CN215266220U - 一种轻便稳固型硅片承载框 - Google Patents

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高晗
杨宗明
王小东
温科胜
唐志意
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Abstract

本实用新型公开一种轻便稳固型硅片承载框,包括框架以及多条横支承杆,所述多条横支承杆连接在所述框架上,相邻两条横支承杆之间形成镂空槽;相邻两条横支承杆之间设有多个限位固定组件;所述限位固定组件包括连接杆以及两个锁紧块,所述连接杆设置在相邻两条横支承杆之间且相互垂直设置,所述连接杆的两端均设有限位部,所述两个锁紧块可拆卸连接在所述连接杆上,所述两个锁紧块分别与连接杆两端的限位部配合从而分别将两条横支承杆夹紧。本实用新型具有轻便、耗费材料少的优点,有利于降低成本,并且稳定性好,具有良好的承载能力和抗变形能力。

Description

一种轻便稳固型硅片承载框
技术领域
本实用新型涉及一种硅片生产设备,具体涉及一种轻便稳固型硅片承载框。
背景技术
太阳能硅片的生产工艺流程一般包括硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷以及快速烧结等。在生产加工过程中,为了便于硅片的批量加工,一般会采用承载框进行批量硅片的输送,承载框对应安装在输送轨道上;具体地,在承载框上设置载板,载板上设有多个存放槽,在上料时通过机械手将多张待加工的硅片放置在载板的存放槽中,加工时通过承载框的移动带动硅片在各个加工工位之间的转移,从而实现硅片的批量加工。
现有技术中的承载框需要耗费大量石墨材料才能达到一定的承载要求,导致成本较高,并且重量大。授权公告号为CN 212136406 U的实用新型专利“一种改进型硅片承载装置”,具体公开了一种硅片承载框,其中包括多条横支承杆和导向组杆,多条横支承杆之间通过支撑固定杆进行限位固定,实现横支承杆的承载能力,并且达到节省材料的目的。但是,仍然存在以下问题:
1、横支承杆仍然具有一定厚度,还能进一步进行缩减;
2、支撑固定杆的端部直接与横支承杆的侧面连接,锁紧定位效果差,导致多条支承杆的位置容易发生偏移,位置精度差,影响硅片加工精度。
实用新型内容
本实用新型目的在于克服现有技术的不足,提供一种轻便稳固型硅片承载框,该承载框具有轻便、耗费材料少的优点,有利于降低成本,并且稳定性好,具有良好的承载能力和抗变形能力。
本实用新型的目的通过以下技术方案实现:
一种轻便稳固型硅片承载框,包括框架以及多条横支承杆,所述多条横支承杆连接在所述框架上,相邻两条横支承杆之间形成镂空槽;其特征在于,相邻两条横支承杆之间设有多个限位固定组件;所述限位固定组件包括连接杆以及两个锁紧块,所述连接杆设置在相邻两条横支承杆之间且相互垂直设置,所述连接杆的两端均设有限位部,所述两个锁紧块可拆卸连接在所述连接杆上,所述两个锁紧块分别与连接杆两端的限位部配合从而分别将两条横支承杆夹紧。
上述轻便稳固型硅片承载框的工作原理是:
相邻两条横支承杆之间均设有限位固定组件,在限位固定组件中,连接杆两端的限位部与两个锁紧块分别配合,实现将该两条横支承杆夹住,从而实现横支承杆的锁紧定位。通过限位固定组件的设置,对每条横支承杆进行单独的锁紧,使得横支承杆无法沿纵向方向前后移动,定位精度高,稳定性好。相较于传统的承载框,省去了纵向延伸的纵支承杆,采用了纵向延伸的连接杆(与横支承杆垂直设置),有效减少承载框的材料,减轻重量;同时,相邻两个横支承杆之间的限位固定组件,就直接对相应的横支承杆的两个方向进行锁紧,稳定性好,能够进一步缩减横支承杆的厚度,使得承载框更加轻便。
本实用新型的一个优选方案,所述横支承杆上设有安装孔,相邻两个横支承杆上的安装孔对应设置;所述连接杆的两端分别穿过两条横支承杆后,分别延伸至两侧的镂空槽中。
优选地,在相邻两条横支承杆之间的限位固定组件中,所述两个锁紧块分别设置在所述连接杆的两端部处,且分别位于两条横支承杆的外侧。
优选地,所述连接杆包括杆体以及两个分别设置在杆体两端的安装块,所述安装块与横支承杆上的安装孔对应设置,所述杆体的两端比所述安装孔大,所述杆体的端面构成所述限位部。
优选地,所述杆体为矩形杆,该矩形杆的高度比宽度大。
优选地,所述杆体与安装块的交接处设有圆角槽。
优选地,所述安装孔的四个角落处均设有圆孔。
优选地,所述锁紧块与连接杆之间通过螺栓螺母结构实现可拆卸连接。
本实用新型的一个优选方案,相邻两个镂空槽上的限位固定组件相互错开设置。
本实用新型的一个优选方案,沿着纵向方向,位于最前方和最后方的镂空槽上设有多个支撑固定杆,所述支撑固定杆的两端与两个横支承杆的侧部连接。
本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果:
1、本实用新型通过限位固定组件实现对相邻两个横支承杆的分别锁紧固定,有利于提高横支承杆的位置精度,以防变形或松脱。
2、通过限位固定组件的设置,采用锁紧块与限位部的配合实现对横支承杆的夹紧和锁紧,稳固性好,从而使得在满足一定的承载要求前提下,能够进一步缩减横支承杆的厚度,节省材料。
3、相较于传统的承载框,省去了纵向延伸的纵支承杆,采用了纵向延伸的连接杆,有效减少承载框的材料,减轻重量,轻便且可靠。
附图说明
图1为本实用新型的轻便稳固型硅片承载框的其中一种具体实施方式的立体结构示意图。
图2为图1中A的放大图。
图3为图1中B的放大图。
图4为限位固定组件的立体图。
图5为横支承杆上安装孔的局部示意图。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步描述,但本实用新型的实施方式不仅限于此。
参见图1-图5,本实施例的轻便稳固型硅片承载框,包括框架以及多条横支承杆1,所述多条横支承杆1连接在所述框架上,相邻两条横支承杆1之间形成镂空槽14;相邻两条横支承杆1之间设有多个限位固定件2;所述限位固定件2包括连接杆以及两个锁紧块8,所述连接杆设置在相邻两条横支承杆1之间且相互垂直设置,所述连接杆的两端均设有限位部,所述两个锁紧块8可拆卸连接在所述连接杆上,所述两个锁紧块8分别与连接杆两端的限位部配合从而分别将两条横支承杆1夹紧。
参见图1和图5,所述横支承杆1上设有多个安装孔11,相邻两个横支承杆1上的安装孔11对应设置;所述连接杆的两端分别穿过两条横支承杆1后,分别延伸至两侧的镂空槽14中。通过安装孔11的设置,便于连接杆与横支承杆1的连接,有利于提高连接杆的稳定性,从而通过锁紧块8实现对横支承杆1的锁紧。
参见图1,在相邻两条横支承杆1之间的限位固定组件2中,所述两个锁紧块8分别设置在所述连接杆的两端部处,且分别位于两条横支承杆1的外侧。
本实施例中,所述锁紧块8与连接杆之间通过螺栓螺母结构实现可拆卸连接。采用螺栓螺母进行连接,便于安装拆卸,且结构简单,便于实现,有利于降低成本。
参见图1、图2和图4,所述连接杆包括杆体7以及两个分别设置在杆体7两端的安装块9,所述安装块9与横支承杆1上的安装孔11对应设置,所述杆体7的两端比所述安装孔11大,所述杆体7的端面构成所述限位部。通过设置这样的连接杆,便于与横支承杆1上的安装孔11配合安装,同时通过设置较大的杆体7,能够将横支承杆1的内侧顶住,与锁紧块8配合夹紧横支承杆1,进一步提高横支承杆1之间的稳定性,位置精度高,可靠性好。
参见图2和图4,本实施例中,所述杆体7为矩形杆,该矩形杆的高度比宽度大。这样,即使杆体7的厚度尺寸较小,在竖向方向上,也具有很好的抗变形能力以及稳定的可靠性;另外,在此前提下,能够使得横支承杆1的厚度进一步缩减,节省材料的同时,使得整个承载框更加轻便。
参见图4,所述杆体7与安装块9的交接处设有圆角槽10。通过圆角槽10的设置,避免杆体7与横支承杆1之间的角落接触处发生硬碰撞,从而避免断裂,同时有利于提高支撑锁紧效果。
参见图5,所述安装孔11的四个角落处均设有圆孔12。本实施例中,所述安装孔11呈矩形设置。通过圆孔12的设置,便于安装孔11的加工,在加工时可先对四个圆孔12进行加工,再对矩形孔进行加工,这样能够有效避免在加工过程中出现崩角现象。
参见图1,相邻两个镂空槽14上的限位固定组件2相互错开设置。这样,均匀错开设置的限位固定组件2,能均匀锁紧所有横支承杆1,并且能进一步减少限位固定组件2的数量,既减少材料和减轻重量,且保证了整个承载框的稳固性。
参见图1,沿着纵向方向,位于最前方和最后方的镂空槽14上设有多个支撑固定杆13,所述支撑固定杆13的两端与两个横支承杆1的侧部连接。通过支撑固定杆13的设置,在实现前后端横支承杆1的位置固定外,能保证前后端的横支承杆1的外侧保持平整,以便与其他模块配合。本实施例中,位于中部的镂空槽14中也通过支撑固定杆13实现两个横支承杆1之间的锁紧定位,目的是为了在使用拼接式载板时,以便两个载板之间同时与承载框进行固定连接。
参见图1和图2,所述横支承杆1与限位固定组件2的顶部均比框架顶部低,所述横支承杆1上设有多个支撑块5,所述支撑块5与框架顶部平齐设置。这样,使得整个承载框在支撑载板时,只有框架以及支撑块5与载板底部接触,有效减少与载板的接触面积,让载板的底部悬空,有利于使得载板均匀受热,从而提高硅片的加工精度。
参见图1和图3,所述框架包括两个导轨组杆3,该两个导轨组杆3纵向延伸设置,且相对设置,所述多条横支承杆1设置在所述两个导轨组杆3之间。
参加图1和图3,所述导轨组杆3包括多个导轨板6,且多个导轨板6沿横向方向并排设置,每个导轨板6的竖向高度比横向宽度大。这样设置的导轨组杆3,具有很好的抗弯曲能力,不易变形,有利于在加工过程中保持载板以及硅片的位置精度,从而提高硅片的加工精度。
参见图1和图3,所述两个导轨组杆3的内侧均设有加强杆4,该加强杆4沿纵向方向延伸设置。通过加强杆4的设置,实现对多条横支承杆1的进一步固定,提高整个承载框的可靠性。
参见图1-图5,本实施例的轻便稳固型硅片承载框的工作原理是:
相邻两条横支承杆1之间均设有限位固定组件2,在限位固定组件2中,连接杆两端的限位部与两个锁紧块8分别配合,实现将该两条横支承杆1夹住,从而实现横支承杆1的锁紧定位。通过限位固定组件2的设置,对每条横支承杆1进行单独的锁紧,使得横支承杆1无法沿纵向方向前后移动,定位精度高,稳定性好。相较于传统的承载框,省去了纵向延伸的纵支承杆,采用了纵向延伸的连接杆(与横支承杆1垂直设置),有效减少承载框的材料,减轻重量;同时,相邻两个横支承杆1之间的限位固定组件2,就直接对相应的横支承杆1的两个方向进行锁紧,稳定性好,能够进一步缩减横支承杆1的厚度,使得承载框更加轻便。
上述为本实用新型较佳的实施方式,但本实用新型的实施方式并不受上述内容的限制,其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所做的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种轻便稳固型硅片承载框,包括框架以及多条横支承杆,所述多条横支承杆连接在所述框架上,相邻两条横支承杆之间形成镂空槽;其特征在于,相邻两条横支承杆之间设有多个限位固定组件;所述限位固定组件包括连接杆以及两个锁紧块,所述连接杆设置在相邻两条横支承杆之间且相互垂直设置,所述连接杆的两端均设有限位部,所述两个锁紧块可拆卸连接在所述连接杆上,所述两个锁紧块分别与连接杆两端的限位部配合从而分别将两条横支承杆夹紧。
2.根据权利要求1所述的轻便稳固型硅片承载框,其特征在于,所述横支承杆上设有安装孔,相邻两个横支承杆上的安装孔对应设置;所述连接杆的两端分别穿过两条横支承杆后,分别延伸至两侧的镂空槽中。
3.根据权利要求2所述的轻便稳固型硅片承载框,其特征在于,在相邻两条横支承杆之间的限位固定组件中,所述两个锁紧块分别设置在所述连接杆的两端部处,且分别位于两条横支承杆的外侧。
4.根据权利要求3所述的轻便稳固型硅片承载框,其特征在于,所述连接杆包括杆体以及两个分别设置在杆体两端的安装块,所述安装块与横支承杆上的安装孔对应设置,所述杆体的两端比所述安装孔大,所述杆体的端面构成所述限位部。
5.根据权利要求4所述的轻便稳固型硅片承载框,其特征在于,所述杆体为矩形杆,该矩形杆的高度比宽度大。
6.根据权利要求4所述的轻便稳固型硅片承载框,其特征在于,所述杆体与安装块的交接处设有圆角槽。
7.根据权利要求2或4所述的轻便稳固型硅片承载框,其特征在于,所述安装孔的四个角落处均设有圆孔。
8.根据权利要求1所述的轻便稳固型硅片承载框,其特征在于,所述锁紧块与连接杆之间通过螺栓螺母结构实现可拆卸连接。
9.根据权利要求1所述的轻便稳固型硅片承载框,其特征在于,相邻两个镂空槽上的限位固定组件相互错开设置。
10.根据权利要求1所述的轻便稳固型硅片承载框,其特征在于,沿着纵向方向,位于最前方和最后方的镂空槽上设有多个支撑固定杆,所述支撑固定杆的两端与两个横支承杆的侧部连接。
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