时的循环性能图；
图5是本发明实施例七得到的含复合型锂氧化物薄膜电极材料的锂离子电池3000mA/g时的库伦效率图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
一方面，本发明实施例提供一种复合型锂氧化物薄膜的制备方法。所述复合型锂氧化物薄膜的制备方法包括如下步骤：
将氧化锂、过氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种和能量密度贡献主体元素靶材在惰性气氛下进行共溅射处理，在基体上生长复合型锂氧化物薄膜。
其中，在共溅射过程中，所述能量密度贡献主体元素靶材实现对锂氧化物进行掺杂，从而在基体上生长以锂氧化物为基体，以所述能量密度贡献主体元素为掺杂元素的膜层，从而使得所述复合型锂氧化物薄膜中形成了一个更大的表面积供锂离子容纳，以显著降低复合型锂氧化物薄膜的界面电阻。同时由于其所含锂氧化物基体能够有效阻止电解液与纳米级能量密度贡献主体元素的直接接触，可以减少和阻止电解液与能量密度贡献主体之间的不可逆副反应，减少固体电解质膜(SEI)的产生，减轻周期性体积变化的应力，保持锂离子嵌入/ 脱出过程中的结构稳定性。因此，在一实施例中，所述能量密度贡献主体元素靶材包括硅、锡、钛、钒、锰、金、银、铜、钼、钴中的至少一种单质靶或合金靶或硅、锡、钛、钒、锰、金、银、铜、钼、钴中的至少一种化合物靶。在具体实施例中，各靶应该是选用高纯度的靶材，如纯度为99.999％的相应陶瓷靶材。该能量密度贡献主体元素靶材所含的元素具有高能量密度贡献特性，能够形成更大的表面积供锂离子容纳，从而显著降低所述复合型锂氧化物薄膜的内阻，而且在氧化锂基体的作用下具有高的电化学反应的稳定性。
一实施例中，所述共溅射处理的溅射功率满足：溅射所述氧化锂、过氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种的功率与溅射能量密度贡献主体元素靶材的功率比为4:1～1:4。通过控制两靶材的溅射功率比，从而控制复合型锂氧化物薄膜中的能量密度贡献主体元素在锂氧化物基体中的掺杂含量，也即是间接通过优化能量密度贡献主体元素的掺杂含量从而实现优化复合型锂氧化物薄膜的内阻和相应的电化学性能。
在另一实施例中，在所述共溅射处理过程中，所述基体的温度控制为 200℃-800℃；所述溅射气氛为氮气、氩气、氨气中的至少一种与氧气混合气体气氛。当为两种或两种以上气体时，混合气体的体积比可以根据需要进行调节。其中，氮气、氩气、氨气和氧气可以是99.998％的纯度。基体与靶材之间的间距优选为30-90mm，具体的如50mm。通过控制基体的温度和高纯度的惰性环境，从而保证并提高生长的复合型锂氧化物薄膜的质量，从而保证和提高其电化学性能。
另外，在上述所述共溅射处理的条件下，可以控制溅射时间来控制生长复合型锂氧化物薄膜的厚度，如可以但不仅仅为0.1-10μm，具体的如1μm。
上述制备方法各实施例中的氧化锂、过氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种可以直接用现成的氧化锂、过氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种。也可以按照如下方法制备：
将锂氧化物粉体铺设在基板表面上，然后对所述锂氧化物粉体进行干压处理。其中，一实施例中，所述干压处理可以但不仅仅为采用5吨单向压力对所述锂氧化物粉体进行直接施压处理。
在具体实施例中，碳酸锂、乙酸锂和氢氧化锂在高温下会分解为氧化锂和二氧化碳或水，二氧化碳和水逸出后只剩氧化锂结构。应当理解的是，该些氧化锂、过氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种应该是纯的。
一实施例中，上述各实施例中的所述基体为化学电源负极集流体。在具体实施例中，所述基体可以是不锈钢基板。
因此，上文所述复合型锂氧化物薄膜的制备方法将氧化锂、过氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种和能量密度贡献主体元素靶材直接采用共溅射法沉积形成。这样，沉积生长的复合型锂氧化物薄膜是以锂氧化物为基体也即是作为薄膜骨架支撑，以纳米级能量密度贡献主体元素为掺杂元素掺杂于所述锂氧化物为基体中，从而在复合型锂氧化物薄膜中形成了一个更大的表面积供锂离子容纳，赋予所述复合型锂氧化物薄膜具有界面电阻小的特性和可很好的发挥所述能量密度贡献主体元素的高容量特性。而且该特性复合型锂氧化物薄膜能够有效阻止电解液与纳米级能量密度贡献主体元素的直接接触，可以减少和阻止电解液与能量密度贡献主体之间的不可逆副反应，固体电解质膜 (SEI)的产生，减轻周期性体积变化的应力，保持锂离子嵌入/脱出过程中的结构稳定性，同时生长的复合型锂氧化物薄膜大倍率性能良好，防爆防火性，安全性能良好。而且所述制备方法采用共溅射法生长形成膜层，其条件易控，有效保证生长的复合型锂氧化物薄膜化学性能稳定，效率高，适用于工业化大规模的生产。
相应地，基于上文所述复合型锂氧化物薄膜的制备方法，本发明实施例还提供了一种复合型锂氧化物薄膜。由于所述复合型锂氧化物薄膜是由上文所述复合型锂氧化物薄膜的制备方法制备获得，因此，所述复合型锂氧化物薄膜具有如上文所述的特性：界面电阻小，具有良好导电性能；而且所述特性复合型锂氧化物薄膜能够有效阻止电解液与纳米级能量密度贡献主体元素的直接接触，可以减少和阻止电解液与能量密度贡献主体之间的不可逆副反应，减少固体电解质膜(SEI)的产生，减轻周期性体积变化的应力，保持锂离子嵌入/脱出过程中的结构稳定性，同时生长的复合型锂氧化物薄膜大倍率性能良好，安全性能良好。
另一方面，本发明实施例还提供了一种电极片。电极片包括集流体，在所述集流体表面上还结合有复合型锂氧化物薄膜，所述复合型锂氧化物薄膜是按照上文所述制备方法在所述集流体上生长形成。其中，由于按照上文所述制备方法生长的复合型锂氧化物薄膜，因此，所述集流体优选是负极集流体。如可以但不仅仅是不锈钢板。生长的所述复合型锂氧化物薄膜可以但不仅仅控制为 0.1-10μm，具体的如1μm。因此，所述电极片内阻小，而且所含的复合型锂氧化物薄膜能够有效阻止电解液与纳米级能量密度贡献主体元素的直接接触，可以减少和阻止电解液与能量密度贡献主体之间的不可逆副反应，减少固体电解质膜(SEI)的产生，减轻周期性体积变化的应力，保持锂离子嵌入/脱出过程中的结构稳定性。
基于本发明实施例所述电极片具有上述该些优点，因此，所述电极片在制备锂离子电池或超级电容器中的应用。当所述电极片在锂离子电池中应用时，所述锂离子电池理所当然的包括必要的组件，如包括由正极、负极和隔膜形成的电芯。其中，所述负极为上文所述电极片。其他组件可以是常规锂离子电池所含的常规组件。这样，所述锂离子电池具有高的首次充放电效率和锂离子电池具有大倍率性能，安全性能良好，循环性能好，循环稳定性好，安全性能较高。当所述电极片在超级电容器中应用时，所述超级电容器理所当然的包括必要的组件，如电极片，所述电极片为上文所述电极片。这样超级电容器的内阻小，充放电快速，同时储能性能优异循环性能好，循环稳定性好，安全性能较高。
以下通过多个具体实施例来举例说明本发明实施例复合型锂氧化物薄膜及其制备方法和应用等。
实施例一
本实施例一提供了复合型锂氧化物薄膜及其制备方法。所述复合型锂氧化物薄膜按照包括如下步骤的方法制备：
S11：用直径为70mm的铜盘为粉末靶材的托盘，将碳酸锂粉体均匀的撒在托盘中，用5吨单向压力机单向干压，即得碳酸锂粉末靶材；
S12：将步骤S11中制备的碳酸锂粉末靶与购买的纯度为99.999％的硅金属靶，作为溅射源，在日本304不锈钢基片上，基片与靶距为50mm，在1.0×10-2毫巴的高纯氩气和氧气混合气氛中，采用Li2CO3:Si＝2:1的功率比共溅射法制备厚度为1μm的Li2O-Si复合薄膜；在沉积期间，将基板保持在300℃。
将本实施例一制备的复合型锂氧化物薄膜进行XRD分析，其XRD图如图 1所示。
实施例二
本实施例二提供了复合型锂氧化物薄膜及其制备方法。所述复合型锂氧化物薄膜按照包括如下步骤的方法制备：
S11：用直径为70mm的铜盘为粉末靶材的托盘，将氧化锂粉体均匀的撒在托盘中，用5吨单向压力机单向干压，即得氧化锂粉末靶材；
S12：将步骤S11中制备的氧化锂粉末靶与购买的纯度为99.999％的镍金属靶，作为溅射源，在日本304不锈钢基片上，基片与靶距为50mm，在1.0×10-2毫巴的高纯氮气和氧气的混合气氛中，采用Li2O:Ni＝4:1的功率比共溅射法制备厚度为1μm的Li2O-Ni复合薄膜；在沉积期间，将基板保持在400℃。
实施例三
本实施例三提供了复合型锂氧化物薄膜及其制备方法。所述复合型锂氧化物薄膜按照包括如下步骤的方法制备：
S11：用直径为70mm的铜盘为粉末靶材的托盘，将氢氧化锂粉体均匀的撒在托盘中，用5吨单向压力机单向干压，即得氢氧化锂粉末靶材；
S12：将步骤S11中制备的氢氧化锂粉末靶与购买的纯度为99.999％的锡金属靶，作为溅射源，在日本304不锈钢基片上，基片与靶距为50mm，在1.0×10-2毫巴的高纯氨气和氧气混合气氛中，采用Li2O:Sn＝1:4的功率比共溅射法制备厚度为1μm的Li2O-Sn复合薄膜；在沉积期间，将基板保持在200℃。
实施例四
本实施例四提供了复合型锂氧化物薄膜及其制备方法。所述复合型锂氧化物薄膜按照包括如下步骤的方法制备：
S11：用直径为70mm的铜盘为粉末靶材的托盘，将乙酸锂粉体按摩尔比 1:1进行混合后，将混合粉体均匀的撒在托盘中，用5吨单向压力机单向干压，即得乙酸锂粉末靶材；
S12：将步骤S11中制备的乙酸锂粉末靶与购买的纯度为99.999％的钛金属靶，作为溅射源，在日本304不锈钢基片上，基片与靶距为50mm，在1.0×10-2毫巴的高纯氩气和氧气混合气氛中，采用C2H3Li2O-Ti＝4:1的功率比共溅射法制备厚度为1μm的Li2O-Ti复合薄膜；在沉积期间，将基板保持在300℃。
实施例五
本实施例五提供了复合型锂氧化物薄膜及其制备方法。所述复合型锂氧化物薄膜按照包括如下步骤的方法制备：
S11：用直径为70mm的铜盘为粉末靶材的托盘，将氧化锂粉体按摩尔比 1:1进行混合后，将混合粉体均匀的撒在托盘中，用5吨单向压力机单向干压，即得氧化锂粉末靶材；
S12：将步骤S11中制备的氧化锂粉末靶与购买的纯度为99.999％的锌金属靶，作为溅射源，在日本304不锈钢基片上，基片与靶距为50mm，在1.0×10-2毫巴的高纯氨气和氧气混合气氛中，采用Li2O:Zn＝2:1的功率比共溅射法制备厚度为1μm的Li2O-Zn复合薄膜；在沉积期间，将基板保持在500℃。
实施例六
本实施例六提供了复合型锂氧化物薄膜及其制备方法。所述复合型锂氧化物薄膜按照包括如下步骤的方法制备：
S11：用直径为70mm的铜盘为粉末靶材的托盘，将碳酸锂和氧化锂混合物粉体均匀的撒在托盘中，用5吨单向压力机单向干压，即得碳酸锂-氧化锂粉末靶材；
S12：将步骤S11中制备的碳酸锂-氧化锂粉末靶与购买的纯度为99.999％的钴金属靶，作为溅射源，在日本304不锈钢基片上，基片与靶距为50mm，在1.0×10-2毫巴的高纯氮气和氧气混合气氛中，采用(Li2CO3-Li2O):Co＝1:2的功率比共溅射法制备厚度为1μm的Li2O-Co复合薄膜；在沉积期间，将基板保持在700℃。
对比例一
本对比例一提供了锂氧化物薄膜及其制备方法。所述锂氧化物薄膜按照包括如下步骤的方法制备：
S11：用直径为70mm的铜盘为粉末靶材的托盘，将碳酸锂和氧化锂粉体均匀的撒在托盘中，用5吨单向压力机单向干压，即得碳酸锂-氧化锂粉末靶材；
S12：将制备的碳酸锂-氧化锂粉末靶作为溅射源，在日本304不锈钢基片上，基质靶距为50mm，在1.0×10-2毫巴的高纯氩气和氧气的混合气氛中，溅射制备厚度为1μm的碳酸锂-氧化锂薄膜；在沉积期间，将基板保持在300℃。
实施例六至十二和对比例二
将上述实施例一至实施例六各实施例提供的含有复合型锂氧化物薄膜的不锈钢基片作为正极，将对比例一提供的含有锂氧化物薄膜的不锈钢基片作为正极，分别按照如下方法组装成锂离子电池：
以锂片对薄膜电极，电解液浓度为1mol/L，偏丙烯微孔膜为电池的隔膜，在充满氩气的手套箱中组装成纽扣式电池。
各锂离子电池进行如下相关电化学测试条件：充放电电压为0.01V～3V。
各锂离子电池的相关电化学测试结果：
实施例七提供的锂离子电池在150mA/g的速率时，首次放电比容量为 1120mAh/g，充电比容量为1109mAh/g。而且所述实施例七提供的锂离子电池 150mA/g时首圈、第30圈、第100圈的充放电曲线如图2所示。在3000mA/g 时的循环性能曲线如图4所示，在3000mA/g时的库伦效率曲线如图5所示。
实施例八提供的锂离子电池在150mA/g的速率时，首次放电比容量为 1003mAh/g，放电比容量为990mAh/g。
实施例九提供的锂离子电池在150mA/g的速率时，首次放电比容量为 973mAh/g，放电比容量为950mAh/g。
实施例十提供的锂离子电池在150mA/g的速率时，首次放电比容量为 1042mAh/g，放电比容量为1020mAh/g。
实施例十一提供的锂离子电池在150mA/g的速率时，首次放电比容量为 958mAh/g，放电比容量为943mAh/g。
实施例十二提供的锂离子电池在150mA/g的速率时，首次放电比容量为 1020mAh/g，放电比容量为1002mAh/g。
对比例二提供的锂离子电池在150mA/g的速率时，首次放电比容量为 243mAh/g，放电比容量为231mAh/g。
另外，所述实施例八至十二提供的锂离子电池在150mA/g时首次充放电曲线对比曲线如图3所示。
对比实施例七至实施例十二提供的锂离子电池和对比例二提供的锂离子电池充放电性能可知，含有实施例一至六提供的复合型锂氧化物薄膜的锂离子电池明显优于单纯锂氧化物电极锂离子电池。因此，各锂离子电池相关电化学测试结果可知，所述锂离子电池具有高的首次充放电效率和良好的循环性能，而且充放电性能稳定。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种复合型锂氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
将氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种和能量密度贡献主体元素靶材在溅射气氛下进行共溅射处理，在基体上直接生长复合型锂氧化物薄膜；其中，所述氧化锂、所述碳酸锂、所述乙酸锂、所述氢氧化锂中的至少一种在所述共溅射处理后形成氧化锂，并作为所述复合型锂氧化物薄膜的骨架支撑；能量密度贡献主体元素以纳米级的形式掺杂在所述骨架支撑中；
所述能量密度贡献主体元素靶材包括硅、钒、锰、钼、钴中的至少一种单质靶或合金靶或硅、钒、锰、钼、钴中的至少一种化合物靶；
所述溅射气氛为氮气、氩气、氨气中的至少一种与氧气的混合气体气氛；所述共溅射处理的溅射功率满足：溅射所述氧化锂、碳酸锂、乙酸锂、氢氧化锂中的至少一种的功率与溅射能量密度贡献主体元素靶材的功率比为4:1～1:4；
在所述共溅射处理过程中，所述基体的温度控制为200°C-700°C。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述基体为化学电源负极集流体。
3.一种复合型锂氧化物薄膜，其特征在于：所述复合型锂氧化物薄膜是按照权利要求1-2任一项所述的制备方法生长形成。
4.一种电极片，包括集流体，其特征在于：在所述集流体表面上还结合有复合型锂氧化物薄膜，所述复合型锂氧化物薄膜是按照权利要求1-2任一项所述的制备方法在所述集流体上生长形成。
5.如权利要求4所述的电极片，其特征在于：所述复合型锂氧化物薄膜的厚度为0.1-10μm。
6.如权利要求4或5所述的电极片在锂离子电池或超级电容器中的应用。
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Assignee: Guilin Max New Energy Technology Co.,Ltd.

Assignor: GUILIN University OF ELECTRONIC TECHNOLOGY

Contract record no.: X2023980046585

Denomination of invention: Composite lithium oxide thin films and their preparation methods and applications

Granted publication date: 20220819

License type: Common License

Record date: 20231108