CN110190018A - 一种拼接式的硅片承载框 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种拼接式的硅片承载框，包括多条横支承杆、多条纵支承杆以及安装框架，所述多条横支承杆和多条纵支承杆设置在安装框架内，所述多条横支承杆和多条纵支承杆相互交错设置形成多个矩形的承载槽，且多条横支承杆和多条纵支承杆的两端部均连接在安装框架上；其中，所述横支承杆上设有多个等距设置的安装槽，所述纵支承杆上设有多个卡位槽，且所述卡位槽与安装槽匹配安装；当横支承杆的安装槽安装在纵支承杆的卡位槽后所述横支承杆和纵支承杆的顶面平齐。本发明的拼接式的硅片承载框的抗变形能力强，拆装方便，并且便于存放。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片承载设备，具体涉及一种拼接式的硅片承载框。
背景技术
太阳能硅片的生产工艺流程一般包括硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷以及快速烧结等。在生产加工过程中，一般会将多张待加工的硅片放置在承载框上，再将整个承载框连接安装在运输轨道上，通过承载框的移动带动硅片在各个加工工位之间的转移，从而实现硅片的批量加工。市场上的承载框一般是由C/C复合板构成，具体是在C/C复合板上直接加工出多个矩形框槽，从而形成一个用于承载硅片的框架，摆放硅片时，通过挂钩将硅片固定在矩形框槽上，或者直接在矩形框槽的对应处加工出台阶，以便硅片的摆放。虽然上述市场上的承载框能够实现对硅片的承载，但仍存在以下问题：
1、整体式的承载框的厚度无法改变，导致在承载框的抗变形能力范围内只能承载一定重量范围内的硅片，无法根据不同类型以及不同重量的硅片进行适应性调整；若需要承载过重的硅片，则需要重新制造厚度更大的承载框，导致成本升高。
2、直接在C/C复合板上加工多个矩形框槽，浪费板料，并且成本昂贵。
3、整体式的承载框存放麻烦，占用空间大。
发明内容
本发明目的在于克服现有技术的不足，提供一种拼接式的硅片承载框，该承载框的抗变形能力强，成本低，并且便于存放，拆装方便。
本发明的目的通过以下技术方案实现：
一种拼接式的硅片承载框，其特征在于，包括多条横支承杆、多条纵支承杆以及安装框架，所述多条横支承杆和多条纵支承杆设置在安装框架内，所述多条横支承杆和多条纵支承杆相互交错设置形成多个矩形的承载槽，且多条横支承杆和多条纵支承杆的两端部均连接在安装框架上；其中，所述横支承杆上设有多个等距设置的安装槽，所述纵支承杆上设有多个卡位槽，且所述卡位槽与安装槽匹配安装；当横支承杆的安装槽安装在纵支承杆的卡位槽后所述横支承杆和纵支承杆的顶面平齐。
上述拼接式的硅片承载框的工作原理是：
首先，将多条纵支承杆平行排列设置在安装框架上，且每两条纵支承杆之间的间距等于横支承杆上的安装槽的间距，此时，多条纵支承杆上的卡位槽相互对应，形成横向延伸的卡位槽组；接着，将多条横支承杆依次设置在多条纵支承杆上，且让横支承杆上的安装槽与横向延伸的卡位槽组配合安装，从而实现横支承杆与纵支承杆的安装连接，并形成多个矩形的承载槽；最后，再将多条横支承杆和多条纵支承杆的两端固定连接在安装框架上，从而完成整个承载框的安装。
本发明的一个优选方案，所述横支承杆上的多个安装槽的开口朝向一致；所述纵支承杆上的卡位槽包括多个开口朝上的上卡位槽以及多个开口朝下的下卡位槽，所述多个上卡位槽和多个下卡位槽等距交替设置。这样能够使得横支承杆安装在纵支承杆上时依次交替位于纵支承杆的上方和下方，从而使得纵支承杆和横支承杆的受力分布更加均匀，提高了整个承载框的抗变形能力，有利于避免承载框在硅片的承压下发生中部向下弯曲的情况，进而确保所有位于承载框的硅片均位于同一水平高度上，提高加工精度。
本发明的一个优选方案，所述安装框架包括横向固定架以及纵向固定架，所述横向固定架包括两组分别设置在横支承杆两端的横向固定组件，所述纵向固定架包括两组分别设置在纵支承杆两端的纵向固定组件；其中，
所述多条纵支承杆和多条横支承杆的两端均设有T型件，该T型件包括分别沿着纵支承杆或横支承杆延伸的连接杆以及竖向延伸的竖向杆；所述纵向固定组件和横向固定组件均包括两个竖向排列设置的固定板，该两个固定板上均设有多个L型槽，所述两个固定板通过可拆卸连接结构贴合连接，且当两个固定板贴合连接在一起时，两个固定板上的多个L型槽一一对应且分别形成与所述T型件匹配的T型限位槽。
安装时，将纵支承杆和横支承杆的T型件先分别装在位于各自对应的位于下方的固定板上，且将T型件匹配安装在位于下方的固定板的L型槽中，随后，在将位于上方的固定板通过可拆卸连接结构贴合固定连接在位于下方的固定板上，且位于上方的固定板上的L型槽与T型件匹配安装(同时与位于下方的固定板上的L型槽构成T型限位槽)，这样就能够实现纵支承杆和横支承杆与安装框架的连接，并且对纵支承杆的纵向方向进行限制，对横向支承杆的横向方向进行限制，并且结构简单，拆装方便。
优选地，位于两条纵支承杆之间的纵向固定组件的固定板处均设有可拆卸连接结构；位于两条横支承杆之间的横向固定组件的固定板处均设有可拆卸连接结构。这样能够增加纵向固定组件和横向固定组件的两个固定板的稳固性，从而能够更好地将纵支承杆和横支承杆的端部固定，进而提高整个承载框的稳定性以及抗变形能力。
优选地，所述可拆卸连接结构由螺栓连接结构构成；所述纵向固定组件以及横向固定组件的固定板上设有与螺栓连接结构匹配的连接孔。采用螺栓连接结构实现两个固定板的固定，结构简单并且拆装操作方便，同时能够进一步降低成本。
优选地，所述横向固定组件的两个固定板分别为连接板以及限位板，其中，所述连接板的宽度比限位板大，所述连接板位于限位板的上方，且连接板的顶面与纵支承杆和横支承杆的顶面平齐；所述纵向固定组件中位于下方的固定板的两端延伸至所述连接板的底面，且通过可拆卸连接结构与连接板固定连接，纵向固定组件中位于上方的固定板的顶面与纵支承杆和横支承杆的顶面平齐。通过设置宽度较大的连接板，使得整个承载框更加方便地与运输轨道安装；另外，宽度较大的连接板也便于与纵向固定组件的固定板连接，从而实现纵向固定组件和横向固定组件的固定，形成一个稳定性更好的安装框架，从而有利于提高整个承载框的抗变形能力；另一方面，所述连接板和纵向固定组件中位于上方的固定板均与纵支承杆和横支承杆的顶面平齐，从而使得位于边缘的承载槽同样能够使用，保持与其他承载槽的高度统一，有利于提高成批硅片的加工精度。
优选地，所述横向固定组件还包括夹紧板，该夹紧板设置在限位板下方，且夹紧板的两端部分别延伸至纵向固定组件中延伸至连接板底面的固定板的底面；所述横向固定组件上的可拆卸连接结构将所述连接板、限位板以及夹紧板固定连接起来。通过夹紧板的设置，能够进一步对横向固定组件中的连接板和限位板的固定；更重要的是能够将纵向固定组件中位于下方的固定板的端部也夹紧在连接板的底面上，从而提高了整个安装框架的稳定性，使得整个承载框更加牢固，并且结构简单，便于实现。
优选地，所述夹紧板的底部的两端均向上倾斜设置。这样能够便于与运输轨道进行配合连接，增强了横向固定组件底部的流畅性。
本发明与现有技术相比具有以下有益效果：
1、本发明能够根据不同类型以及不同重量的硅片对C-C复合板进行合适宽度的裁切，形成的支承杆的宽度是组成后的承载框的高度，从而能够保证所拼接后的承载框的抗变形能力能够承载对应的硅片的重量，进而避免发生弯曲的情况，有利于硅片始终保持水平的姿态进行加工，从而提高加工精度，并且降低成本。
2、本发明的纵支承杆和横支承杆直接通过裁切C-C复合板获取，从而能够充分利用原料，从而减少原料的浪费，节约成本；尤其相对于直接在C-C复合板上加工出承载槽，本发明的承载框能够有效地降低成本。
3、本发明的拼接式的硅片承载框拆装方便，使得在不使用时能够拆开进行存放，有利于节省空间，便于存放。
附图说明
图1-图5为本发明的拼接式的硅片承载框的其中一种具体实施方式的结构示意图，其中个，图1为主视图，图2为后视图，图3为侧视图，图4为立体图，图5为图4中I的放大图。
图6-图7为上固定板的结构示意图，其中，图6为侧视图，图7为立体图。
图8为连接板的立体图。
图9为横支承杆的俯视图。
图10为纵支承杆的侧视图。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明作进一步描述，但本发明的实施方式不仅限于此。
参见图1-图10，本实施例的拼接式的硅片承载框，包括多条横支承杆2、多条纵支承杆1以及安装框架，所述多条横支承杆2和多条纵支承杆1设置在安装框架内，所述多条横支承杆2和多条纵支承杆1相互交错设置形成多个矩形的承载槽12，且多条横支承杆2和多条纵支承杆1的两端部均连接在安装框架上；其中，所述横支承杆2上设有多个等距设置的安装槽11，该多个安装槽11的开口朝向一致；所述纵支承杆1上设有多个开口朝上的上卡位槽13以及多个开口朝下的下卡位槽8，且多个上卡位槽13和多个下卡位槽8等距交替设置；所述纵支承杆1上的上卡位槽13和下卡位槽8均与横支承杆2上的安装槽11匹配，且当横支承杆2的安装槽11安装在纵支承杆1的上卡位槽13和下卡位槽8上后所述横支承杆2和纵支承杆1的顶面平齐。
参见图6-图10，所述安装框架包括横向固定架以及纵向固定架，所述横向固定架包括两组分别设置在横支承杆2两端的横向固定组件，所述纵向固定架包括两组分别设置在纵支承杆1两端的纵向固定组件；其中，
所述多条纵支承杆1和多条横支承杆2的两端均设有T型件10(也可理解为“工”型件)，该T型件10包括分别沿着纵支承杆1或横支承杆2延伸的连接杆以及竖向延伸的竖向杆；所述纵向固定组件和横向固定组件均包括两个竖向排列设置的固定板，该两个固定板上均设有多个L型槽14，所述两个固定板通过可拆卸连接结构贴合连接，且当两个固定板贴合连接在一起时，两个固定板上的多个L型槽14一一对应且分别形成与所述T型件10匹配的T型限位槽。
安装时，将纵支承杆1和横支承杆2的T型件10先分别装在位于各自对应的位于下方的固定板上，且将T型件10匹配安装在位于下方的固定板的L型槽14中，随后，在将位于上方的固定板通过可拆卸连接结构贴合固定连接在位于下方的固定板上，且位于上方的固定板上的L型槽14与T型件10匹配安装(同时与位于下方的固定板上的L型槽14构成T型限位槽)，这样就能够实现纵支承杆1和横支承杆2与安装框架的连接，并且对纵支承杆1的纵向方向进行限制，对横向支承杆的横向方向进行限制，并且结构简单，拆装方便。
参见图1-图4，位于两条纵支承杆1之间的纵向固定组件的固定板处均设有可拆卸连接结构；位于两条横支承杆2之间的横向固定组件的固定板处均设有可拆卸连接结构。这样能够增加纵向固定组件和横向固定组件的两个固定板的稳固性，从而能够更好地将纵支承杆1和横支承杆2的端部固定，进而提高整个承载框的稳定性以及抗变形能力。
参见图1、图2以及图4，所述可拆卸连接结构由螺栓连接结构构成；所述纵向固定组件以及横向固定组件的固定板上设有与螺栓连接结构匹配的连接孔9。采用螺栓连接结构实现两个固定板的固定，结构简单并且拆装操作方便，同时能够进一步降低成本。
参见图3-图5，所述横向固定组件的两个固定板分别为连接板3以及限位板7，其中，所述连接板3的宽度比限位板7大，所述连接板3位于限位板7的上方，且连接板3的顶面与纵支承杆1和横支承杆2的顶面平齐；所述纵向固定组件的两个固定板分别为位于上方的上固定板4和位于下方的下固定板5，其中，所述下固定板5的两端延伸至所述连接板3的底面，且通过可拆卸连接结构与连接板3固定连接，纵向固定组件的上固定板4的顶面与纵支承杆1和横支承杆2的顶面平齐。通过设置宽度较大的连接板3，使得整个承载框更加方便地与运输轨道安装；另外，宽度较大的连接板3也便于与纵向固定组件的下固定板5连接，从而实现纵向固定组件和横向固定组件的固定，形成一个稳定性更好的安装框架，从而有利于提高整个承载框的抗变形能力；另一方面，所述连接板3和上固定板4均与纵支承杆1和横支承杆2的顶面平齐，从而使得位于边缘的承载槽12同样能够使用，保持与其他承载槽12的高度统一，有利于提高成批硅片的加工精度。本实施例中，由于连接板3的宽度比限位板7的宽度大，因此横向固定组件中的L型槽14的长度也对应延长，所述横支承杆2上的T型件10也相应地配合，具体可参见图7和图8。另外，所述上固定板4与下固定板5的结构相似，具体可参见图5，而下固定板5与上固定板4的不同之处在于下固定板5的两端部分别向两端延长从而实现与连接板3的连接。
参见图3、图4和图5，本实施例中，所述连接板3、限位板7以及固定板的厚度相同，从而便于制造加工，同时能够保持安装框架的厚度统一性。
参见图3、图4和图5，所述横向固定组件还包括夹紧板6，该夹紧板6设置在限位板7下方，且夹紧板6的两端部分别延伸至下固定板5的底面；所述横向固定组件上的可拆卸连接结构将所述连接板3、限位板7以及夹紧板6固定连接起来。通过夹紧板6的设置，能够进一步对横向固定组件中的连接板3和限位板7的固定；更重要的是能够将纵向固定组件中的下固定板5的端部也夹紧在连接板3的底面上，从而提高了整个安装框架的稳定性，使得整个承载框更加牢固，并且结构简单，便于实现。
参见图3，所述夹紧板6的底部的两端均向上倾斜设置。这样能够便于与运输轨道进行配合连接，增强了横向固定组件底部的流畅性。
参见图1-图10，本实施例的拼接式的硅片承载框的工作原理是：
首先，将多条纵支承杆1平行排列设置在安装框架上，且每两条纵支承杆1之间的间距等于横支承杆2上的安装槽11的间距，此时，多条纵支承杆1上的上卡位槽13和下卡位槽8相互对应，形成横向延伸的上卡位槽13组以及下卡位槽8组，这些上卡位槽13组和下卡位槽8组同样沿着纵向方向等距交替设置；接着，将多条横支承杆2依次设置在多条纵支承杆1上，且让横支承杆2上的安装槽11与横向延伸的上卡位槽13组或下卡位槽8组配合安装，从而实现横支承杆2与纵支承杆1的安装连接，并形成多个矩形的承载槽12；最后，再将多条横支承杆2和多条纵支承杆1的两端固定连接在安装框架上，从而完成整个承载框的安装。
上述为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述内容的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所做的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种拼接式的硅片承载框，其特征在于，包括多条横支承杆、多条纵支承杆以及安装框架，所述多条横支承杆和多条纵支承杆设置在安装框架内，所述多条横支承杆和多条纵支承杆相互交错设置形成多个矩形的承载槽，且多条横支承杆和多条纵支承杆的两端部均连接在安装框架上；其中，所述横支承杆上设有多个等距设置的安装槽，所述纵支承杆上设有多个卡位槽，且所述卡位槽与安装槽匹配安装；当横支承杆的安装槽安装在纵支承杆的卡位槽后所述横支承杆和纵支承杆的顶面平齐。
2.根据权利要求1所述的拼接式的硅片承载框，其特征在于，所述横支承杆上的多个安装槽的开口朝向一致；所述纵支承杆上的卡位槽包括多个开口朝上的上卡位槽以及多个开口朝下的下卡位槽，所述多个上卡位槽和多个下卡位槽等距交替设置。
3.根据权利要求1或2所述的拼接式的硅片承载框，其特征在于，所述安装框架包括横向固定架以及纵向固定架，所述横向固定架包括两组分别设置在横支承杆两端的横向固定组件，所述纵向固定架包括两组分别设置在纵支承杆两端的纵向固定组件；其中，
所述多条纵支承杆和多条横支承杆的两端均设有T型件，该T型件包括分别沿着纵支承杆或横支承杆延伸的连接杆以及竖向延伸的竖向杆；所述纵向固定组件和横向固定组件均包括两个竖向排列设置的固定板，该两个固定板上均设有多个L型槽，所述两个固定板通过可拆卸连接结构贴合连接，且当两个固定板贴合连接在一起时，两个固定板上的多个L型槽一一对应且分别形成与所述T型件匹配的T型限位槽。
4.根据权利要求3所述的拼接式的硅片承载框，其特征在于，位于两条纵支承杆之间的纵向固定组件的固定板处均设有可拆卸连接结构；位于两条横支承杆之间的横向固定组件的固定板处均设有可拆卸连接结构。
5.根据权利要求3或4所述的拼接式的硅片承载框，其特征在于，所述可拆卸连接结构由螺栓连接结构构成；所述纵向固定组件以及横向固定组件的固定板上设有与螺栓连接结构匹配的连接孔。
6.根据权利要求3或4所述的拼接式的硅片承载框，其特征在于，所述横向固定组件的两个固定板分别为连接板以及限位板，其中，所述连接板的宽度比限位板大，所述连接板位于限位板的上方，且连接板的顶面与纵支承杆和横支承杆的顶面平齐；所述纵向固定组件中位于下方的固定板的两端延伸至所述连接板的底面，且通过可拆卸连接结构与连接板固定连接，纵向固定组件中位于上方的固定板的顶面与纵支承杆和横支承杆的顶面平齐。
7.根据权利要求6所述的拼接式的硅片承载框，其特征在于，所述横向固定组件还包括夹紧板，该夹紧板设置在限位板下方，且夹紧板的两端部分别延伸至纵向固定组件中延伸至连接板底面的固定板的底面；所述横向固定组件上的可拆卸连接结构将所述连接板、限位板以及夹紧板固定连接起来。
8.根据权利要求7所述的拼接式的硅片承载框，其特征在于，所述夹紧板的底部的两端均向上倾斜设置。
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