CN203644741U - 一种分体式多用硅片承载器 - Google Patents
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 36
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 33
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型公开了一种分体式多用硅片承载器，包括一对竖向的挡板和两端分别连接在挡板上的支承杆，所述支承杆主要由位于底部的底杆与位于其上方的侧杆组成，所述侧杆具有用于插接硅片的卡槽，所述侧杆至少为两对且沿着挡板的竖向排布，每对中的两个侧杆分设在挡板的两侧，所述侧杆的两端与挡板之间通过调节机构相连，所述侧杆通过调节机构可沿着挡板的横向移动并定位以调节每对侧杆之间的距离从而实现承载不同型号的硅片。本实用新型的调节机构可以调节侧杆在其上的位置，实现每对侧杆间距可调以适应承载不同型号的硅片，因此，当需要承载其它型号的硅片时，不用更换其它规格承载器，提高了工作效率，也大大减少了承载器数量，降低了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅片存放工具，尤其涉及一种分体式多用硅片承载器，主要适用于清洗设备和甩干设备中。
背景技术
目前，国内用于承载硅片的承载器包括一对竖向的挡板与两端固定在挡板上的支承杆，支承杆主要由位于底部用于承托硅片的底杆与具有卡槽的侧杆组成，硅片插接在卡槽中且位于侧杆与底杆构成的框架空间中。由于侧杆与挡板为焊接连接，使得承载器为一整体结构而无法拆分，因此在其使用过程中存在以下缺陷：⑴无论承载器的任何部位损坏都会影响其使用效果，必须整体报废，造成严重成本浪费；⑵每种规格的硅片承载器只能承载一种型号的硅片，如果需要承载其它型号的硅片，只能更换其它规格的承载器，因此会影响工作效率；⑶因为每种规格的承载器只能承载一种型号的硅片，所以需要配备不同规格的承载器，导致承载器的数量较多，造成生产成本增加。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种结构简单、能够降低生产成本、提高生产效率、可适用于承载多种型号硅片的分体式多用硅片承载器。
本实用新型的目的通过以下的技术措施来实现：一种分体式多用硅片承载器，包括一对竖向的挡板和两端分别连接在挡板上的支承杆，所述支承杆主要由位于底部的底杆与位于其上方的侧杆组成，所述侧杆具有用于插接硅片的卡槽，其特征在于：所述侧杆至少为两对且沿着挡板的竖向排布，每对中的两个侧杆分设在挡板的两侧，所述侧杆的两端与挡板之间通过调节机构相连，所述侧杆通过调节机构可沿着挡板的横向移动并定位以调节每对侧杆之间的距离从而实现承载不同型号的硅片。
本实用新型的调节机构可以调节侧杆在其上的位置，实现每对侧杆之间的距离可调以适应承载不同型号的硅片，因此，当需要承载其它型号的硅片时，不用更换其它规格的承载器，从而提高了工作效率；另外，也大大减少了承载器的数量，降低了生产成本。
作为本实用新型的一种实施方式，所述调节机构主要由安装孔与固定部件组成，所述安装孔开设在所述挡板上，所述安装孔为沿挡板横向延伸的长形孔，所述侧杆的两端穿过安装孔并可沿着安装孔移动并由固定部件固定，实现每对侧杆间距可调。同时，侧杆也便于从挡板上拆卸下来，方便更换，无论本实用新型任何部位损坏，只需更换零部件即可，解决了现有承载器任何部位损坏均整体报废以致成本较高的问题，而且本实用新型的结构简单，能够降低生产成本。
本实用新型所述的底杆与所述挡板为可拆卸连接。
作为本实用新型的一种改进，所述安装孔延伸至挡板的侧边沿上形成断口，使侧杆可从该断口进行拆装，进一步提高了侧杆拆装的便利性。
本实用新型可同时适用于清洗设备和甩干设备中，作为本实用新型的进一步改进，所述挡板的边缘上设有用于与清洗设备相连的卡口，其中一个挡板的中部开有与甩干设备相固定的固定孔，该挡板的上边缘具有与清洗设备或者甩干设备相配合的浅口槽，另一个挡板的上边缘具有与清洗设备或者甩干设备相配合的深口槽。
本实用新型还可以做以下改进，所述挡板的上部两侧开设有用于搬运的操作孔。
优选地，所述侧杆采用螺杆，所述螺杆相邻螺纹之间的凹槽作为所述卡槽。
与现有技术相比，本实用新型具有如下显著的效果：
本实用新型的侧杆便于拆装，改变了现有承载器的整体性，无论是承载器的任何部位损坏，只需更换零部件即可，解决了整体报废问题，降低了生产成本；通过调节侧杆的间距可承载不同型号的硅片，避免了承载器的更换，大大减少了承载器的数量，既提高了生产效率，又降低生产成本。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
图1是本实用新型的主视图；
图2是本实用新型的左视图；
图3是本实用新型的右视图；
图4是本实用新型的俯视图。
具体实施方式
如图1～4所示，是本实用新型一种分体式多用硅片承载器，包括一对竖向的挡板1、2和两端分别连接在挡板1、2上的支承杆，支承杆主要由位于底部的底杆3与位于其上方的侧杆组成，底杆3与挡板1、2为可拆卸连接，具体采用螺丝连接。侧杆具有用于插接硅片的卡槽，在本实施例中，侧杆采用螺杆4，螺杆4相邻螺纹之间的凹槽作为卡槽。螺杆4为两对且沿着挡板1、2的竖向排布，每对中的两个螺杆4分设在挡板1、2的两侧，螺杆4的两端与挡板1、2之间通过调节机构相连，螺杆4通过调节机构可沿着挡板的横向移动并定位以调节每对螺杆4之间的距离从而实现承载不同型号的硅片。
在本实施例中，调节机构主要由安装孔与固定部件组成，固定部件采用螺母5，安装孔11、21分别开设在挡板1、2上，安装孔11、21为沿挡板1、2横向延伸的长形孔，螺杆4的两端穿过安装孔11、21并可沿着安装孔11、21移动并由螺母5固定，实现每对螺杆4间距可调。同时，螺杆4也便于从挡板上拆卸下来，方便更换。
本实用新型可同时适用于清洗设备和甩干设备中，挡板1、2的边缘上设有用于与清洗设备相连的卡口12，其中一个挡板1的中部开有与甩干设备相固定的固定孔13，该挡板1的上边缘具有与清洗设备或者甩干设备相配合的浅口槽14，另一个挡板2的上边缘具有与清洗设备或者甩干设备相配合的深口槽15。在挡板1、2的上部两侧开设有用于搬运的操作孔16。
本实用新型的实施方式不限于此，根据本实用新型的上述内容，按照本领域的普通技术知识和惯用手段，在不脱离本实用新型上述基本技术思想前提下，本实用新型的调节机构还可以采用其它实施方式；侧杆至少为两对；安装孔还可以延伸至挡板的侧边沿上形成断口，使侧杆可从该断口进行拆装。因此，本实用新型还可以做出其它多种形式的修改、替换或变更，均落在本实用新型权利保护范围之内。
Claims (7)
1.一种分体式多用硅片承载器，包括一对竖向的挡板和两端分别连接在挡板上的支承杆，所述支承杆主要由位于底部的底杆与位于其上方的侧杆组成，所述侧杆具有用于插接硅片的卡槽，其特征在于：所述侧杆至少为两对且沿着挡板的竖向排布，每对中的两个侧杆分设在挡板的两侧，所述侧杆的两端与挡板之间通过调节机构相连，所述侧杆通过调节机构可沿着挡板的横向移动并定位以调节每对侧杆之间的距离从而实现承载不同型号的硅片。
2.根据权利要求1所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述调节机构主要由安装孔与固定部件组成，所述安装孔开设在所述挡板上，所述安装孔为沿挡板横向延伸的长形孔，所述侧杆的两端穿过安装孔并可沿着安装孔移动并由固定部件固定，实现每对侧杆间距可调。
3.根据权利要求2所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述安装孔延伸至挡板的侧边沿上形成断口，使侧杆可从该断口进行拆装。
4.根据权利要求1～3任一项所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述底杆与所述挡板为可拆卸连接。
5.根据权利要求4所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述挡板的边缘上设有用于与清洗设备相连的卡口，其中一个挡板的中部开有与甩干设备相固定的固定孔，该挡板的上边缘具有与清洗设备或者甩干设备相配合的浅口槽，另一个挡板的上边缘具有与清洗设备或者甩干设备相配合的深口槽。
6.根据权利要求5所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述挡板的上部两侧开设有用于搬运的操作孔。
7.根据权利要求6所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述侧杆采用螺杆，所述螺杆相邻螺纹之间的凹槽作为所述卡槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320740352.1U CN203644741U (zh) | 2013-11-20 | 2013-11-20 | 一种分体式多用硅片承载器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320740352.1U CN203644741U (zh) | 2013-11-20 | 2013-11-20 | 一种分体式多用硅片承载器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203644741U true CN203644741U (zh) | 2014-06-11 |
Family
ID=50875967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201320740352.1U Expired - Fee Related CN203644741U (zh) | 2013-11-20 | 2013-11-20 | 一种分体式多用硅片承载器 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN203644741U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110190018A (zh) * | 2019-07-01 | 2019-08-30 | 深圳市石金科技股份有限公司 | 一种拼接式的硅片承载框 |
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2013
- 2013-11-20 CN CN201320740352.1U patent/CN203644741U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110190018A (zh) * | 2019-07-01 | 2019-08-30 | 深圳市石金科技股份有限公司 | 一种拼接式的硅片承载框 |
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