CN212136406U - 一种改进型硅片承载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种改进型硅片承载装置，包括承载框以及多个承载盘；所述承载框包括多条横支承杆以及两组导轨组杆，所述多条横支承杆等间距设置，每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽；所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆；所述承载盘包括主体板以及限位件；所述限位件设置在主体板的底面上，所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应；所述主体板的宽度与承载槽的横向尺寸对应设置，所述主体板的顶面上设有多个存放槽，所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置。本实用新型结构简单，可拆装，节省板材原料，便于加工，并且安装便捷。

Description

一种改进型硅片承载装置

技术领域

本实用新型涉及一种电池片加工设备，具体涉及一种改进型硅片承载装置。

背景技术

太阳能硅片的生产工艺流程一般包括硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷以及快速烧结等。在生产加工过程中，一般会将多张待加工的硅片放置在承载框上，再将整个承载框连接安装在运输轨道上，通过承载框的移动带动硅片在各个加工工位之间的转移，从而实现硅片的批量加工。市场上的承载框一般是由C/C复合板构成，具体是在C/C复合板上直接加工出多个矩形框槽，从而形成一个用于承载硅片的框架，摆放硅片时，通过挂钩将硅片固定在矩形框槽上，或者直接在矩形框槽的对应处加工出台阶，以便硅片的摆放；但是，这样加工出来的承载框功能单一，并且浪费板料，导致加工成本提高。为克服上述缺陷，授权公告号为CN 209963033 U的实用新型专利公开了“一种拼接式的硅片承载框”，其通过多条横支承杆和多条纵支承杆拼接而成，使得这个承载框的拆装灵活，便于存放，并且节省板料，达到降低加工成本的目的；但是，这样拼接式的承载框仍然需要使用多条横支承杆和纵支承杆，消耗较多C/C复合板材料，加工成本仍然偏高；同时，在承载框上的每个承载槽中还需要对应安装承载盘，才能将待加工的硅片放置在承载盘上，安装步骤繁琐，影响硅片的上料效率等。

实用新型内容

本实用新型目的在于克服现有技术的不足，提供一种改进型硅片承载装置，该装置结构简单，可拆装，节省板材原料，便于加工，并且安装便捷。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现：

一种改进型硅片承载装置，其特征在于，包括承载框以及多个承载盘；其中，所述承载框包括多条横向延伸设置的横支承杆以及两组导轨组杆，所述两组导轨组杆沿纵向方向延伸且相对设置，所述多条横支承杆等间距设置，且每条横支承杆的两端分别可拆卸安装在所述两组导轨组杆上，每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽；所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆，所述支撑固定杆与所述横支承杆相互垂直设置；所述承载盘包括主体板以及用于与承载框匹配安装的限位件；所述限位件设置在主体板的底面上，所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应；所述主体板的宽度与承载槽的横向尺寸对应设置，所述主体板的顶面上设有多个用于存放硅片的存放槽，所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置；所述多个承载盘一一对应放置在所述承载槽中。

上述改进型硅片承载装置的工作原理是：

首先，在每个承载槽中均放置一个承载盘，并且让主体板底面上的限位件匹配放置在承载槽中实现限位和固定，避免承载盘移动；接着，再将多个待加工的硅片一一放置在主体板顶面上的多个存放槽中，从而完成承载盘的安装以及待加工的硅片的放置；接着再启动输送链，带动整个承载框在各个加工工位之间移动，实现硅片的运输和转移。本实用新型中的承载框，其主要由横支承杆来完成对承载盘的支撑，从而实现对待加工的硅片的运载；相对于传统的承载框，省去了整体式的纵向设置的支承杆，采用长度较短的支撑固定杆来完成对横支承杆的位置固定，从而避免横支承杆发生纵向的弯曲型变，这样便于板材的加工制造，降低加工难度，对原材料的要求降低，同时进一步节省了承载框的材料，从而有利于降低成本。而本实用新型中的承载盘，其由于主体板底面的限位件的外轮廓与承载槽的内轮廓匹配，因此将限位件放置在承载槽中后，承载槽的内侧就会限制所述限位件的移动，从而使得整个主体板无法移动，实现主体板的固定，确保硅片的位置精度；同时，在主体板顶面上设有多个存放槽，既能够放置硅片，又能够限制硅片的移动，一举两得，有利于进一步提高硅片的位置精度，从而提高硅片的加工精度；另外，安装一个承载盘就能装载多个硅片，简化安装工序，方便操作，同时，本实用新型的承载盘的宽度与承载槽的横向宽度匹配，形成一个矩形或长条形的承载盘，在加工时便于板材的选择，并且无需将板材裁切成单个独立的承载盘，直接在矩形或长条形的板材上加工出存放槽即可，有效降低加工难度。

本实用新型的一个优选方案，所述导轨组杆的内侧设有多个沿纵向方向设置的限位安装槽，所述多个限位安装槽等间距设置，且所述限位安装槽呈“7”字型；所述横支承杆的两端均设有与所述限位安装槽匹配的呈直角设置的安装钩；所述横支承杆两端的安装钩对应设置在两组导轨组杆上的限位安装槽上。

优选地，所述横支承杆的两端与导轨组杆之间的拐角处均设有转角连接件，所述导轨组杆与横支承杆的对应处设有连接孔，所述转角连接件与横支承杆以及导轨组杆之间通过螺栓连接。

本实用新型的一个优选方案，所述横支承杆上设有多个安装孔，且每条横支承杆上的安装孔一一对应设置；所述支撑固定杆由圆杆构成，所述支撑固定杆的两端部与所述安装孔配合设置。

本实用新型的一个优选方案，相邻两组横支承杆之间的支撑固定杆相互错开设置。

本实用新型的一个优选方案，位于最前的横支承杆的前方以及位于最后的横支承杆的后方均设有横加强杆，所述横加强杆的两端均与所述两组导轨组杆连接，且横加强杆与横支承杆之间设有多条支撑固定杆。

优选地，所述两组导轨组杆的内侧均设有纵加强杆，所述横支承杆以及横加强杆上与所述纵加强杆的对应处均设有限位槽，所述纵加强杆上设有与所述限位槽匹配的连接槽；所述纵加强杆与横支承杆以及横加强杆之间均设有所述转角连接件。

本实用新型的一个优选方案，所述导轨组杆包括多个导轨板，所述多个导轨板沿横向方向排列设置，且每个导轨板的竖向高度均比横向宽度大。

本实用新型的一个优选方案，其中，所述主体板的顶面还设有取放槽，该取放槽的面积比所述存放槽大，且取放槽的深度比所述存放槽浅。

本实用新型的一个优选方案，所述主体板的底部还设有多条加强筋，所述多条加强筋纵横交错设置。

本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：

1、本实用新型中的承载框具有节省板材和加工成本低的优点，并且便于存放，拆装方便，可根据实际需要拼接成不同尺寸的承载框，灵活性好。相较于传统的承载框，省去了整体式的纵向设置的支承杆，采用长度较短的支撑固定杆来完成对横支承杆的位置固定，从而避免横支承杆发生纵向的弯曲型变，这样更加便于板材的加工制造，并且降低加工难度，对原材料的要求降低，同时进一步节省了承载框的材料，从而有利于降低成本。

2、本实用新型的承载盘通过在主体板上设置多个存放槽，使得能装载多个硅片，简化承载盘的安装工序，方便操作；同时，主体板的宽度与承载槽的横向宽度匹配，形成一个矩形或长条形的承载盘，在加工时便于板材的选择，并且无需将板材裁切成单个独立的承载盘，直接在矩形或长条形的板材上加工出存放槽即可，有效降低加工难度和加工成本；安装定位时，通过主体板底部的限位件实现与承载框定位匹配，操作方便，

附图说明

图1-图4为本实用新型的改进型硅片承载装置的其中一种具体实施方式的结构示意图，其中图1为俯视图，图2为仰视图，图3为立体图，图4为省去部分承载盘的立体图。

图5-图6为承载框的结构示意图，其中，图5为立体图，图6为图5中A的放大图。

图7为导轨组杆的局部立体图。

图8为横支承杆的主视图。

图9为支撑固定杆的立体图。

图10为纵加强杆的主视图。

图11-图15为承载盘的结构示意图，其中，图11为俯视图，图12为图11中B的放大图，图13为仰视断面图，图14为立体图，图15为图14中C的放大图。

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步描述，但本实用新型的实施方式不仅限于此。

参见图1-图15，本实施例的改进型硅片承载装置，包括承载框17以及多个承载盘16；其中，所述承载框17包括多条横向延伸设置的横支承杆以及两组导轨组杆，所述两组导轨组杆沿纵向方向延伸且相对设置，所述多条横支承杆等间距设置，且每条横支承杆的两端分别可拆卸安装在所述两组导轨组杆上，每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽15；所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆，所述支撑固定杆与所述横支承杆相互垂直设置；所述承载盘16包括主体板以及用于与承载框17匹配安装的限位件；所述限位件设置在主体板的底面上，所述限位件的外轮廓与承载框17上的承载槽15的内轮廓对应；所述主体板的宽度与承载槽15的横向尺寸对应设置，所述主体板的顶面上设有多个用于存放硅片的存放槽，所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置；所述多个承载盘16一一对应放置在所述承载槽15中。

参见图5-图8，所述导轨组杆5的内侧设有多个沿纵向方向设置的限位安装槽9，所述多个限位安装槽9等间距设置，且所述限位安装槽9呈“7”字型；所述横支承杆1的两端均设有与所述限位安装槽9匹配的呈直角设置的安装钩11；所述横支承杆1两端的安装钩11对应设置在两组导轨组杆5上的限位安装槽9上。通过限位安装槽9和安装钩11的设置，便于横支承杆1与导轨组杆5的安装和拆卸，并且限位效果好，同时完成对横支承杆1的横向和纵向方向的限制，设计巧妙，结构简单。

参见图5-图6，所述横支承杆1的两端与导轨组杆5之间的拐角处均设有转角连接件7，所述导轨组杆5与横支承杆1的对应处设有连接孔10，所述转角连接件7与横支承杆1以及导轨组杆5之间通过螺栓连接。通过转角连接件7的设置，进一步加强横支承杆1与导轨组杆5之间的稳定性，使得两者的连接更加紧固。

参见图5、图8和图9，所述横支承杆1上设有多个安装孔6，且每条横支承杆1上的安装孔6一一对应设置；所述支撑固定杆3由圆杆构成，所述支撑固定杆3的两端部与所述安装孔6配合设置。通过这样的方式实现支撑固定杆3与横支承杆1的安装连接，拆装方便，并且加工容易。本实施例中，所述安装孔6为通孔，所述支撑固定杆3的两端部设有安装柱13，所述安装柱13与所述安装孔6匹配，所述支撑固定杆3的主体部分的直径比所述安装孔6大；这样，将安装孔6设置为通孔，便于横支承杆1的前后两侧的支撑固定杆3的安装连接，使得可根据实际情况需要，在对应的位置上安装支撑固定杆3。

参见图5，相邻两组横支承杆1之间的支撑固定杆3相互错开设置。本实施例中，相邻两组横支承杆1之间的支撑固定杆3随机设置，既有错开设置，也有相互对应设置的。

参见图5，位于最前的横支承杆1的前方以及位于最后的横支承杆1的后方均设有横加强杆2，所述横加强杆2的两端均与所述两组导轨组杆5连接，且横加强杆2与横支承杆1之间设有多条支撑固定杆3。本实施例中，所述横加强杆2与导轨组杆5的拐角处同样通过转角连接件7以及螺栓进行进一步的固定连接。通过横加强杆2的设置，有利于提高整个承载框17的稳定性。本实施例中，所述横加强杆2的两端部同样设有安装钩11，所述导轨组杆5的对应处也设有限位安装槽9，实现对横加强杆2的位置限定和固定。

参见图5、图6、图8和图10，所述两组导轨组杆5的内侧均设有纵加强杆4，所述横支承杆1以及横加强杆2上与所述纵加强杆4的对应处均设有限位槽12，所述纵加强杆4上设有与所述限位槽12匹配的连接槽14；所述纵加强杆4与横支承杆1以及横加强杆2之间均设有所述转角连接件7。通过纵加强杆4的设置，与横加强杆2形成配合，使得整个承载框17的四周更加坚固，稳定性更好，并且能够进一步对所有横支承杆1进行限位和连接安装，从而提高整个承载框17的稳定性。本实施例中，所述横支承杆1上的限位槽12朝向下，所述横加强杆2上的限位槽12朝向下，所述纵加强杆4上的连接槽14对应匹配设置，这样设置不同朝向的限位槽12，有利于提高安装后纵加强杆4、横加强杆2以及横支承杆1之间的紧固性和稳定性。

参见图5-图8，所述导轨组杆5包括多个导轨板8，所述多个导轨板8沿横向方向排列设置，且每个导轨板8的竖向高度比横向宽度大。本实施例中，所述多个导轨板8通过螺栓连接在一起。通过设置这样的导轨组杆5，明显增加了导轨板8竖向方向的抗弯能力，从而提高整个承载框17的抗变形能力，确保硅片在加工和运输过程中顶面保持水平，从而提高硅片的加工质量。

本实施例中的承载框17的横支承杆、支撑固定杆、横加强杆、纵加强杆以及导轨组杆等均由石墨或C-C复合材料制成。

本实施例中，所述存放槽2a的深度比硅片的厚度小。这样就能够便于工人通过硅片凸起的边缘处将硅片从存放槽2a中取出，结构简单，实用性强。

参见图11、图12、图14和图15，所述存放槽2a的角落处均设有倒角5a。通过倒角5a的设置，能够与设有倒角5a的硅片匹配，并且工人在取出硅片时，也可以通过硅片的倒角5a处开始取出，操作更加方便，并且能够避免硅片的角落扎手。

参见图11、图12、图14和图15，所述存放槽2a角落处的倒角5a拐角处以及存放槽2a的内壁均作圆角处理。这样使得硅片的尖角能够避免直接与存放槽2a的内壁接触，并且避免硅片侧边与存放槽2a内壁的碰撞，有利于保护硅片；同时，整个存放槽2a的内壁只剩下倒角5a的中部为平面，其作为与硅片的定位和固定，结构简单，有效减少了硅片与存放槽2a内壁直接接触的面积，设计巧妙。

参见图11、图12、图14和图15，所述主体板1a的顶面还设有取放槽3a，该取放槽3a的面积比所述存放槽2a大，且取放槽3a的深度比所述存放槽2a浅。这样，一方面通过取放槽3a的设置，使得需要将完成加工后的硅片取出时，工人能够通过取放槽3a和存放槽2a之间的间隙，从硅片的边缘处开始拿起，从而完成硅片的取出，操作方便；另一方面，通过取放槽3a的设置，能够避免硅片的边缘完成裸露出来，在取放槽3a的保护下，有利于提高硅片的加工精度；另外，面积更大的取放槽3a也能够放置尺寸更大的硅片，从而能够适应两种不同尺寸的硅片，设计巧妙。

参见图11、图12、图14和图15，所述取放槽3a的四个角落处均设有向外设置的圆形槽4a，该圆形槽4a与取放槽3a连通。当需要在取放槽3a上存放硅片时，圆形槽4a的设置就能够避免硅片的边角直接与取放槽3a的角落触碰，能够有效地对硅片的边角进行保护。

参见图13，所述限位件包括四组限位柱7a，每组限位柱7a的两个限位柱7a的连线分别与主体板1a的四个边缘平行设置；所述四组限位柱7a的连线构成所述限位件的外轮廓。通过限位柱7a的设置，实现与承载槽15的配合，并对主体板1a的位置进行限定；采用限位柱7a的方式，结构简单，并且能够减轻承载盘16的重量，从而减轻对硅片承载框17的压力，避免硅片承载框17发生形变。

参见图13，所述主体板1a的底部还设有多条加强筋6a，所述多条加强筋6a纵横交错设置。通过加强筋6a的设置，有利于提高主体板1a的承载能力和抗变形能力，确保主体板1a保持水平的姿态，避免变形。

参见图11、图12、图14和图15，主体板1a顶面的两端部留空处理，这样能够让主体板1a的实体部分支撑在承载框17两侧的导轨组杆上，以便主体板1a与承载款的安装，同时也避免将硅片放置在主体板1a顶面靠近边缘的位置处。本实施例中，位于主体板1a两端部的限位柱7a设置在所述主体板1a底部两端部的留空处理位置处；同时，在承载框17的导轨组杆上设有多组限位孔18，在安装本实施例的承载盘16时，将主体板1a两端部底面的限位柱7a对应插装在限位孔18中，从而完成整个承载盘16的安装以及位置限定，并且承载盘16的位置限定效果好。

本实施例中，所述主体板1a由石墨材料制成。由石墨制成的主体板1a存放硅片，一方面石墨主体板1a具有较好的导热功能，且与硅片整个底面均接触，因此能够让硅片均匀受热，有利于硅片更好地进行特定条件的镀膜加工；另一方面，石墨主体板1a的致密性相对于C-C复合板较好，加工后的表面更加光滑，避免对硅片上的镀膜层产生损坏，并且致密性较好且表面光洁度高的主体板1a能够避免在镀膜加工过程中吸附粉尘，从而有利于提高硅片的镀膜加工精度。

参见图1-图15，本实施例的改进型硅片承载装置的工作原理是：

首先，在每个承载槽15中均放置一个承载盘16，并且让主体板底面上的限位件匹配放置在承载槽15中实现限位和固定，避免承载盘16移动；接着，再将多个待加工的硅片一一放置在主体板1a顶面上的多个存放槽2中，从而完成承载盘16的安装以及待加工的硅片的放置；接着再启动输送链，带动整个承载框17在各个加工工位之间移动，实现硅片的运输和转移。本实用新型中的承载框17，其主要由横支承杆1来完成对承载盘16的支撑，从而实现对待加工的硅片的运载；相对于传统的承载框17，省去了整体式的纵向设置的支承杆，采用长度较短的支撑固定杆3来完成对横支承杆1的位置固定，从而避免横支承杆1发生纵向的弯曲型变，这样便于板材的加工制造，降低加工难度，对原材料的要求降低，同时进一步节省了承载框17的材料，从而有利于降低成本。而本实用新型中的承载盘16，其由于主体板1a底面的限位件的外轮廓与承载槽15的内轮廓匹配，因此将限位件放置在承载槽15中后，承载槽15的内侧就会限制所述限位件的移动，从而使得整个主体板1无法移动，实现主体板1的固定，确保硅片的位置精度；同时，在主体板1顶面上设有多个存放槽2a，既能够放置硅片，又能够限制硅片的移动，一举两得，有利于进一步提高硅片的位置精度，从而提高硅片的加工精度；另外，安装一个承载盘16就能装载多个硅片，简化安装工序，方便操作，同时，本实用新型的承载盘16的宽度与承载槽15的横向宽度匹配，形成一个矩形或长条形的承载盘16，在加工时便于板材的选择，并且无需将板材裁切成单个独立的承载盘16，直接在矩形或长条形的板材上加工出存放槽2a即可，有效降低加工难度。

上述为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述内容的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所做的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种改进型硅片承载装置，其特征在于，包括承载框以及多个承载盘；其中，所述承载框包括多条横向延伸设置的横支承杆以及两组导轨组杆，所述两组导轨组杆沿纵向方向延伸且相对设置，所述多条横支承杆等间距设置，且每条横支承杆的两端分别可拆卸安装在所述两组导轨组杆上，每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽；所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆，所述支撑固定杆与所述横支承杆相互垂直设置；所述承载盘包括主体板以及用于与承载框匹配安装的限位件；所述限位件设置在主体板的底面上，所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应；所述主体板的宽度与承载槽的横向尺寸对应设置，所述主体板的顶面上设有多个用于存放硅片的存放槽，所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置；所述多个承载盘一一对应放置在所述承载槽中。

2.根据权利要求1所述的改进型硅片承载装置，其特征在于，所述导轨组杆的内侧设有多个沿纵向方向设置的限位安装槽，所述多个限位安装槽等间距设置，且所述限位安装槽呈“7”字型；所述横支承杆的两端均设有与所述限位安装槽匹配的呈直角设置的安装钩；所述横支承杆两端的安装钩对应设置在两组导轨组杆上的限位安装槽上。

3.根据权利要求2所述的改进型硅片承载装置，其特征在于，所述横支承杆的两端与导轨组杆之间的拐角处均设有转角连接件，所述导轨组杆与横支承杆的对应处设有连接孔，所述转角连接件与横支承杆以及导轨组杆之间通过螺栓连接。

4.根据权利要求1所述的改进型硅片承载装置，其特征在于，所述横支承杆上设有多个安装孔，且每条横支承杆上的安装孔一一对应设置；所述支撑固定杆由圆杆构成，所述支撑固定杆的两端部与所述安装孔配合设置。

5.根据权利要求1或4所述的改进型硅片承载装置，其特征在于，相邻两组横支承杆之间的支撑固定杆相互错开设置。

6.根据权利要求3所述的改进型硅片承载装置，其特征在于，位于最前的横支承杆的前方以及位于最后的横支承杆的后方均设有横加强杆，所述横加强杆的两端均与所述两组导轨组杆连接，且横加强杆与横支承杆之间设有多条支撑固定杆。

7.根据权利要求6所述的改进型硅片承载装置，其特征在于，所述两组导轨组杆的内侧均设有纵加强杆，所述横支承杆以及横加强杆上与所述纵加强杆的对应处均设有限位槽，所述纵加强杆上设有与所述限位槽匹配的连接槽；所述纵加强杆与横支承杆以及横加强杆之间均设有所述转角连接件。

8.根据权利要求1所述的改进型硅片承载装置，其特征在于，所述导轨组杆包括多个导轨板，所述多个导轨板沿横向方向排列设置，且每个导轨板的竖向高度均比横向宽度大。

9.根据权利要求1所述的改进型硅片承载装置，其特征在于，所述主体板的顶面还设有取放槽，该取放槽的面积比所述存放槽大，且取放槽的深度比所述存放槽浅。

10.根据权利要求1所述的改进型硅片承载装置，其特征在于，所述主体板的底部还设有多条加强筋，所述多条加强筋纵横交错设置。

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